JP2014041938A

JP2014041938A - Cutting device

Info

Publication number: JP2014041938A
Application number: JP2012183670A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Maemoku; 芳雄前杢
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-08-22
Filing date: 2012-08-22
Publication date: 2014-03-06

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cutting device for discriminating the kind of a screw inserted in a screw hole of a stationary nut.SOLUTION: The cutting device comprises a chuck table, a spindle unit, display means 80, input means 84, and storage means. The spindle unit is provided with a stationary nut, and the stationary nut is provided with a position display part indicating a position of each weight housing part near the weight housing part. A rotation balance adjusting screen 80a has an input column 82 in which the kind of a weight can be inputted corresponding to a display of the position display part of the weight housing part of the stationary nut. When the cutting device adjusts the rotation balance of the spindle unit, the kind of the weight housed in the weight housing part and the position of the housed weight can be inputted in the input column 82 via input means 84, and stored in the storage means.

Description

本発明は、板状の被加工物を個々のデバイスチップに分割する切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus that divides a plate-like workpiece into individual device chips.

半導体装置製造工程や各種の電子部品製造工程において、ダイシングソーと呼ばれる極薄の切削ブレードを高速に回転させるとともに、切削ブレードの周囲に配設されたノズルから切削ブレード及び被加工物に切削水を掛けながら、被加工物を個々の製品やチップに分割する切削装置は、欠かすことができない。この種の切削装置では、ボンド材とボンド材中に多量に含まれる微小の砥粒（ダイヤモンドや炭化ケイ素等）で構成される刃先の厚さ２０〜２００μｍの切削ブレードを高速に回転させ、被加工物（半導体ウェーハやガラス、セラミックス等）の分割予定ラインをミクロンレベルで粉砕除去し、個々の製品やチップに分割する。 In semiconductor device manufacturing processes and various electronic component manufacturing processes, an ultra-thin cutting blade called a dicing saw is rotated at high speed, and cutting water is supplied to the cutting blade and workpiece from nozzles arranged around the cutting blade. A cutting device that divides a workpiece into individual products and chips while hanging is indispensable. In this type of cutting apparatus, a cutting blade having a cutting edge thickness of 20 to 200 μm composed of a bond material and fine abrasive grains (diamond, silicon carbide, etc.) contained in a large amount in the bond material is rotated at high speed. The planned division line of the workpiece (semiconductor wafer, glass, ceramics, etc.) is pulverized and removed at the micron level and divided into individual products and chips.

この種の切削ブレードは、装着されたスピンドルにより、例えば、３００００ｒｐｍの高速に回転されるが、このように高速回転する切削ブレードによって極めて高精度に切削するためには、切削ブレードの振動は避けなければならない。切削ブレードの振動が発生すると、切削工程により被加工物に形成される切削溝の両側には、多くの欠け（チッピング）が発生し、高精度に切削することができなくなり、切削加工の品質を低下させる可能性があった。 This type of cutting blade is rotated at a high speed of, for example, 30000 rpm by the mounted spindle, but in order to cut with extremely high accuracy by the cutting blade rotating at such a high speed, vibration of the cutting blade must be avoided. I must. When the vibration of the cutting blade occurs, a lot of chipping (chipping) occurs on both sides of the cutting groove formed in the workpiece by the cutting process, making it impossible to cut with high accuracy, and cutting quality is improved. There was a possibility of lowering.

ところで、スピンドルに対する切削ブレードの着脱操作を容易にするためには、スピンドルに取り付けられる固定フランジのボス部と、切削ブレードの貫通孔との間に、数μｍ程度の僅かな隙間を設ける必要がある。このため、スピンドルの回転中心と切削ブレードの回転中心とが合致せずに装着されることが懸念され、合致しない場合には、回転バランスがとれず、スピンドルにより高速に回転される切削ブレードの振動が発生することとなる。 By the way, in order to facilitate the operation of attaching / detaching the cutting blade to / from the spindle, it is necessary to provide a slight gap of about several μm between the boss portion of the fixed flange attached to the spindle and the through hole of the cutting blade. . For this reason, there is a concern that the rotation center of the spindle and the rotation center of the cutting blade do not match, and if they do not match, the rotation of the cutting blade that is rotated at high speed by the spindle is not balanced. Will occur.

また、ボンド材と砥粒との混合状態の偏り、厚さのばらつき等により切削ブレード自体の重量が偏重した場合、貫通孔の開孔位置のばらつき等により切削ブレード自体が偏心した場合等、切削ブレード自体の回転バランスがとれていない場合にも、切削ブレードの振動が発生することとなる。 In addition, when the weight of the cutting blade itself is deviated due to deviation in the mixed state of the bond material and abrasive grains, thickness variation, etc., or when the cutting blade itself is decentered due to variation in the opening position of the through hole, etc. Even when the rotational balance of the blade itself is not balanced, the vibration of the cutting blade is generated.

そこで、回転バランスを調整するために、ネジ穴が複数設けられたバランス調整用固定ナットを固定フランジに組み付け、スピンドルの振動方向と振動量とを測定するバランサーと呼ばれる測定器を装着し、検出されたアンバランスを相殺させるため、測定器から指示されるバランス調整用固定ナットの特定のネジ穴に、指示通りの重さのネジを挿入する回転バランス調整工程を実施する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。 Therefore, in order to adjust the rotation balance, a balance adjustment fixing nut with a plurality of screw holes is assembled to the fixing flange, and a measuring instrument called a balancer that measures the vibration direction and amount of vibration of the spindle is attached and detected. In order to cancel the unbalance, a technique for performing a rotation balance adjustment process in which a screw having a weight as instructed is inserted into a specific screw hole of a balance adjustment fixing nut instructed by a measuring instrument is known ( For example, see Patent Document 1).

また、切削ブレードを固定フランジと協働して狭持した際、前端面となる表面から測定器の指示通りの重さのネジを挿入できるネジ穴を所定の間隔をおいて複数備え、ネジ穴の近傍には、各ネジ穴の位置を示す表示部が設けられたバランス調整用固定ナットが提案されている（例えば、特許文献２参照）。 In addition, when the cutting blade is sandwiched in cooperation with the fixed flange, a plurality of screw holes can be inserted at predetermined intervals from the front end surface so that screws having a weight as instructed by the measuring instrument can be inserted. Has been proposed a balance adjusting fixing nut provided with a display portion indicating the position of each screw hole (see, for example, Patent Document 2).

特開２００１−１２９７４３号公報JP 2001-129743 A 特願２０１１−２５６１９６号Japanese Patent Application No. 2011-256196

数ｍｍ程度の非常に小さなネジであり錘であるイモネジは、通常はイモネジケース内で種類（重さ）ごとに区分けされていることから、イモネジを種類（重さ）ごとに区別する必要があり、バランス調整用固定ナットのどのネジ穴にどの種類（重さ）のネジが挿入されていたのか不明確となった場合、バランス調整用固定ナットの特定のネジ穴から取り出したイモネジの重さを再度測定しなければならないという手間が掛かった。 Imamo screws, which are very small screws of about several millimeters and are weights, are usually classified according to type (weight) within the imemo screw case, so it is necessary to distinguish imemo screws by type (weight). If it is unclear which type (weight) of screw was inserted into which screw hole of the balance adjustment fixing nut, the weight of the captive screw removed from the specific screw hole of the balance adjustment fixing nut It took time and effort to measure again.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、高速回転する切削ブレードのアンバランスを相殺させて振動を避けるための固定ナットについて、錘であるネジの重さを再度測定する手間を簡略化させ、固定ナットのネジ穴に挿入されたネジの種類を判別させるための切削装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and for the fixed nut for canceling the unbalance of the cutting blade rotating at high speed and avoiding vibration, the labor of re-measuring the weight of the screw as the weight is simplified. An object of the present invention is to provide a cutting device for making the type of a screw inserted into a screw hole of a fixing nut distinctive.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を切削加工する切削装置であって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工するスピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードとからなるスピンドルユニットと、該切削装置の運転制御に関する情報を表示する表示手段と、該表示手段に所望の情報を入力する入力手段と、該切削装置の運転制御に関する情報を記憶する記憶手段と、を備え、該スピンドルユニットは、該スピンドルに固定される固定フランジと該固定フランジと狭持して該切削ブレードを該スピンドルに固定する固定ナットを備え、該固定ナットは、該切削ブレードを該固定フランジとで狭持した際前端面となる表面からバランス取り用の錘を挿入できる錘収容部を周方向に所定の間隔をおいて複数備え、該表面の該錘収容部の近傍には各錘収容部の位置を示す位置表示部を備え、該表示手段が表示する回転バランス調整画面は、該固定ナットの該錘収容部の該位置表示部の表示に対応した入力欄に該錘の種類を入力可能な入力欄を有し、該スピンドルユニットの回転バランスを調整する際に、該錘収容部に収容する該錘の種類と収容した該錘収容部の位置とを該入力欄に該入力手段を介して入力し、該記憶手段に記憶可能であることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a cutting apparatus according to the present invention is a cutting apparatus for cutting a workpiece, a chuck table for holding the workpiece, and a chuck table for holding the workpiece. A spindle unit comprising a spindle for machining the workpiece and a cutting blade mounted on the spindle; display means for displaying information relating to operation control of the cutting apparatus; and inputting desired information to the display means And an input means for storing, and a storage means for storing information relating to operation control of the cutting apparatus. The spindle unit is fixed to the spindle and the fixing flange is sandwiched between the cutting blade and the cutting blade. A fixing nut for fixing to the spindle is provided, and the fixing nut is balanced from the surface that becomes the front end face when the cutting blade is held between the fixing flange and the fixing blade. A plurality of weight accommodating portions into which a weight for insertion can be inserted at a predetermined interval in the circumferential direction, a position display portion indicating the position of each weight accommodating portion is provided in the vicinity of the weight accommodating portion on the surface, and the display means The rotation balance adjustment screen displayed by has a field for inputting the type of the weight in an input field corresponding to the display of the position display part of the weight housing part of the fixing nut, and the rotation balance of the spindle unit. When adjusting the weight, the type of the weight accommodated in the weight accommodating portion and the position of the accommodated weight accommodating portion can be input to the input field via the input means and stored in the storage means. It is characterized by.

本発明の切削装置によれば、固定ナットの錘収容部に挿入された錘の種類と位置とを切削ブレードの交換時等まで一対一で対応づけて記憶することができるため、切削ブレードの交換時等において固定ナットから錘を取り外す際、錘の種類を判別することができるという効果を奏する。 According to the cutting device of the present invention, since the type and position of the weight inserted into the weight housing portion of the fixed nut can be stored in a one-to-one correspondence until the cutting blade is replaced, the cutting blade can be replaced. When removing the weight from the fixed nut at times, the type of weight can be determined.

図１は、実施形態に係る切削装置の全体の構成例を示す図である。Drawing 1 is a figure showing the example of composition of the whole cutting device concerning an embodiment. 図２は、実施形態に係る切削装置のスピンドルユニットの構成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a spindle unit of the cutting apparatus according to the embodiment. 図３は、実施形態に係るスピンドルユニットの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the spindle unit according to the embodiment. 図４は、実施形態に係る固定ナットの構成例を示す正面図である。FIG. 4 is a front view illustrating a configuration example of the fixing nut according to the embodiment. 図５は、実施形態に係る切削装置の制御系の構成例を示す概略ブロック図である。FIG. 5 is a schematic block diagram illustrating a configuration example of a control system of the cutting apparatus according to the embodiment. 図６は、実施形態に係る切削装置の表示手段の「回転バランス修正画面」の操作画面の表示例を示す正面図である。FIG. 6 is a front view illustrating a display example of the operation screen of the “rotation balance correction screen” of the display unit of the cutting apparatus according to the embodiment. 図７は、実施形態に係るイモネジケースの構成例を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view illustrating a configuration example of the ginger screw case according to the embodiment. 図８は、実施形態に係る切削装置の回転バランス修正作業における作業処理の手順例を示す概略フローである。FIG. 8 is a schematic flow illustrating an example of a procedure of work processing in the rotation balance correction work of the cutting device according to the embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る切削装置の全体の構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る切削装置のスピンドルユニットの構成例を示す図である。図３は、実施形態に係るスピンドルユニットの分解斜視図である。図４は、実施形態に係る固定ナットの構成例を示す正面図である。図５は、実施形態に係る切削装置の制御系の構成例を示す概略ブロック図である。図６は、実施形態に係る切削装置の表示手段の「回転バランス修正画面」の操作画面の表示例を示す正面図である。図７は、実施形態に係るイモネジケースの構成例を示す斜視図である。図８は、実施形態に係る切削装置の回転バランス修正作業における作業処理の手順例を示す概略フローである。 Embodiment
Drawing 1 is a figure showing the example of composition of the whole cutting device concerning an embodiment. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a spindle unit of the cutting apparatus according to the embodiment. FIG. 3 is an exploded perspective view of the spindle unit according to the embodiment. FIG. 4 is a front view illustrating a configuration example of the fixing nut according to the embodiment. FIG. 5 is a schematic block diagram illustrating a configuration example of a control system of the cutting apparatus according to the embodiment. FIG. 6 is a front view illustrating a display example of the operation screen of the “rotation balance correction screen” of the display unit of the cutting apparatus according to the embodiment. FIG. 7 is a perspective view illustrating a configuration example of the ginger screw case according to the embodiment. FIG. 8 is a schematic flow illustrating an example of a procedure of work processing in the rotation balance correction work of the cutting device according to the embodiment.

図１に示す実施形態に係る切削装置１は、チャックテーブル１０に保持されたウェーハＷ（被加工物に相当）に切削加工を施し、個々のデバイスチップＤに分割するものである。 A cutting apparatus 1 according to the embodiment shown in FIG. 1 cuts a wafer W (corresponding to a workpiece) held on a chuck table 10 and divides it into individual device chips D.

ここで、被加工物としてのウェーハＷは、切削加工される加工対象であり、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、矩形のガラス板、樹脂基板等である。ウェーハＷは、図２に示すように、表面Ｗａに形成された複数のデバイスＤが複数のストリートＳによって格子状に区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の半導体チップ構成のデバイスＤが形成されている。ウェーハＷは、表面Ｗａの反対側の裏面に粘着テープＴが貼着され、粘着テープＴに環状フレームＦが貼着されることで、環状フレームＦに固定され、切削装置１により粘着テープＴを残してストリートＳに切削加工が施されて、デバイスＤに分割される。 Here, the wafer W as a workpiece is an object to be machined and is a disk-shaped semiconductor wafer or optical device wafer having a base material of silicon, sapphire, gallium, etc., a rectangular glass plate, a resin substrate. Etc. As shown in FIG. 2, the wafer W is divided into a plurality of devices D formed on the surface Wa in a lattice pattern by a plurality of streets S, and a device D having a semiconductor chip configuration such as an IC or an LSI is formed in the divided area. Is formed. The wafer W is fixed to the annular frame F by adhering the adhesive tape T to the back surface opposite to the front surface Wa, and adhering the annular frame F to the adhesive tape T. The cutting device 1 attaches the adhesive tape T to the wafer W. The street S is left to be cut and divided into devices D.

切削装置１は、図１に示すように、搬出入領域Ｏと、加工領域Ｐと、搬出入領域Ｏと加工領域Ｐとに亘ってＸ軸移動手段３０（加工送り手段に相当。図５に示す）により移動自在に設けられたチャックテーブル１０とを備えている。チャックテーブル１０は、表面１０ａ（保持面に相当）を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引源により、搬出入領域Ｏにおいて表面１０ａに載置されたウェーハＷを吸引保持する。 As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 has an X-axis moving unit 30 (corresponding to a processing feed unit, which corresponds to a processing feeding unit. And a chuck table 10 provided movably. The chuck table 10 has a disk shape in which a portion constituting the surface 10a (corresponding to the holding surface) is formed of porous ceramic or the like, and a wafer placed on the surface 10a in the loading / unloading region O by a vacuum suction source (not shown). W is sucked and held.

また、加工領域Ｐには、チャックテーブル１０で保持されたウェーハＷの上方に位置し、ウェーハＷに切削水を供給しつつ切削加工するスピンドルユニット４が設けられている。スピンドルユニット４は、チャックテーブル１０に保持されたウェーハＷに対して、Ｙ軸移動手段４０（割り出し送り手段に相当。図５に示す）によりＸ軸方向に直交するＹ軸方向（割り出し方向に相当）に移動せしめられ、かつ、Ｚ軸移動手段５０（切り込み送り手段に相当。図５に示す）によりＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向（深さ方向に相当）に移動せしめられる。 In the processing region P, a spindle unit 4 is provided that is positioned above the wafer W held by the chuck table 10 and performs cutting while supplying cutting water to the wafer W. The spindle unit 4 corresponds to the Y-axis direction (corresponding to the indexing direction) perpendicular to the X-axis direction by the Y-axis moving means 40 (corresponding to the indexing feeding means, shown in FIG. 5) with respect to the wafer W held on the chuck table 10. ) And is moved in the Z-axis direction (corresponding to the depth direction) perpendicular to the X-axis direction and the Y-axis direction by the Z-axis moving means 50 (corresponding to the cutting feed means, shown in FIG. 5). .

スピンドルユニット４は、図示しないブレード駆動源により回転駆動されるスピンドル２６（図３に示す）の先端に着脱交換自在に取り付けられる切削ブレード２１を備えており、切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石であり、回転することでウェーハＷに切削加工を施す。また、スピンドルユニット４は、図２に示すように、切削ブレード２１の下部側表裏面に対向して切削水を噴射するブレードクーラー用のノズル２２を備えており、ノズル２２は、切削ブレード２１及び切削ブレード２１が切削するウェーハＷの切削箇所に向かって切削水を噴射する。スピンドルユニット４は、加工領域Ｐにおいて、Ｙ軸移動手段４０及びＺ軸移動手段５０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動されて、切削ブレード２１を回転させながらノズル２２から切削水を噴射させることで、チャックテーブル１０に保持されたウェーハＷに切削加工を施す。 The spindle unit 4 includes a cutting blade 21 that is detachably attached to the tip of a spindle 26 (shown in FIG. 3) that is rotationally driven by a blade drive source (not shown). The cutting blade 21 has a substantially ring shape. It is an ultrathin cutting grindstone, and the wafer W is cut by rotating. Further, as shown in FIG. 2, the spindle unit 4 includes a blade cooler nozzle 22 that jets cutting water so as to face the lower side front and back surfaces of the cutting blade 21, and the nozzle 22 includes the cutting blade 21 and the cutting blade 21. Cutting water is sprayed toward the cutting portion of the wafer W to be cut by the cutting blade 21. The spindle unit 4 is moved in the Y-axis direction and the Z-axis direction by the Y-axis moving unit 40 and the Z-axis moving unit 50 in the processing region P, and jets cutting water from the nozzle 22 while rotating the cutting blade 21. Thus, the wafer W held on the chuck table 10 is cut.

また、スピンドルユニット４は、図３に示すように、固定フランジ４１のフランジ部４７と着脱フランジ４２とにより切削ブレード２１が狭持されているとともに、固定ボルト４４により固定フランジ４１がスピンドル２６に固定されており、切削ブレード２１は、いわゆるワッシャーブレードである。固定フランジ４１は、切削ブレード２１及び着脱フランジ４２が装着されるボス部４８を備え、ボス部４８の外周面には、固定ナット４３の内周面に形成された雌ネジ５１にねじ込まれる雄ネジ４９が設けられている。 Further, as shown in FIG. 3, the spindle unit 4 includes the cutting blade 21 held between the flange portion 47 of the fixing flange 41 and the detachable flange 42, and the fixing flange 41 is fixed to the spindle 26 by the fixing bolt 44. The cutting blade 21 is a so-called washer blade. The fixed flange 41 includes a boss portion 48 to which the cutting blade 21 and the detachable flange 42 are attached. A male screw screwed into a female screw 51 formed on the inner peripheral surface of the fixing nut 43 is provided on the outer peripheral surface of the boss portion 48. 49 is provided.

固定ナット４３は、固定フランジ４１と着脱フランジ４２とにより切削ブレード２１を狭持した状態で着脱フランジ４２を固定するためのものであり、スピンドル２６の回転バランス及び切削ブレード２１の回転バランス、すなわちスピンドルユニット４の回転バランスをとるためのものである。固定ナット４３は、図３及び図４に示すように、切削ブレード２１を固定フランジ４１とで狭持した際、切削ブレード２１に対して反対側となる面であるとともに前端面となる表面４３ａからバランス取り用の錘４５を挿入できる複数の錘収容部５３−１〜５３−８を周方向に所定の間隔をおいて備えている。 The fixing nut 43 is for fixing the detachable flange 42 in a state in which the cutting blade 21 is held between the fixing flange 41 and the detachable flange 42, and the rotation balance of the spindle 26 and the rotation balance of the cutting blade 21, that is, the spindle This is for balancing the rotation of the unit 4. As shown in FIGS. 3 and 4, the fixing nut 43 is a surface opposite to the cutting blade 21 when the cutting blade 21 is held between the fixing flange 41 and from a surface 43 a serving as a front end surface. A plurality of weight accommodating portions 53-1 to 53-8 into which a balancing weight 45 can be inserted are provided at predetermined intervals in the circumferential direction.

また、固定ナット４３には、錘収容部５３−１〜５３−８の位置と異なる箇所の周方向に所定の間隔をおいて、固定フランジ４１に対して固定ナット４３を着脱させるための図示しない着脱治具の係合ピンと係合する係合孔４３ｂが複数設けられている。係合孔４３ｂは、本実施形態では、固定ナット４３の厚み方向に貫通する孔部にて構成され、表面４３ａの周方向に均等な間隔をおいて４箇所に配置されている。 In addition, the fixing nut 43 is not shown for attaching and detaching the fixing nut 43 to and from the fixing flange 41 at a predetermined interval in the circumferential direction at locations different from the positions of the weight accommodating portions 53-1 to 53-8. A plurality of engagement holes 43b that engage with the engagement pins of the attachment / detachment jig are provided. In the present embodiment, the engagement holes 43b are configured by holes penetrating in the thickness direction of the fixing nut 43, and are arranged at four locations at equal intervals in the circumferential direction of the surface 43a.

錘収容部５３−１〜５３−８のそれぞれは、本実施形態では、図４に示すように、固定ナット４３の表面４３ａの周方向に互いに均等な間隔をおいて８箇所に配置されている。錘収容部５３−１〜５３−８は、固定ナット４３の表面４３ａから厚み方向に向かって形成された孔部にて構成されている。また、各錘収容部５３−１〜５３−８には、錘４５を適宜挿入することができるが、通常は各錘収容部５３−１〜５３−８の３箇所程度に錘４５が挿入される。各錘収容部５３−１〜５３−８の近傍には、各錘収容部５３−１〜５３−８の位置を示す位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８が設けられている。 In the present embodiment, each of the weight accommodating portions 53-1 to 53-8 is arranged at eight positions at equal intervals in the circumferential direction of the surface 43a of the fixing nut 43 as shown in FIG. . The weight accommodating portions 53-1 to 53-8 are configured by holes formed in the thickness direction from the surface 43a of the fixing nut 43. In addition, the weight 45 can be appropriately inserted into each of the weight housing portions 53-1 to 53-8, but usually the weight 45 is inserted into about three places of each of the weight housing portions 53-1 to 53-8. The Position display portions M-1 to M-8 indicating the positions of the respective weight housing portions 53-1 to 53-8 are provided in the vicinity of the respective weight housing portions 53-1 to 53-8.

ここで、バランス取り用の錘４５は、いわゆるイモネジ（ネジ頭部の径とネジ部の径とが同じであるネジ。六角穴付き止めネジとも呼ばれる）にて構成され、その軸方向端部には、六角棒スパナ等の工具が係合され得る係合孔４５ａが設けられている。錘４５は、図７に示すように、通常はイモネジケース７０に収納されており、イモネジケース７０は、特定の種類（重さ）ごとに区分けされた区画７０ａを複数備えている。各区画７０ａは、特定の種類（重さ）であることを識別するための図示しない識別手段を備え、識別手段に対応する特定の種類（重さ）の錘４５を保管している。 Here, the balancing weight 45 is constituted by a so-called potato screw (screw having the same screw head diameter and screw portion diameter, also referred to as a hexagonal socket set screw), and at its axial end. Is provided with an engagement hole 45a into which a tool such as a hexagon wrench can be engaged. As shown in FIG. 7, the weight 45 is normally housed in a female screw case 70, and the female screw case 70 includes a plurality of sections 70 a divided according to specific types (weights). Each section 70a includes an identification unit (not shown) for identifying a specific type (weight) and stores a weight 45 of a specific type (weight) corresponding to the identification unit.

位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８は、固定ナット４３の表面４３ａを臨む正面視において、錘収容部５３−１〜５３−８から錘収容部５３−１〜５３−８の孔半径と略同一距離だけ離れた位置に設けられているため、各錘収容部５３−１〜５３−８に一対一で対応していることが容易に目視で確認できる。位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８は、例えば、固定ナット４３の表面４３ａにエッチング処理や機械加工等により形成され、各位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８が表面４３ａから容易に消えないように構成されている。なお、各位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８の形態については特に限定するものではないが、本実施形態においては、「１〜８」のアラビア数字で表示し、回転バランスを測定する図示しない測定器において特定される「１〜８」の位置に対応させているため、例えば、測定器にて位置が「２」、重さが「２０」と表示された場合、図４に示すように、アラビア数字の「２」を表す位置表示部Ｍ−２に対応する錘収容部５３−２に、重さが「２０」であるバランス取り用の錘４５を挿入することで、回転のアンバランスの解消を図ることができる。本実施形態においては、錘４５の重さの単位はミリグラム（ｍｇ）である。 The position display portions M-1 to M-8 are substantially the same as the hole radii of the weight housing portions 53-1 to 53-8 to the weight housing portions 53-1 to 53-8 in a front view facing the surface 43a of the fixing nut 43. Since they are provided at positions separated by the same distance, it can be easily visually confirmed that they correspond to the respective weight housing portions 53-1 to 53-8 in a one-to-one correspondence. The position display parts M-1 to M-8 are formed, for example, on the surface 43a of the fixing nut 43 by etching or machining, and the position display parts M-1 to M-8 are not easily removed from the surface 43a. It is configured as follows. In addition, although it does not specifically limit about the form of each position display part M-1 to M-8, In this embodiment, it displays by the Arabic numeral "1-8", and measures the rotation balance (not shown) Since it corresponds to the position “1-8” specified in the measuring instrument, for example, when the position “2” and the weight “20” are displayed on the measuring instrument, as shown in FIG. Unbalance of rotation by inserting a weight 45 for balancing with a weight of “20” into the weight housing portion 53-2 corresponding to the position display portion M-2 representing the Arabic numeral “2”. Can be eliminated. In this embodiment, the unit of weight of the weight 45 is milligram (mg).

ここで、スピンドルユニット４、Ｘ軸移動手段３０、Ｙ軸移動手段４０及びＺ軸移動手段５０の動作を制御する制御手段６０は、図５に示すように、例えば、ＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え、切削装置１全体の制御を司るマイクロプロセッサ６１を主体に構成されている。スピンドルユニット４、Ｘ軸移動手段３０、Ｙ軸移動手段４０、Ｚ軸移動手段５０及びその他の構成要素９０は、マイクロプロセッサ６１に接続されてマイクロプロセッサ６１により加工動作、移動動作等の動作が制御される。また、マイクロプロセッサ６１は、表示手段８０に対して必要な表示情報を記憶部６３やパネル表示画面記憶部６４から読み出して表示制御部６２を介して表示内容を表示するとともに、表示手段８０上で指示操作された入力情報を解析し、各部の動作制御、表示制御等に供する。パネル表示画面記憶部６４には、各種モードに応じた操作キー等の表示パターンが設定された操作画面を表示するための表示画面情報が格納されている。 Here, the control means 60 for controlling the operations of the spindle unit 4, the X-axis moving means 30, the Y-axis moving means 40, and the Z-axis moving means 50 is, for example, an arithmetic operation constituted by a CPU or the like as shown in FIG. A processing device, a ROM, a RAM, and the like are provided, and the microprocessor 61 that controls the entire cutting device 1 is mainly configured. The spindle unit 4, the X-axis moving unit 30, the Y-axis moving unit 40, the Z-axis moving unit 50, and other components 90 are connected to the microprocessor 61 and the microprocessor 61 controls operations such as machining operation and moving operation. Is done. The microprocessor 61 reads necessary display information for the display unit 80 from the storage unit 63 and the panel display screen storage unit 64 and displays the display contents via the display control unit 62. The input information that has been instructed is analyzed and used for operation control and display control of each unit. The panel display screen storage unit 64 stores display screen information for displaying an operation screen in which a display pattern such as operation keys according to various modes is set.

表示手段８０は、切削装置１の筐体において見やすくて操作しやすい箇所に配置され、制御手段６０による制御の下に、加工処理等に伴う必要な各種情報を表示する表示パネルであるとともに、加工処理等に必要な加工条件、回転バランスの調整に必要な固定ナット４３の種類及び錘４５の種類と位置、その他の情報の入力設定操作のためのボタン表示等がなされる操作画面を表示するタッチパネル構成のものである。 The display means 80 is a display panel that is arranged in a place that is easy to see and operate in the casing of the cutting apparatus 1 and that displays various information necessary for processing and the like under the control of the control means 60. A touch panel that displays an operation screen for displaying processing conditions necessary for processing, types of fixing nuts 43 and types and positions of weights 45 necessary for adjusting the rotation balance, and buttons for inputting and setting other information. It is a thing of composition.

また、制御手段６０による制御の下に実行される本実施形態の表示手段８０に表示される操作画面は、操作画面の一つとして、切削ブレード２１の交換時等に、図６に示すように、回転バランス調整画面である「回転バランス修正」用の操作画面８０ａを表示する。この「回転バランス修正」用の操作画面８０ａにおいては、固定ナット４３の表面４３ａに臨む正面視の図であるとともに固定ナット４３の位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８の表示に対応した入力欄である固定ナット図８１、固定ナット４３の表面４３ａに設けられた錘収容部５３−１〜５３−８の位置に対応して配置されるとともに錘４５の種類（重さ）の数値が入力される入力欄８２、固定ナット４３の表面４３ａに設けられた錘収容部５３−１〜５３−８の個数を選択するための「固定ナット種類選択」ボタン８３、固定ナット４３の表面４３ａに設けられた錘収容部５３−１〜５３−８に挿入される錘４５の種類（重さ）の数値を入力するための入力手段である「数値入力」ボタン８４が表示される。また、操作画面８０ａにおいては、本実施形態では、例えばその最上部の一部分で画面表示及びオペレータ等の作業員による操作に支障のない領域に、バランス修正用の操作画面８０ａであることを示す表示部８６が表示される。 Further, the operation screen displayed on the display unit 80 of the present embodiment executed under the control of the control unit 60 is one of the operation screens as shown in FIG. 6 when the cutting blade 21 is replaced. Then, the “rotation balance correction” operation screen 80a which is a rotation balance adjustment screen is displayed. In the operation screen 80a for “rotation balance correction”, an input field corresponding to the display of the position display portions M-1 to M-8 of the fixing nut 43 is a front view facing the surface 43a of the fixing nut 43. The fixed nuts are arranged in correspondence with the positions of the weight accommodating portions 53-1 to 53-8 provided on the surface 43a of the fixed nut 43, and the numerical value of the type (weight) of the weight 45 is input. Input field 82, “fixed nut type selection” button 83 for selecting the number of weight accommodating portions 53-1 to 53-8 provided on the surface 43 a of the fixing nut 43, and provided on the surface 43 a of the fixing nut 43. A “numerical value input” button 84 that is an input means for inputting the numerical value of the type (weight) of the weight 45 inserted into the weight accommodating portions 53-1 to 53-8 is displayed. In the operation screen 80a, in the present embodiment, for example, a display indicating that the operation screen 80a is used for balance correction in a region where there is no hindrance to the screen display and operation by an operator such as an operator in a part of the uppermost part. A portion 86 is displayed.

固定ナット図８１は、固定ナット４３の表面４３ａに臨む正面視を模式的に図形化したものである。本実施形態では、固定ナット図８１には、各錘収容部５３−１〜５３−８の配置に対応した箇所に各錘収容部５３−１〜５３−８を模式的に図形化した円形状の図形が８箇所に表示されているとともに、固定ナット４３の各位置表示部Ｍ−１〜Ｍ−８を示すアラビア数字の１〜８の配置に対応した箇所にアラビア数字の１〜８が表示されている。 FIG. 81 is a schematic diagram of the front view facing the surface 43a of the fixing nut 43. As shown in FIG. In the present embodiment, the fixed nut in FIG. 81 is a circular shape in which the weight accommodating portions 53-1 to 53-8 are schematically illustrated at locations corresponding to the arrangement of the weight accommodating portions 53-1 to 53-8. Are displayed at 8 locations, and Arabic numerals 1-8 are displayed at locations corresponding to the positions of Arabic numerals 1-8 indicating the position display portions M-1 to M-8 of the fixing nut 43. Has been.

入力欄８２は、オペレータ等の作業員の押下操作により選択可能に表示されているとともに、オペレータ等の作業員による「数値入力」ボタン８４の押下操作で数値入力可能に表示されている。また、入力欄８２は、本実施形態では、固定ナット図８１の周囲の８箇所に配置されている。 The input field 82 is displayed so as to be selectable by a pressing operation by a worker such as an operator, and is displayed so that a numerical value can be input by pressing a “numerical value input” button 84 by a worker such as an operator. Moreover, the input column 82 is arrange | positioned at eight places around the fixed nut FIG. 81 in this embodiment.

「固定ナット種類選択」ボタン８３には、錘収容部５３−１〜５３−８が６個である場合に対応した「分割穴６」ボタン８３ａ、錘収容部５３−１〜５３−８が８個である場合に対応した「分割穴８」ボタン８３ｂが押下操作可能に表示されている。「分割穴６」ボタン８３ａは、オペレータ等の作業員の押下操作により、錘収容部５３−１〜５３−８が６個配置された固定ナット４３に対応した固定ナット図８１を表示するとともに、固定ナット４３の各錘収容部５３−１〜５３−８の配置に対応した６箇所に入力欄８２を表示する。「分割穴８」ボタン８３ｂは、オペレータ等の作業員の押下操作により、上述のように錘収容部５３−１〜５３−８が８個配置された固定ナット４３に対応した固定ナット図８１を表示するとともに、固定ナット４３の各錘収容部５３−１〜５３−８の配置に対応した８箇所に入力欄８２を表示する。 The “fixed nut type selection” button 83 includes eight “divided hole 6” buttons 83a and eight weight accommodating portions 53-1 to 53-8 corresponding to the case where there are six weight accommodating portions 53-1 to 53-8. A “divided hole 8” button 83b corresponding to the case of the individual is displayed so as to be pressed. The “divided hole 6” button 83a displays a fixed nut FIG. 81 corresponding to the fixed nut 43 in which six weight accommodating portions 53-1 to 53-8 are arranged by the pressing operation of an operator such as an operator. Input fields 82 are displayed at six locations corresponding to the arrangement of the respective weight accommodating portions 53-1 to 53-8 of the fixing nut 43. The “divided hole 8” button 83b is a fixed nut corresponding to the fixed nut 43 in which the eight weight accommodating portions 53-1 to 53-8 are arranged as described above by pressing the operator such as an operator. While displaying, the input column 82 is displayed in eight places corresponding to arrangement | positioning of each weight accommodating part 53-1 to 53-8 of the fixing nut 43. FIG.

「数値入力」ボタン８４は、錘４５の種類（重さ）を入力するための「数字」ボタン８４ａ、「数字」ボタン８４ａにより入力欄８２に入力した数値を確定して保存するための「Ｅｎｔｅｒ」ボタン８４ｂが押下操作可能に表示されている。「数字」ボタン８４ａは、アラビア数字の０〜９を入力するための「０」〜「９」ボタン、入力欄８２中の数値をリセット又は数値入力の効率化のための「００」ボタン、小数点を入力するための「．」ボタンを備えている。「０」〜「９」ボタン、「００」ボタン及び「．」ボタンは、押下操作可能に表示されている。また、「００」ボタンは、オペレータ等の作業員が入力欄８２を押下操作して選択した後、オペレータ等の作業員が「００」ボタンを押下操作することにより、選択された入力欄８２中に数値「００」を入れてリセットする。 The “numerical value input” button 84 is a “numeral” button 84a for inputting the type (weight) of the weight 45, and an “enter” for confirming and storing the numerical value input in the input field 82 by the “numeric” button 84a. "Button 84b is displayed so that it can be pressed. The “number” button 84a includes “0” to “9” buttons for inputting Arabic numerals 0 to 9, a “00” button for resetting a numerical value in the input field 82 or improving the efficiency of numerical input, and a decimal point. "." Button for inputting. The “0” to “9” buttons, the “00” button, and the “.” Button are displayed so that they can be pressed. The “00” button is selected by the operator such as an operator pressing the input field 82 and then the operator such as the operator pressing the “00” button. Enter the value “00” in to reset.

ここで、図４、図６〜図８を参照して、切削ブレード２１の回転バランス修正を行う場合について説明する。まず、オペレータ等の作業員が固定フランジ４１をスピンドル２６に取り付け、切削ブレード２１、着脱フランジ４２及び固定ナット４３を順次固定フランジ４１に取り付け、切削装置１の初期設定を行う。次に、オペレータ等の作業員が表示手段８０を操作して＜回転バランス修正＞の操作画面８０ａを呼び出し（ステップＳＴ１）、オペレータ等の作業員が「固定ナット種類選択」ボタン８３の「分割穴８」ボタン８３ｂを押下操作して固定ナット４３の種類を選択し（ステップＳＴ２）、バランスを測定するバランサーと呼ばれる図示しない測定器が切削ブレード２１の回転バランスを測定する（ステップＳＴ３）。回転バランスの測定作業は、始めに錘４５を固定ナット４３に挿入せずにスピンドル２６を回転させてバランスを測定し、次に５３−１〜５３−８のうちの所定の錘収容部に所定の重さの錘４５（例えば５ｍｇ）を挿入した後、再度スピンドル２６を回転させてバランスを測定することで、回転バランス修正に必要な錘４５の種類（重さ）と錘収容部５３−１〜５３−８のうちの必要な位置とを割り出す。本実施形態では、例えば、測定器により、切削ブレード２１の回転バランスのアンバランスを相殺させるために錘４５を挿入する位置として「２」、挿入する錘４５の重さとして「２０」が表示される。 Here, the case where the rotation balance of the cutting blade 21 is corrected will be described with reference to FIGS. 4 and 6 to 8. First, a worker such as an operator attaches the fixing flange 41 to the spindle 26, attaches the cutting blade 21, the detachable flange 42, and the fixing nut 43 to the fixing flange 41 in order, and performs an initial setting of the cutting apparatus 1. Next, an operator or the like operates the display unit 80 to call the <rotation balance correction> operation screen 80a (step ST1), and the operator or the like operates the "fixed nut type selection" button 83 "divided hole". The “8” button 83b is pressed to select the type of the fixing nut 43 (step ST2), and a measuring instrument (not shown) called a balancer for measuring the balance measures the rotational balance of the cutting blade 21 (step ST3). The rotation balance is measured by first measuring the balance by rotating the spindle 26 without inserting the weight 45 into the fixed nut 43, and then measuring the balance in a predetermined weight receiving portion of 53-1 to 53-8. After inserting the weight 45 (for example, 5 mg) of the weight, the spindle 26 is rotated again and the balance is measured, so that the type (weight) of the weight 45 necessary for the rotational balance correction and the weight housing portion 53-1. Determine the required position of ~ 53-8. In the present embodiment, for example, the measuring instrument displays “2” as the position where the weight 45 is inserted in order to cancel the unbalance in the rotational balance of the cutting blade 21 and “20” as the weight of the weight 45 to be inserted. The

次に、測定器にて表示された錘４５を挿入する位置の「２」に基づいて、固定ナット図８１中に表示されるアラビア数字の「２」に対応する入力欄８２をオペレータ等の作業員が押下操作して選択し（ステップＳＴ４）、測定器にて表示された錘４５の重さの「２０」に基づいて、オペレータ等の作業員が「数字」ボタン８４ａを押下操作して数値の「２０」を入力し（ステップＳＴ５）、「Ｅｎｔｅｒ」ボタン８４ｂをオペレータ等の作業員が押下操作して確定するとともに切削装置１の記憶部６３に記憶させる。切削ブレード２１の回転バランスのアンバランスを相殺させるために錘４５が挿入される錘収容部５３−１〜５３−８の特定の位置を測定器が複数箇所表示した場合には、オペレータ等の作業員は、その複数箇所についてステップＳＴ４からステップＳＴ５までを繰り返す（ステップＳＴ６否定）。 Next, based on “2” of the position where the weight 45 displayed on the measuring instrument is inserted, the input field 82 corresponding to the Arabic numeral “2” displayed in the fixed nut FIG. An operator presses the “number” button 84a to select a numerical value based on “20” of the weight 45 displayed on the measuring instrument. "20" is input (step ST5), and an "Enter" button 84b is pressed by a worker such as an operator to be confirmed and stored in the storage unit 63 of the cutting apparatus 1. When the measuring instrument displays a plurality of specific positions of the weight accommodating portions 53-1 to 53-8 into which the weight 45 is inserted in order to cancel the unbalance in the rotational balance of the cutting blade 21, the operation of the operator or the like The member repeats steps ST4 to ST5 for the plurality of locations (No in step ST6).

次に、オペレータ等の作業員が錘４５の特定の種類（重さ）を入力欄８２に入力し終えて図示しない完了ボタン等を押下操作して入力操作を完了した（ステップＳＴ６肯定）後、オペレータ等の作業員が操作画面８０ａを見て錘４５の種類（重さ）を確認し、イモネジケース７０内の特定の種類（重さ）ごとに区分けされた区画７０ａから重さが「２０」である錘４５をオペレータ等の作業員が取り出し、オペレータ等の作業員が操作画面８０ａを見て錘４５が挿入される錘収容部５３−２を確認し、アラビア数字の「２」を表す位置表示部Ｍ−２に対応する錘収容部５３−２内に重さが「２０」である錘４５をオペレータ等の作業員が挿入し、操作画面８０ａでの操作を終了し、切削装置１の初期設定での切削ブレード２１の取り付け時における切削ブレード２１のバランス修正を終了する。 Next, after a worker such as an operator finishes inputting a specific type (weight) of the weight 45 in the input field 82 and presses a completion button (not shown) to complete the input operation (Yes in step ST6), A worker such as an operator checks the type (weight) of the weight 45 by looking at the operation screen 80a, and the weight is "20" from the section 70a divided for each specific type (weight) in the grommet case 70. A worker such as an operator takes out the weight 45, and the operator such as an operator looks at the operation screen 80 a to confirm the weight housing portion 53-2 into which the weight 45 is inserted, and represents the Arabic numeral “2”. An operator or other operator inserts the weight 45 having a weight of “20” into the weight housing portion 53-2 corresponding to the display portion M-2, and the operation on the operation screen 80a is terminated. When installing the cutting blade 21 in the initial setting Kick to end the balance correction of the cutting blade 21.

そして、切削ブレード２１の摩耗や破損、切削ブレード２１の交換時期の経過等、切削ブレード２１を交換する場合、切削ブレード２１等の停止状態で、オペレータ等の作業員が表示手段８０を操作して＜回転バランス修正＞の操作画面８０ａを呼び出し（ステップＳＴ１）、固定ナット図８１中のアラビア数字の「２」に対応する入力欄８２の数値「２０」をオペレータ等の作業員が見て、固定ナット４３の錘収容部５３−２には重さが「２０」の錘４５が挿入されていることを確認し、錘収容部５３−２から錘４５をオペレータ等の作業員が取り出し、イモネジケース７０において種類（重さ）が「２０」である区画７０ａ内に取り外した錘４５をオペレータ等の作業員が収納し、固定ナット４３、着脱フランジ４２及び切削ブレード２１をオペレータ等の作業員が順次固定フランジ４１から取り外す。 When the cutting blade 21 is replaced, such as when the cutting blade 21 is worn or damaged, or when the cutting blade 21 is replaced, an operator such as an operator operates the display unit 80 while the cutting blade 21 is stopped. The operation screen 80a of <Rotation balance correction> is called (step ST1), and an operator or other operator looks at the numerical value “20” in the input field 82 corresponding to the Arabic numeral “2” in the fixed nut FIG. It is confirmed that the weight 45 having a weight of “20” is inserted into the weight housing portion 53-2 of the nut 43, and an operator such as an operator takes out the weight 45 from the weight housing portion 53-2. 70, the operator 45 or the like stores the weight 45 removed in the section 70a whose type (weight) is “20”, and the fixing nut 43, the detachable flange 42, and the cutting blade 2 The workers of the operator or the like is removed from the sequentially fixing flange 41.

次に、新しい切削ブレード２１、着脱フランジ４２及び固定ナット４３をオペレータ等の作業員が順次固定フランジ４１に取り付け、バランスを測定するためのバランサーと呼ばれる図示しない測定器が切削ブレード２１の回転バランスを測定する（ステップＳＴ３）。 Next, a new cutting blade 21, a detachable flange 42 and a fixing nut 43 are sequentially attached to the fixing flange 41 by an operator or the like, and a measuring instrument (not shown) called a balancer for measuring the balance balances the rotation of the cutting blade 21. Measure (step ST3).

次に、測定器にて表示された錘４５を挿入する位置、錘４５の種類（重さ）に基づいて、上述のように錘４５の種類（重さ）及び挿入位置をオペレータ等の作業員が操作画面８０ａを押下操作して入力するとともに切削装置１の記憶部６３に記憶させ、固定ナット４３の錘収容部５３−１〜５３−８に錘４５をオペレータ等の作業員が取り付け、操作画面８０ａでの操作を終了し、切削ブレード２１の交換時等における切削ブレード２１のバランス修正を終了する。 Next, based on the position where the weight 45 displayed on the measuring instrument is inserted and the type (weight) of the weight 45, the type (weight) and insertion position of the weight 45 are set as described above. Is operated by pressing down the operation screen 80a and stored in the storage unit 63 of the cutting apparatus 1, and a worker 45 such as an operator attaches the weight 45 to the weight storage portions 53-1 to 53-8 of the fixing nut 43 and operates the operation. The operation on the screen 80a is finished, and the balance correction of the cutting blade 21 when the cutting blade 21 is replaced is finished.

以上のように、実施形態に係る切削装置１によれば、固定ナット４３の錘収容部５３−１〜５３−８に挿入された錘４５の種類（重さ）と位置とを切削ブレード２１の交換時等まで一対一で対応づけて記憶することができるため、切削ブレード２１の交換時等において固定ナット４３から錘４５を取り外す際、錘４５の種類（重さ）と位置とを判別することができるという効果を奏する。したがって、本発明の切削装置１では、高速回転する切削ブレード２１のアンバランスを相殺させて振動を避けるための固定ナット４３について、錘４５の重さを再度測定する手間を簡略化させることができる。 As described above, according to the cutting apparatus 1 according to the embodiment, the type (weight) and position of the weight 45 inserted into the weight housing portions 53-1 to 53-8 of the fixing nut 43 are determined by the cutting blade 21. Since the data can be stored in a one-to-one correspondence until replacement, etc., when the weight 45 is removed from the fixing nut 43 when the cutting blade 21 is replaced, the type (weight) and position of the weight 45 are determined. There is an effect that can be. Therefore, in the cutting device 1 of the present invention, it is possible to simplify the labor of measuring the weight 45 again for the fixed nut 43 for canceling the unbalance of the cutting blade 21 rotating at high speed and avoiding vibration. .

また、専用のメモ用紙等の筆記具に錘４５の種類（重さ）と位置とを記録する場合、専用のメモ用紙等の筆記具を用意する手間が掛かるが、本発明の切削装置１では、＜回転バランス修正＞の操作画面８０ａを呼び出すことにより錘４５の種類（重さ）と位置とを記憶させることができるので、筆記具を用意する手間が掛からない。 Further, when recording the type (weight) and position of the weight 45 on a writing instrument such as a dedicated memo paper, it takes time to prepare a writing instrument such as a dedicated memo paper. However, in the cutting apparatus 1 of the present invention, <rotational balance> Since the type (weight) and position of the weight 45 can be stored by calling the operation screen 80a of “correction”, it is not necessary to prepare a writing instrument.

また、専用のメモ用紙等は、手書き文字を誤認識した場合、あるいは、専用のメモ用紙自体を紛失又は汚損した場合、錘４５の種類（重さ）と位置とがわからなくなるが、本発明の切削装置１では、＜回転バランス修正＞の操作画面８０ａを呼び出すことにより錘４５の種類（重さ）と位置とを判別することができる。 In addition, when the dedicated memo paper or the like misrecognizes handwritten characters, or when the dedicated memo paper itself is lost or soiled, the type (weight) and position of the weight 45 cannot be determined. 1, the type (weight) and position of the weight 45 can be determined by calling the operation screen 80a of <Rotation balance correction>.

なお、本発明では、バランス取り用の錘４５は、イモネジケース７０内で種類（重さ）ごとに区分された重量の異なる複数種類のバランス取り用の錘４５を用いることができる。また、係合孔４３ｂと錘収容部５３−１〜５３−８とを識別しやすくするために、例えば、係合孔４３ｂの周囲を縁取る、あるいは、矢印にて指し示す等、指標となるものを設けてもよい。 In the present invention, as the balancing weight 45, a plurality of types of balancing weights 45 having different weights classified by type (weight) in the grommet case 70 can be used. Further, in order to make it easy to distinguish between the engagement hole 43b and the weight accommodating portions 53-1 to 53-8, for example, the periphery of the engagement hole 43b is used as an index or indicated by an arrow. May be provided.

また、本発明では、固定ナット４３の錘収容部５３−１〜５３−８は、６箇所又は８箇所に限ることなく、スピンドル２６及び切削ブレード２１の回転バランスを調整して修正することのできる個数であればよい。この場合、予めパネル表示画面記憶部６４には、錘収容部５３−１〜５３−８の個数に対応させた「固定ナット種類選択」ボタン８３、固定ナット図８１及び入力欄８２を記憶させ、操作画面８０ａには、錘収容部５３−１〜５３−８の個数に対応した「固定ナット種類選択」ボタン８３、固定ナット図８１及び入力欄８２を表示すればよい。 In the present invention, the weight accommodating portions 53-1 to 53-8 of the fixing nut 43 are not limited to six or eight locations, and can be adjusted by adjusting the rotational balance of the spindle 26 and the cutting blade 21. Any number may be used. In this case, the panel display screen storage unit 64 stores in advance a “fixed nut type selection” button 83, a fixed nut diagram 81, and an input field 82 corresponding to the number of the weight accommodating units 53-1 to 53-8, The operation screen 80a may display a “fixed nut type selection” button 83, a fixed nut diagram 81, and an input field 82 corresponding to the number of weight accommodating portions 53-1 to 53-8.

また、本発明では、操作画面８０ａにて錘４５の種類（重さ）及び挿入位置を入力する入力作業の後、固定ナット４３の錘収容部５３−１〜５３−８に錘４５を挿入する挿入作業がなされるという作業手順に限ることなく、挿入作業の後に入力作業を行うことができ、また、入力作業と挿入作業とを並行で行うこともできる。すなわち、入力作業、挿入作業は、実施形態の作業手順に限定されるものではない。 In the present invention, after the input operation of inputting the type (weight) and insertion position of the weight 45 on the operation screen 80a, the weight 45 is inserted into the weight housing portions 53-1 to 53-8 of the fixing nut 43. The input work can be performed after the insertion work without being limited to the work procedure in which the insertion work is performed, and the input work and the insertion work can be performed in parallel. That is, the input work and the insertion work are not limited to the work procedures of the embodiment.

また、錘収容部５３−１〜５３−８は、錘収容部５３−１〜５３−８のそれぞれに対して複数個の錘４５を挿入することができる深さで形成されてもよく、各錘収容部５３−１〜５３−８のうち、同じ箇所に錘４５を複数個挿入することができる。この場合、オペレータ等の作業員は、同じ箇所の入力欄８２内に複数個の錘４５の種類（重さ）を入力することができる。 Further, the weight accommodating portions 53-1 to 53-8 may be formed to a depth at which a plurality of weights 45 can be inserted into the respective weight accommodating portions 53-1 to 53-8. A plurality of weights 45 can be inserted into the same portion of the weight housing portions 53-1 to 53-8. In this case, a worker such as an operator can input the types (weights) of the plurality of weights 45 in the input field 82 at the same location.

また、切削ブレード２１のメンテナンス等、切削ブレード２１を取り外した後に、その取り外された切削ブレード２１を再び装着する場合、前述した切削ブレード２１の交換時と同様に、ステップＳＴ１〜ステップＳＴ６を行うことで、切削ブレード２１の回転バランス修正を行うことができる。 In addition, when the cutting blade 21 is remounted after the cutting blade 21 has been removed, such as for maintenance of the cutting blade 21, steps ST1 to ST6 are performed in the same manner as when the cutting blade 21 is replaced. Thus, the rotation balance of the cutting blade 21 can be corrected.

また、本発明では、切削ブレード２１は、ワッシャーブレードに限ることなく、ブレードと着脱フランジとを一体化させたいわゆるハブブレードであってもよい。 In the present invention, the cutting blade 21 is not limited to a washer blade, and may be a so-called hub blade in which the blade and the detachable flange are integrated.

１切削装置
４スピンドルユニット
１０チャックテーブル
２１切削ブレード
２６スピンドル
４３固定ナット
４３ａ表面
４５バランス取り用の錘
５３−１〜５３−８錘収容部
６０制御手段
６３記憶部（記憶手段）
８０表示手段
８０ａ操作画面（回転バランス調整画面）
８１固定ナット図（入力欄）
８２入力欄
８４数値入力ボタン（入力手段）
Ｍ−１〜Ｍ−８位置表示部
Ｗウェーハ（被加工物） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cutting device 4 Spindle unit 10 Chuck table 21 Cutting blade 26 Spindle 43 Fixing nut 43a Surface 45 Balance weight 53-1 to 53-8 Weight accommodation part 60 Control means 63 Storage part (Storage means)
80 Display means 80a Operation screen (rotation balance adjustment screen)
81 Fixed nut diagram (input field)
82 Input field 84 Numerical value input button (input means)
M-1 to M-8 Position display part W Wafer (Workpiece)

Claims

A cutting device for cutting a workpiece,
A chuck table for holding the workpiece;
A spindle unit comprising a spindle for processing the workpiece held on the chuck table, and a cutting blade mounted on the spindle;
Display means for displaying information relating to operation control of the cutting device;
Input means for inputting desired information to the display means;
Storage means for storing information relating to operation control of the cutting device,
The spindle unit is
A fixing flange that is fixed to the spindle, and a fixing nut that fixes the cutting blade to the spindle by pinching the fixing flange;
The fixing nut is
When the cutting blade is held by the fixed flange, a plurality of weight housing portions are provided at predetermined intervals in the circumferential direction, and a plurality of weight housing portions can be inserted in the circumferential direction from the surface serving as the front end surface. Is provided with a position display portion indicating the position of each weight housing portion,
The rotation balance adjustment screen displayed by the display means is
An input field for inputting the type of the weight in the input field corresponding to the display of the position display part of the weight housing part of the fixing nut;
When adjusting the rotational balance of the spindle unit, the type of the weight accommodated in the weight accommodating portion and the position of the accommodated weight accommodating portion are input to the input field via the input means, and the storage means Cutting device that can memorize.