KR20180052445A - 증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법에 관한 것으로서, 증착 패턴이 형성된 마스크의 외곽 둘레에 구성되는 고정 프레임과; 상기 고정 프레임의 안쪽에 이동 가능하게 설치되고, 마스크의 가장자리 부분이 고정되어 있는 하나 또는 그 이상의 가동 프레임과; 상기 고정 프레임 쪽에 구비되어 상기 가동 프레임을 이동시켜 마스크를 당겨주는 당김 기구를 포함하여 구성됨으로써, 마스크를 사방으로 당겨서 팽팽한 상태에서 기판과 합착할 수 있게 되어, 합착 공정 중에 기판과 마스크의 밀착 정도를 높이고, 기판의 처짐 현상도 최소화하여 증착 품질을 향상시킬 수 있으며, 이에 따라 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과를 제공한다.

Description

증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법{Shadow mask tension device for deposition apparatus and method for attaching substrate and mask using the same device}
본 발명은 OLED 등을 제조하기 위해 유기 물질을 증발시켜 기판에 증착시키는 증착 장비에 관한 것으로서, 특히 증착 챔버 내에서 기판과 마스크를 합착하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.
유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.
진공열 증착방법은 증착 챔버 내의 기판 지지부에 기판을 로딩하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 기판을 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
여기서, 기판은 양측 사이드 부분이 기판 홀더에 의해 지지되는 방식으로 로딩된 후에 쉐도우 마스크와 합착하게 된다.
하지만, 기판이 대형화되면서 양쪽 기판 홀더에 올려진 기판은 가운데 부분이 아래쪽으로 처지게 되고, 이렇게 기판이 처진 상태에서 마스크와 합착하게 되면, 마스크와의 정렬이 쉽지 않을 뿐만 아니라 마스크와의 합착 정도가 떨어지고, 이에 따라 증착 정밀도가 떨어져 증착 품질이 저하될 수 있는 문제점이 있다.
한국 공개특허 10-2014-0133105호 한국 등록특허 10-0592917호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 마스크를 사방으로 당길 수 있도록 구성함으로써, 기판과 마스크의 밀착 정도를 높이고, 기판의 처짐 현상도 최소화하여, 증착 품질을 향상시킴과 아울러 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 텐션 장치는, 증착 패턴이 형성된 마스크의 외곽 둘레에 구성되는 고정 프레임과; 상기 고정 프레임의 안쪽에 이동 가능하게 설치되고, 마스크의 가장자리 부분이 고정되어 있는 하나 또는 그 이상의 가동 프레임과; 상기 고정 프레임 쪽에 구비되어 상기 가동 프레임을 이동시켜 마스크를 당겨주는 당김 기구를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되는 전자석을 포함하고, 상기 가동 프레임은 상기 전자석에 대응토록 자석에 붙는 금속이 포함되어 구성될 수 있다.
또한, 상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되는 전자석과, 상기 가동 프레임에 구비되어 상기 전자석에 대응되는 영구 자성체를 포함하여 구성되는 것도 가능하다.
상기 고정 프레임과 가동 프레임 사이에는 상기 가동 프레임의 직선 이동을 안내하는 가이드부가 구성되는 것이 바람직하다.
상기 고정 프레임은 사각틀체 구조로 형성되고, 상기 가동 프레임은 상기 고정 프레임의 안쪽 4개의 변에 각각 구비되는 것이 바람직하다.
상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되어 직선 운동력을 발생시키는 솔레노이드 액츄에이터와, 상기 솔레노이드 액츄에이터의 구동력에 의해 상기 가동 프레임을 당겨주는 전달 부재를 포함하여 구성되는 것도 가능하다.
상기 증착 장비의 마스크 텐션 장치는, 상기 당김 기구에 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
상기 고정 프레임은 증착 장비 내에서 마스크 홀더 위에 올려져 로딩되고, 상기 전원 공급부는 상기 마스크 홀더를 통해 전원을 공급하며, 상기 마스크 홀더와 고정 프레임에는 상기 고정 프레임이 마스크 홀더에 로딩될 때 전기적으로 접속되는 전기 접속부가 구비되는 것이 바람직하다.
다음, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 텐션 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법은, 기판 홀더 및 마스크 홀더에 각각 기판 및 마스크를 로딩하는 제 1 단계와; 상기 제 1 단계 후에 기판 홀더 및 마스크 홀더를 상대 이동시켜 기판과 마스크를 밀착시켜 합착하는 제 2 단계와; 상기한 증착 장비의 마스크 텐션 장치를 이용하여 마스크를 당겨서 기판의 처진 부분을 밀어 올리는 제 3 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.
본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법은, 마스크를 사방으로 당겨서 팽팽한 상태에서 기판과 합착할 수 있도록 구성되기 때문에 합착 공정 중에 기판과 마스크의 밀착 정도를 높이고, 기판의 처짐 현상도 최소화하여 증착 품질을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 구비된 증착 장비의 내부 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 주요부 상세도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 평면 구성도이다.
도 4는 도 3의 A-A선 방향의 단면도이다.
도 5는 도 3의 B-B선 방향의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 평면 구성도이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 도면들로서, 도 1은 마스크 텐션 장치가 구비된 증착 장비의 내부 구성도, 도 2 및 도 3은 마스크 텐션 장치의 주요부 상세도 및 평면 구성도, 도 4 및 도 5는 도 3의 A-A선 및 B-B선 방향의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 증착 챔버(10)의 내측 하부에는 증착 물질을 증발시켜 공급하는 증발원(20)이 위치되고, 내측 상부에는 기판(S) 및 마스크(M)를 합착하고 지지하는 기판 정렬/지지 장치(30)가 구성된다.
증발원(20)의 구성은 증착 장비의 주요 구성 부분으로 널리 공지되어 있으므로 자세한 설명은 생략한다.
기판 정렬/지지 장치(30)는, 도 1 및 도 2를 참조하면, 챔버(10) 내에 구비되어 기판(S)이 올려지는 기판 홀더(32)와, 이 기판 홀더(32)의 하측에 위치되어 마스크(M)가 올려지는 마스크 홀더(34)와, 상기 기판 홀더(32)의 상측에 위치되어 기판(S)의 상부가 밀착되는 기판 지지대(40)와, 이 기판 지지대(40)를 승강시키는 승강 기구(50)를 포함하여 구성된다.
이와 같이 구성되는 기판 정렬/지지 장치(30)의 주요 구성 부분을 상세히 설명한다.
먼저, 상기 기판 홀더(32)는 기판(S)의 양측 하부를 지지하도록 구성되는 것이 바람직하다.
이러한 기판 홀더(32)는 기판 지지대(40)에 기판을 밀착시키기 위해 승강 가능하게 구성하는 것도 가능하다. 본 실시예의 도면에서는 기판 지지대(40)가 승강 기구(50)에 의해 승강하도록 구성되므로 기판 홀더(32)는 승강하지 않은 구조이나, 실시 조건에 따라서는 기판 홀더(32) 또는 마스크 홀더(34)를 승강시키도록 구성하는 것도 가능하다.
다음, 상기 마스크 홀더(34)는, 마스크(M)가 지지되는 부분으로서, 상기 기판 홀더(32)와 같이 마스크(M)의 양쪽을 지지할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
마스크 홀더(34)는 마스크(M)와 기판(S)의 합착을 위해 승강 가능하게 구성되는 것이 바람직하다. 마스크 홀더(34)의 승강 가능 구조는 널리 공지되어 있으므로 구체적인 도면 예시 및 설명은 생략한다.
여기서, 마스크(M)는 통상 마스크 홀더(34)에 안정되게 위치될 수 있도록 마스크 프레임(35)에 지지되게 구성된다.
마스크 프레임(35)은 마스크(M)의 외곽 둘레에 설치되어 마스크(M)를 지지하도록 구성되는데, 마스크(M)가 사각 구조일 경우에는 마스크 프레임(35)은 사각테 구조로 이루어져 마스크(M)를 지지하도록 구성된다. 이에 따라 마스크 홀더(34)에는 마스크가 지지된 마스크 프레임(35)이 로딩되어 위치된다.
특히, 마스크 프레임(35)에는 마스크를 사방으로 당겨주는 마스크 텐션 장치(300)가 구비되는데, 이러한 마스크 텐션 장치(300)에 대해서는 아래에서 자세히 설명한다.
다음, 상기 기판 지지대(40)는, 기판(S)을 중심으로 마스크(M)의 반대쪽에서 기판의 상부를 지지하는 부분으로서, 그 구성은 실시 조건에 따라 다양하게 구성할 수 있다.
본 실시예 및 도면에서는 기판 지지대(40)가 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)로 구성된 실시예를 보여준다.
쿨링 플레이트(41)는 증착 공정 중에 기판(S)의 온도가 상승하는 것을 방지할 수 있도록 구성되는데, 이를 위해 그 내부에 냉각제가 순환할 수 있도록 냉각 유로 등이 형성될 수 있다.
마그넷 플레이트(45)는 자력을 제공하여 금속제로 이루어진 마스크(M)를 기판(S)의 하부에 밀착시킬 수 있도록 구성되는데, 이러한 마그넷 플레이트(45)는 쿨링 플레이트(41)의 상부에 위치되어 기판(S) 로딩시 또는 기판과 마스크 합착시에 함께 승강할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
마그넷 플레이트(45)는 플레이트 블록(47)에 지지된 상태에서 승강 기구(50)에 연결되어 쿨링 플레이트(41)와 함께 승강되도록 구성되는 것이 바람직하다.
플레이트 블록(47)은 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)와 함께 기판 지지대(40)에 포함되어 구성될 수 있다.
한편, 기판 지지대(40)는 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)로 구성되는데 한정되지 않고, 기판(S)을 중심으로 마스크(M)의 반대쪽에서 기판을 지지할 수 있는 구성이면, 공지의 기판 지지대를 이용하거나 이들을 조합하여 다양하게 구성할 수 있을 것이다.
다음, 앞서 언급한 마스크 텐션 장치(300)에 대하여 도 3 내지 도 5를 참조하여 상세히 설명한다.
마스크 텐션 장치(300)는, 상기 마스크 프레임(35)을 구성하는 고정 프레임(310)과 가동 프레임(320), 그리고 당김 기구(330), 전원 공급부(340) 등을 포함하여 구성된다.
고정 프레임(310)은 마스크(M)의 외곽 둘레에 구성되어 앞서 설명한 마스크 홀더(34) 위에 위치되는 구성 부분이다.
이러한 고정 프레임(310)은, 사각틀체 구조로 형성되고, 내측면에는 상기 가동 프레임(320)이 위치됨과 아울러 직선 이동이 가능한 공간을 형성토록 홈 구조로 이루어진 가동 공간부(312)가 구성되는 것이 바람직하다.
또한 고정 프레임(310)의 밑면에는 아래에서 설명한 전기 접속부(341)가 구성된다.
가동 프레임(320)은, 마스크(M)의 가장자리 즉, 각 변의 끝부분이 고정되고, 고정 프레임(310)의 안쪽인 가동 공간부(312)에서 전후 이동이 가능하도록 설치된다.
이러한 가동 프레임(320)은 상기 고정 프레임(310)의 안쪽 4개의 변에 각각 구비되어 마스크(M)를 사방으로 당길 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
한편, 도 5를 참조하면, 상기 고정 프레임(310)과 가동 프레임(320) 사이에는 상기 가동 프레임(320)의 직선 이동을 안내하는 가이드부(315, 325)가 구성되는 것이 바람직하다.
가이드부(315, 325)는, 가동 프레임(320)의 양단부에 형성된 돌출부(325)와, 고정 프레임(310)의 내측에 형성되어 상기 돌출부(325)가 삽입되는 홈부(315)로 이루어져, 가동 프레임(320)이 고정 프레임(310)의 가동 공간부(312)에서 안정되게 직선 이동하도록 구성되는 것이 바람직하다. 이러한 가이드부(315, 325)의 구성은 가동 프레임(320)의 직선 이동을 안내할 수 있는 구조이면, 공지의 가이드 구조를 이용하여 다양하게 구성할 수 있음은 물론이다.
당김 기구(330)는 상기 고정 프레임(310) 쪽에 구비되어 상기 가동 프레임(320)을 이동시켜 마스크(M)를 당겨주도록 구성된다.
이러한 당김 기구(330)는, 상기 고정 프레임(310) 쪽에 구비되는 전자석(331)을 포함하여 구성될 수 있다. 그리고 가동 프레임(320)은 상기 전자석(331)에 대응토록 자석에 붙는 금속이 포함되어 구성되는 것이 바람직하다. 이와는 달리, 도 4에 은선으로 나타낸 바와 같이 실시 조건에 따라서는 가동 프레임(320)에 상기 전자석(331)에 대응되는 영구 자성체(335)를 구성하는 것도 가능하다.
다음, 전원 공급부(340)는, 마스크 홀더(34)를 통해 전원을 공급하도록 구성되는 바, 증착 챔버 내로 전자석(331) 구동에 필요한 전원을 인가할 수 있는 구성이면, 통상적인 전원 공급 장치 등을 이용하여 구성할 수 있다.
이러한 전원 공급부(340)는 마스크 홀더(34)와 고정 프레임(310)에 전기 접속부(341)가 구비되어 전기적으로 상호 접속되도록 구성되는 것이 바람직하다.
전기 접속부(341)는 실시 조건에 따라 다양한 공지의 전기 접속 구조를 채택하여 구성할 수 있으나, 마스크 프레임(35)이 마스크 홀더(34)에 로딩 되면, 자동으로 접속될 수 있는 구조로 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 전기 접속부(341)는 마스크 홀더(34)와 고정 프레임(310)의 상호 접촉 부분에 단자부를 각각 구성하여 마스크 프레임(35)이 올려지면 양쪽 단자부가 접촉하여 자동으로 접속되게 구성하는 것이다.
그리고, 상기 전원 공급부(340)는 전기 접속부(341) 및 전자석(331)에 전원을 인가할 수 있도록 도선(343, 345, 346)이 연결되어 구성된다. 도선(343, 345, 346)의 구성은 피복 전선을 이용하거나, 마스크 홀더(34)와 고정 프레임(310)에 각각 인쇄 회로(printed circuit) 방식으로 구성하는 것도 가능하다.
한편, 상기한 본 발명의 실시예에서는 마스크 텐션 장치(300)가 마스크(M)의 4변을 모두 당기도록 구성된 실시예를 설명하였으나, 실시 조건에 따라서는 1변 또는 2변에서만 마스크(M)를 당기도록 구성하는 것도 가능하다.
다음, 상기한 바와 같은 마스크 텐션 장치(300)를 이용한 기판과 마스크 합착 방법에 대하여 설명한다.
도 1을 참조하면, 기판 홀더(32) 및 마스크 홀더(34)에 각각 기판(S) 및 마스크(M)를 로딩한다.
기판(S)은 양쪽 기판 홀더(32)에 의해 양쪽 사이드 부분만 지지되므로, 가운데 부분은 아래로 처지게 된다. 특히, 기판(S)이 대형화될수록 가운데 부분의 처짐량은 커지게 된다.
마스크(M)는 가동 프레임(320)에 결합된 상태에서 마스크 홀더(34)에 로딩된다. 이때 고정 프레임(310)과 마스크 홀더(34)에는 전기 접속부(341)가 구성되어 있으므로, 마스크 홀더(34)에 마스크 프레임(35)이 로딩되면, 전기 접속부(341)가 상호 접촉되면서 전기적으로 접속된 상태에 있게 된다.
이후, 기판 지지대(40) 및 마스크 홀더(34)를 이동시켜, 기판(S)을 기판 지지대(40)에 밀착시키고, 또한 마스크(M)를 기판(S)의 하부에 밀착시켜 기판(S)과 마스크(M)를 합착한다. 이때, 기판(S) 및 마스크(M)는 가운데 부분이 처진 상태로 밀착된다.
이와 같은 상태에서, 전원 공급부(340)로부터 전자석(331)에 전류를 인가하게 되면, 각각의 전자석(331)이 구동되면서 자력을 발생시켜 각각의 가동 프레임(320)을 당기게 되고, 가동 프레임(320)이 이동함에 따라 마스크(M)가 사방으로 당겨지게 된다. 이때, 마스크(M)가 팽팽하게 사방으로 펴지면서 기판(S)의 처진 부분을 밀어 올릴 수 있게 된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 텐션 장치가 도시된 평면 구성도이다.
본 발명의 다른 실시예는 전술한 일 실시예와 당김 기구(330A)를 제외하고는 동일 유사하게 구성되는 것이 바람직하므로, 전술한 일 실시예의 구성과 동일 유사한 구성 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고, 그에 대한 반복 설명은 생략한다.
본 발명의 다른 실시예의 당김 기구(330A)는 전자석 대신에 솔레노이드 액츄에이터(332)를 이용하여 가동 프레임(320)을 당기도록 구성된다.
즉, 당김 기구(330A)는, 상기 고정 프레임(310) 쪽에 구비된 솔레노이드 액츄에이터(332)와, 이 솔레노이드 액츄에이터(332)의 구동력에 의해 상기 가동 프레임(320)을 당겨주는 전달 부재(333)로 구성되는 것이다.
솔레노이드 액츄에이터(332)는 전자석(331) 원리를 이용하여 중앙부에 위치된 축을 직선 이동시켜 직선 구동력을 발생시키는 기구로서, 앞서 일 실시예에서 설명하였던 전원 공급부(340) 및 전기 접속부(341)를 통해 전원을 공급받아 구동되도록 구성된다.
전달 부재(333)는 솔레노이드 액츄에이터(332)에 구성되는 축이 가동 프레임(320)에 직접 연결되는 구조일 수 있고, 다른 연결 부재가 축과 가동 프레임(320)을 연결하는 구조일 수 있다.
이와 같은 당김 기구(330A)는 각 가동 프레임(320)의 길이에 따라 각 변에 하나 또는 그 이상의 개수로 적절하게 설정하여 구성하는 것이 바람직하다. 본 실시예의 도면에서는 당김 기구(330A)가 각 변에 2개씩 구비된 실시예를 예시하였다.
한편, 당김 기구(330A)는 솔레노이드식 액츄에이터에 한정되지 않고, 일반 모터를 이용하되, 회전 운동을 직선 운동으로 변환하여 각 가동 프레임(320)을 당겨주도록 구성하는 것도 가능하다.
상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
10 : 챔버 20 : 증발원
30 : 기판 정렬/지지 장치 32 : 기판 홀더
34 : 마스크 홀더 35 : 마스크 프레임
40 : 기판 지지대 41 : 쿨링 플레이트
45 : 마그넷 플레이트 47 : 플레이트 블록
50 : 승강 기구 300 : 마스크 텐션 장치
310 : 고정 프레임 312 : 가동 공간부
315 : 홈부 320 : 가동 프레임
325 : 돌출부 330 : 당김 기구
331 : 전자석 332 : 솔레노이드 액츄에이터
333 : 전달 부재 335 : 영구 자성체
340 : 전원 공급부 341 : 전기 접속부
343, 345, 346 : 도선

Claims (9)

  1. 증착 패턴이 형성된 마스크의 외곽 둘레에 구성되는 고정 프레임과;
    상기 고정 프레임의 안쪽에 이동 가능하게 설치되고, 마스크의 가장자리 부분이 고정되어 있는 하나 또는 그 이상의 가동 프레임과;
    상기 고정 프레임 쪽에 구비되어 상기 가동 프레임을 이동시켜 마스크를 당겨주는 당김 기구를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되는 전자석을 포함하고,
    상기 가동 프레임은 상기 전자석에 대응토록 자석에 붙는 금속이 포함되어 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되는 전자석과, 상기 가동 프레임에 구비되어 상기 전자석에 대응되는 영구 자성체를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정 프레임과 가동 프레임 사이에는 상기 가동 프레임의 직선 이동을 안내하는 가이드부가 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정 프레임은 사각틀체 구조로 형성되고,
    상기 가동 프레임은 상기 고정 프레임의 안쪽 4개의 변에 각각 구비된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 당김 기구는, 상기 고정 프레임 쪽에 구비되어 직선 운동력을 발생시키는 솔레노이드 액츄에이터와, 상기 솔레노이드 액츄에이터의 구동력에 의해 상기 가동 프레임을 당겨주는 전달 부재를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 증착 장비의 마스크 텐션 장치는, 상기 당김 기구에 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 고정 프레임은 증착 장비 내에서 마스크 홀더 위에 올려져 로딩되고,
    상기 전원 공급부는 상기 마스크 홀더를 통해 전원을 공급하며,
    상기 마스크 홀더와 고정 프레임에는 상기 고정 프레임이 마스크 홀더에 로딩될 때 전기적으로 접속되는 전기 접속부가 구비된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치.
  9. 기판 홀더 및 마스크 홀더에 각각 기판 및 마스크를 로딩하는 제 1 단계와;
    상기 제 1 단계 후에 기판 홀더 및 마스크 홀더를 상대 이동시켜 기판과 마스크를 밀착시켜 합착하는 제 2 단계와;
    상기 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 증착 장비의 마스크 텐션 장치를 이용하여 마스크를 당겨서 기판의 처진 부분을 밀어 올리는 제 3 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 텐션 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법.
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