KR20180093809A

KR20180093809A - 연삭 휠

Info

Publication number: KR20180093809A
Application number: KR1020180016159A
Authority: KR
Inventors: 료고 마지; 아키 다카하시
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2017-02-14
Filing date: 2018-02-09
Publication date: 2018-08-22
Also published as: KR102322555B1; CN108422318B; JP6948798B2; CN108422318A; TW201838769A; JP2018130791A; TWI759401B

Abstract

(과제) 피가공물의 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있는 연삭 휠을 제공하는 것.
(해결 수단) 연삭 휠 (1) 은, 척 테이블에 유지된 피가공물 (201) 을 연삭하는 연삭 유닛을 구성하는 회전 스핀들의 일단에 형성된 휠 마운트에 장착되는 휠 기대 (10) 와, 휠 기대 (10) 에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석 (20) 을 구비한다. 연삭 지석 (20) 의 연삭면 (22) 의 면적은, 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 서서히 적게 구성되어 있다.

Description

연삭 휠{GRINDING WHEEL}

본 발명은 연삭 휠에 관한 것이다.

원형의 피가공물을 연삭하는 연삭 장치에 있어서는, 척 테이블의 상면의 중심부를 정점으로 하여 우산 모양으로 형성된 척 테이블에 피가공물을 유지시킴과 함께 척 테이블을 자전시켜, 피가공물의 원 반경 부분에 연삭 지석을 접촉시켜 연삭하는 인피드 연삭을 실시하고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조). 그 때문에, 피가공물의 중심 부분에, 보다 많이 연삭 지석이 접촉하여, 다른 영역에 비해 많이 연삭되어 피가공물의 두께가 균일하게 되지 않는다는 문제가 있다.

또, 최근에는 인덕터, 노이즈 필터 등의 각종 전자 기기의 소형화, 박형화의 요망에 부응하기 위해, 이들 전자 기기에 사용되는 코일 부품은, 권선상의 코일 도체의 외주를 자성체로 피복한 구성으로 되어 있는 것이 일반적이 되고 있다. 자성체는, 예를 들어 금속계의 자성분 (磁性粉) 과 수지를 혼합시켜 구성되어 있으며, 코일의 외주측을 피복함으로써 금속층을 구성하고 있다. 자성분으로는, 예를 들어 직경 20 ㎛ 내지 30 ㎛ 의 자성분이 사용되고, 수지로는, 열경화성 수지 또는 열가소성 수지가 사용되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 2 참조). 이와 같이 구성되는 금속층은, 그 표면측을 특허문헌 1 에 나타난 연삭 장치에 의해 연삭시켜, 표면에 자성분을 노출시킴으로써, 자력 특성의 향상을 도모하고 있다.

일본 공개특허공보 2013-212561호 일본 공개특허공보 2008-072073호

특허문헌 1 에 나타난 연삭 장치의 연삭 휠은, 피가공물의 중심 부분을 다른 영역에 비해 지나치게 연삭하는 경향이 있었고, 피가공물의 중심 부분이 구멍 모양으로 국소적으로 도려내어져 표면이 거친 상태가 되는 소위 가우지 (gouge) 가 발생하는 경향이 있었다.

또, 특허문헌 1 에 나타난 연삭 장치의 연삭 휠은, 피가공물로서, 특허문헌 2 에 나타난 금속층을 연삭해도, 피가공물의 중심 부분을 다른 영역에 비해 연삭 지석이 많이 맞닿기 때문에, 중심 부분에 가우지가 발생하는 경향이 있었다. 또, 특허문헌 1 에 나타난 연삭 장치의 연삭 휠은, 특허문헌 2 에 나타난 금속층을 연삭하면, 피가공물의 중심 부분을 다른 영역에 비해 지나치게 연삭하는 경향이 있기 때문에, 중심 부분의 자성분을 표면으로부터 탈락시켜 버려, 표면에 노출되는 자성분을 감소시켜, 금속층의 자력 특성을 저하시키는 것과 같은 문제가 발생하고 있다.

본 발명은, 이와 같은 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 피가공물의 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있는 연삭 휠을 제공한다.

상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 연삭 휠은, 척 테이블에 유지된 피가공물을 연삭하는 연삭 수단을 구성하는 회전 스핀들의 일단에 형성된 휠 마운트에 장착되는 휠 기대와, 그 휠 기대에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석을 구비하는 연삭 휠로서, 그 연삭 지석의 연삭면의 면적은, 상기 휠 기대의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 서서히 적게 구성되는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 연삭 휠에 있어서, 상기 연삭 지석은, 1 개의 세그먼트 지석으로 구성되어도 된다.

또, 상기 연삭 휠에 있어서, 상기 연삭 지석은, 복수의 세그먼트 지석으로 구성되는 1 개의 지석군이어도 된다.

또, 상기 연삭 휠에 있어서, 상기 연삭 지석은, 상기 휠 기대의 내주측에서부터 외주측에 이르는 홈이 형성되어도 된다.

또, 상기 연삭 휠에 있어서, 상기 연삭 지석의 연삭면의 면적은, 회전 방향 전측의 면적보다 회전 방향 후측의 면적 쪽이 적어도 된다.

그래서, 본원 발명의 연삭 휠은, 피가공물의 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있다는 효과를 나타낸다.

도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠을 구비하는 연삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠의 가공 대상인 피가공물의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠의 가공 대상인 피가공물의 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠과 척 테이블을 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠 등을 나타내는 사시도이다.
도 6 은, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠의 연삭 중의 상태를 나타내는 평면도이다.
도 7 은, 실시형태 2 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다.
도 8 은, 실시형태 3 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다.
도 9 는, 실시형태 4 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다.
도 10 은, 도 9 에 나타난 연삭 지석의 단면도이다.
도 11 은, 실시형태 5 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다.
도 12 는, 실시형태 6 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다.
도 13 은, 실시형태 7 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다.
도 14 는, 실시형태 8 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다.
도 15 는, 본 발명품 1 의 연삭 휠의 연삭 중의 상태를 나타내는 평면도이다.
도 16 은, 본 발명품 2 의 연삭 휠의 연삭 중의 상태를 나타내는 평면도이다.
도 17 은, 비교예의 연삭 휠의 연삭 중의 상태를 나타내는 평면도이다.
도 18 은, 본 발명품 1 의 연삭 휠에 의해 연삭된 피가공물의 표면의 중심 부분을 확대하여 나타내는 도면이다.
도 19 는, 본 발명품 1 의 연삭 휠에 의해 연삭된 피가공물의 표면의 중심 부분에서 떨어진 외측 가장자리부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 20 은, 비교예의 연삭 휠에 의해 연삭된 피가공물의 표면의 중심 부분을 확대하여 나타내는 도면이다.
도 21 은, 비교예의 연삭 휠에 의해 연삭된 피가공물의 표면의 중심 부분에서 떨어진 외측 가장자리부를 확대하여 나타내는 도면이다.

본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.

〔실시형태 1〕

본 발명의 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠을 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠을 구비하는 연삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠의 가공 대상인 피가공물의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 3 은, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠의 가공 대상인 피가공물의 다른 예를 나타내는 단면도이다. 도 4 는, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠과 척 테이블을 나타내는 사시도이다.

실시형태 1 에 관련된 연삭 휠 (1) 은, 도 1 에 나타내는 연삭 장치 (100) 를 구성한다. 연삭 장치 (100) 는, 피가공물 (201) 을 연삭하여, 박화 (薄化) 하는 것이다. 연삭 장치 (100) 의 가공 대상인 피가공물 (201) 은, 실시형태 1 에서는 실리콘, 사파이어, 갈륨비소, LT (LiTaO₃ : 탄탈산리튬), 또는 LN (LiNbO₃ : 니오브산리튬) 등을 기판 (202) 으로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼이다. 피가공물 (201) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 표면 (203) 의 교차 (실시형태 1 에서는 직교) 하는 복수의 분할 예정 라인 (204) 에 의해 구획된 복수의 영역에 각각 디바이스 (205) 가 형성되어 있다. 피가공물 (201) 은, 표면 (203) 의 뒤쪽인 이면 (206) 이 연삭되어, 박화된다. 또, 본 발명에서는, 피가공물 (201) 은, 석영 유리 등으로 구성된 유리 기판이어도 된다.

또, 연삭 장치 (100) 는, 도 3 에 나타내는 피가공물 (201-1) 을 연삭할 수 있다. 피가공물 (201-1) 은, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 자성분 (207) 과 수지 (208) 가 혼합되어, 수지 (208) 중에 자성분 (207) 을 분산시켜 구성되어 있다. 피가공물 (200-1) 은, 도체로 구성된 코일의 외주를 피복하여, 코일의 저배화 (低背化) 를 가능하게 하는 것이다. 피가공물 (200-1) 은, 표면 (209) 이 연삭되어 박화되어서, 표면 (209) 에 자성분 (207) 이 노출됨으로써 자력 특성을 향상시킨다.

피가공물 (201) 을 구성하는 자성분 (207) 은, 순철 (Fe), 카르보닐철 (Fe-C), 규소강 (Fe-Si), 퍼멀로이 (Fe-Ni), 퍼멘듈 (Fe-Co), 슈퍼멀로이 (Fe-Ni-Mo), 퍼멘버 (Fe-Ni-Co), Fe-Al 합금, Fe-Al-Si (바람직하게는 센더스트 (통칭)) 중 1 개 이상에 의해 구성된다.

피가공물 (201) 을 구성하는 수지 (208) 는, 열가소성 수지 또는 열경화성 수지에 의해 구성된다. 수지 (208) 를 구성하는 열경화성 수지는, 벤조시클로부텐 (BCB), 에폭시 수지, 페놀 수지, 불포화 폴리에스테르 수지, 비닐에스테르 수지, 폴리이미드 수지 (PI), 폴리페닐렌에테르옥사이드 수지 (PPO), 비스말레이미드트리아진시아네이트에스테르 수지, 푸마레이트 수지, 폴리부타디엔 수지, 폴리비닐벤질에테르 수지 중 1 개 이상이다. 수지 (208) 를 구성하는 열가소성 수지는, 초저밀도 폴리에틸렌 수지 (VLDPE), 저밀도 폴리에틸렌 수지 (LDPE), 선상 저밀도 폴리에틸렌 수지 (LLDPE), 중밀도 폴리에틸렌 수지 (MDPE), 고밀도 폴리에틸렌 수지 (HDPE), 폴리프로필렌 수지 (PP), 폴리부텐 수지, 폴리메틸펜텐 수지, 폴리비닐알코올 수지, 에틸렌ㆍ비닐알코올 공중합체, 폴리아크릴로니트릴, 폴리아미드 수지, 폴리아세탈 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리부틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리페닐렌술파이드 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 아이소택틱 폴리스티렌 수지, 액정 폴리머 중 1 개 이상이다. 특히, 에폭시 수지, 폴리이미드 수지 (PI), 벤조시클로부텐 (BCB) 은, 저유전율이면서 또한 저유전 정접인 것, 및 내약품성이 우수하고 또한 저흡수율이기 때문에 고신뢰성을 확보할 수 있는 점에서 바람직하다.

연삭 장치 (100) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 장치 기대 (101) 와, 척 테이블 (110) 과, 연삭 수단인 연삭 유닛 (120) 과, 가공 이송 유닛 (130) 과, 절입 이송 유닛 (140) 을 구비한다.

척 테이블 (110) 은, 피가공물 (201) 이 보호 부재 (210) (도 4 에 나타낸다) 를 개재하여 유지면 (111) 상에 재치 (載置) 되어, 피가공물 (201) 을 유지하는 것이다. 척 테이블 (110) 은, 유지면 (111) 을 구성하는 부분이 포러스 세라믹 등으로 형성된 원반 형상이고, 도시되지 않은 진공 흡인 경로를 통해 도시되지 않은 진공 흡인원과 접속되어, 유지면 (111) 에 재치된 피가공물 (201) 을 흡인함으로써 유지한다. 또, 척 테이블 (110) 은, Z 축 방향과 평행한 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있는 지지 기대 (112) 에 지지되어 있다. 또한, Z 축 방향은, 연직 방향과 평행이다.

가공 이송 유닛 (130) 은, 장치 기대 (101) 상에 설치되며, 척 테이블 (110) 을 유지면 (111) 과 평행한 가공 이송 방향인 Y 축 방향으로 상대 이동시키는 것이다. 가공 이송 유닛 (130) 은, 척 테이블 (110) 을 지지한 지지 기대 (112) 를 Y 축 방향으로 이동시킴으로써, 척 테이블 (110) 을 연삭 유닛 (120) 으로부터 이간시킨 반출입 위치와 연삭 유닛 (120) 의 하방의 가공 위치에 걸쳐 이동시킨다.

절입 이송 유닛 (140) 은, 장치 기대 (101) 에 세워서 형성하는 칼럼 (102) 에 고정되어, 연삭 유닛 (120) 을 유지면 (111) 과 직교하는 절입 이송 방향인 Z 축 방향으로 이동시키는 것이다. 칼럼 (102) 은, 장치 기대 (101) 의 가공 위치 근처의 단부 (端部) 로부터 세워서 형성한 기둥상으로 형성되어 있다. 절입 이송 유닛 (140) 은, 연삭 유닛 (120) 을 하강시켜 연삭 유닛 (120) 의 연삭 휠 (1) 을 가공 위치의 척 테이블 (110) 에 유지된 피가공물 (201) 에 근접시키고, 연삭 유닛 (120) 을 상승시켜 연삭 휠 (1) 을 가공 위치의 척 테이블 (110) 에 유지된 피가공물 (201) 로부터 멀어지게 한다.

가공 이송 유닛 (130) 및 절입 이송 유닛 (140) 은, 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 형성된 주지된 볼 나사 (141), 볼 나사 (141) 를 축심 둘레로 회전시키는 주지된 펄스 모터 (142) 및 척 테이블 (110) 또는 연삭 유닛 (120) 을 Y 축 방향 또는 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 지지하는 주지된 가이드 레일 (143) 을 구비한다.

연삭 유닛 (120) 은, 절입 이송 유닛 (140) 에 의해 척 테이블 (110) 에 유지된 피가공물 (201) 에 연삭 휠 (1) 이 가압되어, 순수 등의 연삭액을 공급하면서 척 테이블 (110) 에 유지된 피가공물 (201) 을 연삭하는 것이다. 연삭 유닛 (120) 은, 도 1 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 절입 이송 유닛 (140) 에 의해 Z 축 방향으로 자유롭게 이동할 수 있게 형성된 스핀들 하우징 (121) 과, 스핀들 하우징 (121) 내에 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있게 형성된 회전 스핀들 (122) (도 1 에 나타낸다) 과, 회전 스핀들 (122) 의 일단인 하단에 장착되는 연삭 휠 (1) 을 구비한다. 회전 스핀들 (122) 은, Z 축 방향과 평행하게 배치되고, 도 1 및 도 4 에 나타내는 스핀들 모터 (123) 에 의해 축심 둘레로 회전된다. 회전 스핀들 (122) 은, 하단에 연삭 휠 (1) 을 장착하는 원반상의 휠 마운트 (124) 가 장착되어 있다.

다음으로, 연삭 휠 (1) 을 도면에 기초하여 설명한다. 도 5 는, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠 등을 나타내는 사시도이다. 도 6 은, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠의 연삭 중의 상태를 나타내는 평면도이다.

연삭 휠 (1) 은, 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 휠 마운트 (124) 에 장착되는 휠 기대 (10) 와, 휠 기대 (10) 에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석 (20) 을 구비한다. 휠 기대 (10) 는, 스테인리스강 또는 알루미늄 합금에 의해 구성되며, 원환상으로 형성되어 있다.

복수의 연삭 지석 (20) 은, 휠 기대 (10) 의 가공 위치에 배치된 척 테이블 (110) 에 대향하는 기대면인 하면 (11) 에 배치되어 있다. 복수의 연삭 지석 (20) 은, 휠 기대 (10) 의 하면 (11) 에 둘레 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 실시형태 1 에 있어서, 각 연삭 지석 (20) 은, 금속, 세라믹스 또는 수지 등에 의해 구성되는 결합재 (본드재라고도 한다) 에, 다이아몬드, 또는 CBN (Cubic Boron Nitride) 등의 지립을 혼합하여 하나의 덩어리로 형성된 1 개의 소위 세그먼트 지석으로 구성된다. 실시형태 1 에 있어서, 연삭 지석 (20) 은, 본드재로서 비트리파이드 본드에, 다이아몬드와 CBN 을 지립으로서 혼합한 것으로 구성되어 있는데, 본 발명에서는, 본드재로서 레진 본드를 사용해도 된다.

또, 각 연삭 지석 (20) 은, 외주면에 형성된 복수의 단차부 (21) 에 의해, 연삭 휠 (1) 의 둘레 방향의 길이가 연삭 휠 (1) 의 외주로 향함에 따라 단계적으로 짧게 형성되어 있다. 각 연삭 지석 (20) 은, 연삭 휠 (1) 의 둘레 방향의 길이가 연삭 휠 (1) 의 외주로 향함에 따라 단계적으로 짧게 형성됨으로써, 가공 위치에 배치된 척 테이블 (110) 에 대향하는 연삭면 (22) 의 면적이, 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있다. 또, 복수의 연삭 지석 (20) 은 동일 형상이며, 연삭면 (22) 이 동일 평탄 상에 위치하고 있다.

또, 복수의 연삭 지석 (20) 은, 연삭시에 회전하는 방향인 Z 축 방향과 평행한 축심 둘레의 도 6 등에 화살표로 나타내는 회전 방향 (211) 의 전방측의 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 가장 길고, 후방측으로 향함에 따라 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 단계적으로 짧게 되어 있다. 연삭 지석 (20) 의 직경 방향의 길이가 회전 방향 (211) 의 후방측으로 향함에 따라 단계적으로 짧게 되어 있음으로써, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠 (1) 의 연삭 지석 (20) 의 연삭면 (22) 의 면적은, 회전 방향 (211) 전측의 면적보다 회전 방향 (211) 후측의 면적 쪽이 적게 되어 있다.

또, 실시형태 1 에 있어서, 연삭 지석 (20) 이 포함하는 지립의 평균 입경은, 0.25 ㎛ 이상이고 100 ㎛ 이하이다. 실시형태 1 에 있어서, 연삭 지석 (20) 이 포함하는 지립은, 마무리 연삭에 사용하기에 최적인 지립이지만, 조(粗)연삭에 사용하기에 최적인 지립이어도 된다. 즉, 실시형태 1 에 있어서, 연삭 휠 (1) 은, 마무리 연삭용의 연삭 휠이지만, 본 발명에서는, 마무리 연삭용에 한정되지 않아도 되어, 예를 들어, 조연삭용의 연삭 휠이어도 된다.

이와 같이 구성된 연삭 휠 (1) 은, 회전 스핀들 (122) 의 하단에 형성된 휠 마운트 (124) 의 하면에 휠 기대 (10) 를 겹치고, 휠 기대 (10) 가 도시되지 않은 볼트에 의해 휠 마운트 (124) 에 장착됨으로써, 휠 마운트 (124) 에 장착된다.

전술한 구성의 연삭 유닛 (120) 은, 연삭 휠 (1) 로 피가공물 (201) 을 연삭할 때, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 연삭 지석 (20) 의 외주면을 포함한 외측 가장자리부 (23) 가 척 테이블 (110) 의 유지면 (111) 에 유지된 피가공물 (201) 의 중심 (212) 을 통과하는 위치에 자리잡는다. 연삭 유닛 (120) 은, 연삭 휠 (1) 이 피가공물 (201) 에 가압된 상태에서 피가공물 (201) 에 연삭액을 공급하면서, 척 테이블 (110) 과 함께 축심 둘레로 회전되어, 피가공물 (201) 을 연삭한다. 또한, 이하, 중심 (212) 및 중심 (212) 부근을, 피가공물 (201) 의 중심 부분이라고 기재한다. 연삭 휠 (1) 의 연삭 지석 (20) 의 외측 가장자리부 (23) 가, 연삭시에, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 통과하기 때문에, 피가공물 (201) 의 중심 부분에는 항상 연삭 지석 (20) 이 접촉하고, 피가공물 (201) 이 척 테이블 (110) 과 함께 축심 둘레로 회전하므로, 피가공물 (201) 의 중심 부분에서 떨어진 외측 가장자리부에는 항상 연삭 지석 (20) 이 접촉하는 경우가 없다.

이상과 같이, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠 (1) 은, 연삭 지석 (20) 의 연삭면 (22) 의 면적이 휠 기대 (10) 의 내주측에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있기 때문에, 피가공물 (201) 의 중심 부분에 접촉하는 연삭면 (22) 의 면적을 억제할 수 있어, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 연삭하는 양을 억제할 수 있다. 그 결과, 연삭 휠 (1) 은, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 다른 영역에 비해 지나치게 연삭하는 것을 억제할 수 있어, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 또, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠 (1) 은, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 다른 영역에 비해 연삭 지석 (20) 이 많이 맞닿는 것을 억제할 수 있기 때문에, 피가공물 (201-1) 을 연삭했을 때에 중심 부분의 자성분 (207) 의 탈락을 억제할 수 있다. 또, 실시형태 1 에 관련된 연삭 휠 (1) 은, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 다른 영역에 비해 지나치게 연삭하는 것을 억제할 수 있기 때문에, 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다.

또, 연삭 휠 (1) 은, 마무리 연삭용의 연삭 휠이기 때문에, 마무리 연삭 후의 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다. 또, 연삭 휠 (1) 은, 각 연삭 지석 (20) 이 1 개의 세그먼트 지석으로 구성되기 때문에, 각 연삭 지석 (20) 을 휠 기대 (10) 에 장착할 때에 드는 소요 시간을 억제할 수 있다. 또, 연삭 휠 (1) 은, 복수의 연삭 지석 (20) 이 동일 형상이기 때문에, 복수의 연삭 지석 (20) 을 제조할 때, 동일한 틀 등을 사용할 수 있어, 연삭 지석 (20) 의 제조에 드는 비용의 급등을 억제할 수 있다. 또, 연삭 휠 (1) 은, 연삭 지석 (20) 의 연삭면 (22) 의 면적이 회전 방향 (211) 전측의 면적보다 회전 방향 (211) 후측의 면적 쪽이 적게 되어 있기 때문에, 연삭 지석 (20) 의 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 긴 부분부터 피가공물 (201) 에 접촉하므로, 연삭 지석 (20) 의 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 짧은 부분이 과도하게 마모되는 것을 억제할 수 있다.

〔실시형태 2〕

본 발명의 실시형태 2 에 관련된 연삭 휠을 도면에 기초하여 설명한다. 도 7 은, 실시형태 2 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다. 도 7 은, 실시형태 1 과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

실시형태 2 에 관련된 연삭 휠 (1-2) 은, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 실시형태 1 과 마찬가지로, 휠 마운트 (124) 에 장착되는 휠 기대 (10) 와, 휠 기대 (10) 에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석 (20-2) 을 구비한다.

실시형태 2 에 관련된 연삭 휠 (1-2) 은, 실시형태 1 과 마찬가지로, 마무리 연삭용의 연삭 휠이다. 실시형태 2 에 관련된 연삭 휠 (1-2) 의 복수의 연삭 지석 (20-2) 은, 실시형태 1 과 마찬가지로, 휠 기대 (10) 의 하면 (11) 에 둘레 방향으로 등간격으로 배치되고, 결합재에 지립을 혼합하여 하나의 덩어리로 형성된 1 개의 세그먼트 지석으로 구성된다. 각 연삭 지석 (20-2) 은, 연삭면 (22) 의 평면형 (平面形) 이 휠 기대 (10) 의 둘레 방향의 중앙부가 외주측으로 볼록하게 형성되고, 또한 내주측에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 둘레 방향의 폭이 좁아지는 산 모양으로 형성되어 있다. 또, 각 연삭 지석 (20-2) 은, 연삭면 (22) 의 평면형의 모서리가 곡면으로 형성되어 있다. 각 연삭 지석 (20-2) 은, 연삭면 (22) 의 평면형이 내주측에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 둘레 방향의 폭이 좁아지는 산 모양으로 형성됨으로써, 가공 위치에 배치된 척 테이블 (110) 에 대향하는 연삭면 (22) 의 면적이, 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있다. 또, 복수의 연삭 지석 (20-2) 은, 동일 형상이다.

실시형태 2 에 관련된 연삭 휠 (1-2) 은, 연삭 지석 (20-2) 의 연삭면 (22) 의 평면형이 내주측에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 둘레 방향의 폭이 좁아지는 산 모양으로 형성되어 있기 때문에, 실시형태 1 과 마찬가지로, 피가공물 (201) 의 중심 (212) 및 중심 (212) 부근을 연삭하는 양을 억제할 수 있어, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있음과 함께, 연삭에 의한 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다. 또, 실시형태 2 에 관련된 연삭 휠 (1-2) 은, 마무리 연삭용의 연삭 휠이기 때문에, 마무리 연삭 후의 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다. 또, 연삭 휠 (1-2) 은, 각 연삭 지석 (20-2) 이 1 개의 세그먼트 지석으로 구성되기 때문에, 각 연삭 지석 (20-2) 을 휠 기대 (10) 에 장착할 때에 드는 소요 시간을 억제할 수 있고, 복수의 연삭 지석 (20-2) 이 동일 형상이기 때문에, 복수의 연삭 지석 (20-2) 을 제조할 때에 동일한 틀 등을 사용할 수 있어, 연삭 지석 (20-2) 의 제조에 드는 비용의 급등을 억제할 수 있다.

〔실시형태 3〕

본 발명의 실시형태 3 에 관련된 연삭 휠을 도면에 기초하여 설명한다. 도 8 은, 실시형태 3 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다. 도 8 은, 실시형태 1 및 실시형태 2 와 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

실시형태 3 에 관련된 연삭 휠 (1-3) 은, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 휠 마운트 (124) 에 장착되는 휠 기대 (10) 와, 휠 기대 (10) 에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석 (20-3) 을 구비한다.

실시형태 3 에 관련된 연삭 휠 (1-3) 은, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 마무리 연삭용의 연삭 휠이다. 실시형태 3 에 관련된 연삭 휠 (1-3) 의 복수의 연삭 지석 (20-3) 은, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 휠 기대 (10) 의 하면 (11) 에 둘레 방향으로 등간격으로 배치되고, 결합재에 지립을 혼합하여 하나의 덩어리로 형성된 1 개의 세그먼트 지석으로 구성된다. 각 연삭 지석 (20-3) 은, 연삭면 (22) 의 평면형이, 휠 기대 (10) 의 둘레 방향의 양단에 형성된 휠 기대 (10) 의 직경 방향과 평행한 2 개의 길이가 상이한 직선 (23-1, 23-2) 과, 직선 (23-1, 23-2) 의 외주측의 끝끼리를 연결한 직선 (23-3) 으로 형성된 삼각 형상으로 형성되어 있다. 또, 각 연삭 지석 (20-3) 의 연삭면 (22) 의 평면형을 형성하는 2 개의 직선 (23-1, 23-2) 의 내주측의 끝은, 휠 기대 (10) 의 둘레 방향으로 나열되어 있다.

실시형태 3 에 있어서, 연삭 지석 (20-3) 의 연삭면 (22) 의 평면형을 구성하는 2 개의 직선 (23-1, 23-2) 중 긴 직선 (23-1) 이, 연삭 휠 (1-3) 의 회전 방향 (211) 의 전방에 위치하고, 짧은 직선 (23-2) 이 연삭 휠 (1-3) 의 회전 방향 (211) 의 후방에 위치하고 있다. 각 연삭 지석 (20-3) 은, 연삭면 (22) 의 평면형이, 2 개의 직선 (23-1, 23-2) 과, 직선 (23-1, 23-2) 끼리의 외주측의 끝을 연결한 직선 (23-3) 으로 형성된 삼각 형상으로 형성됨으로써, 가공 위치에 배치된 척 테이블 (110) 에 대향하는 연삭면 (22) 의 면적이, 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있다. 또, 복수의 연삭 지석 (20-3) 은, 동일 형상이다.

또, 연삭 지석 (20-3) 의 연삭면 (22) 의 평면형을 구성하는 2 개의 직선 (23-1, 23-2) 중 긴 직선 (23-1) 이, 연삭 휠 (1-3) 의 회전 방향 (211) 의 전방에 위치하고, 짧은 직선 (23-2) 이 연삭 휠 (1-3) 의 회전 방향 (211) 의 후방에 위치하고 있다. 이 때문에, 실시형태 3 에 관련된 연삭 휠 (1-3) 의 연삭 지석 (20-3) 의 연삭면 (22) 의 면적은, 회전 방향 (211) 전측의 면적보다 회전 방향 (211) 후측의 면적 쪽이 적게 되어 있다.

또, 실시형태 3 에 관련된 연삭 휠 (1-3) 은, 척 테이블 (110) 에 유지된 피가공물 (201) 에 연삭액을 공급하기 위한 연삭액 공급공 (24) 을 구비한다. 연삭액 공급공 (24) 은, 휠 기대 (10) 의 둘레 방향으로 등간격으로 배치되고, 연삭 지석 (20-3) 의 외주측에 배치되어 있다. 또한, 본 발명은, 연삭액 공급공 (24) 을 실시형태 1 및 실시형태 2 에 관련된 연삭 휠 (1, 1-2) 에 형성해도 된다.

실시형태 3 에 관련된 연삭 휠 (1-3) 은, 연삭면 (22) 의 평면형이, 2 개의 직선 (23-1, 23-2) 과, 직선 (23-1, 23-2) 의 외주측의 끝끼리를 연결한 직선 (23-3) 으로 형성된 삼각 형상으로 형성되어 있기 때문에, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 연삭하는 양을 억제할 수 있어, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있음과 함께, 연삭에 의한 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다. 또, 실시형태 3 에 관련된 연삭 휠 (1-3) 은, 마무리 연삭용의 연삭 휠이기 때문에, 마무리 연삭 후의 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다. 또, 연삭 휠 (1-3) 은, 각 연삭 지석 (20-3) 이 1 개의 세그먼트 지석으로 구성되기 때문에, 각 연삭 지석 (20-3) 을 휠 기대 (10) 에 장착할 때에 드는 소요 시간을 억제할 수 있고, 복수의 연삭 지석 (20-3) 이 동일 형상이기 때문에, 복수의 연삭 지석 (20-3) 을 제조할 때에 동일한 틀 등을 사용할 수 있어, 연삭 지석 (20-3) 의 제조에 드는 비용의 급등을 억제할 수 있다.

〔실시형태 4〕

본 발명의 실시형태 4 에 관련된 연삭 휠을 도면에 기초하여 설명한다. 도 9 는, 실시형태 4 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다. 도 10 은, 도 9 에 나타난 연삭 지석의 단면도이다. 도 9 및 도 10 은, 실시형태 3 과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

실시형태 4 에 관련된 연삭 휠 (1-4) 은, 도 9 및 도 10 에 나타내는 바와 같이, 연삭 지석 (20-4) 의 연삭면 (22) 에 휠 기대 (10) 의 내주측에서부터 외주측에 이르는 홈 (33) 이 형성되어 있다. 홈 (33) 은, 연삭면 (22) 으로부터 오목하게 형성되고, 또한, 실시형태 1 에 있어서, 휠 기대 (10) 의 직경 방향과 평행하게 직선상으로 형성되어 있음과 함께, 둘레 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 홈 (33) 의 폭은, 연삭 중에, 피가공물 (201-1) 로부터 탈락한 자성분 (207) 을 외주측으로 배출할 수 있는 폭이다.

실시형태 4 에 관련된 연삭 휠 (1-4) 은, 연삭면 (22) 의 평면형이 실시형태 3 과 동일 형상으로 형성되어 있기 때문에, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 연삭하는 양을 억제할 수 있어, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있음과 함께, 연삭에 의한 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다. 또, 실시형태 4 에 관련된 연삭 휠 (1-4) 은, 각 연삭 지석 (20-4) 에 홈 (33) 이 형성되어 있기 때문에, 연삭 부스러기를 연삭액과 함께 홈 (33) 을 통해 연삭 휠 (1-4) 의 외주로 배출할 수 있다.

〔실시형태 5〕

본 발명의 실시형태 5 에 관련된 연삭 휠을 도면에 기초하여 설명한다. 도 11 은, 실시형태 5 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다. 도 11 은, 실시형태 1 내지 실시형태 3 과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

실시형태 5 에 관련된 연삭 휠 (1-5) 은, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 휠 마운트 (124) 에 장착되는 휠 기대 (10) 와, 휠 기대 (10) 에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석 (20-5) 을 구비한다.

실시형태 5 에 관련된 연삭 휠 (1-5) 은, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 마무리 연삭용의 연삭 휠이다. 실시형태 5 에 관련된 연삭 휠 (1-5) 의 복수의 연삭 지석 (20-5) 은, 실시형태 1 과 마찬가지로, 휠 기대 (10) 의 하면 (11) 에 둘레 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 실시형태 5 에 관련된 연삭 휠 (1-5) 의 복수의 연삭 지석 (20-5) 은, 각각이 결합재에 지립을 혼합하여 형성된 복수의 세그먼트 지석 (25) 으로 구성되는 1 개의 지석군 (26) 이다. 각 연삭 지석 (20-5) 을 구성하는 복수의 세그먼트 지석 (25) 은, 연삭면 (22) 의 평면형이 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 상이한 장방형으로 형성되어 있다. 연삭 지석 (20-5) 의 복수의 세그먼트 지석 (25) 은, 내주측의 끝이 휠 기대 (10) 의 둘레 방향으로 나열되어 배치되어 있다.

각 연삭 지석 (20-5) 의 복수의 세그먼트 지석 (25) 은, 연삭시의 회전 방향 (211) 의 전방측에 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 긴 것이 배치되고, 회전 방향 (211) 의 후방측을 향하여 순서대로 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 짧게 되어 있다. 각 연삭 지석 (20-5) 은, 연삭시의 회전 방향 (211) 의 전방측에 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 긴 세그먼트 지석 (25) 이 배치되고, 회전 방향 (211) 의 후방측을 향하여 순서대로 세그먼트 지석 (25) 의 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 짧게 되어 있음으로써, 가공 위치에 배치된 척 테이블 (110) 에 대향하는 연삭면 (22) 의 면적이, 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있다. 또, 복수의 연삭 지석 (20-5) 은, 동일 형상이다.

또, 복수의 연삭 지석 (20-5) 은, 연삭시의 회전 방향 (211) 의 전방측에 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 긴 세그먼트 지석 (25) 이 배치되고, 회전 방향 (211) 의 후방측을 향하여 순서대로 세그먼트 지석 (25) 의 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 짧게 되어 있음으로써, 실시형태 5 에 관련된 연삭 휠 (1-5) 의 연삭 지석 (20-5) 의 연삭면 (22) 의 면적은, 회전 방향 (211) 전측의 면적보다 회전 방향 (211) 후측의 면적 쪽이 적게 되어 있다.

또, 각 연삭 지석 (20-5) 의 복수의 세그먼트 지석 (25) 은, 휠 기대 (10) 의 둘레 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 서로 인접하는 세그먼트 지석 (25) 사이는, 휠 기대 (10) 의 내주측에서부터 외주측에 이르는 홈 (27) 을 형성한다. 즉, 각 연삭 지석 (20-5) 에는, 홈 (27) 이 형성된다. 홈 (27) 의 폭은, 실시형태 4 의 홈 (33) 의 폭과 마찬가지로, 연삭 중에, 피가공물 (201-1) 로부터 탈락한 자성분 (207) 을 외주측으로 배출할 수 있는 폭이다.

실시형태 5 에 관련된 연삭 휠 (1-5) 은, 연삭시의 회전 방향 (211) 의 전방측에 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 긴 세그먼트 지석 (25) 이 배치되고, 회전 방향 (211) 의 후방측을 향하여 순서대로 세그먼트 지석 (25) 의 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 길이가 짧게 되어 있기 때문에, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 연삭하는 양을 억제할 수 있어, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있음과 함께, 연삭에 의한 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다. 또, 실시형태 5 에 관련된 연삭 휠 (1-5) 은, 각 연삭 지석 (20-5) 에 홈 (27) 이 형성되어 있기 때문에, 연삭 부스러기를 연삭액과 함께 홈 (27) 을 통해 연삭 휠 (1-5) 의 외주로 배출할 수 있다.

〔실시형태 6〕

본 발명의 실시형태 6 에 관련된 연삭 휠을 도면에 기초하여 설명한다. 도 12 는, 실시형태 6 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다. 도 12 는, 실시형태 1 내지 실시형태 5 와 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

실시형태 6 에 관련된 연삭 휠 (1-6) 은, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 휠 마운트 (124) 에 장착되는 휠 기대 (10) 와, 휠 기대 (10) 에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석 (20-6) 을 구비한다.

실시형태 6 에 관련된 연삭 휠 (1-6) 은, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 마무리 연삭용의 연삭 휠이다. 실시형태 6 에 관련된 연삭 휠 (1-6) 의 복수의 연삭 지석 (20-6) 은, 실시형태 1 과 마찬가지로, 휠 기대 (10) 의 하면 (11) 에 둘레 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 실시형태 6 에 관련된 연삭 휠 (1-6) 의 복수의 연삭 지석 (20-6) 은, 실시형태 5 와 마찬가지로, 각각이 결합재에 지립을 혼합하여 형성된 복수의 세그먼트 지석 (25-6) 으로 구성되는 1 개의 지석군 (26) 이다. 각 연삭 지석 (20-6) 을 구성하는 복수의 세그먼트 지석 (25-6) 은, 연삭면 (22) 의 평면형이 서로 동일 형상인 장방형으로 형성되어 있다.

각 연삭 지석 (20-6) 은, 휠 기대 (10) 의 내주측에 복수의 세그먼트 지석 (25-6) 을 둘레 방향으로 등간격으로 나열하고, 이들 둘레 방향으로 나열된 복수의 세그먼트 지석 (25-6) 중 회전 방향 (211) 의 전방측의 것에 가장 많은 세그먼트 지석 (25-6) 을 직경 방향으로 겹치고, 후방측으로 향함에 따라 직경 방향으로 겹치는 세그먼트 지석 (25-6) 의 수를 서서히 줄이고 있다. 각 연삭 지석 (20-6) 의 세그먼트 지석 (25-6) 이 회전 방향 (211) 의 후방측으로 향함에 따라 직경 방향으로 겹쳐지는 수가 서서히 줄어들고 있음으로써, 연삭면 (22) 의 면적이, 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있다. 또, 복수의 연삭 지석 (20-6) 은, 동일 형상이다.

또, 복수의 연삭 지석 (20-6) 은, 세그먼트 지석 (25-6) 이 회전 방향 (211) 의 후방측으로 향함에 따라 직경 방향으로 겹쳐지는 수가 서서히 줄어들고 있음으로써, 실시형태 6 에 관련된 연삭 휠 (1-6) 의 연삭 지석 (20-6) 의 연삭면 (22) 의 면적은, 회전 방향 (211) 전측의 면적보다 회전 방향 (211) 후측의 면적 쪽이 적게 되어 있다.

또, 각 연삭 지석 (20-6) 의 휠 기대 (10) 의 둘레 방향에 서로 인접하는 세그먼트 지석 (25-6) 사이는, 휠 기대 (10) 의 내주측에서부터 외주측에 이르는 홈 (27) 을 형성한다. 즉, 각 연삭 지석 (20-6) 에는, 홈 (27) 이 형성된다. 홈 (27) 의 폭은, 실시형태 4 및 실시형태 5 와 마찬가지로, 연삭 중에, 피가공물 (201-1) 로부터 탈락한 자성분 (207) 을 외주측으로 배출할 수 있는 폭이다.

실시형태 6 에 관련된 연삭 휠 (1-6) 은, 연삭시의 회전 방향 (211) 의 전방측에 가장 많은 세그먼트 지석 (25-6) 이 직경 방향으로 겹쳐지고, 후방측으로 향함에 따라 직경 방향으로 겹쳐지는 세그먼트 지석 (25-6) 의 수가 서서히 줄여져 있기 때문에, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 연삭하는 양을 억제할 수 있어, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있음과 함께, 연삭에 의한 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다. 또, 실시형태 6 에 관련된 연삭 휠 (1-6) 은, 실시형태 5 와 마찬가지로, 각 연삭 지석 (20-6) 에 홈 (27) 이 형성되어 있기 때문에, 연삭 부스러기를 연삭액과 함께 홈 (27) 을 통해 연삭 휠 (1-6) 의 외주로 배출할 수 있다.

〔실시형태 7〕

본 발명의 실시형태 7 에 관련된 연삭 휠을 도면에 기초하여 설명한다. 도 13 은, 실시형태 7 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다. 도 13 은, 실시형태 1 내지 실시형태 6 과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

실시형태 7 에 관련된 연삭 휠 (1-7) 은, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 휠 마운트 (124) 에 장착되는 휠 기대 (10) 와, 휠 기대 (10) 에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석 (20-7) 을 구비한다.

실시형태 7 에 관련된 연삭 휠 (1-7) 은, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 마무리 연삭용의 연삭 휠이다. 실시형태 7 에 관련된 연삭 휠 (1-7) 은, 연삭 지석 (20-7) 으로서, 실시형태 2 와 동일한 형상의 연삭 지석 (28) 과, 연삭 지석 (28) 과 연삭면 (22) 의 형상이 상사형 (相似形) 이고 또한 휠 기대 (10) 의 직경 방향의 두께가 연삭 지석 (28) 보다 얇은 소형 연삭 지석 (29) 을 구비한다. 실시형태 7 에 관련된 연삭 휠 (1-7) 은, 휠 기대 (10) 의 하면 (11) 에 둘레 방향으로 연삭 지석 (28) 을 등간격으로 배치하고, 인접하는 연삭 지석 (28) 사이에 2 개의 소형 연삭 지석 (29) 을 배치하고 있다.

연삭 지석 (28) 의 연삭면 (22) 은, 실시형태 2 의 연삭 지석 (20-2) 의 연삭면 (22) 과 동일 형상이고, 소형 연삭 지석 (29) 의 연삭면 (22) 은, 실시형태 2 의 연삭 지석 (20-2) 의 연삭면 (22) 과 상사형이기 때문에, 연삭 휠 (1-7) 의 연삭면 (22) 의 면적은, 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있다.

실시형태 7 에 관련된 연삭 휠 (1-7) 은, 연삭 지석 (28) 의 연삭면 (22) 은, 실시형태 2 의 연삭 지석 (20-2) 의 연삭면 (22) 과 동일 형상이고, 소형 연삭 지석 (29) 의 연삭면 (22) 은, 실시형태 2 의 연삭 지석 (20-2) 의 연삭면 (22) 과 상사형이기 때문에, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 연삭하는 양을 억제할 수 있어, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있음과 함께, 연삭에 의한 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다.

〔실시형태 8〕

본 발명의 실시형태 8 에 관련된 연삭 휠을 도면에 기초하여 설명한다. 도 14 는, 실시형태 8 에 관련된 연삭 휠의 평면도이다. 도 14 는, 실시형태 1 내지 실시형태 7 과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

실시형태 8 에 관련된 연삭 휠 (1-8) 은, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 휠 마운트 (124) 에 장착되는 휠 기대 (10) 와, 휠 기대 (10) 에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석 (20-8) 을 구비한다.

실시형태 8 에 관련된 연삭 휠 (1-8) 은, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 마무리 연삭용의 연삭 휠이다. 실시형태 8 에 관련된 연삭 휠 (1-8) 은, 연삭 지석 (20-8) 으로서, 휠 기대 (10) 의 내주측의 둘레 방향의 길이가 서로 동일하고, 또한 직경 방향의 두께가 상이한 복수 종류의 연삭 지석 (30, 31, 32) 을 구비한다. 실시형태 8 에 있어서, 연삭 휠 (1-8) 은, 연삭 지석 (20-8) 으로서, 두께가 상이한 3 종류의 연삭 지석 (30, 31, 32) 을 구비하는데, 연삭 지석 (20-8) 의 종류는 3 종류에 한정되지 않는다. 실시형태 8 에 관련된 연삭 휠 (1-8) 은, 연삭 지석 (30, 31, 32) 을 동수 (同數) (실시형태 8 에서는 4 개씩) 구비한다.

또, 실시형태 8 에 있어서, 연삭 휠 (1-8) 은, 연삭 지석 (30, 31, 32) 의 내주측을 둘레 방향으로 나열하고, 동일한 두께의 연삭 지석 (30, 31, 32) 을 둘레 방향으로 서로 인접하여 배치하고 있음과 함께, 각 연삭 지석 (30, 31, 32) 을 둘레 방향으로 등간격으로 배치하고 있다. 연삭 지석 (30, 31, 32) 의 내주측을 둘레 방향으로 나열하고 있기 때문에, 연삭 휠 (1-8) 의 연삭면 (22) 의 면적은, 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있다.

실시형태 8 에 관련된 연삭 휠 (1-8) 은, 연삭면 (22) 의 면적이 휠 기대 (10) 의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성되어 있기 때문에, 실시형태 1 등과 마찬가지로, 피가공물 (201) 의 중심 부분을 연삭하는 양을 억제할 수 있어, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있음과 함께, 연삭에 의한 피가공물 (201) 의 두께 불균일을 억제할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 발명자는, 연삭 휠 (1-3, 1-6) 로 피가공물 (201-1) 의 표면 (209) 을 연삭하여 본 발명의 효과를 확인하였다. 다음으로, 본 명세서는, 연삭 휠 (1-3, 1-6) 로 피가공물 (201-1) 의 표면 (209) 을 연삭한 결과를 도면에 기초하여 설명한다. 도 15 는, 본 발명품 1 의 연삭 휠의 연삭 중의 상태를 나타내는 평면도이다. 도 16 은, 본 발명품 2 의 연삭 휠의 연삭 중의 상태를 나타내는 평면도이다. 도 17 은, 비교예의 연삭 휠의 연삭 중의 상태를 나타내는 평면도이다. 도 18 은, 본 발명품 1 의 연삭 휠에 의해 연삭된 피가공물의 표면의 중심 부분을 확대하여 나타내는 도면이다. 도 19 는, 본 발명품 1 의 연삭 휠에 의해 연삭된 피가공물의 표면의 중심 부분에서 떨어진 외측 가장자리부를 확대하여 나타내는 도면이다. 도 20 은, 비교예의 연삭 휠에 의해 연삭된 피가공물의 표면의 중심 부분을 확대하여 나타내는 도면이다. 도 21 은, 비교예의 연삭 휠에 의해 연삭된 피가공물의 표면의 중심 부분에서 떨어진 외측 가장자리부를 확대하여 나타내는 도면이다.

본 명세서는, 연삭한 결과를 표 1 에 나타낸다. 또한, 표 1 의 본 발명품 1 은, 실시형태 6 에 관련된 도 15 에 나타내는 연삭 휠 (1-6) 을 사용하여 연삭하고, 본 발명품 2 및 본 발명품 3 은, 실시형태 3 에 관련된 도 16 에 나타내는 연삭 휠 (1-3) 을 사용하여 연삭하고, 비교예는, 휠 기대 (10) 의 직경 방향으로 연삭면의 면적이 일정한 도 17 에 나타내는 종래의 연삭 휠 (300) 을 사용하여 연삭하였다. 본 발명품 1 및 본 발명품 2 의 연삭 휠 (1-3) 의 연삭 지석 (20-3) 은, 본드재로서 비트리파이드 본드를 사용하고, 본 발명품 3 및 비교예의 연삭 휠 (1-3, 300) 의 연삭 지석 (20-3) 은, 본드재로서 레진 본드를 사용하였다. 도 18 내지 도 21 에 있어서, 흰 바탕으로 나타내는 부분은, 자성분 (207) 의 단면을 나타내고, 검은 바탕으로 나타내는 부분은, 수지 (208) 를 나타낸다.

도 18 의 자성분 (207) 의 단면을 나타내는 부분의 면적과 도 19 의 자성분 (207) 의 단면을 나타내는 부분의 면적의 차이는, 도 20 의 자성분 (207) 의 단면을 나타내는 부분의 면적과 도 21 의 자성분 (207) 의 단면을 나타내는 부분의 면적의 차이보다 적다. 도 18 내지 도 21 에 있어서, 자성분 (207) 의 단면을 나타내는 부분이 많은 것은, 많은 자성분 (207) 을 연삭한 것을 나타내고, 자성분 (207) 의 단면을 나타내는 부분이 적은 것은, 많은 자성분 (207) 을 표면 (209) 으로부터 탈락시켜 버리는 것을 나타낸다. 따라서, 도 18 내지 도 21 에 의하면, 본 발명품 1 은, 비교예보다 피가공물 (201-1) 의 중심 부분으로부터 자성분 (207) 을 탈락시키기 어렵게 되어 있는 것이 분명해졌다.

또, 표 1 에 의하면, 비교예에서는, 연삭 후의 피가공물 (201-1) 의 표면에 가우지가 발생하였지만, 본 발명품 1, 본 발명품 2 및 본 발명품 3 에서는, 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있는 것이 분명해졌다. 또, 표 1 의 확인에서는, 본 발명품 1 및 본 발명품 2 는, 본 발명품 3 보다 피가공물 (201-1) 의 중심 부분으로부터 자성분 (207) 을 탈락시키기 어렵게 되어 있는 것이 분명해졌다. 레진 본드는 비트리파이드 본드보다 소모되기 쉽기 때문에, 본 발명품 3 에서는 본 발명품 1 및 본 발명품 2 보다 셀프 샤프닝이 빈번하게 일어나, 본 발명품 3 의 연삭 지석 (20-3) 의 표면에 노출되어 있는 지립이 마모되기 전에 탈락하여, 항상 새로운 지립이 노출된다. 그 때문에 본 발명품 3 은, 새롭게 마모되지 않은 지립이 자성분 (207) 에 닿아, 자성분 (207) 에 미치는 충격이 크기 때문에, 자성분 (207) 이 탈락한다. 그러나, 본 발명품 1 및 본 발명품 2 는, 연삭에 의해 마모된 지립이 자성분 (207) 에 닿기 때문에 충격이 적어 자성분 (207) 의 탈락을 억제할 수 있다고 추측할 수 있다.

따라서, 표 1, 도 18 내지 도 21 에 의하면, 연삭 지석 (20-3, 20-6) 의 연삭면 (22) 의 면적이 휠 기대 (10) 의 내주측에서부터 외주측으로 향함에 따라 서서히 적어지도록 형성함으로써, 피가공물 (201-1) 의 중심 부분에 가우지가 발생하는 것을 억제할 수 있어, 중심 부분의 자성분 (207) 의 탈락을 억제할 수 있는 것이 분명해졌다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 본 발명은, 실시형태 1, 실시형태 2, 실시형태 7 및 실시형태 8 에 관련된 연삭 휠 (1, 1-2, 1-7, 1-8) 의 연삭 지석 (20, 20-2, 20-7, 20-8) 에 홈 (33) 을 형성해도 된다.

1, 1-2, 1-3, 1-4, 1-5, 1-6, 1-7, 1-8 : 연삭 휠
10 : 휠 기대
20, 20-2, 20-3, 20-4, 20-5, 20-6, 20-7, 20-8, 28, 29, 30, 31, 32 : 연삭 지석
22 : 연삭면
25, 25-6 : 세그먼트 지석
26 : 지석군
27, 33 : 홈
110 : 척 테이블
120 : 연삭 유닛 (연삭 수단)
122 : 회전 스핀들
124 : 휠 마운트
201, 201-1 : 피가공물
211 : 회전 방향

Claims

척 테이블에 유지된 피가공물을 연삭하는 연삭 수단을 구성하는 회전 스핀들의 일단에 형성된 휠 마운트에 장착되는 휠 기대와, 그 휠 기대에 대략 원환상으로 배치 형성된 복수의 연삭 지석을 구비하는 연삭 휠로서,
그 연삭 지석의 연삭면의 면적은, 상기 휠 기대의 내주측의 면적에서부터 외주측으로 서서히 적게 구성되는 연삭 휠.
제 1 항에 있어서,
상기 연삭 지석은, 1 개의 세그먼트 지석으로 구성되는 연삭 휠.
제 1 항에 있어서,
상기 연삭 지석은, 복수의 세그먼트 지석으로 구성되는 1 개의 지석군인 연삭 휠.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 연삭 지석은, 상기 휠 기대의 내주측에서부터 외주측에 이르는 홈이 형성되는 연삭 휠.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연삭 지석의 연삭면의 면적은, 회전 방향 전측의 면적보다 회전 방향 후측의 면적 쪽이 적은 연삭 휠.