KR20180052444A - 증착 장비의 마스크 가열 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법 - Google Patents

증착 장비의 마스크 가열 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 가열 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법은, 마스크가 로딩된 후에 마스크를 가열하여 팽창시키고, 이후 마스크를 기판에 합착시킨 다음, 마스크를 냉각시킬 수 있도록 구성됨으로써, 기판 처짐 현상을 최소화할 수 있고, 이를 통해 증착 품질을 향상시킴과 아울러 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Description

증착 장비의 마스크 가열 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법{Shadow mask heating device for deposition apparatus and method for attaching substrate and mask using the same device}
본 발명은 OLED 등을 제조하기 위해 유기 물질을 증발시켜 기판에 증착시키는 증착 장비에 관한 것으로서, 특히 증착 챔버 내에서 기판과 마스크를 합착하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.
유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.
진공열 증착방법은 증착 챔버 내의 기판 지지부에 기판을 로딩하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 기판을 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
여기서, 기판은 양측 사이드 부분이 기판 홀더에 의해 지지되는 방식으로 로딩된 후에 쉐도우 마스크와 합착하게 된다.
하지만, 기판이 대형화되면서 양쪽 기판 홀더에 올려진 기판은 가운데 부분이 아래쪽으로 처지게 되고, 이렇게 기판이 처진 상태에서 마스크와 합착하게 되면, 마스크와의 정렬이 쉽지 않을 뿐만 아니라 마스크와의 합착 정도가 떨어지고, 이에 따라 증착 정밀도가 떨어져 증착 품질이 저하될 수 있는 문제점이 있다.
한국 공개특허 10-2014-0133105호 한국 등록특허 10-0592917호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 마스크를 팽창시킨 상태에서 기판과 합착하고 이후 마스크를 냉각시켜 기판 처짐 현상을 최소화함으로써, 증착 품질을 향상시킴과 아울러 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 증착 장비의 마스크 가열 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 가열 장치는, 전원을 인가함에 따라 발생하는 열에 의해 팽창하고 냉각하면 수축하는 소재로 이루어진 마스크와; 상기 마스크의 외곽 둘레에 설치되어 마스크를 지지하는 마스크 프레임과; 증착 챔버 내에서 상기 마스크 프레임이 올려지는 마스크 홀더와; 상기 마스크에 전원을 인가하여 마스크를 팽창시키는 전원 인가장치를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 전원 인가장치는, 전원 공급부로부터 상기 마스크 홀더, 마스크 프레임을 통해 상기 마스크에 전류를 인가하도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 마스크 홀더는 상기 마스크 프레임을 양쪽에서 지지하도록 구성되고, 상기 양쪽 마스크 홀더와 마스크 프레임에는 상기 마스크 프레임이 마스크 홀더에 올려질 때 전기적으로 접속될 수 있도록 전기 접속부가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 마스크 프레임 양쪽의 마스크가 고정되는 부분에는 마스크 프레임의 길이 방향으로 길게 구비되어 마스크의 양쪽에 전류를 인가하는 전류 인가부가 구성되는 것이 바람직하다.
상기 마스크 홀더는 상기 마스크 프레임이 올려지는 부분 중 상기 전기 접속부를 제외한 나머지 부분에 절연체가 구비될 수 있다.
상기 증착 장비의 마스크 가열 장치는 마스크를 냉각시키는 마스크 냉각장치를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
상기 마스크 냉각장치는 기판을 냉각시키는 기판 냉각장치로 구성될 수 있다.
다음, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 가열 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법은, 마스크가 로딩된 후에 마스크를 가열하여 팽창시키는 제 1 단계와; 상기 제 1 단계 후에 상기 마스크를 기판에 합착시키는 제 2 단계와; 상기 제 2 단계 후에 상기 마스크를 냉각시키는 제 3 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 단계에서 상기 마스크에 전원을 인가하여 팽창시키는 것이 바람직하다.
상기 제 3 단계에서 상기 마스크에 인가되는 전원을 차단하여 마스크를 냉각시키는 것이 바람직하다.
상기 제 3 단계에서 기판을 냉각시키는 기판 냉각장치를 이용하여 마스크를 냉각시키는 것이 바람직하다.
상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.
본 발명에 따른 증착 장비의 마스크 가열 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법은, 마스크를 팽창시킨 상태에서 기판과 합착하고, 이후 마스크를 냉각시켜서 기판을 밀어 올리도록 구성되기 때문에 기판 처짐 현상을 최소화할 수 있고, 이를 통해 증착 품질을 향상시킴과 아울러 증착 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 가열 장치가 구비된 증착 장비의 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 가열 장치가 구비된 증착 장비의 주요부 상세도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 가열 장치의 평면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장비의 기판과 마스크 합착 방법이 도시된 순서도면들이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 가열 장치가 도시된 도면들로서, 도 1은 전체 구성도, 도 2는 주요부 상세도, 도 3은 마스크 가열 장치의 평면 구성도이다.
도 1을 참조하면, 증착 챔버(10)의 내측 하부에는 증착 물질을 증발시켜 공급하는 증발원(20)이 위치되고, 내측 상부에는 기판(S) 및 마스크(M)를 합착하고 지지하는 기판 정렬/지지 장치(30)가 구성된다.
증발원(20)의 구성은 증착 장비의 주요 구성 부분으로 널리 공지되어 있으므로 자세한 설명은 생략한다.
기판 정렬/지지 장치(30)는 도 2를 참조하면, 챔버(10) 내에 구비되어 기판(S)이 올려지는 기판 홀더(32)와, 이 기판 홀더(32)의 하측에 위치되어 마스크(M)가 올려지는 마스크 홀더(34)와, 상기 기판 홀더(32)의 상측에 위치되어 기판(S)의 상부가 밀착되는 기판 지지대(40)와, 이 기판 지지대(40)에 구비되어 기판 지지대(40)에 부착된 기판(S)을 이격시키는 푸시 기구(60)를 포함하여 구성된다.
도 2에서 도면 부호 70은, 기판 지지대(40)를 승강시키는 승강 기구를 나타낸다. 이러한 승강 기구는 실시 조건에 따라서는 기판 홀더(32) 또는 마스크 홀더(34)를 승강시키도록 구성하는 것도 가능하다.
이와 같이 구성되는 기판 정렬/지지 장치(30)의 주요 구성 부분을 상세히 설명한다.
먼저, 상기 기판 홀더(32)는, 기판(S)의 양측 하부를 지지하도록 구성되는 것이 바람직하다.
기판 홀더(32)는 기판 지지대(40)에 기판을 밀착시키기 위해 승강 가능하게 구성할 수 있다. 본 실시예의 도면에서는 앞서 설명한 바와 같이 승강 기구(70)를 통해 기판 지지대(40)가 승강하도록 구성되므로 기판 홀더(32)는 승강하지 않은 구조를 예시한다.
다음, 상기 마스크 홀더(34)는, 마스크(M)가 지지되는 부분으로서, 상기 기판 홀더(32)와 같이 마스크(M)의 양쪽을 지지할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
마스크(M)는 통상 마스크 홀더(34)에 안정되게 위치될 수 있도록 마스크 프레임(35)에 일체로 설치되어 구성된다. 즉, 마스크 프레임(35)은 마스크(M)의 외곽 둘레에 설치되어 마스크(M)를 지지하게 되는데, 마스크(M)가 사각 구조일 경우에는 마스크 프레임(35)은 사각테 구조로 이루어져 마스크(M)를 지지하게 된다.
마스크와 일체형으로 구성된 마스크 프레임(35)은 도면에 예시된 바와 같이 양쪽 마스크 홀더(34) 위에 로딩 되어 위치된다.
마스크 홀더(34)는 마스크(M)와 기판(S)의 합착을 위해 승강 가능하게 구성되는 것이 바람직하다. 마스크 홀더(34)의 승강 가능 구조는 널리 공지되어 있으므로 구체적인 도면 예시 및 설명은 생략한다.
다음, 상기 기판 지지대(40)는, 기판(S)을 중심으로 마스크(M)의 반대쪽에서 기판의 상부를 지지하는 부분으로서, 그 구성은 실시 조건에 따라 다양하게 구성할 수 있다.
본 실시예 및 도면에서는 기판 지지대(40)가 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)로 구성된 실시예를 보여준다.
쿨링 플레이트(41)는 증착 공정 중에 기판(S)의 온도가 상승하는 것을 방지할 수 있도록 구성되는데, 이를 위해 그 내부에 냉각제가 순환할 수 있도록 냉각 유로 등이 형성될 수 있다.
마그넷 플레이트(45)는 자력을 제공하여 금속제로 이루어진 마스크(M)를 기판(S)의 하부에 밀착시킬 수 있도록 구성되는데, 이러한 마그넷 플레이트(45)는 쿨링 플레이트(41)의 상부에 위치되어 기판(S) 로딩시 또는 기판과 마스크 합착시에 함께 승강할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
마그넷 플레이트(45)는 플레이트 블록(47)에 지지된 상태에서 승강 기구(70)에 연결되어 쿨링 플레이트(41)와 함께 승강되도록 구성되는 것이 바람직하다.
플레이트 블록(47)은 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)와 함께 기판 지지대(40)에 포함되어 구성될 수 있다.
플레이트 블록(47)에는 쿨링 플레이트(41)에 부착된 기판을 떨어뜨리기 위한 푸시 기구(60)가 설치되어 구성되는 것이 바람직하다.
푸시 기구(60)는 플레이트 블록(47)에서 마그넷 플레이트(45) 및 쿨링 플레이트(41)를 관통하여 상하로 이동하는 푸시 로드(62)와, 플레이트 블록(47)에 설치되어 상기 푸시 로드(62)를 상하 이동시키는 푸시 액추에이터(64)로 구성될 수 있다.
푸시 액추에이터(64)는 직선 운동력을 발생시키는 솔레노이드식, 또는 공압 또는 유압식 실린더 등의 구성으로 이루어질 수 있다.
그리고, 마그넷 플레이트(45)와 쿨링 플레이트(41)는 푸시 로드(62)의 상하 이동이 자유롭도록 일부분이 삭제된 구조로 형성되거나, 홀이 형성되는 구성으로 이루어지는 것이 바람직하다.
한편, 기판 지지대(40)는 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)로 구성되는데 한정되지 않고, 기판(S)을 중심으로 마스크(M)의 반대쪽에서 기판을 지지할 수 있는 구성이면, 공지의 기술 구성을 조합하여 다양하게 구성할 수 있을 것이다.
다음, 상기와 같이 구성되는 기판 정렬/지지 장치(30)에는 마스크 가열 장치가 추가로 구성된다.
마스크 가열 장치는 마스크(M)에 전원을 인가하여 전기 저항에 의해 마스크 자체를 발열시킴으로써 마스크가 가열되어 팽창될 수 있도록 구성된다.
이를 위해 마스크(M)는 전원을 인가함에 따라 전기 저항에 의해 발생되는 열에 의해 팽창하고, 냉각하면 수축하는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 소재는 철, 알루미늄, 구리 등을 이용한 금속성 소재로 이루어지는 것이 바람직하고, 앞서 설명한 마그넷 플레이트(45)의 자력에 반응할 수 있도록 철성분이 함유된 금속으로 이루어질 수 있다. 또한 마스크(M)는 열팽창 계수 또는 선팽창 계수가 높은 금속체로 이루어지는 것이 바람직하다.
마스크 가열 장치는, 도 3을 참조하면, 마스크에 전류를 인가하여 마스크를 팽창시키는 전원 인가장치(80)가 구성된다.
상기 전원 인가장치(80)는, 전원 공급부(83)로부터 상기 마스크 홀더(34), 마스크 프레임(35)을 통해 상기 마스크(M)에 전류를 인가하도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 전원 공급부(83)는 외부 전원 또는 배터리 등에 연결되어 마스크 가열을 위한 전류를 공급할 수 있도록 구성된 것으로서, 마스크(M)의 일측에는 양극, 마스크(M)의 타측에는 음극을 인가할 수 있도록 구성된다.
이러한 전원 공급부(83)는 증착 장비를 제어하는 제어부(81)에 연결되어 제어되도록 구성되는 것이 바람직하다. 제어부(81)는 증착 장비의 운전을 제어하도록 구성되거나, 마스크 가열 장치와 쿨링 플레이트(41) 등 마스크의 팽창과 수축에 관계된 요소들만 제어하도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 양쪽 마스크 홀더(34)와 마스크 프레임(35)에는 상기 마스크 프레임(35)이 마스크 홀더(34)에 올려질 때 전기적으로 접속될 수 있도록 전기 접속부(85)가 구비되는 것이 바람직하다. 전기 접속부(85)는 실시 조건에 따라 다양한 공지의 전기 접속 구조를 채택하여 구성할 수 있으나, 마스크 프레임(35)이 마스크 홀더(34)에 로딩 되면, 자동으로 접속될 수 있는 구조로 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 전기 접속부(85)는 마스크 홀더(34)와 마스크 프레임(35)의 상호 접촉 부분에 단자부를 각각 구성하여 마스크 프레임(35)이 올려지면 양쪽 단자부가 접촉하여 자동으로 접속되게 구성하는 것이다.
그리고, 상기 마스크 프레임(35) 양쪽의 마스크가 고정되는 부분에는 마스크 프레임(35)의 길이 방향으로 길게 구비되어 마스크의 양쪽에 전류를 인가하는 전류 인가부(86)가 구성되는 것이 바람직하다. 마스크(M)가 하나의 금속체 망 구조로 이루어지므로, 어느 일부분을 통해서 전류가 인가되면, 전체 마스크로 도전되지만, 전체적으로 보다 균일하게 전류를 인가하기 위해서 도 3에 예시된 바와 같이 마스크의 양쪽 사이드 부분에 길게 전류가 인가될 수 있게 구성되는 것이 바람직하다.
이를 위해, 전류 인가부(86)는 마스크의 재질과 동일하거나 다른 전기 전도성 소재를 이용하여 구성할 수 있다.
전원 공급부(83), 전기 접속부(85), 전류 인가부(86)는 전류가 통하는 도선(84)이 연결된다. 도선(84)의 구성은 피복 전선을 이용하거나, 마스크 홀더(34)와 마스크 프레임(35)에 각각 인쇄 회로(printed circuit)로 구성하는 것도 가능하다.
상기 마스크 프레임(35) 또는 마스크 홀더(34)가 금속 소재로 이루어질 경우에는 전류 인가부(86)에 도선 등을 통해 전기를 정확하게 인가하기 위해 전기 접속부(85)를 제외한 나머지 부분에 절연체(88)가 구비되는 것이 바람직하다.
마스크 프레임(35)이 전도성 금속재로 구성된 경우에, 전류 인가부(86)를 별도로 구성하지 않고, 마스크 프레임(35)에 바로 전기를 인가하는 방식으로 구성하는 것도 가능하다.
한편, 마스크 가열 장치에 의해 가열된 마스크(M)를 냉각시키기 위해 마스크 냉각장치가 요구될 수 있는 바, 이때에는 기판(S)을 냉각시키는 기판 냉각장치 즉, 앞서 설명한 쿨링 플레이트(41)를 이용하여 구성할 수 있다.
후술할 기판(S)과 마스크 합착 방법에서 마스크를 가열한 다음, 마스크를 냉각하게 되는데, 마스크를 냉각시킬 때는 기판에 마스크가 합착된 상태에서 이루어지므로, 쿨링 플레이트(41)를 이용하여 기판(S)과 함께 냉각시키는 것이 바람직하다.
이제, 상기한 바와 같은 마스크 가열 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법에 대하여 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 기판 홀더(32) 및 마스크 홀더(34)에 각각 기판(S) 및 마스크(M)를 로딩 한다.
기판(S)은 양쪽 기판 홀더(32)에 의해 양쪽 사이드 부분이 지지되므로, 가운데 부분은 처지게 된다. 특히, 기판(S)이 대형화될수록 가운데 부분의 처짐량은 커지게 된다.
마스크(M)는 마스크 프레임(35)에 일체로 결합된 상태에서 마스크 홀더(34)에 올려지게 된다. 이때 마스크 프레임(35)과 마스크 홀더(34)에는 전기 접속부(85)가 구비되므로, 마스크 홀더(34)에 마스크 프레임(35)이 올려짐에 따라 전기 접속부(85)가 상호 접촉되어 전기적으로 접속된 상태에 있게 된다.
이와 같은 상태에서, 제어부(81)의 제어에 의해 전원 공급부(83)로부터 마스크(M) 양쪽의 전류 인가부(86)에 전류를 인가하게 되면, 도 4의 (b)에서와 같이 마스크(M)가 가열되면서 팽창하게 된다.
이후, 마스크(M)가 팽창한 상태에서, 도 4의 (c)에서와 같이 마스크(M)를 기판(S)에 밀착시켜 합착한다. 이때, 기판(S)은 가운데 부분이 처진 상태로 있게 되고, 마스크(M)는 가열되어 팽창된 상태에 있게 되므로 모두 가운데 부분을 중심으로 아래쪽으로 처진 상태로 밀착되게 된다.
이후, 전원 공급부(83)에서 전류를 차단하고, 기판(S)이 밀착되어 있는 쿨링 플레이트(41)를 이용하여 냉각하게 되면, 기판(S)과 함께 마스크(M))도 냉각되면서 팽창되어 있던 마스크가 수축하게 되고, 이 마스크(M)가 수축함에 따라 마스크가 평평하게 펴지면서 기판(S)의 처진 부분을 밀어 올리게 된다.
이와 같이, 마스크(M)를 기판(S)이 처지는 것과 유사하게 팽창시킨 후에, 냉각시켜 마스크를 수축시킴으로써 기판의 처진 부분을 밀어 올려 기판(S)의 처짐을 줄일 수 있게 된다.
상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
10 : 챔버 20 : 증발원
30 : 기판 정렬/지지 장치 32 : 기판 홀더
34 : 마스크 홀더 35 : 마스크 프레임
40 : 기판 지지대 41 : 쿨링 플레이트
45 : 마그넷 플레이트 47 : 플레이트 블록
60 : 푸시 기구 62 : 푸시 로드
64 : 푸시 액추에이터 70 : 승강 기구
80 : 전원 인가장치 81 : 제어부
83 : 전원 공급부 84, 86 : 도선
85 : 전기 접속부 86 : 전류 인가부
88 : 절연체
S : 기판 M : 마스크

Claims (11)

  1. 전원을 인가함에 따라 발생하는 열에 의해 팽창하고 냉각하면 수축하는 소재로 이루어진 마스크와;
    상기 마스크의 외곽 둘레에 설치되어 마스크를 지지하는 마스크 프레임과;
    증착 챔버 내에서 상기 마스크 프레임이 올려지는 마스크 홀더와;
    상기 마스크에 전원을 인가하여 마스크를 팽창시키는 전원 인가장치를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 전원 인가장치는, 전원 공급부로부터 상기 마스크 홀더, 마스크 프레임을 통해 상기 마스크에 전류를 인가하도록 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 마스크 홀더는 상기 마스크 프레임을 양쪽에서 지지하도록 구성되고,
    상기 양쪽 마스크 홀더와 마스크 프레임에는 상기 마스크 프레임이 마스크 홀더에 올려질 때 전기적으로 접속될 수 있도록 전기 접속부가 구비된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 마스크 프레임 양쪽의 마스크가 고정되는 부분에는 마스크 프레임의 길이 방향으로 길게 구비되어 마스크의 양쪽에 전류를 인가하는 전류 인가부가 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 마스크 홀더는 상기 마스크 프레임이 올려지는 부분 중 상기 전기 접속부를 제외한 나머지 부분에 절연체가 구비된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 증착 장비의 마스크 가열 장치는 마스크를 냉각시키는 마스크 냉각장치를 더 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 마스크 냉각장치는 기판을 냉각시키는 기판 냉각장치로 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치.
  8. 마스크가 로딩된 후에 마스크를 가열하여 팽창시키는 제 1 단계와;
    상기 제 1 단계 후에 상기 마스크를 기판에 합착시키는 제 2 단계와;
    상기 제 2 단계 후에 상기 마스크를 냉각시키는 제 3 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제 1 단계에서 상기 마스크에 전원을 인가하여 팽창시키는 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 제 3 단계에서 상기 마스크에 인가되는 전원을 차단하여 마스크를 냉각시키는 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 제 3 단계에서 기판을 냉각시키는 기판 냉각장치를 이용하여 마스크를 냉각시키는 것을 특징으로 하는 증착 장비의 마스크 가열 장치를 이용한 기판과 마스크 합착 방법.
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