JP5335350B2 - 研磨パッドのコンディショナー - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係る液圧・空圧シリンダー式コンディショナー1の概観図である。図2は、液圧・空圧シリンダー式コンディショナー1の制御図である。図3は、液圧・空圧シリンダー式コンディショナー1の一部の拡大図である。
また、ネジシャフト21の中央側面にはシャフト駆動ネジ23が接していて、この駆動ネジ23にはモータ24が直結されている。これにより、駆動ネジ23はモータ24を介してコンディショナー冶具2に取り付けられる構造となる。
2 コンディショナー冶具
3 圧力センサー
4 センサー信号線
5 制御部
6 コンディショナー
11 コンディショナー部
12 コンディショナー本体部
13 コンディショナーシール部
14 シリンダー
15 シリンダー加圧媒体
16 シリンダー加圧装置
17 加圧装置信号線
18 制御信号用配線
21 ネジシャフト
22 ネジシャフト支持部
23 シャフト駆動ネジ
24 モータ
31 コイルシャフト
32 電磁誘電コイル本体
33 コイル
41 研磨液チューブ
42 スラリーまたは純水
43 研磨パッド
44 研磨定盤
Claims (4)
- 一方に研磨パッドの表面粗さの維持及び目詰まりを除去するためのコンディショナー部が設けられ、他方にシリンダーが設けられ、その間に加圧センサーが一体的に設けられた複数のコンディショナー本体部と、
前記シリンダーを稼動して、前記複数のコンディショナー本体部の複数のコンディショナー部の一部又は全部に対し圧力を加える加圧手段と、
前記加圧センサーからのセンサー信号に基づいて前記加圧手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする研磨パッドのコンディショナー。 - 一方に研磨パッドの表面粗さの維持及び目詰まりを除去するためのコンディショナー部が設けられ、他方に機械ネジ手段が設けられ、その間に加圧センサーが一体的に設けられた複数のコンディショナー本体部と、
モータによって前記機械ネジ手段を回転させ、前記複数のコンディショナー本体部の複数のコンディショナー部の一部又は全部に対し圧力を加える加圧手段と、
前記加圧センサーからのセンサー信号に基づいて前記加圧手段の前記モータを制御する制御手段と、
を有することを特徴とする研磨パッドのコンディショナー。 - 一方に研磨パッドの表面粗さの維持及び目詰まりを除去するためのコンディショナー部が設けられ、他方に電磁コイル手段が設けられ、その間に加圧センサーが一体的に設けられた複数のコンディショナー本体部と、
前記電磁コイル手段を励磁して、前記複数のコンディショナー本体部の複数のコンディショナー部の一部又は全部に対し圧力を加える加圧手段と、
前記加圧センサーからのセンサー信号に基づいて前記加圧手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする研磨パッドのコンディショナー。 - 円柱状に構成され、前記コンディショナー部が底面側に露出し、かつ軸線まわりに回転可能に研磨機に取り付けられることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の研磨パッドのコンディショナー。
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