KR20170125319A

KR20170125319A - 어댑터 및 진공 펌프

Info

Publication number: KR20170125319A
Application number: KR1020177018332A
Authority: KR
Inventors: 요시노부 오타치; 야스시 마에지마; 쓰토무 다카아다
Original assignee: 에드워즈 가부시키가이샤
Priority date: 2015-02-25
Filing date: 2016-01-19
Publication date: 2017-11-14
Also published as: US11466692B2; CN107208650B; CN107208650A; US20180038375A1; EP3263905A1; KR102519969B1; JP6433812B2; EP3263905A4; JP2016156338A; WO2016136331A1

Abstract

다양한 사양 변경에 저비용으로 대응 가능한 진공 펌프 및 상기 진공 펌프에 이용되는 어댑터를 제공한다.
터보 분자 펌프(1)는, 베이스(50)와, 베이스(50) 상에 로터(20)의 축방향 A에 배치된 고정날개(70)와, 로터(20)에 일체로 부착된 회전날개(22)와, 고정날개(70)를 수용히여 베이스(50)에 일체로 부착되는 원통형의 하우징(10)과, 고정날개(70), 회전날개(22) 또는 하우징(10)의 종류에 따라 교환 가능하고, 베이스(50) 상에 착탈 가능하게 장착되며, 고정날개(70)를 축방향 A로 지지하는 어댑터(80)를 구비하고 있다.

Description

어댑터 및 진공 펌프{ADAPTOR AND VACCUM PUMP}

본 발명은, 어댑터 및 상기 어댑터를 이용한 진공 펌프에 관한 것이며, 특히, 회전날개 및 고정날개의 치수, 단수 등의 사양 변경에 상관없이, 동형의 베이스를 사용하기 위한 어댑터 및 상기 어댑터를 이용한 진공 펌프에 관한 것이다.

진공 펌프를 이용하여 배기 처리를 행하여, 내부를 진공으로 유지하는 장치로서, 반도체 제조 장치, 액정 제조 장치, 전자현미경, 표면 분석 장치 및 미세 가공 장치 등이 알려져 있다. 이러한 장치에 이용되는 진공 펌프로서, 터보 분자 펌프가 알려져 있다. 터보 분자 펌프의 성능(배기 속도, 압축비)은, 회전날개 및 고정날개의 단수, 길이, 두께, 및 회전날개 및 고정날개를 수용하는 하우징의 용적 등을 변경함으로써 조정된다. 예를 들면, 도 7에 나타내는 바와 같이, 실선으로 나타내는 터보 분자 펌프(4)의 성능을 향상시키기 위해, 회전날개(4a) 및 고정날개(4b)의 길이 치수를 크게 하면, 파선으로 나타내는 바와 같이 하우징(4c)의 직경치수도 커진다.

특허문헌 1에는, 배기구측의 회전날개의 외경이 흡기구측의 회전날개의 외경보다 소경으로 형성된 터보 분자 펌프가 개시되어 있다. 또, 특허문헌 2에는, 배기구측의 회전날개가 흡기구측의 회전날개보다 소경으로 형성되며, 스페이서 링간의 간극이 고정날개의 두께보다 큰 터보 분자 펌프가 개시되어 있다.

일본국 특허공개 2011－027049호 공보 일본국 특허 제4749054호 공보

상술한 바와 같은 터보 분자 펌프에서는, 반도체 제조 장치 등의 장치마다 다른 요구 사양에 따르기 위해, 각각의 구성 부재를 개별적으로 설계할 필요가 있으며, 또 구성 부재의 재고 관리가 번잡해지므로, 막대한 비용을 요한다는 문제점이 있었다.

또, 다종다양한 구성 부재를 조합하여 터보 분자 펌프를 조립함으로써, 특정한 구성 부재의 조합에서만 발생하는 문제점의 특정에는 장시간을 요한다는 문제가 있었다.

그래서, 본 발명은 이러한 종래의 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 다양한 사양 변경에 저비용으로 대응 가능한 진공 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 제안된 것이며, 청구항 1에 기재된 발명은, 베이스와, 상기 베이스 상에 로터의 축방향으로 배치된 고정날개와, 상기 로터에 일체로 부착된 회전날개와, 상기 고정날개를 수용하여 상기 베이스에 일체로 부착되는 원통형의 하우징을 구비하고 있는 진공 펌프로서, 상기 고정날개, 상기 회전날개 또는 상기 하우징의 종류에 따라 교환 가능하고, 상기 베이스 상에 착탈 가능하게 장착되며, 상기 고정날개를 상기 축방향으로 지지하는 어댑터를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 진공 펌프의 사양 변경에 따라 고정날개를 지지 가능하게 어댑터의 형상이 변경되며, 어댑터가 축방향에서 베이스와 고정날개의 사이에 끼워져, 어댑터가 베이스에 고착됨으로써, 동형의 베이스를 다른 사양의 진공 펌프에 적용할 수 있다. 이에 의해, 베이스의 설계·제조, 재고 관리에 요하는 비용을 경감할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 어댑터는 원환형으로 형성되어 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 어댑터가 단일한 부재로 형성되어 있기 때문에, 어댑터를 베이스에 간편하게 장착할 수 있다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 어댑터는, 상기 축방향과 수직인 경(徑)방향으로 연신하여 형성되어 있는 진공 펌프를 제공한다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 어댑터는, 상기 베이스에 상기 축방향과 수직인 경방향으로의 이동이 규제된 상태로 부착되어 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 베이스와 별체로 형성된 어댑터가 경방향으로의 이동이 규제된 상태로 베이스에 장착되므로, 어댑터를 베이스에 간편하게 장착할 수 있다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 어댑터는, 상기 베이스와 걸어맞춰져 상기 어댑터의 이동을 규제 가능한 걸어맞춤부가 설치되어 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 걸어맞춤부를 베이스에 걸어맞추는 것만으로, 어댑터의 경방향으로의 이동을 규제 가능하므로, 어댑터를 베이스에 간편하게 장착할 수 있다.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 베이스의 상부에는, 상기 어댑터의 하부에 설치된 걸어맞춤부에 걸어맞춤 가능한 피(被)걸어맞춤부가 설치되어 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 걸어맞춤부를 피걸어맞춤부에 걸어맞추는 것만으로, 어댑터의 경방향으로의 이동을 규제 가능하므로, 어댑터를 베이스에 간편하게 장착할 수 있다.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 하우징은, 상기 축방향의 상류측으로부터 하류측을 향해 확경(擴徑)되어 형성된 확경부와, 상기 확경부의 하류측 단부에 배치되며, 상기 확경부와 상기 베이스를 체결 가능한 볼트를 삽입통과시키는 볼트 삽입통과 구멍이 형성된 플랜지부를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 확경부의 하류측 단부에 배치된 플랜지부에 볼트구멍을 배치함으로써, 진공 펌프의 사양 변경에 따라 확경부의 직경치수가 확대·축소되는 경우여도, 베이스와 플랜지부를 체결하는 볼트의 위치가 소정의 위치에 위치 결정되므로, 다른 사양의 진공 펌프에 동형의 베이스를 적용할 수 있다.

청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 하우징은, 상기 하우징으로부터 상기 축방향과 수직인 경방향의 바깥쪽을 향해 확경되며, 상기 하우징과 상기 베이스를 체결 가능한 볼트를 삽입통과시키는 볼트 삽입통과 구멍이 형성된 플랜지부를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 하우징으로부터 바깥쪽으로 신장된 위치에 구비된 플랜지부에 볼트구멍을 배치함으로써, 진공 펌프의 사양 변경에 따라 하우징의 직경치수가 확대·축소되는 경우여도, 베이스와 플랜지부를 체결하는 볼트의 위치가 소정의 위치에 위치 결정되므로, 다른 사양의 진공 펌프에 동형의 베이스를 적용할 수 있다.

청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 7 또는 8에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 베이스와 상기 플랜지부의 사이를 시일링하는 시일링 수단을 구비하고 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 시일링 수단을 베이스와 플랜지부의 사이에 배치함으로써, 어댑터에 시일링 수단을 설치하는 경우와 비교하여, 시일링 수단의 설치 개소가 적어지므로, 진공 펌프의 시일성이 향상됨과 더불어, 시일링 수단의 설치 개소가 적어지는 분만큼 펌프의 조립 정밀도를 향상시킬 수 있다.

청구항 10에 기재된 발명은, 청구항 9에 기재된 진공 펌프의 구성에 더하여, 상기 시일링 수단은, 상기 볼트 삽입통과 구멍의 근방에 배치되어 있는 진공 펌프를 제공한다.

이 구성에 의하면, 회전날개나 고정날개의 외형 치수를 크게 설정 가능하므로, 진공 펌프의 펌프 성능을 향상시킬 수 있다.

청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 10 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프에 이용되는 어댑터를 제공한다.

본 발명은 진공 펌프의 사양 변경에 상관없이, 동형의 베이스를 적용할 수 있다.

따라서, 베이스의 설계·제조, 재고 관리에 요하는 비용을 경감할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 따른 터보 분자 펌프를 도시하는 수직 단면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 어댑터를 도시하는 평면도 및 수직 단면도이다.
도 3은, 본 발명의 제1 실시예에 따른 터보 분자 펌프의 주요부 확대 단면도이다.
도 4는, 본 발명의 비교예에 따른 터보 분자 펌프를 도시하는 모식도로서, 사양이 다른 터보 분자 펌프에서의 하우징의 치수 변화를 나타내는 것이며, 이해를 용이하게 하기 위해 해칭을 생략하고 있다.
도 5는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 터보 분자 펌프를 도시하는 수직 단면도이다.
도 6은, 도 5에 나타내는 어댑터를 도시하는 평면도 및 수직 단면도이다.
도 7은, 종래의 터보 분자 펌프를 도시하는 모식도로서, 사양이 다른 터보 분자 펌프의 단면도에서의 하우징의 치수 변화를 나타내는 것이며, 이해를 용이하게 하기 위해 해칭을 생략하고 있다.

본 발명은 다양한 사양 변경에 저비용으로 대응한다는 목적을 달성하기 위해, 베이스와, 상기 베이스 상에 로터의 축방향으로 배치된 고정날개와, 상기 로터에 일체로 부착된 회전날개와, 상기 고정날개를 수용하여 베이스에 일체로 부착되는 원통형의 하우징을 구비하고 있는 진공 펌프로서, 상기 고정날개, 상기 회전날개 또는 상기 하우징의 종류에 따라 교환 가능하고, 베이스 상에 착탈 가능하게 장착되며, 고정날개를 축방향으로 지지하는 어댑터를 구비하고 있는 진공 펌프를 제공함으로써 실현하였다.

또 본 발명은 다양한 사양 변경에 저비용으로 대응한다는 목적을 달성하기 위해, 베이스와, 상기 베이스 상에 로터의 축방향으로 배치된 고정날개와, 상기 로터에 일체로 부착된 회전날개와, 상기 고정날개를 수용하여 베이스에 일체로 부착되는 원통형의 하우징을 구비하고 있는 진공 펌프에 이용되는 어댑터로서, 상기 고정날개, 상기 회전날개 또는 상기 하우징의 종류에 따라 교환 가능하고, 베이스 상에 착탈 가능하게 장착 가능하며, 고정날개를 축방향으로 지지 가능한 어댑터를 제공함으로써 실현하였다.

[실시예]

이하, 본 발명의 제1 실시예에 따른 터보 분자 펌프(1)를 도면에 의거하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서 「상」, 「하」란, 배기가스 G의 배기 방향의 상류측을 상방으로 하고, 하류측을 하방으로 하는 것이며, 즉, 후술하는 축방향 A에서 흡기구(11)측이 상방, 배기구(51)측이 하방에 대응하는 것으로 한다. 도 1은, 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 터보 분자 펌프(1)를 도시하는 수직 단면도이다. 도 2(a)는, 도 1 중의 어댑터(80)의 평면도이며, 도 2(b)는, 도 2(a)의 A－A선 단면도이다. 도 3은, 도 1의 주요부 확대도이다. 도 4는, 본 발명의 비교예에 따른 터보 분자 펌프(2)를 도시하는 모식도이다.

터보 분자 펌프(1)는, 하우징(10)과, 하우징(10) 내에 회전 가능하게 지지된 로터 샤프트(21)를 갖는 로터(20)와, 로터 샤프트(21)를 회전시키는 구동 모터(30)와, 로터 샤프트(21)의 일부 및 구동 모터(30)를 수용하는 스테이터 칼럼(40)을 구비하고 있다.

하우징(10)은 원통형으로 형성되어 있다. 하우징(10)의 상단에는, 가스 흡기구(11)가 형성되어 있다. 하우징(10)은, 상방 플랜지(12)를 통해 도시 생략의 반도체 제조 장치의 챔버 등의 진공 용기에 부착된다. 가스 흡기구(11)는 진공 용기에 접속된다. 하우징(10)은, 베이스(50) 상에 놓여진 상태로 볼트(13)를 통해 베이스(50)에 고정되어 있다.

로터(20)는, 로터 샤프트(21)와, 로터 샤프트(21)의 상부에 고정되어 로터 샤프트(21)의 축심에 대해 동심원형으로 나란히 설치된 회전날개(22)를 구비하고 있다. 본 실시예에서는, 10단의 회전날개(22)가 설치되어 있다.

회전날개(22)는, 소정의 각도로 경사진 블레이드로 이루어지며, 로터(20)의 상부 외주면에 일체로 형성되어 있다. 또, 회전날개(22)는 로터(20)의 축선 둘레로 방사상으로 복수 설치되어 있다.

로터 샤프트(21)는 자기 베어링(60)에 의해 비접촉 지지되어 있다. 자기 베어링(60)은, 레이디얼 전자석(61)과 액시얼 전자석(62)을 구비하고 있다. 레이디얼 전자석(61) 및 액시얼 전자석(62)은 도시 생략의 제어 유닛에 접속되어 있다.

제어 유닛은, 레이디얼 방향 변위 센서(61a) 및 액시얼 방향 변위 센서(62a)의 검출치에 의거하여, 레이디얼 전자석(61), 액시얼 전자석(62)의 여자 전류를 제어함으로써, 로터 샤프트(21)가 소정의 위치로 부상한 상태로 지지되도록 되어 있다.

로터 샤프트(21)의 상부 및 하부는 터치다운 베어링(23) 내에 삽입통과되어 있다. 로터 샤프트(21)가 제어 불능이 된 경우에는, 고속으로 회전하는 로터 샤프트(21)가 터치다운 베어링(23)에 접촉하여 진공 펌프(1)의 손상을 방지하도록 되어 있다.

로터(20)는, 보스구멍(24)에 로터 샤프트(21)의 상부를 삽입통과시킨 상태로, 볼트(25)를 로터 플랜지(26)에 삽입통과시킴과 더불어 샤프트 플랜지(27)에 나사식으로 결합함으로써, 로터 샤프트(21)에 일체로 부착되어 있다. 이하, 로터 샤프트(21)의 축선 방향을 「축방향 A」라고 칭하고, 로터 샤프트(21)의 경방향을 「경방향 R」이라고 칭한다.

구동 모터(30)는, 로터 샤프트(21)의 외주에 부착된 회전자(31)와, 회전자(31)를 둘러싸도록 배치된 고정자(32)를 구비하고 있다. 고정자(32)는, 상술한 도시 생략의 제어 유닛에 접속되어 있으며, 제어 유닛에 의해 로터(20)의 회전이 제어되고 있다.

스테이터 칼럼(40)은, 베이스(50) 상에 놓여진 상태로, 볼트(41)를 통해 베이스(50)에 고정되어 있다.

회전날개(22, 22)의 사이에는 고정날개(70)가 설치되어 있다. 즉, 회전날개(22)와 고정날개(70)는, 축방향 A를 따라 교대로 또한 다단으로 배열되어 있다. 본 실시예에서는 10단의 고정날개(70)가 설치되어 있다.

고정날개(70)는, 환상으로 형성되어 있으며, 회전날개(22)와는 반대 방향으로 경사진 블레이드와 상기 블레이드의 양단에 연결된 링을 구비하고, 하우징(10)의 내주면에 단을 쌓아 설치되어 있는 스페이서(71)에 의해 축방향 A로 끼움 지지되어 위치 결정되어 있다. 또, 고정날개(70) 블레이드도, 로터(20)의 축선 둘레로 방사상으로 복수 설치되어 있다.

회전날개(22) 및 고정날개(70)의 블레이드의 길이는, 축방향 A의 상방으로부터 하방을 향해 서서히 짧아지도록 설정되어 있다.

베이스(50)의 하부 측방에는 가스 배기구(51)가 형성되어 있다. 가스 배기구(51)는, 도시 생략의 보조 펌프에 연결되어 통하도록 접속된다. 터보 분자 펌프(1)는, 회전날개(22)의 회전에 의해, 가스 흡기구(11)로부터 흡입된 가스를 축방향 A의 상방으로부터 하방으로 이송하여, 가스 배기구(51)로부터 외부로 배기하도록 되어 있다.

최하단의 고정날개(70)는, 어댑터(80)를 통해 베이스(50) 상에 놓여져 있다. 구체적으로는, 고정날개(70)의 기단부(基端部)는, 후술하는 어댑터(80)의 지지부(82)와 스페이서(71)의 사이에 끼움 지지됨으로써, 축방향 A로 지지되어 있다.

어댑터(80)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 원환형으로 형성되어 있다. 또, 어댑터(80)는, 단면 L자형으로 형성되어 있으며, 베이스(50)에 대향하는 하부가 상부보다 경방향 R로 확경(연신)되어 있고, 어댑터(80)의 하부가 베이스(50)에 접촉되어 있다. 어댑터(80)의 형상은, 고정날개(70), 회전날개(22) 또는 하우징(10)의 종류에 따라 교환 가능하다. 즉, 어댑터(80)는, 고정날개(70), 회전날개(22)의 단수나 크기, 하우징(10)의 내경 치수 등에 따라 임의로 변경 가능하다. 어댑터(80)는, 베이스(50)와는 별체로 형성되어 있으며, 베이스(50)에 착탈 가능하게 장착된다. 어댑터(80)가 원환형으로 형성된 단일한 부재로 형성되어 있기 때문에, 어댑터(80)를 베이스(50)에 간편하게 장착할 수 있다.

어댑터(80)의 하방 외주 가장자리에는 걸어맞춤부(81)가 오목하게 형성되어 있다. 또, 어댑터(80)의 상방 외주 가장자리에는 지지부(82)가 볼록하게 형성되어 있다.

어댑터(80)는 경방향 R로의 이동이 규제된 상태로 베이스(50)에 부착된다. 구체적으로는 도 3에 나타내는 바와 같이, 걸어맞춤부(81)가 베이스(50)의 상면에 볼록하게 형성된 피걸어맞춤부(52)와 걸어맞춰져 있다. 또 지지부(82)가 스페이서(71)의 내주면(71a)에 접촉되어 있다. 이에 의해, 어댑터(80)의 경방향 R의 이동이 규제되어, 베이스(50) 및 어댑터(80)의 중심을 일치시킨 상태로 어댑터(80)가 베이스(50)에 장착된다. 또한, 어댑터(80)와 하우징(10)의 사이에는 약간의 간극이 확보되어 있다.

베이스(50)는 볼트(13)를 나사식으로 결합 가능한 도시 생략의 볼트구멍을 구비하고 있다. 베이스(50)의 볼트구멍과 하우징(10)의 도시 생략의 볼트 삽입통과 구멍은, 터보 분자 펌프(1)의 사양 변경의 유무에 상관없이, 소정의 위치에 형성된다. 하우징(10)의 볼트 삽입통과 구멍은, 하우징(10)의 외경이 도중에 스텝형으로 확경된 확경부(10a)의 하단부에 설치된 플랜지부로서의 하방 플랜지(14)에 형성되어 있다. 또, 터보 분자 펌프(1)의 사양 변경의 유무에 상관없이, 하방 플랜지(14)의 내주면(14a)의 내경과 베이스(50)의 하방 플랜지(14)에 대향하는 외주면(50a)의 외경은, 대략 동일한 값 r1로 유지된다. 또한 확경부(10a)의 단면 형상은, 스텝형에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 테이퍼형이어도 상관없다. 또 확경부(10a)는, 하우징(10)에 형성되는 경우에 한정되는 것은 아니며, 플랜지부(14)의 일부를 확경하여 형성되는 것이어도 상관없다.

베이스(50)와 하방 플랜지(14)의 간극을 시일링하는 시일링 수단으로서의 O링(54)이 설치되어 있다. O링(54)은 베이스(50)의 외주면(50a)에 오목하게 형성된 홈부(53) 내에 수용되어 있다. 또 O링(54)은, 볼트 삽입통과 구멍의 근방에 배치되는 것이 바람직하다. 또한 「볼트 삽입통과 구멍의 근방」이란, 볼트 삽입통과 구멍보다 경방향 R의 내측에서 가능한 한 외측을 의미한다. 이에 의해, 회전날개(22) 및 고정날개(70)의 외경 치수를 크게 확보할 수 있다.

이에 의해, 예를 들면, 도 4에 나타내는 본 발명의 비교예에 따른 터보 분자 펌프(2)와 같이, 어댑터(2a)에 시일링 수단(2b)을 설치하는 경우에는, 어댑터(2a)와 베이스(2c)의 사이 및 어댑터(2a)와 하우징(2d)의 사이를 각각 시일링하지 않으면 안 되는데, 본 발명에서는, 베이스(50)와 하우징(10)의 사이를 시일링하기만 하면 되어, 터보 분자 펌프(1)의 시일성을 확보하기 쉽고, 또한 터보 분자 펌프(1)를 원활하게 조립할 수 있다. 또 본 발명은, 하우징(10)과 베이스(50)의 사이에 설치되는 O링(54)의 경방향 R에 있어서의 배치 위치를 소정의 값 r1로 통일할 수 있다.

다음에, 본 발명의 제2 실시예에 따른 터보 분자 펌프(3)를 도면에 의거하여 설명한다. 도 5는, 터보 분자 펌프(3)를 도시하는 수직 단면도이다. 도 6(a)는, 도 5 중의 어댑터(90)의 평면도이며, 도 6(b)은, 도 6(a)의 B－B선 단면도이다. 또한, 제2 실시예에 따른 터보 분자 펌프(3)는, 전술한 제1 실시예에 따른 터보 분자 펌프(1)와 비교하여, 상방 플랜지, 회전날개, 고정날개 및 스페이서의 외경이 크고, 하방 플랜지 근방의 형상이 상이하며, 어댑터의 구체적 구조가 다르다. 그래서, 제1 실시예에 따른 터보 분자 펌프와 공통되는 구성 부재에는 공통의 부호를 붙이고 중복되는 설명을 생략하며, 또, 상방 플랜지, 회전날개, 고정날개, 스페이서, 하방 플랜지에는 100번대의 부호를 붙이고 중복되는 설명을 생략한다. 또, 제2 실시예에 따른 어댑터(90)의 구성 중, 제1 실시예에 따른 어댑터(80)와 공통되는 구성에 대해서는, 90번대의 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.

어댑터(90)는 원환형으로 단면이 대략 직사각형상으로 형성되어 있다. 어댑터(90)는, 상술한 제1 실시예에 따른 어댑터(80)와 비교하여, 경방향 R로 두껍게 형성되어 있으며, 최하단의 고정날개(170)의 기단측을 광범위하게 지지하고 있다. 또 걸어맞춤부(91)의 직경은, 걸어맞춤부(81)의 직경과 대략 동일하다. 또 하우징(110)의 외경은, 축방향 A의 도중으로부터 경방향 R의 외방을 향해 스텝상으로 확경되어 있지 않다. 이에 의해, 회전날개(122) 및 고정날개(170)의 외경이 제1 실시예보다 큰 경우여도, 확실하게 위치 결정할 수 있으며, 동일한 베이스(50)를 사용할 수 있다. 또, 배기구(51)측의 회전날개(122)의 외경이 흡기구(11)측의 회전날개(112)의 외경보다 소경으로 형성된 터보 분자 펌프(2)에서, 외경측으로 연장 설치된 대형의 고정날개(170)여도, 확실하게 위치 결정할 수 있다.

이와 같이 하여 본 발명은, 터보 분자 펌프의 사양 변경에 따라 고정날개를 지지 가능하게 어댑터의 형상이 변경되고(즉, 어댑터의 경방향 R로 확경된 부분의 길이가 변경되고), 베이스와 별체로 형성된 어댑터가 경방향 R로의 이동이 규제된 상태로 베이스에 장착되며, 어댑터가 축방향에서 베이스와 고정날개의 사이에 끼워져, 어댑터가 베이스에 고착됨으로써, 동형의 베이스를 다른 사양의 터보 분자 펌프에 적용할 수 있다. 이에 의해, 베이스의 설계·제조, 재고 관리에 요하는 비용을 경감할 수 있다.

또한 어댑터의 단면 형상은, 상술한 각 실시예의 것에 한정되는 것은 아니다. 어댑터는 고정날개를 지지 가능한 형상이면 되고, 상술한 단면 형상 외에, 예를 들면, 사다리꼴, I자형 등으로 형성되어도 상관없다.

또 걸어맞춤부 및 피걸어맞춤부는, 오목형의 걸어맞춤부와 볼록형의 피걸어맞춤부가 걸어맞춰지는 것에 한정되지 않으며, 볼록형의 걸어맞춤부와 오목형의 피걸어맞춤부가 걸어맞춰지는 것이어도 상관없다.

또 걸어맞춤부 및 피걸어맞춤부의 설치 위치는, 경방향 R의 어느 쪽이어도 되고, 상술한 바와 같은 어댑터의 외주 가장자리 및 베이스의 외주 가장자리에 한정되는 것은 아니며, 어댑터의 외주 가장자리 및 베이스의 외주 가장자리보다 경방향 R의 내측에 설치되어도 상관없다.

[산업상의 이용 가능성]

본 발명은 반도체 제조 처리 프로세스 이외의 배기가스 처리 장치에도 응용할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 진공 펌프는, 터보 분자 펌프만으로부터 전체 날개 타입의 진공 펌프 외에, 터보 분자 펌프와 나사홈 펌프로 구성되는 복합 타입의 진공 펌프에도 적용 가능한 것은 말할 필요도 없다.

1, 3 : 터보 분자 펌프(진공 펌프)
10, 110 : 하우징
10a : 확경부
11 : 흡기구
12, 112 : 상방 플랜지
13 : 볼트
14, 114 : 하방 플랜지(플랜지부)
14a : (하방 플랜지의) 내주면
20 : 로터
21 : 로터 샤프트
22, 122 : 회전날개
23 : 터치다운 베어링
24 : 보스구멍
25 : 볼트
26 : 로터 플랜지
27 : 샤프트 플랜지
30 : 구동 모터
31 : 회전자
32 : 고정자
40 : 스테이터 칼럼
41 : 볼트
50 : 베이스
50a : (베이스의) 외주면
51 : 배기구
52 : 피걸어맞춤부
53 : 홈부
54 : O링(시일링 수단)
60 : 자기 베어링
61 : 레이디얼 전자석
61a : 레이디얼 방향 변위 센서
62 : 액시얼 전자석
62a : 액시얼 방향 변위 센서
70, 170 : 고정날개
71, 171 : 스페이서
71a : (스페이서의) 내주면
80, 90 : 어댑터
81, 91 : 걸어맞춤부
82, 92 : 지지부
A : 축방향
R : 경방향

Claims

베이스와, 상기 베이스 상에 로터의 축방향으로 배치된 고정날개와, 상기 로터에 일체로 부착된 회전날개와, 상기 고정날개를 수용하여 상기 베이스에 일체로 부착되는 원통형의 하우징을 구비하고 있는 진공 펌프로서,
상기 고정날개, 상기 회전날개 또는 상기 하우징의 종류에 따라 교환 가능하고, 상기 베이스 상에 착탈 가능하게 장착되며, 상기 고정날개를 상기 축방향으로 지지하는 어댑터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 어댑터는, 원환형으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 어댑터는, 상기 축방향과 수직인 경(徑)방향으로 연신하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 어댑터는, 상기 베이스에 상기 축방향과 수직인 경방향으로의 이동이 규제된 상태로 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 4에 있어서,
상기 어댑터에는, 상기 베이스와 걸어맞춰져 상기 어댑터의 이동을 규제 가능한 걸어맞춤부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 5에 있어서,
상기 베이스의 상부에는, 상기 어댑터의 하부에 설치된 걸어맞춤부에 걸어맞춤 가능한 피(被)걸어맞춤부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 하우징은, 상기 축방향의 상류측으로부터 하류측을 향해 확경(擴徑)되어 형성된 확경부와,
상기 확경부의 하류측 단부에 배치되며, 상기 확경부와 상기 베이스를 체결 가능한 볼트를 삽입통과시키는 볼트 삽입통과 구멍이 형성된 플랜지부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 하우징은, 상기 하우징으로부터 상기 축방향과 수직인 경방향의 바깥쪽을 향해 확경되며, 상기 하우징과 상기 베이스를 체결 가능한 볼트를 삽입통과시키는 볼트 삽입통과 구멍이 형성된 플랜지부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,
상기 베이스와 상기 플랜지부의 사이를 시일링하는 시일링 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 9에 있어서,
상기 시일링 수단은, 상기 볼트 삽입통과 구멍의 근방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프에 이용되는 어댑터.