KR20180097118A - 광학식 변위 센서 및 그것을 구비하는 시스템 - Google Patents

광학식 변위 센서 및 그것을 구비하는 시스템 Download PDF

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Abstract

[과제] 유저의 용도에 따른 최적의 노광 타이밍을 설정할 수 있는 광학식 변위 센서 및 시스템을 제공한다.
[해결 수단] 광학식 변위 센서(3)는, 작업물(51)에 투광하는 투광부(33)와, 작업물(51)로부터의 반사광을 수광하여 수광 데이터를 생성하는 수광부(34)와, 수광 데이터에 근거하여 작업물(51)의 변위량을 산출하는 처리부(32)와, 타이밍 동기 신호를 수신하는 입력부(35)와, 처리부(32)에 의해 산출된 변위량을 출력하는 출력부(36)를 구비한다. 처리부(32)는, 입력부(35)에 의해 수신된 타이밍 동기 신호에 응답하고, 투광부(33)가 작업물(51)에 투광하는 시간과 수광부(34)가 반사광을 수광하는 시간의 중첩에 의해 정해지는 노광 시간을 제어한다. 시스템(100)은, 광학식 변위 센서(3)와, 타이밍 동기 신호를 발생시키는 제어 기기(1)를 구비한다.

Description

광학식 변위 센서 및 그것을 구비하는 시스템 {OPTICAL DISPLACEMENT SENSOR AND SYSTEM INDLUDING THE SAME}
본 발명은, 광학식 변위 센서, 및, 그 광학식 변위 센서를 포함하는 시스템에 관한 것이다.
목적으로 하는 변위(이동량 혹은 치수 등)를 광학적으로 측정하는 광학식 변위 센서가 알려져 있다. 예를 들면 특개 2001-280951호 공보(특허문헌 1)는, 투광 수단과 수광 수단, 연산 수단을 구비한 광학식 변위 센서를 개시한다.
특허문헌 1: 특개 2001-280951호 공보
특개 2001-280951호 공보(특허문헌 1)에 기재된 광학식 변위 센서는, 프리런(free-run)으로 계측을 실행한다. 유저의 용도에 따라, 계측을 위한 노광의 최적의 타이밍이 존재한다고 생각할 수 있다. 그러나, 상기 센서로는, 유저의 용도에 따른 적절한 타이밍으로 계측 대상물을 노광할 수 없다.
본 발명의 목적은, 유저의 용도에 따라 최적의 노광 타이밍을 설정할 수 있는 광학식 변위 센서, 및, 그러한 광학식 변위 센서를 포함하는 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 어느 국면에 관한 광학식 변위 센서는, 계측 대상물에 투광하는 투광부와, 계측 대상물로부터의 반사광을 수광하여 수광 데이터를 생성하는 수광부와, 수광 데이터에 근거하여 계측 대상물의 변위량을 산출하는 처리부와, 타이밍 동기 신호를 수신하는 입력부와, 처리부에 의해 산출된 변위량을 출력하는 출력부를 구비한다. 처리부는, 입력부에 의해 수신된 타이밍 동기 신호에 응답하고, 투광부가 계측 대상물에 투광하는 시간과 수광부가 반사광을 수광하는 시간의 중첩에 의해 정해지는 노광 시간을 제어한다.
바람직하게는, 처리부는, 노광 시간 개시의 타이밍을, 변위량의 측정 주기 개시의 타이밍에 일치시킨다.
바람직하게는, 처리부는, 노광 시간 종료의 타이밍을, 변위량의 측정 주기 종료의 타이밍에 일치시킨다.
바람직하게는, 처리부는, 노광 시간 중심의 타이밍을, 변위량의 측정 주기의 중심의 타이밍에 일치시킨다.
바람직하게는, 입력부는, 노광 시간의 제어에 관한 유저의 설정을 받아들인다. 처리부는, 설정에 근거하여, 노광 시간 개시의 타이밍을, 변위량의 측정 주기 개시의 타이밍에 일치시키는 제1 제어, 노광 시간 종료의 타이밍을, 측정 주기 종료의 타이밍에 일치시키는 제2 제어, 또는, 노광 시간 중심의 타이밍을, 측정 주기의 중심의 타이밍에 일치시키는 제3 제어 중 적어도 2개를 포함하는 복수의 제어 중 1개의 제어를 선택한다.
본 발명의 어느 국면에 관한 시스템은, 상술의 어느 쪽인가에 기재된, 적어도 1개의 광학식 변위 센서와, 타이밍 동기 신호를 발생시키는 제어 기기를 구비한다.
바람직하게는, 적어도 1개의 광학식 변위 센서는, 제1 광학식 변위 센서와, 제2 광학식 변위 센서를 포함한다. 제1 광학식 변위 센서의 투광부 및 수광부는, 제2 광학식 변위 센서의 투광부 및 수광부와, 계측 대상물을 사이에 두고 대향 배치된다. 제1 광학식 변위 센서 및 제2 광학식 변위 센서 각각의 처리부는, 노광 시간 중심의 타이밍을, 변위량의 측정 주기의 중심의 타이밍에 일치시킨다.
본 발명에 따르면, 유저의 용도에 따른 최적의 노광 타이밍을 설정할 수 있는 광학식 변위 센서 및 시스템을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 광학식 변위 센서를 포함하는 시스템의 구성을 도시한 도이다.
도 2는 도 1에 도시한 광학식 변위 센서의 구성을 설명하는 블록도다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 관한 노광 제어를 설명하는 파형도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 의한 노광 제어의 응용예를 설명하기 위한 도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 의한 노광 제어의 다른 응용예를 설명하기 위한 도이다.
도 6은 도 5에 도시한 시스템 중 2개의 광학식 변위 센서가 노광 타이밍을 동기하지 않은 경우에 있어서의, 2개의 광학식 변위 센서 각각의 노광 타이밍을 도시한 도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 따른 노광 제어를 도 5에 기재된 시스템에 적용한 경우의 노광 타이밍을 도시한 도이다.
도 8은 2개의 광학식 변위 센서에 의한 작업물 두께 측정 시에 생기는 오차를 설명하기 위한 도이다.
도 9는 작업물 위치의 변동을 고려한 경우에 있어서의, 본 발명의 실시형태에 따른 노광 제어의 노광 타이밍을 도시한 도이다.
본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 도의 동일 또는 상당 부분에 대해서는, 동일 부호를 붙여 그 설명은 반복하지 않는다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 광학식 변위 센서를 포함하는 시스템의 구성을 도시한 도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 시스템(100)은, 제어 기기(1)와, 통신선(2)과, 광학식 변위 센서(3)를 포함한다. 제어 기기(1)는, 예를 들면 PLC(Programmable Logic Controller)에 의해 실현 가능하다.
제어 기기(1)는, 소정의 측정 타이밍으로, 타이밍 동기 신호를 광학식 변위 센서(3)에 보낸다. 광학식 변위 센서(3)는, 통신선(2)을 통해, 타이밍 동기 신호를 수신하고, 스테이지(5) 위에 놓인 작업물(계측 대상물)(51)을 촬상한다. 광학식 변위 센서(3)는, 촬상에 의해 얻은 수광 데이터로부터, 작업물(51)의 변위를 산출하고, 그 산출된 변위량을 제어 기기(1)에 보낸다. 제어 기기(1)는, 통신선(2)을 통해 변위량을 취득하고, 그 변위량으로부터, 작업물(51) 두께 혹은 단차 등의 측정치를 산출한다.
광학식 변위 센서(3)는, 센서 컨트롤러(11)와, 센서 헤드(12)와, 케이블(13)을 포함한다. 센서 헤드(12)는, 케이블(13)에 의해 센서 컨트롤러(11)에 접속된다.
센서 컨트롤러(11)는, 인터페이스부(31)와, 처리부(32)를 포함한다. 인터페이스부(31)는, 통신선(2)에 접속된다. 인터페이스부(31)는, 입력부(35)와, 출력부(36)를 포함한다. 입력부(35)는, 타이밍 동기 신호를, 통신선(2)을 통해 제어 기기(1)로부터 수신한다. 출력부(36)는, 광학식 변위 센서(3)에 있어서 산출된 변위량을, 통신선(2)을 통해 제어 기기(1)에 출력한다.
처리부(32)는, 예를 들면 CPU(Central Processing Unit) 혹은 FPGA(Field Programmable gate Array) 등의 반도체 집적회로에 의해 실현 가능하다. 처리부(32)는, 노광 제어부(41)와, 연산부(42)를 포함한다.
노광 제어부(41)는, 타이밍 동기 신호에 응답하고, 센서 헤드(12)의 노광 타이밍을 제어하기 위한 제어 신호를 생성함과 동시에, 그 제어 신호를, 케이블(13)을 통해 센서 헤드(12)에 송신한다. 노광 제어의 구체적인 사항은, 후에 상세하게 설명된다.
연산부(42)는, 센서 헤드(12)로부터 보내진 수광 데이터를 받고, 그 수광 데이터로부터, 작업물(51)의 현재 변위량(측정치)을 산출한다. 그 산출된 변위량은, 연산부(42)로부터 출력부(36)에 보내진다.
센서 헤드(12)는, 투광부(33) 및 수광부(34)를 가진다. 투광부(33)는, 제어 신호에 따라, 작업물(51)에 투광한다. 수광부(34)는, 제어 신호에 따라, 작업물(51)로부터의 반사광을 수광하고, 그 수광량을 나타낸 수광 데이터를 출력한다.
도 2는, 도 1에 도시한 광학식 변위 센서의 구성을 설명하는 블록도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 투광부(33)는, 광원으로서의 발광소자(43), 및 투광 회로(44)를 포함한다. 수광부(34)는, 수광소자(45)와, 앰프(46)와, A/D 컨버터(47)를 포함한다. 수광소자(45)는, 예를 들면 CCD 이미지 센서, CMOS 이미지 센서 등의 촬상 소자이며, 셔터 기능을 가진다.
도 2를 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 관한 노광 제어 방법에 대해 설명한다. 처리부(32)는, 유저의 설정에 의해, 노광 제어 방법을 바꾼다. 처리부(32)는, 타이밍 동기 신호를 받아들이고, 노광 제어를 실행한다. 노광 제어란, 구체적으로는, 발광소자(43)의 발광 제어와 수광소자(45)의 셔터의 제어이다. 투광 회로(44)는, 처리부(32)의 발광 제어에 의해, 발광소자(43)을 점등시킨다. 구체적으로는, 투광부(33)는, 동기 타이밍 신호를 기준으로서, 유저가 지정한 타이밍에 투광한다.
또한, 처리부(32)는, 수광소자(45)의 셔터를 제어한다. 규정된 노광 주기의 개시 시에 수광소자(45)의 셔터가 열리고, 그 노광 주기의 종료 시에 수광소자(45)의 셔터가 닫힌다. 또한, 본 실시형태에서는, 수광소자(45)의 셔터 개방 시간은 투광부(33)의 투광 시간보다 길다. 따라서, 수광소자(45)는, 투광부(33)가 작업물에 투광하는 동안에 작업물로부터 반사한 빛을 수광한다. 이것에 의해, 수광소자(45)에 전하가 축적된다.
노광이 종료하면, 수광소자(45)에 축적된 전하가 수광 신호로서 수광소자(45)로부터 출력되고, 수광 신호는 앰프(46)에 입력된다. 앰프(46)는, 수광소자(45)로부터 출력된 수광 신호를 증폭한다. A/D 컨버터(47)는, 앰프(46)의 출력 신호를 디지털 신호로 변환해 수광 데이터를 생성한다. 수광 데이터는 수광부(34)로부터 출력되어 처리부(32)에 입력된다. 처리부(32)는 수광 데이터로부터 변위량을 산출한다.
이 실시형태에서는, 센서 헤드(12)와 센서 컨트롤러(11)가 분리되어 있다. 그러나, 본 발명의 실시형태에서는, 투광부 및 수광부가 센서 컨트롤러(11)에 통합될 수도 있다.
도 3은, 본 발명의 실시형태에 관한 노광 제어를 설명하는 파형도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 예를 들면 타이밍 동기 신호의 하강이 측정 주기 개시의 타이밍을 도시한다. 타이밍 동기 신호의 상승이 측정 주기 개시의 타이밍을 도시할 수도 있다.
노광 시간은, 수광소자(45)(도 2 참조)의 셔터 개방 시간과, 발광소자(43)(도 2 참조)의 투광 시간의 중첩 시간에 해당한다. 따라서 노광 시간 동안, 수광소자(45)는 작업물로부터의 반사광을 수광하고, 전하를 축적한다.
본 발명의 실시형태에서는, 광학식 변위 센서(3)는, 이하에 설명하는 노광 제어 패턴(A)~(C) 중에서 1개의 노광 제어 패턴을 선택할 수 있다. 처리부(32)는, 입력부(35)를 통해 유저의 설정을 받아들임으로써, 노광 제어 패턴을 바꿀 수 있다. 따라서 본 발명의 실시형태에 따르면 유저의 용도에 따른 최적의 노광 방법을 선택할 수 있다.
노광 제어 패턴(A)이 선택된 경우, 노광 종료의 타이밍이 측정 주기 종료의 타이밍에 일치하도록, 노광이 제어된다. 노광 제어 패턴(B)이 선택된 경우, 노광 개시의 타이밍이 측정 주기 개시의 타이밍에 일치하도록, 노광이 제어된다. 노광 제어 패턴(C)이 선택된 경우, 노광 시간의 중심이 측정 주기의 중심으로 일치하도록, 노광이 제어된다.
본 발명의 실시형태에서는, 복수의 노광 제어 패턴은, 노광 제어 패턴(A)~(C) 중 어느 2개여도 괜찮다. 혹은 복수의 노광 제어 패턴은, 노광 제어 패턴(A)~(C)뿐만 아니라, 다른 노광 제어 패턴을 포함할 수도 있다. 예를 들면 측정 주기의 개시부터 지연 시간(Td)(노광 제어 패턴(C)의 파형을 참조)이 경과한 때에 노광이 개시되도록, 노광이 제어될 수도 있다. 지연 시간(Td)은, 고정된 시간이어도 괜찮고, 유저가 설정 가능해도 괜찮다.
또한, 본 발명의 다른 실시형태에서는, 광학식 변위 센서(3)의 처리부(32)는, 도 3에 도시한 노광 제어 패턴(A), (B), (C) 중 어느 1개의 노광 제어 패턴만 가져도 괜찮다. 노광 제어 패턴의 수는 복수로 한정되는 것은 아니다.
도 4는, 본 발명의 실시형태에 의한 노광 제어의 응용예를 설명하기 위한 도이다. 도 4에서는, 3 D 맵핑을 위한 작업물(51)(도 1을 참조)의 변위 계측의 예가 도시된다.
타이밍 동기 신호의 광학식 변위 센서(3)에의 입력에 의해, 측정 주기가 개시된다. 측정 주기 마다 작업물(51)이 촬상되고, 광학식 변위 센서(3)는 변위량(측정치)을 산출한다. 광학식 변위 센서(3)는, 그 측정치를 외부에 출력한다.
예를 들면, 노광 제어 패턴(A)의 경우, 광학식 변위 센서(3)는, 측정 주기의 종료를 기준으로서, 필요한 시간만 작업물(51)을 노광한다. 그러나, 작업물(51)이 광학식 변위 센서(3)의 센서 헤드(12)에 대해서 상대적으로 이동하기 때문에, 노광 개시 시(촬상 개시 시)의 작업물(51) 위치는, 측정하고 싶은 작업물(51) 위치에 대해서 어긋난다.
복수의 광학식 변위 센서(3)에 의해 작업물(51)을 촬상하는 경우에는, 측정치는 노광 시간 내의 작업물(51) 위치의 평균에 가까운 값이 된다. 그러나, 복수의 센서 사이에서의 노광 시간이 흩어진 경우에는, 측정치에 오차가 생기기 쉽다.
이 응용예에서는, 노광 시간 개시의 타이밍을 측정 주기 개시의 타이밍에 일치시키는 제어(도 3에 도시한 노광 제어 패턴(B))가 적합한다. 노광 제어 패턴(B)을 선택함으로써, 측정하고 싶은 작업물 위치에 대한 촬상 시의 작업물 위치의 어긋남을 작게 할 수 있다.
도 5는, 본 발명의 실시형태에 의한 노광 제어의 다른 응용예를 설명하기 위한 도이다. 도 5에서는, 작업물(51)(도 1을 참조)의 두께를 변위량으로서 계측하는 시스템의 구성예가 도시된다. 시스템(101)은, 제어 기기(1)와, 통신선(2)과, 광학식 변위 센서(3A, 3B)를 포함한다. 광학식 변위 센서(3A, 3B) 각각의 구성은, 광학식 변위 센서(3)의 구성(도 1을 참조)과 같기 때문에 이후의 설명은 반복하지 않는다. 광학식 변위 센서(3A)의 센서 헤드(12)와, 광학식 변위 센서(3B)의 센서 헤드(12)는 대향하여 배치된다. 즉 광학식 변위 센서(3A)의 투광부 및 수광부는, 광학식 변위 센서(3B)의 투광부 및 수광부와, 작업물(51)을 사이에 두고 대향 배치된다.
도 6은, 도 5에 도시한 시스템 중 2개의 광학식 변위 센서가 노광 타이밍을 동기하지 않는 경우에 있어서의, 2개의 광학식 변위 센서 각각의 노광 타이밍을 도시한 도이다. 도 6을 참조하여, 「센서(1)」는 광학식 변위 센서(3A)를 도시하며, 「센서(2)」는 광학식 변위 센서(3B)를 도시한다(이하의 도에 대해도 같이). 광학식 변위 센서(3A, 3B) 각각은, 각각의 노광 타이밍에 따라서, 작업물(51)을 노광한다. 이 때문에, 광학식 변위 센서(3A, 3B) 사이에서는 노광 타이밍의 차이가 커지기 쉽다. 노광 타이밍의 어긋남이 큰 만큼 측정 오차가 커지기 쉽다.
도 7은, 본 발명의 실시형태에 따른 노광 제어를 도 5에 기재된 시스템에 적용한 경우의 노광 타이밍을 도시한 도이다. 도 7에 도시한 바와 같이, 타이밍 동기 신호를 기준으로서, 노광 타이밍이 결정된다. 광학식 변위 센서(3A, 3B) 각각의 처리부(32)(노광 제어부(41))는, 타이밍 동기 신호에 동기하여 노광을 개시한다. 구체적으로는, 광학식 변위 센서(3A, 3B) 각각의 노광 제어부(41)는, 노광 개시의 타이밍을 측정 주기의 개시에 일치시킨다.
이러한 제어에 따르면, 광학식 변위 센서(3A, 3B) 사이에 노광 개시의 타이밍을 맞출 수 있다. 노광 타이밍의 어긋남을 작게 할 수 있으므로, 목적의 위치와, 작업물(51)의 변위를 측정하는 위치의 어긋남의 차이를 작게 할 수 있다. 따라서 도 5에 도시한 시스템(101)에 있어서, 작업물(51) 두께 측정의 오차를 저감할 수 있다.
광학식 변위 센서(3A, 3B)는, 각각에 있어서 필요한 시간만 노광한다. 따라서, 광학식 변위 센서(3A, 3B) 사이에 노광 시간의 길이가 다를 수 있다. 도 5에 도시한 시스템에 있어서 작업물(51) 두께를 측정할 때에, 작업물(51)의 덜컹거림, 진동 등에 의해, 측정 오차가 생길 가능성이 있다.
도 8은, 2개의 광학식 변위 센서에 의한 작업물 두께 측정 시에 생기는 오차를 설명하기 위한 도이다. 도 8에 도시한 바와 같이, 측정치는 노광 시간 내의 작업물 위치의 평균 부근이 된다. 광학식 변위 센서(3A, 3B) 사이에는 노광 시간의 길이가 다르다. 이 때문에, 측정 주기의 종료를 기준으로서 광학식 변위 센서(3A, 3B) 각각의 노광 타이밍을 결정한 경우에는, 측정치가 광학식 변위 센서(3A, 3B) 사이에서 다를 수 있다. 이 때문에, 측정 오차가 커지기 쉽다.
도 9는, 작업물 위치의 변동을 고려한 경우에 있어서의, 본 발명의 실시형태에 따른 노광 제어의 노광 타이밍을 도시한 도이다. 도 9에 도시한 바와 같이, 측정 주기의 중심과 노광 시간의 중심이 일치하도록, 광학식 변위 센서(3A, 3B) 각각의 노광 제어부(41)는, 광학식 변위 센서(3A, 3B) 각각의 노광 타이밍을 설정한다. 이것에 의해, 광학식 변위 센서(3A, 3B) 각각 사이에 노광 시간이 다른 경우도, 측정 오차를 작게 할 수 있다.
상기와 같이, 노광 시간은, 투광 소자의 투광 타이밍과, 수광소자의 셔터의 타이밍에 의해 결정된다. 본 발명의 실시형태에서는, 광학식 변위 센서의 외부로부터 입력되는 타이밍 동기 신호에 따라 노광 시간을 제어한다. 이것에 의해, 임의의 타이밍에 노광할 수 있다. 이 결과, 보다 정확한 변위의 측정이 가능하게 된다.
본 발명의 실시형태는, 촬상 소자의 셔터 시간 또는 광원의 점등 시간에 의해 노광 시간을 제어하는 광학식 변위 센서에 넓게 적용 가능하다. 따라서, 변위를 계측하기 위한 방식은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 삼각 측거 방식의 변위 센서, 동축공초점 방식의 변위 센서 등에 본 발명은 적용 가능하다.
이번 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기 설명이 아닌 특허청구범위에 의해 나타나며, 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것을 의도한다.
1: 제어 기기
2: 통신선
3, 3A, 3B: 광학식 변위 센서
5: 스테이지
11: 센서 컨트롤러
12: 센서 헤드
13: 케이블
31: 인터페이스부
32: 처리부
33: 투광부
34: 수광부
35: 입력부
36: 출력부
41: 노광 제어부
42: 연산부
43: 발광소자
44: 투광 회로
45: 수광소자
46: 앰프
47: A/D 컨버터
51: 작업물
100, 101: 시스템

Claims (7)

  1. 계측 대상물에 투광하는 투광부와,
    상기 계측 대상물로부터의 반사광을 수광하여 수광 데이터를 생성하는 수광부,
    상기 수광 데이터에 근거하여 상기 계측 대상물의 변위량을 산출하는 처리부와,
    타이밍 동기 신호를 수신하는 입력부와,
    상기 처리부에 의해 산출된 상기 변위량을 출력하는 출력부를 구비하며,
    상기 처리부는, 상기 입력부에 의해 수신된 상기 타이밍 동기 신호에 응답하고, 상기 투광부가 상기 계측 대상물에 투광하는 시간과 상기 수광부가 상기 반사광을 수광하는 시간의 중첩에 의해 정해지는 노광 시간을 제어하는, 광학식 변위 센서.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 처리부는, 상기 노광 시간 개시의 타이밍을, 상기 변위량의 측정 주기 개시의 타이밍에 일치시키는, 광학식 변위 센서.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 처리부는, 상기 노광 시간 종료의 타이밍을, 상기 변위량의 측정 주기 종료의 타이밍에 일치시키는, 광학식 변위 센서.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 처리부는, 상기 노광 시간 중심의 타이밍을, 상기 변위량의 측정 주기의 중심의 타이밍에 일치시키는, 광학식 변위 센서.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 입력부는, 상기 노광 시간의 제어에 관한 유저의 설정을 받아들이며,
    상기 처리부는, 상기 설정에 근거하여,
    상기 노광 시간 개시의 타이밍을, 상기 변위량의 측정 주기 개시의 타이밍에 일치시키는 제1 제어,
    상기 노광 시간 종료의 타이밍을, 상기 측정 주기 종료의 타이밍에 일치시키는 제2 제어, 또는,
    상기 노광 시간 중심의 타이밍을, 상기 측정 주기의 중심의 타이밍에 일치시키는 제3 제어,
    중 적어도 2개를 포함하는 복수의 제어 중 1개의 제어를 선택하는, 광학식 변위 센서.
  6. 청구항 1에서 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된, 적어도 1개의 상기 광학식 변위 센서와,
    상기 타이밍 동기 신호를 발생시키는 제어 기기를 구비한, 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서, 상기 적어도 1개의 상기 광학식 변위 센서는, 제1 광학식 변위 센서와, 제2 광학식 변위 센서를 포함하며,
    상기 제1 광학식 변위 센서의 상기 투광부 및 상기 수광부는, 상기 제2 광학식 변위 센서의 상기 투광부 및 상기 수광부와, 상기 계측 대상물을 사이에 두고 대향 배치되며,
    상기 제1 광학식 변위 센서 및 상기 제2 광학식 변위 센서 각각의 상기 처리부는, 상기 노광 시간 중심의 타이밍을, 상기 변위량의 측정 주기의 중심의 타이밍에 일치시키는, 시스템.
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