KR20180002342A - 연마 휠 드레싱 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치는, 상기 연마 휠의 표면에서 일부와 연마 휠의 일 측과 접촉 가능하도록 배치된 드레싱 스톤; 상기 드레싱 스톤에 연결되어 상기 드레싱 스톤을 회전시키는 구동부; 상기 구동부에 연결되어, 상기 드레싱 스톤을 상기 연마 휠에 대하여 이송시키는 이송부; 및 상기 이송부에 연결되어, 상기 드레싱 스톤에 의해 상기 연마 휠에 가해지는 압력을 측정하는 압력 측정부;를 포함하고, 상기 구동부의 구동축은 상기 연마 휠의 수평축과 나란히 이격 배치되어, 상기 연마 휠의 표면에서 나머지 일부는 상기 드레싱 스톤과 비접촉하며, 상기 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터에 의해 상기 이송부에서 이송방향 또는 이송 거리가 실시간으로 제어될 수 있다.

Description

연마 휠 드레싱 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR DRESSING GRINDING WHEEL}
본 발명은 연마 휠 드레싱 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 드레싱 작업 시 연마 휠에 가해지는 부하를 최소화할 수 있는 연마 휠 드레싱 장치 및 방법에 관한 것이다.
대형 LCD 패널 글래스의 가장자리(edge) 연마를 위해 주로 사용되는 금속 연마 휠(metal grinding wheel)은 다이아몬드 입자와 이 입자를 고정시키는 역할을 하는 금속 결합(metal bond) 소재로 구성되어 있다.
이러한 연마 휠 표면은 글래스 가장자리(Glass edge) 부분을 곡면으로 형성시키기 위한 타원형의 홈(Groove) 형태로 굴곡을 이루고 있다. 이러한 금속 결합 휠(metal bond wheel)이 연마공정 설비에 체결되어 일정 매수의 패널 글래스 가장자리(Panel glass edge) 연마를 수행하면 드레싱(Dressing) 공정이 요구된다.
이러한 드레싱 공정은 대부분 스틱(stick) 또는 블록(block) 형태로 된 지석과 휠 표면 간의 기계적, 물리적 마찰을 통해 수행하기 때문에 휠 표면 마모를 가속시켜 초기 홈 형상을 잃게 되고, 휠 수명을 저하시켜 휠의 교체를 유발한다. 이러한 연마 휠의 빈번한 교체는 LCD 패널 글래스 제조산업에서 공정 가동률을 저하시키고 제품단가를 상승시키는 주요 원인 중 하나이다.
따라서 효율적인 연마 휠에 대한 드레싱 공정을 효율적으로 수행하기 위한 드레싱 장치가 개발된 필요가 있다.
예를 들어, 2014년 8월 26일에 출원된 KR 10-2014-0111554에는 '드레싱 장치 및 그것을 구비한 화학적 기계적 연마 장치, 그것에 사용되는 드레싱 블록 디스크'에 대하여 개시되어 있다.
일 실시예에 따른 목적은 드레싱 스톤이 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉 가능하여, 연마 휠의 표면에서 나머지 일부를 통해 연마와 동시에(in-process) 연마 휠의 드레싱 작업을 수행할 수 있는 연마 휠 드레싱 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 목적은 압력 측정부 및 이송부에 의해 드레싱 스톤에 의해 연마 휠에 가해지는 부하를 실시간으로 효율적으로 조절하여 드레싱 작업 시 연마 휠에 가해지는 부하를 최소화할 수 있는 연마 휠 드레싱 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 목적은 연마 휠의 수평축, 구동부의 구동축 및 이송부의 구동축이 서로 나란히 배치되어 컴팩트한 구조를 구비하여 효율적으로 드레싱 작업을 수행할 수 있는 연마 휠 드레싱 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치는, 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉 가능하도록 배치된 드레싱 스톤; 상기 드레싱 스톤에 연결되어 상기 드레싱 스톤을 회전시키는 구동부; 상기 구동부에 연결되어, 상기 드레싱 스톤을 상기 연마 휠에 대하여 이송시키는 이송부; 및 상기 이송부에 연결되어, 상기 드레싱 스톤에 의해 상기 연마 휠에 가해지는 압력을 측정하는 압력 측정부;를 포함하고, 상기 구동부의 구동축은 상기 연마 휠의 수평축과 나란히 이격 배치되어, 상기 연마 휠의 표면에서 나머지 일부는 상기 드레싱 스톤과 비접촉하며, 상기 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터에 의해 상기 이송부에서 이송방향 또는 이송 거리가 실시간으로 제어될 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 이송부는, 상기 구동부에 연결된 이송 프레임; 및 상기 이송 프레임에 연결되어 상기 이송 프레임을 이송시키는 공압 액츄에이터;를 포함하고, 상기 공압 액츄에이터의 구동축은 상기 구동부의 구동축에 대하여 나란히 이격 배치될 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 이송부는, 상기 압력 측정부 및 상기 공압 액츄에이터 사이에 연결된 공압 제어부;를 더 포함하고, 상기 공압 제어부는 상기 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터에 의해 상기 공압 액츄에이터에 공급되는 공압의 크기 또는 방향을 조절될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 방법은, 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉 가능하도록 배치된 드레싱 스톤, 상기 드레싱 스톤을 회전시키는 구동부, 상기 드레싱 스톤을 상기 연마 휠에 대하여 이송시키는 이송부 및 상기 드레싱 스톤에 의해 상기 연마 휠에 가해지는 압력을 측정하는 압력 측정부를 포함하는 연마 휠 드레싱 장치가 제공되는 단계; 상기 연마 휠이 드레싱되는 단계; 상기 드레싱 스톤에 의해 상기 연마 휠에 가해지는 압력이 측정되는 단계; 및 상기 드레싱 스톤의 상기 연마 휠에 대한 이송 방향 또는 이송 거리가 조절되는 단계;를 포함하고, 상기 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터에 의해 상기 이송부에서 이송 방향 또는 이송 거리가 실시간으로 제어될 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 구동부의 구동축은 상기 연마 휠의 수평축과 나란히 이격 배치되어, 상기 연마 휠의 표면에서 나머지 일부는 상기 드레싱 스톤과 비접촉하고, 상기 이송부는 상기 구동부를 상기 구동부의 구동축을 따라 이송시켜 상기 연마 휠 및 상기 드레싱 스톤 사이의 거리를 조절할 수 있다.
일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치 및 방법에 의하면, 드레싱 스톤이 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉 가능하여, 연마 휠의 표면에서 나머지 일부를 통해 연마와 동시에(in-process) 연마 휠의 드레싱 작업을 수행할 수 있다.
일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치 및 방법에 의하면, 압력 측정부 및 이송부에 의해 드레싱 스톤에 의해 연마 휠에 가해지는 부하를 실시간으로 효율적으로 조절하여 드레싱 작업 시 연마 휠에 가해지는 부하를 최소화할 수 있다.
일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치 및 방법에 의하면, 연마 휠의 수평축, 구동부의 구동축 및 이송부의 구동축이 서로 나란히 배치되어 컴팩트한 구조를 구비하여 효율적으로 드레싱 작업을 수행할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치의 단면도이다.
도 2는 이송부의 작동을 제어하기 위한 공압 회로도를 도시한다.
도 3은 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 방법을 나타내는 순서도이다.
이하, 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치의 단면도이고, 도 2는 이송부의 작동을 제어하기 위한 공압 회로도를 도시한다.
도 1을 참조하여, 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치(10)는 드레싱 스톤(100), 구동부(200), 이송부(300) 및 압력 측정부(400)를 포함할 수 있다.
연마 장치(1)의 일 측에는 피가공물을 연마하는 연마 휠(A)이 장착될 수 있다. 상기 연마 휠(A)은 예를 들어 환형으로 마련될 수 있으며, 상기 연마 장치(1)의 단부는 상기 연마 휠(A)이 안정적으로 장착되도록 형성될 수 있다.
또한, 연마 휠(A)의 중심을 관통하여 수평축(X1) 및 상기 수평축(X1)과 직교하는 수직축(Y)이 형성될 수 있다. 드레싱 스톤(100), 구동부(200), 이송부(300) 및 압력 측정부(400)의 배치는 수평축(X1) 및 수직축(Y)과 관련될 수 있으며, 이하에서 상술된다.
이때, 연마 휠(A)에서 드레싱이 요구되는 일면 또는 표면은 상기 드레싱 스톤(100)을 향하도록 배치될 수 있다. 다시 말해서, 상기 드레싱 스톤(100)은 연마 휠(A)의 표면과 접촉 가능하도록 배치될 수 있다.
상기 드레싱 스톤(200)은 연마 휠(A)을 드레싱하기에 적합하도록 연마 휠(A)보다 굳기가 큰 재질로 마련될 수 있다.
구체적으로, 드레싱 스톤(100)은 연마 휠(A)의 표면에서 일부와만 접촉 가능하도록 배치될 수 있고, 연마 휠(A)의 표면에서 나머지 일부와는 비접촉될 수 있다.
예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이 드레싱 스톤(100)이 연결된 구동부(200)의 구동축(X2)이 연마 휠(A)의 수평축(X1)의 상부에 나란히 이격 배치된 경우, 드레싱 스톤(100)은 연마 휠(A)의 표면에서 상부와 접촉 가능한 반면, 연마 휠(A)의 하부와는 비접촉될 수 있다.
이러한 드레싱 스톤(100) 및 연마 휠(A)의 배치에 의해 연마 휠(A)에 의해 연마 공정과 동시에 연마 휠(A)의 드레싱 공정이 수행될 수 있다. 이는 연마 휠(A)에 의한 효과적인 연마 공정을 유도할 수 있다.
또한, 도 1에는 드레싱 스톤(100)이 연마 휠(A)의 표면에서 상부와 접촉 하고, 연마 휠(A)의 표면에서 하부와는 비접촉하는 것으로 도시되었으나, 드레싱 스톤(100)이 연마 휠(A)의 표면에서 하부와 접촉하고, 연마 휠(A)의 표면에서 상부와는 비접촉할 수 있음은 당연하다.
한편, 드레싱 스톤(100)에는 구동부(200)가 연결될 수 있다.
예를 들어, 상기 구동부(200)는 드레싱 모터(dressing motor; 210) 및 드레싱 스핀들(dreesing spindle; 220)을 포함할 수 있다.
이때, 드레싱 모터(210), 드레싱 스핀들(220) 및 드레싱 스톤(100)은 동축, 예를 들어 구동부(200)의 구동축(X2) 상에서 서로 결합되도록 배치될 수 있다.
전술된 바와 같이 상기 구동부(200)의 구동축(X2)은 연마 휠(A)의 수평축(X1)보다 상부 또는 하부에 나란히 이격 배치될 수 있다. 드레싱 스핀들(220)을 관통하여 수직축(Y)이 연장될 수 있다.
상기 드레싱 모터(210)는 전기 에너지를 회전력으로 변환시킬 수 있고, 드레싱 모터(210)에서 발생된 회전력은 드레싱 스핀들(220)을 통해 드레싱 스톤(100)에 전달될 수 있다.
이에 의해 드레싱 공정 동안 드레싱 스톤(100)이 연마 휠(A)과 접촉한 상태에서 회전할 수 있다.
또한, 드레싱 스톤(100)은 이송부(300)에 의해 연마 휠(A)에 대하여 이송될 수 있다.
예를 들어, 이송부(300)는 구동부(200)에 연결된 이송 프레임(310) 및 이송 프레임(310)에 연결되어 이송 프레임(310)을 이송시키는 공압 액츄에이터(320)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 공압 액츄에이터(320)에 의해 이송 프레임(310)이 이송 방향(B)으로 이송되고, 이송 프레임(310)에 연결된 구동부(200), 즉, 드레싱 모터(210) 및 드레싱 스핀들(220)이 이송 방향(B)으로 이송되고, 결과적으로 드레싱 스핀들(220)에 연결된 드레싱 스톤(100)이 이송 방향(B)을 따라 이송될 수 있다.
이때, 이송 방향(B)은 구동부(200)의 구동축(X2)을 따라 형성될 수 있다.
이러한 구동부(200) 및 이송부(300)의 결합 구조에 의해 드레싱 스톤(100)은 구동부(200)에 의해 회전되면서 동시에 이송 방향(B)을 따라 이송될 수 있다.
예를 들어, 상기 공압 액츄에이터(320)는 에어 실린더로 마련될 수 있으며, 상기 공압 액츄에이터(320)의 구동축(X3)은 구동부(200)의 구동축(X2) 또는 연마 휠(A)의 수평축(X1)으로부터 수직축(Y)을 따라 상방으로 이격 배치될 수 있으며, 연마 휠(A)의 수평축(X1), 구동부(200)의 구동축(X2) 및 공압 액츄에이터(320)의 구동축(X3)은 서로 나란히 이격 배치될 수 있다.
또한, 공압 액츄에이터(320)에 공급되는 공압을 제어함으로써 이송 프레임(310)의 이송 방향 또는 이송 거리를 변화시킬 수 있다.
이를 위해 이송부(300)는 압력 측정부(400) 및 공압 액츄에이터(320) 사이에 연결된 공압 제어부(330)를 더 포함할 수 있다.
특히 도 2를 참조하여, 상기 공압 제어부(330)는 압력 측정부(400)에서 측정된 압력 데이터에 기초하여 공압 액츄에이터(320)에 공급되는 공압을 조절하는 전공 레귤레이터(332) 및 공압 액츄에이터(320)에 공급되는 공압의 방향을 조절하는 전/후진 방향 밸브(334)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 압력 측정부(400)에서 측정된 압력 데이터가 소정의 수치보다 작은 경우, 전공 레귤레이터(332)에서는 공압 액츄에이터(420)에 더 공급된 유체의 양이 조절되고, 전/후진 방향 밸브(334)는 공압 액츄에이터(320)에서 피스톤이 전진하도록 조절될 수 있다.
반면, 압력 측정부(400)에서 측정된 압력 데이터가 소정의 수치보다 큰 경우, 전공 레귤레이터(332)에서는 공압 액츄에이터(420)에서 제거될 유체의 양이 조절되고, 전/후진 방향 밸브(334)는 공압 액츄에이터(320)에서 피스톤이 후진하도록 조절될 수 있다.
이와 같이 전공 레귤레이터(332)는 공압 액츄에이터(420)에 의한 드레싱 스톤(100)의 이송 거리를 조절하고, 전/후진 방향 밸브(334)는 공압 액츄에이터(420)에 의한 드레싱 스톤(100)의 이송 방향을 조절할 수 있다.
일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치(10)에서는 이송부(400)가 공압으로 작동되는 유압 액츄에이터(fluid pressure actuator)인 공압 액츄에이터(420)를 포함하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 이에 국한되지 아니하며, 예를 들어 오일의 압력(oil pressure)에 의해 작동되는 유압 액츄에이터 또는 전기 모터에 의해 작동되는 액츄에이터와 같이 드레싱 스톤(200)을 연마 휠(A)에 대하여 효과적으로 이송시킬 수 있다면 어느 것이든지 가능하다.
전술된 바와 같이 이송부(400)에는 압력 측정부(500)가 연결될 수 있다.
상기 압력 측정부(400)는 로드 셀로 마련되어 드레싱 스톤(100)에 의해 연마 휠(A)에 가해지는 압력을 측정할 수 있다. 따라서 압력 측정부(400)의 배치는 드레싱 스톤(100)에 의해 연마 휠(A)에 가해지는 압력을 측정할 수 있다면 어느 곳이든지 가능하다.
이때, 압력 측정부(400)는 공압 액츄에이터(320)의 구동축(X3) 상에 연결될 수 있다. 그리고 압력 측정부(400)는 수직축(Y)과 동축 상에 배치될 수 있다. 따라서 연마 휠(A), 드레싱 스핀들(220) 및 압력 측정부(400)가 동축 상에 이격 배치될 수 있다.
이와 같이 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치는 드레싱 스톤이 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉 가능하여, 연마 휠의 표면에서 나머지 일부를 통해 연마와 동시에(in-process) 연마 휠의 드레싱 작업을 수행할 수 있으며, 압력 측정부 및 이송부에 의해 드레싱 스톤에 의해 연마 휠에 가해지는 부하를 실시간으로 효율적으로 조절하여 드레싱 작업 시 연마 휠에 가해지는 부하를 최소화할 수 있다.
이상 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 장치에 대하여 설명되었으며, 이하에서는 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 방법에 대하여 설명된다.
도 3은 일 실시예에 따른 연마 휠 드레싱 방법을 나타내는 순서도이다.
도 3을 참조하여, 연마 휠은 다음과 같이 드레싱될 수 있다.
우선, 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉 가능하도록 배치된 드레싱 스톤, 상기 드레싱 스톤을 회전시키는 구동부, 상기 드레싱 스톤을 상기 연마 휠에 대하여 이송시키는 이송부, 및 상기 드레싱 스톤에 의해 상기 연마 휠에 가해지는 압력을 측정하는 압력 측정부를 포함하는 연마 휠 드레싱 장치가 제공된다(S10).
상기 연마 휠 드레싱 장치의 구성은 전술된 바와 같으므로, 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이어서, 연마 휠이 드레싱된다(S20).
구체적으로, 드레싱 스톤이 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉되도록 이송되고 회전됨으로써, 연마 휠을 드레싱할 수 있다.
이때, 드레싱 스톤에 의해 연마 휠에 가해지는 압력이 측정된다(S30).
구체적으로, 압력 측정부가 로드 셀로 마련되어 이송부에 장착됨으로써, 드레싱 스톤에 의해 연마 휠에 가해지는 압력이 측정될 수 있다.
그런 다음, 드레싱 스톤의 연마 휠에 대한 이송 방향 또는 이송 거리가 조절된다(S40).
예를 들어, 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터에 의해 드레싱 스톤의 연마 휠에 대한 이송 방향 또는 이송 거리가 실시간으로 제어될 수 있다.
압력 측정부에서 측정된 압력 데이터가 소정의 수치보다 작은 경우, 이송부는 구동부를 구동부의 구동축을 따라 좌측 방향으로 이동시켜 연마 휠 및 드레싱 스톤 사이의 거리를 단축시킬 수 있다. 또는 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터가 소정의 수치보다 큰 경우, 이송부는 구동부를 구동부의 구동축을 따라 우측 방향으로 이동시켜 연마 휠 및 드레싱 스톤 사이의 거리를 증가시킬 수 있다. 이와 같이 이송부는 구동부 또는 드레싱 스톤의 이송 방향 및 이송 거리를 동시에 제어할 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10: 연마 휠 드레싱 장치
100: 드레싱 스톤
200: 구동부
210: 드레싱 모터
220: 드레싱 스핀들
300: 이송부
310: 이송 프레임
320: 공압 액츄에이터
330: 공압 제어부
400: 압력 측정부
1: 연마 장치

Claims (5)

  1. 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉 가능하도록 배치된 드레싱 스톤;
    상기 드레싱 스톤에 연결되어 상기 드레싱 스톤을 회전시키는 구동부;
    상기 구동부에 연결되어, 상기 드레싱 스톤을 상기 연마 휠에 대하여 이송시키는 이송부; 및
    상기 이송부에 연결되어, 상기 드레싱 스톤에 의해 상기 연마 휠에 가해지는 압력을 측정하는 압력 측정부;
    를 포함하고,
    상기 구동부의 구동축은 상기 연마 휠의 수평축과 나란히 이격 배치되어, 상기 연마 휠의 표면에서 나머지 일부는 상기 드레싱 스톤과 비접촉하며,
    상기 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터에 의해 상기 이송부에서 이송방향 또는 이송 거리가 실시간으로 제어되는 연마 휠 드레싱 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 구동부에 연결된 이송 프레임; 및
    상기 이송 프레임에 연결되어 상기 이송 프레임을 이송시키는 공압 액츄에이터;
    를 포함하고,
    상기 공압 액츄에이터의 구동축은 상기 구동부의 구동축에 대하여 나란히 이격 배치되는 연마 휠 드레싱 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 압력 측정부 및 상기 공압 액츄에이터 사이에 연결된 공압 제어부;
    를 더 포함하고,
    상기 공압 제어부는 상기 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터에 의해 상기 공압 액츄에이터에 공급되는 공압의 크기 또는 방향을 조절하는 연마 휠 드레싱 장치.
  4. 연마 휠의 표면에서 일부와 접촉 가능하도록 배치된 드레싱 스톤, 상기 드레싱 스톤을 회전시키는 구동부, 상기 드레싱 스톤을 상기 연마 휠에 대하여 이송시키는 이송부 및 상기 드레싱 스톤에 의해 상기 연마 휠에 가해지는 압력을 측정하는 압력 측정부를 포함하는 연마 휠 드레싱 장치가 제공되는 단계;
    상기 연마 휠이 드레싱되는 단계;
    상기 드레싱 스톤에 의해 상기 연마 휠에 가해지는 압력이 측정되는 단계; 및
    상기 드레싱 스톤의 상기 연마 휠에 대한 이송 방향 또는 이송 거리가 조절되는 단계;
    를 포함하고,
    상기 압력 측정부에서 측정된 압력 데이터에 의해 상기 이송부에서 이송 방향 또는 이송 거리가 실시간으로 제어되는 연마 휠 드레싱 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구동부의 구동축은 상기 연마 휠의 수평축과 나란히 이격 배치되어, 상기 연마 휠의 표면에서 나머지 일부는 상기 드레싱 스톤과 비접촉하고,
    상기 이송부는 상기 구동부를 상기 구동부의 구동축을 따라 이송시켜 상기 연마 휠 및 상기 드레싱 스톤 사이의 거리를 조절하는 연마 휠 드레싱 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190091108A (ko) * 2018-01-26 2019-08-05 주식회사 에스에프에이 평면디스플레이용 면취기

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102470290B1 (ko) 2020-11-19 2022-11-25 주식회사 디.에스.케이 피스톤 크라운 그루브 연삭장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06134669A (ja) * 1992-10-24 1994-05-17 Toyota Banmotsupusu Kk 研削砥石用連続ドレッシング装置
JP2009184103A (ja) * 2007-12-19 2009-08-20 Agathon Ag Mas Fab 砥石車を適当な状態にする装置を備えた研磨機及びその方法
KR20100130956A (ko) * 2009-06-04 2010-12-14 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 드레싱장치, 드레싱방법, 및 폴리싱장치
JP2012009692A (ja) * 2010-06-25 2012-01-12 Toshiba Corp ドレス方法、研磨方法および研磨装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06134669A (ja) * 1992-10-24 1994-05-17 Toyota Banmotsupusu Kk 研削砥石用連続ドレッシング装置
JP2009184103A (ja) * 2007-12-19 2009-08-20 Agathon Ag Mas Fab 砥石車を適当な状態にする装置を備えた研磨機及びその方法
KR20100130956A (ko) * 2009-06-04 2010-12-14 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 드레싱장치, 드레싱방법, 및 폴리싱장치
JP2012009692A (ja) * 2010-06-25 2012-01-12 Toshiba Corp ドレス方法、研磨方法および研磨装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190091108A (ko) * 2018-01-26 2019-08-05 주식회사 에스에프에이 평면디스플레이용 면취기

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