JP7365844B2 - How to remove the cutting blade - Google Patents

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Description

本発明は、フランジ機構を有する加工装置における切削ブレードを取り外す方法に関する。 The present invention relates to a method for removing a cutting blade in a processing device having a flange mechanism.

シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）、サファイアなどからなる半導体基板や樹脂パッケージ基板、セラミックス基板など各種板状の被加工物を切削ブレードで切削する加工装置である加工装置が知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。特許文献１に示された加工装置は、切り刃のみで構成された所謂ワッシャーブレードと呼ばれる切削ブレードを用いて被加工物を切削する。 Processing equipment is known that uses a cutting blade to cut various plate-shaped workpieces such as semiconductor substrates made of silicon, gallium arsenide, SiC (silicon carbide), sapphire, etc., resin package substrates, and ceramic substrates ( For example, see Patent Document 1 and Patent Document 2). The processing apparatus shown in Patent Document 1 cuts a workpiece using a cutting blade called a so-called washer blade that includes only a cutting blade.

特許文献２に示された加工装置は、固定フランジとの間に切削ブレードを挟持して固定する押さえフランジを切削ブレードとともに吸引保持して、押さえフランジとともに切削ブレードを交換するブレード交換機構を備えている。 The processing device disclosed in Patent Document 2 includes a blade exchange mechanism that sucks and holds a holding flange, which clamps and fixes a cutting blade between the holding flange and the cutting blade, and exchanges the cutting blade together with the holding flange. There is.

特開２０１６－１４４８３８号公報Japanese Patent Application Publication No. 2016-144838 特開２０１６－６４４５０号公報JP2016-64450A

しかしながら、特許文献２に示された加工装置では、押さえフランジを固定フランジから取り外す時に、押さえフランジとともに吸引保持したワッシャーブレードが押さえフランジから落下して破損する恐れがあった。特に、特許文献２に示された加工装置のように、ブレード交換機構を備えた加工装置は、押さえフランジを取り外す際に前述した問題が起きやすい。 However, in the processing device disclosed in Patent Document 2, when the presser flange is removed from the fixed flange, there is a risk that the washer blade, which is suctioned and held together with the presser flange, may fall from the presser flange and be damaged. In particular, in a processing device equipped with a blade exchange mechanism, such as the processing device shown in Patent Document 2, the above-mentioned problem is likely to occur when the holding flange is removed.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、交換時の切削ブレードの破損を抑制することができる切削ブレードを取り外す方法を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide a method for removing a cutting blade that can suppress damage to the cutting blade during replacement.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードを取り外す方法は、中央に装着穴を有する円盤状の切削ブレードを回転軸となるスピンドルに装着するためのフランジ機構を有する加工装置における該切削ブレードを取り外す方法であって、該フランジ機構は、先端に雄ねじが形成されたボス部と、該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードを支持する支持面を有した固定フランジ部と、該ボス部に装着される装着穴を有し、該ボス部に装着された切削ブレードを該固定フランジ部との間に挟持する押さえフランジ部と、該ボス部の雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成され、該ボス部と締結する事で該押さえフランジ部を介して切削ブレードを固定する固定ナットと、を備え、該固定フランジ部は、該支持面に形成され、切削ブレードを吸引固定する吸引孔と、該吸引孔と吸引源とを連通させる吸引路と、該吸引路に形成されたバルブと、該バルブを開閉し吸引を制御する制御部と、を含み、該切削ブレードを取り外す方法は、該押さえフランジ部を外す時に切削ブレードが落下しないようにバルブを開放して、切削ブレードを該固定フランジ部に吸引保持し、該押さえフランジ部を取り外した後に該バルブを閉じて、該固定フランジ部の該切削ブレードの吸引保持を停止し該切削ブレードを取り外すことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the purpose, a method for removing a cutting blade of the present invention includes a flange mechanism for mounting a disc-shaped cutting blade having a mounting hole in the center on a spindle serving as a rotation axis. A method for removing a cutting blade in a processing device, the flange mechanism having a boss portion having a male thread formed at the tip, and a support surface protruding radially from the boss portion and supporting the cutting blade. a flange portion, a holding flange portion having a mounting hole to be attached to the boss portion and holding the cutting blade attached to the boss portion between the holding flange portion and the fixed flange portion, and screwing with the male thread of the boss portion; a fixing nut having an internal thread formed on the inner periphery and fixing the cutting blade via the holding flange by being fastened to the boss, the fixing flange being formed on the supporting surface, The blade includes a suction hole for suctioning and fixing the blade, a suction path for communicating the suction hole and a suction source, a valve formed in the suction path, and a control unit for opening and closing the valve to control suction . To remove the cutting blade, open the valve to prevent the cutting blade from falling when removing the holding flange , hold the cutting blade by suction to the fixed flange , and then open the valve after removing the holding flange. It is characterized in that it is closed, the suction and holding of the cutting blade by the fixed flange part is stopped, and the cutting blade is removed .

前記切削ブレードを取り外す方法では、加工装置は、該フランジ機構に切削ブレードを着脱する切削ブレード交換機構を更に備え、該切削ブレード交換機構は、該固定ナットを着脱するナット着脱部と、該切削ブレードを着脱するブレード着脱部と、該押さえフランジ部を着脱する押さえフランジ着脱部と、を有しても良い。 In the method for removing the cutting blade, the processing device further includes a cutting blade exchange mechanism for attaching and detaching the cutting blade to the flange mechanism, and the cutting blade exchange mechanism includes a nut attaching and detaching section for attaching and detaching the fixing nut, and It may have a blade attachment/detachment part for attaching and detaching the blade, and a presser flange attachment/detachment part for attaching and detaching the presser flange part.

本発明は、交換時の切削ブレードの破損を抑制することができるという効果を奏する。 The present invention has the effect of suppressing damage to the cutting blade during replacement.

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a processing device according to a first embodiment. 図２は、図１に示された加工装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the cutting unit of the processing apparatus shown in FIG. 図３は、図２に示された切削ユニットの要部の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of essential parts of the cutting unit shown in FIG. 2. 図４は、図１に示された加工装置の切削ブレード着脱機構のブレード着脱ユニットを示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a blade attachment/detachment unit of the cutting blade attachment/detachment mechanism of the processing apparatus shown in FIG. 1. 図５は、図４に示されたブレード着脱ユニットの押さえフランジ着脱部の要部を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a main part of the holding flange attachment/detachment part of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4. FIG. 図６は、図４に示されたブレード着脱ユニットのナット着脱部の要部を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a main part of the nut attachment/detachment part of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4. FIG. 図７は、図４に示されたブレード着脱ユニットのブレード着脱部の要部を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a main part of the blade attachment/detachment section of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4. FIG. 図８は、図１に示された加工装置の押さえフランジの着脱中の状態を切削ユニットを断面で示す押さえフランジ着脱部の側面図である。FIG. 8 is a side view of the presser flange attachment/detachment section showing the cutting unit in a cross-sectional state during attachment and detachment of the presser flange of the processing apparatus shown in FIG. 図９は、図１に示された加工装置の切削ブレードの着脱中の状態を切削ユニットを断面で示すブレード着脱部の側面図である。FIG. 9 is a side view of the blade attachment/detachment section of the processing apparatus shown in FIG. 1, showing the cutting unit in a state in which the cutting blade is being attached and detached in a cross section.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Modes (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. Further, the constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. Further, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図３は、図２に示された切削ユニットの要部の断面図である。 [Embodiment 1]
A processing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention will be described based on the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a processing device according to a first embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view of the cutting unit of the processing apparatus shown in FIG. FIG. 3 is a sectional view of essential parts of the cutting unit shown in FIG. 2.

（加工装置）
実施形態１に係る加工装置１は、図１に示す被加工物２００を切削加工する切削装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）又はサファイア、などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。 (Processing equipment)
The processing apparatus 1 according to the first embodiment is a cutting apparatus that cuts a workpiece 200 shown in FIG. In the first embodiment, the workpiece 200 is a wafer such as a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer that uses silicon, gallium arsenide, SiC (silicon carbide), or sapphire as a base material. Devices 203 are formed on the workpiece 200 in areas partitioned in a grid pattern by a plurality of dividing lines 202 formed in a grid pattern on the surface 201 .

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状の樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。 Further, the workpiece 200 of the present invention may be a so-called TAIKO (registered trademark) wafer having a thinner central portion and a thicker portion on the outer periphery. A rectangular resin package substrate, a ceramic substrate, a ferrite substrate, a substrate containing at least one of nickel and iron, a glass substrate, etc. may be used. In the first embodiment, the workpiece 200 is supported by the annular frame 205 with its back surface 204 adhered to an adhesive tape 206 having an annular frame 205 attached to the outer periphery.

図１に示された加工装置１は、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削加工（加工に相当）する切削装置である。加工装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、切削ブレード２１でチャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する図示しない撮像ユニットと、切削ブレード交換機構６と、制御部である制御装置１００とを備える。 The processing apparatus 1 shown in FIG. 1 is a cutting apparatus that holds a workpiece 200 on a chuck table 10 and performs cutting (corresponding to processing) with a cutting blade 21 along a dividing line 202. As shown in FIG. 1, the processing device 1 includes a chuck table 10 that suction-holds a workpiece 200 on a holding surface 11, and a cutting unit 20 that cuts the workpiece 200 held on the chuck table 10 with a cutting blade 21. , an imaging unit (not shown) that photographs the workpiece 200 held on the chuck table 10 , a cutting blade exchange mechanism 6 , and a control device 100 that is a control section.

また、加工装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動ユニット３０を備える。移動ユニット３０は、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする加工送りユニットであるＸ軸移動ユニット３１と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットであるＹ軸移動ユニット３２と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りする切り込み送りユニットであるＺ軸移動ユニット３３と、チャックテーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット３４とを少なくとも備える。 The processing apparatus 1 also includes a moving unit 30 that relatively moves the chuck table 10 and the cutting unit 20, as shown in FIG. The moving unit 30 includes an X-axis moving unit 31, which is a machining feed unit that feeds the chuck table 10 in the X-axis direction parallel to the horizontal direction, and a Y-axis moving unit 31, which is a processing feed unit that feeds the chuck table 10 in the X-axis direction parallel to the horizontal direction, and a Y-axis moving unit 31 that moves the cutting unit 20 in the A Y-axis moving unit 32 that is an indexing feed unit that indexes and feeds in the axial direction, and a cutting feed unit that feeds the cutting unit 20 by cutting in the Z-axis direction that is parallel to the vertical direction that is orthogonal to both the X-axis direction and the Y-axis direction. It includes at least a Z-axis movement unit 33 and a rotation movement unit 34 that rotates the chuck table 10 around an axis parallel to the Z-axis direction.

Ｘ軸移動ユニット３１は、チャックテーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット３２は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット３３は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。 The X-axis moving unit 31 moves the chuck table 10 in the X-axis direction, which is the machining feed direction, to relatively feed the chuck table 10 and the cutting unit 20 along the X-axis direction. The Y-axis moving unit 32 moves the cutting unit 20 in the Y-axis direction, which is the indexing and feeding direction, to relatively index and feed the chuck table 10 and the cutting unit 20 along the Y-axis direction. The Z-axis moving unit 33 moves the cutting unit 20 in the Z-axis direction, which is the cutting-feeding direction, thereby relatively feeding the chuck table 10 and the cutting unit 20 along the Z-axis direction.

Ｘ軸移動ユニット３１、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。 The X-axis moving unit 31, the Y-axis moving unit 32, and the Z-axis moving unit 33 are a known ball screw rotatably provided around the axis, a known motor that rotates the ball screw around the axis, and the chuck table 10. Alternatively, a well-known guide rail that supports the cutting unit 20 movably in the X-axis direction, Y-axis direction, or Z-axis direction is provided.

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット３１により切削ユニット２０の下方の加工領域２と、切削ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域３とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニット３４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。 The chuck table 10 has a disk shape, and a holding surface 11 for holding a workpiece 200 is made of porous ceramic or the like. Furthermore, the chuck table 10 is moved by an X-axis movement unit 31 between a processing area 2 below the cutting unit 20 and a loading/unloading area 3 where the workpiece 200 is loaded/unloaded at a distance from the bottom of the cutting unit 20. It is provided so as to be freely movable in the axial direction, and also rotatably provided around an axis parallel to the Z-axis direction by the rotary movement unit 34 . The chuck table 10 is connected to a vacuum suction source (not shown), and suctions and holds the workpiece 200 placed on the holding surface 11 by suction from the vacuum suction source. In the first embodiment, the chuck table 10 attracts and holds the back surface 204 side of the workpiece 200 via the adhesive tape 206 . Further, around the chuck table 10, as shown in FIG. 1, a plurality of clamp parts 12 for clamping the annular frame 205 are provided.

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット３３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。 The cutting unit 20 is a cutting means to which a cutting blade 21 for cutting a workpiece 200 held on the chuck table 10 is detachably attached. The cutting units 20 are each provided to be movable in the Y-axis direction by a Y-axis movement unit 32 with respect to a workpiece 200 held on the chuck table 10, and are movable in the Z-axis direction by a Z-axis movement unit 33. It is movable.

切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３などを介して、装置本体４から立設した支持フレーム５に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。 As shown in FIG. 1, the cutting unit 20 is provided on a support frame 5 that stands up from the apparatus main body 4 via a Y-axis moving unit 32, a Z-axis moving unit 33, and the like. The cutting unit 20 is capable of positioning the cutting blade 21 at any position on the holding surface 11 of the chuck table 10 using the Y-axis moving unit 32 and the Z-axis moving unit 33.

切削ユニット２０は、図２に示すように、切削ブレード２１と、スピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル２３と、ロータリージョイント２４と、フランジ機構２５とを備える。 As shown in FIG. 2, the cutting unit 20 includes a cutting blade 21, a spindle housing 22, a spindle 23 rotatably provided on the spindle housing 22 around an axis, a rotary joint 24, and a flange mechanism 25. Be prepared.

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、切り刃２１１のみからなる所謂ワッシャ―ブレードである。切り刃２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定の厚みに形成されている。切削ブレード２１は、切り刃２１１の中央に装着穴２１２を有する円盤状に形成されている。 The cutting blade 21 is an extremely thin cutting whetstone having a substantially ring shape. In the first embodiment, the cutting blade 21 is a so-called washer blade consisting only of a cutting edge 211. The cutting blade 213 is made of abrasive grains such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride), and a bond material (binding material) such as metal or resin, and is formed to have a predetermined thickness. The cutting blade 21 is formed into a disk shape with a mounting hole 212 in the center of the cutting blade 211 .

スピンドルハウジング２２は、Ｚ軸移動ユニット３３によりＺ軸方向に移動自在に支持され、Ｚ軸移動ユニット３３を介してＹ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に移動自在に支持されている。スピンドルハウジング２２は、スピンドル２３の先端部を除く部分及び図示しないスピンドルモータ等を収容し、スピンドル２３を軸心回りに回転可能に支持する。 The spindle housing 22 is supported movably in the Z-axis direction by a Z-axis moving unit 33, and is supported movably in the Y-axis direction by a Y-axis moving unit 32 via the Z-axis moving unit 33. The spindle housing 22 accommodates a portion of the spindle 23 except for its tip, a spindle motor (not shown), etc., and supports the spindle 23 so as to be rotatable around its axis.

スピンドル２３は、図示しないスピンドルモータにより回転される回転軸となるとともに、先端部がスピンドルハウジング２２の先端面２２１より突出している。スピンドル２３の先端部は、先端に向かうにしたがって徐々に細く形成されており、先端面に開口したねじ孔２３１が設けられている。 The spindle 23 serves as a rotating shaft rotated by a spindle motor (not shown), and has a tip portion protruding from a tip surface 221 of the spindle housing 22. The tip of the spindle 23 is formed to become gradually thinner toward the tip, and a screw hole 231 is provided in the tip surface.

ロータリージョイント２４は、フランジ機構２５の固定フランジ２６に切削ブレード２１を固定するための吸引力を伝達するものである。ロータリージョイント２４は、スピンドル２３の先端部が内側を通る円環状のフランジ部２４１と、フランジ部２４１の内縁から立設した円筒状のボス部２４２とを一体に備えている。フランジ部２４１は、内側にスピンドル２３の先端部を通した状態でスピンドルハウジング２２の先端面２２１に重ねられる。ロータリージョイント２４は、図示しないねじがフランジ部２４１に設けられた貫通孔２４３を通り先端面２２１に設けられたねじ孔２２２にねじ込まれることで、スピンドルハウジング２２に固定される。ロータリージョイント２４は、スピンドル２３と同軸に配置される。 The rotary joint 24 transmits suction force for fixing the cutting blade 21 to the fixed flange 26 of the flange mechanism 25. The rotary joint 24 integrally includes an annular flange portion 241 through which the tip of the spindle 23 passes, and a cylindrical boss portion 242 that stands up from the inner edge of the flange portion 241. The flange portion 241 is stacked on the tip surface 221 of the spindle housing 22 with the tip of the spindle 23 passing through the flange portion 241 inside. The rotary joint 24 is fixed to the spindle housing 22 by screwing a screw (not shown) through a through hole 243 provided in the flange portion 241 and into a screw hole 222 provided in the distal end surface 221 . The rotary joint 24 is arranged coaxially with the spindle 23.

また、ロータリージョイント２４のボス部２４２には、ボス部２４２を貫通した貫通孔の内縁から立設し、かつバルブである開閉弁４０を介して真空ポンプ等で構成された吸引源４１と接続された吸引パイプ２４４が取り付けられている。開閉弁４０は、吸引源４１とロータリージョイント２４のボス部２４２の内周側との間の連通を開閉するものである。 Further, the boss portion 242 of the rotary joint 24 is connected to a suction source 41 formed of a vacuum pump or the like through an on-off valve 40 that is provided upright from the inner edge of a through hole passing through the boss portion 242. A suction pipe 244 is attached. The on-off valve 40 opens and closes communication between the suction source 41 and the inner peripheral side of the boss portion 242 of the rotary joint 24 .

フランジ機構２５は、スピンドル２３に固定され、切削ブレード２１をスピンドル２３の先端部に装着するためのものである。フランジ機構２５は、図２及び図３に示すように、固定フランジ部である固定フランジ２６と、押さえフランジ部である押さえフランジ２７と、固定ナット２８とを備える。 The flange mechanism 25 is fixed to the spindle 23 and is used to attach the cutting blade 21 to the tip of the spindle 23. As shown in FIGS. 2 and 3, the flange mechanism 25 includes a fixed flange 26 that is a fixed flange portion, a press flange 27 that is a press flange portion, and a fixing nut 28.

固定フランジ２６は、円筒状のボス部４３と、ボス部４３の軸心方向の中央部から径方向に外周側に突出したフランジ部４４とを備えている。ボス部４３は、スピンドル２３の先端部に固定される。ボス部４３は、図３に示すように、内周面に段差部４３１と、テーパー部４３２とを備える。段差部４３１は、フランジ部４４よりもスピンドルハウジング２２から離れた先端側に設けられ、ボス部４３の内径をスピンドルハウジング２２から離れた先端からスピンドルハウジング２２よりの基端側に向かうにしたがって段階的に小さくしている。段差部４３１の表面は、ボス部４３即ち固定フランジ２６の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。 The fixed flange 26 includes a cylindrical boss portion 43 and a flange portion 44 that protrudes radially outward from the axially central portion of the boss portion 43 . The boss portion 43 is fixed to the tip of the spindle 23. As shown in FIG. 3, the boss portion 43 includes a stepped portion 431 and a tapered portion 432 on the inner peripheral surface. The stepped portion 431 is provided on the distal end side farther from the spindle housing 22 than the flange portion 44, and the inner diameter of the boss portion 43 is gradually changed from the distal end distal from the spindle housing 22 toward the proximal end side from the spindle housing 22. I'm making it smaller. The surface of the stepped portion 431 is formed flat along a direction perpendicular to the axis of the boss portion 43, that is, the fixed flange 26.

テーパー部４３２は、ボス部４３の軸心方向の中央から基端に亘って形成され、ボス部４３の内径を軸心方向の中央から基端側に向かって徐々に拡大させている。固定フランジ２６は、ボス部４３の基端側にスピンドル２３の先端部が挿入され、段差部４３１の表面に重ねられたワッシャ２９１内を通った固定ねじ２９２がスピンドル２３の先端面に設けられたねじ孔２３１と螺合してスピンドル２３の先端部に固定される。固定フランジ２６がスピンドル２３の先端部に固定されると、テーパー部４３２がスピンドル２３の先端部に密に接触する。 The tapered portion 432 is formed from the axial center of the boss portion 43 to the proximal end, and gradually increases the inner diameter of the boss portion 43 from the axial center toward the proximal end. In the fixing flange 26, the distal end of the spindle 23 is inserted into the base end side of the boss portion 43, and a fixing screw 292 passing through a washer 291 stacked on the surface of the stepped portion 431 is provided on the distal end surface of the spindle 23. It is screwed into the screw hole 231 and fixed to the tip of the spindle 23. When the fixing flange 26 is fixed to the tip of the spindle 23, the tapered portion 432 comes into close contact with the tip of the spindle 23.

ボス部４３は、外周面の軸心方向の中央部から外周方向に突出しかつフランジ部４４と一体となったブレード支持用ボス部４３３を備える。ブレード支持用ボス部４３３は、フランジ部４４よりも先端側に設けられ、外径が切削ブレード２１の装着穴２１２の内径と等しく形成されている。ボス部４３は、先端側から切削ブレード２１の装着穴２１２に挿通されて、ブレード支持用ボス部４３３の外周面上に切削ブレード２１を支持する。また、ボス部４３は、外周面の先端に雄ねじ４３４が形成されている。 The boss portion 43 includes a blade supporting boss portion 433 that protrudes in the outer circumferential direction from the central portion of the outer circumferential surface in the axial direction and is integrated with the flange portion 44 . The blade supporting boss portion 433 is provided closer to the tip than the flange portion 44, and has an outer diameter equal to the inner diameter of the mounting hole 212 of the cutting blade 21. The boss portion 43 is inserted into the mounting hole 212 of the cutting blade 21 from the distal end side, and supports the cutting blade 21 on the outer peripheral surface of the blade supporting boss portion 433. Further, the boss portion 43 has a male thread 434 formed at the tip of the outer peripheral surface.

フランジ部４４は、ボス部４３の軸心方向の中央部から径方向外向きに突出する円環状の部材である。フランジ部４４の外径は、切削ブレード２１の外径よりも小径である。フランジ部４４は、ブレード支持用ボス部４３３により装着穴２１２の内周面が支持された切削ブレード２１と対面する支持面４４１を有している。支持面４４１は、先端側即ち切削ブレード２１側に突出した支持突起４４２が外縁の全周に形成されている。支持突起４４２の端面４４３は、固定フランジ２６の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。フランジ部４４は、支持突起４４２の端面４４３に切削ブレード２１を密着させて、切削ブレード２１を支持する。 The flange portion 44 is an annular member that projects radially outward from the axially central portion of the boss portion 43 . The outer diameter of the flange portion 44 is smaller than the outer diameter of the cutting blade 21. The flange portion 44 has a support surface 441 that faces the cutting blade 21 in which the inner peripheral surface of the mounting hole 212 is supported by the blade support boss portion 433 . The support surface 441 has a support protrusion 442 that protrudes toward the tip side, that is, toward the cutting blade 21 side, and is formed around the entire outer edge of the support surface 441 . An end surface 443 of the support projection 442 is formed flat along a direction perpendicular to the axis of the fixed flange 26 . The flange portion 44 supports the cutting blade 21 by bringing the cutting blade 21 into close contact with the end surface 443 of the support protrusion 442 .

また、固定フランジ２６は、吸引孔４５と、吸引通路４６と、前述した開閉弁４０と、制御装置１００とを含む。吸引孔４５は、支持面４４１に形成され、吸引源４１からの吸引力により切削ブレード２１を吸引固定するためのものである。実施形態１では、吸引孔４５は、支持面４４１の支持突起４４２よりも内周側に開口し、周方向に等間隔に複数設けられている。 Further, the fixed flange 26 includes a suction hole 45, a suction passage 46, the above-mentioned on-off valve 40, and a control device 100. The suction hole 45 is formed in the support surface 441 and is used to suction and fix the cutting blade 21 using the suction force from the suction source 41 . In Embodiment 1, the suction holes 45 open on the inner peripheral side of the support protrusion 442 of the support surface 441, and are provided in plurality at equal intervals in the circumferential direction.

吸引通路４６は、固定フランジ２６内に形成され、吸引孔４５とロータリージョイント２４の内周とを連通させる通路である。吸引通路４６は、一端が吸引孔４５に連通し、他端がボス部４３の外周面に開口しかつロータリージョイント２４の内周面と対向している。吸引通路４６と、ロータリージョイント２４の吸引パイプ２４４は、吸引孔４５と吸引源４１とを連通させる吸引路４７を構成している。このため、開閉弁４０は、吸引路４７に形成されている。固定フランジ２６は、吸引路４７を含んでいる。 The suction passage 46 is formed within the fixed flange 26 and is a passage that allows the suction hole 45 and the inner circumference of the rotary joint 24 to communicate with each other. One end of the suction passage 46 communicates with the suction hole 45 , and the other end opens to the outer circumferential surface of the boss portion 43 and faces the inner circumferential surface of the rotary joint 24 . The suction passage 46 and the suction pipe 244 of the rotary joint 24 constitute a suction passage 47 that allows the suction hole 45 and the suction source 41 to communicate with each other. For this reason, the on-off valve 40 is formed in the suction path 47. Fixed flange 26 includes a suction passage 47 .

固定フランジ２６は、開閉弁４０が開放され、吸引路４７を介して吸引源４１により吸引孔４５が吸引されることで、支持面４４１の支持突起４４２の端面４４３上に切削ブレード２１を吸引保持する。 The fixed flange 26 holds the cutting blade 21 on the end surface 443 of the support protrusion 442 of the support surface 441 by suction when the on-off valve 40 is opened and the suction hole 45 is suctioned by the suction source 41 through the suction path 47. do.

押さえフランジ２７は、中央に固定フランジ２６のボス部４３に装着される装着穴２７１を有した円環状に形成されている。押さえフランジ２７は、外径が切削ブレード２１の外径よりも小径である。押さえフランジ２７は、装着穴２７１内に固定フランジ２６のボス部４３の先端側を通して、固定フランジ２６の支持面４４１の支持突起４４２の端面４４３との間に切削ブレード２１を挟持する挟持面２７２を外縁部の全周に有している。挟持面２７２は、押さえフランジ２７の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。押さえフランジ２７は、挟持面２７２が切削ブレード２１を固定フランジ２６の支持面４４１の支持突起４４２との間に挟持する。また、押さえフランジ２７は、外周面に全周に亘って嵌合溝２７３が形成されている。なお、支持面４４１は、ボス部４３の外周から端面４４３の間に環状に広がる領域をしめす。実施形態１において、吸引孔４５は固定フランジ２６の支持面４４１の支持突起４４２の端面よりも内側に開口しているが、支持面４４１の他の場所、例えば端面に開口してもよい。 The holding flange 27 is formed in an annular shape having a mounting hole 271 in the center for mounting on the boss portion 43 of the fixed flange 26 . The holding flange 27 has an outer diameter smaller than the outer diameter of the cutting blade 21. The holding flange 27 has a clamping surface 272 that sandwiches the cutting blade 21 between it and the end surface 443 of the supporting protrusion 442 of the supporting surface 441 of the fixed flange 26 by passing the tip end side of the boss portion 43 of the fixed flange 26 into the mounting hole 271. It has it all around the outer edge. The clamping surface 272 is formed flat along a direction perpendicular to the axis of the holding flange 27 . The holding flange 27 has a holding surface 272 holding the cutting blade 21 between it and the supporting protrusion 442 of the supporting surface 441 of the fixed flange 26 . Further, the holding flange 27 has a fitting groove 273 formed on its outer peripheral surface over the entire circumference. Note that the support surface 441 indicates a region extending in an annular shape from the outer periphery of the boss portion 43 to the end surface 443. In the first embodiment, the suction hole 45 is opened inward from the end surface of the support protrusion 442 of the support surface 441 of the fixed flange 26, but may be opened in another location of the support surface 441, for example, in the end surface.

固定ナット２８は、円環状に形成され、ボス部４３の雄ねじ４３４と螺合する雌ねじ２８１が内周面に形成されている。固定ナット２８は、押さえフランジ２７の装着穴２７１内に固定フランジ２６のボス部４３が通され、支持突起４４２の端面４４３が挟持面２７２との間に切削ブレード２１を挟持した固定フランジ２６のボス部４３の雄ねじ４３４に雌ねじ２８１が螺合して、ボス部４３に締結する。固定ナット２８は、ボス部４３に締結することで、押さえフランジ２７を介して固定フランジ２６と押さえフランジ２７との間に切削ブレード２１を固定する。固定ナット２８は、図２に示すように、端面に４つのピン嵌合穴２８２を周方向に等間隔に設けている。 The fixing nut 28 is formed in an annular shape, and has a female thread 281 formed on its inner circumferential surface to be screwed into the male thread 434 of the boss portion 43 . The fixing nut 28 has the boss portion 43 of the fixing flange 26 passed through the mounting hole 271 of the holding flange 27, and the end surface 443 of the supporting protrusion 442 and the boss of the fixing flange 26 sandwiching the cutting blade 21 between the clamping surface 272. The female thread 281 is screwed into the male thread 434 of the portion 43 and fastened to the boss portion 43. The fixing nut 28 fixes the cutting blade 21 between the fixing flange 26 and the holding flange 27 via the holding flange 27 by fastening to the boss portion 43 . As shown in FIG. 2, the fixing nut 28 has four pin fitting holes 282 provided at equal intervals in the circumferential direction on the end surface.

このように構成された切削ユニット２０は、スピンドルハウジング２２の先端面２２１にロータリージョイント２４が固定され、固定フランジ２６がボス部４３の基端側の内側にスピンドル２３の先端部を通して、固定ねじ２６等によりスピンドル２３の先端部に固定され、切削ブレード２１の装着穴２１２の内周面をブレード支持用ボス部４３３の外周面上に支持する。切削ユニット２０は、固定フランジ２６のボス部４３の先端側を押さえフランジ２７の装着穴２７１の内側に通して、雄ねじ４３４に雌ねじ２８１を螺合させて、固定ナット２８で押さえフランジ２７及び切削ブレード２１をスピンドル２３の先端部に固定する。 In the cutting unit 20 configured in this way, the rotary joint 24 is fixed to the distal end surface 221 of the spindle housing 22, the fixing flange 26 is inserted into the proximal side of the boss portion 43, and the fixing screw 26 is inserted into the distal end of the spindle 23. The cutting blade 21 is fixed to the tip of the spindle 23 by, for example, the inner peripheral surface of the mounting hole 212 of the cutting blade 21 and supported on the outer peripheral surface of the blade supporting boss part 433. The cutting unit 20 is constructed by passing the tip end of the boss portion 43 of the fixed flange 26 inside the mounting hole 271 of the holding flange 27, screwing the female thread 281 onto the male thread 434, and holding the holding flange 27 and the cutting blade with the fixing nut 28. 21 is fixed to the tip of the spindle 23.

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、ロータリージョイント２４、固定フランジ２６、切削ブレード２１、押さえフランジ２７及び固定ナット２８の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。 The axes of the spindle 23, rotary joint 24, fixed flange 26, cutting blade 21, holding flange 27, and fixed nut 28 of the cutting unit 20 are set parallel to the Y-axis direction.

撮像ユニットは、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニットは、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニットは、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御装置１００に出力する。 The imaging unit is fixed to the cutting unit 20 so as to move integrally with the cutting unit 20. The imaging unit includes an imaging element that photographs the region to be divided of the workpiece 200 held on the chuck table 10 before cutting. The image sensor is, for example, a CCD (Charge-Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary MOS) image sensor. The imaging unit photographs the workpiece 200 held on the chuck table 10, obtains an image for performing alignment to align the workpiece 200 and the cutting blade 21, and controls the obtained image. Output to the device 100.

また、加工装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御装置１００に出力する。なお、実施形態１では、加工装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。 The processing device 1 also includes an X-axis position detection unit (not shown) for detecting the position of the chuck table 10 in the X-axis direction, and a Y-axis position detection unit (not shown) for detecting the position of the cutting unit 20 in the Y-axis direction. It includes a detection unit and a Z-axis position detection unit for detecting the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction. The X-axis direction position detection unit and the Y-axis direction position detection unit can be configured by a linear scale parallel to the X-axis direction or the Y-axis direction and a reading head. The Z-axis position detection unit detects the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction using motor pulses. The X-axis position detection unit, the Y-axis position detection unit, and the Z-axis position detection unit output the position of the chuck table 10 in the X-axis direction and the cutting unit 20 in the Y-axis direction or Z-axis direction to the control device 100. . In the first embodiment, the positions of each component of the processing device 1 in the X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction are determined based on a predetermined reference position (not shown).

制御装置１００は、加工装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものでもある。即ち、制御装置１００は、開閉弁４０を開閉し、固定フランジ２６の切削ブレード２１の吸引を制御するものでもある。なお、制御装置１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御装置１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各構成要素に出力する。 The control device 100 also controls each component of the processing device 1 to cause the processing device 1 to perform a processing operation on the workpiece 200. That is, the control device 100 also opens and closes the on-off valve 40 and controls suction of the cutting blade 21 from the fixed flange 26. Note that the control device 100 includes an arithmetic processing device having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage device having a memory such as a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory), and an input/output device. A computer having an interface device. The arithmetic processing unit of the control device 100 performs arithmetic processing according to a computer program stored in a storage device, and sends control signals for controlling the processing device 1 to each of the processing devices 1 via the input/output interface device. Output to component.

制御装置１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。 The control device 100 is connected to a display unit (not shown) including a liquid crystal display device that displays the status of machining operations, images, etc., and an input unit used by an operator to register machining content information and the like. The input unit includes at least one of a touch panel provided on the display unit and an external input device such as a keyboard.

（切削ブレード交換機構）
図４は、図１に示された加工装置の切削ブレード着脱機構のブレード着脱ユニットを示す斜視図である。図５は、図４に示されたブレード着脱ユニットの押さえフランジ着脱部の要部を示す斜視図である。図６は、図４に示されたブレード着脱ユニットのナット着脱部の要部を示す斜視図である。図７は、図４に示されたブレード着脱ユニットのブレード着脱部の要部を示す斜視図である。 (Cutting blade exchange mechanism)
FIG. 4 is a perspective view showing a blade attachment/detachment unit of the cutting blade attachment/detachment mechanism of the processing apparatus shown in FIG. 1. FIG. 5 is a perspective view showing a main part of the holding flange attachment/detachment part of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4. FIG. FIG. 6 is a perspective view showing a main part of the nut attachment/detachment part of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4. FIG. FIG. 7 is a perspective view showing a main part of the blade attachment/detachment section of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4. FIG.

切削ブレード交換機構６は、切削ユニット２０のフランジ機構２５の固定フランジ２６に切削ブレード２１を着脱するものである。実施形態１において、切削ブレード交換機構６は、図１に示すように、装置本体４の搬入出領域３に位置付けられたチャックテーブル１０とＹ軸方向に並ぶ位置に設置されている。切削ブレード交換機構６は、交換前後の切削ブレード２１を保持するブレードストッカ７０と、切削ユニット２０のスピンドル２３に切削ブレード２１を着脱するとともにブレードストッカ７０と切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送するブレード着脱ユニット８０とを備える。 The cutting blade exchange mechanism 6 attaches and detaches the cutting blade 21 to and from the fixed flange 26 of the flange mechanism 25 of the cutting unit 20. In the first embodiment, the cutting blade exchange mechanism 6 is installed in a position aligned in the Y-axis direction with a chuck table 10 positioned in the loading/unloading area 3 of the apparatus main body 4, as shown in FIG. The cutting blade exchange mechanism 6 includes a blade stocker 70 that holds the cutting blades 21 before and after replacement, and a blade stocker 70 that attaches and detaches the cutting blades 21 to and from the spindle 23 of the cutting unit 20. It also includes a blade attachment/detachment unit 80 for conveyance.

ブレードストッカ７０は、装置本体４から設置されたストッカ本体７１と、切削ブレード２１を保持するブレード保持部７２とを備える。ブレード保持部７２は、ストッカ本体７１に複数設けられている。ブレードストッカ７０は、実施形態１では、ブレード保持部７２を２つ備える。なお、ブレードストッカ７０のブレード保持部７２が保持する切削ブレード２１は、未使用のものの他、既使用であるが寿命に達しておらず使用可能なもの、同種類および／または異種類のものを含む。 The blade stocker 70 includes a stocker main body 71 installed from the apparatus main body 4 and a blade holding section 72 that holds the cutting blade 21. A plurality of blade holding parts 72 are provided in the stocker main body 71. In the first embodiment, the blade stocker 70 includes two blade holding parts 72. In addition, the cutting blades 21 held by the blade holding part 72 of the blade stocker 70 include not only unused cutting blades, but also cutting blades that have been used but have not reached the end of their service life and can be used, and blades of the same type and/or different types. include.

実施形態１では、ブレードストッカ７０の２つのブレード保持部７２の軸心は、Ｙ軸方向と平行に配置されている。２つのブレード保持部７２は、Ｘ軸方向に間隔をあけて配置されている。 In the first embodiment, the axes of the two blade holding parts 72 of the blade stocker 70 are arranged parallel to the Y-axis direction. The two blade holding parts 72 are arranged at intervals in the X-axis direction.

ブレード着脱ユニット８０は、切削ユニット２０のフランジ機構２５の固定フランジ２６に切削ブレード２１を装着、及び、固定フランジ２６から切削ブレード２１を離脱させるものある。ブレード着脱ユニット８０は、図１に示すように、ユニット本体８１と、ユニット本体８１をＸ軸方向に移動させる着脱側移動ユニット８２と、押さえフランジ着脱部８３と、ナット着脱部８４と、一対のブレード着脱部８５とを有する。 The blade attachment/detachment unit 80 attaches the cutting blade 21 to the fixed flange 26 of the flange mechanism 25 of the cutting unit 20 and detaches the cutting blade 21 from the fixed flange 26. As shown in FIG. 1, the blade attachment/detachment unit 80 includes a unit body 81, an attachment/detachment side moving unit 82 that moves the unit body 81 in the X-axis direction, a presser flange attachment/detachment part 83, a nut attachment/detachment part 84, and a pair of parts. It has a blade attachment/detachment part 85.

着脱側移動ユニット８２は、Ｘ軸方向に延在しかつユニット本体８１に設けられたナットと螺合するねじ軸と、ねじ軸を軸心回りに回転することでユニット本体８１をＸ軸方向に移動させるモータとを備えて、ユニット本体８１、即ち押さえフランジ着脱部８３、ナット着脱部８４及び一対のブレード着脱部８５をＸ軸方向に移動させる。着脱側移動ユニット８２は、ブレード着脱部８５を、ブレード保持部７２とＹ軸方向に沿って対面する位置と、切削ユニット２０のフランジ機構２５とＹ軸方向に対面する位置とに亘ってＸ軸方向に移動させる。 The removable moving unit 82 has a screw shaft that extends in the X-axis direction and is screwed into a nut provided on the unit body 81, and rotates the screw shaft around the axis to move the unit body 81 in the X-axis direction. The unit main body 81, that is, the presser flange attachment/detachment part 83, the nut attachment/detachment part 84, and the pair of blade attachment/detachment parts 85 are moved in the X-axis direction. The attachment/detachment side moving unit 82 moves the blade attachment/detachment part 85 along the X-axis from a position facing the blade holding part 72 in the Y-axis direction to a position facing the flange mechanism 25 of the cutting unit 20 in the Y-axis direction. move in the direction.

押さえフランジ着脱部８３は、押さえフランジ２７を保持して、押さえフランジ２７を切削ユニット２０のスピンドル２３の先端部に固定された固定フランジ２６に着脱するものである。押さえフランジ着脱部８３の軸心は、Ｙ軸方向と平行に配置されている。押さえフランジ着脱部８３は、図５に示すように、ユニット本体８１に固定されかつ外観が円筒状に形成された筐体８３１と、筐体８３１の先端に伸縮自在に設けられたロッド８３２と、ロッド８３２の先端に取り付けられた円盤状の支持基台８３３と、支持基台８３３に取り付けられた爪８３４と、を備える。 The presser flange attachment/detachment section 83 holds the presser flange 27 and attaches and detaches the presser flange 27 to the fixed flange 26 fixed to the tip of the spindle 23 of the cutting unit 20. The axis of the holding flange attachment/detachment portion 83 is arranged parallel to the Y-axis direction. As shown in FIG. 5, the presser flange attachment/detachment part 83 includes a housing 831 fixed to the unit body 81 and having a cylindrical appearance, and a rod 832 extendably provided at the tip of the housing 831. It includes a disk-shaped support base 833 attached to the tip of the rod 832 and a claw 834 attached to the support base 833.

ロッド８３２は、筐体８３１内に設けられた図示しないエアシリンダのロッドであって、伸縮することで、支持基台８３３及び爪８３４をＹ軸方向に移動させる。爪８３４は、支持基台８２４のブレードストッカ７０のブレード保持部７２と対向する端面８３５の外縁に周方向に間隔をあけて複数配置されている。実施形態１では、爪８２５は、支持基台８２４の端面８３５の外縁に周方向に等間隔に三つ設けられている。複数の爪８２５は、支持基台８２４内等に設けられた図示しない駆動機構により、端面８３５の径方向に移動自在に設けられ、互いに近付くことで押さえフランジ２７の嵌合溝２７３に嵌合して、押さえフランジ２７を把持し、互いに離れることで押さえフランジ２７の把持を解除する。 The rod 832 is a rod of an air cylinder (not shown) provided in the housing 831, and expands and contracts to move the support base 833 and the claw 834 in the Y-axis direction. A plurality of claws 834 are arranged at intervals in the circumferential direction on the outer edge of an end surface 835 of the support base 824 facing the blade holding portion 72 of the blade stocker 70. In the first embodiment, three claws 825 are provided on the outer edge of the end surface 835 of the support base 824 at equal intervals in the circumferential direction. The plurality of claws 825 are provided movably in the radial direction of the end face 835 by a drive mechanism (not shown) provided within the support base 824, etc., and are fitted into the fitting groove 273 of the holding flange 27 by approaching each other. The gripping flange 27 is released by moving away from each other.

ナット着脱部８４は、固定ナット２８を固定フランジ２６のボス部２４２に着脱するものである。ナット着脱部８４の軸心は、Ｙ軸方向と平行に配置されている。ナット着脱部８４は、押さえフランジ着脱部８３とＸ軸方向に間隔をあけて配置されている。ナット着脱部８４は、図６に示すように、ユニット本体８１に固定され且つ外観が円筒状に形成された筐体８４１と、筐体８４１の先端に伸縮自在に設けられかつ軸心回りに回転自在に設けられたロッド８４２と、ロッド８４２の先端に固定された円盤状の支持基台８４３と、支持基台８４３に取り付けられた爪８４４と、支持基台８４３のブレードストッカ７０のブレード保持部７２に対面する端面８４５に設けられた複数の嵌合ピン８４６とを備える。 The nut attaching/detaching section 84 is for attaching/detaching the fixing nut 28 to/from the boss portion 242 of the fixing flange 26 . The axis of the nut attachment/detachment part 84 is arranged parallel to the Y-axis direction. The nut attachment/detachment portion 84 is spaced apart from the holding flange attachment/detachment portion 83 in the X-axis direction. As shown in FIG. 6, the nut attachment/detachment part 84 includes a housing 841 that is fixed to the unit main body 81 and has a cylindrical appearance, and a housing 841 that is extendable and retractable at the tip of the housing 841 and rotates around an axis. A freely provided rod 842, a disc-shaped support base 843 fixed to the tip of the rod 842, a claw 844 attached to the support base 843, and a blade holding portion of the blade stocker 70 of the support base 843. A plurality of fitting pins 846 are provided on an end surface 845 facing 72.

ロッド８４２は、筐体８４１内に設けられた図示しないエアシリンダのロッドであって、伸縮することで、支持基台８４３、爪８４４及び嵌合ピン８４６をＹ軸方向に移動させる。また、ロッド８４２は、筐体８４１内に設けられた図示しないモータにより軸心回りに回転される。 The rod 842 is a rod of an air cylinder (not shown) provided in the housing 841, and expands and contracts to move the support base 843, claw 844, and fitting pin 846 in the Y-axis direction. Further, the rod 842 is rotated around its axis by a motor (not shown) provided within the housing 841.

爪８４４は、支持基台８４３の端面８４５に周方向に間隔をあけて複数配置されている。実施形態１では、爪８４４は、支持基台８４３の端面８４５に周方向に等間隔に四つ設けられている。複数の爪８４４は、支持基台８４３内等に設けられた図示しない駆動機構により、端面８４５の径方向に移動自在に設けられ、互いに近付くことで固定ナット２８の外周面を把持し、互いに離れることで固定ナット２８の把持を解除する。 A plurality of claws 844 are arranged on the end surface 845 of the support base 843 at intervals in the circumferential direction. In the first embodiment, four claws 844 are provided on the end surface 845 of the support base 843 at equal intervals in the circumferential direction. The plurality of claws 844 are provided so as to be movable in the radial direction of the end face 845 by a drive mechanism (not shown) provided within the support base 843, etc., and when they approach each other, they grip the outer peripheral surface of the fixing nut 28 and separate from each other. This releases the grip on the fixing nut 28.

嵌合ピン８４６は、端面８４５から突没自在に支持基台８４３に支持され、実施形態１では、端面８４５に周方向に等間隔に４つ設けられている。嵌合ピン８４６は、端面８４５から突出すると固定ナット２８のピン嵌合穴２８２に嵌合可能である。 The fitting pins 846 are supported by the support base 843 so as to be able to protrude and retract from the end surface 845, and in the first embodiment, four fitting pins 846 are provided on the end surface 845 at equal intervals in the circumferential direction. When the fitting pin 846 protrudes from the end surface 845, it can be fitted into the pin fitting hole 282 of the fixing nut 28.

一対のブレード着脱部８５は、固定フランジ２６に切削ブレード２１を着脱するものである。実施形態１では、一方のブレード着脱部８５は、ブレードストッカ７０に保持された交換用の切削ブレード２１をブレードストッカ７０から取り外して保持し、他方のブレード着脱部８５は、切削ユニット２０の固定フランジ２６から切削ブレード２１を取り外し、切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を保持する。実施形態１では、一対のブレード着脱部８５の軸心は、Ｙ軸方向と平行に配置され、互いにＸ軸方向に間隔をあけて配置されている。また、ブレード着脱部８５の軸心のＺ軸方向の高さは、ブレードストッカ７０の２つのブレード保持部７２の軸心のＺ軸方向の高さと等しい。 The pair of blade attachment/detachment parts 85 are for attaching/detaching the cutting blade 21 to/from the fixed flange 26 . In the first embodiment, one blade attachment/detachment part 85 removes and holds the replacement cutting blade 21 held in the blade stocker 70 from the blade stocker 70, and the other blade attachment/detachment part 85 attaches to the fixed flange of the cutting unit 20. The cutting blade 21 is removed from the cutting unit 26, and the replaced cutting blade 21 removed from the cutting unit 20 is held. In the first embodiment, the axes of the pair of blade attachment/detachment parts 85 are arranged parallel to the Y-axis direction, and spaced apart from each other in the X-axis direction. Further, the height of the axial center of the blade attachment/detachment section 85 in the Z-axis direction is equal to the height of the axial center of the two blade holding sections 72 of the blade stocker 70 in the Z-axis direction.

ブレード着脱部８５は、図７に示すように、ユニット本体８１に固定されかつ外観が円筒状に形成された筐体８５１と、筐体８５１の先端に伸縮自在に設けられたロッド８５２と、ロッド８５２の先端に取り付けられた円盤状の支持基台８５３と、を備える。 As shown in FIG. 7, the blade attachment/detachment section 85 includes a housing 851 that is fixed to the unit body 81 and has a cylindrical appearance, a rod 852 that is extendably provided at the tip of the housing 851, and a rod. A disk-shaped support base 853 is attached to the tip of the support base 852.

ロッド８５２は、筐体８５１内に設けられた図示しないエアシリンダのロッドであって、伸縮することで、支持基台８５３をＹ軸方向に移動させる。支持基台８５３は、ブレードストッカ７０のブレード保持部７２と対向する端面８５５にリング状の吸引溝８５４が形成されている。吸引溝８５４は、支持基台８５３内等に設けられた吸引路８５６、開閉弁８５７を介して吸引源８５８に接続している。ブレード着脱部８５は、吸引源８５８により吸引溝８５４内が吸引されることで、支持基台８５３の端面８５５に切削ブレード２１を吸引保持する。また、実施形態１では、ブレード着脱部８５は、端面８５５の中央にボス部４３の先端側が侵入可能なボス部侵入穴８５９を設けている。 The rod 852 is a rod of an air cylinder (not shown) provided in the housing 851, and expands and contracts to move the support base 853 in the Y-axis direction. A ring-shaped suction groove 854 is formed in an end surface 855 of the support base 853 facing the blade holding portion 72 of the blade stocker 70 . The suction groove 854 is connected to a suction source 858 via a suction path 856 and an on-off valve 857 provided within the support base 853 or the like. The blade attachment/detachment section 85 suction-holds the cutting blade 21 on the end surface 855 of the support base 853 by suctioning the inside of the suction groove 854 by the suction source 858 . Further, in the first embodiment, the blade attachment/detachment portion 85 is provided with a boss entry hole 859 in the center of the end surface 855 into which the tip side of the boss 43 can enter.

（加工装置の加工動作）
加工装置１は、オペレータが、加工内容情報を制御装置１００に登録し、切削加工前の被加工物２００をチャックテーブル１０の保持面１１に載置し、切削ブレード交換機構６のブレードストッカ７０のブレード保持部７２に交換用の切削ブレード２１を取り付ける。 (Processing operation of processing equipment)
In the processing device 1, an operator registers processing content information in the control device 100, places the workpiece 200 before cutting on the holding surface 11 of the chuck table 10, and places the workpiece 200 in the blade stocker 70 of the cutting blade exchange mechanism 6. A replacement cutting blade 21 is attached to the blade holding part 72.

その後、加工装置１は、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に加工動作を開始する。加工装置１は、加工動作を開始すると、粘着テープ２０６を介して裏面２０４側をチャックテーブル１０の保持面１１に吸引保持するとともに、クランプ部１２で環状フレーム２０５をクランプする。 After that, the processing device 1 starts the processing operation when the operator gives an instruction to start the processing operation. When the processing device 1 starts the processing operation, the back surface 204 side is suction-held to the holding surface 11 of the chuck table 10 via the adhesive tape 206, and the annular frame 205 is clamped by the clamp portion 12.

加工動作では、加工装置１は、Ｘ軸移動ユニット３１がチャックテーブル１０を加工領域２に向かって移動して、撮像ユニットが被加工物２００を撮影して、撮像ユニットが撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。加工装置１は、分割予定ライン２０２に沿って被加工物２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませて被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割する。加工装置１は、個々のデバイス２０３に分割された被加工物２００を搬入出領域３に向かって移動して、搬入出領域３において保持面１１の吸引保持及びクランプ部１２のクランプを解除して、加工動作を終了する。 In the processing operation, in the processing device 1, the X-axis movement unit 31 moves the chuck table 10 toward the processing area 2, the imaging unit photographs the workpiece 200, and the image obtained by the imaging unit is captured. Perform alignment based on. The processing device 1 cuts the workpiece 200 into individual parts by cutting the cutting blade 21 into each dividing line 202 while relatively moving the workpiece 200 and the cutting unit 20 along the dividing line 202. It is divided into devices 203. The processing apparatus 1 moves the workpiece 200 divided into individual devices 203 toward the loading/unloading area 3, and releases the suction holding of the holding surface 11 and the clamping of the clamp part 12 in the loading/unloading area 3. , ends the machining operation.

（切削ブレードの着脱動作）
図８は、図１に示された加工装置の押さえフランジの着脱中の状態を切削ユニットを断面で示す押さえフランジ着脱部の側面図である。図９は、図１に示された加工装置の切削ブレードの着脱中の状態を切削ユニットを断面で示すブレード着脱部の側面図である。 (Attachment/detaching operation of cutting blade)
FIG. 8 is a side view of the presser flange attachment/detachment section showing the cutting unit in a cross-sectional state during attachment and detachment of the presser flange of the processing apparatus shown in FIG. FIG. 9 is a side view of the blade attachment/detachment section of the processing apparatus shown in FIG. 1, showing the cutting unit in a state in which the cutting blade is being attached and detached in a cross section.

実施形態１において、加工装置１は、制御装置１００が加工動作中に、切削ユニット２０の切削ブレード２１がブレード交換タイミングであると判定すると切削ブレード２１の着脱動作を実施する。ブレード交換タイミングは、切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換するタイミングであることをいう。ブレード交換タイミングは、例えば、予め設定された数の被加工物２００を切削する毎等や切削ブレード２１の摩耗量が事前に設定された値を超えたタイミングであり、加工内容情報の一部として制御装置１００に登録される。また、本発明のブレード交換タイミングは、まさに１枚の被加工物２００を加工している途中でも良く、複数の被加工物２００を連続して加工する際に、被加工物２００を交換するタイミングでも良い。 In the first embodiment, the processing device 1 performs the attachment/detachment operation of the cutting blade 21 when the control device 100 determines that it is time to replace the cutting blade 21 of the cutting unit 20 during the processing operation. The blade replacement timing refers to the timing at which the cutting blade 21 of the cutting unit 20 is replaced. The blade replacement timing is, for example, every time a preset number of workpieces 200 are cut, or the timing when the amount of wear of the cutting blade 21 exceeds a preset value, and is specified as part of the machining content information. It is registered in the control device 100. Further, the blade replacement timing of the present invention may be during the processing of one workpiece 200, or the timing of replacing the workpieces 200 when processing a plurality of workpieces 200 in succession. But it's okay.

着脱動作は、切削ユニット２０の切削ブレード２１を取り外し、ブレードストッカ７０に保持された交換用の切削ブレード２１を切削ユニット２０に取り付ける動作である。即ち、切削ブレード２１の着脱動作は、ブレードストッカ７０に保持された切削ブレード２１と、切削ユニット２０に装着された切削ブレード２１とを交換する動作である。 The attachment/detachment operation is an operation of removing the cutting blade 21 of the cutting unit 20 and attaching a replacement cutting blade 21 held in the blade stocker 70 to the cutting unit 20. That is, the operation of attaching and detaching the cutting blade 21 is an operation of exchanging the cutting blade 21 held in the blade stocker 70 and the cutting blade 21 attached to the cutting unit 20.

着脱動作では、加工装置１は、切削ユニット２０のスピンドル２３の回転を停止する。このとき、開閉弁４０は、開放して、吸引源４１の吸引力により切削ブレード２１が固定フランジ２６に吸引保持されている。着脱動作では、加工装置１は、着脱側移動ユニット８２によりブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、ブレード着脱ユニット８０のブレード着脱部８５をブレードストッカ７０のブレード保持部７２とＹ軸方向に対向させる。 In the attachment/detachment operation, the processing device 1 stops the rotation of the spindle 23 of the cutting unit 20. At this time, the on-off valve 40 is opened and the cutting blade 21 is suctioned and held on the fixed flange 26 by the suction force of the suction source 41. In the attachment/detachment operation, the processing device 1 moves the blade attachment/detachment unit 80 in the X-axis direction by the attachment/detachment side moving unit 82, and aligns the blade attachment/detachment section 85 of the blade attachment/detachment unit 80 with the blade holding section 72 of the blade stocker 70 in the Y-axis direction. to face.

加工装置１は、一方のブレード着脱部８５のロッド８５２を伸張して支持基台８５３をＹ軸方向にブレード保持部７２に近付けて、端面５５を押さえブレード保持部７２に保持されている切削ブレード２１に密着させ、開閉弁８５７を開放して、一方のブレード着脱部８５に交換用の切削ブレード２１を吸引保持する。加工装置１は、一方のブレード着脱部８５のロッド８５２を縮小して支持基台８５３をブレード保持部７２からＹ軸方向に遠ざけて、ブレード保持部７２から切削ブレード２１を取り外す。加工装置１は、制御装置１００が着脱側移動ユニット８２及び移動ユニット３０を制御して、ブレード着脱ユニット８０のナット着脱部８４と切削ユニット２０とをＹ軸方向に対向させる。 The processing device 1 extends the rod 852 of one of the blade attachment/detachment parts 85 to bring the support base 853 closer to the blade holding part 72 in the Y-axis direction, and holds down the end surface 55 of the cutting blade held by the blade holding part 72. 21, open the on-off valve 857, and hold the replacement cutting blade 21 in one of the blade attachment/detachment parts 85 by suction. The processing device 1 retracts the rod 852 of one of the blade attachment/detachment parts 85 to move the support base 853 away from the blade holding part 72 in the Y-axis direction, and removes the cutting blade 21 from the blade holding part 72 . In the processing apparatus 1, the control device 100 controls the attachment/detachment side movement unit 82 and the movement unit 30, so that the nut attachment/detachment part 84 of the blade attachment/detachment unit 80 and the cutting unit 20 are opposed to each other in the Y-axis direction.

加工装置１は、ナット着脱部８４のロッド８４２を伸張して支持基台８４３及び爪８４４をＹ軸方向に切削ユニット２０に近付けて、ナット着脱部８４の爪８４４で固定ナット２８を把持して、ロッド８４２を固定ナット２８が雄ねじ４３４から外れる方向に軸心回りに回転する。加工装置１は、すると、嵌合ピン８４６がピン嵌合穴２８２に嵌合して、ナット着脱部８４の支持基台８４３とともに固定ナット２８が回転する。加工装置１は、ロッド８４２を固定ナット２８が雄ねじ４３４から外れるまで回転させた後、ロッド８４２の回転を停止し、ロッド８４２を縮小して、ナット着脱部８４の支持基台８４３及び爪８４４を切削ユニット２０からＹ軸方向に遠ざけて、固定フランジ２６のボス部４３から固定ナット２８を取り外す。 The processing device 1 extends the rod 842 of the nut attaching/detaching section 84, moves the support base 843 and the claw 844 closer to the cutting unit 20 in the Y-axis direction, and grips the fixing nut 28 with the claw 844 of the nut attaching/detaching section 84. , the rod 842 is rotated around its axis in a direction in which the fixing nut 28 is disengaged from the male thread 434. In the processing apparatus 1, the fitting pin 846 is then fitted into the pin fitting hole 282, and the fixed nut 28 is rotated together with the support base 843 of the nut attaching/detaching section 84. After rotating the rod 842 until the fixing nut 28 comes off the male thread 434, the processing device 1 stops the rotation of the rod 842, reduces the rod 842, and removes the support base 843 and the claw 844 of the nut attachment/detachment part 84. The fixing nut 28 is removed from the boss portion 43 of the fixing flange 26 by moving it away from the cutting unit 20 in the Y-axis direction.

加工装置１は、制御装置１００が着脱側移動ユニット８２及び移動ユニット３０を制御して、ブレード着脱ユニット８０の押さえフランジ着脱部８３と切削ユニット２０とをＹ軸方向に対向させる。 In the processing apparatus 1, the control device 100 controls the attachment/detachment side moving unit 82 and the movement unit 30, so that the holding flange attachment/detachment portion 83 of the blade attachment/detachment unit 80 and the cutting unit 20 are opposed to each other in the Y-axis direction.

加工装置１は、押さえフランジ着脱部８３のロッド８３２を伸張して支持基台８３３及び爪８３４をＹ軸方向に切削ユニット２０に近付けて、押さえフランジ着脱部８３の爪８３４を嵌合溝２７３に嵌合させて、爪８３４で押さえフランジ２７を把持する。加工装置１は、押さえフランジ着脱部８３のロッド８３２を縮小して支持基台８３３及び爪８３４を切削ユニット２０からＹ軸方向に遠ざけて、図８に示すように、切削ユニット２０の固定フランジ２６から押さえフランジ２７を取り外す。このとき、制御装置１００は、開閉弁４０を開放して、切削ブレード２１を固定フランジ２６に吸引保持している。このように、制御装置１００は、押さえフランジ２７を取り外す時に切削ブレード２１が落下しないように開閉弁４０を開放し、切削ブレード２１を固定フランジ２６に吸引保持する。 The processing device 1 extends the rod 832 of the hold-down flange attachment/detachment portion 83 to bring the support base 833 and the claw 834 closer to the cutting unit 20 in the Y-axis direction, and places the nail 834 of the hold-down flange attachment/detachment portion 83 into the fitting groove 273. After fitting, the holding flange 27 is gripped by the claws 834. The processing device 1 reduces the rod 832 of the holding flange attachment/detachment part 83 to move the support base 833 and claws 834 away from the cutting unit 20 in the Y-axis direction, and as shown in FIG. Remove the holding flange 27 from the At this time, the control device 100 opens the on-off valve 40 and holds the cutting blade 21 on the fixed flange 26 by suction. In this manner, the control device 100 opens the on-off valve 40 to prevent the cutting blade 21 from falling when the holding flange 27 is removed, and holds the cutting blade 21 on the fixed flange 26 by suction.

加工装置１は、制御装置１００が着脱側移動ユニット８２及び移動ユニット３０を制御して、ブレード着脱ユニット８０の他方のブレード着脱部８５と固定ナット２８及び押さえフランジ２７が取り外された切削ユニット２０とをＹ軸方向に対向させる。 In the processing device 1, the control device 100 controls the detachable side moving unit 82 and the moving unit 30, and the other blade attachment/detachment portion 85 of the blade attachment/detachment unit 80 and the cutting unit 20 from which the fixing nut 28 and the holding flange 27 have been removed. are opposed in the Y-axis direction.

加工装置１は、他方のブレード着脱部８５のロッド８５２を伸張して支持基台８５３をＹ軸方向にブレード保持部７２に近付けて、端面５５を押さえフランジ２７に装着されている切削ブレード２１に密着させ、開閉弁８５７を開放して、他方のブレード着脱部８５に押さえフランジ２７に装着されている切削ブレード２１を吸引保持する。加工装置１は、開閉弁４０を閉じて、切削ユニット２０の固定フランジ２６の切削ブレード２１の吸引保持を停止し、他方のブレード着脱部８５のロッド８５２を縮小して支持基台８５３を切削ユニット２０からＹ軸方向に沿って遠ざけて、図９に示すように、切削ユニット２０から切削ブレード２１を取り外す。 The processing device 1 extends the rod 852 of the other blade attachment/detachment part 85 to move the support base 853 closer to the blade holding part 72 in the Y-axis direction, and presses the end face 55 to attach the cutting blade 21 attached to the flange 27. Then, the on-off valve 857 is opened, and the cutting blade 21 attached to the presser flange 27 is sucked and held by the other blade attachment/detachment part 85. The processing device 1 closes the on-off valve 40, stops suction and holding of the cutting blade 21 on the fixed flange 26 of the cutting unit 20, reduces the rod 852 of the other blade attachment/detachment part 85, and moves the support base 853 to the cutting unit. 20 along the Y-axis direction, and remove the cutting blade 21 from the cutting unit 20, as shown in FIG.

加工装置１は、制御装置１００が着脱側移動ユニット８２及び移動ユニット３０を制御して、交換用の切削ブレード２１を保持した一方のブレード着脱部８５を、切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、一方のブレード着脱部８５のロッド８５２を伸張して、支持基台８５３を切削ユニット２０にＹ軸方向に沿って近付けて、交換用の切削ブレード２１の装着穴２１２内に固定フランジ２６のボス部４３及びブレード支持用ボス部４３３を順に通して、交換用の切削ブレード２１を固定フランジ２６の支持突起４４２の端面４４３に密に接触させる。 In the processing device 1, the control device 100 controls the detachable side moving unit 82 and the moving unit 30, so that one blade attachment/detachment section 85 holding a replacement cutting blade 21 is connected to the cutting unit 20 from which the cutting blade 21 has been removed. and facing in the Y-axis direction. The processing device 1 extends the rod 852 of one of the blade attachment/detachment parts 85, brings the support base 853 closer to the cutting unit 20 along the Y-axis direction, and fixes it in the attachment hole 212 of the replacement cutting blade 21. The replacement cutting blade 21 is brought into close contact with the end surface 443 of the support protrusion 442 of the fixed flange 26 by passing through the boss portion 43 of the flange 26 and the blade support boss portion 433 in this order.

加工装置１は、制御装置１００が開閉弁４０を開放して、切削ユニット２０の固定フランジ２６に交換用の切削ブレード２１を吸引保持し、開閉弁８５７を閉じて一方のブレード着脱部８５の交換用の切削ブレード２１の吸引保持を解除する。加工装置１は、一方のブレード着脱部８５のロッド８５２を縮小して、一方のブレード着脱部８５の支持基台８５３を切削ユニット２０からＹ軸方向に沿って遠ざけて、切削ユニット２０に交換用の切削ブレード２１を取り付ける。こうして、着脱動作では、加工装置１は、開閉弁４０,８５７の開閉と連動して、ブレード着脱ユニット８０による切削ブレード２１を押さえフランジ２７に装着及び押さえフランジ２７から離脱させる。 In the processing device 1, the control device 100 opens the on-off valve 40, sucks and holds the replacement cutting blade 21 on the fixed flange 26 of the cutting unit 20, closes the on-off valve 857, and replaces one blade attachment/detachment section 85. The suction hold of the cutting blade 21 is released. The processing apparatus 1 reduces the rod 852 of one blade attachment/detachment part 85, moves the support base 853 of one blade attachment/detachment part 85 away from the cutting unit 20 along the Y-axis direction, and attaches it to the cutting unit 20 for replacement. Attach the cutting blade 21. In this manner, in the attachment/detachment operation, the processing device 1 causes the blade attachment/detachment unit 80 to attach the cutting blade 21 to and detach from the press flange 27 in conjunction with the opening/closing of the on-off valves 40, 857.

加工装置１は、制御装置１００が着脱側移動ユニット８２及び移動ユニット３０を制御して、押さえフランジ着脱部８３と切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させた後、押さえフランジ２７を取り外した動作と逆動作を実施して、押さえフランジ２７を切削ユニット２０に取り付ける。加工装置１は、制御装置１００が着脱側移動ユニット８２及び移動ユニット３０を制御して、ナット着脱部８４と切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させた後、固定ナット２８を取り外した動作と逆動作を実施して、固定ナット２８を切削ユニット２０に取り付けて、固定ナット２８で切削ブレード２１をスピンドル２３の先端部に固定する。 The processing device 1 performs an operation in which the control device 100 controls the detachable side moving unit 82 and the moving unit 30 to make the presser flange attachment/detachment part 83 and the cutting unit 20 face each other in the Y-axis direction, and then removes the presser flange 27. A reverse operation is performed to attach the holding flange 27 to the cutting unit 20. In the processing device 1, the control device 100 controls the attachment/detachment side movement unit 82 and the movement unit 30 to make the nut attachment/detachment part 84 and the cutting unit 20 face each other in the Y-axis direction, and then the fixing nut 28 is removed. The operation is performed to attach the fixing nut 28 to the cutting unit 20 and fixing the cutting blade 21 to the tip of the spindle 23 with the fixing nut 28 .

加工装置１は、着脱側移動ユニット８２によりブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を保持した他方のブレード着脱部８５をブレードストッカ７０のブレード保持部７２とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、他方のブレード着脱部８５のロッド８５２を伸張して、他方のブレード着脱部８５の支持基台８５３をブレード保持部７２にＹ軸方向に沿って近付けて、ブレード保持部７２に交換後の切削ブレード２１を保持した後、開閉弁８５７を閉じて他方のブレード着脱部８５の交換後の切削ブレード２１の吸引保持を解除する。加工装置１は、他方のブレード着脱部８５のロッド８５２を縮小して、支持基台８５３をブレード保持部７２からＹ軸方向に沿って遠ざけて、着脱動作を完了する。 The processing apparatus 1 moves the blade attachment/detachment unit 80 in the X-axis direction by the attachment/detachment side moving unit 82, and transfers the other blade attachment/detachment section 85 holding the replaced cutting blade 21 removed from the cutting unit 20 to the blade stocker 70. The blade holder 72 is opposed to the blade holding portion 72 in the Y-axis direction. The processing device 1 extends the rod 852 of the other blade attachment/detachment part 85, brings the support base 853 of the other blade attachment/detachment part 85 closer to the blade holding part 72 along the Y-axis direction, and moves the support base 853 of the other blade attachment/detachment part 85 closer to the blade holding part 72 along the Y-axis direction. After holding the replaced cutting blade 21, the on-off valve 857 is closed to release the suction holding of the replaced cutting blade 21 in the other blade attachment/detachment section 85. The processing device 1 reduces the rod 852 of the other blade attachment/detachment part 85, moves the support base 853 away from the blade holding part 72 along the Y-axis direction, and completes the attachment/detachment operation.

以上説明したように、実施形態１に係る加工装置１は、押さえフランジ２７を切削ユニット２０の固定フランジ２６から取り外す特に、開閉弁４０を開放して、固定フランジ２６に切削ブレード２１を吸引保持する。このために、加工装置１は、押さえフランジ２７を切削ユニット２０の固定フランジ２６から取り外す時に、切削ブレード２１が切削ブレード２１から脱落（落下）することを抑制することができる。その結果、加工装置１は、交換時の切削ブレード２１の破損を抑制することができるという効果を奏する。 As described above, the processing apparatus 1 according to the first embodiment removes the holding flange 27 from the fixed flange 26 of the cutting unit 20, in particular opens the on-off valve 40, and holds the cutting blade 21 on the fixed flange 26 by suction. . For this reason, the processing device 1 can suppress the cutting blade 21 from falling off (falling) from the cutting blade 21 when the holding flange 27 is removed from the fixed flange 26 of the cutting unit 20. As a result, the processing device 1 has the effect of being able to suppress damage to the cutting blade 21 during replacement.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 Note that the present invention is not limited to the above embodiments. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the invention.

１ 加工装置
６ 切削ブレード交換機構
２１ 切削ブレード
２３ スピンドル
２５ フランジ機構
２６ 固定フランジ（固定フランジ部）
２７ 押さえフランジ（押さえフランジ部）
２８ 固定ナット
４０ 開閉弁（バルブ）
４１ 吸引源
４３ ボス部
４５ 吸引孔
４７ 吸引路
８３ 押さえフランジ着脱部
８４ ナット着脱部
８５ ブレード着脱部
１００ 制御装置（制御部）
２１２ 装着穴
２７１ 装着穴
２８１ 雌ねじ
４３４ 雄ねじ
４４１ 支持面 1 Processing device 6 Cutting blade exchange mechanism 21 Cutting blade 23 Spindle 25 Flange mechanism 26 Fixed flange (fixed flange part)
27 Holding flange (holding flange part)
28 Fixing nut 40 Opening/closing valve (valve)
41 Suction source 43 Boss portion 45 Suction hole 47 Suction path 83 Holder flange attachment/detachment portion 84 Nut attachment/detachment portion 85 Blade attachment/detachment portion 100 Control device (control unit)
212 Mounting hole 271 Mounting hole 281 Female thread 434 Male thread 441 Support surface

Claims (2)

中央に装着穴を有する円盤状の切削ブレードを回転軸となるスピンドルに装着するためのフランジ機構を有する加工装置における該切削ブレードを取り外す方法であって、
該フランジ機構は、
先端に雄ねじが形成されたボス部と、該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードを支持する支持面を有した固定フランジ部と、
該ボス部に装着される装着穴を有し、該ボス部に装着された切削ブレードを該固定フランジ部との間に挟持する押さえフランジ部と、
該ボス部の雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成され、該ボス部と締結する事で該押さえフランジ部を介して切削ブレードを固定する固定ナットと、を備え、
該固定フランジ部は、
該支持面に形成され、切削ブレードを吸引固定する吸引孔と、
該吸引孔と吸引源とを連通させる吸引路と、
該吸引路に形成されたバルブと、
該バルブを開閉し吸引を制御する制御部と、を含み、
該切削ブレードを取り外す方法は、
該押さえフランジ部を外す時に切削ブレードが落下しないようにバルブを開放して、切削ブレードを該固定フランジ部に吸引保持し、
該押さえフランジ部を取り外した後に該バルブを閉じて、該固定フランジ部の該切削ブレードの吸引保持を停止し該切削ブレードを取り外すことを特徴とする切削ブレードを取り外す方法。 A method for removing a cutting blade in a processing device having a flange mechanism for mounting a disc-shaped cutting blade having a mounting hole in the center on a spindle serving as a rotating shaft, the method comprising:
The flange mechanism is
a boss portion having a male thread formed at its tip; a fixed flange portion protruding radially from the boss portion and having a support surface supporting the cutting blade;
a holding flange portion having a mounting hole to be mounted to the boss portion and sandwiching the cutting blade mounted to the boss portion between the holding flange portion and the fixed flange portion;
a fixing nut having a female thread formed on the inner periphery that engages with the male thread of the boss portion, and fixing the cutting blade via the holding flange portion by being fastened to the boss portion;
The fixed flange portion is
a suction hole formed in the support surface to suction and fix the cutting blade;
a suction path that communicates the suction hole with a suction source;
a valve formed in the suction path;
A control unit that opens and closes the valve to control suction,
The method for removing the cutting blade is as follows:
Opening the valve so that the cutting blade does not fall when removing the holding flange portion , and suctioning and holding the cutting blade to the fixed flange portion ;
A method for removing a cutting blade, comprising: closing the valve after removing the holding flange portion, stopping suction and holding of the cutting blade by the fixed flange portion, and removing the cutting blade. 該加工装置は、
該フランジ機構に切削ブレードを着脱する切削ブレード交換機構を更に備え、
該切削ブレード交換機構は、
該固定ナットを着脱するナット着脱部と、
該切削ブレードを着脱するブレード着脱部と、
該押さえフランジ部を着脱する押さえフランジ着脱部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の切削ブレードを取り外す方法。 The processing equipment is
Further comprising a cutting blade exchange mechanism for attaching and detaching the cutting blade to the flange mechanism,
The cutting blade exchange mechanism is
a nut attachment/detachment part for attaching and detaching the fixing nut;
a blade attachment/detachment section for attaching and detaching the cutting blade;
a holding flange attaching/detaching part for attaching and detaching the holding flange;
A method for removing a cutting blade according to claim 1, characterized in that the method comprises:
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