KR20180000959A - 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 증착 장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 증착 장비에 관한 것으로서, 챔버 내에 구비되어 기판이 올려지는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더의 상측에 위치되어 상기 기판의 상부에 밀착되는 기판 지지대와; 상기 기판 홀더와 기판 지지대 중 적어도 어느 한 쪽에 설치되어 부착력 또는 마찰력에 의해 기판이 움직이는 것을 제한하는 유동 방지체를 포함하여 구성됨으로써, 기판의 움직임을 방지한 상태에서 마스크와의 합착이 가능하여, 얼라인 작업이 용이하고, 얼라인 성능 향상을 기대할 수 있는 효과를 제공한다.

Description

기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 증착 장비{Substrate alignment apparatus to prevent movement of the substrate and deposition device having the same}
본 발명은 OLED 등을 제조하기 위해 유기 물질을 증발시켜 기판에 증착시키는 증착 장비에 관한 것으로서, 특히 기판과 마스크를 정렬하여 합착하는 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 증착 장비에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.
유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.
진공열 증착방법은 증착 챔버 내의 기판 지지부에 기판을 로딩하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 기판을 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
증착 챔버 내의 기판 지지부에 기판이 로딩된 후에 이 기판과 쉐도우 마스크를 정밀하게 얼라인 하여 합착하는 공정은 이후 증착 정밀도를 결정하고, 평판표시소자의 품질을 좌우하는 매우 중요한 공정이다. 일반적으로 기판과 쉐도우 마스크 각각에는 얼라인 마크가 구비되어 있어 이를 통해 기판과 마스크의 정렬 과정을 진행하게 된다.
그러나, 기판과 마스크를 정렬하여 합착하는 과정에서 기판을 승강시키면서 마스크와 합착하는 경우에 미세하게 기판이 움직여서 정확히 정렬되지 못하는 문제가 발생되고 있고, 기판과 마스크가 정확하게 정렬되지 못한 경우에 정렬 작업을 수차 반복하면서 정렬 작업을 수행하여야 하는 불편한 문제점이 발생되고 있다.
대한민국 공개특허 10-2014-0135414호 대한민국 등록특허 10-1549113호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판 지지부에 점착척과 같은 유동 방지체를 구비하여 기판의 움직임을 방지한 상태에서 마스크와 합착이 이루어질 수 있도록 구성함으로써 얼라인 작업이 용이하고, 얼라인 성능 향상을 기대할 수 있으며, 증착 공정 중에도 기판의 움직임을 방지하여 공정 효율을 향상시킬 수 있는 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 증착 장비를 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치는, 챔버 내에 구비되어 기판이 올려지는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더의 상측에 위치되어 상기 기판의 상부에 밀착되는 기판 지지대와; 상기 기판 홀더와 기판 지지대 중 적어도 어느 한 쪽에 설치되어 부착력 또는 마찰력에 의해 기판이 움직이는 것을 제한하는 유동 방지체를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 유동 방지체는 일정 정도의 부착력을 제공하는 점착 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 유동 방지체는 상기 기판 지지대에 복수 개가 설치되어 구성되는 것이 바람직하다.
상기 유동 방지체는 원형 링 형상으로 설치되어 구성될 수 있다.
상기 유동 방지체는 상기 기판 지지대에 설치되되, 상기 기판을 중심으로 상기 기판 홀더와 마주하는 부분에 설치될 수 있다.
상기 기판 지지대는 기판이 밀착되는 쿨링 플레이트와, 상기 쿨링 플레이트의 상부에 위치된 마그넷 플레이트를 포함하여 구성되고, 상기 유동 방지체는 상기 쿨링 플레이트에서 기판이 접촉되는 면에 설치되어 구성될 수 있다.
또한, 상기 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치는, 상기 기판의 하부에 마스크가 합착되고, 이 마스크는 마스크 프레임에 지지될 때, 상기 유동 방지체는 상기 기판 지지대에 설치되되, 상기 마스크 프레임과 마주하는 부분에 설치되어 구성되는 것도 가능하다.
상기 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치는, 상기 기판에는 상기 마스크와의 정렬 및 합착을 위해 얼라인 마크가 형성되고, 상기 유동 방지체는 상기 얼라인 마크에 대응되는 부분을 중심으로 형성되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 유동 방지체는 상기 얼라인 마크를 중심으로 원형 링 형상으로 설치되는 것이 바람직하다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비는, 진공 증착이 가능하도록 이루어진 증착 챔버와; 상기 증착 챔버의 내측 하부에 구성되어 증착 물질을 공급하는 증발원과; 상기 증착 챔버의 내측 상부 쪽에 구성되어 기판과 마스크를 지지하는 동시에 정렬 및 합착하는 것으로, 상기한 기판 정렬 장치를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.
본 발명에 따른 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치 및 이를 구비한 증착 장비는 기판 지지대에 기판의 움직임을 방지하는 유동 방지체가 구비되기 때문에 기판의 움직임을 방지한 상태에서 마스크와의 합착이 가능하여, 얼라인 작업이 용이하고, 얼라인 성능 향상을 기대할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 증착 공정 중에도 기판의 미세 움직임을 방지한 상태에서 증착이 이루어지기 때문에 증착 성능 및 공정 효율을 향상시킬 수 있는 효과도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치가 구비된 증착 챔버가 도시된 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치가 도시된 구성도로서, 기판과 마스크 합착 상태의 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치가 도시된 구성도로서, 기판과 마스크 분리 상태의 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치가 도시된 주요부 상세도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 정렬 장치가 도시된 주요부 상세도이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 정렬 장치가 도시된 도면으로서, 도 1은 증착 챔버의 전체 구성도, 도 2는 기판 정렬 장치의 기판과 마스크 합착 상태의 도면, 도 3은 기판 정렬 장치의 기판과 마스크 분리 상태의 도면, 도 4는 기판 정렬 장치의 주요부 상세도이다.
도 1을 참조하면, 증착 챔버(10)의 내측 하부에는 증착 물질을 증발시켜 공급하는 증발원(20)이 위치되고, 내측 상부에는 기판(S) 및 마스크(M)를 합착하고 지지하는 기판 정렬/지지 장치(30)가 구성된다.
증발원(20)의 구성은 증착 장비의 주요 구성 부분으로 널리 공지되어 있으므로 자세한 설명은 생략한다.
기판 정렬/지지 장치(30)는 도 2를 참조하면, 챔버(10) 내에 구비되어 기판(S)이 올려지는 기판 홀더(32)와, 이 기판 홀더(32)의 하측에 위치되어 마스크(M)가 올려지는 마스크 홀더(34)와, 상기 기판 홀더(32)의 상측에 위치되어 기판(S)의 상부가 밀착되는 기판 지지대(40)와, 이 기판 지지대(40)에 설치되어 부착력에 의해 기판(S)이 움직이는 것을 제한하는 유동 방지체(50)와, 기판 지지대(40)에 구비되어 기판 지지대(40)에 부착된 기판을 이격시키는 푸시 기구(60)를 포함하여 구성된다.
도 2에서 도면 부호 70은, 기판 지지대(40)를 승강시키는 승강 기구를 나타낸다. 이러한 승강 기구는 실시 조건에 따라서는 기판 홀더(32) 또는 마스크 홀더(34)를 승강시키도록 구성하는 것도 가능하다.
이와 같이 구성되는 기판 정렬/지지 장치(30)의 주요 구성 부분을 상세히 설명한다.
먼저, 상기 기판 홀더(32)는, 기판(S)의 양측 하부를 지지하도록 구성되는 것이 바람직하다.
기판 홀더(32)의 상부에는 기판(S)이 올려진 후에 기판이 움직이는 것을 방지하도록 유동 방지수단이 설치되어 구성될 수 있다. 이때 유동 방지수단은 마찰력에 의해 기판의 움직임을 제한하도록 실리콘 등의 재질로 이루어지거나, 상기 유동 방지체(50)와 동일 유사한 재질인 점착성 물질로 이루어질 수 있다.
이러한 기판 홀더(32)는 기판 지지대(40)에 기판을 밀착시키기 위해 승강 가능하게 구성할 수 있다. 본 실시예의 도면에서는 앞서 설명한 바와 같이 승강 기구(70)를 통해 기판 지지대(40)가 승강하도록 구성되므로 기판 홀더(32)는 승강하지 않은 구조를 예시한다.
도면 부호 36은 기판 홀더(32)를 챔버(10)의 내측에 지지하는 홀더 블록을 나타낸다. 홀더 블록(36)의 구성은 실시 조건에 따라 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
다음, 상기 마스크 홀더(34)는, 마스크(M)가 지지되는 부분으로서, 상기 기판 홀더(32)와 같이 마스크(M)의 양쪽을 지지할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
마스크(M)는 통상 마스크 홀더(34)에 안정되게 위치될 수 있도록 마스크 프레임(35)에 일체로 설치되어 구성된다. 따라서 마스크 홀더(34)에는 마스크 프레임(35)이 위치된다.
이러한 마스크 홀더(34)는 마스크(M)와 기판(S)의 합착을 위해 승강 가능하게 구성되는 것이 바람직하다. 마스크 홀더(34)의 승강 가능 구조는 널리 공지되어 있으므로 구체적인 도면 예시 및 설명은 생략한다.
다음, 상기 기판 지지대(40)는, 기판(S)을 중심으로 마스크(M)의 반대쪽에서 기판의 상부를 지지하는 부분으로서, 그 구성은 실시 조건에 따라 다양하게 구성할 수 있다.
본 실시예 및 도면에서는 기판 지지대(40)가 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)로 구성된 실시예를 보여준다.
쿨링 플레이트(41)는 증착 공정 중에 기판(S)의 온도가 상승하는 것을 방지할 수 있도록 구성되는데, 이를 위해 그 내부에 냉각제가 순환할 수 있도록 냉각 유로 등이 형성될 수 있다.
마그넷 플레이트(45)는 자력을 제공하여 금속제로 이루어진 마스크(M)를 기판(S)의 하부에 밀착시킬 수 있도록 구성되는데, 이러한 마그넷 플레이트(45)는 쿨링 플레이트(41)의 상부에 위치되어 기판(S) 로딩시 또는 기판과 마스크 합착시에 함께 승강할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
마그넷 플레이트(45)는 플레이트 블록(47)에 지지된 상태에서 승강 기구(70)에 연결되어 쿨링 플레이트(41)와 함께 승강되도록 구성되는 것이 바람직하다.
플레이트 블록(47)은 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)와 함께 기판 지지대(40)에 포함되어 구성될 수 있다.
플레이트 블록(47)에는 쿨링 플레이트(41)에 부착된 기판을 떨어뜨리기 위한 푸시 기구(60)가 설치되어 구성되는 것이 바람직하다.
푸시 기구(60)는 플레이트 블록(47)에서 마그넷 플레이트(45) 및 쿨링 플레이트(41)를 관통하여 상하로 이동하는 푸시 로드(62)와, 플레이트 블록(47)에 설치되어 상기 푸시 로드(62)를 상하 이동시키는 푸시 액추에이터(64)로 구성될 수 있다.
푸시 액추에이터(64)는 직선 운동력을 발생시키는 솔레노이드식, 또는 공압 또는 유압식 실린더 등의 구성으로 이루어질 수 있다.
그리고, 마그넷 플레이트(45)와 쿨링 플레이트(41)는 푸시 로드(62)의 상하 이동이 자유롭도록 일부분이 삭제된 구조로 형성되거나, 홀이 형성되는 구성으로 이루어지는 것이 바람직하다.
한편, 기판 지지대(40)는 쿨링 플레이트(41)와 마그넷 플레이트(45)로 구성되는데 한정되지 않고, 기판(S)을 중심으로 마스크(M)의 반대쪽에서 기판을 지지할 수 있는 구성이면, 공지의 기술 구성을 조합하여 다양하게 구성할 수 있을 것이다.
다음, 상기 유동 방지체(50)는 일정 정도의 부착력을 제공하는 점착(粘錯) 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.
점착 물질로는 점착력을 갖도록 실리콘, 합성수지 등의 소재로 구성할 수 있는데, 기본적으로 기판이 밀착될 때 점착력에 의한 부착성을 가지면서도 기판이 이격될 때는 점착 물질이 기판 쪽에 묻지 않는 성질을 갖는 소재를 이용하여 구성되는 것이 바람직하다. 이러한 점착 물질은 공지의 다양한 점착 소재를 적용하여 구성할 수 있으므로 상세한 소재 설명은 생략한다.
유동 방지체(50)는 도 4를 참조하면, 기판 지지대(40)의 하부 즉, 쿨링 플레이트(41)의 하부에서 미세하게 돌출되어 점착력을 제공하도록 구성되는 것이 바람직한데, 이를 위해 쿨링 플레이트(41)의 하부에는 점착 물질을 삽입하여 설치할 수 있도록 홈 구조의 설치부(42)가 형성되는 것이 바람직하다.
유동 방지체(50)는 기판(S)이 움직이는 것을 보다 확실하게 제한할 수 있도록 상기 쿨링 플레이트(41)의 하부에 복수 개가 설치된다.
바람직하게는, 쿨링 플레이트(41)에서 도 4에 도시된 바와 같이 기판을 중심으로 상기 기판 홀더(32)에 대응되는 부분에 유동 방지체(50)들이 설치되는 것이 바람직하다. 이는 기판 홀더(32)가 기판의 양쪽 끝부분을 지지하므로, 기판(S)이 기판 홀더(32)와 쿨링 플레이트(41) 사이에 밀착될 때 기판 홀더(32)에서 제공되는 지지력에 의해 기판이 유동 방지체(50)에 밀착되면서 부착될 수 있도록 하기 위한 것이다.
또한, 유동 방지체(50)는 원형 링 구조로 복수 개소에 설치되어 구성되는 것도 가능하다.
한편, 상기한 본 실시예에서는 유동 방지체(50)가 점착 물질로 구성된 실시예를 중심으로 설명하였으나, 실시 조건에 따라서는 마찰력을 발생시켜 기판(S)의 움직임을 방지하는 고무 부재 등을 설치하여 구성하는 것도 가능하다.
또한, 기판 홀더(32)의 상부에도 기판의 유동을 방지하기 위해 상기와 같은 유동 방지체(52)를 구성하는 것도 가능하다(도 4 참조).
상기와 같이 기판 지지대(40)에 유동 방지체(50)를 구성함에 따라, 기판 지지대(40)가 하강하거나 기판 홀더(32)가 상승하여 기판(S)이 기판 지지대(40)에 밀착되면, 기판(S)이 유동 방지체(50)에 부착된 상태에 있게 되고, 이러한 상태에서 기판(S)과 마스크(M) 합착을 위해 마스크 홀더(34)가 상승하거나 기판 지지대(40)가 하강할 때, 유동 방지체(50)에 의해 기판이 고정된 상태에서 합착이 이루어지게 된다.
이와 같이 기판(S)이 유동 방지체(50)에 의해 고정된 상태에서 합착 공정이 이루어지면, 기판(S)의 얼라인 마크의 움직임이 발생하지 않은 상태에서 마스크(M)와 합착이 이루어지므로 기판과 마스크의 얼라인 성능의 향상을 기대할 수 있게 된다.
또한, 이와 같이 합착된 상태에서 증착 공정이 진행될 때 마스크(M)가 합착된 기판(S)이 유동 방지체(50)에 의해 흔들림 없이 고정된 상태에서 증착이 이루어지므로 증착 공정의 신뢰성도 높일 수 있게 된다.
한편, 유동 방지체(50)에 의해 기판(S)이 기판 지지대(40)에 부착된 상태에서 기판을 분리하기 위해서는 상기 푸시 기구(60)를 이용하여 기판을 분리한다.
기판(S) 분리 과정은 기판 홀더(32)가 하강하거나 기판 지지대(40)가 상승하여 기판 홀더(32)가 기판으로부터 일정 정도 떨어진 상태에서 푸시 기구(60)의 푸시 로드(62)가 하강하여 기판(S)을 유동 방지체(50)에서 떨어지도록 한다. 이때 기판(S)은 기판 홀더(32) 위로 떨어지게 된다.
상기한 실시예에서는 기판 홀더(32)의 위치를 고려하여 유동 방지체(50)가 설치되는 구성을 설명하였으나, 마스크 프레임(35)의 위치를 고려하여 유동 방지체(50)를 구성하는 것도 가능하다,
이에 대하여 도 5를 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬/지지 장치가 도시된 주요부 상세도이다.
앞서 설명한 바와 같이 기판(S)의 하부에는 마스크(M)가 합착되는데, 이때 마스크(M)와 기판(S)의 합착 위치가 정확히 이루어져야 한다.
이를 위해 기판(S)에는 얼라인 마크가 표시되고, 마스크 프레임(35)에는 기판의 얼라인 마크에 대응하는 위치에 정렬 핀(미도시) 등이 통과하는 얼라인 홀(37)이 형성될 수 있다.
이와 같은 얼라인 구조는 공지 구성이므로 보다 구체적인 설명은 생략한다.
다만, 유동 방지체(50)는 쿨링 플레이트(41)에서 상기 기판(S)을 중심으로 마스크 프레임(35)에 대응되는 부분에 설치될 수 있다.
이때, 유동 방지체(50)는 마스크 프레임(35)의 얼라인 홀(37)에 대응하는 위치에 설치된다. 예를 들면, 얼라인 홀(37)에 대응하는 기판(S)의 얼라인 마크를 중심으로 복수 개가 설치되거나 링형 구조로 설치될 수 있다.
따라서, 기판(S)이 지지될 때 유동 방지체(50)는 기판의 얼라인 마크를 중심으로 링형 구조로 설치되거나 복수개가 대칭된 상태로 위치되면서 기판이 움직이는 것을 방지하게 된다.
상기와 달리, 유동 방지체(50)는 마스크 프레임(35) 쪽에 설치하여 구성하는 것도 가능하다. 이때에는 유동 방지체(50)가 기판의 밑면에 밀착되어 기판의 유동을 방지하게 된다.
한편, 기판 홀더(32)에는 마그넷이 설치되어 구성될 수 있다.
기판(S)이 마스크(M)와 합착된 후에 기판에서 마스크 프레임(35)의 바깥쪽에 위치된 양쪽 사이드 부분 또는 끝부분이 처지는 등의 문제가 발생되고 있다.
하지만, 도 5에 도시된 바와 같이 기판 홀더(32)에 마그넷(80)을 설치하게 되면, 이 마그넷(80)과 마그넷 플레이트(45) 사이에 인력이 작용하게 되고, 이에 따라 기판(S)의 양쪽 가장자리 부분 또는 끝부분이 쿨링 플레이트(41)와 기판 홀더(32) 사이에 밀착되어 처짐 등의 문제가 발생하지 않게 된다.
상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
10 : 챔버 20 : 증발원
30 : 기판 정렬/지지 장치 32 : 기판 홀더
34 : 마스크 홀더 35 : 마스크 프레임
36 : 홀더 블록 37 : 얼라인 홀
40 : 기판 지지대 41 : 쿨링 플레이트
42 : 설치부 45 : 마그넷 플레이트
47 : 플레이트 블록 50 : 유동 방지체
60 : 푸시 기구 62 : 푸시 로드
64 : 푸시 액추에이터 70 : 승강 기구
80 : 마그넷
S : 기판 M : 마스크

Claims (10)

  1. 챔버 내에 구비되어 기판이 올려지는 기판 홀더와;
    상기 기판 홀더의 상측에 위치되어 상기 기판의 상부에 밀착되는 기판 지지대와;
    상기 기판 홀더와 기판 지지대 중 적어도 어느 한 쪽에 설치되어 부착력 또는 마찰력에 의해 기판이 움직이는 것을 제한하는 유동 방지체를 포함한 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 유동 방지체는 일정 정도의 부착력을 제공하는 점착 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 유동 방지체는 상기 기판 지지대에 복수 개가 설치되어 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 유동 방지체는 원형 링 형상으로 설치된 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 유동 방지체는 상기 기판 지지대에 설치되되, 상기 기판을 중심으로 상기 기판 홀더와 마주하는 부분에 설치된 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 지지대는 기판이 밀착되는 쿨링 플레이트와, 상기 쿨링 플레이트의 상부에 위치된 마그넷 플레이트를 포함하여 구성되고,
    상기 유동 방지체는 상기 쿨링 플레이트에서 기판이 접촉되는 면에 설치된 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치는,
    상기 기판의 하부에 마스크가 합착되고, 이 마스크는 마스크 프레임에 지지될 때,
    상기 유동 방지체는 상기 기판 지지대에 설치되되, 상기 마스크 프레임과 마주하는 부분에 설치된 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치는,
    상기 기판에는 마스크와의 정렬 및 합착을 위해 얼라인 마크가 형성되고,
    상기 유동 방지체는 상기 얼라인 마크에 대응되는 부분을 중심으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 유동 방지체는 상기 얼라인 마크를 중심으로 원형 링 형상으로 설치된 것을 특징으로 하는 기판의 움직임을 방지하는 기판 정렬 장치.
  10. 진공 증착이 가능하도록 이루어진 증착 챔버와;
    상기 증착 챔버의 내측 하부에 구성되어 증착 물질을 공급하는 증발원과;
    상기 증착 챔버의 내측 상부 쪽에 구성되어 기판과 마스크를 지지하는 동시에 정렬 및 합착하는 것으로, 청구항 7 내지 청구항 9 중 어느 하나의 기판 정렬 장치를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190114077A (ko) * 2018-03-29 2019-10-10 한국과학기술원 쉐도우 마스크 자가 정렬 시스템 및 방법

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