KR20170135708A - 유량 제어 장치 및 유량 제어 장치용 프로그램이 기억된 기억 매체 - Google Patents

유량 제어 장치 및 유량 제어 장치용 프로그램이 기억된 기억 매체 Download PDF

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Abstract

뛰어난 응답성을 가지면서도, 경우에 따라서는, 기존의 유량 제어 장치와 등가인 응답성이 되도록, 오퍼레이터가 용이하게 다운 튜닝할 수 있도록 한다. 측정 유량이 목표 유량에 가까워지도록, 유체 제어 밸브(3)를 피드백 제어하는 유량 제어 장치(100)에 있어서, 설정하고 싶은 응답 지연을 나타내는 값인 응답 지연 설정치를 입력하는 응답 지연 입력부(43)와, 상기 피드백 제어에 있어서의 응답 지연을, 상기 응답 지연 설정치에 따라 발생시키는 응답 지연 생성부(46)를 구비하도록 했다.

Description

유량 제어 장치 및 유량 제어 장치용 프로그램이 기억된 기억 매체{FLOW RATE CONTROL DEVICE AND STORAGE MEDIUM ON WHICH IS STORED A PROGRAM FOR A FLOW RATE CONTROL DEVICE}
본 발명은 예를 들면 반도체 제조 프로세스에 이용되는 재료 가스나 약액(藥液), 세정액 등의 유체 유량을 제어하기 위한 유량 제어 장치 및 유량 제어 장치용 프로그램이 기억된 기억 매체에 관한 것이다.
많은 산업 프로세스에 있어서, 다양한 프로세스 유체의 유량 제어가 필요하게 되어 있고, 그 때문에 프로세스 유체의 유로(流路)상에 유량 제어 장치가 마련되어 있다.
이러한 유량 제어 장치는 프로세스 유체의 유량을 원하는 값(목표 유량)으로 신속하게, 또한 안정하게 제어하는 것이 요구된다. 그 때문에, 특허 문헌 1에 나타내는 것처럼, 종래의 유량(流量) 제어 장치에 있어서는, 예를 들면 유량을 조정하기 위한 밸브나 유량 센서 등에 가능한 한 응답성이 좋은 것을 이용하여, 응답성이나 안정성에 있어서 최대 능력을 발휘할 수 있도록 튜닝된다.
그렇지만, 복수의 프로세스 가스를 각각 유량 제어하면서 이용하는 것 같은 반도체 프로세스 등에 있어서, 기존의 유량 제어 장치를 대신하여, 응답성이 뛰어난 고성능의 유량 제어 장치를 도입하면, 최종 생성물(반도체)이 원하는 사양으로부터 벗어난다고 하는 결함이 생기는 경우가 있다.
본 발명자는 예의 검토한 결과, 그 원인을 밝혀냈다.
즉, 종래는 기존의 유량 제어 장치를 이용하여, 최종 생성물(반도체)이 원하는 사양 성능을 만족하도록 시행 착오에 의해서 프로세스의 레시피가 정해지고 있다. 프로세스의 레시피란, 프로세스 유체에 관해서 말하면, 어느 타이밍에서 어느 만큼의 양의 프로세스 유체를 흘릴지와 같은 것이고, 바꾸어 말하면, 각 프로세스 유체의 목표 유량을 어떻게 설정할지와 같은 것이다.
그러나 실제로 흐르는 프로세스 유체의 유량은, 탁상의 레시피에 나타내어진 목표 유량을 정확하게 추종하고 있는 것은 아니고, 유량 제어 장치의 응답성에 의존하여 약간 지연된 것으로 되어 있다.
따라서 기존의 유량 제어 장치를 고성능인 유량 제어 장치로 치환하면, 목표 유량에 의해 정밀도 좋게 추종하기 때문에, 실제의 유량이 목표 유량을 충분히 추종하고 있지 않은 종래의 유량(실질적인 레시피)과는 상이한 것으로 되어 버려, 최종 생성물이 사양으로부터 벗어날 가능성이 생기는 것이다.
그 때문에, 종래, 유량 제어 장치를 신기종으로 치환하는 등 했을 경우에는, 프로세스 가스의 유량을 실제로 설정하는 현장 오퍼레이터가, 레시피, 즉 목표 유량을 재차 시행 착오에 의해서 수정하지 않으면 안 되어, 특히 다수의 프로세스 유체를 이용하고 있는 경우는, 방대한 시간이 들어 버린다.
특허 문헌 1: 일본 특개 2003－316442호 공보
본원 발명은 이러한 신규 과제를 감안하여, 응답성을 향상시킨다고 하는 종래 관념을 버리고 처음으로 이루어진 것으로서, 뛰어난 응답성을 가지면서도, 경우에 따라서는, 기존의 유량 제어 장치와 등가인 응답성이 되도록, 오퍼레이터가 용이하게 다운 튜닝할 수 있도록 하는 것을 도모한 것이다.
즉, 본 발명에 따른 유량 제어 장치는 측정 유량이 목표 유량에 가까워지도록, 유체 제어 밸브를 피드백 제어하는 것으로서, 유저 오퍼레이터가 설정하고 싶은 응답 지연을 나타내는 값인 응답 지연 설정치를 입력하는 응답 지연 입력부와, 상기 피드백 제어에 있어서의 응답 지연을, 상기 응답 지연 설정치에 따라 발생시키는 응답 지연 생성부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이런 것이라면, 본래라면 속응성(速應性)이 요구되는 유량 제어 장치에 있어서, 억지로 응답 지연을 만들어 낼 수 있고, 그 응답 지연을 유저 오퍼레이터의 설정 입력만으로 정할 수 있다. 따라서 이 유량 제어 장치를, 예를 들면, 기존의 유량 제어 장치와 동등한 응답성으로 설정하여 이것과 치환하는 것을 용이하게 할 수 있게 된다.
상술한 효과, 즉 오퍼레이터가 수시로 응답성 다운 튜닝이 가능하다고 하는 효과는, 종래, 속응성을 추구해 온 유량 제어 장치의 분야에 있어서는 매우 획기적인 것이다.
한편, 입력하는 응답 지연 설정치를 성능 한계까지 작게 하면, 본 유량 제어 장치가 본래 가지는 속응성을 살린 이용도 가능해진다.
구체적인 실시 형태로서는, 상기 응답 지연 설정치가 불감 시간(dead time)을 제외한 일차 지연, 이차 지연 또는 다차 지연을 나타내는 값인 것을 들 수 있다.
유저 오퍼레이터에게 있어서 취급하기 쉬운 응답 지연 설정치로서는, 시정수 등을 들 수 있다.
새롭게 응답 지연을 설정하는 경우는, 과거에 있어서의 응답 지연과 그때의 피드백 제어 계수를 참조함으로써, 연산이 용이하게 된다. 그러기 위해서는, 피드백 제어에 의한 응답 지연을 측정하는 응답 지연 측정부를 추가로 구비하고, 상기 응답 지연 생성부가 상기 응답 지연 측정부에 의해서 측정된 측정 응답 지연과, 그때에 설정되어 있던 피드백 제어 계수에 기초하여, 상기 응답 지연 설정치에 나타내어진 설정 응답 지연이 되는 신규 피드백 제어 계수를 산출하여, 현재 설정되어 있는 피드백 제어 계수를, 상기 신규 피드백 제어 계수로 치환하는 것인 것이 바람직하다.
복잡한 연산을 하는 일 없이, 짧은 시간에 응답 지연을 설정할 수 있도록 하려면, 상기 피드백 제어가 적어도 비례 제어를 포함하는 것이고, IMC를 이용함으로써 불감 시간을 제외한 응답 지연이 일차 지연이 되도록 설정된 것이 바람직하다.
이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 본래라면 속응성이 요구되는 유량 제어 장치에 있어서, 억지로 응답 지연을 만들어 낼 수 있고, 그 응답 지연을 유저 오퍼레이터의 설정 입력만으로 정할 수 있다. 따라서 이 유량 제어 장치를, 예를 들면, 기존의 유량 제어 장치와 동등한 응답성으로 설정하여 이것과 치환하는 것을 용이하게 할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 유량 제어 장치를 나타내는 모식적 전체도이다.
도 2는 동 실시 형태에 있어서의 제어 기구의 기능 블록도이다.
도 3은 동 실시 형태에 있어서의 밸브 제어부의 제어 블록선도이다.
도 4는 동 실시 형태에 있어서의 응답 지연 기억부에 기억된 데이터(구조)를 나타내는 데이터 예시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 제어 블록선도이다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 유량 제어 장치를, 도 1 내지 도 4를 참조하면서 설명한다.
이 유량 제어 장치(100)는, 예를 들면, 반도체 제조용의 각종 재료 가스와 같은 유체가 흐르는 각 공급 유로(도시하지 않음)상에 각각 마련되어, 각 재료 가스의 유량을 소정의 유량으로 제어하기 위해서 이용되는 것이다. 또한, 유체로서는, 가스 이외에, 액체, 슬러리(slurry) 등을 들 수 있다.
보다 구체적으로 설명한다.
이 유량 제어 장치(100)는 도 1 및 도 2에 도시하는 것처럼, 내부에 유로(11)가 형성된 대략 직육면체 형상의 보디(1)와, 상기 보디(1)에 장착된 열식(熱式)의 유량 센서(2) 및 밸브(3)와, 상기 유량 센서(2)로부터의 출력에 기초하여 상기 밸브(3)를 제어하는 제어 기구(4)를 구비하고 있다.
상기 보디(1)는 그 바닥면에 유체를 도입출하기 위한 도입구(12) 및 도출구(13)가 각각 마련되어 있고, 상기 도입구(12)와 상기 도출구(13)의 사이를 잇도록 상기 유로(11)가 형성되어 있다. 이 유로(11)에 대해서 가장 하류측에 상기 밸브(3)가 마련되어 있고, 상기 밸브(3)의 상류에 상기 유량 센서(2)가 마련되어 있다.
상기 유량 센서(2)는 상기 유로(11) 내에 마련된 유체 저항인 분류 소자(21)와, 상기 유로(11)로부터 분기(分岐)하여, 상기 분류 소자(21)의 전후를 우회(迂回)하도록 마련된 세관(細管)(22)과, 상기 세관(22)에 마련된 한쌍의 코일(23a)(도 2에 도시함)로 이루어지고, 유량에 관련되는 값을 검출하는 검출 기구(23)와, 상기 제어 기구(4)의 연산 기능을 이용하여 구성되어, 상기 검출 기구(23)로부터의 출력에 기초하여 유량을 산출하는 유량 산출부(41)로 이루어지는 열식의 것이다.
상술하면, 상기 각 코일(23a)은 전열선(電熱線)이고, 각각이 소정 온도로 유지되도록 온도 제어 회로(도시하지 않음)가 접속되어 있다. 이 온도 제어 회로에 의해서 각 코일(23a)에 인가되는 전압치가 상기 검출 기구(23)로부터 상기 유량 산출부(41)로 출력되고, 각각의 전압치에 기초하여 상기 유량 산출부(41)는 유량을 산출한다.
또한, 이 유량 센서는 열식 뿐만 아니라, 차압(差壓)식, 초음파식, 코리올리(Coriolis)식 등 다양한 방식의 것이어도 상관없다.
상기 제어 기구(4)는 CPU, 메모리, A/D·D/A 컨버터, 입출력 수단, 드라이버 등을 구비한 전자 회로로서, 상기 메모리에 격납되어 있는 유량 제어 장치용 프로그램에 기초하여 CPU나 그 주변기기가 협동함으로써, 상기 유량 센서(2)의 구성요소인 유량 산출부(41) 외, 밸브 제어부(42) 등의 연산 회로로서의 기능을 발휘한다.
유량 산출부(41)는 전술한 것처럼, 상기 검출 기구(23)로부터의 출력에 기초하여 유로(11)를 흐르는 유체의 유량을 산출하여, 그 값(이하, 측정 유량치라고 함. )을 출력하는 것이다.
상기 밸브 제어부(42)는, 도 2에 도시하는 것처럼, 오퍼레이터에 의한 입력이나 외부 기기로부터의 통신 등에 의해서 주어진 목표 유량과, 상기 유량 산출부(41)로부터 출력된 측정 유량을 접수하고, 이들 사이의 편차가 작아지도록 상기 밸브(3)의 개도(開度)를 PID 피드백 제어하는 것이다.
보다 구체적으로 설명한다. 이 밸브 제어부(42)는 도 3의 제어 블록선도에 도시되는 것처럼, PID 컨트롤러(421)에 더하여, IMC(Internal Model Controller)(422)가 부가된 구성의 것이다.
동 도면에 있어서, Gp(s)는 실제의 프로세스(밸브(3)나 유량 센서(2)를 포함한 시스템)의 전달 함수이며, 기종에 따라서 상이하다.
Gc(s)는 상기 PID 컨트롤러(421)의 전달 함수이며, 이하의 식 (1)로 나타내진다.
Gc(s) =Kp(1+1/Ti·s+Td·s) … (1)
여기서, Kp는 비례 게인, Ti는 적분 시간, Td는 적분 시간, s는 라플라스 함수이다.
Gp'(s)는 프로세스 모델(423)의 전달 함수이다.
또, 이들 Gp(s), Gc(s), Gp'(s)에 의한 전달 함수 GIMC(s)로 나타내지는 시스템이, 상기 IMC(422)이다.
이 실시 형태에서는, 상기 프로세스 모델(423)을 적당히 설정하여 GIMC(s)를 정함으로써, 이 밸브 제어부(42)와 밸브(3) 및 유량 센서(2)를 포함한 피드백 시스템으로서의 전달 함수가, 불감 시간을 무시하면, 일차 지연이 되도록 구성되어 있다.
즉, 밸브(3)의 전달 함수를 1/(f1·s＋1), 유량 센서(2)의 전달 함수를 1/(e1·s＋1)이라고 하면, 상기 전달 함수 Gp(s)는, 식 (2)와 같이 된다.
Gp(s)=(1/(f1·s＋1))(1/(e1·s＋1)) … (2)
그리고 GIMC(s)를 이하와 같이 설정하고 있다.
GIMC(s)=(x1·s+1)(x2·s+1)/(T·s) … (3)
여기서, x1는 f1, x2는 e1와 같은 상수가 되도록 설정한다. .
그렇게 하면, IMC(422)와 밸브(3) 및 유량 센서(2)가 직렬(直列)된 전달 함수 G1(s)는, 이하의 식 (4)와 같이 된다.
G1(s) =GIMC(s)·Gp(s)=1/(T·s) … (4)
그리고 전술한 것처럼, 피드백 시스템도 포함한 시스템 전체의 전달 함수 G(s)가, 불감 시간을 무시하면, 식 (5)와 같이 일차 지연이 된다.
G(s)=1/(1+T·s) … (5)
이것을 고쳐 쓰면, 이하의 식 (6)과 같이 나타내진다.
Qout=1/(1+T·s)·Qset=1/(1+1/Kp·s)·Qset … (6)
여기서, Qset는 목표 유량치이고 Qout는 측정 유량이다. 또 1/Kp는 시정수 T의 역함수로 되어 있다.
그러나 이 실시 형태에서는, 도 2에 도시하는 것처럼, 상기 제어 기구(4)에, 응답 지연 입력부(43), 응답 지연 측정부(44), 응답 지연 기억부(45), 응답 지연 생성부(46) 등으로서의 기능을 추가로 부가하고 있다.
응답 지연 입력부(43)란 유량 제어 장치(100)의 응답 지연을 나타내는 값인 응답 지연 설정치를, 키보드 등의 입력 수단이나 통신에 의해서 접수하는 것이다. 응답 지연 설정치란 유저 오퍼레이터가 지정하는 것으로서, 여기에서는, 목표 유량에 대한 측정 유량의 응답 지연 중, 일차 지연 요소에 관한 값의 것이고, 보다 구체적으로는, 시정수(유량의 첫 상승에서부터 목표 유량의 63%에 도달하기까지의 시간)이다. 응답 지연 설정치로서는, 그 외, 약 4배 시정수(측정 유량의 첫 상승에서부터 목표 유량치의 98%에 도달하기까지의 시간)이어도 되고, 혹은, 현재의 응답 지연에 대한 비율(%) 등이어도 상관없다. 이하에서는, 응답 지연 설정치를 설정 시정수라고도 한다.
응답 지연 측정부(44)는 현시점에서의 제어에 의한 응답 지연(여기에서는 일차 지연의 시정수이고, 이하, 측정 시정수라고 함. )을 측정하는 것이다. 이를 위해서 이 응답 지연 측정부(44)는, 예를 들면, 목표 유량으로서 스텝 신호를 주고, 그 때의 인디셜(indicial) 응답을 측정함으로써 상기 측정 시정수를 산출한다. 그 외, 임펄스(inpulse) 응답이나 램프 응답 등에 의해서 측정 시정수를 산출하도록 해도 된다. 이 응답 지연 측정부(44)에 의한 응답 지연의 측정은, 실제의 유량 제어의 시동 전이나 휴지(休止) 기간에 행하도록 하고 있다.
응답 지연 기억부(45)는 메모리의 소정 영역에 설정된 것이고, 상기 응답 지연 측정부(44)에서 측정된 측정 시정수가 기억된다. 이때, 응답 지연 기억부(45)는 측정 시정수와 쌍으로 하여, 그 측정시의 조건, 즉 유체의 종류, 온도, 압력 등의 주위 조건을, 예를 들면 도 4에 도시하는 것 같은 테이블 형식으로 기억한다.
응답 지연 생성부(46)는 이 제어에 의한 시정수가, 응답 지연 입력부(43)로 접수된 설정 시정수가 되도록, 밸브 제어부(42)에 있어서의 제어 파라미터를 조정하는 것이다.
구체적으로 설명하면, 전술한 것처럼, 그 밸브 제어부(42)에 의한 응답성은 IMC(422)에 의해서 일차 지연이 되어 있다. 따라서 PID 컨트롤러(421)에 의한 비례 게인 Kp와 시정수 T의 관계는 Kp=1/T … (7) 이다.
이에, 응답 지연 생성부(46)는 응답 지연 기억부(45)를 참조하여, 마찬가지의 측정 조건에 있어서의 측정 시정수와 그때의 비례 게인으로부터 상기 비(比)를 산출하고, 이 비로부터 설정 시정수가 되는 비례 게인을 산출하여, 기존의 비례 게인을 이 신규 비례 게인으로 치환한다.
이론적인 신규 비례 게인의 산출식은 하기 식 (8)과 같은데, 응답 지연 생성부(46)는 이것과 등가인 연산을 행하여, 신규 비례 게인을 설정한다.
Kp1=Kp0·T1/T0 … (8)
여기서, Kp1는 신규 비례 게인, Kp0는 기존의 비례 게인, T1는 설정 시정수, T0는 측정 비례 게인이다.
그러나 이러한 구성에 의하면, 오퍼레이터가 원하는 설정 시정수를 입력하는 것만으로, 이 유량 제어 장치(100)에 의한 응답 지연이 그 설정 시정수가 되도록 오토 튜닝된다.
따라서 본 실시 형태에 따른 유량 제어 장치(100)에 의하면, 기존의 유량 제어 장치와 동등한 응답성으로 설정하는 것만으로, 그 밖에 예를 들면 목표 유량을 재조정하는 것 등 없이, 기존의 것으로부터 용이하게 치환할 수 있다.
또, 종래, 속응성이 추구되어 온 유량 제어 장치의 분야에 있어서, 이러한 효과, 즉, 오퍼레이터가 수시로 응답성 다운 튜닝을 처음으로 가능하게 한 점은, 매우 획기적이라고 할 수 있다.
한편, 보다 빠른 응답성이 요구되는 경우에는, 입력하는 설정 시정수의 값을 성능 한계까지 작게 하면 되고, 이 유량 제어 장치가 본래 가지는 성능을 살린 이용도 가능하다.
또, 응답 지연 설정치로서 이용하고 있는 시정수는, 유저에게 있어서 응답성을 직감적으로 파악하기 쉬운 값이므로, 사용하기 편리하다고 하는 효과도 달성한다.
이에 더하여, 본 유량 제어 장치(100)와 동등한 기능을 얻을 수 있도록, 입력된 설정 시정수(원하는 응답 지연)가 되도록, PID 제어의 각 제어 계수(Kp, Ti, Td)를 각각 산출하여 정하는 것도 가능하기는 하다. 그렇지만, 상기 각 제어 계수가 제어 대상과는 독립적으로 자유롭게 줄 수 있는 것이고, 현재는, 각각의 최적치는 대수적인 수법으로는 산출하지 못하여, 시행 착오적으로 구하지 않을 수 없기 때문에, 응답 지연 설정을 위한 연산에 다대(多大)한 시간 걸리는 경우가 있다.
이것에 대해, 이 실시 형태에서는, PID 컨트롤러(421)에 더하여 IMC(422)를 마련하여, 밸브 제어에 따른 응답성이 일차 지연이 되도록 미리 구성되어 있으므로, 상술한 것처럼, 3개의 제어 계수 중, 비례 게인 Kp만을 조정하면, 시정수를 설정할 수 있다. 따라서 연산 회로에 큰 부담을 주는 일 없이, 응답 지연을 설정 시정수가 되도록 용이하게 자동 설정할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 상기 실시 형태에 있어서, 응답 지연 생성부(46)는 응답 지연 기억부(45)를 참조하여, 과거에 있어서의 마찬가지의 주위 조건에서의 측정 시정수와 그때의 비례 게인을 검색하여, 그것을 기초로 비례 게인을 정하고 있었지만, 주위 조건을 실제의 유량 제어에서의 주위 조건과 미리 맞추어 측정 시정수를 구하고, 이것을 기초로 설정 시정수가 되도록 비례 게인을 산출해도 된다. 이와 같이 하면, 응답 지연 기억부에 과거의 주위 조건을 기억시키지 않아도 된다.
측정 시정수와 설정 시정수의 편차가 적게 되도록, 비례 게인을 서서히 바꾸는 피드백 제어에 의해, 비례 게인을 설정하도록 해도 된다.
실제의 유량 제어 중에, 유체의 온도나 밸브 전후에서의 유체의 압력 등이 변동됐을 경우, 응답성을 유지할 수 있도록, 그 중의 어느 1 이상을 이용하여, 응답 지연 생성부에 있어서, 비례 게인 Kp1를 수정해도 된다. 예를 들면 압력 p의 변동에 의한 수정 연산식으로서는, 하기 식 (9)와 같은 것을 들 수 있다.
Kp1'=(Xnpn+Xn -1pn -1+…+X1p)Kp1+b … (9)
여기서, X1~Xn는 실험 등으로 미리 구한 계수, Kp1'는 수정 연산 후의 비례 게인이다.
또, 도 5에 도시하는 것처럼, 목표 유량치에 대해서 일차 지연 등을 실시하는 연산 회로인 필터(47)를 추가하여 시정수를 설정함으로써 응답 속도를 설정해도 된다. 이 경우, 목표 유량치가 상기 필터(47)에 의해서 보정된다.
추가로, 유량 제어 장치의 응답성, 특히 밸브(3)의 응답성이, 유체의 압력(밸브보다도 상류측의 압력 및/또는 하류측의 압력)에 의해서 변화하기 때문에, 이 압력 변화를 캔슬하여 응답 지연이 설정치로 유지되도록 (보상하도록) 제어를 행하면, 더욱 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들면, 상기 도 5에 있어서의 필터(47)의 시정수가, 측정된 유체의 압력(여기에서는 상류측의 압력)에 따라 변화하여, 압력에 의한 응답 지연의 변화가 보상되도록 구성하면 된다.
상기 응답 지연 입력부로 입력할 수 있는 응답 지연의 값(예를 들면 설정 시정수)은, 제한을 마련하지 않도록 해도 되고, 제한을 마련하도록 해도 된다.
전자의 경우, 예를 들면 응답 지연의 값이 0이라고 하는 입력도 접수하는 것이 되지만, 그 경우는, 유량 제어 장치는 그 최대 응답 성능, 즉 가장 응답 지연이 작은 상태로 동작하게 된다. 바꾸어 말하면, 응답 지연으로서, 유량 제어 장치의 최대 응답 성능을 넘는 값이 입력되면, 그 값은 무시되고, 그 유량 제어 장치는 최대 응답 성능으로 동작하게 된다.
후자의 경우는, 예를 들면 0이라고 한, 유량 제어 장치의 최대 응답 성능을 넘는 응답 지연이 입력되어도, 이것을 접수하지 않고, 재입력을 촉구하던지, 혹은, 사양상 최소의 응답 지연치가 표시되는 등 하여, 그 응답 지연으로 동작하게 된다.
그 외, 본 발명은 그 취지에 반하지 않는 한에 있어서 다양한 변형이나 실시 형태의 조합을 행해도 상관없다.
100 … 유량 제어 장치
3 … 유체 제어 밸브
43 … 응답 지연 입력부
44 … 응답 지연 측정부
45 … 응답 지연 기억부
46 … 응답 지연 생성부

Claims (6)

  1. 측정 유량이 목표 유량에 가까워지도록, 유체 제어 밸브를 피드백 제어하는 유량 제어 장치에 있어서,
    설정하고 싶은 응답 지연을 나타내는 값인 응답 지연 설정치를 입력하는 응답 지연 입력부와,
    상기 피드백 제어에 있어서의 응답 지연을, 상기 응답 지연 설정치에 따라 발생시키는 응답 지연 생성부를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 응답 지연 설정치가 불감 시간(dead time)을 제외한 일차 지연, 이차 지연 또는 그 이상의 다차 지연을 나타내는 값인 유량 제어 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 일차 지연, 이차 지연 또는 그 이상의 다차 지연을 나타내는 값이, 시정수인 유량 제어 장치.
  4. 청구항 1, 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    피드백 제어에 의한 응답 지연을 측정하는 응답 지연 측정부를 추가로 구비하고,
    상기 응답 지연 생성부가 상기 응답 지연 측정부에 의해서 측정된 측정 응답 지연과, 그때에 설정되어 있던 피드백 제어 계수에 기초하여, 상기 응답 지연 설정치에 나타내어진 설정 응답 지연이 되는 신규 피드백 제어 계수를 산출하여, 현재의 피드백 제어 계수를, 상기 신규 피드백 제어 계수로 치환하는 것인 유량 제어 장치.
  5. 청구항 1, 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 피드백 제어가 적어도 비례 제어를 포함하는 것이고, 불감 시간을 제외한 응답 지연이, IMC를 이용함으로써 일차 지연이 되도록 설정된 것인 유량 제어 장치.
  6. 측정 유량이 목표 유량에 가까워지도록, 유체 제어 밸브를 피드백 제어하는 유량 제어 장치용 프로그램이 기억된 기억 매체로서,
    상기 유량 제어 장치에, 설정하고 싶은 응답 지연을 나타내는 값인 응답 지연 설정치를 입력하는 응답 지연 입력부와, 상기 피드백 제어에 있어서의 응답 지연을, 상기 응답 지연 설정치에 따라 발생시키는 응답 지연 생성부로서의 기능을 발휘시키는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치용 프로그램이 기억된 기억 매체.
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