KR20180056093A - 공용 로딩/언로딩 장치 및 이를 포함하는 인라인 장비 - Google Patents

공용 로딩/언로딩 장치 및 이를 포함하는 인라인 장비 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시 예에 의한 인라인 장비는 인라인 형태로 배치된 제1 설비 및 제2 설비; 상기 제1 설비에서 제1 공정이 완료된 반도체 제품들을 상기 제2 설비로 이송하도록 구성된 이송 수단; 및 상기 제1 설비와 상기 제2 설비 사이에 배치되고, 상기 제1 설비의 동작이 중단되면 상기 제2 설비의 로딩 장치로 동작하고, 상기 제2 설비의 동작이 중단되면 상기 제1 설비의 언로딩 장치로 동작하도록 구성된 공용 로딩/언로딩 장치를 포함한다.

Description

공용 로딩/언로딩 장치 및 이를 포함하는 인라인 장비{Sharing loading/unloading apparatus and in-line equipment including the same}
본 발명은 반도체 제품 제조 설비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 공용 로딩/언로딩 장치 및 이를 포함하는 인라인 장비에 관한 것이다.
근래에는 생산성 효율을 증대시키기 위하여 반도체 제품의 제조 공정이 대부분 자동화되고 있다. 제조 공정의 자동화를 위한 방법 중 하나로 반도체 제품을 제조하기 위한 다양한 공정들 중 일부 공정들 또는 전체 공정들을 수행하는 설비들이 인라인 형태로 배치된 인라인 장비가 사용되고 있다. 인라인 장비 내의 선단 설비에서 이전 공정이 완료된 제품들은 후단 설비로 자동으로 이송되고, 후단 설비는 이송된 제품들에 대하여 후속 공정을 자동으로 수행할 수 있다.
인라인 장비에 포함된 복수의 설비들은 각각 다른 설비들의 동작이 중단되는 경우를 대비하여 개별적으로 로딩/언로딩 수단을 구비하고 있다. 이와 같이, 각 설비마다 로딩/언로딩 수단을 개별적으로 구비함에 따라 인라인 장비의 길이가 증가하고, 설비 제작 비용이 증가하는 문제가 있다.
본 발명의 실시 예는 효율적인 구조를 갖고 제작 비용이 절감되는 공용 로딩/언로딩 장치 및 이를 포함하는 인라인 장비를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시 예에 의한 인라인 장비는 인라인 형태로 배치된 제1 설비 및 제2 설비; 상기 제1 설비에서 제1 공정이 완료된 반도체 제품들을 상기 제2 설비로 이송하도록 구성된 이송 수단; 및 상기 제1 설비와 상기 제2 설비 사이에 배치되고, 상기 제1 설비의 동작이 중단되면 상기 제2 설비의 로딩 장치로 동작하고, 상기 제2 설비의 동작이 중단되면 상기 제1 설비의 언로딩 장치로 동작하도록 구성된 공용 로딩/언로딩 장치를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 의한 공용 로딩/언로딩 장치는 인라인 형태로 배치된 복수의 설비들 사이에 하나 또는 그 이상 설치되고, 이전 설비의 동작이 중단되면 이후 설비로 이후 공정이 수행될 반도체 제품들을 로딩시키는 로딩 장치로 동작하고, 이후 설비의 동작이 중단되면 이전 설비에서 이전 공정이 완료된 반도체 제품들을 언로딩시키는 언로딩 장치로 동작하도록 구성된다.
본 실시 예에 따르면, 이전 설비의 언로딩 동작 및 이후 설비의 로딩 동작이 하나의 장치에 의해 수행될 수 있으므로, 각 설비마다 로딩/언로딩 장치를 구비할 필요가 없다.
이에 따라, 인라인 설비의 전체 길이가 감소하여 효율적인 구성이 가능하고, 인라인 설비의 제작 비용 역시 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치를 갖는 인라인 장비를 개념적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치의 상면도이다.
도 2b는 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치의 측면도이다.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치에서 수행되는 언로딩 동작을 도시한 측면도들이다.
도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치에서 수행되는 로딩 동작을 도시한 측면도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 기술의 실시 예를 보다 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치를 갖는 인라인 장비를 개념적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 실시 예에 따른 인라인 장비(10)는 인라인 형태로 배치된 복수의 설비들(100A, 100B, 100C), 및 복수의 설비들(100A, 100B, 100C) 사이에 설치된 복수의 공용 로딩/언로딩 장치들(200A, 200B)을 포함할 수 있다. 또한, 본 실시 예에 따른 인라인 장비(10)는 셔틀 그룹(310) 및 이동 로봇 그룹(320)을 더 포함할 수 있다.
복수의 설비들(100A, 100B, 100C)은 인라인 형태로 배치된 제1 설비(100A), 제2 설비(100B), 및 제3 설비(100C)를 포함할 수 있다. 도 1에서는 3 개의 설비들이 인라인 형태로 배치된 것을 도시하고 있으나, 설비들의 개수가 특별히 이에 한정된 것은 아니다.
각 설비(100A, 100B, 100C)는 반도체 제품을 제조하기 위한 다양한 공정들 중 서로 다른 공정을 수행하되, 연속적으로 수행되어야 하는 공정을 수행하는 설비일 수 있다. 예를 들어, 제2 설비(100B)는 제1 설비(100A)에서 수행되는 제1 공정 직후 수행되어야 하는 제2 공정을 수행하는 설비일 수 있고, 제3 설비(100C)는 제2 설비(100B)에서 수행되는 제2 공정 직후 수행되어야 하는 제3 공정을 수행하는 설비일 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 설비(100A)는 제1 공정이 수행되는 제1 공정 영역(PRA)을 포함하고, 제2 설비(100B)는 제2 공정이 수행되는 제2 공정 영역(PRB)을 포함하고, 및 제3 설비(100C)는 제3 공정이 수행되는 제3 공정 영역(PRC)을 포함할 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
복수의 공용 로딩/언로딩 장치들(200A, 200B)은 제1 설비(100A)와 제2 설비(100B) 사이에 배치된 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A) 및 제2 설비(100B)와 제3 설비(100C) 사이에 배치된 제2 공용 로딩/언로딩 장치(200B)를 포함할 수 있다.
제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A)는 제1 설비(100A)로부터 제1 공정이 완료된 반도체 제품들을 언로딩하거나 또는 제2 공정이 수행되어야 할 반도체 제품들을 제2 설비(100B)로 로딩하도록 구성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 공용 로딩/언로딩 장치(200B)는 제2 설비(100B)로부터 제2 공정이 완료된 반도체 제품들을 언로딩하거나 또는 제3 공정이 수행되어야 할 반도체 제품들을 제3 설비(100C)로 로딩하도록 구성될 수 있다.
제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A) 및 제2 공용 로딩/언로딩 장치(200B)는 각각 한 번에 하나의 동작 즉, 언로딩 동작 또는 로딩 동작을 수행할 수 있으며 언로딩 동작과 로딩 동작을 동시에 수행할 수 없다. 또한, 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A)는 제1 설비(100A) 또는 제2 설비(100B)의 동작이 중단되면 동작할 수 있고, 제1 설비(100A) 및 제2 설비(100B)가 모두 정상적으로 동작하는 경우에는 동작하지 않을 수 있다. 마찬가지로, 제2 공용 로딩/언로딩 장치(200B)는 제2 설비(100B) 또는 제3 설비(100C)의 동작이 중단되면 동작할 수 있고, 제2 설비(100B) 및 제3 설비(100C)가 모두 정상적으로 동작하는 경우에는 동작하지 않을 수 있다.
복수의 공용 로딩/언로딩 장치들(200A, 200B)은 각각 동일한 구조를 가질 수 있고, 동일한 방법으로 동작할 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. 본 실시 예에서는 설명의 편의를 위해 동일한 구조를 갖고 동일하게 동작하는 것으로 가정한다. 공용 로딩/언로딩 장치의 구체적인 구조 및 동작에 대해서는 이후 도면들을 참조하여 상세히 설명할 것이다.
셔틀 그룹(310)은 이전 공정이 완료된 반도체 제품들을 이전 설비로부터 이후 설비로 이송시키도록 구성될 수 있다. 셔틀 그룹(310)은 복수의 셔틀 세트들(310A, 310B)을 포함할 수 있다. 복수의 셔틀 세트들(310A, 310B)은 각각 한 쌍의 셔틀을 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 1을 참조하면, 셔틀 그룹(310)은 제1 설비(100A)에서 제1 공정이 완료된 반도체 제품들을 제2 설비(100B)로 이송하기 위한 제1 셔틀 세트(310A) 및 제2 설비(100B)에서 제2 공정이 완료된 반도체 제품들을 제3 설비(100C)로 이송하기 위한 제2 셔틀 세트(310B)를 포함할 수 있다. 이때, 제3 설비(100C)의 후단에 후속 공정을 수행하기 위한 설비가 설치되는 경우, 제3 설비(100C)에서 공정이 완료된 반도체 제품들을 해당 설비로 이송하기 위한 추가 셔틀 세트가 더 포함될 수 있음은 물론이다.
제1 셔틀 세트(310A)는 한 쌍의 셔틀 즉, 제1 셔틀(311) 및 제2 셔틀(312)을 포함할 수 있다. 마찬가지로, 제2 셔틀 세트(310B)는 제3 셔틀(313) 및 제4 셔틀(314)을 포함할 수 있다. 도 1에서는 구체적으로 도시하지 않았으나, 제1 셔틀(311), 제2 셔틀(312), 제3 셔틀(313), 및 제4 셔틀(314)에는 반도체 제품이 놓여지고 셔틀을 따라 이동하는 보트(B1, B2, 도 2a 참조)들이 구비될 수 있다.
제1 셔틀(311) 및 제2 셔틀(312) 상에 구비된 보트들은 개별적으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1 설비(100A)에서 제1 공정이 완료된 반도체 제품들은 완료된 순서대로 제1 셔틀(311)의 보트(B1) 또는 제2 셔틀(312)의 보트(B2) 상에 놓여질 수 있다. 제1 셔틀(311)의 보트(B1) 및 제2 셔틀(312)의 보트(B2)는 반도체 제품이 놓여지는 순서대로 제2 설비(100B)로 이동할 수 있다. 또한, 제2 설비(100B)로 이동한 보트들(B1, B2)은 그 위에 놓여진 반도체 제품들이 픽업되는 순서대로 다시 제1 설비(100A)로 이동할 수 있다. 마찬가지로, 제3 셔틀(313) 및 제4 셔틀(314) 상에 구비된 보트들 역시 개별적으로 이동할 수 있다.
제1 셔틀(311) 및 제2 셔틀(312)은 실질적으로 동일한 길이를 가질 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 제1 셔틀(311) 및 제2 셔틀(312)의 일단은 제1 설비(100A) 내에 배치되고, 타단은 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A) 내에 배치될 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. 마찬가지로, 제3 셔틀(313) 및 제4 셔틀(314)은 각각 실질적으로 동일한 길이를 가질 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 제3 셔틀(313) 및 제4 셔틀(314)의 일단은 제2 설비(100B) 내에 배치되고, 타단은 제2 공용 로딩/언로딩 장치(200B) 내에 배치될 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
이동 로봇 그룹(320)은 공정이 완료된 반도체 제품들을 공정 영역으로부터 반출하고 이전 설비에서 이송된 반도체 제품들을 후속 공정 영역으로 반입하도록 구성될 수 있다. 이동 로봇 그룹(320)은 반출 이동 로봇 그룹(320A) 및 반입 이동 로봇 그룹(320B)을 포함할 수 있다.
반출 이동 로봇 그룹(320A)은 각 설비에서 공정이 완료된 반도체 제품들을 각 설비의 공정 영역으로부터 반출시키기 위한 복수의 반출 이동 로봇들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, 반출 이동 로봇 그룹(320A)은 제1 설비(100A)에서 제1 공정이 완료된 반도체 제품들을 제1 공정 영역(PRA)으로부터 반출하여 제1 셔틀 세트(310A)로 이동시키는 제1 반출 이동 로봇(321a), 제2 설비(100B)에서 제2 공정이 완료된 반도체 제품들을 제2 공정 영역(PRB)으로부터 반출하여 제2 셔틀 세트(310B)로 이동시키는 제2 반출 이동 로봇(322a), 및 제3 설비(100C)에서 제3 공정이 완료된 반도체 제품들을 제3 공정 영역(PRC)으로부터 반출하여 이동시키는 제3 반출 이동 로봇(323a)을 포함할 수 있다.
반입 이동 로봇 그룹(320B)은 셔틀을 통해 이전 설비로부터 이송된 반도체 제품들을 공정 영역으로 반입시키기 위한 복수의 반입 이동 로봇들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, 반입 이동 로봇 그룹(320B)은 제1 셔틀 세트(310A)를 통해 제1 설비(100A)로부터 이송된 반도체 제품들을 제2 설비의 제2 공정 영역(PRB)으로 이동시키는 제1 반입 이동 로봇(321b) 및 제2 셔틀 세트(310B)를 통해 제2 설비(100B)로부터 이송된 반도체 제품들을 제3 설비의 제3 공정 영역(PRC)으로 이동시키는 제2 반입 이동 로봇(322b)을 포함할 수 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 인라인 장비(10)에서 가장 앞에 위치한 설비(즉, 제1 설비(100A))는 별도의 반입 이동 로봇을 구비하지 않을 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. 이동 로봇 그룹(320)에 포함된 모든 이동 로봇들은 각각 상하, 좌우, 및 전후로 이동 가능하도록 구성될 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 각각 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치의 상면도 및 측면도이다. 설명의 편의를 위하여, 도 2a 및 도 2b에서는 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A)만을 도시하였다. 제2 공용 로딩/언로딩 장치(200B) 역시 도 2a 및 도 2b에 도시한 구조와 동일한 구조를 가질 수 있다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치(200A)는 리프트 세트(210), 컨베이어(220), 트레이 이동 수단(230), 이동 로봇(240), 및 정렬 수단(250)을 포함할 수 있다.
리프트 세트(210)는 제1 리프트(211) 및 제1 리프트(211)와 인접하게 배치된 제2 리프트(213)를 포함할 수 있다. 제1 리프트(211) 및 제2 리프트(213) 상에는 적어도 하나 이상의 트레이가 안착될 수 있다. 여기에서, 트레이는 빈 트레이 또는 이전 공정이 완료된 반도체 제품들이 수용된 트레이(이하, ‘채워진 트레이’라 함)일 수 있다.
제1 리프트(211)는 제2 리프트(213)보다 바깥쪽에 위치할 수 있다. 또한, 제2 리프트(213)는 제1 설비(100A)로부터 공정 완료된 반도체 제품들을 이송하는 제1 셔틀 세트(310A) 및 제2 설비(100B)의 제2 공정 영역(PRB)으로 반도체 제품들을 반입시키는 제1 반입 이동 로봇(321b)에 인접하도록 배치될 수 있다.
이에 따라, 제1 설비(100A)에 대한 언로딩 동작을 수행하기 전에 복수의 빈 트레이들은 작업자에 의해 제1 리프트(211) 상에 놓여진 후 제2 리프트(213)로 이동될 수 있다. 마찬가지로, 제2 설비(100B)에 대한 로딩 동작을 수행하기 전에 복수의 채워진 트레이들은 작업자에 의해 제1 리프트(211) 상에 놓여진 후 제2 리프트(213)로 이동될 수 있다.
또한, 제1 설비(100A)에 대한 언로딩 동작이 수행되는 도중 제2 리프트(213) 상의 빈 트레이들 중 제1 공정이 완료된 반도체 제품들로 채워진 트레이는 제1 리프트(211)로 이동될 수 있다. 마찬가지로, 제2 설비(100B)에 대한 로딩 동작이 수행되는 도중 제2 리프트(213) 상의 채워진 트레이들 중 반도체 제품들이 모두 픽업되어 비어 있는 트레이는 제1 리프트(211)로 이동될 수 있다.
이에 따라, 제1 설비(100A)에 대한 언로딩 동작이 완료되면 제1 공정이 완료된 반도체 제품들이 수용된 복수의 채워진 트레이들은 제1 리프트(211) 상에 위치할 수 있다. 마찬가지로, 제2 설비(100B)에 대한 로딩 동작이 완료되면 복수의 빈 트레이들은 제1 리프트(211) 상에 위치할 수 있다. 언로딩 동작 또는 로딩 동작 완료 후 제1 리프트(211) 상에 위치한 복수의 채워진 트레이들 또는 복수의 빈 트레이들은 작업자에 의해 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A)로부터 반출될 수 있다.
제1 리프트(211) 및 제2 리프트(213)는 화살표로 표시한 바와 같이 상승 및 하강할 수 있다. 도면 상에 구체적으로 도시하지는 않았으나, 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A)는 제1 리프트(211) 및 제2 리프트(213)의 상승 및 하강을 가이드하기 위한 별도의 가이드 수단(도시되지 않음)을 포함할 수 있다.
컨베이어(220)는 리프트 세트(210)의 상면 상에 구비될 수 있다. 예를 들어, 컨베이어(220)는 제1 리프트(211) 및 제2 리프트(213)의 상면들 상에 각각 구비될 수 있다. 또한, 컨베이어(220)는 제1 리프트(211) 및 제2 리프트(213)의 상면들의 양 측에 리프트들이 나열된 방향으로 연장하도록 배치될 수 있다. 컨베이어(220)는 제1 리프트(211)에서 제2 리프트(213) 방향으로 이동하도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 작업자에 의해 제1 리프트(211) 상에 놓인 복수의 채워진 트레이들 및 복수의 빈 트레이들이 제2 리프트(213)로 이동할 수 있다.
트레이 이동 수단(230)은 리프트 세트(210)의 상부에 배치될 수 있다. 트레이 이동 수단(230)은 리프트 세트(210)와 수직으로 정렬하도록 배치될 수 있다. 트레이 이동 수단(230)은 정렬 수단(250) 및 제1 셔틀 세트(310A)와 대응하는 높이에 배치될 수 있다. 이에 따라, 제1 셔틀 세트(310A)로부터 트레이 상으로 반도체 제품을 용이하게 이동시키고, 트레이 상의 반도체 제품을 정렬 수단(250)으로 용이하기 이동시킬 수 있다.
트레이 이동 수단(230)은 트레이 그리퍼(231) 및 그리퍼 셔틀(233)을 포함할 수 있다. 트레이 그리퍼(231)는 리프트 세트(210) 상에 안착된 트레이를 잡을 수 있다. 예를 들어, 트레이 그리퍼(231)는 제2 리프트(213) 상의 빈 트레이 또는 채워진 트레이를 잡을 수 있다. 그리퍼 셔틀(233)은 트레이 그리퍼(231)를 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다. 이를 위해, 리프트 세트(210)는 그 위에 놓여진 트레이가 트레이 그리퍼(231)에 잡힐 수 있는 높이까지 상승할 수 있다.
예를 들어, 작업자에 의해 제1 리프트(211) 상에 놓인 복수의 빈 트레이들(또는 채워진 트레이들)이 제2 리프트(213)로 이동하면, 제2 리프트(213)는 최상위 트레이가 트레이 그리퍼(231)에 잡힐 수 있는 높이까지 상승할 수 있다. 이후, 제2 리프트(213) 상의 최상위 트레이가 반도체 제품들로 채워지면(또는 반도체 제품들이 픽업되어 빈 상태가 되면) 트레이 그리퍼(231)는 최상위 트레이를 잡고, 그리퍼 셔틀(233)을 따라 제1 리프트(211)로 이동할 수 있다. 이때, 제1 리프트(211) 역시 대응하는 높이까지 상승한 상태일 수 있다. 제1 리프트(211) 상에 도달한 트레이 그리퍼(231)는 제1 리프트(211) 상에 해당 트레이를 내려놓은 후, 그리퍼 셔틀(233)을 따라 다시 제2 리프트(213)로 이동할 수 있다. 이러한 과정은 제2 리프트(213) 상의 빈 트레이들(또는 채워진 트레이들)이 모두 제1 리프트(211) 상으로 이동할 때까지 반복하여 수행될 수 있다.
이동 로봇(240)은 트레이 이동 수단(230)의 상부에 위치할 수 있다. 이동 로봇(240)은 제1 셔틀 세트(310A)을 통해 제1 설비(100A)로부터 이송된 반도체 제품들을 제2 리프트(213) 상에 놓여진 빈 트레이로 이동시킬 수 있다. 또한, 이동 로봇(240)은 제2 리프트(213) 상에 놓여진 채워진 트레이에 수용된 반도체 제품들을 픽업하여 정렬 수단(250)으로 이동시킬 수 있다. 이를 위해, 이동 로봇(240)은 도 2b에 도시한 바와 같이, 상하, 좌우, 및 전후로 이동할 수 있다.
정렬 수단(250)은 정렬 보트(251) 및 정렬 보트(251)를 좌우 방향으로 이동시키기 위한 정렬 보트 셔틀(253)을 포함할 수 있다. 정렬 수단(250)은 트레이 이동 수단(230)과 제1 셔틀 세트(310A) 사이에 위치할 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.
일반적으로, 트레이에 형성된 수용 공간의 크기와 수용 공간에 수용되는 반도체 제품의 크기가 서로 상이함에 따라 유격이 발생할 수 있다. 이에 따라, 트레이에서 반도체 제품을 픽업하여 다음 설비로 바로 이동시키는 경우 반도체 제품이 정렬되지 않은 상태로 이동할 수 있고, 그 결과 다음 설비로의 반입이 용이하지 않을 수 있다.
이러한 문제를 방지하기 위하여 트레이로부터 픽업된 반도체 제품을 정렬 보트(251) 상에 놓아 정렬시키고, 정렬 보트 셔틀(253)을 통해 정렬 보트(251)를 제2 설비(100B)의 제1 반입 이동 로봇(321b)에 인접한 위치로 이동시켜 정렬된 상태의 반도체 제품이 제2 설비(100B)로 로딩될 수 있도록 하는 것이다.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치에서 수행되는 언로딩 동작을 도시한 측면도들이다. 본 실시 예에서 공용 로딩/언로딩 장치는 이후 설비의 동작이 중단된 경우 이전 설비에 대한 언로딩 장치로서 동작할 수 있다. 도면의 간략화를 위하여 언로딩 동작에서 사용되지 않는 구성들 및 트레이 이송 수단(230)을 생략하였다.
도 3a를 참조하면, 제1 리프트(211) 상에 복수의 빈 트레이들(T)이 안착될 수 있다. 이때, 복수의 빈 트레이들(T)은 작업자에 의해 제1 리프트(211) 상에 안착될 수 있다. 또한, 복수의 빈 트레이들(T) 중 최하위 트레이(LT)의 하면, 구체적으로 최하위 트레이(LT)의 하면 중 일부는 제1 리프트(211) 상에 구비된 컨베이어(220)에 접할 수 있다.
도 3b를 참조하면, 제1 리프트(211) 및 제2 리프트(213) 상에 구비된 컨베이어(220)가 화살표 방향으로 이동함에 따라, 제1 리프트(211) 상에 놓인 빈 트레이들(T)이 제2 리프트(213) 상으로 이동할 수 있다.
도 3c를 참조하면, 제2 리프트(213) 상으로 빈 트레이들(T)의 이동이 완료되면 제2 리프트(213)는 상승할 수 있다. 이때, 제2 리프트(213)는 빈 트레이들(T) 중 최상위 트레이(UT)가 트레이 이동 수단(230, 도 2b 참조)의 트레이 그리퍼(231, 도 2b 참조)에 잡힐 수 있는 높이까지 상승할 수 있다.
도 3d를 참조하면, 제2 리프트(213)의 상승이 완료되면, 이동 로봇(240)은 화살표로 표시한 바와 같이 좌우 및 상하로 이동하며 제1 셔틀(311) 또는 제2 셔틀(312)을 따라 이동한 제1 보트(B1) 또는 제2 보트(B2) 상에 놓인 반도체 제품들(도시되지 않음)을 픽업하여 최상위 트레이(UT)에 형성된 수용 공간(도시되지 않음)으로 이동시킬 수 있다. 이때, 제1 보트(B1) 또는 제2 보트(B2) 상에 놓인 반도체 제품들은 제1 설비(100A, 도 1 참조)에서 제1 공정이 완료된 반도체 제품들일 수 있다.
도 3e를 참조하면, 최상위 트레이(UT)가 제1 설비(100A)로부터 이송된 반도체 제품들로 채워지면, 제1 리프트(211)가 상승할 수 있다. 이때, 제1 리프트(211)는 최상위 트레이(UT)가 수평 방향으로 이동하여 놓일 수 있는 높이까지 상승할 수 있다. 제1 리프트(211)의 상승이 완료되면, 최상위 트레이(UT)를 잡고 있는 트레이 그리퍼(231)는 그리퍼 셔틀(233, 도 2b 참조)을 따라 제1 리프트(211)로 이동하고, 잡고 있던 최상위 트레이(UT)를 제1 리프트(211) 상에 안착시킬 수 있다.
도 3f를 참조하면, 이전 공정이 완료된 반도체 제품들로 채워진 최상위 트레이(UT)가 제1 리프트(211) 상에 안착되면, 제2 리프트(213)는 최상위 트레이(UT)의 높이만큼 상승할 수 있고, 제1 리프트(211)는 최상위 트레이(UT)의 높이만큼 하강할 수 있다. 이는 수평 방향으로만 이동 가능한 트레이 그리퍼(231)가 제2 리프트(213)로부터 제1 리프트(211)로 트레이를 용이하게 이동시킬 수 있도록 높이를 맞추기 위함이다.
제2 리프트(213)의 상승 및 제1 리프트(211)의 하강이 완료되면, 다시 도 3d에 도시한 바와 같이, 트레이에 이전 공정이 완료된 반도체 제품들을 채우고, 도 3e에 도시한 바와 같이, 반도체 제품들로 채워진 트레이를 제2 리프트(213)에서 제1 리프트(211)로 이동시킬 수 있다. 제2 리프트(213) 상에 놓인 모든 트레이들(T)이 반도체 제품들로 채워져 제1 리프트(211)로 이동될 때까지 도 3d 내지 도 3f의 과정들이 반복하여 수행될 수 있다.
도 3g를 참조하면, 제2 리프트(213) 상에 놓인 빈 트레이들(T)이 모두 반도체 제품들로 채워져 제1 리프트(211)로 이동되면, 제1 리프트(211)와 제2 리프트(213)는 하강하여 원래의 위치로 이동할 수 있다. 이후, 제1 리프트(211) 상에 놓인 복수의 채워진 트레이들(T)은 작업자에 의해 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A)로부터 반출될 수 있다. 작업자에 의해 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A)로부터 반출된 복수의 채워진 트레이들(T)은 이후 설비가 정상적으로 동작할 때까지 대기하거나 또는 정상적으로 동작하는 다른 설비로 반입될 수 있다.
도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 실시 예에 따른 공용 로딩/언로딩 장치에서 수행되는 로딩 동작을 도시한 측면도들이다. 본 실시 예에서 공용 로딩/언로딩 장치는 이전 설비의 동작이 중단된 경우 이후 설비에 대한 로딩 장치로서 동작할 수 있다. 도면의 간략화를 위하여 로딩 동작 시 사용되지 않는 구성들 및 트레이 이송 수단(230)을 생략하였다.
도 4a를 참조하면, 제1 리프트(211) 상에 복수의 채워진 트레이들(T)이 안착될 수 있다. 이때, 복수의 채워진 트레이들(T)은 작업자에 의해 제1 리프트(211) 상에 안착될 수 있다. 또한, 복수의 채워진 트레이들(T) 중 최하위 트레이(LT)의 하면, 구체적으로 최하위 트레이(LT)의 하면 중 일부는 제1 리프트(211) 상에 구비된 컨베이어(220)에 접할 수 있다.
도 4b를 참조하면, 제1 리프트(211) 및 제2 리프트(213) 상에 구비된 컨베이어(220)가 화살표 방향으로 이동하고, 이에 따라, 제1 리프트(211) 상에 놓인 채워진 트레이들(T)이 제2 리프트(213) 상으로 이동할 수 있다.
도 4c를 참조하면, 제2 리프트(213) 상으로 채워진 트레이들(T)의 이동이 완료되면 제2 리프트(213)는 상승할 수 있다. 이때, 제2 리프트(213)는 채워진 트레이들(T) 중 최상위 트레이(UT)가 트레이 이동 수단(230, 도 2b 참조)의 트레이 그리퍼(231, 도 2b 참조)에 잡힐 수 있는 높이까지 상승할 수 있다.
도 4d를 참조하면, 제2 리프트(213)의 상승이 완료되면, 이동 로봇(240)은 화살표로 표시한 바와 같이 좌우 및 상하로 이동하며 최상위 트레이(UT)에 수용된 반도체 제품들(도시되지 않음)을 하나씩 픽업하여 정렬 수단(250)의 정렬 보트(251) 상으로 이동시킬 수 있다.
도 4e를 참조하면, 반도체 제품(도시되지 않음)이 놓인 정렬 보트(251)는 정렬 보트 셔틀(253)을 따라 화살표 방향으로 이동할 수 있다. 정렬 보트(251)의 이동이 완료되면, 제2 설비(100B)의 제1 반입 이동 로봇(321b, 도 1 및 도 2a 참조)에 의해 정렬 보트(251) 상에 놓여진 반도체 제품(도시되지 않음)은 픽업되어 제2 설비(100B)로 로딩될 수 있다. 제2 설비(100B)의 제1 반입 이동 로봇(321b)에 의해 반도체 제품의 픽업이 완료된 정렬 보트(251)는 도 4f에 도시한 바와 같이 정렬 보트 셔틀(253)을 따라 원위치로 이동할 수 있다.
도 4f를 참조하면, 최상위 트레이(UT)에 수용된 반도체 제품들(도시되지 않음)이 모두 꺼내지고 최상위 트레이(UT)가 빈 상태가 되면, 제1 리프트(211)가 상승할 수 있다. 이때, 제1 리프트(211)는 최상위 트레이(UT)가 수평 방향으로 이동하여 놓일 수 있는 높이까지 상승할 수 있다. 제1 리프트(211)의 상승이 완료되면, 최상위 트레이(UT)를 잡고 있는 트레이 그리퍼(231)는 그리퍼 셔틀(233, 도 2b 참조)을 따라 제1 리프트(211)로 이동하고, 잡고 있는 최상위 트레이(UT)를 제1 리프트(211) 상에 안착시킬 수 있다.
도 4g를 참조하면, 비어 있는 최상위 트레이(UT)가 제1 리프트(211) 상에 안착되면, 제2 리프트(213)는 최상위 트레이(UT)의 높이만큼 상승하고, 제1 리프트(211)는 최상위 트레이(UT)의 높이만큼 하강할 수 있다. 이는 수평 방향으로만 이동 가능한 트레이 그리퍼(231)가 제2 리프트(213)로부터 제1 리프트(211)로 다음 트레이를 용이하게 이동시킬 수 있도록 높이를 맞추기 위함이다.
제2 리프트(213)의 상승 및 제1 리프트(211)의 하강이 완료되면, 다시 도 4d 및 도 4e에 도시한 바와 같이, 트레이에 수용된 반도체 제품들을 정렬 수단(250)을 통해 정렬 및 이동시켜 제2 설비(100B)로 로딩하고, 도 4f에 도시한 바와 같이, 빈 상태가 된 트레이를 제2 리프트(213)에서 제1 리프트(211)로 이동시킬 수 있다. 제2 리프트(213) 상에 놓인 모든 트레이들(T)이 빈 상태가 되어 제1 리프트(211)로 이동될 때까지 도 4d 내지 도 4g의 과정들이 반복하여 수행될 수 있다.
도 4h를 참조하면, 제2 리프트(213) 상에 놓인 채워진 트레이들(T)이 모두 빈 상태가 되어 제1 리프트(211)로 이동되면, 제1 리프트(211)와 제2 리프트(213)는 하강하여 원래의 위치로 이동할 수 있다. 이후, 제1 리프트(211) 상에 놓인 복수의 빈 트레이들(T)은 작업자에 의해 제1 공용 로딩/언로딩 장치(200A)로부터 반출될 수 있다.
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 인라인 장비
100A, 100B, 100C: 설비
200A, 200B: 공용 로딩/언로딩 장치
210: 리프트 세트 211: 제1 리프트
213: 제2 리프트 220: 컨베이어
230: 트레이 이동 수단 231: 트레이 그리퍼
233: 그리퍼 셔틀 240: 이동 로봇
250: 정렬 수단 251: 정렬 보트
253: 정렬 보트 셔틀 310: 셔틀 그룹
310A: 제1 셔틀 세트 310B: 제2 셔틀 세트
311, 312, 313, 314: 셔틀 320: 이동 로봇 그룹
320A: 반출 이동 로봇 그룹 320B: 반입 이동 로봇 그룹
321a, 322a, 323a: 반출 이동 로봇 321b, 322b: 반입 이동 로봇

Claims (17)

  1. 인라인 형태로 배치된 제1 설비 및 제2 설비;
    상기 제1 설비에서 제1 공정이 완료된 반도체 제품들을 상기 제2 설비로 이송하도록 구성된 이송 수단; 및
    상기 제1 설비와 상기 제2 설비 사이에 배치되고, 상기 제1 설비의 동작이 중단되면 상기 제2 설비의 로딩 장치로 동작하고, 상기 제2 설비의 동작이 중단되면 상기 제1 설비의 언로딩 장치로 동작하도록 구성된 공용 로딩/언로딩 장치
    를 포함하는 인라인 장비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 공용 로딩/언로딩 장치는,
    작업자에 의해 복수의 트레이들이 놓여지고 상승 및 하강하도록 구성된 제1 리프트;
    상기 제1 리프트에 인접하게 배치되고, 상승 및 하강하도록 구성된 제2 리프트; 및
    상기 이송 수단을 통해 상기 제1 설비로부터 이송된 상기 반도체 제품들을 상기 복수의 트레이들로 이동시키거나 또는 상기 복수의 트레이들에 담긴 반도체 제품들을 상기 제2 설비로 이동시키도록 구성된 이동 로봇
    을 포함하는 인라인 장비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 리프트의 상면에는 제1 컨베이어가 구비되고, 상기 제2 리프트의 상면에는 제2 컨베이어가 구비되고, 및 상기 제1 리프트 상에 놓여진 상기 복수의 트레이들은 상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어에 의해 상기 제2 리프트로 이동하는 인라인 장비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 공용 로딩/언로딩 장치가 상기 제2 설비의 로딩 장치로 동작하는 경우,
    상기 복수의 트레이들은 이전 공정이 완료된 반도체 제품들로 채워진 트레이들이고,
    상기 복수의 트레이들이 놓인 제2 리프트가 상승하면 상기 이동 로봇을 구동시켜 상기 복수의 트레이들의 최상위 트레이에 수용된 반도체 제품들부터 순차적으로 픽업하여 상기 제2 설비로 이동시키고, 상기 최상위 트레이부터 빈 상태가 되는 트레이들을 순차적으로 상기 제1 리프트로 이동시키는 인라인 장비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 공용 로딩/언로딩 장치는
    상기 빈 상태가 되는 트레이들을 순차적으로 상기 제2 리프트로부터 상기 제1 리프트로 이동시키도록 구성된 트레이 이동 수단을 더 포함하는 인라인 장비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 트레이 이동 수단은,
    상기 빈 상태가 되는 트레이들을 잡기 위한 트레이 그리퍼; 및
    상기 트레이 그리퍼를 이동시키기 위한 그리퍼 셔틀
    을 포함하는 인라인 장비.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 공용 로딩/언로딩 장치는
    상기 이동 로봇이 픽업한 반도체 제품들을 정렬하여 상기 제2 설비로 이동시키기 위한 정렬 수단을 더 포함하는 인라인 장비.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 정렬 수단은,
    상기 이동 로봇에 의해 놓여진 반도체 제품을 정렬하는 정렬 보트; 및
    상기 정렬 보트를 상기 제2 설비에 근접한 위치로 이동시키기 위한 정렬 보트 셔틀
    을 포함하는 인라인 장비.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제2 설비는 상기 정렬 수단으로부터 상기 반도체 제품들을 픽업하여 제2 공정이 수행되는 공정 영역으로 반입하도록 구성된 반입 이동 로봇을 더 포함하는 인라인 장비.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 공용 로딩/언로딩 장치가 상기 제1 설비의 언로딩 장치로 동작하는 경우,
    상기 복수의 트레이들은 빈 트레이들이고,
    상기 복수의 트레이들이 놓인 제2 리프트가 상승하면 상기 이동 로봇을 구동시켜 상기 이송 수단을 통해 상기 제1 설비로부터 이송된 반도체 제품들을 이동시켜 상기 복수의 트레이들의 최상위 트레이부터 순차적으로 채우고, 상기 최상위 트레이부터 채워진 트레이들을 순차적으로 상기 제1 리프트로 이동시키는 인라인 장비.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 설비는 상기 제1 공정이 수행되는 공정 영역으로부터 상기 제1 공정이 완료된 상기 반도체 제품들을 상기 이송 수단으로 이동시키도록 구성된 반출 이동 로봇을 더 포함하는 인라인 장비.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 이송 수단은,
    상기 제1 설비로부터 상기 제2 설비를 향하여 연장하는 적어도 하나의 셔틀; 및
    상기 셔틀 상에 구비되고, 상기 제1 공정이 완료된 반도체 제품들이 놓이는 적어도 하나의 보트
    를 포함하는 인라인 장비.
  13. 인라인 형태로 배치된 복수의 설비들 사이에 하나 또는 그 이상 설치되고, 이전 설비의 동작이 중단되면 이후 설비로 이후 공정이 수행될 반도체 제품들을 로딩시키는 로딩 장치로 동작하고, 이후 설비의 동작이 중단되면 이전 설비에서 이전 공정이 완료된 반도체 제품들을 언로딩시키는 언로딩 장치로 동작하도록 구성되는 공용 로딩/언로딩 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 공용 로딩/언로딩 장치는,
    작업자에 의해 복수의 빈 트레이들 또는 복수의 채워진 트레이들이 놓여지고 상승 및 하강하도록 구성된 외측 리프트;
    상기 외측 리프트에 인접하게 배치되고, 상기 외측 리프트로부터 상기 복수의 빈 트레이들 또는 상기 복수의 채워진 트레이들을 전달받고, 상승 및 하강하도록 구성된 내측 리프트;
    상기 공용 로딩/언로딩 장치가 상기 언로딩 장치로 동작하면 상기 이전 설비로부터 이송된 상기 반도체 제품들을 상기 내측 리프트 상의 상기 복수의 빈 트레이들로 이동시키고, 상기 공용 로딩/언로딩 장치가 상기 로딩 장치로 동작하면 상기 복수의 채워진 트레이들에 담긴 반도체 제품들을 상기 이후 설비로 이동시키도록 구성된 이동 로봇; 및
    상기 공용 로딩/언로딩 장치가 상기 언로딩 장치로 동작하면 상기 복수의 빈 트레이들 중 최상위 트레이부터 채워진 상태가 되는 트레이들을 순차적으로 상기 외측 리프트로 이동시키고, 상기 공용 로딩/언로딩 장치가 상기 로딩 장치로 동작하면 상기 복수의 채워진 트레이들 중 최상위 트레이부터 빈 상태가 되는 트레이들을 순차적으로 상기 외측 리프트로 이동시키도록 구성된 트레이 이동 수단
    을 포함하는 공용 로딩/언로딩 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 트레이 이동 수단은,
    상기 트레이들을 잡기 위한 트레이 그리퍼; 및
    상기 트레이 그리퍼를 이동시키기 위한 그리퍼 셔틀
    을 포함하는 공용 로딩/언로딩 장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 공용 로딩/언로딩 장치는,
    상기 공용 로딩/언로딩 장치가 상기 로딩 장치로 동작하면 상기 이동 로봇이 상기 복수의 채워진 트레이들로부터 픽업한 반도체 제품들을 정렬하여 상기 이후 설비로 이동시키기 위한 정렬 수단을 더 포함하는 공용 로딩/언로딩 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 정렬 수단은,
    상기 이동 로봇에 의해 놓여진 반도체 제품을 정렬하는 정렬 보트; 및
    상기 정렬 보트를 상기 이후 설비에 근접한 위치로 이동시키기 위한 정렬 보트 셔틀
    을 포함하는 공용 로딩/언로딩 장치.
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