KR101012637B1 - 광학식 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법 - Google Patents

광학식 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 CCD 카메라 구동 신호와 영상 획득에 필요한 주변 장치의 동기 신호를 일치시켜 시간 지연 없이 영상을 획득할 수 있는 광학식 영상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 광학식 형상 측정 시스템은 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영 하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라와, 상기 촬영 영역에 조명광을 조사하는 조명장치 및 조명 컨트롤러와, 상기 조명장치의 구동을 제어하는 동기신호발생부와, 상기 각각의 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부와, 상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부와, 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 개시 명령을 출력하는 제어부와, 상기 제어부에 외부 장비로부터의 제어 신호를 전달하는 데이터 입력부를 포함하되, 상기 제어부가 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 구동 신호를 출력함과 동시에 상기 동기신호발생부가 상기 제어부로부터의 제어 신호에 따라 CCD 카메라와 조명 컨트롤러에 구동 신호를 동시에 출력함을 특징으로 한다.
동기신호발생부, 동시, 조명, 카메라, 영상포획부

Description

광학식 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법{OPTICAL MEASUREMEMT SYSTEM THE SHAPE OF AN OBJECT AND MEASUREMENT METHOD USING THE SAME}
본 발명은 광학식 영상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 CCD 카메라 구동 신호와 영상 획득에 필요한 주변 장치의 동기 신호를 일치시켜 시간 지연 없이 영상을 획득할 수 있는 광학식 영상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법에 관한 것이다.
전자공학과 기계공학이 발전함에 따라 전자, 기계부품의 소형화와 정밀화가 가속되어 가고 있는데, 이러한 소형의 전자 및 기계부품의 가공과 제조 상태를 확인하기 위해서는 그 치수, 형상, 표면조도에 대한 고정도(高精度)의 측정이 이루어져야 한다.
예를 들면, 전자부품인 반도체 웨이퍼와 이 반도체 웨이퍼상에 가공된 집적회로의 미세패턴에 대한 치수, 형상, 레이저 마킹상태, 표면조도는 주지의 접촉식 측정장치를 이용하여 측정할 수 없으며, 촉침을 이용한 접촉식 표면조도 측정기를 이용하는 경우에도 촉침의 팁(tip)이 물체의 표면에 미세한 흠집을 발생시킬 뿐만 아니라 면적에 대한 정보를 얻기 힘들다는 문제점이 있었다.
이에 소형의 전자, 기계부품 등의 치수와 형상 등을 측정하기 위한 방안으로 광원에서 방사되는 광을 CCD 카메라로 포획하여 측정물의 치수를 비접촉 방식으로 얻는 광학식 2차원 측정장치와, 광원에서 방사되는 광을 기준 패턴화 하여 측정물에 영사하고 그 측정물의 형상에 따라 변형된 광을 CCD 카메라로 포획하여 기준패턴과 비교함으로써 측정물에 대한 형상을 측정하는 광학식 3차원 측정장치가 제안되고 있다.
그런데, 현재 제안된 방식은 CCD 카메라를 통해 얻어지는 촬상 영상의 포획을 고속화하는데 한계가 있다.
도 1은 광학식 형상 측정 시스템에서의 일반적인 촬상 영상 포획과정을 설명하기 위한 블록구성도를 도시한 것이다.
여기서, CCD 카메라(100)는 연속 모드로서 프레임 인에이블 신호를 주기적으로 출력하여 촬영 영역을 연속하여 촬영한다.
그리고, 조명장치(110)는 조명 컨트롤러(120)로부터 입력되는 제어 신호에 따라 촬영 영역에 광을 조사하고, PZT(130)는 PZT 컨트롤러(140)로부터 입력되는 제어 신호에 따라 미소 구동되어 촬영 영역과의 거리를 조절한다.
이때, 조명 컨트롤러(120)와 PZT 컨트롤러(140)는 컴퓨터 시스템(200)에 실장되는 제어부(220)에서 출력되는 개시 명령(start signal)에 따라 동기 신호를 발생하는 동기신호발생부(240)에 의해 제어된다.
한편, 컴퓨터 시스템(200)에 실장되는 영상포획부(230)는 CCD 카메라(100)에서 출력되는 영상을 포획(capture)하여 영상신호 처리부(250)로 전송하는 역할을 수행한다.
참고적으로 영상신호 처리부(250)는 포획된 영상을 전송받아 표시부(260)상에 표시할 수 있는 형태의 영상신호로 처리하여 출력하여 주며, 제어부(220)는 데이터 입력부(210)를 통해 측정자로부터 영상 측정 개시명령이 입력되면 이를 동기신호발생부(240)로 전달하여 주는 역할을 수행한다.
상술한 구성을 가지는 광학식 형상 측정 시스템에서는 우선, CCD 카메라(100)는 연속하여 촬영 영역을 촬상하며, 촬상시마다 인에이블되는 프레임 인에이블 신호(FEN)를 발생하여 출력한다.
그리고, 제어부(220)는 동기신호발생부(240)에 개시명령을 내리고, 영상포획부(230)에 영상 포획 개시 명령을 내린다.
이에, 동기신호발생부(240)는 제어부(220)에서 개시 명령이 입력되면 CCD 카메라(100)에서 출력되는 프레임 인에이블 신호에 맞춰 조명 컨트롤러(120) 및 PZT 컨트롤러(140)에 동기 신호(SYNC)를 출력한다.
이에 따라, 조명장치(110)의 점등과 PZT(130) 미소 구동이 이루어지고, CCD 카메라(100)는 촬영 영역에 대한 영상을 촬영하며, 영상포획부(230)는 CCD 카메라(100)에서 촬영된 영상을 포획하게 된다.
여기서, CCD 카메라(100)는 도 2에 도시된 바와 같이 구동 시점에서부터 주기적인 프레임 인에이블 신호를 출력하고, 동기신호발생부(240)는 제어부로부터의 개시 명령(ⓢ)에 의해 CCD 카메라(100)로부터의 프레임 인에이블 신호에 따라 동기 신호를 발생한다.
그런데, CCD 카메라(100)에서 출력되는 프레임 인에이블 신호 시작점과 제어부로부터 동기신호발생부에 입력되는 개시 명령 시점이 일치 하지 않아, 영상 획득 시간 지연이 발생하는 문제가 있다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이 CCD 카메라는 연속 모드로서 프레임 인에이블 신호(FEN)를 출력하고 있고, CCD 카메라(100)에서 출력된 프레임 인에이블 신호에 따라 동기신호발생부(240)는 컴퓨터 시스템(200)에 실장된 제어부(220)로부터 개시 명령을 입력받은 후에 조명장치(110)와 PZT(130) 구동을 위한 동기 신호(SYNC) 출력한다.
그리고, 영상포획부(230)는 제어부(220)로부터의 영상 개시 명령에 따라 영상 포획을 하기 때문에, 개시 명령 입력 시점이 프레임 인에이블 신호를 뒤처져 시간 지연이 발생하는 단점이 있다.
또한, 종래의 방법에 따르면 한 대의 CCD 카메라에서 동기신호발생부로 프레임 인에이블 신호를 출력하면, 동기신호발생부는 제어부에서의 개시 명령 후에 조명 및 PZT를 동기화시켜 영상 촬영이 이루어지도록 하기 때문에 다수의 CCD 카메라로 촬영 영역을 동시에 촬영할 수 없는 단점이 있었다.
상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 조명 및 미세 구동기의 동기 신호와 CCD 카메라 노출 시간 및 영상포획부의 영상 포획 신호를 동시에 동기화시킴으로써 시간 지연 없이 영상 획득을 할 수 있도록 하는 광학식 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법을 제공함에 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 광학식 형상 측정 시스템은 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영 하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라와, 상기 촬영 영역에 조명광을 조사하는 조명장치 및 조명 컨트롤러와, 상기 조명장치의 구동을 제어하는 동기신호발생부와, 상기 각각의 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부와, 상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부와, 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 개시 명령을 출력하는 제어부와, 상기 제어부에 외부 장비로부터의 제어 신호를 전달하는 데이터 입력부를 포함하되, 상기 제어부가 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 구동 신호를 출력함과 동시에 상기 동기신호발생부가 상기 제어부로부터의 제어 신호에 따라 CCD 카메라와 조명 컨트롤러에 구동 신호를 동시에 출력함을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 광학식 형상 측정 시스템은 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영 하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라와, 상기 촬영 영역에 조명광을 조사하는 조명장치 및 조명 컨트롤러와, 상기 조명장치의 구동을 제어하는 동기신호발생부와, 상기 각각의 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부와, 상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부와, 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 개시 명령을 출력하는 제어부와, 상기 제어부에 외부 장비로부터의 제어 신호를 전달하는 데이터 입력부를 포함하되, 상기 제어부가 상기 영상포획부에 영상 포획 준비 신호를 출력하고 상기 동기신호발생부에 개시 신호를 출력하면 동시에 상기 동기신호발생부가 상기 조명 컨트롤러에 구동 신호를 동시에 출력하고, 상기 동기신호발생부가 상기 영상포획부로 상기 CCD 카메라 구동 신호를 출력하여 상기 영상포획부가 CCD 카메라 노출 시간 제어 신호 형태로 가공 편집된 신호를 전달하도록 함을 특징으로 한다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 광학식 형상 측정 방법은 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영 하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라와 조명장치와 미소 구동기의 구동을 제어하는 동기신호발생부와, 상기 각각의 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부와 상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부를 포함하는 광학식 형상 측정 시스템을 이용한 방법에 있어서, 외부에서의 제어 신호 입력을 검출하는 단계와, 상기 외부 제어 신호 입력이 검출되면 CCD 카메라에 영상촬영을 위한 구동 신호와 상기 영상포획부에 영상 획득 신호 및 조명장치와 미소 구동기 동기 신호를 동시에 출력하는 단계를 포함함을 특징으로 한다.
본 발명은 CCD 카메라 촬영 신호, 조명 점등 신호, 미소 구동기 구동 신호, 영상포획부 영상 포획 신호를 동시에 동기화시켜 시간 지연 없이 영상을 획득함으로써, 영상 획득 효율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 3은 본 발명 제 1 실시예에 따른 광학식 영상 측정 시스템에서의 일반적인 촬상 영상 포획과정을 설명하기 위한 블록구성도이다.
도 3을 참조하면 본 발명은, CCD 카메라(1), 조명장치(11), 조명 컨트롤러(12), PZT(13), PZT 컨트롤러(14), 영상포획부(24), 영상 신호 처리부(25), 표시부(26), 제어부(22), 데이터 입력부(21) 및 동기신호발생부(23)를 포함한다.
여기서, CCD 카메라(1)는 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영하여 촬영 영상을 출력한다.
그리고, 조명장치(11)는 촬영 영역 주변의 여러 방향에서 촬영 영역에 조명광을 조사하고, 조명 컨트롤러(12)는 조명장치(11)의 점등을 제어한다.
또한, PZT(13)는 촬영 영역에 대한 조명장치(11)와 CCD 카메라(1) 등의 거리를 조절을 위한 미소 구동기이며, PZT 컨트롤러(14)는 PZT(13)의 미소 구동을 제어한다.
그리고, 제어부(22)는 외부 장치로부터의 데이터가 데이터 입력부(21)를 통해 입력되면 영상포획부(24)에 영상 획득을 준비하라는 개시 신호(ⓢ)를 출력하며, 동기신호발생부(23)로 촬영 개시 신호(ⓢ)를 출력한다.
영상포획부(24)는 각각의 CCD 카메라(1)에서 출력되는 영상을 포획하여 영상 신호 처리부(25)로 출력하고, 영상 신호 처리부(25)는 영상포획부(24)에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부(26)로 출력한다.
본 발명의 특징적인 양상에 따라 동기신호발생부(23)는, 도 4에 도시된 바와 같이 제어부(22)로부터의 촬영 개시 신호에 따라 조명 컨트롤러(12), PZT 컨트롤러(14)에 동기 신호 출력 및 CCD 카메라(1)에 영상 촬영을 위한 구동 신호(③)를 출력한다.
즉, 제어부(22)가 영상포획부(24) 및 동기신호발생부(23)에 개시 명령을 출력하면, 이와 동시에 동기신호발생부(23)는 조명 점등을 위한 동기 신호(①), PZT 구동을 위한 동기 신호(②),영상포획부의 영 CCD 카메라(1)의 CCD 카메라 노출을 위한 구동 신호(③)를 동시에 출력한다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광학식 영상 측정 시스템의 변형예로서, 도 5를 참조하면 다수의 CCD 카메라(1)와 각 CCD 카메라(1)에 1:1로 대응되는 영상포획부(24)를 구성하여 하나의 동기신호발생부(23)가 다수의 CCD 카메라(1)를 동시에 동기화하고, 각 영상포획부(24)가 각각의 CCD 카메라(1)로부터 영상을 포획하도록 구성될 수 있다.
또는, 도 6에 도시된 바와 같이 다수의 CCD 카메라(1)와 각각의 CCD 카메라(1)가 연결된 단일 영상포획부(24)를 구비하여, 하나의 동기신호발생부(23)가 다수의 CCD 카메라(1)를 동시에 동기화하고 다수의 CCD 카메라(1)에서 획득된 영상을 단일 영상포획부(24)가 동시에 획득하도록 할 수 있다.
즉, 본 발명의 실시예들은 서로 다른 위치에 있는 다수의 CCD 카메라(1) 또는 다수의 영상포획부(24)의 동기 신호를 동시에 맞출 수 있으므로, 다수의 CCD 카메라를 이용한 영상 획득의 효율성을 높일 수 있다.
이러한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광학식 형상 측정 방법을 설명하면 다음과 같다.
우선, 반도체 패키지와 같은 피사체를 촬영 영역에 이동수단을 이용하여 위치시킨다.
그리고, 측정자는 데이터 입력부(21)를 통해 형상 측정 개시명령을 내린다. 물론 측정자는 사전에 CCD 카메라(1) 비동기식 리셋 모드로 설정해 놓은 상태이어야 한다.
이에 따라, 데이터 입력부(21)를 통해 측정 개시 명령이 입력되면 제어부(22)는 이를 동기신호발생부(23)와 영상포획부(24)로 전달한다.
그러면, 동기신호발생부(23)는 형상 측정 개시명령에 따라 CCD 카메라(1)와, 조명 컨트롤러(12) 및 PZT 컨트롤러(14)에 동시에 동기 신호를 발생한다.
이에 따라, 조명 컨트롤러(12)가 조명장치(11)의 점등을 제어하여 촬영 영역에 조명광을 조사하고, PZT 컨트롤러(14) PZT(13)를 미소 구동시켜 포커스 등을 맞춘다.
그리고, 이와 동시에 CCD 카메라(1)는 동기신호발생부(23)에서 전달되는 동기 신호 즉 카메라 노출 제어 시간 형태로 입력되는 신호에 따라 CCD 카메라 노출 시간을 조정하여 촬영 영역의 영상을 촬영하여 출력하고, 영상포획부(24)는 CCD 카 메라(1)를 통해 촬영된 영상을 포획하여 영상 처리부(25)로 출력한다.
즉, 조명장치(11), PZT(13), CCD 카메라(1) 및 영상포획부(24)가 동시에 동기화되어 시간 지연 없이 영상 획득이 가능해지는 것이다.
도 7은 본 발명 제 2 실시예에 따른 광학식 영상 측정 시스템에서의 일반적인 촬상 영상 포획과정을 설명하기 위한 블록 구성도로서, 상술한 도 3과 동일한 구성 요소에 대한 설명은 생략하도록 한다.
도 7을 참조하면, 제어부(22)가 동기신호발생부(23)와 영상포획부(24)로 촬영 개시 명령을 전달하면, 동기신호발생부(23)는 CCD 카메라(1) 구동을 위한 구동 신호를 영상포획부(24)에 출력하고, 조명 컨트롤러(12)와 PZT 컨트롤러(14)에 동기 신호를 동시에 출력한다.
그러면, 이와 동시에 영상포획부(24)는 동시 신호 발생부(23)로부터 입력된 CCD 카메라(1) 동기 신호를 가공 편집하여 CCD 카메라(1)에 전달한다.
즉, 제 1 실시예에서는 동기신호발생부(23)에서 출력되는 신호가 CCD 카메라 노출 시간 제어 신호의 형태로 출력되지만, 본 발명의 제 2 실시예에서는 동기신호발생부(23)에서 영상포획부(24)로 트리거(trigger) 신호 형태의 동기 신호를 출력하면 영상포획부(24)가 해당 신호를 카메라 노출 시간 제어 신호의 형태로 가공 편집하여 출력한다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 광학식 영상 측정 시스템의 변형예로서, 도 8을 참조하면 다수의 CCD 카메라(1)와 각 CCD 카메라(1)에 1:1로 대응되는 영상포획부(24)를 구성하여 하나의 동기신호발생부(23)가 다수의 CCD 카 메라(1)를 동시에 동기화하고, 각 영상포획부(24)가 각각의 CCD 카메라(1)로부터 영상을 포획하도록 구성될 수 있다.
또는, 도 9에 도시된 바와 같이 다수의 CCD 카메라(1)와 각각의 CCD 카메라(1)가 연결된 단일 영상포획부(24)를 구비하여, 하나의 동기신호발생부(23)가 다수의 CCD 카메라(1)를 동시에 동기화하고 다수의 CCD 카메라(1)에서 획득된 영상을 단일 영상포획부(24)가 동시에 획득하도록 할 수 있다.
이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 광학식 형상 측정 방법을 설명하면 다음과 같다.
우선, 반도체 패키지와 같은 피사체를 촬영 영역에 이동수단을 이용하여 위치시킨다.
그리고, 측정자는 데이터 입력부(21)를 통해 형상 측정 개시명령을 내린다. 물론 측정자는 사전에 CCD 카메라(1)는 비동기식 리셋 모드로 설정해 놓은 상태이어야 한다.
이에 따라, 데이터 입력부(21)를 통해 측정 개시 명령이 입력되면 제어부(22)는 이를 동기신호발생부(23)로 전달한다.
그러면, 동기신호발생부(23)는 형상 측정 개시명령에 따라 조명 컨트롤러(12) 및 PZT 컨트롤러(14)에 동시에 동기 신호를 발생하고, 영상포획부(24)에 CCD 카메라 동기 신호를 출력한다.
이에 따라, 조명 컨트롤러(12)가 조명장치(11)의 점등을 제어하여 촬영 영역에 조명광을 조사하고, PZT 컨트롤러(14) PZT(13)를 미소 구동시켜 포커스 등을 맞 춘다.
그리고, 이와 동시에 영상포획부(24)는 동기신호발생부(23)로부터 입력된 트리거 신호 형태의 신호를 CCD 카메라 노출시간 제어 신호의 형태로 가공 편집하여 CCD 카메라(1)에 출력한다.
이에, CCD 카메라(1)는 CCD 카메라 노출 시간을 조정하여 촬영 영역의 영상을 촬영하여 출력하고, 영상포획부(24)는 CCD 카메라(1)를 통해 촬영된 영상을 포획하여 영상 처리부(25)로 출력한다.
즉, 조명장치(11), PZT(13), CCD 카메라(1) 및 영상포획부(24)가 동시에 동기화되어 시간 지연 없이 영상 획득이 가능해지는 것이다.
도 1은 광학식 형상 측정 시스템에서의 일반적인 촬상 영상 포획과정을 설명하기 위한 블록구성도.
도 2는 도 1의 광학식 형상 측정 시스템의 신호 발생 타이밍 예시도.
도 3은 본 발명에 제 1 실시예에 따른 광학식 영상 측정 시스템에서의 일반적인 촬상 영상 포획과정을 설명하기 위한 블록 구성도.
도 4는 도 3의 광학식 형상 측정 시스템 신호 발생 타이밍 예시도.
도 5 및 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 광학식 영상 측정 시스템의 변형예.
도 7은 본 발명 제 2 실시예에 따른 광학식 영상 측정 시스템에서의 일반적인 촬상 영상 포획과정을 설명하기 위한 블록 구성도.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 광학식 영상 측정 시스템의 변형예.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
1 : CCD 카메라
11 : 조명장치
12 : 조명 컨트롤러
13 : PZT
14 : PZT 컨트롤러
2 : 컴퓨터 시스템
21 : 데이터 입력부
22 : 제어부
23 : 동기신호발생부
24 : 영상포획부
25 : 영상신호 처리부
26 : 표시부

Claims (4)

  1. 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라;
    상기 CCD 카메라와 상기 촬영 영역과의 거리 조절을 위한 미소 구동기(PZT);
    상기 촬영 영역에 조명광을 조사하는 조명장치 및 조명 컨트롤러;
    상기 조명장치의 구동을 제어하는 동기신호발생부;
    상기 각각의 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부;
    상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부;
    상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 개시 명령을 출력하는 제어부;
    상기 제어부에 외부 장비로부터의 제어 신호를 전달하는 데이터 입력부를 포함하되,
    상기 제어부가 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 구동 신호를 출력함과 동시에 상기 동기신호발생부가 상기 제어부로부터의 제어 신호에 따라 CCD 카메라와 조명 컨트롤러에 구동 신호를 동시에 출력함을 특징으로 하는 광학식 형상 측정 시스템.
  2. 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라;
    상기 CCD 카메라와 상기 촬영 영역과의 거리 조절을 위한 미소 구동기(PZT);
    상기 촬영 영역에 조명광을 조사하는 조명장치 및 조명 컨트롤러;
    상기 조명장치의 구동을 제어하는 동기신호발생부;
    상기 각각의 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부;
    상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부;
    상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 개시 명령을 출력하는 제어부;
    상기 제어부에 외부 장비로부터의 제어 신호를 전달하는 데이터 입력부를 포함하되,
    상기 제어부가 상기 영상포획부에 영상 포획 준비 신호를 출력하고 상기 동기신호발생부에 개시 신호를 출력하면 동시에 상기 동기신호발생부가 상기 조명 컨트롤러에 구동 신호를 동시에 출력하고,
    상기 동기신호발생부가 상기 영상포획부로 상기 CCD 카메라 구동 신호를 출력하여 상기 영상포획부가 CCD 카메라 노출 시간 제어 신호 형태로 가공 편집된 신호를 전달하도록 함을 특징으로 하는 광학식 형상 측정 시스템.
  3. 삭제
  4. 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영 하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라와 조명장치와 미소 구동기의 구동을 제어하는 동기신호발생부와, 상기 각각의 CCD 카 메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부와 상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부를 포함하는 광학식 형상 측정 시스템을 이용한 방법에 있어서,
    외부에서의 제어 신호 입력을 검출하는 단계와,
    상기 외부 제어 신호 입력이 검출되면 CCD 카메라에 영상촬영을 위한 구동 신호와 상기 영상포획부에 영상 획득 신호 및 조명장치와 미소 구동기 동기 신호를 동시에 출력하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 광학식 형상 측정 방법.
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