JP2007034550A - マスフローコントローラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部2と、その流量センサ部2の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ3と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ3へのフィードバック制御値を算出する算出部6と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ3に出力する開度制御信号出力部7と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。
【選択図】 図4
Description
安定期間で用いられる関数(以下、区別するときは、第2の関数ともいう)は、代入される流量設定値が小さくなれば小さな値が算出されるものであり、ここでは例えば以下の式(2)で表される。
1・・・流路(内部流路)
2・・・流量センサ部
3・・・流量制御バルブ
6・・・算出部
7・・・開度制御信号出力部
8・・・流量出力部
Claims (7)
- 流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側または下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブへのフィードバック制御値を算出する算出部と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブに出力する開度制御信号出力部と、を備えたものであって、
前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値として、前記流量設定値を所定の関数に代入して得られる値を用いるとともに、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて、前記関数に互いに異なるものを用いるようにしていることを特徴とするマスフローコントローラ。 - 前記変化期間に用いられる関数が、代入される流量設定値が小さくなれば大きな値が算出されるものであり、前記安定期間に用いられる関数が、代入される流量設定値が小さくなれば小さな値が算出されるものである請求項1記載のマスフローコントローラ。
- 前記流量測定値に所定の演算を施して出力する流量出力部を更に備え、その流量出力部が、変化期間と安定期間とにおいて、それぞれ異なる演算を流量測定値に施すようにしている請求項1又は2記載のマスフローコントローラ。
- 前記流量出力部が、安定期間においては、前記流量測定値を時間的に鈍らせて出力し、変化期間においては、前記流量測定値をそのまま出力するものである請求項3記載のマスフローコントローラ。
- 前記変化期間を、常に一定に設定している請求項1、2、3又は4記載のマスフローコントローラ。
- 前記変化期間を、流量測定値と流量設定値との偏差が一定の範囲内に収束した時点で終了するようにしている請求項1、2、3又は4記載のマスフローコントローラ。
- 前記変化期間において用いられる関数が、時間経過とともに徐々に変化するように設定している請求項1、2、3、4、5又は6記載のマスフローコントローラ。
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