KR20180077024A - Cutter wheel - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a cutter wheel capable of forming a clean scribe line with high penetration even with a small scribe load and capable of dividing into a unit product having excellent end face strength. The cutter wheel has a V-shaped knife edge ridge line (4) formed by two inclined surfaces (3a, 3a) intersecting each other on the circumferential surface. A groove part (5) is machined at a predetermined pitch (P) over the whole knife edge ridge line (4). The groove part (5) and a remaining knife edge ridge line part (6) are alternately formed. The pitch (P) is 100 to 200 μm. The length (5a) of the groove part (5) is 3 to 10 μm. The depth (5b) of the groove part (5) is 1 to 3 μm. Therefore, a scribe line (S) can be formed with a small load.

Description

커터 휠{CUTTER WHEEL}Cutter wheel {CUTTER WHEEL}

본 발명은, 유리 등의 취성(脆性) 재료 기판이나, 2매의 취성 재료 기판을 접합시킨 접합 기판의 표면에 분단(分斷)용 스크라이브 라인(scribe line)(절단 홈)을 가공할 때에 사용되는 커터 휠('스크라이빙 휠'이라고도 함)에 관한 것이다. The present invention relates to a brittle material substrate such as glass or a brittle material substrate which is used when a scribe line (cutting groove) for dividing is processed on the surface of a bonded substrate obtained by bonding two brittle material substrates (Also referred to as a " scribing wheel ").

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판(이하 「기판」이라고도 함)을 분단하는 가공에서는, 커터 휠을 기판 표면에 밀어 붙여 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후, 스크라이브 라인을 따라서 이면측으로부터 외력을 인가하여 기판을 휘게 하는 것에 의해, 단위 기판마다 분단하는 방법이 일반적으로 알려져 있으며, 예를 들면, 특허 문헌 1에 개시되어 있다. Conventionally, in the processing of dividing a brittle material substrate (hereinafter also referred to as " substrate ") such as a glass substrate, a cutter wheel is pushed against the substrate surface to form a scribe line, A method of dividing a substrate by unit substrates by bending the substrates is generally known, and is disclosed in, for example, Patent Document 1.

취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 가공하는 커터 휠은, 원주면에 서로 교차하는 2개의 경사면에 의한 V자형의 칼끝을 가지며, 중심에 장착용 베어링 구멍을 구비한 커터 휠이 이용된다. A cutter wheel for machining a scribe line on a brittle material substrate has a V-shaped cutting edge formed by two inclined surfaces intersecting each other on a circumferential surface, and a cutter wheel having a bearing hole for mounting at the center is used.

상기의 커터 휠로서, 칼끝 능선이 매끄럽게 마무리된 커터 휠(이하 이것을 「노멀 커터 휠」이라고 함)과, 칼끝 능선에 소정의 피치로 홈부(노치(notch))를 마련한 커터 휠(이하 이것을 「홈 형성 커터 휠」이라고 함)이 있다. (Hereinafter referred to as " normal cutter wheel ") in which a knife edge ridge is smoothly finished (hereinafter referred to as a " normal cutter wheel ") and a cutter wheel Forming cutter wheel ").

이들 커터 휠에 의해서 형성되는 스크라이브 라인에 대해서, 도 3을 참조하면서 설명한다. 도 3은, 기판에 형성되는 스크라이브 라인의 리브(rib) 마크 및 수직 크랙을 나타내는 것으로서, 도 3의 (a)는 스크라이브 라인 방향을 따른 단면도이며, 도 3의 (b)는 스크라이브 라인에 직교하는 방향을 따른 단면도이다. A scribe line formed by these cutter wheels will be described with reference to Fig. Fig. 3 shows a rib mark and a vertical crack of a scribe line formed on a substrate. Fig. 3 (a) is a sectional view along the scribe line direction, and Fig. 3 (b) Fig.

스크라이브 라인(S)은, 기판 표면의 커터 휠이 파고든 흔적인 소성 변형 영역과, 소성 변형 영역 바로 아래에 생기고, 기판(W)의 두께 방향으로 침투하는 수직 크랙(8)에 의해 형성된다. 수직 크랙(8)의 상부에는 소정의 깊이에 걸쳐서 리브 마크(7)로 불리는 특징적인 흔적이 생긴다. 도 3의 L1은 기판(W) 표면으로부터의 리브 마크량(깊이)을 나타내고, L2는 기판(W) 표면으로부터의 수직 크랙량(침투 깊이)을 나타내는 것이다. The scribe line S is formed by a plastic deformation area where the cutter wheel on the surface of the substrate is caught and a vertical crack 8 that occurs just below the plastic deformation area and penetrates in the thickness direction of the substrate W. [ At the upper part of the vertical crack 8, there is a characteristic trace called a rib mark 7 over a predetermined depth. In Fig. 3, L1 indicates the amount of rib marks (depth) from the surface of the substrate W, and L2 indicates the amount of vertical cracks (penetration depth) from the surface of the substrate W.

노멀 커터 휠에서는, 스크라이브 라인 형성시에 깨끗한 홈면을 형성할 수 있지만, 그 반면, 기판 표면에 대해서 파고드는 힘이 작아 칼끝이 미끄러지기 쉽다고 하는 문제점이 있다. 따라서, 기판의 단면(端面)으로부터 내측으로부터 스크라이브를 개시한 경우, 스크라이브 개시 직후부터 수직 크랙이 발생하기 어렵고, 또 깊은 수직 크랙을 형성하기 위해서 스크라이브 하중을 크게 하면, 기판 표면에 수평 방향으로 갈라지는 불규칙한 균열이 생기거나, 홈부에 상흔(傷痕)이 생기거나 하여 불량품의 발생 빈도가 높아진다. In the normal cutter wheel, a clean groove surface can be formed at the time of forming the scribe line. On the other hand, there is a problem that the force of pawl against the surface of the substrate is small and the tip of the cutting edge is liable to slip. Therefore, when scribing is started from the inside from the end face of the substrate, vertical cracks do not easily occur immediately after the start of scribing. When the scribing load is increased to form a deep vertical crack, irregular Cracks are generated, or scars are formed in the grooves, thereby increasing the frequency of occurrence of defective products.

이것에 대해, 칼끝 능선에 홈부(노치)를 마련한 홈 형성 커터 휠에서는, 홈부와 칼끝 능선부(볼록부)가 교호로 형성되어 있다. 이것에 의해, 노멀 커터 휠에 비해 높은 스크라이브 하중을 기판에 가할 수 있어, 충분한 깊이의 수직 크랙에 의한 스크라이브 라인을 형성할 수 있음과 아울러, 불규칙한 방향으로의 균열이나 수평 크랙의 발생을 억제하는 것이 가능해진다. On the other hand, in the groove forming cutter wheel provided with the groove portion (notch) in the ridge line of the knife edge, the groove portion and the ridge line portion of the knife edge (convex portion) are alternately formed. As a result, a scribe load higher than that of the normal cutter wheel can be applied to the substrate, a scribe line can be formed by vertical cracks of a sufficient depth, and cracks or horizontal cracks in an irregular direction can be suppressed It becomes possible.

특허 문헌 1 : 특허 제3787489호 공보Patent Document 1: Japanese Patent No. 3787489

근래, 유리 기판을 분단 가공하여 얻는 액정 패널 등의 단위 제품의 소형화나 정밀화에 의해, 절단면의 단면(端面) 강도가 뛰어난 고정밀도의 분단이 요구되게 되었다. 그러기 위해서는, 보다 작은 스크라이브 하중으로 고침투(高浸透)의 깨끗한 스크라이브 라인을 가공할 수 있는 홈 형성 커터 휠이 필요하다. 2. Description of the Related Art In recent years, unit products such as liquid crystal panels obtained by dividing a glass substrate have been required to be compact and highly precise, so that highly accurate division of the cut surface with excellent end face strength is required. To do this, a grooved cutter wheel is needed that can process clean scribe lines with high penetration with smaller scribe loads.

특히 도 6, 7에 나타내는 바와 같이, 씰부(10)를 매개로 하여 2매의 유리 기판(W, W)을 접합시키고, 이 씰부(10)에 의해 격자 모양으로 구분된 복수의 액정 주입 영역(11)을 가지는 접합 기판에서, 씰부(10)의 바로 위에서 커터 휠(12)을 이용하여 유리 기판(W)에 스크라이브 라인(S)을 가공하는 경우, 씰부(10)의 탄성 등에 의해 커터 휠(12)의 파고듦이 나빠져, 통상의 스크라이브 하중에서는 리브 마크나 수직 크랙을 충분히 형성할 수 없다고 하는 문제점이 있었다. 또, 스크라이브 하중을 크게 하면, 유리 기판(W)의 휨이 커져 기판 표면에 수평 방향으로 갈라지는 불규칙한 균열이 생기거나, 홈부에 상흔 등의 파괴가 생기거나 하여 불량품의 발생 빈도가 높아진다. 6 and 7, two glass substrates W and W are bonded to each other via the sealing portion 10 and a plurality of liquid crystal injection regions When the scribe line S is machined on the glass substrate W by using the cutter wheel 12 just above the seal portion 10 in the bonded substrate having the cutter wheel 11 with the elasticity of the seal portion 10, 12 are worsened, and rib marks and vertical cracks can not be sufficiently formed under a normal scribing load. If the scribing load is increased, the warpage of the glass substrate W becomes large, irregular cracks are generated in the horizontal direction on the surface of the substrate, and destruction of the scar or the like occurs in the groove portion, thereby increasing the frequency of occurrence of defective products.

그래서 본 발명은, 유리 등의 취성 재료 기판에 대해서 종래 보다도 작은 스크라이브 하중이라도 고침투의 깨끗한 스크라이브 라인을 형성할 수 있고, 이것에 의해 단면(端面) 강도가 뛰어난 단위 제품으로 분단하는 것이 가능한 커터 휠을 제공하는 것을 목적으로 한다. Therefore, it is an object of the present invention to provide a clean scribe line with high penetration even with a scribe load smaller than that of the prior art for a brittle material substrate such as glass, and to provide a cutter wheel capable of dividing into a unit product having excellent end face strength And to provide the above objects.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉 본 발명은, 원주면에 서로 교차하는 2개의 경사면에 의한 V자형의 칼끝 능선을 가지며, 상기 칼끝 능선의 전역(全域)에 소정의 피치로 홈부가 가공되고, 상기 홈부와 남은 칼끝 능선부가 교호로 형성되어 있는 원판 모양의 커터 휠로서, 상기 피치가 100~200㎛이고, 상기 홈부의 길이가 3~10㎛이며, 상기 홈부의 깊이가 1~3㎛의 범위로 구성했다. In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical means. That is, according to the present invention, there is provided a cutting tool having a V-shaped ridge line ridge by two inclined surfaces intersecting each other on a circumferential surface, a groove portion is machined at a predetermined pitch in the entire region of the ridge line of the knife, Shaped cutter wheel having a pitch of 100 to 200 mu m, a length of the groove portion of 3 to 10 mu m, and a depth of the groove portion of 1 to 3 mu m.

여기서, 상기 커터 휠의 직경을 1~5mm로 하고, 상기 2개의 경사면이 교차하는 칼끝 각도가 90~120°로 하는 것이 좋다Here, it is preferable that the diameter of the cutter wheel is 1 to 5 mm, and the angle of the cutting edge at which the two inclined surfaces intersect is 90 to 120

본 발명의 커터 휠에서는, 상기의 조건으로 구성하는 것에 의해 낮은 스크라이브 하중이라도 확실히 기판에 파고들어 리브 마크를 형성함과 아울러, 분단에 필요한 고침투의 수직 크랙을 형성할 수 있다. 이것에 의해, 브레이크시에 상흔이 없는 깨끗한 분단면으로 브레이크하는 것이 가능해져, 단면 강도가 뛰어난 단위 제품을 얻을 수 있다. In the cutter wheel of the present invention, by constituting under the above-mentioned conditions, even a low scribe load can be surely dug into the substrate to form a rib mark, and a high penetration vertical crack necessary for cutting can be formed. As a result, it is possible to break the brakes by a clean section having no cracks at the time of braking, and a unit product excellent in section strength can be obtained.

특히, 씰부를 매개로 하여 2매의 유리 기판을 접합시킨 접합 기판에서, 씰부 바로 위에서 유리 기판에 스크라이브 라인을 가공하는 경우에, 씰부의 존재에 영향받지 않고, 작은 스크라이브 하중으로 깊은 리브 마크와 고침투의 수직 크랙을 가지는 스크라이브 라인을 가공하는 것이 가능해져, 단면 강도가 뛰어난 분단면으로 브레이크할 수 있다고 하는 효과가 있다. Particularly, in the case of processing a scribe line on a glass substrate directly above a seal portion in a bonded substrate in which two glass substrates are bonded to each other via a seal portion, it is possible to obtain a deep rib mark with a small scribe load, It is possible to process a scribe line having a vertical crack of penetration, and there is an effect that breaking can be performed with a section having excellent cross-sectional strength.

본 발명에서, 상기 홈부의 길이를 상기 홈부의 깊이의 3배의 근방값의 치수로 형성하는 것이 좋다. In the present invention, it is preferable that the length of the groove portion is formed to have a dimension of a value close to three times the depth of the groove portion.

이것에 의해, 칼끝 능선부에 의한 기판으로의 파고듦과, 홈부의 저부에 의한 파고듦 억제가 밸런스 좋게 작용하여, 고침투의 수직 크랙을 가지는 스크라이브 라인을 효과적으로 형성할 수 있다. As a result, the scribe line having a vertical crack of high penetration can be effectively formed because the scribing by the ridge line of the knife edge portion to the substrate and the suppression of the scraping due to the bottom portion of the groove portion are balanced.

도 1은 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠의 측면도와 정면도이다.
도 3은 취성 재료 기판에 형성되는 스크라이브 라인을 나타내는 단면도이다.
도 4는 분할수(分割數)가 다른 홈 형성 커터 휠을 이용한 스크라이브 시험 데이터를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4의 수치 데이터를 선그래프로 나타낸 도면이다.
도 6은 가공 대상이 되는 접합 기판을 나타내는 평면도이다.
도 7은 도 6의 단면도이다.
도 8은 스크라이브 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이다. 1 is a perspective view of a groove forming cutter wheel according to the present invention.
2 is a side view and a front view of a groove forming cutter wheel according to the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a scribe line formed on a brittle material substrate.
4 is a diagram showing scribe test data using a groove forming cutter wheel having a different number of divisions (number of divisions).
5 is a line graph showing the numerical data of Fig.
6 is a plan view showing a bonded substrate to be processed.
Fig. 7 is a sectional view of Fig. 6. Fig.
8 is a front view schematically showing a scribe apparatus.

이하에서, 본 발명의 홈 형성 커터 휠에 대해서, 도면에 근거하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, the groove forming cutter wheel of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠(A)을 나타내는 사시도이며, 도 2는 그 측면도 및 정면도이다. 이 홈 형성 커터 휠(A)은, 공구 특성이 뛰어난 금속재료, 예를 들면 초경합금(超硬合金)이나 소결 다이아몬드, 단결정 다이아몬드 등으로 제작되며, 원판 모양의 보디(body)(1)의 중심에 장착용 베어링 구멍(2)을 가지며, 원주면에 서로 교차하는 좌우의 경사면(3a, 3a)으로 이루어지는 칼끝 능선(4)이 형성되어 있다. 홈 형성 커터 휠(A)의 직경 D는 1~5mm의 것으로부터 선택되지만, 본 실시 형태에서는 직경 D가 2mm, 좌우의 경사면(3a, 3a)이 교차하는 칼끝 각도 α가 105°로 형성되어 있으며, 또, 두께는 650㎛, 베어링 구멍(2)의 내경은 0.8mm로 형성되어 있다. Fig. 1 is a perspective view showing a groove forming cutter wheel A according to the present invention, and Fig. 2 is a side view and a front view thereof. The groove forming cutter wheel A is made of a metal material having excellent tool characteristics such as a cemented carbide alloy, sintered diamond, single crystal diamond or the like, and is provided at the center of a disk- And a knife-edge ridge 4 having right and left sloped surfaces 3a, 3a intersecting each other is formed on the circumferential surface. The diameter D of the grooved cutter wheel A is selected from 1 to 5 mm. However, in this embodiment, the diameter D is 2 mm and the tip angle 留 of the intersection of the right and left slopes 3a and 3a is 105 ° , The thickness is 650 m, and the inner diameter of the bearing hole 2 is 0.8 mm.

게다가, 본 발명의 홈 형성 커터 휠(A)은, 칼끝 능선(4)의 전역에 소정의 피치(P)로 홈부(5 …)가 가공되며, 이 홈부(5)와, 남은 칼끝 능선부(6)가 교호로 형성되는 것에 의해 구성되어 있다. The grooved cutter wheel A according to the present invention has groove portions 5 ... formed at a predetermined pitch P over the entire area of the knife edge ridge 4 and the groove portions 5 and the remaining ridge portions 6 are alternately formed.

본 실시예에서, 홈부(5)의 피치(P)를 0.126mm로 하고, 홈부(5)의 깊이(5b)는 1.5㎛, 홈부(5)의 원주 방향이 길이(5a)는 홈부(5)의 깊이(5b)의 약 3배인 4.4㎛로 형성했다. 이 경우, 칼끝 능선부(6)의 원주 방향이 길이(6a)는, 피치(P)로부터 홈부(5)의 길이(5a)를 뺀 치수의 것이 된다. 또, 도면에서는, 알기 쉽게 하기 위해서 홈부(5)의 길이(5a) 및 깊이(5b)나 칼끝 능선부(6)의 길이(6a)는, 실치수 상의 비율과는 다르게 표시되어 있다. The depth 5b of the groove 5 is 1.5 占 퐉 and the length 5a in the circumferential direction of the groove 5 is 5 占 퐉 in the groove 5 in the present embodiment, Which is about three times the depth of the depth 5b. In this case, the length 6a in the circumferential direction of the knife-edge ridge portion 6 is a dimension obtained by subtracting the length 5a of the groove portion 5 from the pitch P. In the drawings, the length 5a and the depth 5b of the groove 5 and the length 6a of the ridge 6 of the knife-edge ridge 6 are marked differently from the ratio of the actual dimensions in order to facilitate understanding.

홈부(5)의 피치(P)의 치수 126㎛는, 직경 2mm의 커터 휠에서는 그 전체 둘레를 50분할하는 것에 의해 얻을 수 있다. 식으로 나타내면 다음과 같이 된다. The dimension 126 占 퐉 of the pitch P of the groove portion 5 can be obtained by dividing the entire periphery by 50 in a cutter wheel having a diameter of 2 mm. The following equation is obtained.

P=πD/nP =? D / n

다만, D는 커터 휠의 직경(mm), n는 커터 휠 전체 둘레의 분할수이다. D is the diameter of the cutter wheel (mm), and n is the number of divisions around the entire cutter wheel.

또, 소망의 피치(P)의 치수 0.126mm를 얻기 위한 분할수 n은,The number of divisions n for obtaining the desired pitch P of 0.126 mm is,

n=πD/Pn =? D / P

가 되며, 예를 들면 직경 3mm인 커터 휠에서는, 소망의 피치(P)의 치수 0.126mm를 얻기 위한 분할수는, 상기의 계산식으로부터 약 75분할이 된다. For example, in the case of a cutter wheel having a diameter of 3 mm, the number of divisions for obtaining the dimension 0.126 mm of the desired pitch P is about 75 divisions from the above calculation formula.

마찬가지로 하여, 직경 4mm인 커터 휠에서는, 소망의 피치(P)의 치수 0.126mm를 얻기 위한 분할수는, 약 100분할이 된다. Similarly, in a cutter wheel having a diameter of 4 mm, the number of divisions for obtaining a desired pitch P of 0.126 mm is about 100 divisions.

상기와 같이 구성한 홈 형성 커터 휠(A)을, 도 8에 나타내는 스크라이브 장치(B)의 스크라이브 헤드(13)에 장착하고, 테이블(14) 상에 재치한 기판(W)의 표면에 밀어 붙이면서 상대적으로 직선 이동시키는 것에 의해, 기판(W) 표면에 분단용 스크라이브 라인(S)을 가공한다. The groove forming cutter wheel A constructed as described above is attached to the scribe head 13 of the scribing apparatus B shown in Fig. 8 and is pressed against the surface of the substrate W placed on the table 14, And the scribing line S for division is processed on the surface of the substrate W.

이 때, 본 발명에 관한 홈 형성 커터 휠(A)에서는, 상기의 구성을 조건으로 하는 것에 의해, 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판에 수직 크랙이 형성되기 어려운 스크라이브 저하중과 같은 조건이라도 기판(W)에 확실히 파고들 수 있어, 분단에 필요한 고침투의 수직 크랙을 형성할 수 있었다. At this time, in the groove forming cutter wheel A according to the present invention, as shown in Fig. 4, even if the scribe drop is difficult to form a vertical crack on the substrate, W), so that it was possible to form a vertical crack with a high penetration required for division.

도 4는 상기의 50분할한 홈 형성 커터 휠(A)과, 이 홈 형성 커터 휠(A)과 동일한 2mm의 직경이고, 마찬가지로 105°의 칼끝 각도를 가지는 홈 형성 커터 휠을 각각 5분할, 200분할, 600분할한 것을 준비하며, 0.02, 0.03 및 0.04MPa의 스크라이브 하중으로 유리 기판(W)을 각각 복수회씩 스크라이브 시험했을 때의 리브 마크량(L1), 및 수직 크랙량(L2)의 평균치를 나타내는 것이다. 또, 5분할, 200분할 및 600분할했을 때의 홈부(5)의 길이(5a) 및 깊이(5b)는, 50분할의 홈 형성 커터 휠(A)과 동일하게 했다. 또, 5분할, 200분할 및 600분할했을 때의 피치는 각각 계산상 1256㎛, 31.4㎛, 10.5㎛이었다. 또, 가공 대상이 되는 유리 기판(W)은, 두께 0.2mm인 단판(單板)을 이용했다. Fig. 4 is a sectional view showing the groove forming cutter wheel A divided into 50 parts and the groove forming cutter wheel having the same 2 mm diameter as the groove forming cutter wheel A and having a knife edge angle of 105 deg. And the average value of the rib mark amount L1 and the vertical crack amount L2 when scribing the glass substrate W plural times by a scribe load of 0.02, 0.03 and 0.04 MPa were prepared . The length 5a and the depth 5b of the groove portion 5 when the groove is divided into five, 200 and 600 are the same as those of the grooved cutter wheel A of 50 divisions. In addition, the pitches at the time of dividing into five, 200, and 600 were 1256 탆, 31.4 탆 and 10.5 탆, respectively, by calculation. The glass substrate W to be processed was a single plate having a thickness of 0.2 mm.

게다가, 도 5는, 도 4의 각 수치 데이터를 선그래프로 나타낸 것으로서, 도 5의 (a)는 기판 표면으로부터의 리브 마크의 깊이를 나타내는 것이며, 도 5의 (b)는 기판 표면으로부터 리브 마크를 포함한 수직 크랙의 깊이를 나타내는 것이다. 5A and 5B show the numerical data of FIG. 4 in a line graph. FIG. 5A shows the depth of the rib mark from the substrate surface, FIG. 5B shows the depth of the rib mark from the substrate surface, And the depth of the vertical crack including the crack.

이것에 의하면, 본 발명에 관한 50분할의 홈 형성 커터 휠(A)에서는, 0.02 MPa의 낮은 스크라이브 하중의 영역에서, 다른 것에 비해 가장 깊은 30㎛ 이상의 리브 마크량(L1)이 검출되었다. 게다가, 0.02MPa의 낮은 스크라이브 하중이면서, 수직 크랙량(L2)에서는 다른 것보다 크고, 141.46㎛의 수치가 검출되었다. 이 시험 데이터로부터, 0.02MPa의 낮은 스크라이브 하중이라도 유리 기판(W)에 확실히 리브 마크를 형성함과 아울러, 분단에 필요한 고침투의 수직 크랙이 형성된 것을 알 수 있다. 이것에 의해, 브레이크시에 기판을 크게 휘게 하지 않고 깨끗한 분단면으로 브레이크할 수 있어, 단면 강도가 뛰어난 단위 제품을 얻는 것이 가능해진다. According to this, in the grooved cutter wheel A of 50 divisions according to the present invention, the rib mark amount L1 of 30 mu m or more deepest at the scribe load area of 0.02 MPa was detected. In addition, a scribe load as low as 0.02 MPa and a vertical crack amount L2 were larger than others and a value of 141.46 탆 was detected. From this test data, even if the scribe load is as low as 0.02 MPa, a rib mark is surely formed on the glass substrate W, and a vertical crack with high penetration required for division is formed. As a result, it is possible to break the substrate by a clean sectional plane without bending the substrate largely during braking, and it is possible to obtain a unit product excellent in cross-sectional strength.

이것은, 특히 씰부를 매개로 하여 2매의 유리 기판을 접합시킨 접합 기판에서, 씰부 바로 위에서 유리 기판에 스크라이브 라인을 가공하는 경우에, 씰부의 존재에 영향받지 않고 작은 스크라이브 하중으로 깊은 수직 크랙을 가공할 수 있으므로 매우 유효하게 된다. This is because, in the case of processing a scribe line on a glass substrate directly above a seal portion in a bonded substrate in which two glass substrates are bonded via a seal portion, a deep vertical crack is processed with a small scribe load without being affected by the presence of the seal portion It becomes very effective.

또, 능선의 길이에 대한 홈부의 비율이 비교적 작기 때문에, 깊은 수직 크랙을 효과적으로 형성하면서 단면 강도의 저하를 억제할 수 있다. In addition, since the ratio of the groove portion to the length of the ridgeline is relatively small, it is possible to effectively suppress the decrease in the section strength while effectively forming a deep vertical crack.

또, 시험 데이터의 제시는 생략하지만, 상기의 직경 2mm인 홈 형성 커터 휠(A)과 동일한 홈의 길이와 깊이를 가지며, 또한, 동일한 홈 피치로 75분할된 직경 3mm인 홈 형성 커터 휠이나, 100분할된 직경 4mm인 홈 형성 커터 휠의 경우에도, 상기한 직경 2mm인 홈 형성 커터 휠(A)과 동일한 깊은 리브 마크와 고침투의 수직 크랙을 가지는 깨끗한 스크라이브 라인을 형성할 수 있었다. Although the test data is not shown, a groove forming cutter wheel having the same groove length and depth as those of the groove forming cutter wheel A having a diameter of 2 mm and having a diameter of 3 mm divided into 75 at the same groove pitch, A clean scribe line having the same deep rib mark as the groove forming cutter wheel A having a diameter of 2 mm and a vertical crack of high penetration could be formed even in the case of the grooved cutter wheel having a diameter of 4 mm divided into 100 parts.

상기한 홈 형성 커터 휠(A)의 홈부(5)의 피치(P)나, 홈부(5)의 길이(5a) 및 깊이(5b)의 수치는, 가장 바람직한 일례로서 나타낸 것으로서, 본 발명은 상기의 수치에 한정되는 것은 아니며 이하의 범위 내에서 실시할 수 있다. 즉, 피치(P)는 100~200㎛, 홈부(5)의 길이(5a)는 3~10㎛, 깊이(5b)는 1~3㎛의 범위 내에서 실시 가능하다. 또, 칼끝 각도 α도 105°로 특정되는 것은 아니고, 90~120°의 범위의 것을 허용할 수 있다. 게다가, 홈부(5)의 측면 형상도, 도시한 사다리꼴 모양을 대신하여 V자 형상이나 원호 형상으로 해도 괜찮다. The numerical values of the pitch P of the groove 5 of the groove forming cutter wheel A and the length 5a and depth 5b of the groove 5 are shown as a most preferable example. But the present invention can be carried out within the following range. That is, the pitch P is 100 to 200 탆, the length 5 a of the groove 5 is 3 to 10 탆, and the depth 5 b is 1 to 3 탆. The angle? Of the tip of the sword is not limited to 105 占 but can be in the range of 90 to 120 占. Further, the side surface shape of the groove portion 5 may be V-shaped or arc-shaped instead of the illustrated trapezoidal shape.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시 형태에 특정되는 것이 아니고, 본 발명의 목적을 달성하고, 청구 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다. While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments, it is to be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments, but various modifications and changes may be made without departing from the scope of the present invention. It is possible.

[산업상의 이용 가능성][Industrial Availability]

본 발명은, 유리 등의 취성 재료 기판이나, 2매의 취성 재료 기판을 접합시킨 접합 기판의 표면에 분단용 스크라이브 라인을 가공할 때에 사용되는 커터 휠에 바람직하게 이용된다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is preferably used for a brittle material substrate such as glass or a cutter wheel used for cutting a scribing line for division on the surface of a bonded substrate obtained by bonding two brittle material substrates.

A : 홈 형성 커터 휠 B : 스크라이브 장치
S : 스크라이브 라인 W : 취성 재료 기판
α : 칼끝 각도 1 : 보디
2 : 베어링 구멍 3a : 경사면
4 : 칼끝 능선 5 : 홈부
5a : 홈부의 길이 5b : 홈부의 깊이
6 : 칼끝 능선부 6a : 칼끝 능선부의 길이
7 : 리브 마크 8 : 수직 크랙A: groove forming cutter wheel B: scribing device
S: scribe line W: brittle material substrate
α: Angle of the sword 1: Body
2: bearing hole 3a: inclined surface
4: ridge line 5: groove
5a: length of the groove portion 5b: depth of the groove portion
6: Ridgeline portion 6a: Length of the ridge portion of the knife edge
7: rib mark 8: vertical crack

Claims (3)

원주면에 서로 교차하는 2개의 경사면에 의한 V자형의 칼끝 능선을 가지며, 상기 칼끝 능선의 전역(全域)에 소정의 피치로 홈부가 가공되고, 상기 홈부와 남은 칼끝 능선부가 교호로 형성되어 있는 원판 모양의 커터 휠로서,
상기 피치가 100~200㎛이고, 상기 홈부의 길이가 3~10㎛이며, 상기 홈부의 깊이가 1~3㎛인 커터 휠.A groove having a V-shaped ridge line ridges intersecting with each other on the circumferential surface and being machined at a predetermined pitch in the entire area of the ridge line of the knife, Shaped cutter wheel,
Wherein the pitch is 100 to 200 占 퐉, the length of the groove is 3 to 10 占 퐉, and the depth of the groove is 1 to 3 占 퐉. 청구항 1에 있어서,
상기 커터 휠의 직경이 1~5mm이며, 상기 2개의 경사면이 교차하는 칼끝 각도가 90~120°인 커터 휠.The method according to claim 1,
Wherein the diameter of the cutter wheel is 1 to 5 mm and the angle of the cutting edge at which the two inclined surfaces intersect is 90 to 120 °. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 홈부의 길이가 상기 홈부의 깊이의 3배의 근방값으로 형성되어 있는 커터 휠.
The method according to claim 1 or 2,
Wherein a length of the groove portion is formed at a value near three times the depth of the groove portion.
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