KR20160003583A - Scribing apparatus and scribing method for tempered glass substrate - Google Patents

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KR20160003583A
KR20160003583A KR1020150176719A KR20150176719A KR20160003583A KR 20160003583 A KR20160003583 A KR 20160003583A KR 1020150176719 A KR1020150176719 A KR 1020150176719A KR 20150176719 A KR20150176719 A KR 20150176719A KR 20160003583 A KR20160003583 A KR 20160003583A
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키요시 다카마츠
케이스케 도미나가
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

In the present invention, provided are a scribe method and a scribe device capable of reliably forming a scribe line even on a reinforced glass substrate by an inner scribing method. The method includes the steps of: (a) lowering a cutter wheel (11) having a groove from a side of a substrate (M) to come in contact with an inner starting point, forming a groove by rolling the cutter wheel (11) forward to a return point (P2) near the start point (P1) in a scribe plan line direction, and moving the cutter wheel (11) back from the groove; (b) lifting the cutter wheel (11) up to move the cutter wheel (11) in a groove width direction and then lowering the cutter wheel (11) again to come in contact and moving the cutter wheel (11) back and forth with respect to the return point (P2) to widen the width of the processed groove in order to form one trigger groove (T) to be used as the digging point of the cutter wheel (11); and (c) pressing and vibrating the cutter wheel (11) with the groove or another normal cutter wheel (12) from the trigger groove (T) to the end point (P3) of the scribe plan point in order to form a scribe line (S).

Description

강화 유리 기판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치{SCRIBING APPARATUS AND SCRIBING METHOD FOR TEMPERED GLASS SUBSTRATE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scribing method and a scribing apparatus for a tempered glass substrate,

본 발명은, 강화 유리제의 유리 기판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치에 관한 것이다. 여기에서, 「강화 유리」란, 제조 공정 중에 있어서의 이온 교환에 의한 화학적 처리에 의해, 유리 기판의 기판 표면층(기판 표면으로부터 깊이가 5㎛∼50㎛ 정도)에 압축 응력이 잔류하는 압축 응력층이 형성되어, 기판 내부에 인장 응력이 잔류하도록 제조된 유리를 말한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scribing method and a scribing apparatus for a tempered glass glass substrate. Here, " tempered glass " refers to a glass substrate which is subjected to a chemical treatment by ion exchange in the course of the production process, so that a compressive stress layer in which a compressive stress remains in the surface layer of the substrate (a depth of about 5 to 50 m from the substrate surface) And a tensile stress remains in the substrate.

강화 유리의 특징은, 압축 응력층의 영향으로 외력에 대하여 깨지기 어려운 성질을 갖는 반면, 일단, 기판 표면에 균열이 발생하여 잔류 인장 응력이 존재하는 기판 내부까지 진행되면, 이번에는 반대로 균열이 깊게 침투하기 쉬워지는 성질을 갖고 있다. The characteristic of the tempered glass is that it is hard to break with respect to external force due to the influence of the compressive stress layer. On the other hand, once cracks are generated on the surface of the substrate and progress to the inside of the substrate where residual tensile stress is present, It is easy to make.

일반적으로, 유리 기판을 분단하는 가공에서는, 우선 기판 표면에 유한 깊이의 스크라이브 라인(scribing line)을 형성하는 공정과, 그 후, 기판의 이측(裏側)으로부터 스크라이브 라인을 따라 브레이크 바나 브레이크 롤러로 압압(pushing)함으로써 브레이크하는 공정으로 이루어지는 분단 방법이 채용되고 있다.Generally, in the process of dividing a glass substrate, first, a step of forming a scribing line having a finite depth on the surface of the substrate, and then a step of pressing the substrate from the back side of the substrate along a scribe line with a brake bar or a brake roller and a step of performing a breaking operation by pushing an object to be inspected is adopted.

전자(前者)의 스크라이브 라인을 형성하는 공정에서는, 기판 표면에 대하여 원반 형상의 커터 휠(스크라이빙 휠(scribing wheel)이라고도 함)을 밀어 붙이면서 전동(rolling)시킴으로써 스크라이브하는 방법이 알려져 있으며, 예를 들면 특허문헌 1 등에 개시되어 있다. 커터 휠로서는, 원주 능선부에 연속된 작은 요철을 갖는 홈이 있는 커터 휠과, 능선부에 요철을 갖지 않는 노멀 커터 휠이 있고, 기판의 종류나 두께에 따라서 구분하여 사용되고 있다. In the step of forming the former scribing line, there is known a method of scribing by rolling a disk-shaped cutter wheel (also referred to as a scribing wheel) against the surface of the substrate while rolling the same. For example, in Patent Document 1 and the like. As a cutter wheel, there is a cutter wheel having a groove having small irregularities continuous to the circumferential ridgeline portion and a normal cutter wheel having no ruggedness on the ridge line portion, and is used in accordance with the type and thickness of the substrate.

도 7은 유리제의 기판(M)(마더(mother) 기판)을, 각각이 제품이 되는 단위 기판으로 분단(dividing)할 때에 행해지는 크로스 스크라이브 가공을 나타내고 있다. 우선 기판(M)의 표면에 대하여 커터 휠로 X 방향의 스크라이브 라인(S1)을 형성하고, 이어서, X 방향과 교차하는 Y 방향의 스크라이브 라인(S2)을 형성한다. 이와 같이 X-Y 방향으로 교차한 복수의 스크라이브 라인을 형성한 후, 기판(M)은 브레이크 장치로 보내지고, 각 스크라이브 라인을 따라 이면(裏面)측으로부터 휘게 함으로써, 단위 기판으로 분단된다.Fig. 7 shows a cross-scribe process performed when dividing a substrate M (mother substrate) made of glass into unit substrates each serving as a product. First, a scribe line S1 in the X direction is formed with the cutter wheel on the surface of the substrate M, and then a scribe line S2 in the Y direction crossing the X direction is formed. After the plurality of scribe lines intersecting in the X-Y direction are formed in this way, the substrate M is sent to the break device, and is divided into unit substrates by bending the scribe lines along the scribe lines.

유리 기판을 커터 휠로 스크라이브하는 방법에는, 「외절(外切)」과 「내절(內切)」이 있고, 기판의 종류나 용도에 따라, 외절과 내절의 스크라이브 방법이 선택적으로 구분하여 사용되고 있다(특허문헌 2 참조).Methods of scribing a glass substrate with a cutter wheel include " outer cutting " and " inner cutting ", and a scribe method of cutting the outer edge and inner edge is selectively used depending on the type and use of the substrate Patent Document 2).

전자의 외절은, 도 8(a)에 나타내는 바와 같이, 커터 휠(K)의 최하단을 기판(M)의 표면(상면)에서 약간 하방까지 강하한 상태에서, 기판(M)의 편측 단부(端部)의 외측 위치(스크라이브 개시 위치)에 셋팅한다. 그리고 셋팅한 위치로부터 수평 이동시켜, 기판 단부에 충돌시켜 올려 앉히고, 추가로 소정의 스크라이브압으로 압압하면서, 커터 휠(K)을 수평 이동시키도록 하여 스크라이브를 행한다.As shown in Fig. 8 (a), the outer edge of the former is formed in such a manner that the lower end of the cutter wheel K descends slightly downward from the surface (upper surface) of the substrate M, (Scribe start position) of the image forming apparatus. Then, the cutter wheel K is horizontally moved from the set position to collide with the end portion of the substrate, and the cutter wheel K is horizontally moved while being pressed with a predetermined scribing pressure.

외절에서는, 기판단에서 커터 휠이 슬립하는 문제는 발생하지 않으며, 형성되는 스크라이브 라인은 기판의 단부까지 도달하고 있기 때문에, 다음 공정에서 브레이크를 용이하고 그리고 정확하게 행할 수 있다. 그 한편으로, 커터 휠이 기판 단부에 충돌하기 때문에, 기판 단부에 이빠짐이 발생하여, 기판 내부의 인장 응력의 영향으로 단부로부터 불규칙하게 파단되거나, 풀 컷되어 버릴 우려가 있다. 또한, 커터 휠도 에지 부분과의 충돌로 소모되기 쉽다.Since the scribe line to be formed reaches the end portion of the substrate, the brake can be easily and accurately performed in the next step. On the other hand, since the cutter wheel collides with the end portion of the substrate, the end portion of the substrate is liable to be bent and may be irregularly broken from the end portion due to the tensile stress inside the substrate or may be cut off. Further, the cutter wheel is also likely to be consumed by collision with the edge portion.

후자의 내절은, 도 8(b)에 나타내는 바와 같이, 기판의 단연(端緣)으로부터 2㎜∼10㎜ 정도 내측(스크라이브 개시 위치)에서 커터 휠을 상방으로부터 하강시켜 기판에 소정의 스크라이브압으로 맞닿게 하여, 압압하면서 커터 휠을 수평 이동시키도록 하여 스크라이브를 행한다.8 (b), the cutter wheel is lowered from the upper side on the inner side (scribe start position) about 2 mm to 10 mm from the edge of the substrate, and the substrate is subjected to a predetermined scribing pressure And scribing is performed while pressing the cutter wheel horizontally.

내절에서는, 커터 휠이 기판 단부의 에지 부분과 충돌하는 바와 같은 일이 없기 때문에, 기판 단부에 이빠짐이 발생할 우려는 없으며, 커터 휠의 소모에 대해서도 외절에 비해 억제할 수 있다. 그러나, 커터 휠이 기판에 맞닿은 상태로부터 수평 방향으로 이동시킬 때에 커터 휠의 파고듦이 나빠 슬립해 버려, 스크라이브할 수 없는 경우가 있다.Since the cutter wheel does not collide with the edge portion of the end portion of the substrate, there is no fear that the end portion of the substrate will be broken, and the wear of the cutter wheel can be suppressed as compared with the cutting edge. However, when the cutter wheel is moved in the horizontal direction from the state in which the cutter wheel is brought into contact with the substrate, the cutter wheel is not smoothly pulled and slips, so that scribing can not be performed.

이와 같이 외절과 내절은, 각각 장점과 단점을 갖고 있다. 그 때문에, 기판의 종류나 용도에 따라, 외절과 내절을 구분하여 사용하고 있다.As such, both the clause and the ending have their advantages and disadvantages. Therefore, depending on the type and application of the substrate, the external break and the external break are separately used.

일본특허공보 제3074143호Japanese Patent Publication No. 3074143 일본공개특허공보 2009-208237호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2009-208237

최근, 휴대 전화 등의 커버 유리 등에 사용되는 유리 제품 중에는, 소위 강화 유리(화학 강화 유리라고도 함)라고 불리는 유리의 사용이 요망되고 있다. 전술한 바와 같이, 강화 유리는, 기판 표면층에 압축 응력이 잔류하도록 하여 제조되고 있으며, 이에 따라 유리의 판두께가 얇음에도 불구하고, 깨지기 어려운 유리가 얻어진다.BACKGROUND ART [0002] In recent years, the use of glass called so-called tempered glass (also referred to as chemical tempered glass) has been demanded among glass products used in cover glasses for cellular phones and the like. As described above, the tempered glass is produced by leaving compressive stress to remain in the surface layer of the substrate, whereby a glass which is difficult to break is obtained even though the thickness of the glass is thin.

따라서, 강화 유리를 이용하면, 얇고 가벼우며, 게다가 튼튼한 커버 유리를 제조할 수 있는 점에서 우수하다. 그 한편으로, 커버 유리로 하기 위해, 대면적의 마더 기판으로부터 소망하는 크기, 소망하는 형상의 단위 제품으로 잘라내는 가공이 필요해진다.Therefore, the use of the tempered glass is excellent in that it is thin, light, and also capable of producing a sturdy cover glass. On the other hand, in order to form a cover glass, it is necessary to cut a large-sized mother substrate into a unit product of a desired size and desired shape.

강화 유리에 대하여, 외절로 스크라이브 라인을 형성하는 경우, 기판 단부에서 커터 휠이 충돌할 때에 표면 압축 응력층보다 깊게 스크라이브하면, 기판 내부의 잔류 인장 응력의 영향을 받아, 한번에 완전히 분단되어 버린다는 문제점이 발생할 우려가 있다. 그 때문에, 강화 유리에서는, 외절보다도 내절로의 스크라이브 쪽이 바람직하다고 생각할 수 있다.When a scribe line is formed on the tempered glass at the edge of the substrate and when the cutter wheel is scribed deeply than the surface compressive stress layer when the scribe line collides with the edge of the substrate, it is affected by the residual tensile stress inside the substrate, May occur. For this reason, in the tempered glass, it is considered that the scribe in the inner section is preferable to the outer section.

그러나, 내절로 스크라이브하려고 해도, 날끝을 맞닿게 했을 때에, 강화 유리이기 때문에, 기판 표면층의 잔류 압축 응력의 영향으로, 커터 휠이 기판 표면으로 파고들기 어려워지고, 커터 휠의 기판으로의 걸림이 매우 나빠, 슬립이 발생해 버리는 일이 있었다. 그 때문에, 오히려 스크라이브 가공이 곤란해진다는 문제가 발생하게 되었다. 또한, 커터 휠을 파고들게 하기 위해 강한 압압 하중으로 스크라이브하면, 기판 내부의 잔류 인장 응력의 영향으로 한번에 파단되거나 완전히 분단되어 버리는 등의 문제점이 발생하는 일이 있었다. However, even if it is tried to scribe with the inner edge, since the tempered glass is brought into contact with the edge of the blade, the cutter wheel becomes difficult to dig into the substrate surface due to the residual compressive stress of the substrate surface layer, It was bad, and slip occurred. As a result, a problem arises that scribe processing becomes rather difficult. Further, when the scribe is scribed with a strong pressing load to cause the cutter wheel to pierce, there arises a problem that it is broken at once or completely divided due to the influence of the residual tensile stress inside the substrate.

이와 같이, 강화 유리에 대해서는, 종래부터 사용되고 있는 소다(soda) 유리 기판 등에 대한 스크라이브 가공과는 달리, 외절에 의해서도, 또한 내절에 의해서도, 제대로 스크라이브 라인을 형성하는 것이 곤란했다. 이 경향은, 기판 표면의 압축 응력층이 두꺼워 잔류 응력이 큰 기판일수록 현저해진다.As described above, unlike the conventional scribing process for a soda glass substrate, which has been used conventionally, it has been difficult to form a scribe line properly even when the glass is torn or when it is broken. This tendency becomes more pronounced for a substrate having a large residual compressive stress layer on the substrate surface and a large residual stress.

그래서, 본 발명은, 가공이 곤란한 강화 유리제의 유리 기판이라도, 내절로 확실하게 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is therefore an object of the present invention to provide a scribe method and scribe device capable of reliably forming a scribe line even in a tempered glass glass substrate which is difficult to process.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다.
In order to achieve the above object, the present invention takes the following technical means.

*즉, 본 발명의 스크라이브 방법에서는, 기판 표면에 압축 응력층이 형성되어 있는 강화 유리 기판에 대하여, 스크라이브 라인을 형성하는 기판 스크라이브 방법으로서, (a) 상기 기판의 일단연(一端緣)으로부터 내측으로 들어간 스타트 지점에, 날끝 능선에 연속된 요철을 갖는 홈이 있는 커터 휠을 하강시켜 맞닿게 하여, 스크라이브 예정 라인의 방향에서 스타트 지점 근방의 반환 지점까지 전진 전동시켜 홈을 형성한 후에, 당해 홈 위를 후퇴 전동시키고, (b) 이어서, 상기 홈이 있는 커터 휠을 상승시켜 홈폭 방향으로 이동시키고 나서, 재차 하강시켜 맞닿게 하여 반환 지점까지 전진 전동시킨 후에 후퇴 전동시키는 공정을 행함으로써, 먼저 가공한 홈의 폭을 넓혀 커터 휠의 파고듦 기점이 되는 1개의 트리거 홈을 형성하고, (c) 적어도 1회 이상 상기 (a), (b)의 동작을 실행한 후, 계속해서, 상기 트리거 홈으로부터 커터 휠을 스크라이브 예정 라인의 종점 지점까지 압압 전동시켜 스크라이브 라인을 형성하도록 했다. That is, in the scribing method of the present invention, a substrate scribing method for forming a scribe line on a tempered glass substrate having a compressive stress layer formed on a substrate surface includes the steps of: (a) The cutter wheel having grooves having continuous irregularities on the edge ridgelines is lowered and abutted against the starting point entered into the groove so that the groove is formed by advancing from the direction of the planned scribing line to the return point near the start point, (B) a step of moving the cutter wheel with the grooves upward in the groove width direction, then lowering the cutter wheel again, advancing the cutter wheel to the return point, and then retracting the cutter wheel, (C) forming at least one groove on the cutter wheel at least once, , and then the scribe line is formed by pressing the cutter wheel from the trigger groove to the end point of the planned scribing line after performing the operation of (b).

상기 커터 휠을 왕복시키는 거리, 즉, 스타트 지점으로부터 반환 지점까지의 거리는 0.5㎜∼3㎜가 바람직하고, 특히 2㎜ 정도가 적합하다. 또한, 커터 휠의 홈폭 방향으로의 이동 거리는 5∼15㎛가 바람직하고, 특히 10㎛가 적합하다. The distance for reciprocating the cutter wheel, that is, the distance from the start point to the return point, is preferably 0.5 mm to 3 mm, and particularly preferably about 2 mm. The moving distance of the cutter wheel in the groove width direction is preferably 5 to 15 mu m, particularly preferably 10 mu m.

본 발명에 의하면, 홈이 있는 커터 휠의 최초의 전진 전동으로 약간의 흠집이 형성되고, 이어지는 복로(復路)의 후퇴 전동으로 흠집이 깊어져 작은 홈이 된다. 이 홈은, 계속해서 행해지는 (b)의 공정에 의해 홈폭이 넓어지고, 스크라이브 라인을 가공하기 위한 트리거 홈(커터 휠 파고듦용 홈)으로서 작용한다. 이 트리거 홈을 기점으로 하여 커터 휠을 스크라이브 예정 라인의 종점 지점까지 전동시킴으로써, 기점 부분에서의 커터 휠의 파고듦이 용이해져, 슬립하는 일 없이 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.According to the present invention, a slight scratch is formed due to the first forward electric power of the cutter wheel with grooves, and the scratches are deepened by the backward transfer of the following return path, resulting in a small groove. The grooves are widened by the subsequent step (b) and serve as trigger grooves (groove for cutting the cutter wheel) for machining the scribe line. By moving the cutter wheel to the end point of the line to be scribed with the trigger groove as a starting point, the cutter wheel can be easily fulcrushed at the starting point, and a scribe line can be formed without slip.

또한, 스크라이브 라인을 형성할 때의 커터 휠의 파고듦이 용이해지기 때문에, 스크라이브 라인 형성시에 있어서의 커터 휠의 압압 하중을, 최초의 기점의 홈 형성시의 압압 하중보다도 작게 해도 충분히 스크라이브 라인을 형성할 수 있고, 이에 따라, 스크라이브 라인 형성시에 있어서의 기판에 대한 커터 휠의 무리한 하중을 경감하여, 기판의 파단이나 완전 분단을 없앨 수 있다.Since the pressing load of the cutter wheel at the time of forming the scribe line is made smaller than the pressing load at the time of forming the groove at the initial starting point, the scribe line can be sufficiently scratched when the scribe line is formed. Thereby reducing the unreasonable load of the cutter wheel relative to the substrate at the time of forming the scribe line, thereby eliminating the breakage or complete division of the substrate.

본 발명에 있어서, 상기 커터 휠의 후퇴 전동 거리를, 전진 전동 거리보다도 짧게, 또는 길게 하는 것이 좋다.In the present invention, it is preferable that the retracting distance of the cutter wheel is shorter or longer than the forward travel distance.

이에 따라, 커터 휠을 홈폭 방향으로 이동시켜 강하시켰을 때에, 후퇴 전동 거리가 짧은 부분만큼, 또는 긴 부분만큼, 앞선 가공시에 강하시킨 지점에서 강하점이 어긋나기 때문에, 강하시의 하중이 일부에 집중하는 것을 완화하여, 균열의 앞지름(precedence)이나 깨짐 등의 손상을 방지할 수 있다. As a result, when the cutter wheel is moved in the groove width direction, the drop point is shifted by a portion having a short backward travel distance or by a long portion at a point lowered during advanced processing, It is possible to prevent damage such as precedence or breakage of cracks.

또한, 본 발명에 있어서, 트리거 홈을 가공하는 데에는 날끝 능선에 연속된 요철을 갖는 홈이 있는 커터 휠을 이용하고, 스크라이브 라인을 가공하는 데에는 날끝 능선에 요철을 갖지 않는 노멀 커터 휠을 이용하는 것이 좋다. Further, in the present invention, it is preferable to use a cutter wheel having a groove having concave and convex continuous to the blade edge ridgeline to process the trigger groove, and use a normal cutter wheel having no concavity and convexity on the blade edge ridge for machining the scribe line .

스크라이브 라인을 가공할 때의 기점이 되는 트리거 홈이 홈이 있는 커터 휠에 의해 먼저 형성되어 있기 때문에, 날끝 능선에 홈을 갖지 않는 노멀 커터 휠이라도, 기점 부분에서의 파고듦이 용이해져 슬립하는 일 없이 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 또한, 트리거 홈은 폭이 넓게 형성되어 있기 때문에, 노멀 커터 휠을 위치 어긋남 없이, 정확하고 그리고 용이하게 트리거 홈으로 강하시킬수 있다.Since the trigger groove serving as a starting point when machining the scribe line is formed by the cutter wheel with grooves at first, even the normal cutter wheel which does not have grooves in the edge-ridge line can easily dig into the starting point portion, A scribe line can be formed. Further, since the trigger groove is formed to have a wide width, the normal cutter wheel can be accurately and easily lowered to the trigger groove without misalignment.

또한, 다른 관점에서 이루어진 본 발명의 기판 스크라이브 장치는, 유리 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 기판 스크라이브 장치로서, 유리 기판을 올려놓는 테이블과, 날끝 능선에 연속된 요철을 갖는 홈이 있는 커터 휠을 지지(holding)하는 스크라이브 헤드와, 상기 유리 기판의 표면에 대하여 상기 홈이 있는 커터 휠이 접촉된 상태와 이격된 상태를 취하도록 상기 스크라이브 헤드를 승강시키는 스크라이브 헤드 승강 수단과, 상기 유리 기판의 표면을 따라 서로 직교하는 2방향으로 상기 스크라이브 헤드를 상대적으로 이동시키는 이동 수단과, 상기 스크라이브 헤드 승강 수단에 의한 승강 동작 및, 상기 이동 수단에 의한 스크라이브 헤드의 이동 동작의 제어를 행하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부가, 상기 기판의 일단연으로부터 내측으로 들어간 스타트 지점에 스크라이브 헤드가 오도록 상기 기판이 셋팅된 상태에서 제어가 개시되면, (a) 상기 스타트 지점에 상기 홈이 있는 커터 휠을 하강시켜 맞닿게 하여, 스크라이브 예정 라인의 방향에서 스타트 지점 근방의 반환 지점까지 전진 전동시켜 홈을 형성한 후에, 당해 홈 위를 후퇴 전동시키고, (b) 이어서, 상기 홈이 있는 커터 휠을 상승시켜 스크라이브 예정 라인과 직교하는 홈폭 방향으로 이동시키고 나서, 재차 하강시켜 맞닿게 하여 반환 지점까지 전진 전동시킨 후에 후퇴 전동시킴으로써, 먼저 가공한 홈의 폭을 넓혀 커터 휠의 파고듦 기점이 되는 1개의 트리거 홈을 형성하고, (c) 적어도 1회 이상 상기 (a), (b)의 동작을 실행한 후, 계속해서, 상기 트리거 홈으로부터 커터 휠을 스크라이브 예정 라인의 종점 지점까지 압압 전동시켜 스크라이브 라인을 형성하는 동작을 행하는 제어를 행하도록 하고 있다. A substrate scribing apparatus according to the present invention constructed in another aspect is a substrate scribing apparatus for forming a scribe line on the surface of a glass substrate. The substrate scribing apparatus includes a table on which a glass substrate is placed, a cutter wheel A scribe head elevating means for moving the scribe head so as to take a state in which the cutter wheel with the groove is in contact with the surface of the glass substrate and a state in which the cutter wheel is spaced apart from the surface of the glass substrate; Moving means for relatively moving the scribe head in two directions orthogonal to each other along the surface of the scribe head; control means for controlling the elevating operation by the scribing-head elevating means and the moving operation of the scribing head by the moving means , And the control unit controls the substrate (A) the cutter wheel with the grooves is lowered and abutted against the start point so that the start point of the scribe head in the vicinity of the start point (B) the cutter wheel with the groove is then lifted to move in the groove width direction orthogonal to the planned scribing line, and then the wafer is moved downward again (C) forming at least one trigger groove on the cutter wheel at least one time, the step (a) being performed at least once, , after the operation of (b) is performed, the cutter wheel is pressed from the trigger groove to the end point of the line to be scribed The control for performing the operation of forming the scribe line is performed.

이러한 기판 스크라이브 장치를 이용함으로써, 전술한 스크라이브 방법을 실현할 수 있다.By using such a substrate scribing apparatus, the scribing method described above can be realized.

상기 기판 스크라이브 장치의 발명에 있어서, 또한, 날끝 능선에 연속된 요철을 갖지 않는 노멀 커터 휠을 지지하는 제2 스크라이브 헤드와, 상기 유리 기판의 표면에 대하여, 상기 노멀 커터 휠이 접촉된 상태와 이격된 상태를 취하도록 상기 스크라이브 헤드를 승강시키는 제2 스크라이브 헤드 승강 수단과, 상기 유리 기판의 표면을 따라 서로 직교하는 2방향으로 상기 스크라이브 헤드를 상대적으로 이동시키는 제2 이동 수단을 구비하고, 상기 제어부는 상기 (c)의 동작을, 상기 노멀 커터 휠을 이용하여 행하도록 해도 좋다.A second scribe head for supporting a normal cutter wheel having no concavo-convex continuous to the edge ridgeline; and a second scribe head for holding the normal cutter wheel in a state of being in contact with the surface of the glass substrate, And a second moving means for relatively moving the scribe head in two directions orthogonal to each other along a surface of the glass substrate, wherein the second scribing means moves the scribing head relative to the surface of the glass substrate, (C) may be performed using the normal cutter wheel.

도 1은 본 발명의 스크라이브 방법에 이용하는 스크라이브 장치의 일 실시예를 나타내는 정면도이다.
도 2는 홈이 있는 커터 휠의 일 예를 나타내는 정면도 및 좌측면도이다.
도 3은 본 발명에 있어서의 스크라이브 방법의 순서를 나타내는 측면에서 본 설명도이다.
도 4는 본 발명에 있어서의 스크라이브 방법의 순서를 나타내는 평면적인 설명도이다.
도 5는 본 발명의 스크라이브 방법의 다른 실시예를 나타내는 도 4와 동일한 설명도이다.
도 6은 본 발명의 스크라이브 방법의 또 다른 실시예를 나타내는 도 4와 동일한 설명도이다.
도 7은 일반적인 유리 기판의 크로스 스크라이브 가공을 나타내는 도면이다.
도 8은 커터 휠에 의한 종래의 스크라이브 방법을 나타내는 도면이다.1 is a front view showing an embodiment of a scribing apparatus used in the scribing method of the present invention.
2 is a front view and a left side view showing an example of a cutter wheel with grooves.
Fig. 3 is an explanatory diagram viewed from the side showing the procedure of the scribing method in the present invention. Fig.
4 is a planar explanatory view showing the procedure of the scribing method in the present invention.
Fig. 5 is an explanatory diagram similar to Fig. 4 showing another embodiment of the scribing method of the present invention.
Fig. 6 is an explanatory diagram similar to Fig. 4 showing another embodiment of the scribing method of the present invention.
7 is a view showing a cross-scribe process of a general glass substrate.
8 is a view showing a conventional scribing method by a cutter wheel.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

이하에 있어서, 본 발명에 따른 기판 스크라이브 방법, 기판 스크라이브 장치의 상세를, 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the substrate scribing method and substrate scribing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은, 강화 유리 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위해 사용되는 기판 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 개략적인 정면도이다.1 is a schematic front view showing an example of a substrate scribing apparatus used for forming a scribe line on a tempered glass substrate.

이 스크라이브 장치(A)는, 강화 유리 기판(M)을 올려놓는 테이블(1)을 구비하고 있다. 테이블(1)은, 이 위에 올려놓은 기판(M)을 정위치에서 지지할 수 있도록 지지 기구를 구비하고 있다. 본 실시예에서는, 이 지지 기구로서, 테이블(1)에 개구시킨 다수의 작은 에어 흡착구멍(도시하지 않음)을 통하여 기판(M)을 흡착 지지하도록 하고 있다. 또한, 테이블(1)은, 수평한 레일(2)을 따라 Y 방향(도 1의 전후 방향)으로 이동할 수 있도록 되어 있고, 모터(도시하지 않음)에 의해 회전하는 나사축(3)에 의해 구동된다. 또한 테이블(1)은, 모터를 내장하는 회전 구동부(4)에 의해 수평면 내에서 회동(回動)할 수 있도록 되어 있다.This scribing apparatus A is provided with a table 1 on which a tempered glass substrate M is placed. The table (1) is provided with a support mechanism for supporting the substrate (M) placed thereon in a fixed position. In this embodiment, as the support mechanism, the substrate M is sucked and supported through a plurality of small air suction holes (not shown) opened on the table 1. [ The table 1 can be moved along the horizontal rail 2 in the Y direction (forward and backward direction in FIG. 1), and is driven by a screw shaft 3 rotated by a motor (not shown) do. Further, the table 1 can be rotated in a horizontal plane by a rotary drive unit 4 incorporating a motor.

테이블(1)을 사이에 두고 설치되어 있는 양측의 지지 기둥(5, 5)과, X 방향에 수평으로 연장되는 가이드 바(6)를 구비한 브리지(7)가, 테이블(1) 위를 걸치도록 하여 설치되어 있다.A bridge 7 including support pillars 5 and 5 on both sides provided between the table 1 and a guide bar 6 extending horizontally in the X direction is mounted on the table 1, Respectively.

가이드 바(6)에는, X 방향에 수평으로 연장되는 가이드(8)가 설치되고, 이 가이드(8)에 스크라이브 헤드(9)가 모터(13)에 의해 X 방향으로 이동할 수 있도록 부착되어 있다. 스크라이브 헤드(9)에는 2개의 커터 홀더(10a, 10b)가 각각 독립하여 승강 가능하게 장착되고, 한쪽의 커터 홀더(10a)에는 날끝 능선에 연속된 작은 요철을 갖는 홈이 있는 커터 휠(11)이 부착되며, 다른 한쪽의 커터 홀더(10b)에는 날끝 능선에 요철을 갖지 않는 일반적인 노멀 커터 휠(12)이 부착되어 있다.A guide 8 extending horizontally in the X direction is provided in the guide bar 6. A scribe head 9 is attached to the guide 8 so as to be movable in the X direction by a motor 13. [ Two cutter holders 10a and 10b are independently liftably mounted on the scribe head 9 and one cutter holder 10a is provided with a groove cutter wheel 11 having a small concavity and convexity continuous to the blade tip ridge, And the other cutter holder 10b is provided with a normal cutter wheel 12 which has no concavo-convex on the blade edge ridgeline.

또한, 본 실시 형태에서는 2개의 커터 휠(11, 12)로 1개의 스크라이브 헤드(9)를 겸용하도록 하고 있지만, 스크라이브 헤드(9)를 독립적으로 설치하여 각각 이동 수단을 갖도록 해도 좋다. 전자와 같이 겸용하는 경우라도, 각 커터 휠을 동시에 이용하여 스크라이브하는 일은 없기 때문에, 실질적으로 커터 휠(11)이 스크라이브 헤드(9)를 제1 이동 수단으로 하고, 커터 휠(12)이 스크라이브 헤드(9)를 제2 이동 수단으로 하여, 각각의 커터 휠이 다른 이동 수단으로 X, Y 방향으로 이동되는 것으로서 취급할 수 있다. In the present embodiment, the two cutter wheels 11 and 12 are also used as one scribe head 9, but the scribe heads 9 may be provided independently and each may have moving means. The cutter wheel 11 is used as the first moving means and the cutter wheel 12 is moved to the scribe head 12 as the first moving means because the scraper wheel 11 does not substantially scribe using the cutter wheels simultaneously, It is possible to treat each cutter wheel as being moved in the X and Y directions by different moving means by using the first moving means 9 as the second moving means.

도 2는 홈이 있는 커터 휠(11)의 일 예를 나타내는 것으로, 도 2(a)는 측면도이고, 도 2(b)는 정면도이다. 이 홈이 있는 커터 휠(11)은, 직경 2㎜∼6㎜이고 두께 0.6㎜∼1.5㎜ 정도의 초경합금제의 원반 디스크(11a)의 외주부에 날끝이 되는 능선(11b)을 형성하기 위한 각도 α(약 100도∼140도)가 형성되고, 그 능선(11b)에 연속된 작은 요철(11c)이 형성되어 있다. 또한, 이 홈이 있는 커터 휠(11)로서는, 예를 들면 미쓰보시 다이아몬도 고교 가부시키가이샤 제조의 스크라이빙 휠 「페넷트」(Penett(등록상표))를 이용해도 좋다. Fig. 2 shows an example of a cutter wheel 11 having a groove. Fig. 2 (a) is a side view and Fig. 2 (b) is a front view. The grooved cutter wheel 11 has an angle alpha (?) For forming a ridge 11b as a blade at the outer periphery of the cemented carbide disk 11a having a diameter of 2 mm to 6 mm and a thickness of about 0.6 mm to 1.5 mm (About 100 degrees to 140 degrees) are formed, and small irregularities 11c continuous to the ridgelines 11b are formed. As the cutter wheel 11 having this groove, a scribing wheel "Penet (registered trademark)" manufactured by Mitsubishi Daiamondo Corporation can be used, for example.

다음으로, 스크라이브 장치(A)의 제어계에 대해서, 도 1에 기초하여 설명한다. Next, a control system of the scribing apparatus A will be described with reference to Fig.

스크라이브 장치(A)는 제어부(20)를 구비하고 있다. 제어부(20)는 제어에 필요한 연산 처리를 행하는 CPU(21), 제어 프로그램이나 필요한 설정 정보를 기억하는 메모리(22)(기억부), 설정 정보나 조작을 위한 입출력을 행하는 입력 장치(23), 입력 조작 화면이나 장치 상황의 모니터 화면으로서 이용되는 표시 장치(24)에 의해 구성되는 컴퓨터 시스템으로 이루어진다. The scribing apparatus A is provided with a control section 20. The control unit 20 includes a CPU 21 for performing arithmetic processing required for control, a memory 22 (storage unit) for storing control programs and necessary setting information, an input device 23 for inputting and outputting setting information and operation, And a display device 24 used as an input operation screen or a monitor screen of the device status.

제어부(20)에서는, 미리 제어에 필요한 설정 정보를 메모리(22)에 기억시켜 둠으로써, 제어 프로그램과 설정 정보에 의해 소망하는 스크라이브 동작을 행할 수 있도록 되어 있다. In the control unit 20, the setting information necessary for the control is stored in the memory 22 in advance so that the desired scribing operation can be performed by the control program and the setting information.

메모리(22)에 기억되는 설정 정보에는, 본 발명에 관계되는 정보로서, 「제1 이동 속도」(31), 「제2 이동 속도」(32), 「제1 압압 하중」(33), 「제2 압압 하중」(34), 「이동 거리」(35), 「횡(橫)시프트 거리」(36), 「종(縱)시프트 거리」(37), 「시프트 횟수」(38)의 각 정보가 포함된다. The setting information stored in the memory 22 includes information such as "first moving speed" 31, "second moving speed" 32, "first pressing load" 33, "second pressing speed" Shift distance "37," shift number "38, the" second pushing load "34, the" moving distance "35, the" Information.

「제1 이동 속도」(31)는, 트리거(trigger) 홈을 형성할 때의 스크라이브 헤드(9)의 이동 속도의 설정 정보이고, 「제2 이동 속도」(32)는, 스크라이브 라인을 형성하기 위해 스크라이브 종료 지점까지 이동할 때의 스크라이브 헤드(9)의 이동 속도의 설정 정보이다. 본 실시예에서, 전자는 홈이 있는 커터 휠(11)을 전동시킬 때의 설정 정보이고, 후자는 노멀 커터 휠(12)을 전동시킬 때의 설정 정보이다. 또한, 제1 이동 속도(31)는, 제2 이동 속도(32)와 동일하거나, 그보다 느린 값으로 설정된다. The " first moving speed " 31 is information for setting the moving speed of the scribe head 9 when forming the trigger groove, and the " second moving speed " Is the setting information of the moving speed of the scribe head 9 when moving to the scribe end point. In the present embodiment, the former is setting information for turning the cutter wheel 11 with grooves, and the latter is setting information for turning the normal cutter wheel 12. The first moving speed 31 is set to a value equal to or slower than the second moving speed 32. [

「제1 압압 하중」(33)은, 트리거 홈을 형성할 때의 압압 하중의 설정 정보이고, 「제2 압압 하중」(34)은, 스크라이브 라인을 형성하기 위해 스크라이브 종료 지점까지 이동할 때의 스크라이브 헤드(9)의 압압 하중의 설정 정보이다. 본 실시예에서, 전자는 홈이 있는 커터 휠(11)을 전동시킬 때의 압압 하중의 설정 정보이고, 후자는 노멀 커터 휠을 전동시킬 때의 설정 정보이다. 또한, 제2 압압 하중(34)은, 제1 압압 하중(33)과 동일하거나, 그보다 작은 값으로 설정된다. The " first pressing load " 33 is information for setting the pressing load when forming the trigger groove, and " the second pressing load " 34 is a scribing line for moving the scribing line to the scribing end point And setting information of the pressing load of the head 9. In the present embodiment, the former is the setting information of the pressing load at the time of rolling the cutter wheel 11 with grooves, and the latter is the setting information at the time of turning the normal cutter wheel. The second pressing load 34 is set to a value equal to or smaller than the first pressing load 33. [

「이동 거리」(35)는, 트리거 홈 형성시의 왕복이동에 있어서의 스타트 지점으로부터 반환점까지의 이동 거리(L1)(도 3 참조)로서 기억되는 설정 정보이다. 이 거리가 트리거 홈의 길이가 된다. The " moving distance " 35 is setting information stored as a moving distance L1 (see Fig. 3) from the start point to the turning point in the reciprocating movement at the time of forming the trigger groove. This distance is the length of the trigger groove.

「횡시프트 거리」(36)는, 트리거 홈의 홈폭을 넓히기 위해, 횡방향(홈폭 방향)으로 날끝을 시프트시켜, 왕복이동을 반복할 때의 횡방향의 이동 거리인 횡시프트 거리(L2)(도 4 참조)의 설정 정보이다. 이 횡시프트 거리(L2)와 후술하는 시프트 횟수(38)에 의해 트리거 홈의 홈폭이 결정되게 된다. The "lateral shift distance" 36 is a value obtained by shifting the edge in the lateral direction (groove width direction) so as to widen the groove width of the trigger groove and the lateral shift distance L2 See FIG. 4). The groove width of the trigger groove is determined by the lateral shift distance L2 and the number of shifts 38 described later.

「종시프트 거리」(37)는, 트리거 홈 형성시의 왕복이동에 있어서의 왕로(往路)와 복로의 거리의 차인 종시프트 거리(L3)(도5 참조)의 설정 정보이다. 종시프트 거리(L3)는, 트리거 홈 형성시에 왕복이동을 반복할 때의 날끝의 강하 위치의 변동 거리가 된다. The "longitudinal shift distance" 37 is setting information of the longitudinal shift distance L3 (see FIG. 5), which is the difference between the forward path and the backward distance in the reciprocating movement at the time of forming the trigger groove. The longitudinal shift distance L3 is the fluctuation distance of the drop position of the blade edge when the reciprocating movement is repeated at the time of forming the trigger groove.

「시프트 횟수」(38)는, 트리거 홈 형성시에, 트리거 홈의 폭을 넓히기 위해 왕복이동을 반복하는 횟수의 설정 정보이다. The "number of shifts" 38 is setting information for the number of times the reciprocating motion is repeated to widen the width of the trigger groove at the time of forming the trigger groove.

다음으로, 이 스크라이브 장치(A)를 이용한 스크라이브 방법을 설명한다. Next, a scribing method using this scribing apparatus A will be described.

우선, 도 3(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 기판(M)의 스크라이브 예정 라인 상에서, 기판(M)의 일단연(도면의 우단연)으로부터 내측(예를 들면 4㎜ 내측)으로 들어간 스타트 지점(P1)에 홈이 있는 커터 휠(11)을 강하시키고, 미리 예비 실험에서 구하여 설정한 「제1 압압 하중」(33)(예를 들면 0.05㎫ 정도)의 하중으로 밀어 붙이면서, 스타트 지점 근방의 반환 지점(P2)까지의 「이동 거리(L1)」(35)를, 「제1 이동 속도」(31)로 전진 전동시킨다(도 3(c) 참조). First, as shown in Figs. 3A and 3B, on the line to be scribed of the substrate M, the inside (for example, inside of 4 mm) of the substrate M from one end The cutter wheel 11 having the grooves is lowered at the entered start point P1 and the cutter wheel 11 is pushed by the load of the "first pressing load" 33 (for example, about 0.05 MPa) obtained and set in advance in the preliminary experiment, Quot; movement distance L1 " 35 to the return point P2 in the vicinity of the point is advanced forward to the " first movement speed " 31 (see Fig. 3 (c)).

그리고, 반환 지점(P2)에서 앞선 「제1 압압 하중」(33) 및 「제1 이동 속도」(31)를 유지시킨 채 반환하여, 스타트 지점(P1)까지 후퇴 전동시킨다. 최초의 전진 전동으로 약간의 흠집이 형성되고, 이어지는 복로의 후퇴 전동으로 흠집이 깊어져 작은 홈(흠집)(T')이 형성된다(도 3(d) 참조). The first pressing load 33 and the first moving speed 31 are returned while being held at the return point P2 and are retracted to the start point P1. A small scratch is formed by the first forward electric motor, and the scratch is deepened by the backward electric power of the following backward, so that a small groove (scratch) T 'is formed (see Fig.

계속해서, 홈이 있는 커터 휠(11)을 상승시켜 그 위치로부터 홈폭 방향(스크라이브 예정 라인과 직교하는 방향)으로 「횡시프트 거리(L2)」(36)만큼 약간 이동시키고 나서 재차 하강시키고, 반환 지점(P2)까지 「제1 압압 하중」(33) 및 「제1 이동 속도」(31)로 전진 전동시킨다(도 3(e) 그리고 도 4 참조). 이 스크라이브에 의해 형성되는 홈이, 먼저 형성된 홈과 합체하여 1개의 폭이 넓은 트리거 홈을 형성하도록, 홈이 있는 커터 휠(11)의 홈폭 방향으로의 거리(L2)가 「횡시프트 거리」(36)로서 설정되어 있고, 구체적으로는, 예를 들면 약 10㎛ 정도로 설정되어 있다. 그 후, 홈이 있는 커터 휠(11)을, 「제1 압압 하중」(33) 및 「제1 이동 속도」(31)를 유지시킨 채 스타트 지점(P1)까지 후퇴 전동시킨다(도 3(f) 참조). Subsequently, the cutter wheel 11 with the grooves is lifted and moved slightly from the position in the groove width direction (direction orthogonal to the scribing line) by the "lateral shift distance L2" 36, then lowered again, (See Fig. 3 (e) and Fig. 4) by the "first pressing load" 33 and the "first moving speed" 31 to the point P2. The distance L2 in the groove width direction of the grooved cutter wheel 11 is set to be the same as the "transverse shift distance" ( 36). Specifically, it is set to about 10 mu m, for example. Thereafter, the grooved cutter wheel 11 is retracted to the start point P1 while maintaining the "first pressing load" 33 and the "first moving speed" 31 ) Reference).

상기의 홈이 있는 커터 휠(11)에서의 왕복이동에 의한 가공을, 「시프트 횟수」(38)로서 설정한 횟수만큼 반복한다. 예를 들면, 도 4에 나타내는 바와 같이 5회 왕복이동을 반복함으로써, 스크라이브 라인 가공시의 파고듦 기점이 되는 폭이 넓은 트리거 홈(T)을 형성한다. 본 실시예의 경우, 상기 홈이 있는 커터 휠(11)의 홈폭 방향으로의 이동 거리(L2)가 약 10㎛인 점에서, 트리거 홈(T)의 폭은 50㎛가 된다.The machining by the reciprocating movement in the above-mentioned cutter wheel 11 with grooves is repeated the number of times set as the " shift number of times " For example, as shown in Fig. 4, by repeating the reciprocating movement five times, a wide trigger groove T serving as a starting point for peeling at scribe line processing is formed. In the case of this embodiment, the width of the trigger groove T is 50 mu m in that the moving distance L2 of the groove-like cutter wheel 11 in the groove width direction is about 10 mu m.

또한, 도 4에서는, 홈이 있는 커터 휠(11)의 전진 전동을 나타내는 선과 후퇴 전동을 나타내는 선을 편의상 간격을 두고 나타냈지만, 실제로는 거의 동일선상에 중복하여 나타난다. In Fig. 4, the line indicating the forward electric power of the cutter wheel 11 with grooves and the line indicating the backward electric power are shown as being conveniently spaced apart from each other. However, in reality, they appear almost on the same line.

이렇게 하여 폭이 넓은 트리거 홈(T)을 가공한 후, 스크라이브 헤드(9)를 이동하여, 홈이 있는 커터 휠(11)을 대신하여, 노멀 커터 휠(12)을 트리거 홈(T)으로 하강시킨다. 이때, 트리거 홈(T)은 폭이 넓게 형성되어 있기 때문에, 노멀 커터 휠(12)을 확실하고 그리고 용이하게 트리거 홈(T)으로 강하시킬 수 있다. After the wide trigger groove T is machined in this manner, the scribe head 9 is moved to lower the normal cutter wheel 12 into the trigger groove T in place of the cutter wheel 11 having the groove . At this time, since the trigger groove T is formed to be wide, the normal cutter wheel 12 can be reliably and easily lowered to the trigger groove T.

이 후, 노멀 커터 휠(12)을 트리거 홈(T)으로부터 스크라이브 예정 라인의 종점 지점(P3)까지, 미리 예비 실험으로 구하여 설정한 「제2 압압 하중」(34)(예를 들면 0.01㎫ 정도), 그리고, 「제2 이동 속도」(32)로 전진 전동시켜 스크라이브 라인(S)을 형성한다(도 3(g) 참조). 이때, 트리거 홈(T)은, 노멀 커터 휠(12)의 파고듦 기점으로서 작용하여, 전동시킬 때의 파고듦이 용이해져, 슬립하는 일 없이 스크라이브 라인(S)을 형성할 수 있다. 또한, 스크라이브 라인(S)을 형성할 때의 파고듦이 용이한 점에서, 스크라이브 라인 형성시에 있어서의 노멀 커터 휠(12)의 「제2 압압 하중」(34)을, 트리거 형성시의 「제1 압압 하중」(33)보다 작게 해도, 충분히 스크라이브 라인(S)을 형성할 수 있다. 이에 따라, 스크라이브 라인 형성시에 있어서의 기판에 대한 커터 휠의 무리한 하중을 경감하여 기판의 파단이나 완전 분단을 없앨 수 있다. Thereafter, the "second pressing load" 34 (for example, about 0.01 MPa) set by preliminary experiment is set in advance from the trigger groove T to the end point P3 of the planned scribing line in the normal cutter wheel 12 ), And then advances to the "second movement speed" 32 to form a scribe line S (see FIG. 3 (g)). At this time, the trigger groove T acts as a starting point of the crushing of the normal cutter wheel 12, so that the trigger groove T can be easily peeled when rolling, and the scribe line S can be formed without slip. The "second pressing load" 34 of the normal cutter wheel 12 at the time of forming the scribe line is used as the "second pressing load" 34 when forming the scribe line S, The scribing line S can be sufficiently formed even if the scribing line S is smaller than the first pressing load 33. [ Accordingly, it is possible to reduce the unreasonable load of the cutter wheel with respect to the substrate at the time of forming the scribe line, and to eliminate the breakage or complete division of the substrate.

홈이 있는 커터 휠(11)을 왕복이동시키는 이동 거리(L1)(이동 거리(35)로서 설정)는 2㎜ 정도가 적합하지만, 0.5㎜∼3㎜의 범위에서 선택할 수 있다. 그 이유는 다음과 같다. The moving distance L1 (set as the moving distance 35) for reciprocating the cutter wheel 11 with grooves is preferably about 2 mm, but can be selected in the range of 0.5 mm to 3 mm. The reason for this is as follows.

일반적으로, 스크라이브 헤드의 유리 기판에 대한 상대적인 이동 방향이 변화했을 때에, 커터 휠의 날끝 능선의 방향을 당해 이동 방향으로 신속하게 일치시키기 위해, 커터 홀더에 캐스터 효과(caster effect)를 갖게 하는 경우가 있다. 구체적으로는, 커터 홀더(10a)를 연직축 둘레로 회전이 자유롭게 하고, 홈이 있는 커터 휠(11)의 회전 중심을 당해 연직축의 연장선상에 배치하지 않게 함으로써, 스크라이브 헤드(9)의 이동 방향이 바뀌어도, 홈이 있는 커터 휠(11)의 날끝 능선의 방향을 스크라이브 헤드(9)의 이동 방향으로 매끄럽게 추종시킬 수 있다. 그러나, 전술한 왕복 가공시에 이러한 캐스터 효과가 발휘되면, 반환 지점(P2)에서 홈이 있는 커터 휠(11)이 커터 홀더(10a)와 함께 180° 회전해 버려, 강화 유리 기판(M)으로 손상을 줄 우려가 있음과 동시에, 홈이 있는 커터 휠(11) 자체의 마모로도 이어진다. 따라서, 왕복이동의 거리는 커터 홀더(10a)에 캐스터 효과가 발휘되지 않는 길이인 것이 바람직하고, 그것이 0.5㎜∼3㎜이다. Generally, when the direction of movement of the scribe head relative to the glass substrate changes, the case where the cutter holder has a caster effect in order to quickly align the direction of the edge ridge of the cutter wheel in the moving direction have. Specifically, the cutter holder 10a can be rotated around the vertical axis, and the rotational center of the cutter wheel 11 with grooves is not arranged on the extension line of the vertical axis, so that the moving direction of the scribe head 9 The direction of the edge ridge line of the cutter wheel 11 with the grooves can be smoothly followed in the moving direction of the scribe head 9 even if it is changed. However, if such a castor effect is exhibited at the time of the reciprocating process described above, the cutter wheel 11 having a groove at the return point P2 rotates together with the cutter holder 10a by 180 degrees, There is a risk of damage, and also wear of the cutter wheel 11 itself having grooves. Therefore, it is preferable that the distance of reciprocating movement is such that the caster effect is not exerted on the cutter holder 10a, and it is 0.5 mm to 3 mm.

또한, 전동 속도에 대해서는, 전술한 바와 같이, 홈이 있는 커터 휠(11)의 왕복이동시의 전동 속도(제1 이동 속도(31))를, 예를 들면 3㎜/초 정도로 느리게 하고, 노멀 커터 휠(12)에 의한 스크라이브 라인 형성시의 전동 속도(제2 이동 속도(32))를, 예를 들면 100㎜/초로 빠르게 하는 것이 좋다. 이에 따라, 트리거 홈(T)의 가공을 확실하게 행할 수 있음과 함께, 스크라이브 라인(S)의 가공을 신속하게 행할 수 있다. As to the electric speed, the electric speed (first movement speed 31) at the time of reciprocating movement of the cutter wheel 11 with grooves is made as slow as about 3 mm / sec, for example, It is preferable to speed up the electric speed (second moving speed 32) at the time of forming the scribe line by the wheel 12 to, for example, 100 mm / second. As a result, the trigger groove T can be reliably machined and the scribe line S can be machined quickly.

상기 실시예에 있어서, 트리거 홈(T)을 가공할 때의 홈이 있는 커터 휠(11)의 전진 전동 거리와, 후퇴 전동 거리를 동일 거리로 행했지만, 도 5에 나타내는 바와 같이, 전진 전동과 후퇴 전동과의 거리의 차로서 「종시프트 거리」(37)를 설정하고, 후퇴 전동 거리를 전진 전동 거리보다도 짧게 하여 행하도록 해도 좋다. 이 거리의 차(종시프트 거리(L3))로서는 0.5㎜ 정도가 바람직하다.In the above embodiment, the forward travel distance of the cutter wheel 11 having grooves at the time of machining the trigger groove T and the backward travel distance are the same distance. However, as shown in Fig. 5, The " longitudinal shift distance " 37 may be set as a difference in the distance from the backward electric power, and the backward electric power distance may be made shorter than the forward electric power distance. The difference (longitudinal shift distance L3) at this distance is preferably about 0.5 mm.

이 방법에서는, 홈이 있는 커터 휠(11)을 홈폭 방향으로 이동시켜 강하시켰을 때에, 후퇴 전동 거리가 짧은 부분만큼 앞선 가공시에 강하시킨 지점에서 강하점이 어긋나기 때문에, 강하시의 하중이 일부에 집중하는 것을 완화하여, 균열의 앞지름이나 깨짐 등의 발생을 방지할 수 있다. In this method, when the cutter wheel 11 with grooves is moved in the groove width direction to drop the drop point, the drop point is shifted from the point at which the drop is made during the preceding machining operation by a portion having a short retraction drive distance. Therefore, It is possible to mitigate the concentration, and to prevent occurrence of cracks, cracks, and the like.

또한, 상기한 후퇴 전동 거리는, 도 6에 나타내는 바와 같이 전진 전동 거리보다도 길게 해도 좋다. 이 경우도 동일하게, 홈이 있는 커터 휠(11)을 홈폭 방향으로 이동시켜 강하시켰을 때에, 후퇴 전동 거리가 긴 부분만큼 앞선 가공시에 강하시킨 지점보다도 강하점이 어긋나기 때문에, 동일한 효과를 기대할 수 있다. Further, the above-described retracting transmission distance may be longer than the forward transmission distance as shown in Fig. In this case as well, when the cutter wheel 11 with grooves is moved in the groove width direction to lower it, the drop point is shifted from the point where the cutter wheel 11 is lowered at the time of the preceding machining by the portion having the longer retracted distance, have.

또한, 상기 실시예에서는, 트리거 홈(T)을 가공하는 데에 홈이 있는 커터 휠(11)을 이용하고, 스크라이브 라인(S)을 가공하는 데에 노멀 커터 휠(12)을 이용했지만, 홈이 있는 커터 휠(11)로 트리거 홈(T)을 가공한 후, 노멀 커터 휠로 바꾸는 일 없이 그대로 홈이 있는 커터 휠(11)로 스크라이브 라인(S)을 가공하도록 해도 좋다. 이에 따라, 부품 점수나 동작에 이용하는 프로그램을 간략화할 수 있고, 또한, 커터 휠의 전환 조작을 생략하여 작업 시간을 단축할 수 있다. In the above embodiment, the normal cutter wheel 12 is used for machining the scribe line S by using the cutter wheel 11 having grooves for machining the trigger groove T. However, The scribing line S may be machined with the cutter wheel 11 having the groove without changing the normal groove of the trigger groove T with the cutter wheel 11 having the cutter wheel 11. This makes it possible to simplify the program used for the number of parts and the operation, and to shorten the working time by omitting the switching operation of the cutter wheel.

이상 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시 형태로 특정되는 것은 아니다. 예를 들면 상기 실시예에서는, 트리거 홈(T)을 가공하기 위한 홈이 있는 커터 휠(11)에 의한 왕복 전동 횟수(시프트 횟수(38))를, 적합한 사례로서 5회 실시했지만, 2회 이상의 복수회라도 좋다. 또한, 상기 실시예에서는, 스크라이브 라인 형성시에 있어서의 커터 휠의 「제2 압압 하중」(34)을, 트리거 홈(T)을 가공하기 위한 왕복시의 「제1 압압 하중」(33)보다도 작게 했지만, 왕복시의 압압 하중을 바꾸는 일 없이 스크라이브 예정 라인 전장(全長)에 걸쳐 스크라이브하도록 해도 좋다. Although the exemplary embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments. For example, in the above embodiment, the number of reciprocating motions (the number of shifts 38) by the cutter wheel 11 having grooves for machining the trigger groove T is performed five times as a suitable example. However, It may be plural times. In the above embodiment, the "second pressing load" 34 of the cutter wheel at the time of forming the scribing line is set to be smaller than the "first pressing load" 33 at the time of reciprocating for machining the trigger groove T However, scribing may be performed over the entire length of the scheduled scribing line without changing the pressing load at the time of reciprocation.

그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.In addition, in the present invention, it is possible to appropriately modify or change the scope of the present invention without departing from the scope of the present invention.

본 발명의 스크라이브 방법은, 강화 유리 기판을 스크라이브하는 경우에 이용할 수 있다.The scribing method of the present invention can be used when scribing a tempered glass substrate.

M : 취성 재료 기판
P1 : 스타트 지점
P2 : 반환 지점
P3 : 스크라이브 라인의 종점 지점
S : 스크라이브 라인
T : 트리거 홈
11 : 홈이 있는 커터 휠
12 : 노멀 커터 휠M: brittle material substrate
P1: Start point
P2: return point
P3: End point of the scribe line
S: scribe line
T: Trigger home
11: Grooved cutter wheel
12: Normal cutter wheel

Claims (7)

기판 표면에 압축 응력층이 형성되어 있는 강화 유리 기판에 대하여, 스크라이브 라인을 형성하는 기판 스크라이브 방법으로서,
(a) 상기 기판의 일단연(一端緣)으로부터 내측으로 들어간 스타트 지점에, 날끝 능선에 연속된 요철을 갖는 홈이 있는 커터 휠을 하강시켜 맞닿게 하여, 스크라이브 예정 라인의 방향에서 스타트 지점 근방의 반환 지점까지 전진 전동(rolling)시켜 홈을 형성한 후에, 당해 홈 위를 후퇴 전동시키고,
(b) 이어서, 상기 홈이 있는 커터 휠을 상승시켜 홈폭 방향으로 이동시키고 나서, 재차 하강시켜 맞닿게 하여 반환 지점까지 전진 전동시킨 후에 후퇴 전동시키는 공정을 행함으로써, 먼저 가공한 홈의 폭을 넓혀 상기 커터 휠의 파고듦 기점이 되는 1개의 트리거 홈을 형성하고,
(c) 적어도 1회 이상 상기 (a), (b)의 동작을 실행한 후, 계속해서, 날끝 능선에 요철을 갖지 않는 노멀 커터 휠을 이용하여 상기 트리거 홈으로부터 커터 휠을 스크라이브 예정 라인의 종점 지점까지 압압(pushing) 전동시켜 스크라이브 라인을 형성하도록 한 강화 유리 기판의 스크라이브 방법.A substrate scribing method for forming a scribe line on a tempered glass substrate having a compressive stress layer formed on a substrate surface,
(a) a cutter wheel having a groove having a concavo-convex continuous to a knot edge ridge is lowered and brought into contact with a start point entered inwardly from one end edge of the substrate, After the groove is formed by rolling forward to the return point, the groove is rolled back,
(b) Next, the step of moving the cutter wheel with the grooves in the groove width direction, then lowering and abutting the cutter wheel is carried forward and forwarded to the return point, One trigger groove is formed as a starting point of the cutter wheel,
(c) After performing the operations of (a) and (b) at least once, the cutter wheel is moved from the trigger groove to the end point of the planned scribing line by using a normal cutter wheel having no concavo- And scribing lines are formed by pushing the scribe line up to the point. 제1항에 있어서,
상기 커터 휠의 전진 전동 거리가 0.5㎜∼3㎜이고, 홈폭 방향으로의 이동 거리는 5∼15㎛인 강화 유리 기판의 스크라이브 방법. The method according to claim 1,
Wherein the advance driving distance of the cutter wheel is 0.5 mm to 3 mm and the moving distance in the groove width direction is 5 to 15 μm. 제1항에 있어서,
상기 커터 휠의 후퇴 전동 거리를, 전진 전동 거리보다도 짧게 또는 길게 한 강화 유리 기판의 스크라이브 방법. The method according to claim 1,
Wherein the retracting distance of the cutter wheel is shorter or longer than the forward travel distance. 유리 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 기판 스크라이브 장치로서,
유리 기판을 올려놓는 테이블과,
날끝 능선에 연속된 요철을 갖는 홈이 있는 커터 휠을 지지(holding)하는 스크라이브 헤드와,
상기 유리 기판의 표면에 대하여 상기 홈이 있는 커터 휠이 접촉된 상태와 이격된 상태를 취하도록 상기 스크라이브 헤드를 승강시키는 스크라이브 헤드 승강 수단과,
상기 유리 기판의 표면을 따라 서로 직교하는 2방향으로 상기 스크라이브 헤드를 상대적으로 이동시키는 이동 수단과,
상기 스크라이브 헤드 승강 수단에 의한 승강 동작 및, 상기 이동 수단에 의한 스크라이브 헤드의 이동 동작의 제어를 행하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부가, 상기 기판의 일단연으로부터 내측으로 들어간 스타트 지점에 스크라이브 헤드가 오도록 상기 기판이 셋팅된 상태에서 제어가 개시되면,
(a) 상기 스타트 지점에 상기 홈이 있는 커터 휠을 하강시켜 맞닿게 하여, 스크라이브 예정 라인의 방향에서 스타트 지점 근방의 반환 지점까지 전진 전동시켜 홈을 형성한 후에, 당해 홈 위를 후퇴 전동시키고,
(b) 이어서, 상기 홈이 있는 커터 휠을 상승시켜 스크라이브 예정 라인과 직교하는 홈폭 방향으로 이동시키고 나서, 재차 하강시켜 맞닿게 하여 반환 지점까지 전진 전동시킨 후에 후퇴 전동시킴으로써, 먼저 가공한 홈의 폭을 넓혀 커터 휠의 파고듦 기점이 되는 1개의 트리거 홈을 형성하고,
(c) 적어도 1회 이상 상기 (a), (b)의 동작을 실행한 후, 계속해서, 날끝 능선에 요철을 갖지 않는 노멀 커터 휠을 이용하여 상기 트리거 홈으로부터 커터 휠을 스크라이브 예정 라인의 종점 지점까지 압압 전동시켜 스크라이브 라인을 형성하는 동작을 행하는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 기판 스크라이브 장치.A substrate scribing apparatus for forming a scribe line on a surface of a glass substrate,
A table on which a glass substrate is placed,
A scribe head for holding a cutter wheel having a groove having a concavo-convex continuous to the edge ridge line,
Scribe head elevation means for elevating the scribe head so as to take a state in which the cutter wheel with the groove is in contact with the surface of the glass substrate and a state in which the cutter wheel is spaced apart from the surface,
Moving means for relatively moving the scribe head in two directions perpendicular to each other along a surface of the glass substrate;
And a control unit for controlling the ascending and descending operations by the scribe-head elevating unit and the moving operation of the scribe head by the moving unit,
When control is started in a state in which the substrate is set such that the scribe head comes to a start point that is moved inward from one end of the substrate,
(a) moving the cutter wheel with the grooves downward to abut against the start point to forwardly move from the direction of the planned scribing line to the return point in the vicinity of the start point to form grooves,
(b) Next, the cutter wheel with the grooves is lifted to move in the groove width direction orthogonal to the planned scribing line, then moved down again so as to abut against the returning point, So as to form one trigger groove which is a starting point of the cutter wheel,
(c) After performing the operations of (a) and (b) at least once, the cutter wheel is moved from the trigger groove to the end point of the planned scribing line by using a normal cutter wheel having no concavo- Wherein the scribing line is formed by pressing the substrate to a point where the scribe line is formed. 제4항에 있어서,
상기 제어부는 (b)의 동작을 행할 때에, 상기 커터 휠의 후퇴 전동 거리를, 전진 전동 거리보다도 짧게 또는 길게 하는 기판 스크라이브 장치. 5. The method of claim 4,
Wherein the control unit shortens or lengthens the backward travel distance of the cutter wheel when the operation of (b) is performed, as compared with the forward travel distance. 제4항에 있어서,
추가로, 날끝 능선에 연속된 요철을 갖지 않는 노멀 커터 휠을 지지하는 제2 스크라이브 헤드와,
상기 유리 기판의 표면에 대하여, 상기 노멀 커터 휠이 접촉된 상태와 이격된 상태를 취하도록 상기 제2 스크라이브 헤드를 승강시키는 제2 스크라이브 헤드 승강 수단과,
상기 유리 기판의 표면을 따라 서로 직교하는 2방향으로 상기 제2 스크라이브 헤드를 상대적으로 이동시키는 제2 이동 수단을 구비하고,
상기 제어부는 상기 (c)의 동작을, 상기 노멀 커터 휠을 이용하여 행하는 기판 스크라이브 장치.5. The method of claim 4,
A second scribe head for supporting a normal cutter wheel having no concavo-convex continuous to the edge ridgeline,
Second scribing head elevating means for moving the second scribing head up and down so as to take a state in which the normal cutter wheel is in contact with the surface of the glass substrate,
And second moving means for relatively moving the second scribe head in two directions perpendicular to each other along the surface of the glass substrate,
Wherein the controller performs the operation of (c) using the normal cutter wheel. 제4항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 (a), (b)의 동작시의 이동 속도를, 상기 (c)의 동작시의 이동 속도보다 느리게 하고 있는 기판 스크라이브 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the control unit makes the moving speed in the operations (a) and (b) slower than the moving speed in the operation (c).
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