KR20180006231A - 박스 클리너 트레이 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 포장용 박스 세정 시에 건조 성능을 향상시킬 수 있는 박스 클리너 트레이에 관한 것이다.
본 발명은 웨이퍼 포장용 박스의 개방된 일면이 하향하도록 설치되고, 세정용 순수 또는 건조용 청정압축공기가 하측에서 분사되는 공간을 따라 웨이퍼 포장용 박스를 이동시키는 박스 클리너 트레이에 있어서, 메인 프레임; 상기 메인 프레임 하측에 회전 가능하게 연결되고, 상기 웨이퍼 포장용 박스가 매달리도록 상기 웨이퍼 포장용 박스를 잡아주는 파지(把持)수단; 상기 파지수단의 상측에 구비되고, 상기 파지수단을 회전시키는 회전날개; 및 상기 회전날개에 회전용 청정압축공기를 송풍시키는 송풍기;를 포함하는 박스 클리너 트레이를 제공한다.

Description

박스 클리너 트레이 {Box cleaner tray}
본 발명은 웨이퍼 포장용 박스 세정 시에 건조 성능을 향상시킬 수 있는 박스 클리너 트레이에 관한 것이다.
보통, 실리콘 웨이퍼는 최종 세정공정과 검사를 거친 다음, 수지로 사출된 웨이퍼 포장용 박스(Shipping Box)에 담겨진 상태로 출하된다. 이러한 웨이퍼 포장용 박스는 포장 및 수송 과정에서 발생될 수 있는 2차 오염을 방지하기 위하여 박스 클리너(Box Cleaner)에 의해 클리닝 공정을 거치게 된다.
이러한 박스 클리너는 웨이퍼 포장용 박스 전용 세정용 장비로써, 웨이퍼 포장용 박스 부품들을 구분 세정하기 위한 전용 지그(Jig)인 트레이(Tray)를 비롯하여 세정을 위하여 순수(Deonized Water : DIW)를 분사하는 노즐과, 건조를 위하여 고온의 청정건조공기(Clean Dry Air : CDA)를 분사하는 노즐을 포함할 수 있다.
도 1은 일반적인 웨이퍼 포장용 박스가 도시된 도면이고, 도 2는 도 1의 웨이퍼 포장용 박스 내부에 웨이퍼가 접촉되는 지점이 표시된 도면이다.
일반적인 웨이퍼 포장용 박스는 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이 상면이 개방된 본체와, 상기 본체에 개폐 가능하게 설치된 뚜껑을 포함하는데, 상기 본체의 양측 면과 하단 일부에 걸쳐 빗살무늬 형태의 복수개의 리테이너(retainer)가 구비되고, 상기 리테이너들 사이에 형성된 홈에 웨이퍼들의 양측 및 하단이 지지된다.
물론, 웨이퍼의 오염을 방지하기 위하여 웨이퍼가 상기 리테이너와 접촉되는 것을 최소화하는 것이 필요하며, 이를 위하여 상기 리테이너에는 웨이퍼의 양측과 하단에 걸쳐 네 군데의 접촉되는 지점이 형성된다.
따라서, 상기 리테이너의 접촉 지점에는 웨이퍼의 표면에 잔류하는 금속 오염 등이 묻을 수 있고, 상기 리테이너의 접촉 지점이 깨끗하게 세정 및 건조되는 것이 필요하다.
상기와 같은 웨이퍼 포장용 박스는 트레이에 안착된 다음, 여러 공정 라인을 따라 이동되고, 해당 공정 존에서 해당 공정이 진행된다.
도 3은 종래 기술의 박스 클리너 트레이가 도시된 도면이다.
종래의 박스 클리너 트레이는 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼 포장용 박스(10)의 개방된 상면이 하향하게 위치하는데, 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)는 뒤집어진 상태에서 지지봉(31)에 걸쳐짐과 동시에 상측의 가압부재(32)에 의하여 눌려지도록 설치된다.
그러나, 종래 기술에 따른 박스 크리너 트레이는 웨이퍼 포장용 박스를 고정된 상태로 지지하기 때문에 웨이퍼 포장용 박스 내부에 빗살무늬 형상의 리테이너들 사이의 공간이 협소한 것을 고려할 때 세정 공정 시 건조하더라도 웨이퍼 포장용 박스 내부를 완전히 건조하기 어려운 실정이다.
나아가, 웨이퍼 포장용 박스 내부에 리테이너에 물기가 잔존하는 상태에서 다른 웨이퍼가 안착되면, 웨이퍼 상에 LLS(Localized Light Scatterers) pattern이 발생되기 때문에 웨이퍼 품질을 저하시키는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼 포장용 박스 세정 시에 건조 성능을 향상시킬 수 있는 박스 클리너 트레이를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 웨이퍼 포장용 박스의 개방된 일면이 하향하도록 설치되고, 세정용 순수 또는 건조용 청정압축공기가 하측에서 분사되는 공간을 따라 웨이퍼 포장용 박스를 이동시키는 박스 클리너 트레이에 있어서, 메인 프레임; 상기 메인 프레임 하측에 회전 가능하게 연결되고, 상기 웨이퍼 포장용 박스가 매달리도록 상기 웨이퍼 포장용 박스를 잡아주는 파지(把持)수단; 상기 파지수단의 상측에 구비되고, 상기 파지수단을 회전시키는 회전날개; 및 상기 회전날개에 회전용 청정압축공기를 송풍시키는 송풍기;를 포함하는 박스 클리너 트레이를 제공한다.
본 발명에 따른 박스 클리너 트레이는 파지수단이 웨이퍼 포장용 박스가 매달리도록 웨이퍼 포장용 박스를 잡아주고, 파지수단과 연결된 회전날개가 회전용 청정압축공기에 의해 회전되면, 파지수단에 고정된 웨이퍼 포장용 박스를 회전시킬 수 있다.
따라서, 웨이퍼 포장용 박스를 회전시키는 중에 그 내부를 건조시키기 때문에 웨이퍼 포장용 박스의 내부에 건조 성능을 향상시킬 수 있고, 웨이퍼 포장용 박스에 수용되는 웨이퍼의 오염을 방지하여 웨이퍼의 품질을 안정화시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 일반적인 웨이퍼 포장용 박스가 도시된 도면.
도 2는 도 1의 웨이퍼 포장용 박스 내부에 웨이퍼가 접촉되는 지점이 표시된 도면.
도 3은 종래 기술의 박스 클리너 트레이가 도시된 도면.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 박스 클리너 트레이가 도시된 정면도 및 평면도.
이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. 다만, 본 실시예가 개시하는 사항으로부터 본 실시예가 갖는 발명의 사상의 범위가 정해질 수 있을 것이며, 본 실시예가 갖는 발명의 사상은 제안되는 실시예에 대하여 구성요소의 추가, 삭제, 변경 등의 실시변형을 포함한다고 할 것이다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 박스 클리너 트레이가 도시된 정면도 및 평면도이다.
본 발명의 박스 클리너 트레이는 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이 웨이퍼 포장용 박스를 회전시키도록 구성하는데, 세정 및 건조 공정에서 분사되는 세정용 순수 및 건조용 청정압축공기와 간섭을 최소화하기 위하여 웨이퍼 포장용 박스(10)의 개방된 일면이 하향된 상태에서 매달리도록 파지하게 구성된다.
상세하게, 상기 박스 클리너 트레이는 메인 프레임(110)과, 파지수단(120)과, 회전날개(130) 및 송풍기를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 메인 프레임(110)은 상기 파지수단(120)과 회전날개(130) 및 송풍기가 장착될 수 있도록 구성되며, 여러 공정을 따라 이동될 수 있다.
상기 파지수단(120)은 상기 메인 프레임(110)의 하측에 구비되고, 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)의 개방된 일면이 하향한 상태에서 매달리도록 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)를 파지하도록 구성된다.
실시예에서, 상기 파지수단(120)은 연결 프레임(121) 하측에 네 개의 파지 프레임(122)이 소정 각도로 회전 가능하게 구비되는데, 상기 연결 프레임(121)이 상기 프레임(110) 하측에 볼 베어링(B)에 의해 회전 가능하게 설치된 회전축(123)과 연결됨으로써, 상기 프레임(110) 하측에 수평 방향으로 회전 가능하게 설치된다.
상세하게, 상기 파지 메인 프레임(122)은 측면 지지부(122a)와, 회전부(122b)와, 하단 지지부(122c)로 구성될 수 있다.
상기 측면 지지부(122a)는 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)의 사방 측면과 접촉하는데, 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)의 측면 모양에 따라 일부만 접촉하여 지지되거나, 소정의 완충 부재 형태로 구성하여 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)의 측면 모양이 다양하게 변경되더라도 밀착하여 지지하도록 구성될 수 있다.
상기 회전부(122b)는 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)의 상측과 간섭되지 않도록 상기 측면 지지부(122a)의 상측에 일체로 상향 경사지게 구비되고, 그 상단이 소정의 회전 각도로 회전 가능하게 연결되는데, 수동 또는 자동으로 그 회전 각도를 조절할 수 있다.
상기 하단 지지부(122c)는 상기 측면 지지부(122a)의 하측에 일체로 구비되고, 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)의 개방된 일면 하단을 지지하는데, 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)의 개방된 일면 하단 두께만큼 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)의 내측 방향으로 절곡될 수 있다.
상기와 같은 파지 프레임(122)은 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)를 오염시키지 않는 재질로 구성되는데, 그 중 하단 지지부(123)는 상기 웨이퍼 포장 박스(10)를 완충 지지할 수 있도록 소정의 탄성 재질을 가지도록 구성될 수 있다.
따라서, 상기 회전부(122b)의 상단이 상기 웨이퍼 포장 박스(10)의 내측 방향으로 회전하면, 상기 측면 지지부(122a)와 하단 지지부(122c)가 상기 웨이퍼 포장 박스(10)의 측면과 하단을 지지하기 때문에 네 개의 파지 프레임(122)이 상기 웨이퍼 포장용 박스(10)를 매달린 상태로 파지할 수 있다.
상기 회전날개(130)는 상기 파지수단(130)의 상측에 구비되고, 상기 파지수단(120)을 회전시킬 수 있도록 구성된다.
실시예에서, 상기 회전날개(130)는 원형 회전 프레임(131) 둘레에 복수개의 날개(132)가 구비되는데, 상기 메인 프레임(110)과 간섭되지 않도록 상기 연결 프레임(121)의 상측에 설치된다.
물론, 상기 회전날개(130)는 모터에 의해 구동될 수 있지만, 회전용 청정압축공기를 송풍시키는 송풍기에 의해 구동시킴으로써, 상기 웨이퍼 포장 박스(10)를 세정 및 건조하기 위하여 사용되는 청정압축공기를 이용할 뿐 아니라 오염 소스를 줄일 수 있다.
상기와 같이 구성된 박스 클리너 트레이는 웨이퍼 포장 박스(10)의 개방된 일면이 하향한 상태로 로딩되면, 상기 파지 프레임들(122)이 내측 방향으로 회전하고, 상기 파지 프레임들(122)이 상기 웨이퍼 포장 박스(10)의 사면 측면에서 파지함에 따라 상기 웨이퍼 포장 박스(10)가 매달린 상태로 고정된다.
이후, 세정 공정이 진행되면, 세정용 순수와 건조용 청정압축공기가 상기 박스 클리너 트레이 하측에서 분사되고, 상기 웨이퍼 포장 박스(110)를 세정 및 건조하게 된다.
이때, 상기 송풍기로부터 회전용 청정압축공기가 상기 회전날개(130)로 송풍되면, 상기 회전날개(130)가 회전됨에 따라 상기 연결 프레임(121)과 파지 프레임들(122)도 같이 상기 회전축(123)을 중심으로 회전된다.
따라서, 상기 웨이퍼 포장 박스(10) 내부에 협소한 공간으로도 건조용 청정압축공기가 공급되도록 함으로써, 세정 시에 건조 성능을 향상시킬 수 있고, 이러한 세정 및 건조 완료된 웨이퍼 포장용 박스에 웨이퍼를 포장하더라도 웨이퍼의 오염을 방지하는 동시에 웨이퍼의 품질을 안정화시킬 수 있다.
110 : 메인 프레임 120 : 파지수단
121 : 연결 프레임 122 : 파지 프레임
123 : 회전축 130 : 회전날개
131 : 회전 프레임 132 : 날개

Claims (6)

  1. 웨이퍼 포장용 박스의 개방된 일면이 하향하도록 설치되고, 세정용 순수 또는 건조용 청정압축공기가 하측에서 분사되는 공간을 따라 웨이퍼 포장용 박스를 이동시키는 박스 클리너 트레이에 있어서,
    메인 프레임;
    상기 메인 프레임 하측에 회전 가능하게 연결되고, 상기 웨이퍼 포장용 박스가 매달리도록 상기 웨이퍼 포장용 박스를 잡아주는 파지(把持)수단;
    상기 파지수단의 상측에 구비되고, 상기 파지수단을 회전시키는 회전날개; 및
    상기 회전날개에 회전용 청정압축공기를 송풍시키는 송풍기;를 포함하는 박스 클리너 트레이.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 파지수단은,
    상기 연결 프레임 하측에 구비되고, 상기 웨이퍼 포장용 박스의 사방 측면을 잡아주는 네 개의 파지 프레임을 포함하는 박스 클리너 트레이.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 파지 프레임은,
    상기 웨이퍼 포장용 박스의 측면과 접촉하는 측면 지지부와,
    상기 측면 지지부의 상측에 일체로 구비되고, 상기 웨이퍼 포장용 박스의 상측과 간섭되지 않도록 상기 웨이퍼 포장용 박스의 외측 방향으로 소정의 회전 각도로 회전 가능하게 연결된 회전부와,
    상기 측면 지지부의 하측에 일체로 구비되고, 상기 웨이퍼 포장용 박스의 개방된 일면 하단을 지지하는 하단 지지부들를 포함하는 박스 클리너 트레이.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하단 지지부는,
    탄성 재질로 구성되는 박스 클리너 트레이.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 하단 지지부는,
    상기 웨이퍼 포장용 박스의 개방된 일면 하단 두께만큼 상기 웨이퍼 포장용 박스의 내측 방향으로 절곡된 박스 클리너 트레이.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 파지수단은,
    상기 메인 프레임 하측에 볼 베어링에 의해 회전 가능하게 설치된 회전축과,
    상기 회전축과 파지 프레임 사이를 연결하는 연결 프레임을 포함하고,
    상기 메인 프레임 하측에 수평 방향으로 회전 가능하게 설치되는 박스 클리너 트레이.
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