KR101446459B1 - 디스플레이 기판 지지장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 지지하는 플레이트와, 플레이트 상에 구비되어 기판이 부착될 수 있도록 점착력을 제공하는 복수의 점착척을 포함하며, 점착척은 플레이트 상에 고정되는 베이스부와, 베이스부에 구비되며 디척킹 역할을 수행하는 리프트 핀이 통과할 수 있도록 마련되는 관통홀과, 관통홀 주위에 배치되되, 관통홀의 중심으로부터 서로 다른 거리만큼 이격되어 있도록 복수의 열로 배치되는 점착돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 기판 지지장치를 제공한다.

Description

디스플레이 기판 지지장치{A display substrate supporting device}
본 발명은 디스플레이 기판 지지장치에 관한 것으로서, 상세하게는 유리 기판을 평평하게 붙잡아 줄 수 있고, 점착 영역에 따라서 서로 다른 점착력을 제공함으로써, 기판의 점착해제가 보다 원활하게 이루어질 수 있는 디스플레이 기판 지지장치에 관한 것이다.
일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diode)는 유기EL이라고도 불리는데, 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다.
OLED를 활용해 TV나 휴대전화의 디스플레이를 만들거나 조명 기구를 생산할 때 필요한 장비가 OLED 증착 장비이다.
OLED 증착 장비는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는데 사용되는 장비로서, OLED 생산을 위한 핵심장비이다.
OLED 제조용 증착 장비는 주로 진공 열 증착장비(Thermal evaporation system)가 이용되는데, 일반적으로 증착 챔버의 상부에 기판이 도입되어 증착이 이루어지는 증착 공간부가 마련되고, 그 하부에 증착 물질을 공급하는 소스(source) 및 소스를 가열하는 가열 장치 등이 구비된다.
이와 같은 진공 열 증착장비는 증착 공간부에 기판이 위치된 상태에서 소스에서 증발된 유기물(무기물도 가능)이 제공되어 기판에 유기물질을 증착할 수 있도록 구성되는 것이다.
특히 기판은 마스크와 합착된 상태에서 증착이 이루어지는데, 증착 챔버 내에 마스크가 세팅되어 있는 조건에서 기판만 투입하는 방식, 증착 챔버 외부에서 기판과 마스크를 합착하여 증착 챔버 내에 투입하는 방식 등이 있다.
어느 경우든 기판은 이를 지지하는 모듈에 세팅된 상태에서 증착 챔버 내에 투입되는 것이 일반적이다.
기판을 모듈에 세팅하는 방식은 여러 가지 방식이 있는데, 그 중 하나가 점착 플레이트를 이용한 방식으로, 점착 플레이트에 기판을 고정한 상태로 증착 챔버 내에 투입하고, 증착 챔버 내의 고진공 환경에서 기판에 유기물질을 증착하게 된다.
이러한 점착 플레이트를 이용하여 기판을 고정하고 지지하는 방식에서는, 기판이 대형화됨에 따라 보다 안정적으로 기판을 지지할 필요성이 요구되고 있다.
점착 플레이트를 이용해서 기판을 지지하는 장치는 한국공개특허 10-2012-0106091에 개시되고 있다.
OLED 제조용 증착 챔버는 고진공 상태 및 고온 환경에서 증착이 이루어지는바, 점착 플레이트에 구비된 모든 점착 부재(또는 점착척)가 동일한 점착력을 갖도록 구성되기 때문에 점착력이 전체적으로 너무 크거나 약할 경우에 기판이 점착 플레이트로부터 쉽게 분리되지 않거나, 반대로 기판이 점착 플레이트에서 떨어지면서 기판이 파손될 수 있는 문제점이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판에 대한 핸들링이 정밀하게 이루어질 수 있고, 전체적으로 기판에 대한 점착해제가 용이하게 이루어질 수 있는 디스플레이 기판 지지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판을 지지하는 플레이트와; 상기 플레이트 상에 구비되어 상기 기판이 부착될 수 있도록 점착력을 제공하는 복수의 점착척을 포함하며, 상기 점착척은; 상기 플레이트 상에 고정되는 베이스부와; 상기 베이스부에 구비되며 디척킹 역할을 수행하는 리프트 핀이 통과할 수 있도록 마련되는 관통홀과; 상기 관통홀 주위에 배치되되, 상기 관통홀의 중심으로부터 서로 다른 거리만큼 이격되어 있도록 복수의 열로 배치되는 점착돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 기판 지지장치를 제공한다.
본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치는 상기 베이스부를 상기 플레이트에 고정시키며 상호 이격되어 있는 복수의 고정나사를 더 포함하고, 상기 점착돌기는 상기 고정나사 사이에 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 점착돌기는 상기 관통홀의 중심으로부터 제1거리만큼 이격되어 있는 제1열의 점착돌기와, 상기 제1거리보다 상대적으로 먼 제2거리만큼 이격되어 있는 제2열의 점착돌기를 포함하되, 상기 점착돌기가 상기 기판에 점착되어 있는 상태에서 상기 리프트 핀이 상기 기판을 밀어서 점착을 해제하는 경우, 상기 제1열의 점착돌기가 상기 제2열의 점착돌기보다 먼저 기판으로부터 떨어지도록 마련되는 것을 특징으로 한다.
상기 관통홀은 원형 또는 십자 형태로 마련되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 기판을 지지하는 플레이트와; 상기 플레이트 상에 구비되어 상기 기판이 부착될 수 있도록 점착력을 제공하는 복수의 점착척을 포함하며, 상기 점착척은; 상기 플레이트 상에 고정되는 베이스부와; 상기 베이스부에 구비되며 디척킹 역할을 수행하는 리프트 핀이 통과할 수 있도록 마련되는 관통홀과; 상기 관통홀 주위에 배치되되, 상기 관통홀의 중심으로부터 서로 다른 거리만큼 이격되어 있도록 복수의 열로 배치되는 점착돌기를 포함하되, 상기 점착돌기는 상기 관통홀의 중심으로부터 제1거리만큼 이격되어 있는 제1열의 점착돌기와, 상기 제1거리보다 상대적으로 먼 제2거리만큼 이격되어 있는 제2열의 점착돌기를 포함하고, 상기 제1열의 점착돌기의 수량보다 상기 제2열의 점착돌기의 수량이 많게 배치되며, 상기 점착돌기가 기판에 점착되어 있는 상태에서 상기 리프트 핀이 상기 기판을 밀어서 점착을 해제하는 경우, 상기 제1열의 점착돌기가 상기 제2열의 점착돌기보다 먼저 상기 기판으로부터 떨어지도록 마련되는 것을 특징으로 한다.
이러한 본 발명에 의하면, 개별적인 점착척에 마련되는 점착돌기들이 모두 관통홀의 중심으로부터 동일한 거리만큼 이격되는 것이 아니라, 서로 다른 거리만큼 이격되므로 기판에 대한 디척킹이 일어나는 경우, 관통홀에서 가까운 점착돌기부터 떨어지게 된다.
특히, 관통홀에서 가까운 점착돌기의 수량보다 관통홀에서 먼 점착돌기의 수량이 많기 때문에, 디척킹시 관통홀에서 가까움 점착돌기에서 먼저 떨어질 수 있어서, 기판의 효과적인 디척킹을 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 지지장치를 구성하는 플레이트 상에 복수의 영역에 따라서 점착척이 배열되며, 그 점착력은 외곽에서 중심으로 갈수록 약해진다.
따라서, 기판에 대한 디척킹시 기판의 중심부터 떨어지기 시작하므로, 보다 정밀한 기판 제어가 가능해진다.
도1은 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치가 구비된 기판 제조용 장비의 개략도이다.
도2는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 평면도이다.
도3은 본 발명에 의한 점착척의 평면도 및 측단면도이다.
도4는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제1영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도5는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제2영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도6는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제3영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도7은 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제4영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
또한, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 이외의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 실시예들을 첨부 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도1은 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치가 구비된 기판 제조용 장비의 개략도이다.
도1에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치는 기판(S)이 도입되어 증착이 이루어지는 증착 챔버(20)가 구비된다.
여기서 디스플레이용 기판은 OLED용 유리기판이 대표적이나, 이에만 한정되지 않는다.
증착 챔버(20)의 내부에는 상측 공간에 기판(S)이 위치되고, 하측 공간에 유기물 또는 무기물로 이루어진 증착 물질을 공급하는 증착물질 공급장치(30)가 위치되게 구성되는 것이 바람직하다.
하지만 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 하측 공간에 기판(S)이 위치되고 상측 공간에 증착물질 공급장치(30)가 위치되게 구성되거나, 기판(S)이 수직 또는 경사 방향으로 배치된 상태에서 기판(S)의 앞쪽에 증착물질 공급장치(30)가 위치되게 구성되는 것도 가능하다.
또한, 증착 챔버(20)는 내부에 유기물이 기판(S)에 증착되는 두께의 정도를 측정할 수 있는 두께 측정 센서(40)를 포함할 수 있고, 상부 양쪽에 게이트 밸브(50)를 포함할 수 있다.
이러한 기판(S) 및 증착물질 공급장치(30)의 배치 구성은 실시 조건에 따라 공지의 구조를 이용하여 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
기판(S)은 디스플레이용 기판 지지장치(10)에 일체로 세팅된 상태로 증착 챔버(20) 내에 투입되는 것이 바람직하고, 이때 기판(S)은 마스크와 합착된 상태로 투입되거나 또는 증착 챔버(20) 내에서 마스크와 합착이 이루어진다. 본 실시예의 도면에서는 마스크는 생략하고 도시하였다.
또한, 디스플레이용 기판 지지장치(10)는 증착 챔버(20) 내에서 이송 구조물 또는 지지 구조물에 지지된 상태로 위치되는 것이 바람직하다.
도2는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 평면도이다.
도2에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치(10)는 소정의 면적을 갖는 플레이트(11)와, 플레이트 상에 상호 이격되게 배열되는 복수의 점착척(100)을 구비한다.
복수의 점착척(100)은 행과 열을 맞추어 플레이트(11) 상에 배열된다.
한편, 점착된 기판이 보다 효과적으로 디척킹(dechucking) 되도록 점착척(100)의 점착력은 플레이트(11)의 외곽에서 중심으로 갈수록 작아지는 할 수 있다.
이는 특정 디스플레이용 기판 지지장치(10)에 포함되는 점착척(100)이 구비하는 점착돌기의 수량(개수)를 중심부에 배치되는 점착척(100)에는 적게 포함되고, 중심부에서 바깥쪽에 배치되는 점착척(100)에는 더 많이 포함되게 하여, 디스플레이용 기판 지지장치(10)에 사용되는 점착돌기의 숫자를 줄이고, 기판의 디척킹도 쉽게 할 수 있는 효과가 있다.
이를 위한 점착척(100)의 배열상태에 대한 상세한 설명은 후술한다.
도3은 본 발명에 의한 점착척의 평면도 및 측단면도이다.
도3에서 도시한 바와 같이, 각각의 점착척(100)은 아래와 같은 구성을 갖는다.
점착척(100)은 플레이트(11)에 배치되는 베이스부(110)와, 베이스 부(110) 상에 마련되어 디척킹을 수행하는 리프트 핀(미도시)이 관통하는 관통홀(120)과, 베이스부(110)를 플레이트(11)에 고정시키는 고정나사(130)와, 관통홀(120) 및 고정나사(130)가 배치되는 영역을 제외한 나머지 영역에 배열되는 점착돌기(140)를 포함한다.
베이스부(110)는 그 표면을 아노다이징(anodizing)하여 구성할 수 있다.
한편, 점착돌기(140)는 점착력 제공을 위하여, 실리콘 러버(silicon rubber) 또는 점착력을 갖는 아크릴(acrylic) 소재 등 공지의 점착력을 갖는 모든 소재를 이용하여 구성할 수 있다.
관통홀(120)은 십자 형태로 마련되는 것을 도시하였으나, 이에만 한정되는 것은 아니며 원형 형태로 될 수도 있다.
고정나사(130)는 베이스부 상에 상호 이격되어 복수개로 마련되는 것이 바람직하며, 그 높이는 점착돌기(140)보다 낮게 배치된다.
점착돌기(140)는 복수 개로 마련된다. 특히, 베이스부(110) 표면을 제1사분면 내지 제4사분면으로 구분하는 경우, 각 사분면에는 하나 또는 그 이상의 점착돌기들이 상호 이격되게 마련된다.
도3(a)에서는 각 사분면의 점착돌기(140)들이 관통홀(120)의 중심으로부터 서로 다른 거리를 갖도록 배열되는 것을 도시하였다.
즉, 상기 관통홀(120)에 가장 인접한 제1거리인 제1열에 점착돌기(141)가 마련되고, 그보다 먼거리인 제2거리의 제2열에 점착돌기(142)가 또 마련된다. 이때, 제1열의 점착돌기(141)와 제2열의 점착돌기(142) 각각의 점착력은 동일하다.
그리고, 제1열에 마련되는 점착돌기(141)의 수량보다 제2열에 마련되는 점착돌기(142)의 수량이 더 많을 수 있다.
이는 먼 거리에 있는 점착돌기의 점착력을 높이게 함으로써, 디척킹시 제1열의 점착돌기(141)로부터 먼저 기판이 떨어지고, 순차적으로 제2열의 점착돌기(142)로부터 기판이 떨어지게 하기 위함이다.
따라서, 관통홀(120)이 십자로 배치되거나, 원형으로 배치되고 리프트핀이 구동하여 디척킹하는 경우, 각 사분면에 마련되는 제1열의 점착돌기(141)들에 균등한 해제력을 제공하기 때문에 각 제1열의 점착돌기(141)로부터 기판이 떨어지고, 그 후, 제2열의 점착돌기(142)로부터 기판이 떨어질 수 있다.
즉, 하나의 점착척의 점착돌기로부터 기판이 동시에 떨어지는 것이 아니라, 순차적으로 떨어지도록 함으로써, 기판의 디척킹이 보다 정밀하게 이루어질 수 있다.
이때, 리프트 핀의 실시예로, 리프트 핀이 기판을 디척팅하기 위해서 기판에 접촉하는 단부는 중심이 볼록하게 형성됨으로써 기판에 닿는 부분에 하중이 집중될 수 있게 하여 위와 같이 순차적인 디척킹이 일어나게 하는 것도 가능하다.
도4 내지 도7은 도2에서 나타난 플레이트(11)의 각 영역에 따른 점착척의 배치 상태를 도시한 것이다.
여기서 점착척은 플레이트의 복수 영역에 따라서 배열되며, 그 외곽에서 중심으로 갈수록 점착력이 감소하도록 한다.
본 발명에서는 설명의 편의상 도4와 같은 플레이트(11)에서 최외곽 영역을 제1영역(11-1), 도5와 같이 제1영역(11-1) 내부의 영역을 제2영역(11-2), 도6과 같이 제2영역(11-2) 내부의 영역을 제3영역(11-3), 도7과 같이 제3영역(11-3)의 내부의 영역을 제4영역(11-4)이라고 하여 설명한다. 본 발명은 적어도 2개 이상의 영역을 포함하는 플레이트(11)에 적용 가능하다.
도4는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제1영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도4에서 도시한 바와 같이, 제1영역(11-1)은 큰 사각형 모양을 형성한다.
제1영역(11-1)에 배치되는 점착척(100a)의 점착돌기의 배치상태는 도3과 같다. 즉, 베이스부(110)의 모든 사분면에 제1열의 점착돌기(141)와 제2열의 점착돌기(142)가 마련되고, 제1열의 점착돌기(141)의 수량보다 제2열의 점착돌기(142)의 수량이 많다.
도5는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제2영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도5에서 도시한 바와 같이, 제2영역(11-2)은 제1영역(11-1)이 형성하는 사각형보다 작은 사각형을 형성한다.
제2영역(11-2)에 마련되는 점착척(100b)의 각 사분면 중 플레이트(11)의 중심방향과 인접한 사분면에는 점착돌기가 배치되지 않는다.
특히, 제2영역(11-2) 중 모서리 부분에 마련되는 점착척(100b)은 그 외의 점착척에 비해서 점착돌기가 많이 형성되는데, 모서리 부분에서의 점착력을 높이기 위해서이다.
따라서, 모서리 부분에 마련되는 점착척에는 4개의 사분면 중 3개의 사분면에 점착돌기가 형성된다. 그 외의 점착척에는 4개의 사분면 중 2개의 사분면에만 점착돌기가 형성된다.
점착돌기가 형성되는 사분면상에는 여전히 제1열의 점착돌기(도3참조, 141)와, 제2열의 점착돌기(도3참조, 142)가 있고, 제2열의 점착돌기(142)의 수량이 제1열의 점착돌기의 수량보다 많다.
도6는 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제3영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도6에서 도시한 바와 같이, 제3영역(11-3)은 제2영역(1102)이 형성하는 사각형보다 작은 사각형을 형성한다.
제3영역(11-3)에 배치되는 점착척(100c) 하나하나의 세부적 특징은 제2영역(11-2)의 점착척의 특징과 동일하므로 구체적인 설명은 제2영역(11-2) 점착척의 설명으로 대체한다.
도7은 본 발명에 의한 디스플레이용 기판 지지장치의 제4영역에 마련된 점착척의 평면도이다.
도7에서 도시한 바와 같이, 플레이트(11)의 중심부인 제4영역(11-4)에 배치되는 점착척(100d)은 사각형 모양이 아닌 일자 형태로 마련된다.
제4영역(11-4)에 마련되는 점착척(100d)의 점착돌기는 제1열에만 배열되고, 제2열에는 배열되지 않는 것이 바람직하다.
이는 제4영역에 마련되는 점착척(100d)의 점착력이 최소한도로 필요하기 때문이다.
따라서, 제1영역(11-1) 내지 4영역(11-4)에 마련되는 점착척(100)을 포함하는 디스플에이 기판 지지장치에 기판이 부착된 상태에서, 리프트 핀이 동작하여 기판을 미는 경우, 제4영역(11-4), 제3영역(11-3), 제2영역(11-2), 제1영역(11-1) 순으로 기판이 쉽게 떨어질 수 있다. 이는 디스플에이 기판 지지장치에서 기판을 쉽게 떨어지게 하여 보다 정밀하고, 효과적인 기판의 제어가 가능해진다.
또한, 실시예에 따라서는, 제1영역(11-1) 내지 4영역(11-4)에 마련되는 점착척(100)에 기판이 부착된 상태에서, 리프트 핀이 동작하여 기판을 미는 경우, 제4영역(11-4)의 점착척(100d)에서 제일 먼저 떨어지고, 그 다음 제3영역의 점착척(100c), 제2영역의 점착척(100b), 제1영역의 점착척(100a)으로부터 순차적으로 떨어질 수 있다. 이는 디스플에이 기판 지지장치에서 기판의 중심으로부터 외곽 방향으로 순차적으로 떨어지게 되므로 보다 정밀하고, 효과적인 기판의 제어가 가능해진다.
이상과 같이 본 발명을 도면에 도시한 실시예를 참고하여 설명하였으나, 이는 발명을 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 발명의 상세한 설명으로부터 다양한 변형 또는 균등한 실시예가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 권리범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 결정되어야 한다.
10: 디스플레이 기판 지지장치
11: 플레이트
11-1: 제1영역
11-2: 제2영역
11-3: 제3영역
11-4: 제4영역
20: 증착 챔버
30: 증착물질 공급장치
40: 두께 측정 센서
50: 게이트 밸브
100: 점착척
110: 베이스부
120: 관통홀
130: 고정나사
140: 점착돌기

Claims (5)

  1. 기판을 지지하는 플레이트와;
    상기 플레이트 상에 구비되어 상기 기판이 부착될 수 있도록 점착력을 제공하는 복수의 점착척을 포함하며,
    상기 점착척은;
    상기 플레이트 상에 고정되는 베이스부와;
    상기 베이스부에 구비되며 디척킹 역할을 수행하는 리프트 핀이 통과할 수 있도록 마련되는 관통홀과;
    상기 관통홀 주위에 배치되되, 상기 관통홀의 중심으로부터 서로 다른 거리만큼 이격되어 있도록 복수의 열로 배치되는 점착돌기를 포함하되,
    상기 점착돌기는 상기 관통홀의 중심으로부터 제1거리만큼 이격되어 있는 제1열의 점착돌기와, 상기 제1거리보다 상대적으로 먼 제2거리만큼 이격되어 있는 제2열의 점착돌기를 포함하고,
    상기 제1열의 점착돌기와 상기 제2열의 점착돌기 각각의 점착력은 동일하고,
    상기 제1열의 점착돌기의 수량보다 상기 제2열의 점착돌기의 수량이 많게 배치되며,
    상기 점착돌기가 기판에 점착되어 있는 상태에서 상기 리프트 핀이 상기 기판을 밀어서 점착을 해제하는 경우, 상기 제1열의 점착돌기가 상기 제2열의 점착돌기보다 먼저 상기 기판으로부터 떨어지도록 마련되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 지지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스부를 상기 플레이트에 고정시키며 상호 이격되어 있는 복수의 고정나사를 더 포함하고,
    상기 점착돌기는 상기 고정나사 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 지지장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 관통홀은 원형 또는 십자 형태로 마련되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 기판 지지장치.
  5. 삭제
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