KR20160140386A

KR20160140386A - Method of forming vertical cracks on brittle material substrate and method of dividing brittle material substrate

Info

Publication number: KR20160140386A
Application number: KR1020160059976A
Authority: KR
Inventors: 유마 이와츠보; 히로시 소야마
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2015-05-29
Filing date: 2016-05-17
Publication date: 2016-12-07
Also published as: TWI695769B; JP2016221815A; CN106182467B; TW201703962A; CN106182467A; JP6589380B2

Abstract

Provided is a method for forming vertical cracks on a brittle material substrate at high certainty. The method comprises: a trench line forming process of forming a trench line which is a line-shaped groove part on one side main surface; and an assisting line forming process of forming an assisting line crossing the trench line by pressing, welding, and electrically driving a scribing wheel having blade ends formed on the outer circumferential part thereof to have a plurality of grooves formed at constant regulars. According to the trench line forming process, a trench line is formed to make a crackless state is maintained right under the same. According to the assisting line forming process, an assisting line is formed in a state in which a scribing wheel is inclined at a predetermined slope angle from a formation direction of an assisting line, and extension of vertical cracks occur from the trench line by using a crossing point of both line as an initial point.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a method of forming a vertical crack in a brittle material substrate and a method of dividing a brittle material substrate,

본 발명은, 취성 재료 기판을 분단하기 위한 방법에 관한 것으로, 특히 취성 재료 기판의 분단시에 수직 크랙을 형성하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for breaking a brittle material substrate, and more particularly to a method for forming a vertical crack at the time of breaking a brittle material substrate.

플랫 디스플레이 패널 또는 태양 전지 패널 등의 제조 프로세스는 일반적으로, 유리 기판, 세라믹스 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료로 이루어지는 기판 (모기판) 을 분단하는 공정을 포함한다. 이러한 분단에는, 기판 표면에 다이아몬드 포인트나 커터 휠 등의 스크라이브 툴을 사용하여 스크라이브 라인을 형성하고, 그 스크라이브 라인으로부터 기판 두께 방향으로 크랙 (수직 크랙) 을 신전 (伸展) 시키는 수법이 널리 사용되고 있다. 스크라이브 라인을 형성한 경우, 수직 크랙이 두께 방향으로 완전히 신전되어 기판이 분단되는 경우도 있지만, 수직 크랙이 두께 방향으로 부분적으로만 신전되는 경우도 있다. 후자의 경우, 스크라이브 라인의 형성 후, 브레이크 공정이라고 칭해지는 응력 부여가 이루어진다. 브레이크 공정에 의해 수직 크랙을 두께 방향으로 완전히 진행시킴으로써, 스크라이브 라인을 따라 기판이 분단된다.A manufacturing process of a flat display panel, a solar cell panel, or the like generally includes a step of dividing a substrate (mother substrate) made of a brittle material such as a glass substrate, a ceramics substrate, or a semiconductor substrate. For this division, a method of forming a scribe line by using a scribing tool such as a diamond point or a cutter wheel on the surface of the substrate, and extending (cracking) a crack (vertical crack) in the thickness direction of the substrate from the scribe line is widely used. When the scribe line is formed, the vertical crack may be completely stretched in the thickness direction to divide the substrate, but the vertical crack may be partially extended only in the thickness direction. In the latter case, after the formation of the scribe line, a stress imparting called a breaking process is applied. By progressing the vertical cracks completely in the thickness direction by the breaking process, the substrate is divided along the scribe lines.

이와 같은 스크라이브 라인의 형성에 의해 수직 크랙을 신전시키는 수법으로서, 어시스트 라인이라고도 칭해지는, 수직 크랙의 신전에 있어서 기점 (트리거) 이 되는 선상의 가공 자국을 형성하는 수법이 이미 공지되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).As a method of extending a vertical crack by forming such a scribe line, there is already known a method of forming a line-shaped workpiece which is a starting point (trigger) in the extension of a vertical crack, which is also referred to as an assist line For example, see Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2015-74145호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2015-74145

예를 들어 특허문헌 1 에 개시되어 있는 바와 같은, 어시스트 라인을 이용한 수법은, 이것을 이용하지 않는 수법에 비해, 분단용 스크라이브 라인의 형성시에 커터 휠이나 다이아몬드 포인트 등의 스크라이브 툴이 기판에 주는 힘 (충격) 을 작게 할 수 있다는 이점이 있다. 예를 들어, 수직 크랙의 신전이 어려운 약한 힘 (하중) 을 작용시켜 스크라이브 라인을 형성하는 양태여도, 어시스트 라인을 트리거로 하여 스크라이브 라인으로부터 수직 크랙을 알맞게 신전시키는 것이 가능하다.For example, in the technique using the assist line as disclosed in Patent Document 1, in comparison with a method not using the assist line, the force applied to the substrate by the scribing tool such as the cutter wheel or the diamond point at the time of forming the scribing line for division (Impact) can be reduced. For example, even when the scribe line is formed by applying a weak force (load), which is difficult to extend the vertical crack, it is possible to properly extend the vertical crack from the scribe line by using the assist line as a trigger.

단, 특히 양산품의 제조 공정에서 이루어지는 취성 재료 기판의 분단에 있어서는 높은 수율 (확실한 분단) 이 요구되는 바, 특허문헌 1 에 개시된 기술은 반드시 어시스트 라인을 기점으로 하는 수직 크랙의 신전에 대해 그 확실성을 보증하는 것은 아니다.However, particularly in the case of breaking the brittle material substrate in the production process of the mass product, a high yield (reliable division) is required, and the technique disclosed in Patent Document 1 is not necessarily sure about the extension of the vertical crack starting from the assist line It is not guaranteed.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 취성 재료 기판의 미리 정해진 분단 위치에서, 높은 확실성으로 수직 크랙을 형성할 수 있는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a method capable of forming a vertical crack with high certainty at a predetermined divided position of a brittle material substrate.

상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1 의 발명은, 취성 재료 기판을 두께 방향으로 분단할 때에 분단 위치에서 수직 크랙을 형성하는 방법으로서, 상기 취성 재료 기판의 일방 주면에 라인상의 홈부인 트렌치 라인을 형성하는 트렌치 라인 형성 공정과, 등간격으로 복수의 홈을 형성한 날끝을 외주부에 구비하는 스크라이빙 휠을 상기 일방 주면에 있어서 압접 전동시킴으로써, 상기 트렌치 라인에 교차하는 가공 자국인 어시스트 라인을 형성하는 어시스트 라인 형성 공정을 구비하고, 상기 트렌치 라인 형성 공정에 있어서는, 상기 트렌치 라인의 바로 아래에서 크랙리스 상태가 유지되도록 상기 트렌치 라인을 형성하고, 상기 어시스트 라인 형성 공정에 있어서는, 상기 스크라이빙 휠을 수평면 내에서 상기 어시스트 라인의 형성 진행 방향으로부터 소정의 경사각으로 기울인 상태에서 상기 어시스트 라인을 형성하고, 상기 트렌치 라인과 상기 어시스트 라인의 교점을 개시점으로 하여 상기 트렌치 라인으로부터 상기 취성 재료 기판의 두께 방향으로 수직 크랙을 신전시키는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 is a method for forming a vertical crack at a divided position when the brittle material substrate is divided in the thickness direction, comprising the steps of forming a trench line And a scribing wheel provided at an outer peripheral portion of the peripheral edge portion with a plurality of grooves formed at equal intervals is subjected to pressure contact on the one main surface to form an assist line for forming an assist line that is a machining station crossing the trench line Wherein the trench line is formed so as to maintain a crackle state immediately below the trench line in the step of forming the trench line, and in the step of forming the assist line, From the direction in which the assist line is formed, In the tilt angle of the tilted state, characterized by a vertical crack extension from the trench line to the intersection line of the trench and to form the lines assist the assist line in the starting point in the direction of the thickness of the brittle material substrate.

청구항 2 의 발명은, 청구항 1 에 기재된 취성 재료 기판에 있어서의 수직 크랙의 형성 방법으로서, 상기 어시스트 라인 형성 공정에 있어서는, 상기 어시스트 라인의 형성에 수반하여, 상기 취성 재료 기판의 내부로서 상기 어시스트 라인의 측방에 다수의 어시스트 크랙이 존재하는 내부 크랙 영역이 생성되도록 하고, 상기 내부 크랙 영역이 상기 트렌치 라인 상의 수직 크랙의 예정 신전 방향측에 형성되도록 상기 트렌치 라인과 상기 어시스트 라인의 형성 위치를 정하는 것을 특징으로 한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for forming a vertical crack in the brittle material substrate according to claim 1, wherein in the step of forming the assist line, To form an internal crack region in which a plurality of assist cracks are present on the side of the trench line, and to define a formation position of the trench line and the assist line so that the internal crack region is formed on a side of a predetermined extension direction of a vertical crack on the trench line .

청구항 3 의 발명은, 청구항 2 에 기재된 취성 재료 기판에 있어서의 수직 크랙의 형성 방법으로서, 상기 어시스트 라인을 상기 트렌치 라인 상의 수직 크랙의 예정 신전 방향 반대측 근방에서 상기 트렌치 라인과 교차하도록 형성하는 것을 특징으로 한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of forming a vertical crack in the brittle material substrate according to the second aspect, characterized in that the assist line is formed so as to intersect with the trench line in the vicinity of the side opposite to the predetermined extension direction of the vertical crack on the trench line .

청구항 4 의 발명은, 청구항 2 또는 청구항 3 에 기재된 취성 재료 기판에 있어서의 수직 크랙의 형성 방법으로서, 상기 어시스트 라인 형성 공정에 있어서는, 상기 스크라이빙 휠의 진행 방향 전측을 수평면 내에서 상기 어시스트 라인의 형성 진행 방향으로부터 상기 트렌치 라인 상의 수직 크랙의 예정 신전 방향 반대측을 향하게 하여 기울이는 것을 특징으로 한다.According to a fourth aspect of the present invention, in the method for forming a vertical crack in the brittle material substrate according to the second or third aspect of the invention, in the step of forming the assist line, the front side in the advancing direction of the scribing wheel is, Is inclined with the vertical crack on the trench line facing away from the predetermined extension direction.

청구항 5 의 발명은, 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 기재된 취성 재료 기판에 있어서의 수직 크랙의 형성 방법으로서, 상기 경사각이 1.0 °이상 2.5 °이하인 것을 특징으로 한다.The invention of claim 5 is a method of forming a vertical crack in the brittle material substrate according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the inclination angle is 1.0 deg. Or more and 2.5 deg. Or less.

청구항 6 의 발명은, 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나에 기재된 취성 재료 기판에 있어서의 수직 크랙의 형성 방법으로서, 상기 트렌치 라인을 형성한 후에 상기 어시스트 라인을 형성하는 것을 특징으로 한다.The invention of claim 6 is a method of forming a vertical crack in the brittle material substrate according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the assist line is formed after forming the trench line.

청구항 7 의 발명은, 취성 재료 기판을 두께 방향으로 분단하는 방법으로서, 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 하나에 기재된 수직 크랙의 형성 방법에 의해 상기 취성 재료 기판에 수직 크랙을 형성하는 수직 크랙 형성 공정과, 상기 수직 크랙을 따라 상기 취성 재료 기판을 브레이크하는 브레이크 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method of dividing a brittle material substrate in a thickness direction, comprising: a vertical crack forming step of forming a vertical crack in the brittle material substrate by the vertical crack forming method according to any one of claims 1 to 6; And a braking step of breaking the brittle material substrate along the vertical cracks.

청구항 1 내지 청구항 7 의 발명에 의하면, 취성 재료 기판의 미리 정해진 분단 위치에서 높은 확실성으로 수직 크랙을 신전시킬 수 있으므로, 취성 재료 기판을 당해 분단 위치에서 확실하게 분단하는 것이 가능해진다.According to the invention of Claims 1 to 7, a vertical crack can be stretched with a high certainty at a predetermined dividing position of the brittle material substrate, so that the brittle material substrate can be surely divided at the dividing position.

도 1 은, 스크라이브 장치 (100) 의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2 는, 부분 A 에 있어서의 스크라이빙 휠 (51) 의 확대도이다.
도 3 은, 스크라이브 장치 (100) 에 있어서의 스크라이빙 휠 (51) 의 자세에 대해 나타내는 도면이다.
도 4 는, 트렌치 라인 (TL) 형성 후의 모습을 예시하는 취성 재료 기판 (W) 의 상면도이다.
도 5 는, 트렌치 라인 (TL) 의 형성에 사용하는 다이아몬드 포인트 (150) 의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6 은, 트렌치 라인 (TL) 의 수직 단면을 포함하는 zx 부분 단면도이다.
도 7 은, 어시스트 라인 (AL) 형성시의 모습을 예시하는 취성 재료 기판 (W) 의 상면도이다.
도 8 은, 어시스트 라인 (AL) 의 형성에 수반하는 수직 크랙 (VC) 의 신전의 모습을 예시하는 취성 재료 기판 (W) 의 상면도이다.
도 9 는, 어시스트 라인 (AL) 의 형성에 수반하는 수직 크랙 (VC) 의 신전의 모습을 예시하는 취성 재료 기판 (W) 의 상면도이다.
도 10 은, 트렌치 라인 (TL) 과 수직 크랙 (VC) 의 수직 단면을 포함하는 zx 부분 단면도이다.
도 11 은, 수직 크랙 (VC) 이 형성될 때의 어시스트 라인 (AL) 근방의 모습을 나타내는 모식도이다.
도 12 는, 경사각 (θ) 을 1.4 °로 하여 어시스트 라인 (AL) 을 형성하여 이루어지는 취성 재료 기판 (W) 의 촬상예이다.
도 13 은, 경사각 (θ) 을 2.5 °로 하여 어시스트 라인 (AL) 을 형성하여 이루어지는 취성 재료 기판 (W) 의 촬상예이다.
도 14 는, 실시예의 상이한 경사각 (θ) 의 각각에 대해, VC 성립률을 어시스트 라인 (AL) 의 형성시에 인가한 하중에 대해 플롯한 그래프이다.
도 15 는, 참고예에 있어서의 취성 재료 기판 (W) 의 상면도이다.
도 16 은, 참고예에 대한 VC 성립률을 어시스트 라인 (AL) 의 형성시에 인가한 하중에 대해 플롯한 그래프이다.Fig. 1 is a view schematically showing the configuration of a scribe apparatus 100. Fig.
Fig. 2 is an enlarged view of the scribing wheel 51 in the portion A. Fig.
3 is a view showing the posture of the scribing wheel 51 in the scribe apparatus 100. Fig.
4 is a top view of a brittle material substrate W illustrating a state after forming the trench line TL.
5 is a view schematically showing a configuration of a diamond point 150 used for forming the trench line TL.
6 is a zx partial cross-sectional view including a vertical section of the trench line TL.
Fig. 7 is a top view of the brittle material substrate W illustrating the state at the time of forming the assist line (AL).
8 is a top view of a brittle material substrate W illustrating a state of extension of a vertical crack VC accompanying the formation of the assist line AL.
Fig. 9 is a top view of a brittle material substrate W illustrating a state of extension of a vertical crack VC as the assist line AL is formed.
10 is a zx partial sectional view including a vertical section of a trench line TL and a vertical crack VC.
11 is a schematic view showing a state in the vicinity of the assist line AL when a vertical crack VC is formed.
12 is an example of imaging of a brittle material substrate W formed by forming an assist line AL at an inclination angle? Of 1.4 degrees.
Fig. 13 shows an example of imaging of a brittle material substrate W formed by forming an assist line AL at an inclination angle [theta] of 2.5 [deg.].
Fig. 14 is a graph plotting the VC establishment ratio with respect to the load applied at the time of forming the assist line AL, for each of the different inclination angles? In the embodiment. Fig.
15 is a top view of the brittle material substrate W in the reference example.
16 is a graph plotting the VC formation ratio for the reference example with respect to the load applied at the time of forming the assist line AL.

＜스크라이브 장치＞<Scribe device>

도 1 은, 본 발명의 실시형태에서 사용하는 스크라이브 장치 (100) 의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 스크라이브 장치 (100) 는, 일반적으로는 유리 기판, 세라믹스 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료 기판 (W) 을 소정의 분단 위치에서 두께 방향 (DT) 으로 분단하여 소사이즈화할 때에 사용되지만, 본 실시형태에 있어서는, 스크라이브 장치 (100) 를, 취성 재료 기판 (W) 의 일방 주면 (SF1) 측의 분단 위치에서 수직 크랙을 신전시키기 위해 실시하는 어시스트 라인 (AL) (도 7 등 참조) 의 형성에 사용하는 것으로 한다. 또한, 본 실시형태에 있어서 어시스트 라인 (AL) 이란, 주면 (SF1) 측의 분단 위치에 형성되는 트렌치 라인 (TL) (도 4 등 참조) 과 교차하는 위치에 형성되는, 트렌치 라인 (TL) 의 바로 아래에서 수직 크랙을 신전시킬 때에 기점 (트리거) 이 되는 가공 자국이다. 또, 트렌치 라인 (TL) 이란, 그 바로 아래가 수직 크랙의 형성 위치가 되는 미세한 라인상의 홈부 (오목부) 이다. 어시스트 라인 (AL) 과 트렌치 라인 (TL) 의 상세에 대해서는 후술한다.Fig. 1 is a view schematically showing a configuration of a scribe apparatus 100 used in an embodiment of the present invention. The scribing apparatus 100 is generally used when the brittle material substrate W such as a glass substrate, a ceramic substrate, or a semiconductor substrate is divided into small pieces by dividing the brittle material substrate W in a thickness direction DT at a predetermined divided position, The scribing apparatus 100 is used to form an assist line AL (see FIG. 7 and the like) which is executed to extend a vertical crack at a divided position on the one main surface SF1 side of the brittle material substrate W . In this embodiment, the assist line (AL) refers to the trench line TL formed at a position intersecting the trench line TL (see Fig. 4, etc.) formed at the divided position on the main surface SF1 side It is a cutting edge that becomes a starting point (trigger) when a vertical crack is extended right below. The trench line TL is a groove portion (concave portion) on a fine line immediately below which the vertical crack is formed. Details of the assist line (AL) and the trench line (TL) will be described later.

스크라이브 장치 (100) 는, 취성 재료 기판 (W) 이 재치되는 테이블 (1) 과, 스크라이브 툴 (50) 을 유지하는 스크라이브 헤드 (2) 를 주로 구비한다.The scribing apparatus 100 mainly includes a table 1 on which the brittle material substrate W is placed and a scribe head 2 for holding the scribing tool 50. [

스크라이브 장치 (100) 는, 도시되지 않은 테이블 이동 기구 및 스크라이브 헤드 이동 기구의 일방 또는 양방을 구비하고 있고, 이들 기구가 구비됨으로써, 스크라이브 장치 (100) 에 있어서는, 스크라이브 헤드 (2) 는 스크라이브 툴 (50) 을 유지한 상태에서 테이블 (1) 에 대해 수평면 내에서 상대 이동할 수 있도록 되어 있다. 이후, 설명의 간단함을 위해, 스크라이브 동작시에는, 도 1 에 나타내는 스크라이브 방향 (DP) 을 향하여 스크라이브 헤드 (2) 가 테이블 (1) 에 대해 이동하는 것으로 한다.The scribing apparatus 100 includes one or both of a table moving mechanism and a scribing head moving mechanism which are not shown. By providing these mechanisms, in the scribing apparatus 100, the scribing head 2 is provided with a scribing tool 50 can be relatively moved with respect to the table 1 in a horizontal plane. Hereinafter, for simplicity of explanation, it is assumed that the scribe head 2 moves toward the scribing direction DP shown in Fig. 1 during the scribing operation.

스크라이브 툴 (50) 은, 취성 재료 기판 (W) 에 대한 스크라이브를 실시하기 위한 툴이다. 스크라이브 툴 (50) 은, 스크라이빙 휠 (커터 휠) (51) 과 핀 (52) 과 홀더 (53) 를 갖는다.The scribe tool (50) is a tool for scribing the brittle material substrate (W). The scribing tool 50 has a scribing wheel (cutter wheel) 51, a pin 52, and a holder 53.

스크라이빙 휠 (51) 은, 원반상 (주판알상) 을 이루고 있고, 그 외주를 따라 날끝 (PF) 을 구비한다. 도 2 는, 도 1 에 나타내는 부분 A 에 있어서의 스크라이빙 휠 (51) 의 확대도이다. 스크라이빙 휠 (51) 의 외주는, 거시적으로는 도 1 에 나타내는 바와 같이 균일한 원형을 이루고 있는듯이 보이지만, 실제로는 도 2 에 나타내는 바와 같이, 복수의 미세한 홈 (G) 이 등간격으로 형성되어 이루어진다. 즉, 스크라이빙 휠 (51) 은 이른바 홈이 형성된 휠이다. 또한, 날끝 (PF) 은, 홈 (G) 이외의 부분에서는 능선과 이것을 사이에 두는 1 쌍의 경사면으로 이루어지는 단면에서 보았을 때 대략 삼각형상을 이루고 있다.The scribing wheel 51 is in the form of a disc (abacus arc), and has a cutting edge PF along its outer periphery. Fig. 2 is an enlarged view of the scribing wheel 51 in the portion A shown in Fig. The outer periphery of the scribing wheel 51 may appear to have a uniform circular shape as shown in FIG. 1, but actually, as shown in FIG. 2, a plurality of fine grooves G are formed at regular intervals . That is, the scribing wheel 51 is a so-called grooved wheel. The edge PF is formed in a substantially triangular shape when viewed from a cross-section including a ridge line and a pair of inclined surfaces sandwiching the ridge line at a portion other than the groove G. [

스크라이빙 휠 (51) 은, 전형적으로는 수 ㎜ 정도의 직경을 가져 이루어짐과 함께, 수 ㎛ 정도의 깊이의 홈 (G) 을 수백개 정도 가져 이루어진다. 핀 (52) 은, 스크라이빙 휠 (51) 의 축 중심 (AX) 의 위치에 수직으로 삽입 통과되어 이루어진다. 홀더 (53) 는, 스크라이브 헤드 (2) 로 유지되어 이루어짐과 함께, 스크라이빙 휠 (51) 이 축 중심 (AX) 의 둘레로 회전 가능한 양태로, 스크라이빙 휠 (51) 에 삽입 통과되어 이루어지는 핀 (52) 을 지지하여 이루어진다. 즉, 홀더 (53) 는, 핀 (52) 과 일체로 된 스크라이빙 휠 (51) 을 축 중심 (AX) 의 둘레로 회전 가능하게 축 지지하여 이루어진다. 보다 상세하게는, 홀더 (53) 는, 스크라이빙 휠 (51) 의 날끝 (PF) (외주부) 이 이루는 면이 연직 방향으로 연장되도록, 핀 (52) 을 수평하게 지지하여 이루어진다.The scribing wheel 51 typically has a diameter of about several millimeters and has several hundreds of grooves G having a depth of about several micrometers. The pin 52 is inserted vertically into the position of the axis center AX of the scribing wheel 51. The holder 53 is inserted into the scribing wheel 51 in such a manner that the holder 53 is held by the scribing head 2 and the scribing wheel 51 is rotatable about the axis AX As shown in FIG. That is, the holder 53 is formed by pivotally supporting a scribing wheel 51 integrally formed with the pin 52 around the shaft center AX. More specifically, the holder 53 supports the pin 52 horizontally such that the plane formed by the blade edge PF (outer peripheral portion) of the scribing wheel 51 extends in the vertical direction.

날끝 (PF) 은, 예를 들어, 초경합금, 소결 다이아몬드, 다결정 다이아몬드 또는 단결정 다이아몬드 등의 경질 재료를 사용하여 형성되어 이루어진다. 상기 서술한 능선 및 경사면의 표면 조도를 작게 하는 관점에서, 스크라이빙 휠 (51) 전체가 단결정 다이아몬드로 제조되어 있어도 된다.The edge PF is formed by using a hard material such as cemented carbide, sintered diamond, polycrystalline diamond, or single crystal diamond. From the viewpoint of reducing the surface roughness of the ridgelines and the inclined surfaces described above, the entire scribing wheel 51 may be made of single crystal diamond.

이상과 같은 구성을 갖는 스크라이브 장치 (100) 에 있어서는, 타방 주면 (SF2) 을 재치면으로 하여 테이블 (1) 상에 수평하게 재치 고정되어 이루어지는 취성 재료 기판 (W) 의 일방 주면 (이하, 상면이라고도 한다) (SF1) 에 대해, 스크라이빙 휠 (51) 을 압접시킨 상태에서, 스크라이브 툴 (50) 을 유지하여 이루어지는 스크라이브 헤드 (2) 가 스크라이브 방향 (DP) 으로 이동된다. 그러면, 취성 재료 기판 (W) 에 압접된 상태의 스크라이빙 휠 (51) 이, 날끝 (PF) 을 약간 취성 재료 기판 (W) 에 침입시킨 상태에서 화살표 (RT) 로 나타내는 방향으로 축 중심 (AX) 둘레로 전동된다. 이로써, 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에 있어서는, 이러한 스크라이빙 휠 (51) 의 압접 전동에 수반하여 스크라이빙 휠 (51) 의 이동 방향을 따른 소성 변형이 발생한다. 본 실시형태에 있어서는, 이러한 소성 변형을 발생시키는 스크라이빙 휠 (51) 의 압접 전동 동작을, 스크라이빙 휠 (51) 에 의한 스크라이브 동작이라고 칭한다. 또한, 상면 (SF1) 에 대해 스크라이빙 휠 (51) 을 압접시킬 때에 스크라이빙 휠 (51) 이 취성 재료 기판에 인가하는 하중은, 스크라이브 헤드 (2) 에 구비되는 도시되지 않은 하중 조정 기구에 의해 조정 가능하게 되어 이루어진다.In the scribing apparatus 100 having the above-described structure, the brittle material substrate W, which is horizontally fixed on the table 1 with the other main surface SF2 as the surface to be laid, The scribe head 2 holding the scribing tool 50 is moved in the scribing direction DP while the scribing wheel 51 is in pressure contact with the scribing wheel SF1. Then, the scribing wheel 51 in a state of being in contact with the brittle material substrate W moves in the direction indicated by the arrow RT in the state where the blade edge PF is slightly infiltrated into the brittle material substrate W AX). As a result, plastic deformation along the moving direction of the scribing wheel 51 occurs on the upper surface SF1 of the brittle material substrate W following the pressure-contact electric power of the scribing wheel 51. [ In the present embodiment, the insulation displacement operation of the scribing wheel 51 causing such plastic deformation is referred to as a scribing operation by the scribing wheel 51. The load applied to the brittle material substrate by the scribing wheel 51 when the scribing wheel 51 is pressed against the upper surface SF1 is set by a load adjustment mechanism As shown in FIG.

도 3 은, 스크라이브 장치 (100) 에 있어서의 스크라이빙 휠 (51) 의 자세 (기울기) 에 대해 나타내는 도면이다. 본 실시형태에 있어서는, 스크라이브 방향 (DP) 을 기준 방향으로 하고, 스크라이빙 휠 (51) 이 스크라이브 헤드 (2) 에 유지되어 이루어지는 상태에 있어서 스크라이브 방향 (DP) 에 대해 수평면 내에서 시계 방향으로 각도 θ 만큼 기울어져 있다고 하였을 때의 각도 θ 를, 스크라이빙 휠 (51) 의 경사각이라고 정의한다. 경사각 (θ) 은, 스크라이빙 휠 (51) 의 날끝 (PF) (능선) 이 이루는 연직면과 수평면의 직교축의 연장 방향 (D1) 과 스크라이브 방향 (DP) 이 이루는 각이기도 하다.3 is a view showing the posture (inclination) of the scribing wheel 51 in the scribing apparatus 100. Fig. In the present embodiment, the scribing direction DP is set as the reference direction, and the scribing wheel 51 is held in the scribing head 2, and in the scribing direction DP, The angle? When it is assumed to be inclined by the angle? Is defined as the inclination angle of the scribing wheel 51. The inclination angle? Is an angle formed by the extending direction D1 of the orthogonal axis between the vertical plane formed by the blade edge PF (ridge line) of the scribing wheel 51 and the horizontal plane and the scribe direction DP.

본 실시형태에 있어서는, 상기 서술한 바와 같이, 하나의 취성 재료 기판 (W) 을 분단할 때에 어시스트 라인 (AL) 을 형성하지만, 이러한 어시스트 라인 (AL) 형성시에 있어서의 경사각 (θ) 을 의도적으로 0 °보다 큰 값으로 한다. 또한, 이러한 양태로 경사각 (θ) 을 정함으로써, 어시스트 라인 (AL) 은 고유의 성상을 갖도록 형성되는데, 그 상세는 후술한다.In the present embodiment, as described above, the assist line AL is formed when one brittle material substrate W is divided, but the inclination angle &thetas; at the time of forming the assist line AL is intentionally To be greater than 0 [deg.]. Further, by defining the inclination angle [theta] in this manner, the assist line AL is formed so as to have a unique property, which will be described later in detail.

구체적으로는, 어시스트 라인 (AL) 의 형성에는, 경사각 (θ) 이 1.0 °∼ 2.5 °의 범위로 설정된 스크라이브 장치 (100) 를 사용한다.Specifically, the scribe device 100 having the inclination angle &thetas; set in the range of 1.0 DEG to 2.5 DEG is used for forming the assist line AL.

또한, 이러한 스크라이빙 휠 (51) 의 경사는, 스크라이브 헤드 (2) 를 기울임으로써 실현되는 양태여도 되고, 스크라이브 헤드 (2) 에 대한 스크라이브 툴 (50) 의 장착 각도를 다르게 함으로써 실현되는 양태여도 되고, 그 밖의 양태로 실현되는 양태여도 된다.The inclination of the scribing wheel 51 may be realized by tilting the scribe head 2 or may be realized by changing the mounting angle of the scribe tool 50 with respect to the scribe head 2 Or may be realized in other modes.

＜수직 크랙의 형성 순서＞&Lt; Order of formation of vertical cracks >

다음으로, 본 실시형태에서 실시하는, 어시스트 라인 (AL) 을 이용한 분단 위치에서의 수직 크랙의 형성의 순서에 대해 설명한다. 도 4 내지 도 10 은, 이러한 수직 크랙의 형성 모습을 단계적으로 나타내는 도면이다. 이후에 있어서는, 사각형상의 취성 재료 기판 (W) 에 대해 1 세트의 대변에 평행한 복수의 분단 위치 (분단선) 가 미리 설정되어 있는 경우를 예로 하여 설명을 실시한다. 또, 각 도면에는, 어시스트 라인 (AL) 의 형성 진행 방향을 x 축 정방향으로 하고, 트렌치 라인 (TL) 의 형성 진행 방향을 y 축 부방향으로 하고, 연직 상방을 z 축 정방향으로 하는 오른손 좌표계의 xyz 좌표를 부여하고 있다.Next, a description will be given of the order of formation of vertical cracks at the split position using the assist line AL, which is performed in the present embodiment. Figs. 4 to 10 are diagrams showing the formation of such a vertical crack step by step. Hereinafter, a description will be given taking as an example a case where a plurality of divided positions (dividing lines) parallel to a set of the opposite sides of the rectangular brittle material substrate W are set in advance. In each drawing, the right-hand coordinate system in which the advancing direction of the assist line AL is the x-axis normal direction, the progressing direction of the trench line TL is the y-axis direction, and the vertical direction is the z- xyz coordinates.

먼저, 경사각 (θ) 이 0 °로 설정된 스크라이브 툴 (50) 에 의해, 트렌치 라인 (TL) 을 형성한다. 도 4 는, 트렌치 라인 (TL) 형성 후의 모습을 예시하는 취성 재료 기판 (W) 의 상면도 (xy 평면도) 이다. 도 5 는, 트렌치 라인 (TL) 의 형성에 사용하는 스크라이브 툴 (150) 의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 6 은, 트렌치 라인 (TL) 의 수직 단면을 포함하는 zx 부분 단면도이다. 도 4 에 나타내는 트렌치 라인 (TL) 의 형성 위치가, 취성 재료 기판 (W) 을 그 상면 (SF1) 측으로부터 평면에서 본 경우의 분단 위치에 해당한다.First, the trench line TL is formed by the scribe tool 50 whose inclination angle [theta] is set to 0 [deg.]. Fig. 4 is a top view (xy plan view) of the brittle material substrate W illustrating the state after formation of the trench line TL. 5 schematically shows the structure of the scribe tool 150 used for forming the trench line TL. 6 is a zx partial cross-sectional view including a vertical section of the trench line TL. The formation position of the trench line TL shown in Fig. 4 corresponds to the division position when the brittle material substrate W is viewed from the upper surface (SF1) side in a plane.

본 실시형태에 있어서는, 트렌치 라인 (TL) 의 형성에 다이아몬드 포인트 (151) 를 구비하는 스크라이브 툴 (150) 을 사용한다. 다이아몬드 포인트 (151) 는, 예를 들어 도 5 에 나타내는 바와 같이 각뿔 사다리꼴상을 이루고 있고, 천면 (SD1) (제 1 면) 과, 천면 (SD1) 을 둘러싸는 복수의 면이 형성되어 있다. 보다 상세하게는, 도 5 의 (b) 에 나타내는 바와 같이 이들 복수의 면은 측면 (SD2) (제 2 면) 및 측면 (SD3) (제 3 면) 을 포함하고 있다. 천면 (SD1), 측면 (SD2 및 SD3) 은, 서로 상이한 방향을 향하고 있고, 또한 서로 이웃하고 있다. 다이아몬드 포인트 (151) 에 있어서는, 측면 (SD2 및 SD3) 으로 이루어지는 능선 (PS) 과, 천면 (SD1), 측면 (SD2 및 SD3) 의 3 개의 면이 이루는 정점 (PP) 에 의해 날끝 (PS) 이 형성되어 이루어진다. 다이아몬드 포인트 (151) 는, 예를 들어 도 5 의 (a) 에 나타내는 바와 같이 봉상 (기둥상) 을 이루는 생크 (152) 의 일방 단부측에 천면 (SD1) 이 최하 단부가 되는 양태로 유지되어 이루어진다.In the present embodiment, a scribe tool 150 having a diamond point 151 is used to form the trench line TL. As shown in Fig. 5, for example, the diamond point 151 has a prismatic trapezoidal shape, and a plurality of surfaces surrounding the top surface SD1 (first surface) and the top surface SD1 are formed. More specifically, as shown in Fig. 5B, these plural surfaces include side surfaces SD2 (second surface) and side surface SD3 (third surface). The ceiling surface SD1 and the side surfaces SD2 and SD3 face each other in directions different from each other and are adjacent to each other. In the diamond point 151, the edge PS is formed by the apex PP formed by the three surfaces of the ridge PS composed of the side faces SD2 and SD3 and the three sides of the top face SD1 and the side faces SD2 and SD3 Respectively. 5 (a), the diamond point 151 is maintained in such a manner that the top surface SD1 is the lowermost end on one end side of the shank 152 constituting a rod-like (columnar) shape .

스크라이브 툴 (150) 을 사용하는 경우에 있어서는, 도 5 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 생크 (152) 의 축 방향 (AX2) 을 연직 방향으로부터 이동 방향 (DA) 전방 (y 축 정방향) 을 향하게 하여 소정의 각도 만큼 경사지게 한 상태에서, 요컨대 천면 (SD1) 을 이동 방향 (DA) 후방 (y 축 부방향) 을 향하게 한 자세로, 다이아몬드 포인트 (151) 를 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에 맞닿게 한다. 그리고, 이러한 맞닿음 상태를 유지하면서 스크라이브 툴 (150) 을 이동 방향 (DA) 전방으로 이동시킴으로써, 다이아몬드 포인트 (151) 의 날끝 (PF2) 을 슬라이딩시키도록 한다. 이로써, 다이아몬드 포인트 (151) 의 이동 방향 (DA) 을 따른 소성 변형이 발생한다. 본 실시형태에 있어서는, 이러한 소성 변형을 발생시키는 다이아몬드 포인트 (151) 의 슬라이딩 동작을, 다이아몬드 포인트 (151) 에 의한 스크라이브 동작이라고도 칭한다.5A, when the scribing tool 150 is used, the axial direction AX2 of the shank 152 is moved from the vertical direction toward the forward direction (y-axis normal direction) A diamond point 151 is formed on the upper surface SF1 of the brittle material substrate W in a posture in which the top surface SD1 is oriented in the rearward direction (y-axis direction) ). The cutting edge PF2 of the diamond point 151 is slid by moving the scribing tool 150 forward in the moving direction DA while maintaining the abutment state. As a result, plastic deformation along the moving direction DA of the diamond point 151 occurs. In the present embodiment, the sliding operation of the diamond point 151 causing such plastic deformation is also referred to as a scribing operation by the diamond point 151. [

도 4 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 트렌치 라인 (TL) 은, 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에 y 축 방향으로 연장되도록 형성된 미세한 라인상의 홈부이다. 트렌치 라인 (TL) 은, 스크라이브 툴 (150) 의 자세를 이동 방향 (DA) 에 대해 대칭으로 한 상태에서, 다이아몬드 포인트 (151) 를 슬라이딩시킴으로써 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에서 발생하는 소성 변형의 결과로서 형성된다. 이러한 경우, 도 6 에 모식적으로 나타내는 바와 같이, 트렌치 라인 (TL) 은 대체로 그 연장 방향에 수직인 단면의 형상이 선대칭인 홈부로서 형성된다.4 and 6, the trench line TL is a fine line-shaped groove portion formed on the upper surface SF1 of the brittle material substrate W so as to extend in the y-axis direction. The trench line TL is formed on the upper surface SF1 of the brittle material substrate W by sliding the diamond point 151 in a state in which the posture of the scribe tool 150 is symmetrical with respect to the moving direction DA As a result of plastic deformation. In this case, as schematically shown in Fig. 6, the trench line TL is formed as a groove portion whose cross-section perpendicular to the extending direction is generally line-symmetrical.

트렌치 라인 (TL) 은, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에 규정된 분단 위치에서 화살표 (AR1) 로 나타내는 y 축 부방향으로 시점 (T1) 에서 종점 (T2) 까지 형성된다. 이후에 있어서는, 트렌치 라인 (TL) 에 있어서 상대적으로 시점 (T1) 에 가까운 범위를 상류측이라고도 칭하고, 상대적으로 종점 (T2) 에 가까운 범위를 하류측이라고도 칭한다.4, the trench line TL is formed at the dividing point defined by the upper surface SF1 of the brittle material substrate W in the direction of the y-axis indicated by the arrow AR1, . Hereinafter, the range close to the viewpoint T1 in the trench line TL will be referred to as the upstream side, and the range relatively closer to the end point T2 will be referred to as the downstream side.

또한, 도 4 에 있어서는, 트렌치 라인 (TL) 의 시점 (T1) 및 종점 (T2) 이 취성 재료 기판 (W) 의 단부로부터 약간 격리된 위치로 되어 있지만, 이것은 필수의 양태는 아니고, 분단 대상이 되는 취성 재료 기판 (W) 의 종류나 분단 후의 개편의 용도 등에 따라 적절히 어느 일방 혹은 양방이 취성 재료 기판 (W) 의 단부 위치로 되어 있어도 된다. 단, 시점 (T1) 을 취성 재료 기판 (W) 의 단부로 하는 양태는, 도 4 에 예시하는 바와 같이 단부로부터 약간 격리된 위치를 시점 (T1) 으로 하는 경우에 비해, 스크라이브 툴 (150) 의 날끝 (PF2) 에 가해지는 충격이 커지기 때문에, 날끝 (PF2) 의 수명이라는 점 및 예기치 못한 수직 크랙의 발생이 일어나는 점에서는 유의가 필요하다.4, the starting point T1 and the end point T2 of the trench line TL are slightly separated from the end portion of the brittle material substrate W. However, this is not an essential aspect, One or both of them may be appropriately positioned at the end position of the brittle material substrate W in accordance with the kind of the brittle material substrate W to be used, However, the aspect in which the viewpoint T1 is the end portion of the brittle material substrate W is different from the case in which the viewpoint T1 is a position slightly separated from the end portion as exemplified in Fig. 4, It is necessary to pay attention to the fact that the life span of the blade edge PF2 and unexpected vertical cracks occur because the impact applied to the blade edge PF2 becomes large.

또, 복수의 분단 위치의 각각에 있어서의 트렌치 라인 (TL) 의 형성은, 하나의 스크라이브 툴 (150) 을 구비하는 도시되지 않은 가공 장치에 있어서 당해 스크라이브 툴 (150) 을 사용하여 순차적으로 형성하는 양태여도 되고, 복수의 트렌치 라인 (TL) 형성용 가공 장치를 사용하여 동시 병행적으로 형성하는 양태여도 된다.The formation of the trench line TL in each of the plurality of divided positions is performed sequentially by using the scribe tool 150 in the unshown machining apparatus having one scribe tool 150 Or may be formed in a simultaneous and parallel manner by using a plurality of processing apparatuses for forming trench lines TL.

트렌치 라인 (TL) 의 형성시에는, 스크라이브 툴 (150) 이 인가하는 하중 (스크라이브 툴 (150) 을 연직 상방으로부터 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에 대해 밀어넣는 힘에 상당한다) 을, 트렌치 라인 (TL) 의 형성은 확실히 이루어지지만, 취성 재료 기판 (W) 의 두께 방향 (DT) 에 있어서 그 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙의 신전이 발생하지 않도록 설정한다 (도 6).(Corresponding to the force for pushing the scribing tool 150 from the upper surface to the upper surface SF1 of the brittle material substrate W) applied by the scribing tool 150 at the time of forming the trench line TL The trench line TL is formed in the thickness direction DT of the brittle material substrate W so that the extension of the vertical crack from the trench line TL does not occur (FIG. 6).

바꾸어 말하면, 트렌치 라인 (TL) 의 형성은, 트렌치 라인 (TL) 의 바로 아래에서 취성 재료 기판 (W) 이 트렌치 라인 (TL) 과 교차하는 방향에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태 (크랙리스 상태) 가 유지되도록 실시한다. 또한, 이러한 대응으로 트렌치 라인 (TL) 이 형성되는 경우, 취성 재료 기판 (W) 의 트렌치 라인 (TL) 근방 (트렌치 라인 (TL) 으로부터 대체로 5 ㎛ ∼ 10 ㎛ 정도 이내의 범위) 에 있어서는, 소성 변형의 결과로서 내부 응력이 잔류한다.In other words, the trench line TL is formed in a state (crackle state) in which the brittle material substrate W is continuously connected in the direction crossing the trench line TL immediately below the trench line TL, . In the case where the trench line TL is formed in correspondence with this, in the vicinity of the trench line TL of the brittle material substrate W (in the range of approximately 5 mu m to 10 mu m or so from the trench line TL) As a result of the deformation, the internal stress remains.

이러한 트렌치 라인 (TL) 의 형성은, 예를 들어, 스크라이브 툴 (150) 이 인가하는 하중을, 동일한 스크라이브 툴 (150) 을 사용하여 수직 크랙의 신전을 수반하는 스크라이브 라인을 형성하는 경우에 비해 작은 값으로 설정함으로써 실현된다.This trench line TL is formed, for example, by using the same scribing tool 150 as the load applied by the scribing tool 150, compared with the case of forming a scribing line involving the extension of vertical cracks Value.

크랙리스 상태에 있어서는, 트렌치 라인 (TL) 은 형성되어 있었다고 해도, 그 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙의 신전은 없으므로, 만약 취성 재료 기판 (W) 에 대해 굽힘 모멘트가 작용하였다고 해도, 수직 크랙이 형성되어 이루어지는 경우에 비해, 트렌치 라인 (TL) 을 따른 분단은 잘 발생하지 않는다.In the cracked state, even if the trench line TL is formed, there is no extension of a vertical crack from the trench line TL, so even if a bending moment acts on the brittle material substrate W, The division along the trench line TL does not occur well.

트렌치 라인 (TL) 의 형성에 이어서, 경사각 (θ) 이 1.0 °∼ 2.5 °의 범위로 설정된 스크라이브 툴 (50) 을 구비하는 스크라이브 장치 (100) 에 의해 어시스트 라인 (AL) 을 형성한다. 도 7 은, 어시스트 라인 (AL) 형성시의 모습을 예시하는 취성 재료 기판 (W) 의 상면도이다. 도 8 및 도 9 는, 어시스트 라인 (AL) 의 형성에 수반하는 수직 크랙 (VC) 의 신전의 모습을 예시하는 취성 재료 기판 (W) 의 상면도이다. 도 10 은, 트렌치 라인 (TL) 과 수직 크랙 (VC) 의 수직 단면을 포함하는 zx 부분 단면도이다.Following the formation of the trench line TL, the assist line AL is formed by the scribe device 100 having the scribe tool 50 whose inclination angle? Is set in the range of 1.0 to 2.5 degrees. Fig. 7 is a top view of the brittle material substrate W illustrating the state at the time of forming the assist line (AL). Figs. 8 and 9 are top views of a brittle material substrate W illustrating a state of extension of a vertical crack VC as the assist line AL is formed. 10 is a zx partial sectional view including a vertical section of a trench line TL and a vertical crack VC.

본 실시형태에 있어서, 어시스트 라인 (AL) 은, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 트렌치 라인 (TL) 의 하류측 근방에 있어서, 화살표 (AR2) 로 나타내는 x 축 정방향으로 (트렌치 라인 (TL) 과 직교하도록), 시점 (A1) 에서 종점 (A2) 의 범위에 있어서 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에 소성 변형을 발생시킴으로써 형성되는 가공 자국이다.7, the assist line AL is formed in the vicinity of the downstream side of the trench line TL in the positive x-axis direction indicated by the arrow AR2 (the trench line TL is orthogonal to the trench line TL) ) Is a machining mark formed by causing plastic deformation on the upper surface SF1 of the brittle material substrate W in the range of the starting point A1 to the end point A2.

보다 상세하게는, 어시스트 라인 (AL) 의 형성은, 화살표 (AR2) 로 나타내는 어시스트 라인 (AL) 의 형성 진행 방향을 스크라이브 방향 (DP) (x 축 정방향) 과 일치시키는 양태로 실시한다. 그러므로, 어시스트 라인 (AL) 의 형성은, 스크라이빙 휠 (51) 의 진행 방향 전방이 어시스트 라인 (AL) 의 형성 위치보다 하류측인 y 축 부방향측으로 기울어진 상태에서 실시하게 된다.More specifically, the formation of the assist line AL is carried out in such a manner that the advancing direction of the formation of the assist line AL indicated by the arrow AR2 coincides with the scribing direction DP (x-axis normal direction). Therefore, the formation of the assist line AL is performed in a state in which the forward direction of the scribing wheel 51 is inclined toward the y-axis direction side, which is the downstream side of the formation position of the assist line AL.

이러한 경우, 스크라이빙 휠 (51) 이 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에 압접된 상태에서 스크라이브 헤드 (2) 가 스크라이브 방향 (DP) 으로 이동을 하기 때문에, 스크라이빙 휠 (51) 의 전동은 발생한다. 그 결과, 어시스트 라인 (AL) 은, x 축 방향에 있어서 단속되는, 경사각 (θ) 이 클수록 폭이 넓은 가공 자국으로서 형성되고 (도 12 의 (a) 및 도 13 의 (a) 참조), 그 단면 형상은 비대칭이 된다 (도 12 의 (b) 참조). 또한, 어시스트 라인 (AL) 의 형성도, 트렌치 라인 (TL) 을 형성하는 경우와 마찬가지로, 그 바로 아래에서 수직 크랙을 신전시키는 것을 목적으로 하고 있지는 않으므로, 어시스트 라인 (AL) 을 형성할 때에 스크라이빙 휠 (51) 이 인가하는 하중도, 동일한 스크라이빙 휠 (51) 을 사용하여 수직 크랙의 신전을 수반하는 스크라이브 라인을 형성하는 경우에 비해 작은 값으로 설정할 수 있다.In this case, since the scribe head 2 moves in the scribe direction DP in a state in which the scribing wheel 51 is in pressure contact with the upper surface SF1 of the brittle material substrate W, the scribing wheel 51 ) Is generated. As a result, the assist line AL is formed as a workpiece having a wider width as the inclination angle &thetas; interrupted in the x-axis direction (see Figs. 12A and 13A) The cross-sectional shape becomes asymmetric (see Fig. 12 (b)). The formation of the assist line AL is not intended to extend the vertical crack immediately below the trench line TL as in the case of forming the trench line TL. Therefore, when forming the assist line AL, The load applied by the ice wheel 51 can be set to a value smaller than that in the case of forming a scribe line involving the extension of vertical cracks using the same scribing wheel 51. [

이상과 같은 양태로의 어시스트 라인 (AL) 의 형성을, 스크라이빙 휠 (51) 이 인가하는 하중이 소정의 임계값 이상이 되는 조건하에서 실시하면, 어시스트 라인 (AL) 이 트렌치 라인 (TL) 과 교차할 때마다, 도 8 에 화살표 (AR3) 로 나타내는 바와 같이, 각각의 트렌치 라인 (TL) 과의 교점 (C) 의 위치로부터 수직 크랙 (VC) 의 예정 신전 방향 (도 8 의 경우라면 트렌치 라인 (TL) 의 상류측) 을 향하여 순차적으로, 도 10 에 나타내는 바와 같은, 트렌치 라인 (TL) 으로부터 취성 재료 기판 (W) 의 두께 방향 (DT) 으로의 수직 크랙 (VC) 의 신전이 발생해 간다.When the assist line AL is formed under the condition that the load applied by the scribing wheel 51 becomes a predetermined threshold value or more, the assist line AL is formed in the trench line TL, (In the case of Fig. 8, the direction of the intersection C with respect to each trench line TL) from the position of the intersection C with each trench line TL, as indicated by the arrow AR3 in Fig. 8 An extension of a vertical crack VC in the thickness direction DT of the brittle material substrate W from the trench line TL as shown in Fig. 10 is sequentially generated toward the upstream side of the line TL Goes.

최종적으로는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 모든 분단 위치에서 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙 (VC) 의 신전이 발생한다. 즉, 어시스트 라인 (AL) 의 형성이 계기가 되어 (어시스트 라인 (AL) 이 트리거가 되어), 그때까지는 트렌치 라인 (TL) 이 형성되어 있지만, 크랙리스 상태였던 취성 재료 기판 (W) 의 각 분단 위치에 트렌치 라인 (TL) 으로부터 연장되는 수직 크랙 (VC) 이 형성된다.Finally, as shown in Fig. 9, a vertical crack (VC) is generated from the trench line TL at all the divided positions. That is, the trench line TL is formed until the assist line AL is formed (the assist line AL is triggered) until that time. However, since each branch of the brittle material substrate W in the uncracked state A vertical crack VC extending from the trench line TL is formed.

이것은, 다이아몬드 포인트 (151) 를 구비하는 스크라이브 툴 (150) 을 사용하여 트렌치 라인 (TL) 을 형성한 경우, 트렌치 라인 (TL) 의 바로 아래에 발생하는 수직 크랙 (VC) 은 천면 (SD1) 이 존재하는 측으로 신전된다는 성질을 갖기 때문이다. 즉, 어시스트 라인 (AL) 의 근방에 발생한 수직 크랙 (VC) 은, 특정한 일방향으로 신전된다는 성질을 갖는다. 트렌치 라인 (TL) 상의 상류측에 다이아몬드 포인트의 천면 (SD1) 이 배치되는 양태로 트렌치 라인 (TL) 을 형성하는 본 실시형태에 있어서는, 어시스트 라인 (AL) 의 형성 후, 트렌치 라인 (TL) 의 상류측에서는 수직 크랙 (VC) 은 신전되지만, 역방향에서는 잘 신전되지 않는다.This is because when the trench line TL is formed by using the scribe tool 150 having the diamond point 151, the vertical cracks VC that occur just below the trench line TL are the top surface SD1 It is because it has the property of extending to the existing side. That is, the vertical crack (VC) generated in the vicinity of the assist line (AL) has a property of being stretched in a specific one direction. In the present embodiment in which the trench line TL is formed in such a manner that the top surface SD1 of the diamond point is disposed on the upstream side of the trench line TL after the formation of the assist line AL, On the upstream side, the vertical crack (VC) is stretched but not in the reverse direction.

이러한 양태로 분단 위치에 수직 크랙 (VC) 이 형성된 취성 재료 기판 (W) 은, 도시되지 않은 소정의 브레이크 장치에 주어진다. 브레이크 장치에 있어서는, 이른바 3 점 굽힘 혹은 4 점 굽힘의 수법에 의해, 취성 재료 기판 (W) 에 굽힘 모멘트를 작용시킴으로써, 수직 크랙 (VC) 을 취성 재료 기판 (W) 의 하면 (SF2) 으로까지 신전시키는 브레이크 공정이 실시된다. 이러한 브레이크 공정을 거침으로써, 취성 재료 기판 (W) 은 분단 위치에서 분단된다.In this manner, a brittle material substrate W having a vertical crack (VC) formed at the dividing position is given to a predetermined braking device (not shown). The braking device is capable of applying a bending moment to the brittle material substrate W by a so-called three-point bending or four-point bending method so that the vertical cracks VC reach the bottom surface SF2 of the brittle material substrate W An extension brake process is performed. By passing through the braking process, the brittle material substrate W is divided at the divided position.

이상과 같은 순서의 경우, 분단 위치에서의 트렌치 라인 (TL) 의 형성은 수직 크랙 (VC) 의 신전을 수반하지 않으므로, 종래와 같이 분단 위치에 대한 스크라이브를 스크라이브 라인의 형성과 동시에 수직 크랙이 형성되도록 실시하는 경우에 비해, 스크라이브 툴 (50) 에 가해지는 하중을 저감시킬 수 있다는 이점이 있다. 이러한 이점은, 분단 위치에서의 분단에 사용하는 스크라이브 툴 (50) 의 장수명화에 이바지하는 것이다.Since the formation of the trench line TL at the dividing position does not involve the extension of the vertical crack VC, the scribing for the dividing position is performed at the same time as the formation of the scribe line and the formation of the vertical crack There is an advantage that the load applied to the scribe tool 50 can be reduced. This advantage contributes to the longevity of the scribe tool 50 used for dividing at the dividing position.

＜수직 크랙 신전의 상세＞<Detail of vertical crack extension>

도 11 은, 트렌치 라인 (TL) 의 형성에 이어서 어시스트 라인 (AL) 을 형성함으로써 수직 크랙 (VC) 이 형성될 때의 어시스트 라인 (AL) 근방의 모습을 나타내는 모식도이다. 또, 도 12 및 도 13 은, 어시스트 라인 (AL) 을 형성하여 이루어지는 취성 재료 기판 (W) 의 촬상예이다. 또한, 도 12 는 경사각 (θ) 을 1.4 °로 하였을 때의 촬상예이고, 도 13 은 경사각 (θ) 을 2.5 °로 하였을 때의 촬상예이다.11 is a schematic view showing a state in the vicinity of the assist line AL when the vertical crack VC is formed by forming the assist line AL following the formation of the trench line TL. 12 and 13 show examples of imaging of the brittle material substrate W formed by forming the assist line AL. Fig. 12 shows an example of imaging when the inclination angle [theta] is 1.4 [deg.], And Fig. 13 shows an example of imaging when the inclination angle [theta] is 2.5 [deg.].

스크라이브 방향 (DP) 인 x 축 정방향으로 (y 축에 수직인 방향으로) 어시스트 라인 (AL) 이 형성되면, 그 형성 위치 전반에 걸쳐, 취성 재료 기판 (W) 의 내부로서 y 축 방향 정측 (正側) (도 11 에 있어서는, 어시스트 라인 (AL) 보다 도면에서 보았을 때 상측) 의 어시스트 라인 (AL) 의 측방에, 어시스트 라인 (AL) 을 기점으로 하는 무수한 어시스트 크랙이 존재하는 내부 크랙 영역 (CR) 이 형성된다. 이것은 예를 들어, 취성 재료 기판 (W) 을 상면 (SF1) 측에서 관찰하고 있는 도 12 의 (a) 및 도 13 의 (a) 에서도 확인된다.When the assist line AL is formed in the forward direction of the x-axis (in the direction perpendicular to the y-axis) which is the scribe direction DP, the y-axis direction positive side (positive side) of the brittle material substrate W (In FIG. 11, the upper side as viewed in the drawing than the assist line AL), the number of the assist cracks CR Is formed. This is also confirmed, for example, in Figs. 12 (a) and 13 (a) in which the brittle material substrate W is observed on the upper surface SF1 side.

보다 상세하게는, 내부 크랙 영역 (CR) 은, 어시스트 라인 (AL) 의 임의의 위치를 기점으로 하여, (＋y, －z) 의 방향으로부터 －z 방향으로까지의 범위 내에 편재되는 양태로 발생한다. 이것은, 도 12 의 (b) 및 도 13 의 (b) 로부터도 확인된다. 내부 크랙 영역 (CR) 은, 상면 (SF1) 을 평면에서 본 경우에 있어서, 어시스트 라인 (AL) 보다 y 축 정방향에 있어서 어시스트 라인 (AL) 으로부터 최대여도 대체로 수십 ㎛ 정도의 범위에 형성된다. 단, 도 11 에 있어서는 도시를 생략하고 있지만, 어시스트 크랙의 형성은 확률적으로 발생하는 현상이므로, 비율은 적다고는 해도 다른 범위에도 어시스트 크랙은 발생하고 있다.More specifically, the internal crack region CR occurs in a manner such that it is localized within a range from the direction of (+ y, -z) to the direction of -z, starting from an arbitrary position of the assist line AL . This is also confirmed from FIG. 12 (b) and FIG. 13 (b). The internal crack region CR is formed in a range from the assist line AL to a maximum of about several tens of micrometers on the y-axis positive direction more than the assist line AL when the upper surface SF1 is viewed from the plane. Although illustration is omitted in Fig. 11, since the formation of the assist crack is a phenomenon that occurs stochastically, even if the ratio is small, assist cracks occur in other ranges.

내부 크랙 영역 (CR) 은, 어시스트 라인 (AL) 의 전반에 걸쳐 형성되는 점에서, 내부 크랙 영역 (CR) 은, 어시스트 라인 (AL) 이 트렌치 라인 (TL) 과 교차하는 지점의 근방에 있어서도 높은 확률로 발생한다. 상기 서술한 바와 같이, 트렌치 라인 (TL) 의 근방에는 내부 응력이 잔류하고 있는 점에서, 내부 크랙 영역 (CR) 이 트렌치 라인 (TL) 의 수직 크랙 (VC) 의 예정 신전 방향측에 형성되도록 어시스트 라인을 형성한 경우, 내부 크랙 영역 (CR) 이 잔류 내부 응력의 존재 영역에 형성되는 것이 계기가 되어, 트렌치 라인 (TL) 의 근방에 있어서의 잔류 내부 응력의 해방이 발생한다. 그 결과로서, 도 11 의 (b) 에 있어서 화살표 (AR4) 로 나타내는 바와 같이, 수직 크랙 (VC) 의 예정 신전 방향 (본 실시형태에 있어서는 트렌치 라인 (TL) 의 상류측) 을 향하여, 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙 (VC) 의 신전이 발생한다. 이것이 상기 서술한 본 실시형태에 관련된 수법에 의한 수직 크랙 (VC) 의 신전의 상세이다.The internal crack region CR is formed so as to be high in the vicinity of the point where the assist line AL crosses the trench line TL in that the internal crack region CR is formed throughout the entirety of the assist line AL Probability. As described above, since the internal stress remains in the vicinity of the trench line TL, the internal crack region CR is formed in the trench line TL so that the internal crack region CR is formed in the anticipated extension direction side of the vertical crack VC of the trench line TL When the line is formed, the fact that the internal crack region CR is formed in the region where the residual internal stress is present serves as an opportunity to release the residual internal stress in the vicinity of the trench line TL. As a result, as shown by arrow AR4 in Fig. 11 (b), toward the intended extension direction of the vertical cracks VC (in this embodiment, on the upstream side of the trench line TL) A vertical crack (VC) expansion occurs from the trench TL. This is the detail of the extension of the vertical crack (VC) by the technique related to the above-described embodiment of the present invention.

게다가, 본 실시형태에 관련된 수법에 있어서는, 상기 서술한 바와 같이 경사각 (θ) 을 1.0 °∼ 2.5 °로 하여 의도적으로 경사지게 한 스크라이빙 휠 (51) 을 사용하여 어시스트 라인 (AL) 을 형성함으로써, 스크라이빙 휠 (51) 이 진행 방향 전방에서 기울어져 있는 측과는 반대측으로 내부 크랙 영역 (CR) 이 편재되도록 함과 함께, 이 내부 크랙 영역 (CR) 이 형성되는 측으로 분단 위치가 연장되도록, 어시스트 라인 (AL) 과 트렌치 라인 (TL) 의 형성 위치를 설정하도록 하고 있다. 이로써, 분단 위치에서의 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙 (VC) 의 신전의 확실성이 높아지게 된다. 즉, 본 실시형태에서 채용하고 있는, 의도적으로 경사지게 한 스크라이빙 휠 (51) 을 사용한 어시스트 라인 (AL) 의 형성은, 수직 크랙 (VC) 의 신전 지점을 한정함과 함께, 그 신전의 확실성을 높이는 효과를 갖는 것으로 되어 있다. 즉, 취성 재료 기판 (W) 을 분단할 때, 그 분단 위치에 따라 스크라이빙 휠 (51) 의 경사 방향과, 어시스트 라인 (AL) 의 형성 위치와 트렌치 라인 (TL) 의 형성 위치를 정함으로써, 당해 분단 위치에서 수직 크랙 (VC) 을 확실하게 신전시키는 것이 가능해진다.In addition, in the method according to the present embodiment, the assist line AL is formed by using the scribing wheel 51 which is inclined intentionally at an inclination angle of 1.0 to 2.5 degrees as described above So that the internal crack region CR is unevenly distributed to the side opposite to the side where the scribing wheel 51 is inclined forward in the traveling direction and the split position is extended to the side where the internal crack region CR is formed , And the formation positions of the assist line (AL) and the trench line (TL) are set. As a result, the reliability of the extension of the vertical crack (VC) from the trench line (TL) at the divided position becomes high. That is, the formation of the assist line AL using the intentionally inclined scribing wheel 51 employed in the present embodiment limits the extension point of the vertical crack VC, As shown in Fig. That is, when the brittle material substrate W is divided, the inclination direction of the scribing wheel 51, the formation position of the assist line AL, and the formation position of the trench line TL are determined according to the divided positions , It is possible to surely extend the vertical cracks VC at the divided positions.

또한, θ 이 1.0 °보다 작은 경우, 내부 크랙 영역 (CR) 의 편재가 발생하지 않게 되고, 크랙 신전의 확실성이 저하되기 때문에 바람직하지 않다. 또, 경사각 (θ) 이 커질수록, 어시스트 라인 (AL) 을 형성할 때의 스크라이빙 휠 (51) 의 전동이 곤란해지고, 또 컬릿이 발생하기 쉬워지는 경향이 있다.Further, when? Is smaller than 1.0 DEG, the local crack region CR does not occur and the reliability of crack extension is lowered, which is not preferable. Further, the greater the inclination angle?, The more difficult it becomes to drive the scribing wheel 51 when forming the assist line AL, and the more easily the cullet is generated.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 취성 재료 기판을 미리 정해진 분단 위치에서 분단할 때, 당해 분단 위치에 따른 형성 위치에서, 바로 아래에 수직 크랙이 발생하지 않는 조건으로의 트렌치 라인의 형성과, 수평면 내에서 의도적으로 경사지게 하여 이루어지는 스크라이빙 휠을 사용한, 수직 크랙 (VC) 의 예정 신전 방향인 트렌치 라인의 상류측으로 어시스트 크랙을 편재시키는 양태로의 어시스트 라인의 형성을 실시함으로써, 당해 분단 위치에서 높은 확실성으로 수직 크랙을 신전시킬 수 있다. 수직 크랙이 확실하게 형성됨으로써, 후공정인 브레이크 공정에 있어서, 취성 재료 기판을 당해 분단 위치에서 확실하게 분단하는 것이 가능해진다. 이러한 경우에 있어서는, 트렌치 라인과 어시스트 라인의 형성시에 스크라이빙 휠이 인가하는 하중을, 수직 크랙의 신전을 수반하는 스크라이브 동작을 실시하는 경우에 비해 작은 값으로 할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, when the brittle material substrate is divided at the predetermined dividing position, the formation of the trench line under the condition that no vertical crack occurs immediately below the forming position corresponding to the dividing position By forming the assist line in such a manner that the assist cracks are unevenly distributed on the upstream side of the trench line which is the anticipated extension direction of the vertical crack (VC) using the scribing wheel formed by intentionally inclining in the horizontal plane, The vertical cracks can be stretched with high certainty. By forming the vertical crack reliably, it becomes possible to reliably separate the brittle material substrate at the divided position in the subsequent braking process. In such a case, the load applied by the scribing wheel at the time of forming the trench line and the assist line can be set to a value smaller than that in the case of performing the scribing operation involving the extension of the vertical cracks.

＜실시예＞<Examples>

상기 서술한 실시형태에서 나타낸 순서에 의한 트렌치 라인 (TL) 과 어시스트 라인 (AL) 의 형성을, 어시스트 라인 (AL) 의 형성 조건을 다르게 하면서 복수 회 실시하고, 수직 크랙 (VC) 의 신전의 발생 상황을 평가하였다. 취성 재료 기판 (W) 으로는 두께 0.3 ㎜ 의 유리 기판을 사용하였다.The formation of the trench line TL and the assist line AL by the procedure shown in the above-described embodiment is carried out a plurality of times with different formation conditions of the assist line AL, and the occurrence of the extension of the vertical crack VC The situation was evaluated. As the brittle material substrate W, a glass substrate having a thickness of 0.3 mm was used.

구체적으로는, 어시스트 라인 (AL) 은, 경사각 (θ) 을 1.4 °, 2.5 °, 4.9 °의 3 수준으로 다르게 하고, 스크라이빙 휠 (51) 에 가하는 하중을 0.75 N, 1.1 N, 1.5 N, 1.9 N, 2.25 N, 2.6 N, 3.0 N 의 7 수준으로 다르게 함으로써, 전체 21 가지의 조건으로 형성하였다. 스크라이브 헤드 (2) 의 이동 속도는 100 ㎜/sec 로 하였다. 또, 스크라이빙 휠 (51) 로는, 휠 직경이 1.8 ㎜, 두께가 0.65 ㎜, 핀 (52) 의 삽입 통과공의 직경이 0.8 ㎜, 날끝 각도가 100 °, 홈 (G) 의 수가 300 개, 홈 (G) 의 깊이가 3 ㎛ 인 것을 사용하였다.More specifically, the assist line AL has three different levels of inclination angle? Of 1.4 占 2.5 占 and 4.9 占 and the load applied to the scribing wheel 51 is 0.75 N, 1.1 N, 1.5 N , 1.9 N, 2.25 N, 2.6 N and 3.0 N, respectively. The moving speed of the scribe head 2 was set at 100 mm / sec. The diameter of the insertion hole of the pin 52 is 0.8 mm, the blade angle is 100 占 and the number of grooves G is 300 mm , And the depth of the groove (G) was 3 占 퐉.

또, 트렌치 라인 (TL) 은, 스크라이브 툴 (150) 에 가하는 하중을 고정시키고, 어시스트 라인 (AL) 의 각 형성 조건마다 100 개씩 형성하였다.In addition, the trench line TL was formed with 100 loads for each forming condition of the assist line AL with the load applied to the scribing tool 150 being fixed.

도 14 는, 3 가지의 경사각 (θ) 의 각각에 대해, 전체 100 개의 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙 (VC) 의 신전의 발생률 (이하, VC 성립률이라고 칭한다) 을 어시스트 라인 (AL) 의 형성시에 인가한 하중에 대해 플롯한 그래프이다.14 shows the occurrence rate (hereinafter referred to as the VC formation ratio) of the extension of the vertical cracks VC from the entire 100 trench lines TL to the assist line AL for each of the three inclination angles? FIG. 5 is a graph plotting a load applied at the time of forming FIG.

도 14 에 나타내는 바와 같이, 경사각 (θ) 이 1.4 °인 경우에는 스크라이빙 휠 (51) 에 가하는 하중을 1.1 N 이상으로 한 경우에 90 ％ 이상의 VC 성립률이 얻어지고, 경사각 (θ) 이 2.5 °인 경우에는 스크라이빙 휠 (51) 에 가하는 하중을 1.5 N 이상으로 함으로써 95 ％ 이상의 VC 성립률이 얻어졌다. 이에 반해, 경사각 (θ) 이 4.9 °인 경우에는 VC 성립률은 최고여도 90 ％ 정도였다.As shown in Fig. 14, when the inclination angle [theta] is 1.4 [deg.], When the load applied to the scribing wheel 51 is 1.1 N or more, a VC formation ratio of 90% or more is obtained, 2.5 DEG, a load of 1.5 N or more was applied to the scribing wheel 51, and a rate of 95% or more of VC was obtained. On the other hand, when the inclination angle? Is 4.9 °, the VC formation rate is about 90% at the maximum.

이들 결과는, 경사각 (θ) 이 1.4 °인 경우에는 스크라이빙 휠 (51) 에 적어도 1.1 N 의 하중을 가하면, 또 경사각 (θ) 이 2.4 °인 경우에는 스크라이빙 휠 (51) 에 적어도 1.5 N 의 하중을 가하면, 높은 확률로 트렌치 라인 (TL) 으로부터 수직 크랙 (VC) 을 신전시킬 수 있는 것을 나타내고 있다. 또, 경사각 (θ) 을 더욱 크게 해도 수직 크랙 (VC) 을 신전시키는 것은 가능하기는 하지만, 그 확실성은 낮은 것도 나타내고 있다.These results show that when the slope angle? Is 1.4 degrees, a load of 1.1 N is applied to the scribing wheel 51 and when the slope angle? Is 2.4 degrees, When a load of 1.5 N is applied, vertical cracks (VC) can be extended from the trench line TL with a high probability. It is also possible to extend the vertical cracks VC even if the inclination angle? Is made larger, but the certainty is also low.

또, 동일한 조건의 스크라이빙 휠 (51) 을 사용하여 스크라이브 동작을 실시하고, 스크라이브 라인의 형성과 함께 수직 크랙을 신전시키도록 하려면, 적어도 3 ∼ 4 N 정도의 하중을 인가할 필요가 있는 점에서, 본 실시예의 결과는, 어시스트 라인 (AL) 의 형성은, 수직 크랙의 신전을 수반하는 스크라이브 동작시에 스크라이빙 휠 (51) 이 인가하는 하중보다 작은 하중의 인가로 실시할 수 있다는 것도 나타내고 있다. 다시 말하면, 트렌치 라인 (TL) 의 형성은, 어시스트 라인 (AL) 의 형성시와 동일한 정도이거나 보다 작은 하중의 인가로 가능한 점에서, 상기 서술한 실시형태에 관련된 수법은, 스크라이브 동작에 의해 직접 수직 크랙을 신전시키는 수법에 비해, 저하중의 인가로 수직 크랙의 신전을 가능하게 하는 수법이라고도 할 수 있다.In order to perform the scribing operation using the scribing wheel 51 under the same condition and to extend the vertical crack with the formation of the scribe line, it is necessary to apply a load of about 3 to 4 N , The result of the present embodiment is that the formation of the assist line AL can be performed by applying a load smaller than the load applied by the scribing wheel 51 at the scribing operation involving the extension of the vertical crack Respectively. In other words, the formation of the trench line TL can be performed by the same amount as in the formation of the assist line AL or with the application of a smaller load, so that the technique related to the above- It can be said that it is possible to expand a vertical crack by application of a lowering force as compared with a method of extending a crack.

＜변형예 및 참고예＞&Lt; Modifications and Reference Examples >

상기 서술한 실시형태에 있어서는, 트렌치 라인 (TL) 을 형성한 후에 어시스트 라인 (AL) 을 형성하도록 하고 있지만, 트렌치 라인 (TL) 과 어시스트 라인 (AL) 의 형성 순서는 역전되어 있어도 된다.In the above-described embodiment, the assist line AL is formed after forming the trench line TL. However, the order of forming the trench line TL and the assist line AL may be reversed.

또, 상기 서술한 실시형태에 있어서는, 트렌치 라인 (TL) 과 어시스트 라인 (AL) 을 취성 재료 기판 (W) 의 상면 (SF1) 에서 직교시키고 있지만, 이것은 필수의 양태는 아니고, 어시스트 라인 (AL) 의 형성에 수반하는 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙의 신전이 바람직하게 실현되는 한에 있어서, 트렌치 라인 (TL) 과 어시스트 라인 (AL) 은 비스듬하게 교차하고 있는 양태여도 된다.In the embodiment described above, the trench line TL and the assist line AL are orthogonal to each other on the upper surface SF1 of the brittle material substrate W. However, this is not essential, The trench line TL and the assist line AL may be in an obliquely intersecting manner as long as the extension of the vertical crack from the trench line TL with the formation of the trench line TL is preferably realized.

또, 상기 서술한 실시형태에 있어서는, 스크라이브 툴 (150) 에 의한 트렌치 라인 (TL) 의 형성을, 생크 (152) 의 축 방향 (AX2) 을 이동 방향 (DA) 전방을 향하게 하여 경사지게 한 상태에서, 요컨대 천면 (SD1) 을 이동 방향 (DA) 후방을 향하게 한 자세로, 다이아몬드 포인트 (151) 를 슬라이딩시킴으로써 실시하도록 하고 있지만, 이 대신에 생크 (152) 의 축 방향 (AX2) 을 이동 방향 (DA) 후방을 향하게 하여 경사지게 한 상태에서, 요컨대 천면 (SD1) 을 이동 방향 (DA) 전방을 향하게 한 자세로, 다이아몬드 포인트 (151) 를 슬라이딩시킴으로써 트렌치 라인 (TL) 을 형성하도록 해도 된다.In the embodiment described above, the trench line TL is formed by the scribing tool 150 in a state in which the axial direction AX2 of the shank 152 is inclined forward in the moving direction DA The axial direction AX2 of the shank 152 is moved in the direction of movement DA (DA) instead of sliding the diamond point 151 in the posture SD, The trench line TL may be formed by sliding the diamond point 151 in a posture in which the front face SD1 faces the front of the movement direction DA in a state of being inclined with respect to the back face of the diamond face 151. In other words,

혹은, 상기 서술한 실시형태에 있어서는, 트렌치 라인 (TL) 의 형성에 다이아몬드 포인트 (151) 를 사용하고 있지만, 이 대신에 스크라이빙 휠을 압접 전동시킴으로써 트렌치 라인 (TL) 을 형성하는 양태여도 된다. 이 경우, 스크라이빙 휠로는, 날끝에 홈이 형성되어 있지 않은 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이것은 예를 들어, 홈이 없는 스크라이빙 휠을 구비하는 트렌치 라인 (TL) 형성용 스크라이브 장치 (100) 와, 경사각 (θ) 이 1.0 °∼ 2.5 °의 범위로 고정적으로 설정된 스크라이빙 휠 (51) 을 구비하는 어시스트 라인 (AL) 형성용 스크라이브 장치 (100) 를 별개로 준비하고, 각각을 사용하여 트렌치 라인 (TL) 과 어시스트 라인 (AL) 을 형성함으로써 실현된다.Alternatively, in the above-described embodiment, the diamond point 151 is used to form the trench line TL, but the trench line TL may be formed by rolling the scribing wheel electrically in contact therewith . In this case, it is preferable to use a scribing wheel having no groove formed at the blade edge. This is achieved, for example, by a scribing device 100 for forming a trench line TL having a grooved scribing wheel and a scribing wheel 100 fixedly set at a tilt angle &thetas; 51 and the scribe device 100 for forming an assist line AL separately from each other and forming the trench line TL and the assist line AL using each of them.

단, 나머지 2 가지의 양태인 경우, 상기 서술한 실시형태와는 달리, 수직 크랙의 예정 신전 방향은 트렌치 라인 (TL) 의 하류측이 된다. 그 때문에, 이들 양태에 있어서는 경사각 (θ) 이 부가 되도록 스크라이빙 휠 (51) 을 경사지게 한 상태에서, 트렌치 라인 (TL) 의 상류측 근방에 어시스트 라인 (AL) 을 형성하도록 한다. 보다 상세하게는, 어시스트 라인 (AL) 의 형성을, 스크라이빙 휠 (51) 의 진행 방향 전방이 어시스트 라인 (AL) 의 형성 위치보다 하류측인 y 축 부방향측으로 기울어진 상태에서 실시하도록 하면 된다.However, in the remaining two modes, unlike the above-described embodiment, the planned extension direction of the vertical crack is the downstream side of the trench line TL. Therefore, in these aspects, the assist line AL is formed in the vicinity of the upstream side of the trench line TL with the scribing wheel 51 inclined so that the inclination angle? Is added. More specifically, the formation of the assist line AL is performed in a state in which the forward direction of the scribing wheel 51 is tilted toward the y-axis direction side downstream of the formation position of the assist line AL do.

이 경우에도 상기 서술한 실시형태와 마찬가지로, 수직 크랙 (VC) 의 예정 신전 방향인 트렌치 라인 (TL) 의 하류측으로 어시스트 크랙 (AC) 을 편재시키는 양태로 어시스트 라인 (AL) 이 형성되고, 이로써, 수직 크랙 (VC) 의 예정 신전 방향에 있어서는 바람직하게 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙의 신전이 발생한다. 결과적으로, 트렌치 라인 (TL) 이 형성되어 이루어지는 분단 위치에서 높은 확실성으로 수직 크랙을 신전시킬 수 있다.In this case also, the assist line AL is formed in such a manner that the assist cracks are localized on the downstream side of the trench line TL, which is the anticipated extension direction of the vertical cracks VC, as in the above- A vertical crack is preferably extended from the trench line TL in the anticipated extension direction of the vertical crack VC. As a result, a vertical crack can be extended with high certainty at the divided position where the trench line TL is formed.

또, 도 15 는, 참고예로서 나타내는 상기 서술한 실시형태와는 위치 관계를 다르게 하여 트렌치 라인 (TL) 과 어시스트 라인 (AL) 을 형성하는 경우의 취성 재료 기판 (W) 의 상면도이다. 구체적으로는, 도 15 에 나타내는 경우에 있어서는, 트렌치 라인 (TL) 을 y 축 정방향을 향하게 하여 형성한 후, 어시스트 라인 (AL) 을, 취성 재료 기판 (W) 의 y 축 방향 정측의 단부 근방에 있어서 화살표 (AR2β) 로 나타내는 바와 같이 x 축 정방향을 향하게 하여 형성한다. 이러한 경우, 상기 서술한 실시형태 및 실시예와는 반대로, 어시스트 라인 (AL) 의 형성을, 스크라이빙 휠 (51) 의 진행 방향 전방을 어시스트 라인 (AL) 의 형성 위치보다 상류측으로 기울인 상태에서 실시하게 된다. 바꾸어 말하면, 스크라이빙 휠 (51) 의 진행 방향 전방이 트렌치 라인 (TL) 의 연장 방향과 동일한 측이 되도록, 어시스트 라인 (AL) 을 형성하게 된다. 그러므로, 이 경우에 있어서, 어시스트 라인 (AL) 의 형성에 의해 트렌치 라인 (TL) 으로부터의 수직 크랙 (VC) 의 신전이 발생한다고 하면, 그것은 화살표 (AR3β) 로서 나타내는 방향으로, 즉 트렌치 라인 (TL) 과 어시스트 라인 (AL) 의 교점 (C) 으로부터 트렌치 라인 (TL) 의 상류측을 향하는 방향으로 발생하게 된다.15 is a top view of a brittle material substrate W in the case where the trench line TL and the assist line AL are formed in a positional relationship different from the above-described embodiment shown as a reference example. Specifically, in the case shown in Fig. 15, after the trench line TL is formed so as to face the y-axis positive direction, the assist line AL is formed in the vicinity of the end of the brittle material substrate W on the positive side in the y- Axis direction as indicated by the arrow AR2 ?. In this case, contrary to the above-described embodiments and examples, the formation of the assist line AL is performed in a state in which the forward direction of the scribing wheel 51 is inclined to the upstream side than the formation position of the assist line AL . In other words, the assist line AL is formed so that the forward direction of the scribing wheel 51 is on the same side as the extending direction of the trench line TL. Therefore, in this case, when the extension of the vertical crack VC from the trench line TL is caused by the formation of the assist line AL, it occurs in the direction indicated by the arrow AR3?, That is, in the direction of the trench line TL In the direction from the intersection C of the trench line TL and the assist line AL toward the upstream side of the trench line TL.

도 16 은, 상기 서술한 실시예와 마찬가지로, 경사각 (θ) 을 1.4 °, 2.5 °, 4.9 °의 3 수준으로 다르게 함으로써 참고예에 대한 VC 성립률을 평가하고, 얻어진 VC 성립률을 어시스트 라인 (AL) 의 형성시에 인가한 하중에 대해 플롯한 그래프이다.Fig. 16 is a graph showing the results of evaluating the VC establishment ratio for the reference example by differentiating the inclination angle [theta] at three levels of 1.4 DEG, 2.5 DEG and 4.9 DEG, as in the above-described embodiment, AL) with respect to the load applied thereto.

도 16 에 나타내는 바와 같이, 참고예에 있어서는, 경사각 (θ) 이 2.5 °인 경우에는 스크라이빙 휠 (51) 에 가하는 하중을 1.9 N 이상으로 한 경우에 95 ％ 이상의 VC 성립률이 얻어지고, 경사각 (θ) 이 4.9 °인 경우에는 스크라이빙 휠 (51) 에 가하는 하중을 1.9 N 이상으로 함으로써 100 ％ 의 VC 성립률이 얻어졌다. 이에 반해, 경사각 (θ) 이 1.4 °인 경우에는, VC 성립률은 하중이 3.0 N 일 때에만 90 ％ 를 초과하는 것에 불과하였다.As shown in Fig. 16, in the reference example, when the inclination angle [theta] is 2.5 [deg.], When the load applied to the scribing wheel 51 is 1.9 N or more, When the inclination angle [theta] is 4.9 [deg.], 100% of the VC formation rate was obtained by setting the load applied to the scribing wheel 51 to 1.9 N or more. On the other hand, when the inclination angle? Is 1.4 °, the VC formation rate exceeded 90% only when the load was 3.0 N.

즉, 이러한 참고예에 있어서의 경사각 (θ) 과 VC 성립률의 관계는, 상기 서술한 실시예에 있어서의 관계와는 반대였다. 또, 경사각 (θ) 이 2.5 °인 경우에는, 실시예 및 참고예의 쌍방에 있어서, 높은 확률로 수직 크랙 (VC) 을 신전시키는 것이 가능한 하중 범위가 존재하는 것이 확인되었다. 이것은, 내부 크랙 영역 (CR) 의 형성 위치 (어시스트 라인 (AL) 의 형성 위치와의 관계) 가, 경사각 (θ) 의 값에 의존하는 것인 것을 의미하고 있고, 그러므로, 경사각 (θ) 에 따라 수직 크랙 (VC) 의 신전이 발생하는 방향을 제어할 수 있을 가능성을 시사하고 있는 것으로 생각된다. 단, 상기 서술한 바와 같이, 경사각 (θ) 의 값을 크게 하면 컬릿이 발생하기 쉬워지는 점에서, 실용상으로는 상기 서술한 실시형태에 나타내는 바와 같이, 경사각 (θ) 은 1.0 °∼ 2.5 °의 범위에서 정하도록 하는 것이 바람직하다.That is, the relationship between the inclination angle? And the VC formation ratio in this reference example is opposite to that in the above-described embodiment. In addition, when the inclination angle? Is 2.5, it was confirmed that there is a load range capable of extending the vertical cracks VC with high probability both in the examples and the reference examples. This means that the formation position of the internal crack region CR (the relationship with the formation position of the assist line AL) depends on the value of the inclination angle?, And therefore, depending on the inclination angle? It is suggested that the direction of the extension of the vertical crack (VC) can be controlled. However, as described above, as the value of the inclination angle? Is increased, culls are liable to be generated. In practice, as shown in the above embodiment, the inclination angle? Is in the range of 1.0 to 2.5 degrees .

1 : 테이블
2 : 스크라이브 헤드
50, 150 : 스크라이브 툴
51 : 스크라이빙 휠
52 : 핀
53 : 홀더
100 : 스크라이브 장치
151 : 다이아몬드 포인트
152 : 생크
A1 : (어시스트 라인 (TL) 의) 시점
A2 : (어시스트 라인 (TL) 의) 종점
AL : 어시스트 라인
AX : 축 중심
C : (트렌치 라인 (TL) 과 어시스트 라인 (AL) 의) 교점
CR : 내부 크랙 영역
DP : 스크라이브 방향
PF : (스크라이빙 휠 (51) 의) 날끝
SF1 : (취성 재료 기판 (W) 의) 일방 주면 (상면)
SF2 : (취성 재료 기판 (W) 의) 타방 주면 (하면)
T1 : (트렌치 라인 (TL) 의) 시점
T2 : (트렌치 라인 (TL) 의) 종점
TL : 트렌치 라인
VC : 수직 크랙
W : 취성 재료 기판1: Table
2: scribe head
50, 150: Scribe tool
51: Scraping wheel
52:
53: Holder
100: scribe device
151: Diamond Point
152: shank
A1: (point of assist line (TL))
A2: End point (of assist line (TL))
AL: assist line
AX: Axis center
C: (intersection of trench line (TL) and assist line (AL))
CR: Internal crack area
DP: scribe direction
PF: (of scribing wheel 51)
SF1: (one side surface (upper surface) of the brittle material substrate W)
SF2: (the lower surface of the brittle material substrate W)
T1: (at the time of the trench line (TL))
T2: End point (of trench line (TL))
TL: Trench line
VC: Vertical crack
W: brittle material substrate

Claims

As a method for forming a vertical crack at a divided position when the brittle material substrate is divided in the thickness direction,
A trench line forming step of forming a trench line which is a groove-like groove on one main surface of the brittle material substrate;
And an assist line forming step of forming an assist line that is a machining station crossing the trench line by bringing a scribing wheel having an outer peripheral portion having a plurality of grooves formed at equal intervals into contact with each other on the one main surface,
In the trench line forming step, the trench line is formed so that a crackle state is maintained immediately below the trench line,
In the assist line forming step, the assist line is formed in a state in which the scribing wheel is inclined at a predetermined inclination angle with respect to the advancing direction of the assist line in the horizontal plane,
And a vertical crack is caused to extend from the trench line in the thickness direction of the brittle material substrate at an intersection of the trench line and the assist line as a start point.

The method according to claim 1,
In the step of forming the assist line, an internal crack region in which a plurality of assist cracks are present on the side of the assist line as the inside of the brittle material substrate is generated along with the formation of the assist line,
Wherein the formation position of the trench line and the assist line is determined such that the internal crack region is formed on the side of the predetermined extension direction of the vertical crack on the trench line.

3. The method of claim 2,
Wherein said assist line is formed so as to intersect with said trench line in the vicinity of a side opposite to a predetermined extension direction of a vertical crack on said trench line.

3. The method of claim 2,
Characterized in that the front side of the scribing wheel in the advancing direction of the scribing wheel is tilted in the horizontal plane from the advancing direction of the assist line toward the side opposite to the presumed extension direction of the vertical crack on the trench line in the assist line forming step, A method for forming a vertical crack in a material substrate.

The method according to claim 1,
Wherein the inclination angle is not less than 1.0 DEG and not more than 2.5 DEG.

The method according to claim 1,
And forming the assist line after forming the trench line. &Lt; RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >

A method of dividing a brittle material substrate in a thickness direction,
A vertical crack forming step of forming a vertical crack in the brittle material substrate by the vertical crack forming method according to any one of claims 1 to 6;
And a breaking step of breaking the brittle material substrate along the vertical cracks.