KR20170118242A - 가스 제거 및 검출 기능을 갖는 액체 분배 시스템 - Google Patents

가스 제거 및 검출 기능을 갖는 액체 분배 시스템 Download PDF

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KR20170118242A
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조셉 메닝
매튜 쿠즈
아미 콜랜드
도날드 디 웨어
리차드 디 치즘
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어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
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Abstract

압력 분배 포장체를 위한 분배 조립체는 별도의 구별되는 액체 추출 도관 및 가압 기체 도관을 갖는 커넥터를 포함한다. 라이너 장착구 어댑터는 액체 추출 도관을 형성하는 커넥터의 프로브 부분을 수용하기 위한 종방향 보어 및 기체의 제거를 가능하게 하는 횡방향 보어를 포함할 수 있다. 커넥터를 분배 조립체 내에 삽입하면, 이와 동시에 (a) 기체 추출 도관과 분배 체적 사이; (b) 액체 추출 도관과 분배 체적 사이; 및 (c) 가압 기체 도관과 압력 분배 용기 내에서 가압될 공간 사이에 유체 연결이 형성된다. 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화는 제 1 및 제 2 온도 검출 요소의 출력을 비교하는 것에 의해 검출될 수 있고, 하나의 검출 요소는 기체에는 노출되지만 액체에는 노출되지 않는 검출 요소의 온도를 상승시키기 위한 가열기를 포함한다. 유체 분배 시스템 및 방법은 제 1 압력 분배 장치 및 분배된 유체의 기체 포화에의 접근에 대응하는 상태를 검출하도록 배치되는 검출 요소를 포함하고, 이와 같은 검출된 상태에 응답하여 사용 지점에 공급되는 압력 분배된 유체류를 혼합하기 위해 제 2 압력 분배 장치에 의한 분배 작업을 개시한다.

Description

가스 제거 및 검출 기능을 갖는 액체 분배 시스템{LIQUID DISPENSING SYSTEMS WITH GAS REMOVAL AND SENSING CAPABILITIES}
관련 출원에 대한 상호 참조
본 출원의 주제는 2010년 1월 6일에 출원된 미국 가출원 제61/292,852호의 개시에 관한 것이고 그 개시를 포함한다. 이 가출원의 개시는 그 전체가 본 명세서에 참조로서 도입된다.
본 발명은 이용을 위한 유체 물질을 분배하는데 사용될 수 있는 것과 같은 분배 시스템 및 관련 검출 시스템에 관한 것이다. 특별한 태양에서, 본 발명은 액체 또는 기타 유체 물질이 가압 매체, 예를 들어 공기 또는 액체를 이용한 치환에 의해 소스 용기로부터 배출되는 압력 분배 시스템, 및 이와 같은 시스템의 제작, 검출, 작동 공정 및 배치에 관한 관련 태양에 관한 것이다.
많은 산업적 용도에서, 화학 시약 및 조성물은 고순도 상태로 공급될 필요가 있고, 포장 충전, 보관, 수송 및 최종 분배 작업의 전체를 통해 공급되는 물질이 순수하고 적합한 형태로 유지되는 것을 보장하기 위해 특수한 포장이 개발되어 왔다.
초소형 전자 장치의 제조 분야에서, 포장된 물질 내의 임의의 오염물질 및/또는 포장 내에 수용된 물질에 대한 환경적 오염물질의 임의의 침투는 이와 같은 액체 또는 액체 함유 조성물을 이용하여 제조되는 초소형 전자 장치 제품에 악영향을 줄 수 있고, 그 결과 초소형 전자 장치 제품을 불완전화시키거나 또는 심지어 그 사용 목적에 무용화시킬 수 있으므로 다양한 액체 및 액체 함유 조성물을 위한 적합한 포장의 필요성은 특히 촉구된다.
이러한 고려의 결과, 포토레지스트(photoresists), 에칭액, 화학 증착 시약, 용매, 웨이퍼 및 공구 세정 제제, 화학 기계 연마 조성물, 컬러 필터링 화학물질(color filtering chemistries), 오버코트(overcoats), 액정 물질 등과 같은 초소형 전자 장치 제조에 사용되는 액체 및 액체 함유 조성물을 위한 많은 유형의 고순도 포장이 개발되었다.
이와 같은 용도의 고순도 포장의 하나의 유형은 뚜껑 또는 커버와 같은 구조물을 고정하는 것에 의해 오버팩(overpack) 내의 소정의 위치에 고정되는 가요성 라이너 또는 백 내에 액체 또는 액체계 조성물을 수용하는 강성, 실질적 강성, 또는 반강성 오버팩을 포함한다. 이와 같은 포장은 통상적으로 "백-인-캔(bag-in-can; BIC)", "백-인-보틀(bag-in-bottle; BIB)" 및 "백-인-드럼(bag-in-drum; BID)" 포장이라 불린다. 이와 같은 일반적 유형의 포장은 어드밴스드 테크놀로지 머티리얼즈 인코포레이티드(Advanced Technology Materials, Inc. (Danbury, CT, USA))의 상표명 NOWPAK으로서 상업적으로 이용할 수 있다.
바람직하게, 라이너는 가요성 재료를 포함하고, 오버팩 용기는 가요성 재료에 비해 실질적으로 고강성인 벽 재료를 포함한다. 강성 또는 반강성의 포장 오버팩은 (예를 들면) 고밀도 폴리에틸렌 또는 기타 폴리머 또는 금속으로 형성될 수 있고, 라이너 내에 수용될 물질(예를 들면, 액체)에 대해 불활성인 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 저밀도 폴리에틸렌, 중밀도 폴리에틸렌, PTFE계 적층판, 폴리아미드, 폴리에스터, 폴리우레탄 등과 같은 폴리머 박막 재료로 된, 사전에 세정되고 살균된 붕괴가능 백으로서 제공될 수 있다. 전술한 물질들 중 임의의 물질을 포함하는 다층 적층판이 사용될 수 있다. 라이너 제작의 예시적 물질은 금속화 박막, 포일, 폴리머/코폴리머, 적층판, 압출재(extrusions), 공압출재(co-extrusions), 블로운 앤드 캐스트(blown and cast) 박막을 더 포함한다. 이와 같은 일반적 유형의 라이너-기반 포장은 어드밴스드 테크놀로지 머티리얼즈 인코포레이티드의 상표명 NOWPAK으로서 상업적으로 이용할 수 있다.
액체 및 액체 함유 조성물을 분배하기 위한 라이너-기반 포장의 사용 시, 액체 또는 조성물은 수용된 액체 내에 침지된 상태의 침지관 또는 짧은 프로브를 포함하는 분배 조립체를 라이너의 포트(port)에 연결함으로써 라이너로부터 분배된다. 유체(예를 들면, 기체) 압력은 라이너의 외면(즉, 라이너와 주위 오버팩 용기 사이의 공간)에 가해져서 점진적으로 라이너를 붕괴시키고 그 결과 분배 조립체를 통해 유체를 가압하여 최종 사용 공구 또는 위치까지 유동하도록 관련된 유동 회로로 배출한다. 이와 같은 작동은 라이너-기반 압력 분배(liner-based pressure dispensing)라고 불릴 수 있다. 분배될 액체를 수용하기 위해 라이너를 사용하는 것은 라이너에 압력을 작용하도록 준비된 가압 기체와 직접적인 접촉을 방지한다.
액체(68)를 수용하는 내부 체적을 갖고 오버팩 용기(61) 내에 배치된 라이너(62)를 도시하는 종래의 라이너-기반 포장체(60)의 간략도가 도 1a에 제공되어 있다. 개재 공간(63)이 라이너(62)와 오버팩 용기(61)의 사이에 제공되어 있고, 또 가압 기체 공급원(65)과 유체 연통 상태에 있다. 개재 공간(63)에 가압 기체를 첨가하는 것은 라이너(62)를 압축하여 용기로부터 공정 공구 또는 기타 사용 위치(66)까지 침지관(64)을 통해 액체(68)의 유동을 유발시킨다.
헤드스페이스(headspace)(라이너 상부에서의 여분의 공기 또는 기체) 및 미세기포는 예를 들면 평면 패널 디스플레이(FPD) 및 집적회로(IC) 제조 설비에서 라이너-기반 포장체로부터의 액체 분배에 대해 상당한 공정 문제를 유발한다. 헤드스페이스 기체는 포장체가 액체로 완전히 충만되지 않은 충전 작업으로부터 유발될 수 있다. 포장체의 불완전 충만은 포장체를 분배 위치까지 이송하는 중에 액체의 팽창을 유발하는 온도 변화와 같은 포장체의 주변 환경의 변화를 수용하기 위한 팽창 체적으로서의 헤드스페이스를 제공하기 위해 필요할 수 있다.
포장체의 이송 중에 라이너-기반 포장체 내의 헤드스페이스를 유지하는 것이 바람직할 수 있으나, 이와 같은 헤드스페이스는 유체 분배 및/또는 사용에 유해하다. 헤드스페이스로부터의 기체는 라이너-기반 압력 포장체로부터 분배되는 액체 내에 혼입될 수 있고, 또 분배된 액체가 사용되는 공정 또는 생산물에 유해한 불균질한 다상의 분배된 유체 흐름을 생성할 수 있다. 더욱, 분배된 액체 내에 헤드스페이스로부터의 기체가 존재하는 것은 유체 유량 센서, 유량 제어기 등의 오동작 또는 오류의 원인이 될 수 있다.
액체 조성물을 함유하는 포장체의 사용에 수반하는 관련 문제는 수용된 액체 내로의 기체의 침투 또는 누입(in-leakage) 및 액체 내의 가용화 및 기포 형성이다. 라이너-기반 포장체의 경우, 라이너의 외부의 기체는 라이너를 통해(예를 들면, 약한 투과성 박막 재료, 라이너 패널들 사이의 이음매 및/또는 라이너 패널 내에 형성된 핀홀을 통해) 수용된 액체 내에 침투할 수 있다. 라이너-기반 포장체가 압력 분배 작업용으로 사용되는 경우, 가압 기체 자체(예를 들면, 공기 또는 질소)는 라이너 재료를 통해 침투할 수 있고, 라이너 내의 액체 내에 용해될 수 있다. 그 후 액체가 분배되는 경우, 분배 라인 및 하류의 기구 및 설비 내의 압력 강하는 이전에 용해된 기체의 유리를 유발할 수 있고, 그 결과 분배된 액체의 흐름 내에 기포의 형성을 유발할 수 있고, 그 결과 혼입된 헤드스페이스 기체로부터 유발되는 것과 유사한 악영향을 유발할 수 있다. 그러므로 최초의 분배 전에 헤드스페이스 기체를 제거하는 것이 바람직하다. 또한, 액체 분배가 개시된 후 유리된 기체의 연속적인 제거를 허용하는 것이 바람직하다. 더욱이, 미세기포 형성을 위한 가능성을 경감시키면서 기체 제거를 신속하게 달성하는 것이 바람직하다.
반도체 제품 및 기타 초소형 전자 제품의 제조시, 기포의 존재는 현미경적 크기(미세기포)인 경우에도 집적 회로 또는 평면 패널 디스플레이를 불완전하게 하거나 심지어 사용 목적에 무용하게 할 수 있다. 그러므로 이와 같은 제품의 제조를 위해 사용되는 액체로부터 모든 외래의 기체를 제거시키는 것이 필수적이다.
라이너-기반 포장체의 사용시, 이 포장체는 가압되고, 헤드스페이스 기체가 라이너로부터 유출될 수 있도록 통기 밸브가 개방된다. 헤드스페이스 기체가 고갈된 후, 액체는 헤드스페이스 기체 배출 라인 내로 유입되고, 기체 통기 밸브가 폐쇄되고, 액체 배출 라인 내의 액체만을 분배하기 위한 다른 밸브가 개방된다. 포장체가 예를 들면 분배된 유체의 압력을 감시하는 것 및 시간의 함수로서의 압력 강하를 검출하는 것에 의해 빈 검출 상태의 신호를 전송하는 경우, 라이너를 포함하는 용기에 접합된 커넥터 또는 다른 결합 장치는 고갈된 용기로부터 제거되고 연속된 분배 작업을 위해 새로운 용기(예를 들면, 충만된 용기) 상에 설치될 수 있다. 헤드스페이스 제거 라인 내의 액체의 존재로 인해, 헤드스페이스 기체가 다시 도착할 때까지 액체 센서를 우회하기 위해 타이머가 사용될 수 있다. 그 후, 액체는 통기 라인 내에 재유입되고, 센서는 통기 밸브를 폐쇄하도록 타이머와 함께 재기동된다. 그러나 이와 같은 배열은 하기의 사항의 발생을 수반하는 고장 모드에 영향을 받기 쉽다: (i) 타이머는 정확하게 설정되지 않고 또 헤드스페이스가 제거되었음을 표시하는 착오 신호(false signal)를 전송하고; (ii) 헤드스페이스는 충전된 포장체마다 변화하고, 하나의 포장체를 위해 선택된 설정(settings)은 다른 포장체를 위해서는 부적절하고, 그 결과 헤드스페이스 기체는 정확하게 제거되지 않고; (iii) 헤드스페이스 기체의 통기 라인 내에 포함되어 있는 기포는 헤드스페이스 기체의 제거의 착오 표시를 생성하고; (iv) 헤드스페이스의 통기 라인 내에 (이전에 포함되어 있던) 잔존하는 액체는 헤드스페이스 기체의 제거의 착오 표시를 제공할 수 있다.
더욱, 라이너 포장체로부터의 액체 및 액체계 조성물의 저장 및 분배시, 하류 작동의 종료 또는 물질의 새로운 포장체로의 전환이 적시에 발효될 수 있도록 분배된 물질의 고갈 또는 고갈에의 접근이 검출되도록 분배 작업을 관리하는 것이 바람직하다. 그러므로 분배 작업의 말기 감시의 신뢰성 및 특히 빈 상태 또는 빈 상태에의 접근의 신뢰성은 라이너 포장체의 최적의 사용을 가능하게 하고, 또 이와 같은 포장의 설계 및 실시를 위한 원하는 목적이다. 하류측 공정으로의 분배를 위해 포장체 또는 저장체로부터의 액체의 고갈을 표시하는 빈 상태 또는 빈 상태에의 접근을 신뢰성 및 경제성 있게 검출하는 것이 곤란할 수 있다. 검출의 완료시 제 2 액체 공급원이 자동으로 전환되고, 이것에 의해 임의의 추가적인 하류측 작업상의 우려를 제거하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 상기 압력 분배 포장체로부터 유래하는 액체를 공급하기에 적합한 전환 저장체는 압력 분배 포장체의 유체가 비거나 또는 거의 비었을 때 분배를 위해 사용될 수 있다.
초소형 전자 장치 제품의 제조와 같은 산업적 공정을 위해 액체가 분배되는 포장체와 관련된 다른 문제는 많은 경우 액체가 극히 고가라는 사실에 관련된다. 그러므로 경제적 관점에서 분배 작업이 종료된 후에 포장체 내에 액체의 잔류량이 실질적으로 존재하지 않도록 가능한 한 포장체로부터 액체의 완전한 사용을 달성하는 것이 필요하다. 이와 같은 이유로, 분배 작업의 종점을 결정할 수 있는 방식으로 분배 작업을 감시하는 것이 바람직하다. 포장체 내의 잔류 액체의 양을 최소화하는 효과적인 종점 검출기를 제공하기 위해 본 기술 분야에서 계속적인 노력이 존재한다.
라이너-기반 분배 포장체의 특정의 문제는 어드밴스드 테크놀로지 머티리얼즈 인코포레이티드에 양도되고, 본 출원의 공동 발명자들이 공유하고, 본 명세서에 참조로서 도입된 국제특허공개 제WO/2007/146892호(이하, '892 공개'라 함)에 개시된 시스템 및 방법에 의해 대처되었다. 892 공개는 다음의 효용을 제공하는 고 집적 커넥터를 개시하고 있다: 액체 분배, 헤드스페이스 기체의 제거, 압력 제거, 압력 측정, 및 (즉, 검출 및 밸브 작용을 통한) 저장체의 기체/액체 레벨 제어. (892 공개의 도 20A로부터 차용된) 첨부의 도 1은 일체형 저장체(16) 및 분배 작업 중에 기체가 저장체(16)로부터 주기적 및 자동으로 배출될 수 있도록 저장체(16)의 상측 부분을 따라 기체 포켓이 축적되는 상태를 검출하기 위한 액체(58)와 기체의 사이의 계면에 인접한 (즉, 저장체(16) 내의 액체(58)의 상측에 배치되는) 센서(55)를 포함하는 이와 같은 커넥터(1)의 적어도 일부의 단면도를 제공한다. 도 1에 충분히 도시되지 않았으나 커넥터(1)는 라이너 내로 하방으로 연장하도록 배열되는 (내부에 중심 도관(6)이 형성되어 있는) 프로브(probe)를 포함한다. 중심 도관(6)은 용기 및/또는 라이너(도시되지 않음) 및 커넥터(1)의 본체(24) 내에 배치된 저장체(16)의 중앙으로 연장한다. 중심 도관(6)은 상승하는 기체/액체 유동을 수용하는 중심 보어 및 분배 작업 중에 상승하는 기체/액체가 오버플로우하여 저장체(16) 내에 유입하도록 허용하는 개방된 상측 단부(10)를 갖는다. 가압 기체 공급 라인(3)이 라이너의 액체 내용물의 커넥터(1) 내로의 분배작업을 촉진하기 위해 라이너와 오버팩 용기 사이의 공간에 가압 기체를 공급하기 위해 사용된다. 압력 검출 라인(21) 및 압력 센서(22)는 중심 도관(6) 내의 압력을 검출하기 위해 배치된다. 저장체(16)의 상측 부분과 유체 연통 상태인 기체 도관(18)은 작동 가능한 기체 유출 밸브(34)에 연통 상태로 연결되어 있다. 대응하는 액체 유출 도관(19)이 저장체(16)의 하측 부분과 유체 연통 상태에 있고, 작동 가능한 액체 유출 도관(30)에 연통 상태로 연결되어 있다.
892 공개에 개시된 일체형 저장체 시스템이 그 사용 목적을 달성하지만, 다양한 검토는 이와 같은 시스템에 대한 개조 또는 개량을 위한 만족되지 않은 요구가 존재하는 것을 입증하였다.
라이너-기반 압력 분배 용기는 복수의 기타 유체 라인 및 유체 제어 구성요소를 갖춘 전용 물질 분배 용기 또는 캐비닛 내에 종종 설치된다. 일체형 저장체 및 기타 구성요소의 존재는 압력 분배 용기의 상측에 상당한 공간(체적)의 존재를 필요로 하고, 또 그 공간 내에 복수의 전기 연결부 및 유체 연결부의 형성을 필요로 한다. 압력 분배 용기의 가장 근접한 부분의 체적 상의 요건을 경감하는 것 및 이와 같은 용기의 가장 근접한 부분에 형성되어야 하는 전기 연결부 및 유체 연결부의 수를 경감하는 것이 바람직하다.
892 공개에 따른 압력 분배 포장체 내의 라이너가 손상된 경우, 가압 기체 유입구로부터 중심 도관(예를 들면, 첨부한 도 1에 도시된 바와 같은 중심 도관(6))을 통한 기체의 유동 및 이와 같은 중심 도관을 통한 액체 유동의 배출에 기인하여 이 라이너를 이용한 액체 조성물의 분배를 지속하는 것이 곤란하거나 불가능할 수 있다. 라이너의 완전성이 손상된 경우에도 라이너-기반 압력 분배 조립체의 커넥터를 통해 연속적인 액체 유동을 제공하는 것이 바람직하다.
892 공개에 개시된 것과 같은 저장체 내의 액체 및 기체 사이의 중량에 의한 분리에만 의존하는 것은 극히 고점성 액체 및/또는 액체의 높은 분배 속도가 사용되는 경우에 충분한 분리를 제공할 수 없다. 즉, 중량 용기 분리 시스템 내의 액체의 점성 및 유속에 의존하여 저장체 내의 기포의 상승 운동(즉, 저장체의 상측 부분에 배열된 기체 유출구를 향한 운동)은 저장체 내의 액체의 하강 운동(즉, 저장체의 하측 부분에 배열된 액체 유출구를 향한 운동)을 극복할 만큼 충분히 빠르지 않을 수 있고, 그 결과 일부의 기포는 저장체에 관련된 액체 유출구를 통해 액체의 유동 내에 불필요하게 혼입될 수 있다. 기포가 광범위한 액체 점성 및 액체 유동 속도에 걸쳐 사용 위치에 분배되는 액체 내에 혼입되지 않도록 하는 것이 바람직하다.
침지관을 접합 구조(예를 들면, 오목부가 형성된 구조)에 접합하는 종래의 방법은 때때로 관의 균열을 유발한다. 어떤 접합 방법은 큰 노동을 요하는 확관(tube flaring) 및 기타 기법을 수반한다. 전술한 문제점들을 회피하면서 접합 구조에 대한 침지관의 접합을 적응시키는 것이 바람직하다.
매우 불투명한 액체(예를 들면, 착색된 컬러 필터 물질 및 디스플레이 모니터의 제작시 평면 패널 디스플레이를 코팅하기 위해 사용되는 액체, 및 유사한 유체)의 분배시, 광학적 측정 기법은 무력할 수 있고 정전용량 측정 기법은 이와 같은 액체에 적용될 때 감도 및/또는 신뢰성이 불충분할 수 있으므로 액체의 존재 또는 부존재를 검출하기 위한 종래의 시스템 및 방법은 불충분할 수 있다. 평면 패널 디스플레이용 제조 공정 공구와 같은 원하는 사용 위치에 불투명 유체를 분배하기 위해 그 불투명 유체의 검출의 신뢰성을 증진하는 것이 바람직하다.
소스 물질(액체를 포함)을 수용하도록 배치되는 내부 체적을 형성하는 박막-기반 라이너를 포함하는 오버팩 용기를 포함하는 라이너-기반 압력 분배 포장체로부터 유체를 분배할 때, 라이너의 절첩부(fold) 내에 포획된 기체는 분배 중에 방출될 수 있고, 또 소스 물질 내에 용해될 수 있다. 즉, 종래의 라이너는 관련된 오버팩 용기의 형상에 일치하지 않는 (예를 들면, 전후부 패널, 필요에 따라 상호 외주가 접합되는 측부 패널 및/또는 단부 패널을 포함하는) 2차원 설계를 구현할 수 있고, 기체는 라이너가 팽창되고 충전될 때 이와 같은 라이너의 절첩부 내에 포획될 수 있다. 압력 분배 중의 이와 같은 기체의 방출은 기체가 소스 물질 내에 용해되는 것을 가능하게 한다. 소스 물질이 기체로 포화되었을 때, 소스 물질 또는 (소스 물질을 수용하는) 용기는 기포를 함유하는 소스 물질의 분배를 회피하기 위해 교체되어야 한다. 이와 같은 교체는 압력 분배 용기의 교환과 동시에 압력 분배 용기의 소스 물질이 고갈되고 이것에 의해 소스 물질의 낭비 및 공정 공구의 이용의 감소의 가능성이 있기 훨씬 이전에 필요할 수 있다. 시험 및 모의실험에 기초하여 출원인은 절첩부 기체의 최대량은 200 리터의 라이너에 대해 500 ml를 초과해서는 안 된다는 것을 구명하였다.
도 10은 7개의 상이한 200 리터의 붕괴가 가능한 박막-기반 용기 라이너로부터 유체의 압력 분배 중에 절첩부로부터 방출된 기체를 모델로 하는 모의실험(예를 들면, 0 ml의 절첩부 기체를 수용하는 0 cm 반경의 절첩부, 17 ml의 절첩부 기체를 수용하는 1 cm 반경의 절첩부, 133 ml의 절첩부 기체를 수용하는 2 cm 반경의 절첩부, 447 ml의 절첩부 기체를 수용하는 3 cm 반경의 절첩부, 1061 ml의 절첩부 기체를 수용하는 4 cm 반경의 절첩부, 단일 Z형 절첩 구조, 및 이중 Z형 절첩 구조의 각각을 갖춘 라이너를 포함하는 모의실험)에 대한 용해된 기체의 포화 압력(파스칼) 대 시간(일)을 도시한다. 각 기포의 체적은 기포가 대기압 하에 있다는 것을 가정하여 계산되고, 각 기포의 반경은 기포가 30 psi의 분배 압력을 받는다는 것을 가정하여 계산된다. 도 10에 도시된 바와 같이, 이중 Z형 절첩 라이너 구조가 단일 Z형 절첩 라이너에 비해 더 많은 기체를 포획하는 경향이 있다(그 결과 기체 포화 압력이 더 높아진다). 도 10에 표시된 모의실험에 기초하여 액체의 소스 물질은 이 소스 물질의 약 88%의 분배 후에 (예를 들면 500 ml의) 절첩부 기체에 의해 포화된다.
본 출원인은 절첩부 기체가 분배 공정의 말기까지 압력 분배 라이너의 절첩부로부터 방출되지 않는다는 것을 구명하였다. 이것은 비교적 고강성 및 오버팩 용기에 대한 낮은 일치성을 갖는 라이너는 절첩부를 가질 것이고 또 용해된 기체의 영향을 받기 쉬울 것이라는 것을 의미한다. 도 11은 단일 Z형 절첩부 구조(하측의 곡선)를 갖는 제 1 라이너 및 이중 Z형 절첩부 구조(상측의 곡선)를 갖는 제 2 라이너에 대한 시간에 관한 절첩부 기체의 방출을 도시한다. 이 도면은 단일 Z형 절첩부 구조를 갖는 라이너에 비해 이중 Z형 절첩부 구조를 갖는 라이너 내에서 더 많은 양의 절첩부 기체가 포획되는 것을 보여준다. 도 11은 상당량의 절첩부 기체가 분배 공정의 최종 25% 중에 라이너 내에 잔존하는 것을 보여준다. 이 문제는 또한 분배 공정의 말기 근처에서 라이너 내에 잔존하는 소스 물질에 대한 높은 기체 비율에 의해 악화된다.
절첩부 기체와 협력하거나 협력하지 않거나 라이너 내의 임의 핀홀 또는 더 큰 개구(예를 들면, 파열부(breach))의 존재는 라이너 및 기체 헤드스페이스 내로의 가압 기체의 침투를 허용하고, 그 결과 기체에 의한 소스 물질의 (불필요한) 포화의 달성을 촉진시키는 경향이 있다.
절첩부 기체의 영향 및 소스 물질의 압력 분배시에 손상된 라이너의 영향을 관리하는 것이 바람직하다. 소스 물질의 낭비를 경감하고 소스 물질 용기의 보충 간격의 시간을 연장하기 위해 (예를 들면 기체 포화 상태가 도달되기 전에 소스 물질의 높은 백분율(예를 들면, > 98% 또는 > 99%)의 분배가 가능하도록) 기체 포화 레벨에 도달하지 않는 상태에서 분배된 소스 물질의 백분율을 증대시키는 것이 바람직하다.
본 기술분야에서 분배 포장체, 분배 시스템, 분배 방법, 및 관련된 검출 장치의 개선이 계속 추구되고 있다.
본 발명은 종래의 시스템에 포함되어 있는 다양한 문제점들을 극복하는 유체 분배 시스템 및 방법에 관한 것이다.
하나의 태양에서, 본 발명은 유체 분배 시스템에 관한 것으로서, 이러한 유체 분배 시스템은 압력 분배를 위한 유체를 수용하도록 배치되는 내부 체적을 갖고 용기 개구를 구비하는 용기를 포함하는 압력 분배 포장체(pressure dispensing package); 및 상기 용기 개구에 근접하여 상기 용기와 접합하도록 구성된 분배 조립체(dispensing assembly)를 포함하며, 상기 분배 조립체는 상기 내부 체적에 노출되는 기체 추출 개구; 상기 내부 체적에 노출되는 액체 추출 개구; 상기 기체 추출 개구 및 기체 유출구의 사이에서 연장하는 기체 추출 도관; 및 상기 액체 추출 개구 및 액체 유출구의 사이에서 연장하는 액체 추출 도관을 포함하고; 상기 기체 추출 도관은 상기 액체 추출 도관과 상이하다.
다른 태양에서, 본 발명은 소스 물질을 수용하도록 배치된 내부 체적을 형성하는 라이너를 수납하는 오버팩 용기를 포함하는 라이너-기반 압력 분배 포장체로부터 액체 함유 소스 물질을 분배하도록 구성되는 커넥터에 관한 것으로, 상기 커넥터는 상기 내부 체적으로부터 기체를 추출하도록 배치된 기체 추출 도관, 상기 내부 체적으로부터 액체를 추출하도록 배치된 액체 추출 도관, 및 상기 라이너와 상기 오버팩 용기 사이의 개재 공간에 기체를 공급하도록 배치된 가압 기체 도관을 포함한다.
추가의 태양에서, 본 발명은 압력 분배를 위해 유체를 수용하도록 배치되는 내부 체적을 갖고 용기 개구를 구비하는 용기를 포함하는 압력 분배 포장체와 함께 사용되도록 구성된 구조체에 관한 것으로서, 상기 구조체는 종방향 보어 및 기체 추출 개구를 형성하는 본체를 포함하고, 상기 종방향 보어의 하측 부분은 상기 내부 체적 내로 연장되도록 배치되고 액체 추출 개구를 갖는 침지관(diptube)을 수용하도록 배치되고, 상기 종방향 보어의 상측 부분은 커넥터를 수용하도록 배치되고, 상기 커넥터는 기체 유출구와 유체 연통 상태인 기체 추출 도관을 형성하고 또한 액체 유출구와 유체 연통 상태인 액체 추출 도관을 형성하고; 상기 기체 추출 개구는 상기 내부 체적에 노출되고 또 상기 기체 추출 도관과 유체 연통하여 있고, 상기 액체 추출 개구는 상기 내부 체적에 노출되고 또 상기 액체 추출 도관과 유체 연통하여 있다.
본 발명의 추가의 태양은 압력 분배를 위한 유체를 수용하도록 배치된 내부 체적을 갖는 용기를 포함하는 압력 분배 포장체를 사용하는 방법에 관한 것으로서, 이러한 방법은 기체 추출 도관 및 액체 추출 도관을 형성하는 커넥터를 (i) 상기 내부 체적에 노출되는 액체 추출 개구와 유체 연통이 가능하도록 배치되는 종방향 보어 및 (ii) 상기 내부 체적에 노출되는 기체 추출 개구와 유체 연통이 가능하도록 배치되는 횡방향 보어를 형성하는 분배 조립체 내에 삽입하는 단계로서, 상기 커넥터를 상기 분배 조립체 내로의 삽입은 (a) 액체 추출 도관과 액체 추출 개구 사이 및 (b) 기체 추출 도관과 기체 추출 개구 사이의 유체 연통을 동시에 달성하는, 커넥터를 분배 조립체 내에 삽입하는 단계; 상기 기체 추출 개구 및 기체 추출 도관을 통해 상기 내부 체적으로부터 기체를 추출하는 단계; 및 상기 액체 추출 개구 및 액체 추출 도관을 통해 상기 내부 체적으로부터 액체를 압력 분배하는 단계를 포함한다.
본 발명의 추가의 태양은 액체 흐름으로부터 기체를 제거하도록 구성된 기체 제거 장치에 관한 것으로서, 이러한 기체 제거 장치는 액체의 통과는 허용하지만 기포의 통과는 방지하도록 구성된 여과 매체를 내부에 포함하는 내부 체적을 형성하고 그리고 유체 유입구, 여과 매체를 통과하는 액체를 수용하도록 배치된 액체 유출구, 및 여과 매체를 통한 통과가 방지된 기포로부터 축적되는 기체를 수용하도록 배치된 기체 유출구를 갖는 저장체 본체; 및 내부 체적과 센서 통신 상태에 있고 그리고 내부 체적 내의 압력을 표시하는 출력 신호를 발생하도록 구성되는 압력 트랜스듀서를 포함한다.
본 발명의 추가의 태양은 (a) 압력 분배 포장체의 오버팩 용기 내에 배치되는 붕괴가능한 라이너의 내부 체적 내로부터 기체를 통기하는 단계로서, 상기 라이너가 액체를 더 포함하고, 상기 기체가 분배 조립체 내에 형성된 기체 추출 도관 및 기체 유출구를 통해 통기되는, 기체를 통기하는 단계; (b) 라이너를 가압하기 위해 라이너와 오버팩 용기 사이의 개재 공간에 가압 기체를 공급하고, 이것에 의해 분배 조립체 내에 형성된 액체 추출 도관 및 액체 유출구를 통해 내부 체적으로부터 액체를 분배하는 가압 기체 공급 단계로서, 액체 추출 도관이 기체 추출 도관과 상이한, 가압 기체 공급 단계; (c) 분배 조립체의 하류측에 배치된 저장체 본체를 통한 액체 유출물로부터 수용되는 액체를 유동시키는 단계로서, 상기 저장체 본체는 액체의 통과는 허용하지만 기포의 통과는 방지하도록 구성된 여과 매체를 내부에 포함하는 내부 체적을 형성하고, 상기 저장체 본체는 여과 매체를 통과하는 액체를 수용하도록 배치된 저장체 액체 유출구 및 여과 매체를 통과하는 것이 방지된 기포로부터의 축적된 기체를 수용하도록 배치된 저장체 기체 유출구를 갖는, 액체를 유동시키는 단계; 및 (d) 저장체 기체 유출구로부터 기체를 통기시키는 단계를 포함하는, 방법에 관한 것이다.
다른 태양은 유체 회로 내에서의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하도록 구성된 장치에 관한 것으로서, 이러한 장치는 유체 회로 내의 제 1 위치에서 유체와 센서 통신 상태에 있는 제 1 써미스터로서, 상기 제 1 써미스터의 검출 부분이 기체에 노출되었을 때 제 1 써미스터의 자기 발열을 유발하기에 충분한 제 1 전류 레벨로 구동되도록 구성되는, 제 1 써미스터; 유체 회로 내의 제 2 위치에서 유체와 센서 통신 상태에 있는 제 2 써미스터로서, 상기 제 1 전류 레벨보다 실질적으로 낮은 제 2 전류 레벨로 구동되도록 구성되는, 제 2 써미스터; 제 1 써미스터의 제 1 출력 신호 및 제 2 써미스터의 제 2 출력 신호를 수신하도록 그리고 제 1 출력 신호와 제 2 출력 신호의 비교에 기초하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 판정하도록 구성되는 신호 처리 요소를 포함한다.
또 다른 태양은 유체 회로 내의 제 1 위치에서 유체와 센서 통신 상태에 있는 제 1 써미스터 및 유체 회로 내의 제 2 위치에서 유체와 센서 통신 상태에 있는 제 2 써미스터를 이용하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하기 위한 방법에 관한 것으로서, 이러한 방법은 제 1 써미스터의 검출 부분이 기체에 노출되었을 때 제 1 써미스터의 자기 발열을 유발하기에 충분한 제 1 전류 레벨로 제 1 써미스터를 구동하는 단계; 제 1 전류 레벨보다 실질적으로 낮은 제 2 전류 레벨로 제 2 써미스터를 구동하는 단계; 상기 제 1 써미스터의 제 1 출력 신호와 상기 제 2 써미스터의 제 2 출력 신호를 비교하고, 상기 비교에 기초하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 판정하는 단계를 포함한다.
또 다른 태양은 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하도록 구성된 장치에 관한 것으로서, 이러한 장치는 유체 회로 내의 제 1 위치에서 유체 내에 열을 방열하도록 배치되는 가열 요소; 제 1 가열 요소 및 유체와 센서 통신 상태로 배치되고 그리고 제 1 가열 요소의 온도에 대응하는 제 1 검출 요소 출력 신호를 발생하도록 구성된 제 1 검출 요소; 유체 회로 내의 제 2 위치에서 유체와 센서 통신 상태로 배치되고 그리고 제 2 위치에서의 유체의 온도에 대응하는 제 2 검출 요소 출력 신호를 발생하도록 구성된 제 2 검출 요소; 및 제 1 검출 요소 출력 신호 및 제 2 검출 요소 출력 신호를 수신하도록 그리고 제 1 검출 요소 출력 신호 및 제 2 검출 요소 출력 신호의 비교에 기초하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 판정하도록 구성되는 신호 처리 요소를 포함한다.
다른 태양은 사용 지점에 유체의 분배를 위해 배치되는 유체 분배 시스템에 관한 것으로서, 이러한 유체 분배 시스템은 압력 매개 분배를 위한 유체를 수용하도록 배치되는 제 1 내부 체적을 갖는 제 1 용기를 포함하는 제 1 압력 분배 장치; 압력 매개 분배를 위한 유체를 수용하도록 배치되는 제 2 내부 체적을 갖는 제 2 용기를 포함하는 제 2 압력 분배 장치; 제 1 내부 체적 및 제 2 내부 체적중 적어도 하나로부터의 유체를 수용하도록 배치되는 적어도 하나의 통기 가능한 저장체; 제 1 압력 분배 장치로부터의 유체의 원하는 양의 분배에 대응하거나 또는 제 1 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 기체 포화에의 접근에 대응하는 출력 신호를 발생하도록 구성되는 적어도 하나의 검출 요소; 출력 신호 또는 이러한 출력 신호로부터 생성된 신호에 응답하여 제 2 압력 분배 장치로부터 분배된 유체와 제 1 압력 분배 장치로부터 분배된 유체를 혼합하기 위해 제 2 압력 분배 장치로부터 유체를 분배하도록 구성되는 적어도 하나의 제어 요소; 및 제 1 압력 분배 장치로부터 분배되는 유체를 수용하고 또한 제 2 압력 분배 장치로부터 분배되는 유체를 수용하도록 그리고 상기 유체를 사용 지점까지 운반하도록 구성되는 분배 도관을 포함한다.
또 다른 태양은 유체 분배 방법에 관한 것으로서, 이러한 방법은 제 1 내부 체적을 형성하는 제 1 용기를 포함하는 제 1 압력 분배 장치로부터 유체를 분배하고, 제 1 압력 분배 장치로부터 분배되는 유체로부터 기체를 제거하는 단계; 제 1 압력 분배 장치로부터의 원하는 양의 유체의 분배에 대응하거나 또는 제 1 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 기체 포화에의 접근에 대응하는 상태를 검출하여 출력 신호를 발생하는 단계; 상기 출력 신호 또는 이러한 출력 신호로부터 생성된 신호에 응답하여 내부 체적을 형성하는 제 2 용기를 포함하는 제 2 압력 분배 장치로부터 유체를 분배하고, 제 2 압력 분배 장치로부터 분배되는 유체로부터 기체를 제거하는 단계; 및 사용 지점으로의 혼합류의 분배를 위해 제 1 압력 분배 장치로부터 분배되는 유체류와 제 2 압력 분배 장치로부터 분배되는 유체류를 혼합하는 단계를 포함한다.
다른 태양에서, 본 명세서에 개시된 전술한 태양의 하나 이상의 특징 및/또는 임의의 다른 태양 및 특징은 추가의 이점을 위해 결합될 수 있다.
본 발명의 다른 태양, 특징 및 실시예들은 다음의 설명 및 첨부된 청구항으로부터 더욱 명확히 이해될 것이다.
분배 포장체, 분배 시스템, 분배 방법, 및 관련된 검출 장치를 개선한다.
도 1a는 미국특허 제US 7,172,096호에 개시된 관련된 기술의 라이너-기반 압력 분배 포장체의 간략화된 개략 측단면도,
도 1b는 국제특허공개 제WO/2007/146892호에 개시된 관련 기술의 라이너-기반 압력 분배 포장체를 위한 저장체를 수용하는 커넥터의 적어도 일부의 단면도,
도 2는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 압력 분배 포장체를 위한 커넥터의 간략 단면도로서, 이 커넥터는 기체 추출 도관 및 이 기체 추출 도관으로부터 독립된 액체 추출 도관을 포함하는 도면,
도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따라 분배 포장체 또는 분배 조립체의 하류에 설치되도록 배치되고 또 액체의 통과는 허용하지만 기포의 통과는 방지하는 여과 매체를 내부에 포함하는 저장체 본체의 개략 단면도로서, 하나의 압력 트랜스듀서가 내부 체적과 센서 통신 상태에 있는 도면,
도 4a는 커넥터, 라이너 장착구 어댑터 및 본 발명의 하나의 실시예에 따른 압력 분배 포장체와 함께 사용되도록 구성된 침지관의 측단면도,
도 4b는 도 4a의 커넥터, 라이너 장착구 어댑터 및 침지관의 측단면도 및 본 발명의 하나의 실시예에 따른 하류측의 검출 및 유동 제어 구성요소의 간략도를 포함하는 도면,
도 5a는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 압력 분배 포장체와 함께 사용되도록 구성된 라이너 장착구 어댑터의 측면도,
도 5b는 도 5a의 라이너 장착구 어댑터의 분해 사시도,
도 5c는 도 5a 및 도 5b의 라이너 장착구 어댑터의 단면도,
도 6a는 커넥터, 폐쇄체, 라이너 장착구, 및 본 발명의 하나의 실시예에 따른 압력 분배 포장체와 함께 사용되도록 배치된 라이너 장착구 어댑터의 측단면도,
도 6b는 도 6a에 도시된 라이너 장착구 어댑터와 함께 사용되기에 적합한 침지관의 측면도,
도 7a는 커넥터, 용기, 라이너 장착구, 및 본 발명의 하나의 실시예에 따른 압력 분배 포장체와 함께 사용되도록 배치된 라이너 장착구 어댑터의 측단면도,
도 7b는 도 7a에 도시된 라이너 장착구 어댑터와 함께 사용되기에 적합한 침지관의 측면도,
도 8은 복수의 온도 검출 요소 및 이 온도 검출 요소의 출력의 비교에 기초하여 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 판정하도록 배치된 신호 처리 요소를 포함하는 유체 분배 시스템의 다양한 구성요소들 사이의 연결부를 도시한 개략도,
도 9는 유체 회로 내의 유체와 열적 연결 상태로 설치될 수 있는 제 1 및 제 2 써미스터의 사용을 포함하는 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하기 위한 장치의 전기 요소를 모델로 하는 회로도,
도 10은 7개의 상이한 200 리터의 붕괴가 가능한 박막-기반 용기 라이너로부터 유체의 압력 분배 중에 절첩부로부터 방출된 기체를 모델로 하는 모의실험에 대한 용해된 기체의 포화 압력(파스칼) 대 시간(일)의 곡선 그래프,
도 11은 단일 Z형 절첩부 구조를 갖는 제 1 박막-기반 용기 라이너 및 이중 Z형 절첩부 구조를 갖는 제 2 박막-기반 용기 라이너에 대한 시간(분)의 함수로서의 절첩부 기체의 방출(밀리리터)을 도시하는 선 그래프,
도 12는 (A) 0의 헤드스페이스를 갖는 200 리터의 붕괴 가능한 박막-기반 용기 라이너, (B) 통상의 헤드스페이스를 갖는 200 리터의 붕괴 가능한 박막-기반 용기 라이너, 및 (C) 제 1 라이너에 의해 분배된 유체와 그 후 제 2의 200 리터 라이너에 의해 분배된 유체를 혼합한 상태에서 ~ 3.7일 경과될 때까지 통상의 헤드스페이스를 갖는 제 1의 200 리터의 붕괴 가능한 박막-기반 라이너로부터 압력 분배 중에 절첩부로부터 방출된 기체를 모델로 하는 모의실험에 대한 용해된 기체의 포화 압력(파스칼) 대 시간(일)의 선 그래프,
도 13은 각각 분배된 유체 압력을 감시하도록 배치된 관련된 압력 트랜스듀서를 갖고 또 제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터의 혼합된 유체의 유동을 수용하는 공통의 유출구를 갖는 통기 가능한 저장체를 갖는 제 1 및 제 2 분배 장치를 포함하는 유체 분배 시스템의 다양한 구성요소들 사이의 연결부를 도시하는 회로도,
도 14는 각각 결합된 용기/유체의 중량을 검출하도록 배치된 관련된 계량장치를 갖고 또 제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터의 혼합된 유체의 유동을 수용하는 공통의 유출구를 갖는 통기 가능한 저장체를 갖는 제 1 및 제 2 분배 장치를 포함하는 유체 분배 시스템의 다양한 구성요소들 사이의 연결부를 도시하는 회로도,
도 15는 각각 분배된 유체 유동을 감시하도록 배치된 관련된 유량계 및/또는 유량 제어기를 갖고 또 제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터의 혼합된 유체의 유동을 수용하는 공통의 유출구를 갖는 통기 가능한 저장체를 갖는 제 1 및 제 2 분배 장치를 포함하는 유체 분배 시스템의 다양한 구성요소들 사이의 연결부를 도시하는 회로도.
본 발명은 압력 분배의 대상인 액체 및 액체 함유 소스 물질로부터 기포 및 혼입된 기체를 제거하는 능력을 포함하는 개선된 분배 시스템에 대한 특정의 태양에 관한 것이다. 특별한 태양에서 본 발명은 화학 시약 및 조성물(예를 들면, 초소형 전자 장치 제품의 제조에 사용되는 고순도의 액체 시약 및 화학 기계 연마 조성물)의 저장 및 분배를 위한 라이너-기반 액체 수용 시스템에 관한 것이다.
라이너가 강성 또는 반강성의 외부 용기 내에 장착되어 있는 유체 물질의 저장 및 분배를 위한 라이너-기반 포장체의 사용시, 분배 작업은 라이너 외부의 용기 내로의 압력 분배 기체의 유입을 수반할 수 있고, 그 결과 기체에 의해 가해지는 압력은 라이너 내의 유체 물질을 강제로 배출시키도록 라이너를 점진적으로 강제 압축시킨다. 이와 같이 분배된 유체 물질은 배관, 매니폴드, 관통 커넥터, 밸브 등을 통해 사용 지점(예를 들면, 유체를 이용하는 공정 공구)까지 유동될 수 있다.
이와 같은 라이너-기반 액체 수용 시스템은 화학 시약 및 다양한 특성의 조성물을 저장 및 분배하기 위해 채용될 수 있다. 비록 본 발명이 이하에서 초소형 전자 장치 제품의 제조에 사용하기 위한 액체 또는 액체 함유 조성물의 저장 및 분배에 관하여 주로 설명되었으나, 본 발명의 사용은 이것에 제한되지 않고 오히려 광범위한 다른 사용처 및 수용된 물질까지 연장하고 또 이들을 포함하는 것은 당연하다.
비록 본 발명이 이하에서 다양한 라이너-기반 포장체 및 용기를 포함하는 특정 실시예에 관하여 논의되었으나, 예를 들면 압력 분배 배열 또는 기타 본 발명의 특징에 관련되는 다양한 실시예가 라이너가 없는 포장체 및 용기 시스템에서 실시될 수 있는 것은 당연하다.
본 명세서에서 사용되는 "초소형 전자 장치(microelectronic device)"라는 용어는 레지스트 코팅된 반도체 기판, 평면 패널 디스플레이, 박막 기록 헤드, 미소전기기계 시스템(MEMS), 및 기타 고도의 초소형 전자 구성요소를 말한다. 이 초소형 전자 장치는 패턴을 갖고 및/또는 도막을 갖는 실리콘 웨이퍼, 평면 패널 디스플레이 기판 또는 폴리머 기판을 포함할 수 있다. 더욱, 초소형 전자 장치는 메조다공질(mesoporous) 또는 마이크로다공질(microporous)의 무기질 고체를 포함할 수 있다.
액체 및 액체 함유 조성물(이하 액체 매체라 함)의 라이너 포장에서, 라이너 내의 액체 매체의 헤드스페이스를 최소화하는 것이 바람직하다. 헤드스페이스는 라이너 내의 액체 매체의 상부에 위치되는 기체의 체적이다.
본 발명의 라이너-기반 액체 매체 수용 시스템은 초소형 전자 장치 제품의 제조에 사용되는 액체 매체에의 적용에 특별한 용도를 갖는다. 더욱, 이와 같은 시스템은 액체 매체 또는 액체 물질의 포장이 필요한 의약 제품, 건축 및 건설 재료, 식품 및 음료 제품, 화석 연료 및 오일, 농약 등을 포함하는 수많은 다른 적용에서의 용도를 갖는다.
본 명세서에서 라이너 내의 유체에 관하여 사용되는 "0의 헤드스페이스(zero headspace; ZHS)"라는 용어는 라이너가 액체 매체로 완전히 충전되어 있고 라이너 내의 액체 매체의 상부에 기체의 체적이 전혀 존재하지 않는 것을 의미한다.
상응하여 본 명세서에서 라이너에 관하여 사용되는 "0에 근접하는 헤드스페이스(near zero headspace)"라는 용어는 라이너 내의 액체 매체의 상부에 극히 소량의 기체가 존재하는 것을 제외하면 라이너가 액체 매체로 거의 완전히 충전된 것을 의미하는 것으로서, 예를 들면 기체의 체적이 라이너 내의 액체의 총 체적의 5% 미만, 바람직하게는 액체의 총 체적의 3% 미만, 더 바람직하게는 액체의 총 체적의 2% 미만, 가장 바람직하게는 액체의 총 체적의 1% 미만인 것(또 다른 방식으로 표현하면, 라이너 내의 액체의 체적이 라이너의 총 체적의 95%를 초과, 바람직하게는 그와 같은 총 체적의 97%를 초과, 더욱 바람직하게는 그와 같은 총 체적의 98%를 초과, 더더욱 바람직하게는 그와 같은 총 체적의 99%를 초과, 가장 바람직하게는 그와 같은 총 체적의 99.9%를 초과)을 의미한다.
포장체의 이송 중에 강성의 외부 용기에 대해 라이너가 충돌할 뿐 아니라 액체 매체가 라이너 내에서 액면요동(sloshing), 비산(splashing) 및 이동되므로 헤드스페이스의 체적이 크면 클수록 상측에 위치되는 기체가 액체 매체 내에 혼입 및/또는 용해될 가능성이 증대한다. 이 상황의 다음에는 기포(예를 들면, 미세기포) 및 액체 매체 내의 입자의 형성이 유발되고, 이것은 액체 매체를 열화시키고, 또 사용 목적에 부적합하게 할 가능성이 있다. 이러한 이유로, 헤드스페이스는 사용 지점에서 액체 매체로 라이너의 내부 체적을 완전히 충전시킴으로써 최소화되고 또 바람직하게는 제거되는 것(즉, 0 또는 0에 근접하는 헤드스페이스의 형성)이 소망된다. 포장체는 수송 중에 (온도 변화에 따른) 수용된 물질의 팽창을 수용하기 위해 다소의 헤드스페이스 기체와 함께 수송된다. 그러므로 본 발명에 따른 바람직한 시스템은 포장체가 분배 유동 회로를 통해 공구에 연결된 후에 대기 조건(atmospheric conditions)에 근접하는 조건에서 헤드스페이스 기체를 제거하도록 배치된다. 대기 조건에서 기체는 화학적 시약으로부터 방출되고 액체가 공구에 분배되기 전에 시스템으로부터 용이하게 소거될 수 있다.
포장체는 라이너로부터 물질을 분배하기 위해 라이너와 연통 상태인 분배 포트를 포함한다. 다음에 이 분배 포트는 적절한 분배 조립체와 연결된다. 이 분배 조립체는 예를 들면, 프로브 또는 라이너 내의 물질과 접촉하고 또 용기로부터 물질을 분배하는 침지관을 갖춘 커넥터를 포함하는 조립체와 같은 임의의 다양한 형태를 취할 수 있다. 이 포장체는 대형의 포장체일 수 있고, 여기서 라이너는 1 내지 2000 리터 이상의 범위의 물질의 용량을 가진다.
압력 분배 모드에서, 라이너-기반 포장체는 펌프, 압축기, 가압 기체 탱크 등과 같은 가압 기체 공급원에 연결될 수 있다.
하나의 실시예의 분배 조립체는 유동 회로(예를 들면 포장체의 라이너에 공급되는 화학 시약을 이용하는 초소형 전자 장치 제조 설비의 유동 회로)와 연결되도록 구성된다. 반도체 제조용 시약은 포토레지스트(photoresist) 또는 기타 고순도 화학 시약 또는 특수 시약일 수 있다.
하나의 실시예에서, 라이너는 관 형상의 원재료로부터 형성될 수 있다. 예를 들면 블로운(blown) 관 형상 폴리머 박막과 같은 관 형상의 원재료를 사용하는 것에 의해 라이너의 측부를 따른 열 융착(heat seals) 및 용접 이음매가 회피된다. 측부의 용접 이음매가 존재하지 않는 것은 중첩되고 주변이 열 융착된 평면 패널 디스플레이로 형성된 라이너에 비해 라이너에 응력을 가하는 외력 및 압력에 더 양호하게 견딜 수 있는 이점이 있을 수 있다.
라이너는 일회용의 박막 라이너인 것이 바람직하고, 이것에 의해 라이너는 사용 후(예를 들면, 용기 내의 액체가 고갈되었을 때)에 제거될 수 있고, 전체 용기의 재사용이 가능하도록 사전에 세정된 새로운 라이너로 교체될 수 있다. 이와 같은 라이너는 예를 들면 라이너 내에 수용된 액체 내로 침출하는 것에 의해 또는 라이너 내에서 더 큰 확산성을 갖고 또 표면으로 이동하여 가용화하거나 아니면 라이너 내의 액체의 오염물질이 되는 분해 생성물을 생성하도록 분해되는 것에 의해 오염물질 공급원이 될 수 있는 가소제, 항산화 물질, 자외선 안정제, 부형제 등과 같은 성분이 없는 것이 바람직하다.
라이너용으로는 버진(virgin; 첨가물이 없는) 폴리에틸렌 박막, 버진 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 박막, 또는 폴리비닐알코올, 폴리프로필렌, 폴리우레탄, 폴리비닐리덴 클로라이드, 폴리비닐클로라이드, 폴리아세탈, 폴리스티렌, 폴리아크릴로니트릴, 폴리부틸렌 등과 같은 기타 적절한 버진 폴리머 물질과 같은 실질적으로 순수한 박막이 사용되는 것이 바람직하다. 더욱 일반적으로, 라이너는 금속화 및 포일을 갖추거나 갖추지 않은 상태로 적층판, 공압출재, 오버몰드 압출(overmold extrusion), 복합재, 코폴리머 및 물질 혼합재로 형성될 수 있다.
라이너 재료의 두께는 예를 들면 약 1 mils(0.001 인치) 내지 약 120 mils(0.120 인치) 범위와 같이 임의의 적절한 두께일 수 있다. 하나의 실시예에서, 라이너는 20 mils(0.020 인치)의 두께를 갖는다.
라이너는 하나 이상의 박막 시이트 또는 그 연부를 따라 밀봉(예를 들면, 용접)될 수 있는 기타 재료를 이용하여 임의의 적절한 방법으로 형성될 수 있다. 하나의 실시예에서, 복수의 평평한 시이트가 라이너를 형성하도록 중첩(적층)되고 그 연부를 따라 밀봉된다. 하나 이상의 시이트는 포트를 포함하거나 시이트의 일면의 상측 부분을 따라 캡(cap) 구조를 포함할 수 있다. 또 하나의 실시예에서, 관 형상 블로우 성형이 사용되고, 용기의 상측 단부에 일체형 충전 개구가 형성되고, 이 개구는 포트 또는 캡 구조에 접합될 수 있다. 따라서 라이너는 각각 유체의 도입 또는 배출을 수반하는 충전 작업 또는 분배 작업을 위한 적합한 커넥터에 라이너를 결합하기 위한 하나의 개구를 가질 수 있다. 이와 같은 개구는 구조로 보강될 수 있고, 장착구(fitment)라고 부른다. 장착구는 전형적으로 박막이 접합되는 횡방향으로 연장하는 플랜지 부분 및 이 플랜지 부분에 실질적으로 수직한 방향으로 연장하는 관 형상 부분을 포함한다. 라이너 장착구는 용기의 포트, 용기의 캡 또는 폐쇄체, 또는 기타 적절한 구조물과 겹합할 수 있거나 아니면 접촉할 수 있다. 캡 또는 폐쇄체는 또 유체의 도입 또는 분배를 위해 침지관과 연결되도록 배치될 수 있다.
하나의 실시예에서, 강성 또는 실질적 강성의 붕괴가능한 라이너가 사용된다. 본 명세서에서 사용되는 "강성(rigid)" 또는 "실질적 강성(substantially rigid)"이라는 용어는 표준의 사전적 의미에 더하여 제 1 압력의 환경 하에서 물체 또는 재료의 형태 및/또는 체적을 실질적으로 유지하지만 그 형태 및/또는 체적이 증대되거나 감소된 압력의 환경 하에서 변경될 수 있는 물체 또는 재료의 특성도 포함하는 의미를 갖는다. 물체 또는 재료의 형태 및/또는 체적을 변경하기 위해 필요한 증대되거나 감소된 압력의 크기는 물체 또는 재료의 용도에 의존할 수 있고, 용도마다 달라질 수 있다. 하나의 실시예에서, 강성 또는 실질적 강성의 붕괴가능한 라이너의 적어도 일부는 강성이고, 이 라이너의 적어도 일부는 이와 같은 라이너의 적어도 일부에 대해 가압 유체를 가하는 것에 의해 압력 분배 상태 하에서 붕괴된다. 하나의 실시예에서, 강성 또는 실질적 강성의 붕괴가능한 라이너는 액체로 충전되었을 때 라이너가 자기 지지(self-supporting)되는 충분한 두께 및 조성의 재료로 제조될 수 있다. 강성 또는 실질적 강성의 붕괴가능한 라이너는 단일 벽 또는 다중 벽의 특징을 가질 수 있고, 폴리머 재료를 포함하는 것이 바람직하다. 폴리머 재료의 다층의 적층 복합체 및/또는 (예를 들면, 열 및/또는 압력의 적용에 의해 적층된) 기타의 재료가 이용될 수 있다. 강성 또는 실질적 강성의 붕괴가능한 라이너는 임의의 하나 이상의 적절한 적층, 압출, 주조(molding), 성형(shaping), 및 용접 단계에 의해 형성될 수 있다. 강성 또는 실질적 강성의 붕괴가능한 라이너는 이 라이너와 일체로 형성된 실질적으로 강성인 개구 또는 포트를 갖고, 따라서 별도의 장착구를 용접 또는 기타 밀봉 방법에 의해 라이너에 고정시킬 필요가 없게 한다. 본 명세서에 개시된 분배 조립체 및 분배 장치는 강성 또는 실질적 강성의 붕괴가능한 라이너와 함께 사용될 수 있다.
라이너는 그 상측 부분에 2개의 포트 또는 장착구를 포함할 수 있으나, 단일 포트의 라이너 또는 2개를 초과하는 포트를 갖는 대안적 라이너가 본 발명의 광범위한 실시에서 효과적으로 채용될 수 있다. 붕괴가능한 라이너는 실질적 강성의 하우징 또는 오버팩 내에 배치될 수 있고, 이 하우징 또는 오버팩은 적층성을 촉진하도록 일반적으로 직사각 평행사변형일 수 있고, 용기를 손으로 파지하여 물리적으로 들어올리거나 아니면 용기의 사용 시 이송할 수 있도록 하는 조작용 개구를 가질 수 있다. 대안으로서, 오버팩은 원통 형태 또는 임의의 적절한 형태 또는 구조일 수 있다. 일반적으로 강성의 하우징은 또 라이너를 수용하는 내부 공간을 포위하도록 하우징의 벽에 기밀하게 접합되는 오버팩 뚜껑을 포함할 수 있다. 라이너와 오버팩 용기 사이의 개재 공간(interstitial space)은 가압 기체 공급원과 유체 연통 상태일 수 있고, 그 결과 이 개재 공간에 가압 기체를 가하면 라이너가 압축됨으로써 라이너로부터 액체의 배출이 유발된다.
본 명세서에 개시된 압력 분배 포장체는 초소형 전자 제품 제조 설비의 공정 공구에 연결될 수 있다. 이와 같은 공정 공구는 예를 들면 분배된 액체가 적절한 포토레지스트 물질을 구성하는 웨이퍼에 포토레지스트를 도포하기 위한 스핀 코우터(spin coater)를 포함할 수 있다. 대안으로서 공구는 압력 분배 용기로부터 분배되는 특수 화학 시약을 사용하도록 구성된 임의의 적절한 유형일 수 있다. 그러므로 액체 화학 시약은 초소형 전자 제품(예를 들면, 평면 패널 디스플레이 또는 집적회로를 포함하는 반도체 웨이퍼)을 생산하기 위해 초소형 전자 제품 제조 설비에서 사용하기 위해 하나 이상의 라이너-기반 포장체로부터 분배될 수 있다.
라이너는 가요성 및 붕괴성을 갖는 적절한 두께의 박막 재료로 형성되는 것이 유리하다. 하나의 실시예에서, 라이너는 그 내부 체적이 정격 충전 체적, 즉 라이너가 하우징(14) 내에서 완전 충전되었을 때 라이너 내에 수용될 수 있는 액체의 체적의 약 10% 이하까지 감소될 수 있도록 압축가능하다. 다양한 실시예에서, 라이너의 내부 체적은 정격 충전 체적의 약 0.25% 이하(예를 들면, 4000 밀리리터 포장체에서 10 밀리리터 미만)까지, 또는 약 0.05% 이하(19 리터 포장체에서 10 밀리리터 이하)까지, 또는 0.005% 이하(200 리터 포장체에서 10 밀리리터 이하)까지 압축가능하다. 바람직한 라이너 재료는 교체 유닛으로서 수송 중에 라이너가 절첩 또는 압축될 수 있는 충분히 유연한 것이다. 라이너는 액체가 이 라이너 내에 수용되었을 때 입자 및 미세기포의 형성에 저항할 수 있고, 온도 및 압력 변화에 기인되어 액체의 팽창 및 수축을 허용하는 충분한 가요성을 가지고, 또 예를 들면 반도체 제조시 또는 기타 고도의 순도를 중요시하는 액체의 공급시와 같이 액체가 채용되는 특수한 최종 사용처를 위해 순도 유지에 효과적인 조성물 및 특성을 가진다.
반도체 제조의 용도에서, 본 명세서에 개시된 바와 같은 압력 분배 용기의 라이너 내에 수용된 액체는 라이너의 충전 위치에서 0.20 마이크론 이상의 직경을 갖는 75개 미만의 입자/밀리리터(더욱 바람직하게는 50개 미만의 입자/밀리미터, 더욱 바람직하게는 35개 미만의 입자/밀리미터, 더욱 바람직하게는 20개 미만의 입자/밀리미터)를 가져야 하고, 또 이 라이너는 액체 내에 30 ppb(parts per billion) 미만(더욱 바람직하게는 15 ppb 미만)의 전 유기체 탄소(TOC)를 가져야 하고, 칼슘, 코발트, 구리, 크롬, 철, 몰리브덴, 망간, 소듐, 니켈, 및 텅스텐과 같은 중요 원소에 대하여 10 ppt(parts per trillion) 미만의 금속 추출 레벨을 가져야 하고, 반도체 공업회의 국제 반도체 기술 로드맵(the Semiconductor Industry Association, International Technology Roadmap for Semiconductors (SIA, ITRS) 1999 Edition)에 기재된 제원표와 일치하는 불화수소, 과산화수소, 수산화암모늄의 라이너 봉입물에 대해 150 ppt 미만의 철 및 구리 추출 레벨을 가져야 한다.
본 발명의 하나의 태양은 용기가 0 또는 0에 근접한 헤드스페이스를 갖도록 용기로부터 헤드스페이스의 제거를 기도한다. 분배 작업이 수행될 수 있도록 용기와 연결하기 위한 적절한 유형의 커넥터가 채용된다. 커넥터에 연결되는 유동 회로는 전류 대 압력 제어식과 같은 압력 조절장치뿐 아니라 예를 들면 솔레노이드 밸브 또는 고순도 액체 매니폴드 밸브를 포함하는 임의의 적절한 유형일 수 있다.
전술한 시스템에 의해 헤드스페이스 기체는 하류측의 공정 공구 또는 기타 사용 지점에 온-라인 상태(분배 유동 회로 내에서 작동 상태)이고 또 이 하류측의 공정 공구 또는 기타 사용 지점으로 분배하는 저장체로 분배될 수 있다. 이 헤드스페이스 기체는 또 배출부로 폐기되거나 이와 같은 기체의 기타 처분이 실시될 수 있다. 복수의 용기의 각각에 시스템과 별체의 헤드스페이스 기체의 제거를 위한 전용 저장체가 배치될 수 있다.
전술한 시스템은 하류측 공구 또는 기타 분배된 물질을 이용하는 장치 또는 공정에 의해 화학 분배의 전체에 대한 완전한 제어를 실행하기 위해 기존의 설비에 연결될 수 있다. 이 시스템은 분배된 물질을 저장체의 유입 밸브에 공급하도록 배치될 수 있고, 하류측 공정 설비에서 물질을 필요로 하는 경우에 대해 준비 상태에 있을 수 있다. 이것은 임의의 전환 기간(changeover period)을 최소화하고 동시에 화학적 이용을 최대화한다.
헤드스페이스 제거는 관 또는 저장체 내의 액체 매체를 검출하는 센서를 사용할 수 있다. 전술한 시스템의 구성요소는 기존의 시설 및 설비의 요건에 기초하여 독립적으로 사용되거나 추가 부품으로서 사용될 수 있다.
도 2를 참조하면, 하나의 실시예에서 압력 분배 장치와 함께 사용하기 위한 커넥터(100)는 서로 독립되어 있고 또 서로 구별되는 기체 추출 도관(135) 및 액체 추출 도관(125)을 포함하고 있다. 이 커넥터(100)는 각각 기체 유출 포트(138) 및 액체 유출 포트(128)를 통한 유동을 조절하기 위한 기체 통기 밸브(139) 및 액체 분배 밸브(129)가 고정되어 있는 상측 본체 구조(101)를 포함하고 있다. 상측 본체 구조(101)는 액체 추출 도관(125)과 센서 통신 상태에 있는 압력 트랜스듀서(119)를 포함한다. 하나 이상의 추가의 센서(복수의 센서)(155)가 또한 기체 추출 도관(135) 및 액체 추출 도관(125)의 어느 하나 또는 양자와 센서 통신 상태에 있는 상측 본체 구조(101)와 결합될 수 있다. 센서(복수의 센서)(155)로서 채용될 수 있는 센서의 유형의 예는 하나 이상의 신호 처리 요소와 작동 상태로 연결될 수 있는 레벨 센서, 용량 센서, 광학 센서, 화학적 특성 존재 및/또는 농도 센서, 압력 센서, 입자 계수기, 온도 검출 요소, 및 유량 측정 요소를 포함한다. 상측 본체 구조(101)의 하측에는 내부에 기체 추출 도관(135) 및 액체 추출 도관(125)이 형성되어 있는 중간 본체 구조(102)가 배치되어 있다. 이 중간 본체 구조(102)는 원통형일 수 있고 관련된 원주 시일링 요소(112, 113)를 갖고, 이 시일 요소는 분배 조립체(후술됨)의 대응하는 보어 또는 일부와 접합하기 위한 O링 형태일 수 있다. 기체 추출 도관(135)의 하측 개구(130)는 중간 본체 구조(102)의 하측 표면을 따라 배열되어 있다. 하측 본체 구조(103)는 (후술되는 라이너 장착구 어댑터 또는 침지관 커플러와의 접합을 위해 적합할 수 있는) 추가의 원주 시일링 요소(111)를 가질 수 있고 더 하방향으로 연장하여 하측 단부(120)를 형성할 수 있다. 이 하측 단부(120)는 압력 분배 용기로부터 액체를 추출하기 위해 이 압력 분배 용기의 내부에 삽입 연결되는 침지관(도시되지 않음)과 접합하기 위해 배열되어 있다. 중간 본체 구조(102) 및 하측 본체 구조(103)는 조합하여 프로브라고 부를 수 있다.
단일의 커넥터(100) 내에 독립되고 구별되는 기체 추출 도관(135) 및 액체 추출 도관(125)을 제공하고 또 저장체의 존재를 제거하는 것에 의해, 도 2에 도시된 커넥터는 국제특허공개 제WO/2007/146892호("892 공개")에 개시되어 있는 바와 같은 저장체 및 기체/액체 공통 도관을 포함하는 커넥터와 상이하다. 첨부하는 도 2에 도시된 커넥터(100)는 인-커넥터(in-connector) 저장체 내에서의 기체/액체의 상 분리보다는 이 커넥터(100)가 부착되는 압력 분배 포장체 내의 기포(기체)와 액체의 일차적 분리에 응답한다. 압력 분배 용기의 내부 체적에 노출되는 (예를 들면, 침지관의 단부의) 액체 추출 개구가 동일한 내부 체적에 노출되는 기체 추출 개구의 하측에 배치되는 경우, 기체는 (액체 추출 도관(125) 및 액체 유출 포트(128)를 통해) 그 내부 체적으로부터의 액체의 추출 전 및/또는 추출 중에 (예를 들면 기체 추출 도관(135) 및 기체 유출 포트(138)를 통해) 내부 체적으로부터 추출될 수 있다. 압력 분배 용기의 내부에 노출되는 기체 추출 개구는 용기의 내부에 노출되는 액체 추출 개구의 상측 레벨에 배치되는 것이 바람직하다. 액체 및 기체를 위한 독립적인 추출 개구가 존재하므로 침지관이 라이너(또는 적절한 용기)의 저면까지 연장해 있으면 라이너가 파열된 경우에도 라이너-기반 압력 분배 조립체의 커넥터를 통해 액체의 계속적인 유동이 가능하다. 더욱, (침지관의 상측의 상측 부분에 1개의 포트 및 침지관의 저면에 다른 1개의 포트로 2개의 포트를 포함하는) 892 공개에 개시된 침지관에 비해, 본 명세서에 개시된 바와 같은 침지관은 침지관의 상측의 포트를 제거하였으므로 라이너가 (가압 기체 없이) 액체에 대해서만 누설하는 경우에도 침지관에 의해 공기는 인출될 수 있다. 더욱, 인-커넥터 저장체의 작은 범위 내의 중량에 의한 상 분리가 액체 유출구 흐름 내의 기포의 운반을 방지하기에는 지나치게 느릴 수 있는 인-커넥터 저장체(즉, 892 공개에 기재된 바와 같은 용기)를 제거하면 커넥터(100)의 전체 크기가 상당히 감소되고 또 고점성 및/또는 고유속의 액체의 분배와 관련되는 임의의 제한을 회피할 수 있다.
도 3을 참조하면, 하나의 실시예에서 압력 분배 용기와 함께 사용되도록 액체 이송 시스템은 압력 분배 용기와 함께 사용되도록 (도 2에 도시된 커넥터(100)와 같은) 커넥터의 하류측에 배치되는 이 커넥터와 구별되는 저장체-기반 기체 분리 장치(180)를 포함할 수 있다. 이 분리 장치(180)는 액체 유입 포트(195), 액체 유출 포트(196), 기체 유출 포트(197), 및 센서 포트(198)를 형성하고 있는 저장체 본체(190)를 포함한다. 다양한 유형의 그리고 이 장치(180)의 특성에 일치하는 (그러나 임의의 압력 트랜스듀서가 결여되어 있는) 다양한 여과 매체를 포함하는 저장체 본체는 마이크로리스 코오포레이션(Mykrolis Corporation; Billerica, Massachusetts, USA)에서 시판되고 있다. 도 3에서, 액체 유출 포트(196) 및 기체 유출 포트(197)의 각각은 각 포트(196, 197)를 통한 유동을 제어 또는 조절하기 위한 관련된 유동 제어 요소(예를 들면, 밸브)(186, 187)를 가질 수 있다. 저장체 본체(190)는 액체의 통과는 허용하지만 기포의 통과는 방지하도록 구성된 여과 매체(191)를 수용하는 내부 체적을 형성하고 있다. 이 여과 매체(191)는 예를 들면 임의의 하나 이상의 망, 충전 또는 다공질 매체, 박막, 및 스펀본드 부직 재료(예를 들면, 스펀본드 폴리올레핀)를 포함할 수 있다. 복수의 유형의 여과 매체가 상이한 목적 또는 상보적 목적을 위해 사용될 수 있고, 또 직렬로 배치될 수 있다. 예를 들면, 제 1 여과 매체 유형 및/또는 다공율은 입자 물질을 포획하기 위해 사용될 수 있고, 제 2 여과 매체 유형 및/또는 다공율은 특정의 제 1 크기(예를 들면, 대형 크기)의 기포의 통과를 방지하기 위해 사용될 수 있고, 제 3 여과 매체 유형 및/또는 다공율은 특정의 제 2 크기(예를 들면, 소형 크기)의 기포의 통과를 방지하기 위해 사용될 수 있다. 여과 매체의 선택은 분배 대상의 유체의 특성 및 여과 매체의 작동 조건에 의존할 수 있고, 이와 같은 선택은 본 기술 분야의 숙련자에게 공지되어 있다. 각각 서로 상이한 여과 매체를 갖는 복수의 필터 본체가 직렬로 배치될 수 있다. 각 필터는 예를 들면 교체 필터 요소를 수용하도록 구성된 전용의 접속구 또는 하우징을 이용하여 제거될 수 있거나 교체될 수 있는 것이 바람직하다.
작동시, 유체는 액체 공급 라인을 통해 저장체-기반 기체 분리 장치(180)에 공급된다. 이와 같은 유체는 혼입된 기포 및/또는 입자를 갖는 액체를 포함할 수 있다. 이 유체는 저장체 본체(190)의 내부(192)에 유입된다. 하나의 실시예에서, 액체는 여과 매체(191)를 통과하도록 허용되지만 유체 내의 기포는 허용되지 않는다. 기포는 여과 매체(191)의 외부를 따라 축적될 수 있고, 그 후 기체 유출 포트(197)를 향해 유동하여 장치(180)의 외부로 배출된다. 기체 제어 요소(187)는 액체가 이 기체 제어 요소(187)를 통해 방출되는 것을 방지하기 위해 액체 제어 요소(186)가 개방 상태에 유지되는 중에 연장된 기간 동안 폐쇄될 수 있다. 기체 제어 요소(187)는 액체 제어 요소(186)가 개방 상태에 유지되어 있는 중에 또는 액체 제어 요소(186)가 폐쇄되었을 때 저장체 내부(192)에 축적되어 있는 기체를 토출 또는 통기시키기 위해 주기적으로 개방될 수 있다.
압력 트랜스듀서(199A)는 센서 포트(198)를 통해 내부 체적(192)과 센서 통신 상태에 있고 또 이와 같은 내부 체적(192) 내의 압력을 표시하는 출력 신호를 발생하도록 배치되어 있다. 관련된 제어기(도시되지 않음)가 이 출력 신호에 응답하여 유체의 유동(예를 들면, 저장체 본체(190)에 공급된 유체의 흐름, 저장체 본체에 존재하는 액체 흐름, 및/또는 저장체 본체 내에 존재하는 기체 흐름)을 제어하도록 배치되어 사용될 수 있다. 하나의 실시예에서, 압력 트랜스듀서(199A)는 압력 분배 포장체 내의 유체의 고갈 또는 고갈에 근접하는 상태를 표시하는 분배 유체의 압력 강하를 검출하기 위해 사용될 수 있다. 하나의 실시예에서, 압력 트랜스듀서(199A)는 내부 체적(192) 내의 여과 매체(191)의 폐색의 가능성 및/또는 기체의 과도한 축적의 가능성을 표시하는 저장체 본체(190) 내의 상승된 배압(back pressure)을 전송함으로써 적절한 경보 및/또는 시정 조치를 취할 수 있도록 하기 위해 사용될 수 있다. 레벨 센서(199B)(예를 들면, 용량 센서)도 이 저장체-기반 기체 분리 장치(180)에 제공되어 저장체 본체(190)의 내부(192)의 액체의 레벨을 검출하기 위해 사용될 수 있다. 저장체-기반 기체 분리 장치(180)의 상류측에 배치된 압력 분배 용기의 작동 및/또는 저장체-기반 기체 분리 장치(180) 자체의 작동은 입력 트랜스듀서(199A)의 출력 신호 및/또는 레벨 센서(199B)의 출력 신호에 응답하여 제어될 수 있다. 레벨 센서(199B)에 의해 검출된 바와 같이 저장체 본체(192)의 내부(192)의 액체 레벨이 과도하게 강하되면, 이 조건은 자동 기체 통기 장치를 제공하는 기체 제어 요소(187)를 사용하여 내부(192)로부터 기체의 통기를 개시하도록 사용된다.
하나의 실시예에서, 압력 트랜스듀서(199A) 및/또는 레벨 센서(199B)는 적어도 하나의 다른 센서로 대체되거나 보완될 수 있다. 센서(복수의 센서)(199A, 199B)로서 채용될 수 있는 센서의 유형의 예는 광학 센서, 화학적 특성 존재 및/또는 농도 센서, 입자 계수기, 유량 측정 요소(예를 들면, 코리올리 유형의 센서), 및 온도 센서를 포함한다. 유량 측정 요소는 질량 유량 제어기 내에 구현될 수 있다. 이와 같은 기타 센서(복수의 센서)는 사용할 수 있는 포트(198)를 통해 저장체 본체(190)에 연결되거나 또는 유체 유입 포트(195), 액체 유출 포트(186), 및/또는 기체 유출 포트(87)와 일치하는 것과 같이 관류(flow-through)계로 배치될 수 있다. 하나 이상의 기타 센서(복수의 센서)로부터의 신호는 또 저장체-기반 기체 분리 장치(180)의 상류측에 배치된 압력 분배 용기의 작동 및/또는 저장체-기반 기체 분리 장치(180) 자체의 작동을 제어하기 위해 사용될 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 커넥터(270), 라이너 장착구 어댑터(250), 및 하나의 실시예에 따른 압력 분배 포장체를 위한 침지관(230)을 포함하는 분배 조립체(200)의 특정의 배열을 도시하고 있고, 도 4b는 하류측의 유동 제어 구성요소의 개략도를 더 포함한다. 라이너 장착구 어댑터(250)는 (도 6a 및 도 7a에 도시된 바와 같이) 커넥터(270) 및 라이너 장착구 사이의 중간 연결을 위해 배열된다. 도 4a를 참조하면, 커넥터(270)는 본체 구조(201), 하방향으로 연장하는 프로브 부분(270A), 액체 추출 도관(272)과 유체 연통 상태인 액체 유출 포트(238), 기체 추출 도관(279)과 유체 연통 상태인 기체 유출 포트(228), 및 가압 기체 도관에 기체를 공급하도록 배치되는 가압 기체 유입구를 포함한다. 액체 추출 도관(272)은 커넥터(270)의 하측 단부(271)에서 종료한다. 커넥터(270)는 라이너와 용기 사이에 개재하는 체적에 공급되는 기체의 압력을 검출하기 위해 배치되는 압력 센서를 필요에 따라 포함할 수 있다. 원주 시일링 요소(274B, 275B, 276B)가 라이너 장착구 어댑터(250) 내에 형성된 종방향 보어의 상측 부분(260)과 커넥터(270)의 시일링 결합을 촉진하기 위해 커넥터(270)의 하측 부분을 따라 제공될 수 있다. 여기서 사용된 "종방향(longitudinal)"이라는 용어는 장착구 어댑터가 직립상태로 설치되었을 때 일반적으로 수직 축선을 따르는 방향 또는 수직 축선에 근접하는 방향을 말한다. 커넥터(270)가 라이너 장착구 어댑터의 종방향 보어의 상측 부분(260) 내에 삽입되었을 때, 커넥터(270)의 시일링 요소(275B, 274B)는 라이너 장착구 어댑터(250)를 통해 형성된 적어도 하나의 횡방향 기체 통로(259)의 상측 및 하측에 각각 배치되고, 커넥터(270)의 액체 추출 도관(272)은 침지관(230)과 유체 연통이 가능하도록 종방향 보어의 중간 부분(255) 및 하측 부분(252)과 정렬된다. 여기서 사용된 "횡방향(lateral)"이라는 용어는 실질적인 종방향으로부터 벗어나는 반경방향의 구성요소를 갖는 방향을 말한다. 예를 들면, 횡방향 기체 통로(259)는 라이너 장착구 어댑터(250)를 관통하는 종축선에 대해 직각이거나 또는 수평 및 수직의 양자의 구성요소의 변화를 포함하는 각도를 이룰 수 있다. 침지관(230)은 라이너 장착구 어댑터(250)의 하측 연부(251)를 따라 종방향 보어의 하측 부분(252) 내에 삽입될 수 있다. 압력 분배 포장체의 라이너의 내부 체적에 노출되는 개구를 포함하는 횡방향 기체 통로(259)는 기체 추출 도관(279)과 유체 연통 상태에 있다. 횡방향으로 돌출하는 연부(261)가 라이너 장착구 어댑터(250)의 상측 부분을 따라 제공되어 있다. 횡방향으로 돌출하는 연부(261)의 하측에는 원주 시일링 요소(266)(예를 들면, O링)가 장착구 어댑터(250)와 라이너 장착구 또는 기타 구성요소(도시되지 않음)의 사이의 시일링을 촉진하도록 홈(265A) 내에 배치되어 있다.
도 4b는 도 4a에 도시된 것과 동일한 분배 조립체(200) 이외에 압력 트랜스듀서(245), 액체 유동 제어 요소(244), 및 압력 분배 포장체로부터 분배되는 액체 내의 기포의 존재를 표시하는 출력 신호를 발생하도록 배치된 기포 센서(249)를 갖는 액체 유출구 라인(246)을 포함하는 하류측의 유동 제어 및 검출 조립체(240)를 더 갖추고 있다. 유동 제어 및 검출 조립체(240)는 또 기포 센서 및/또는 액체 센서(242) 및 기체 유동 제어 요소(243)를 갖는 기체 유출 라인(241)을 포함하고 있다. 유동 제어 및 검출 조립체(240)는 조립체(240) 내에 배치된 다양한 센서들 중의 임의의 센서로부터의 입력을 수신하기 위한 제어기(도시되지 않음)를 포함할 수 있고, 이 조립체는 분배 조립체(200) 및/또는 유동 제어 및 검출 조립체(240)의 더욱 하류측에 배치되는 공정과 결합되어 있다. 압력 트랜스듀서(245)는 압력 분배 포장체 내의 유체의 고갈 또는 고갈에 근접한 상태를 표시하는 분배 유체의 압력 강하를 검출하기 위해 사용될 수 있고, 이 압력 트랜스듀서(245)의 출력 신호는 하나의 압력 분배 용기로부터 다른 압력 분배 용기로의 분배의 자동 전환을 초래하기 위해, 경보 상태를 작동시키기 위해, 또는 임의의 다른 적절한 조치를 취하기 위해 사용될 수 있다. 액체 유출구 라인(246) 내에 배치된 기포 센서(249)는 기포가 액체 라인 내에 분배되고 있는지의 여부를 검출하고, 만일 기포가 검출되면 분배를 중단시키기 위해 사용된다. 기포 센서 및/또는 기체 유출 라인(241) 내에 배치되는 액체 센서(242)는 기체 유출 라인(241) 내의 액체의 존재를 표시하는 상태를 검출하고, 만일 액체가 검출되면 기체 유출 라인(241)을 통한 유체의 통과를 중단시키기 위해 사용될 수 있다. 전술한 센서들은 레벨 센서, 용량 센서, 광학 센서, 화학적 특성 존재 및/또는 농도 센서, 압력 센서, 입자 계수기, 및 유량 측정 요소(그러나 이것에 한정되지 않음)와 같은 본 명세서에 개시된 바와 같은 다양한 유형의 하나 이상의 센서로 대체 또는 보완될 수 있다. 헤드스페이스 기체는 압력 분배 용기로부터의 액체의 압력 분배의 개시 직전에 또는 개시 시에 기체 유출 라인(241)을 통해 통기될 수 있고, 기체 유동 제어 요소(243)(예를 들면, 밸브)는 이와 같은 통기를 선택적으로 촉발하기 위해 작동할 수 있다. 액체가 액체 유출 라인(246)을 통해 유동하는 상태에서 기체 유출 라인을 통한 유동은 액체 분배 작업 중에 봉쇄될 수 있다.
도 5a 내지 도 5c는 도 4a 및 도 4b에 도시된 라이너 장착구 어댑터(250)와 유사한 특성의 라이너 장착구 어댑터(350)를 도시한다. 장착구 어댑터(350)의 수형(male)의 내측 부분(350A)은 확개된 연부(362)를 갖는 상측 표면(361)을 포함하고, 환형의 오목부(363)가 상측 표면(361)의 하측으로 연장하여 있다. 확개된 연부(362)의 하측에 원주 홈(366)이 장착구 어댑터(350)와 라이너 장착구 또는 기타 구성요소(도시되지 않음) 사이의 시일링을 촉진하기 위해 O링(도시되지 않음)과 같은 시일링 요소를 수용하도록 제공된다.
도 5b에 도시된 바와 같이, 장착구 어댑터(350)는 벽(357)을 갖는 컵 형상의 암형(female)의 외측 부분(350B) 및 이 외측 부분(350B) 내에 삽입되도록 배치되는 수형의 내측 부분(350A)을 포함하는 2개의 부품으로 제작될 수 있다. 암형의 외측 부분(350B)은 공동부(354) 및 수형의 내측 부분(350A)의 횡방향 기체 통로(359)를 형성하는 횡방향 관(359A)을 수용하도록 배치되는 노치(359)를 형성한다. 암형의 외측 부분(350B)은 수형의 내측 부분(350A)의 돌출하는 하측 단부(351A)를 수용하도록 배치되는 보어(358)를 형성하는 하측 단부(351B)를 갖고, 디텐트(detent) 및 오목부가 이들 부분(350A, 350B)의 유지를 위해 형성되어 있다. 수형의 내측 부분(350A)은 (상방향으로 돌출하는 관 형상 부분(360A)에 의해 일부가 형성되는) 상측 부분(360), 중간 보어 부분(355), 및 장착구 어댑터(350)의 수형의 내측 부분(350A)의 하측 연부(351B)까지 연장하는 하측 보어 부분(352)을 포함하는 종방향 보어를 형성하고 있다. 이들 보어 부분(360, 355, 352)은 동축인 것이 바람직하지만 도시된 바와 같이 서로 다른 직경을 가질 수 있다. 이 중간 부분(355)은 커넥터 또는 침지관이 라이너 장착구 어댑터(350) 내의 과도한 깊이까지 삽입되는 것을 방지하기 위해 스토퍼로서 작용하도록 상측 부분(360) 및 하측 부분(352)에 비해 소직경을 가질 수 있다. 하측 보어 부분(352)은 종방향 보어의 하측 부분(352) 내에 삽입된 침지관(도시되지 않음)을 압축력을 가하여 유지하도록 배치되는 적어도 하나의 나선상 압축 구조를 필요에 따라 형성할 수 있다. 상측 보어 부분(360)은 (도 4a 및 도 4b에 도시된 커넥터(270)와 같은) 커넥터의 일 부분을 수용하도록 배치된다. 도 5c에 도시된 바와 같은 횡방향 기체 통로(359)는 종방향 보어의 상측 부분(360)에 대해 실질적으로 직각(수직)이다. 라이너 장착구 어댑터(350)를 포함하는 분배 조립체의 작동시, 횡방향 기체 통로(359)는 커넥터가 상측 보어 부분(360) 내에 삽입되었을 때 기체 추출 도관과 유체 연통 상태인 것이 바람직하다.
도 6a는 커넥터(370), 폐쇄체(310), 라이너 장착구 고정구(315), 및 압력 분배 포장체와 함께 사용되도록 배치되는 라이너 장착구 어댑터(350)를 포함하는 분배 장치(300)를 도시한다. 라이너 장착구(도시되지 않음)는 장착구 고정구(315)와 라이너 장착구 어댑터(350)의 사이에 배치될 수 있다. 커넥터(370)는 본체 구조(301), 하방향으로 연장하는 프로브 부분(370A), 액체 추출 도관(372)과 유체 연통 상태인 액체 유출 포트(328), 기체 추출 도관(379)과 유체 연통 상태인 기체 유출 포트(338), 및 가압 기체 도관(347)과 유체 연통 상태인 가압 기체 유입구(348)를 포함한다. 액체 추출 도관(372)은 커넥터(370)의 하측 단부(371)에서 종료한다. 커넥터(370)는 라이너와 오버팩 용기 사이의 개재 공간 내의 압력을 검출하도록 배치될 수 있는 선택적인 압력 센서를 포함할 수 있다. O링과 같은 원주 시일링 요소(예를 들면, 시일링 요소(374B, 377B))를 유지하도록 배치되는 다양한 원주 홈(예를 들면, 홈(375A, 376A, 377A))이 라이너 장착구 어댑터(350) 내에 형성된 종방향 보어의 상측 부분(360)과 커넥터(370)의 시일링 결합을 촉진하기 위해 커넥터(370)의 일부를 따라 제공될 수 있다. 커넥터(370)가 라이너 장착구 어댑터(350)의 종방향 보어의 상측 부분(360) 내에 삽입되었을 때, 커넥터(370)의 시일링 요소(예를 들면, 홈(375A, 376A) 내에 설치된 것)는 라이너 장착구 어댑터(350)를 통해 형성된 횡방향 기체 통로(359의 각각 상측 및 하측에 배치되고, 커넥터(370)의 액체 추출 도관(372)은 종방향 보어의 중간 부분(355) 및 하측 부분(352)과 정렬됨으로써 라이너 장착구 어댑터(350)의 하측 연부를 따라 종방향 보어의 하측 부분(352) 내에 삽입될 수 있는 (도 6b에 도시된 침지관(330)과 같은) 침지관과 유체 연통이 가능해진다. 도 6a에 도시된 바와 같은 횡방향 기체 통로(359)는 라이너 장착구 어댑터(350) 내에 형성된 종방향 보어의 상측 부분(360)에 실질적으로 직각(수직)이고, 횡방향 기체 통로(359)는 커넥터(370)가 장착구 어댑터(350) 내에 삽입되었을 때 (커넥터(372) 내에 형성된 횡방향 부분(378)에 의해) 기체 추출 도관(379)과 유체 연통 상태에 있다. 횡방향으로 돌출하는 연부가 라이너 장착구 어댑터(350)의 상측 부분을 따라 제공되어 있다. 횡방향으로 돌출하는 연부(361)의 하측에, 원주 홈(366)이 장착구 어댑터(350)와 라이너 장착구 고정구(315) 또는 기타 관련 구성요소 사이의 시일링을 촉진하기 위한 원주 시일링 요소(예를 들면, O링)를 수용하도록 제공되어 있다.
라이너 장착구 어댑터(350)의 인접부에는 붕괴가능한 라이너에 접합되도록 구성된 라이너 장착구(도시되지 않음)가 배치되어 있다. 라이너 장착구 고정구(315) 및 라이너 장착구 어댑터(350)의 상측에는 오버팩 용기와 같은 압력 분배 용기를 위한 폐쇄체(310)가 배치되어 있고, 이 폐쇄체(310)는 압력 분배 용기의 대응하는 수나사 네크(neck)(도시되지 않음)와 접합하도록 배치되는 암나사 표면(311)을 포함한다. 폐쇄체(310)는 커넥터 본체(301)의 하측 부분을 따라 나사산을 갖는 소켓(302)을 수용하기 위해 상방향으로 연장하는 관련된 수나사 네크(312)를 갖는다. 브레이크시일(305)이 나사산을 갖는 네크(312)의 내부 또는 인접부에 배치되고, 또 커넥터(370)가 브레이크시일(305)을 통해 삽입되어 라이너 장착구 어댑터(350)와 접합될 때까지 압력 분배 포장체 내의 시일링 상태를 유지하는 파열가능한 박막을 포함하는 것이 바람직하다. 커넥터(370)가 라이너 장착구 어댑터(350) 내에 삽입되었을 때, 이와 동시에 유체 연결이 (a) 기체 추출 도관(379) 및 라이너 장착구에 장착된 라이너(도시되지 않음)의 내부 체적 사이, (b) 액체 추출 도관(372) 및 라이너의 내부 체적 사이, 및 (c) 가압 기체 도관(도시되지 않음) 및 오버팩 용기(도시되지 않음)와 라이너 사이의 개재 공간 사이에 형성된다. 단일의 커넥터 삽입 단계를 이용하여 동시적 연결이 성립되므로 사용자의 편의성이 향상되고, 불완전한 연결의 가능성이 제거되고, 또 라이너 내에 단일의 개구가 존재하므로 가능한 누설 경로가 최소화된다.
분배 조립체(300)와 함께 사용되기 위해 적합한 침지관(330)이 도 6b에 도시되어 있다. 유체를 안내하도록 배치되는 중심 보어를 포함하는 침지관은 직선상의 상측 단부(332) 및 횡방향 개구(333)와 하측 보어 개구(도시되지 않음)를 포함하는 하측 단부(331)를 포함한다. 횡방향 보어 개구(333) 및 하측 보어 개구의 존재는 라이너로부터 침지관(330)으로의 액체 유동이 압력 분배 작업 중에 이와 같은 라이너의 붕괴에 의해 (즉, 수직방향 및 횡방향으로) 폐색될 가능성을 감소시킨다. 직선상 상측 단부(332)를 갖는 침지관(330)은 라이너 장착구 어댑터(350)(도 6a)의 종방향 보어의 하측 부분(352) 내에 압입(press-fit)되도록 배치된다. 라이너 장착구 어댑터(350)의 종방향 보어의 중간 부분(352)이 침지관(330)보다 작은 직경을 가지므로 침지관(330)은 라이너 장착구 어댑터(350)가 압력 분배 용기 내에 삽입되기 전 및 커넥터(370)가 라이너 장착구 어댑터(350)의 종방향 보어의 상측 부분(360) 내에 삽입되기 전에 라이너 장착구 어댑터(350)의 종방향 보어의 하측 부분(352) 내에 삽입되어야 한다.
도 7a는 도 6a의 분배 장치와 많은 점에서 유사하지만 상이한 침지관(즉, 도 7b에 도시된 침지관)과 함께 사용되도록 배치되는 상이한 라이너 장착구 어댑터(450)를 갖는 것이 다른 분배 장치(400)를 도시한다. 이 분배 장치(400)는 커넥터(470), 폐쇄체(410), 라이너 장착구 고정구(415), 및 압력 분배 포장체와 함께 사용되도록 배치되는 라이너 장착구 어댑터(451)를 포함한다. 커넥터(470)는 본체 구조(401), 하방향으로 연장하는 프로브 부분(470A), 액체 추출 도관(472)과 유체 연통 상태인 액체 유출 포트(428), 액체 추출 도관(479)과 유체 연통 상태인 기체 유출 포트(438), 및 가압 기체 도관(도시되지 않음)과 유체 연통 상태인 가압 기체 유입구(448)를 포함한다. 액체 추출 도관(472)은 커넥터(470)의 하측 단부(471)에서 종료한다. 이 커넥터(470)는 라이너 및 오버팩 용기 사이의 개재 공간과 유체 연통 상태인 관련된 압력 검출 라인을 가질 수 있는 압력 센서를 선택적으로 포함할 수 있다. O링과 같은 원주 시일링 요소(예를 들면, 시일링 요소(474B, 477B))를 유지하도록 배치되는 다양한 원주 홈(예를 들면, 홈(475A, 476A, 477A))이 라이너 장착구 어댑터(450) 내의 종방향 보어(460)의 상측 부분(460)과 커넥터(470)의 시일링 결합을 촉진하기 위해 커넥터(470)의 부분들을 따라 제공될 수 있다. 커넥터(470)가 종방향 보어의 상측 부분(460) 내에 삽입되었을 때, 커넥터(470)의 시일링 요소(예를 들면, 홈(475A, 476A) 내에 설치된 것)는 라이너 장착구 어댑터(450)를 통해 형성되고 종방향 보어 내로 연장하고 또 횡방향 부분(478) 및 커넥터(470) 내에 형성된 기체 추출 도관(479)과 유체 연통 상태인 횡방향 기체 통로(도시되지 않음)의 각각 상측 및 하측에 배치된다. 홈(476A, 477A)은 라이너 장착구 어댑터(450)의 종방향 보어의 상측 부분(460)과 결합하도록 배치된 시일링 요소(도시되지 않음)를 포함할 수 있다.
커넥터(470)가 라이너 장착구 어댑터(450) 내에 삽입되었을 때, 커넥터(470)의 하측 단부(471)(즉, 액체 추출 도관(472) 내의 개구)는 종방향 보어 내에 배치되는 커플러(490)와 결합하고, 제 1 시일링 요소(474B) 및 커플러(490) 내의 원주 홈(475A) 내에 배치되는 추가의 시일링 요소(도시되지 않음)는 커플러(490)의 상측 오목부와 결합하도록 배치되어 있다. 커플러(490)는 종방향 보어(460)의 쇼울더(461)에 접촉하도록 배치되는 확개된 외측 부분(495)을 갖는 본체(471)를 포함한다. 커플러(490)의 외측 표면(493)을 따라 배치되는 리브(497)는 장착구 어댑터(450)를 지지 및 위치 고정을 위해 제공된다. 간극(도시되지 않음)에 의해 리브(497)를 통한 기체의 유동이 가능하다. 커플러(490)는 또 액체 추출 도관(472)과 유체 연통 상태인 액체 도관(495)을 형성하고, 이 액체 도관은 커플러(490)의 하측 단부(491)와 접합하도록 종방향 보어(460)의 하측 부분 내에 삽입될 수 있는 (도 7b에 도시된 침지관(430)과 같은) 침지관과 유체 연통할 수 있다. 커플러(490)의 외측 표면(493)은 도 7b에 도시된 바와 같이 침지관(430)의 확개된 상측 부분(432)의 내측 표면과 결합하는 것이 바람직하다.
분배 조립체(400)와 함께 사용되도록 배치되는 (도 7b에 도시된) 침지관(430)은 확개 부분(435)을 갖는 상측 단부(432)를 포함하고, 확개 부분은 쇼울더(434)에서 관 형상의 본체까지 하방향으로 테이퍼를 이루고 있고, 관 형상의 본체는 하측 단부(431)에서 종료한다. 보어의 횡방향 개구(433)가 하측 단부(431)의 인접부에 형성되어 있다. 침지관(430)의 하측 단부(431)는 라이너-기반 압력 분배 포장체 내에 삽입될 수 있고, 침지관(430)의 하측 단부(431)는 라이너의 내부 체적에 노출되는 액체 추출 개구의 작용을 한다.
도 7a 및 도 7b를 조합하여 참조하면, 하나의 실시예에서 커플러(490) 및 침지관(430)은 커넥터(470)의 하측 단부(471)에 부착되고, (침지관(430), 커플러(490), 및 커넥터(470)를 포함하는) 결합된 부분 조립체는 함께 브레이크시일(405)을 통해 라이너 장착구 어댑터(450)의 종방향 보어 내로(예를 들면, 종방향 보어의 상측 부분(460)을 통해 하측 부분(455) 내로) 삽입되고, 침지관(430)은 라이너 장착구 어댑터(450) 내에 형성된 하측 개구(456)를 통해 연장한다. 유지 또는 시일링 요소(456A)는 침지관(430)을 위한 구조적 지지 및/또는 시일링 결합을 제공하도록 하측 개구(456)의 인접부에 배치될 수 있다. 침지관(430) 및 커플러(490)를 상측으로부터 삽입하는 능력으로 인해 최종 사용자는 특정의 압력 분배 용기와 함께 사용하기 위한 적절한 치수의 침지관(430)을 선택할 수 있다. 침지관(430), 커플러(490), 및 커넥터(470)를 종방향 보어 내에 삽입한 후, 커플러(490) 및 침지관(430)의 제거는 종방향 보어의 상측 부분(460) 및 하측 부분(455)을 분할하고 있는 쇼울더(461)의 존재에 의해 방지될 수 있다. 쇼울더(461)가 최소화되면 침지관(430) 및 커플러(430)는 분배 조립체의 상측으로부터 제거될 수 있다.
다른 실시예에서, 커플러(490) 및 침지관(430)은 커넥터(470)를 브레이크시일(405)을 통과하여 종방향 보어의 상측 부분(460) 내에 삽입하기 전에 라이너 장착구 어댑터(450)의 종방향 보어 내에 위치될 수 있다.
계속하여 도 7a를 참조하면, 횡방향으로 돌출하는 연부(461)는 라이너 장착구 어댑터(450)의 상측 부분을 따라 제공되어 있다. 횡방향으로 돌출하는 연부(461)에 홈(466)이 장착구 어댑터(450) 및 라이너 장착구 또는 기타 관련된 구성요소 사이의 유지를 촉진하기 위해 원주 시일링 요소(예를 들면, O링)를 수용하도록 제공되어 있다. 라이너 장착구 어댑터(450)의 인접부에 라이너 장착구(도시되지 않음) 및 붕괴가능한 라이너(도시되지 않음)가 제공될 수 있다.
라이너 장착구 고정구(415) 및 라이너 장착구 어댑터(450)의 상측에는 오버팩 용기(도시되지 않음)와 같은 압력 분배 용기를 위한 폐쇄체(410)가 배치되어 있고, 이 폐쇄체(410)는 압력 분배 용기의 대응하는 수나사 네크(도시되지 않음)와 접합하도록 배치되는 암나사 표면(411)을 포함한다. 이 폐쇄체(410)는 커넥터 본체(401)의 하측 부분을 따라 나사산을 갖는 소켓(402)을 수용하기 위해 상방향으로 연장하는 관련된 수나사 네크(412)를 갖는다. 브레이크시일(405)은 나사산을 갖는 네크(412)의 내부 또는 인접부에 배치되고, 또 압력 분배 포장체 내의 시일링 상태를 유지하는 파열가능한 박막을 포함하는 것이 바람직하고, 하나 이상의 구성요소(예를 들면, 커넥터(470))는 라이너 장착구 어댑터(450)와 접합하도록 브레이크시일(405)을 통해 삽입된다. 커넥터(470)가 라이너 장착구 어댑터(450) 내에 삽입되었을 때, 이와 동시에 유체 연결이 (a) 기체 추출 도관(479) 및 라이너 장착구에 장착된 라이너(도시되지 않음)의 내부 체적 사이, (b) 액체 추출 도관(472) 및 라이너의 내부 체적 사이, 및 (c) 가압 기체 도관(도시되지 않음) 및 오버팩 용기(도시되지 않음)와 라이너 사이의 개재 공간 사이에 형성된다.
특정의 실시예에서, 복수의 온도 검출 요소가 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하기 위해 사용될 수 있다. 유체 검출을 위한 온도 센서의 사용은 광학적 검출에는 일반적으로 반응하지 않는 고도로 불투명한 액체(예를 들면, 착색된 컬러 필터 물질, 디스플레이 모니터의 제작시 평면 패널 디스플레이를 코팅하기 위해 사용되는 것 및 유사한 유체)의 존재 또는 상 변화를 검출하기 위해 채용될 수 있다. 열은 제 1 위치에서 유동하는 유체 내에 방열되고, 제 1 검출 요소는 제 1 가열 요소 및 유체와 센서 통신 상태로 배치되어 제 1 가열 요소의 온도에 대응하는 제 1 출력 신호를 발생하도록 적합화될 수 있다. 하나의 실시예에서, 제 1 가열 요소 및 제 1 검출 요소는 제 1 써미스터가 자기 발열하기에 충분한 제 1 전류 레벨로 구동되는 단일의 (제 1) 써미스터를 포함할 수 있다. 제 2 검출 요소는 유체 회로 내의 제 2 위치에서 유체와 센서 통신 상태로 배치되어 제 2 위치의 유체의 온도에 대응하는 제 2 검출 요소 출력 신호를 발생하도록 적합화될 수 있다. 하나의 실시예에서, 제 2 검출 요소는 제 1 전류 레벨보다 실질적으로 낮은 제 2 전류 레벨로 구동되는 제 2 써미스터를 포함한다. (예를 들면, 비교기 및 증폭기를 포함하지만 이것에 한정되지 않는) 신호 처리 요소는 제 1 검출 요소 출력 신호 및 제 2 검출 요소 출력 신호를 수신하도록 그리고 1 검출 요소 출력 신호 및 제 2 검출 요소 출력 신호의 비교에 기초하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하도록 배치될 수 있다. 기타 유형의 온도 검출 요소(예를 들면, 열전쌍 및 저항 온도 검출기를 포함하지만 이것에 한정되지 않음)가 적어도 하나의 별체의 가열 요소와 결합하여 사용될 수 있다.
전술한 장치는 액상 유체 또는 기상 유체의 상이한 열 용량에 기인하여 액체 또는 기체의 존재를 검출할 수 있다. 액상 내의 유체는 기상 내의 유체에 비해 일반적으로 더 큰 열 용량을 갖는다. 가열 요소(예를 들면, 써미스터)에 이 가열 요소의 통해 유동하는 기체의 방열 능력을 초과하는 레벨의 전류가 급전되는 경우, 가열 요소는 자기 발열하여 그 온도가 상승하고, 온도는 제 1 온도 센서를 이용하여 검출될 수 있다. 그러나 동일한 급전 레벨로 작동하는 가열 요소가 그 가열 요소를 통해 유동하는 액체에 노출되는 경우에도 유동하는 액체가 그와 같은 열을 흡수할 수 있는 경우에는 가열 요소가 자기 발열하지 않을 수 있다. 동일한 유체 회로 내의 유체와 센서 통신 상태에 있는 제 2 온도 센서는 온도 보상을 위해 사용된다. 제 1 온도 센서 및 제 2 온도 센서 사이의 온도 차이는 증폭되고 측정된다. 제 1 온도 센서의 자기 발열 상태에 대응하는 상태의 검출은 제 1 온도 센서가 기체에 노출된 것을 표시하고, 이에 반해 제 1 온도 센서의 자기 발열 상태의 결여(lack)에 대응하는 상태의 검출은 제 1 온도 센서가 액체에 노출된 것을 표시한다. 유체 회로를 통한 유속의 시간에 관한 가능한 변화를 설명하기 위해, 제 1 및 제 2 온도 센서 사이의 비교가 선택적인 유속 센서의 출력을 이용하여 보상될 수 있다.
하나의 실시예에서, (전술한 바와 같은) 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하기 위한 장치의 다양한 구성요소들은 라이너를 가압하기 위해 라이너에 압력을 외부에서 가하도록 기체 공급원으로부터 가압 기체를 수용하도록 배치되는 라이너-기반 압력 분배 용기를 위한 커넥터, 또는 유체 분배 용기의 하류측에 배치되는 유체 회로 내에 설치되도록 배치되는 장치와 같은 단일의 장치 내에 통합될 수 있다. 하나의 실시예에서, 제 1 검출 요소 및 제 2 검출 요소는 제 1 장치(예를 들면, 압력 분배 용기를 위한 커넥터) 내에 배치되고, 신호 처리 요소는 적절한 전기적 연결부를 통해 제 1 장치로부터 물리적으로 이격되어 있는 제 2 장치 내에 배치된다.
하나의 실시예에서, 제 1 및 제 2 온도 검출 요소를 이용하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하도록 구성된 장치는 (예를 들면, 라이너-기반 압력 분배 용기와 같은 유체 분배 용기의 하류측에 위치되는) 유체 회로 내에서 유동하는 유체의 기상으로부터 액상으로의 상 변화를 검출하도록 적합화되어 있다. 하나의 실시예에서, 제 1 및 제 2 온도 검출 요소를 이용하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하도록 구성된 장치는 유체 회로 내에서 유동하는 유체 내의 적어도 하나의 기포의 존재 또는 부존재를 검출하도록 적합화되어 있다.
하나의 실시예에서, 제 1 및 제 2 온도 검출 요소를 이용하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하도록 구성된 장치는 상이한 검출 원리에 따라 작동하는 적어도 하나의 기타의 검출 장치(예를 들면, 광학 센서, 용량 센서 등)와 결합하여 사용되고, 이와 같은 상이한 검출 장치의 신호들은 비교된다. 상이한 검출 원리에 따라 작동하는 장치를 이용하면 신뢰성이 증대될 수 있고 분배 오류에 대한 가능성이 경감될 수 있다.
하나의 실시예에서, 유체 분배 시스템은 제 1 및 제 2 온도 검출 요소를 이용하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하도록 구성된 장치 및 제 1 및 제 2 온도 검출 요소의 출력들을 비교하도록 배치되는 신호 처리 요소를 포함한다. 이와 같은 유체 분배 시스템은 통기구, 공정 공구와 유체 연통 상태인 액체 수용 라인, 및 액체 수용 라인 내로 유체의 선택적 유입을 허용하도록 배치된 유동 제어 요소를 더 포함하고, 여기서 이 시스템은 유체 회로 내의 액체의 존재를 표시하는 신호처리 요소로부터 생성된 신호의 수신에 응답하여 액체 수용 라인 내에 유체의 유입을 허용하는 유동 제어 요소를 작동시키도록 적합화되어 있다.
하나의 실시예에서, 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하기 위한 방법은 유체 회로 내의 제 1 위치에서 유체와 센서 통신 상태에 있는 제 1 써미스터를 사용하고, 유체 회로 내의 제 2 위치에서 유체와 센서 통신 상태에 있는 제 2 써미스터를 사용한다. 제 1 써미스터는 이 제 1 써미스터의 검출 부분이 기체에 노출되었을 때 제 1 써미스터의 자기 발열을 유발하기에 충분한 제 1 전류 레벨로 구동된다. 제 2 써미스터는 제 1 전류 레벨보단 실질적으로 낮은 제 2 전류 레벨로 구동된다. 제 1 써미스터의 제 1 출력 신호 및 제 2 써미스터의 제 2 출력 신호는 (예를 들면, 비교기 및 증폭기를 포함할 수 있는 신호 처리 요소를 사용하여) 비교됨으로써 이와 같은 비교에 기초하여 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 판정한다. 하나의 실시예에서, 유동 제어 요소는 (i) 유체 회로로부터 기체의 통기, 및/또는 (ii) 유체 회로로부터 공정 공구에의 유체의 분배를 선택적으로 제어하기 위해 사용되고, 유동 제어 요소는 제 1 출력 신호와 제 2 출력 신호의 상기 비교에 응답하여 제어된다.
하나의 실시예에서, 유체 회로는 라이너의 압축을 위해 라이너에 외부에서 압력을 가하도록 기체 공급원으로부터 가압 기체를 수용하도록 배치되는 라이너-기반 압력 분배 용기에 작동가능하게 연결되고, 본 방법은 제 1 온도 센서에 의해 발생되는 제 1 출력 신호와 제 2 온도 센서에 의해 발생되는 제 2 출력 신호의 비교에 응답하여 라이너-기반 압력 분배 용기로부터 유체 회로에의 분배를 제어하는 단계를 포함하고, 여기서 제 1 온도 센서는 유체 회로 내의 유체 내로 열을 방열하도록 배치되는 가열 요소를 포함하거나 이 가열 요소와 결합된다.
도 8은 복수의 온도 검출 요소(521, 522) 및 이 온도 검출 요소(521, 522)의 출력의 비교에 기초하여 유체 회로(530) 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 판정하도록 배치된 신호 처리 요소(525)를 포함하는 유체 분배 시스템(500)의 다양한 구성요소들 사이의 연결부를 도시한 개략도이다. 유체는 붕괴가능한 라이너(512)를 포함하는 그리고 기체 공급 라인(503)을 통해 기체 공급원(502)으로부터 외측 용기(510)와 라이너(512) 사이의 개재 공간(511) 내로 가압 기체를 수용하도록 배치되는 압력 분배 장치로부터 유체 회로(530) 내로 분배된다. 가압 기체가 개재 공간(511) 내에 공급되었을 때, 이 기체는 라이너(512)에 외측 압력을 가하여 라이너를 가압함으로써 라이너(512)로부터 유체 회로(530) 내에 유체를 분배한다. 이 유체 회로(530)는 유체 회로(530) 내의 유체의 유속을 검출하기 위한 유동 검출 요소(523)를 포함할 수 있다. 제 1 및 제 2 온도 검출 요소(521, 522)(예를 들면, 써미스터)는 유체 회로(530) 내의 유체와 센서 통신 상태로 배치된다. 다양한 검출 요소((521-523)는 신호 처리 요소(525)와 통신 상태에 있고, 이 신호 처리 요소도 제어 기능을 제공할 수 있다. 신호 처리 요소(525)는 마이크로프로세서, 디스크리트 회로 요소, 프로그래머블 논리 제어장치, 및/또는 공정 센서 입력을 수신하여 출력 신호를 제공하도록 배치되고 필요에 따라 소프트웨어와 같은 기계 가독 명령을 실행하도록 배치되는 기타 공지의 요소들을 포함할 수 있다. 가압 기체 공급원(502)은 라이너(512)로부터 유체 회로(530) 내로의 유체의 분배를 제어하거나 분배에 영향을 미치기 위해 신호 처리 요소로부터 신호를 수신하도록 배치될 수 있다. 온도 검출 요소(521, 522)의 하류측에 하나 이상의 밸브와 같은 적어도 하나의 유동 제어 요소(530)가 통기구(531)(및/또는 폐기물 용기)로 또는 공정 공구 또는 기타 사용 지점(532)으로 선택적으로 유체의 유입을 허용하도록 배치된다. 탈기장치(533)가 공정 공구 또는 기타 사용 지점(532)의 상류측에 배치될 수 있다. 적어도 하나의 유동 제어 요소(530)는 이 제어 요소의 자동 작동을 위해 신호 처리 요소(525)로부터의 신호를 수신하도록 배치된다.
유체 분배 시스템(500)의 작동시, 가압 기체가 압력 분배 용기(510)와 이 압력 분배 용기 내에 수용되어 있는 라이너 사이의 개재 공간(511)에 공급됨으로써 라이너(512)를 가압하여 라이너로부터 유체 회로(530) 내로 유체가 분배되도록 한다. 라이너(512) 내에 수용된 유체는 헤드스페이스 기체 및 액체(예를 들면, 착색된 컬러 필터 물질이나 유사한 유체와 같은 고도의 불투명 액체)를 포함할 수 있고, 유체 회로 내에 분배된 유체는 초기에는 주로 헤드스페이스 기체로 구성될 수 있다. 유체의 유속은 유동 검출 요소(523)에 의해 검출될 수 있고, 유속에 대응하는 신호는 신호 처리 요소(525)에 공급될 수 있다. 제 1 온도 검출 요소(521)(예를 들면, 써미스터)는 기체에 노출된 검출 요소(521)의 자기 발열을 유발하기에 충분한 전류에서 구동된다. 제 2 검출 요소(522)(예를 들면, 써미스터)는 다른 검출 요소(521)에 급전되는 전류보다 실질적으로 낮은 전류에서 구동되고, 그 결과 제 2 검출 요소(522)는 유체 회로(530) 내의 기체에 노출시 자기 발열되지 않는다. 신호 처리 요소(525)는 제 1 및 제 2 검출 요소(521, 522)로부터의 신호들을 수신 및 비교함으로써 기체 또는 액체가 유체 회로(530) 내에 존재하는지의 여부를 판정한다. 유체 회로(530) 내에서 기체가 검출된 경우, 신호 처리 요소(525)는 유체 회로(530)로부터 유체가 통기구(531) 또는 폐기물 용기로 유입할 수 있도록 적어도 하나의 유동 제어 요소(530)에 의해 사용되는 신호를 발생한다. 대안으로서, 헤드스페이스 기체의 초기 통기 후에 유체 회로(530) 내에서 기체가 검출된 경우, 이것은 헤드스페이스 기체가 고갈되고 시스템(500)은 공정 공구 또는 기타 사용 지점(532)으로 액체를 분배하기 위한 준비가 되었다는 것을 의미하고, 유동 제어 요소(530)는 신호 처리 요소로부터의 신호에 응답하여 유체 회로(530)로부터 유체가 공정 공구 또는 기타 사용 지점(532) 내로 유입할 수 있도록 한다. 액체는 이 액체 내에 용해되거나 혼입된 임의의 기체를 감소시키거나 또는 제거시키기 위해 선택적인 탈기장치(533)를 통해 유동할 수 있다. 시스템(500)의 임의의 하나 이상의 다양한 구성요소(예를 들면, 검출 요소(복수의 요소)(521-523), 신호 처리 요소(복수의 요소)(525), 및/또는 유동 제어 요소(복수의 요소)(530))가 압력 분배 용기(510)와 접합되도록 구성된 커넥터(515) 내에 또는 외면에 필요에 따라 배치될 수 있다. 이와 같은 커넥터(515)는 임의의 하나 이상의 추가의 커넥터 구성요소 및/또는 본 명세서에서 전술한 특징들을 구현하거나 포함할 수 있다.
도 9는 유체 회로 내의 유체와 열적 연결 상태로 설치될 수 있는 제 1 및 제 2 써미스터의 사용을 포함하는 유체 회로 내의 유체의 존재 또는 유동하는 유체의 상 변화를 검출하기 위한 장치의 전기 요소를 모델로 하는 회로도이다. 써미스터(R2)(예를 들면, 자메코 207483 써미스터 내에 구현될 수 있는 써미스터(Jameco Electronics, Belmont, Calif.))는 제 1 또는 주 온도 검출 요소를 구현하고, 5.05 밀리암페어의 전류로 구동된다. 자메코 207483 써미스터의 특성은 -4.3%/℃ 및 6.5 mW/℃로서 특정된다. 써미스터(R2)의 특성을 전제로 하여, 이 써미스터(R2)가 공기에 노출되었을 때 약 3.8 ℃의 자기 발열이 예상되지만, 액체에 노출되었을 때는 액체의 열 용량이 공기에 비해 상당히 높으므로 이와 같은 자기 발열은 거의 0이 될 것이다. (써미스터(R2)와 동일한 유형을 포함할 수 있는 바와 같은) 써미스터(R3)는 50 마이크로암페어의 전류로 구동되고, 기체 또는 액체에 노출시 거의 자기 발열이 없을 것이고, 이 써미스터(R3)는 다른 써미스터(R2)로부터의 신호를 보상하기 위해 사용된다. 2개의 써미스터(R2, R3)의 출력 신호 사이의 차이는 증폭기(U3)를 사용하여 증폭되고 측정된다. 도시된 모의실험에서, 기체와 액체 사이의 신호의 예상되는 변화는 10%(즉, 공기 중에서 약 900mV, 액체 중에서 약 1000mV)이고, 이 차이는 표준 회로 구성요소를 이용하여 쉽게 검출할 수 있다. 앞에서 지적한 바와 같이, 써미스터와 다른 유형의 온도 검출 요소도 사용될 수 있다.
전술한 바와 같이, 예시된 실시예들은 라이너-기반 압력 분배 포장체를 포함하는 것으로서 기재되었으나 본 발명의 태양은 라이너가 없는 포장체 및 용기 시스템에 적용될 수 있다. 하나의 실시예에서, 커넥터를 분배 조립체 내에 삽입하면 이와 동시에 상호 다른 도관인 기체 추출 도관, 액체 추출 도관, 및 가압 기체 도관에서 (a) 기체 추출 도관과 용기 내의 분배 체적 사이; (b) 액체 추출 도관과 용기 내의 분배 체적 사이; 및 (c) 가압 기체 도관과 압력 분배 용기 내에서 가압될 공간 사이에 유체 연결이 형성된다.
특정의 실시예에서, 제 1 압력 분배 장치에 의해 분배된 소스 물질(예를 들면, 액체)과 접촉하는 기체의 악영향은 제 1 압력 분배 장치로부터의 원하는 유체의 양의 분배에 대응하는 상태 또는 제 1 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 기체 포화에의 접근에 대응하는 상태를 검출하는 것에 의해 그리고 이것에 응답하여 제 1 압력 분배 장치의 유출물과 제 2 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체를 혼합(예를 들면, 희석)하는 것에 의해 감소될 수 있다. 이 혼합된 유체의 흐름은 분배 도관에 의해 반도체 또는 초소형 전자 장치의 가공용 공구와 같은 원하는 사용 지점에 공급될 수 있다. 복수의 압력 분배 장치로부터의 유체(예를 들면 반도체 가공 및/또는 초소형 전자 장치 가공을 위한 소스 물질)의 흐름을 이와 같이 혼합하면 유체의 기체 포화 수준이 허용 수준 미만으로 유지될 수 있다. (예를 들면 하나 이상의 검출 요소를 이용하여) 검출될 수 있는 다양한 상태는 복수의 압력 분배 장치에 의한 유체 유출물의 압력, 압력 분배 장치 내의 잔존하는 유체의 중량(또는 역으로 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 중량), 및/또는 반력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 총 유량을 포함한다(그러나 이것에 한정되지 않는다).
제 2 압력 분배 장치는 제 1 및 제 2 압력 분배 장치에 의해 유체 흐름의 유출물이 혼합되었을 때 제 1 압력 분배 장치보다 적은 기체를 포함하는 것(및 더 낮은 기체 대 소스 물질(예를 들면, 액체)의 비율을 갖는 것)이 바람직하다. 공정 공구에의 유출구 또는 소스 물질(예를 들면, 액체)의 기타 원하는 사용 지점의 상류측에서 기체와 액체를 분리시킬 수 있도록 하기 위해 제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터 유체를 수용하도록 적어도 하나의 통기 가능한 저장체가 제공되는 것이 바람직하다. 특정의 실시예에서, 각 압력 분배 장치는 이 압력 분배 장치와 관련되는 전용의 통기 가능한 저장체를 갖는다. 각 압력 분배 장치를 위해 전용의 통기 가능한 저장체를 사용하면 하나의 압력 분배 장치의 효과 및 작업 성능을 다른 압력 분배 장치로부터 분리시키는 것이 가능하다. 각 통기 가능한 저장체는 액체 유출구, 기체 유출구, 소스 물질(예를 들면, 액체) 유입구, 및 헤드스페이스 기체 유입구를 포함할 수 있고, 이들 각 유입구 및 유출구에는 제어 밸브가 구비되어 있다. 기체 유출구는 중력에 의해 기체와 액체를 분리할 수 있도록 하기 위해 액체 유출구의 상측에 위치될 수 있다. 통기 가능한 저장체 내의 바람직한 액체의 액위는 이와 같은 저장체 내의 특정의 레벨에서 소스 물질의 존재 및/또는 부존재를 검출하도록 배치되는 센서(레벨 센서, 용량 센서, 전도도 센서, 광학 센서 등과 같은 임의의 적절한 유형의 센서)와 작동 가능하게 연결되는 유출구 제어 밸브에 의해 자동으로 유지될 수 있다. 각 통기 가능한 저장체에 의해 액체의 소스 물질의 분배 전 및/또는 액체의 소스 물질의 분배 중에 (예를 들면, 헤드스페이스의 제거를 위한) 적어도 주기적인 기체의 통기가 가능하다. 하나의 실시예에서, 통기 가능한 저장체는 전술한 바와 같은 액체의 통과는 허용하지만 기포의 통과는 방지하는 여과 매체를 포함한다. 하나의 실시예에서, 통기 가능한 저장체는 압력 분배 용기로부터 물리적으로 분리될 수 있다. 다른 실시예에서, 통기 가능한 저장체는 예를 들면 이와 같은 압력 분배 용기와 접합하도록 배치되는 캡 내에서 저장체의 일체화시킴으로써 압력 분배 용기에 장착될 수 있다.
제 1 및 제 2 압력 분배 장치에 의해 배출되는 유체의 흐름은 T자관, 멀티포트 밸브, 또는 임의의 기타 적절한 유동 혼합 구조에 의해 혼합될 수 있다. 얻어진 혼합류의 균일도를 향상시키기 위해 하나 이상의 정적 혼합기 및/또는 동적 혼합기가 사용될 수 있다. 하나의 실시예에서, 제 1 및 제 2 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체는 (예를 들면, 액체 내에 용해된 임의의 헤드스페이스 기체의 존재를 제외하고) 동일한 조성을 갖는다. 다른 실시예에서, 제 1 및 제 2 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체는 상이한 조성을 갖는다.
제 1 및 제 2 압력 분배 장치에 의해 배출되는 유체의 흐름은 임의의 원하는 비율로 혼합 및/또는 조절될 수 있다. 하나의 실시예에서, 제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터의 흐름은 대략 동일한 비율로 혼합될 수 있다. 특정의 실시예에서, 제 1 및 제 2 압력 분배 장치의 유출물을 포함하는 혼합된 흐름 내의 유체의 비율은 각 압력 분배 장치의 상대적 분배 압력을 조절하는 것에 의해 및/또는 하나 이상의 유체 흐름의 유량을 제어하기 위해 배치되는 하나 이상의 제어 밸브를 사용하는 것에 의해 변경될 수 있다. 특정의 실시예에서, 제 1 및 제 2 압력 분배 장치의 유출물을 포함하는 혼합된 흐름 내의 유체의 비율은 시간에 관하여 변경된다. 예를 들면, 제 1 압력 분배 장치의 소스 물질(예를 들면, 액체)이 거의 고갈되고 그 내부에 고농도의 기체가 존재함에 따라 제 2 압력 분배 장치로부터 배출되는 유체의 증대되는 백분율이 제 1 압력 분배 장치로부터 배출되는 유체와 허용가능하게 낮은 기체 포화 수준을 유지하도록 혼합될 수 있다. 혼합된 유체 흐름 내의 구성 유체의 비율은 압력 센서, 중량 계량장치, 또는 (총 유량 센서를 포함하는) 유량 센서와 같은 하나 이상의 센서의 출력에 응답하여 조절될 수 있다.
제 1 압력 분배 장치로부터 분배되는 유속이 감소됨에 따라 제 1 압력 분배 장치를 위한 가압 시간이 연장된다. 이 연장된 시간 중에 더 많은 기체가 제 1 압력 분배 장치 내의 액체가 완전히 고갈되기 전에 이 제 1 압력 분배 장치(또는 그 용기) 내에 잔류된 소량의 액체 내에 용해된다. 혼합 개시점에 의존하여 제 1 압력 분배 장치 내의 기체는 기체의 포화 상태에 도달할 때까지 소스 물질(예를 들면, 액체) 내에 계속 용해된다. 하나의 간단한 혼합 방법은 제 1 압력 분배 장치 내의 모든 잔존하는 소스 물질은 포화상태이고, 이 물질은 다른 (예를 들면 제 2) 압력 분배 장치로부터의 소스 물질과 적절히 혼합되어 가압 기체에 의해 포화되지 않은 소스 물질을 얻는다는 가정을 포함한다. 다른 혼합 방법이 채용될 수도 있다. 하나의 실시예에서, 적어도 하나의 센서가 필요에 따라 제 2 압력 분배 장치 내의 액체(또는 제 2 압력 분배 장치에 의해 분배되는 액체)의 기체 함량을 표시하는 상태를 검출하기 위해 사용되는 적어도 하나의 센서와 조합하여 제 1 압력 분배 장치 내에 잔존하는 액체(또는 제 1 압력 분배 장치에 의해 분배되는 액체)의 기체 함량을 표시하는 상태를 검출하기 위해 사용될 수 있고, 이들 센서로부터의 신호들은 제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터의 소스 물질의 흐름의 혼합을 제어하기 위해 사용된다. 하나의 실시예에서, 적어도 하나의 소스 물질류의 기체 함량을 표시하는 신호는 질량 유량 센서 및 (필요에 따라 온도 센서에 의해 교정되는) 용적 유량 센서에 의해 발생되고, 질량/체적의 비율이 소스 물질의 밀도를 측정하기 위해 사용된다. 밀도와 기체 함량 사이의 함수 관계는 경험적으로 사전에 결정될 수 있고, 측정된 밀도 신호는 실험 데이터(또는 실험 데이터로부터 유도되는 수학 함수)와 비교될 수 있고, 이와 같은 비교는 기체로 포화되지 않은 (또는 기체 함량을 특정의 역치 미만에 유지시키는) 얻어진 (혼합된) 소스 물질의 흐름을 생성하기 위해 상이한 용기로부터의 소스 물질의 흐름의 혼합을 제어하기 위해 사용된다. 다른 실시예에서, 압력 검출이 혼합된 소스 물질의 흐름 내에 생성되는 소스 물질의 흐름의 비율을 제어하기 위해 사용된다. 본 명세서에 개시된 바와 같은 (또는 본 기술 분야의 숙련자에게 공지된 바와 같은) 기타 센서의 유형 및/또는 센서의 조합이 소스 물질의 흐름의 혼합을 제어하기 위해 채용될 수 있다.
다양한 유형의 제어 요소가 본 명세서에 기재된 바와 같은 분배 장치와 함께 사용될 수 있다. "제어 요소(control element)"라는 용어는 사전 정의된 또는 사용자 정의된 명령 세트, 프로그래머블 논리 제어장치, 신호 비교기, 제어 밸브, 유량 제어기, 압력 조절기, 액츄에이터 등을 실행하도록 배치되는 범용 컴퓨터 또는 특수 컴퓨터를 포함할 수 있다.
제 1 압력 분배 장치로부터 원하는 유체의 양의 분배 작업에 대응하는 또는 제 1 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 기체 포화에의 접근에 대응하는 출력 신호를 발생하도록 배치되는 적어도 하나의 검출 요소는 (A) 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 압력을 검출하도록 배치되는 압력 트랜스듀서; (B) 분배 장치의 내부 체적 내에 수용된 유체의 중량(i) 또는 용기 및 압력 분배 장치의 용기 내에 수용된 유체의 중량(ii)을 검출하기 위해 배치되는 센서(예를 들면, 계량장치, 스트레인 게이지 등); 또는 (C) 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 총 체적 또는 총 질량을 검출하도록 배치되는 (합산 유량계와 같은) 유량 센서를 포함할 수 있다. 상태의 검출 및 출력 신호의 발생 단계는 제 1 압력 분배 장치로부터 분배될 유체의 양을 표시하는 또는 제 1 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 사전 포화 상태를 표시하는 사전 정의된 값을 갖는 검출 요소에 의해 발생되는 신호를 비교하여 출력 신호를 발생하는 단계를 포함할 수 있다. 적어도 하나의 검출 요소는 분배 시스템의 각 압력 분배 장치와 결합될 수 있다.
전술한 바와 같이, 제 1 압력 분배 장치로부터의 유체는 제 1 압력 분배 장치로부터의 유체의 원하는 양의 분배 작업에 대응하거나 또는 제 1 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 기체 포화에의 접근에 대응하는 사전 정의된 상태의 검출시에 제 2 압력 분배 장치로부터의 유체와 혼합되고, 이 혼합된 유체류는 원하는 사용 지점에 공급된다. 유체가 제 1 압력 분배 장치로부터 완전히 고갈된 후, 유체는 동일한 원하는 사용 지점에 어느 정도의 시간 동안 제 2 압력 분배 장치로부터만 분배될 수 있고, 제 1 압력 분배 장치는 액체 보충될 수 있다(또는 제 3 압력 분배 장치가 제 1 압력 분배 장치 대신에 대체될 수 있다). 제 2 압력 분배 장치로부터의 유체의 원하는 양의 분배 작업에 대응하거나 또는 제 2 압력 분배 장치에 의해 분배되는 유체의 기체 포화에의 접근에 대응하는 사전 정의된 상태의 검출시, 제 2 압력 분배 장치로부터의 유체는 (보충된 제 3 압력 분배 장치 또는 제 3 압력 분배 장치와 같은) 다른 압력 분배 장치로부터의 유체와 혼합될 수 있다. 그 결과, 유체는 소망의 낮은 기체 포화 수준을 유지한 상태에서 실질적으로 연속적으로 사용 지점에 공급될 수 있다. 하나의 압력 분배 용기(또는 그 유출물)와 관련된 특정 상태를 검출하는 단계 및 복수의 압력 분배 용기로부터의 유체류를 혼합하기 위한 새로운 압력 분배 용기로부터 분배 작업을 개시하는 단계는 필요에 따라 반복될 수 있다.
특정의 실시예에서, 유체 분배 시스템은 내부에 유체를 수용하도록 배치되는 제 1 붕괴가능한 라이너를 갖는 제 1 압력 분배 장치 및 내부에 유체를 수용하도록 배치되는 제 2 붕괴가능한 라이너를 갖는 제 2 압력 분배 장치를 포함한다. 다른 실시예에서, 각 압력 분배 장치는 분배될 유체와 가압 기체의 직접적인 접촉에 의한 압력 분배가 가능하도록 라이너가 생략될 수 있다.
제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터의 흐름의 혼합을 개시하기 위해 압력 검출을 이용하는 하나의 실시예에 따른 유체 분배 시스템이 도 13에 도시되어 있다. 이 분배 시스템(600)은 제 1 압력 분배 장치(602A)를 갖는 제 1 부분(601A), 제 1 탈기 및/또는 여과 저장체(640A), 및 부수되는 유동 제어 구성요소, 및 제 2 압력 분배 장치(602 B)를 갖는 제 2 부분(602B), 제 2 탈기 및/또는 여과 저장체(640B), 및 부수되는 유동 제어 구성요소를 포함한다. 각 압력 분배 장치(602A, 602B)는 실질적인 강성 용기(610A, 610B), 붕괴가능한 라이너(612A, 612B) 및 이들 사이의 개재 공간(613A, 613B)을 포함한다. 각 압력 분배 장치(602A, 602B)는 (가압 기체 공급원(616A, 616B)에 연결된) 기체 유입 도관(617A, 617B), (라이너(612A, 612B) 내의 침지관(613A, 613B)으로부터 액체를 수용하도록 배치된) 소스 물질(예를 들면, 액체) 유출 도관(620A, 620B), 및 (라이너(612A, 612B) 내로부터 헤드스페이스 기체를 통기시키도록 배치되는) 기체 통기 도관(630A, 630B)을 갖는 캡(602A, 602B)을 포함한다. 각 소스 물질(예를 들면, 액체) 유출 도관(620A, 620B)은 관련된 압력 트랜스듀서(622A, 622B), 제어 밸브(624A, 624B), 및 저장체(640A, 640B)의 상류측에 배치된 체크 밸브(625A, 625B)를 갖는다. 각 기체 통기 도관(630A, 630B)은 (진공 공급원(도시되지 않음)에 선택적으로 연결될 수 있는) 관련된 통기구(631A, 631B), 제어 밸브(634A, 634B), 및 저장체(640A, 640B)의 상류측에 배치되는 체크 밸브(635A, 635B)를 갖는다. 각 저장체(640A, 640B)는 상측 부분(642A, 642B)을 포함하고, 이 상측 부분은 소스 물질 유출 도관(620A, 620B) 및 기체 통기 도관(630A, 630B)을 수용하고, 또 하류측의 기체 유출 도관(648A, 648B)을 포함하고, 이 기체 유출 도관은 제어 밸브(649A, 649B), T자관(651), 추가의 기체 체크 밸브(652), 및 단일의 기체 배출부(653)로 이어진다. 각 저장체(640A, 640B)는 액체 유출구(646A, 646B)를 포함하는 하측 부분(641A, 641B)을 더 포함하고, 액체 유출구는 제어 밸브(647A, 647B), T자관(650), 및 단일의 분배 도관(655)으로 이어진다. 저장체(640A, 640B)와 결합되는 센서(644A, 644B, 645A, 645B)는 이 저장체(640A, 640B) 내의 액체의 소망의 액위를 유지하기 위해 제어 밸브(647A, 647B, 649A, 649B)와 결합하여 사용된다. 각 압력 분배 장치(602A, 602B)의 하류측의 다양한 구성요소는 필요에 따라 각 압력 분배 장치(602A, 602B)로부터 원격 위치될 수 있는 유동 제어 모듈(608) 내에 포함될 수 있다. (가압 기체 공급원 및 유동 제어 모듈(608)을 포함하지만 이것에 한정되지 않는) 분배 시스템(600)의 다양한 요소들은 하나 이상의 제어기를 포함할 수 있는 하나 이상의 제어 요소(605)에 작동가능하게 연결될 수 있다.
분배 시스템(600)의 작동시, 제 1 압력 분배 장치(602A)의 라이너(612) 내에 초기에 존재하는 헤드스페이스 기체는 기체 통기 도관(630A)을 통해 통기구(631A)로 또는 여과 및/또는 탈기 저장체(640A)를 통해 제거될 수 있다. 기체는 또한 액체의 분배 중에 라이너(612A)로부터 기체 통기 도관(630A)을 통해 통기될 수도 있다. 제 1 압력 분배 장치(602A)로부터 소스 물질(예를 들면, 액체)의 압력 분배를 개시하기 위해, 가압 기체가 제 1 가압 기체 공급원(616A)으로부터 제 1 용기(610A)와 제 1 라이너(612A) 사이의 개재 공간(611A)에 공급된다. 라이너(612A) 내에 존재하는 소스 물질은 침지관(613A)을 소스 물질 도관(620A) 내에 강제로 유입된다. 이때, 제 2 압력 분배 장치(602B)는 비작동 상태이지만 분배를 개시하기 위한 준비 상태에 있을 수 있다.
분배된 소스 물질의 압력은 압력 트랜스듀서(622A)에 의해 검출되고, 소스 물질은 (소스 물질로부터 기체의 제거를 촉진하는) 제 1 여과/탈기 저장체(640) 내에 유입되고, 소스 물질은 출구 도관(646A) 및 T자관(650)을 통해 분배 도관(655)으로 유동한다. 제 1 및 제 2 분배 장치에 의한 혼합된 분배를 개시하기 위한 사전에 결정된 압력 목표치는 예를 들면 압력의 함수로서 소스 물질(또는 기체 포화 상태) 내의 기체 함량을 모델화 또는 측정하는 것에 의해 실험적으로 설정될 수 있다. 복수의 압력 분배 장치에 의한 혼합된 분배를 개시하기 위한 목표치는 임의의 적절한 레벨로 선택될 수 있으나, 기체에 의해 고도로 포화되기 전의 소스 물질에 대응하는 레벨로 설정하는 것이 바람직하고, 그 결과 소스 물질 흐름의 혼합은 소스 물질이 사용 지점까지 포화된 소스 물질의 분배 작업을 방지하도록 사전에 포화된 상태에 있을 때 개시될 수 있다. 압력 트랜스듀서(622A)가 목표치와 동등한 압력을 검출하면, 트랜스듀서(622)는 제 2 분배 장치(602B)에 의한 소스 물질(예를 들면, 액체)의 분배가 개시되도록 적어도 하나의 제어 요소(605)에 의해 사용될 수 있는 출력 신호를 발생한다. 제 2 분배 장치(602B)의 작동은 제 1 분배 장치(602A)와 실질적으로 동일하게 개시되고, 제 2 분배 장치(602B)로부터의 소스 물질류는 제 2 여과/탈기 저장체(640B)를 통해 유동하여 T자관(650)에서 제 1 압력 분배 장치(602A)로부터의 소스 물질류와 혼합되고, 이것에 의해 혼합된 흐름은 단일의 분배 도관(655)을 통해 원하는 사용 지점까지 유동한다. 제 1 및 제 2 압력 분배 장치(602A, 602B)로부터의 소스 물질의 흐름을 혼합함으로써 얻어지는 유체의 기체 포화 수준은 허용 수준 미만으로 유지될 수 있고, 이에 대응하여 유체 폐기물이 감소된 상태에서 더 많은 유체가 분배될 수 있다.
제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터의 흐름의 혼합을 개시하기 위해 중량 검출을 이용하는 하나의 실시예에 따른 유체 분배 시스템이 도 14에 도시되어 있다. 이 분배 시스템(700)은 제 1 압력 분배 장치(702A), 제 1 탈기 및/또는 여과 저장체(740A), 및 부수되는 유동 제어 구성요소를 갖는 제 1 부분(701A), 및 제 2 압력 분배 장치(702B), 제 1 탈기 및/또는 여과 저장체(740B), 및 부수되는 유동 제어 구성요소를 갖는 제 1 부분(702B)을 포함한다. 각 압력 분배 장치(702A, 702B)는 실질적인 강성 용기(710A, 710B), 붕괴가능한 라이너(712A, 712B) 및 이들 사이의 개재 공간(713A, 713B)을 포함한다. 각 압력 분배 장치의 중량은 계량장치(706A, 706B)에 의해 검출된다. 각 압력 분배 장치(702A, 702B)는 (가압 기체 공급원(716A, 716B)에 연결된) 기체 유입 도관(717A, 717B), (라이너(712A, 712B) 내의 침지관(713A, 713B)으로부터 액체를 수용하도록 배치된) 소스 물질(예를 들면, 액체) 유출 도관(720A, 720B), 및 (라이너(712A, 712B) 내로부터 헤드스페이스 기체를 통기시키도록 배치되는) 기체 통기 도관(730A, 730B)을 갖는 캡(702A, 702B)을 포함한다. 각 소스 물질(예를 들면, 액체) 유출 도관(720A, 720B)은 관련된 제어 밸브(724A, 724B) 및 저장체(740A, 740B)의 상류측에 배치되는 체크 밸브(725A, 725B)를 갖는다. 각 기체 통기 도관(730A, 730B)은 (진공 공급원(도시되지 않음)에 선택적으로 연결될 수 있는) 관련된 통기구(731A, 731B), 제어 밸브(734A, 734B), 및 저장체(740A, 740B)의 상류측에 배치되는 체크 밸브(735A, 735B)를 갖는다. 각 저장체(740A, 740B)는 상측 부분(742A, 742B)을 포함하고, 이 상측 부분은 소스 물질 유출 도관(720A, 720B) 및 기체 통기 도관(730A, 730B)을 수용하고, 또 하류측의 기체 유출 도관(748A, 748B)을 포함하고, 이 기체 유출 도관은 제어 밸브(749A, 749B), T자관(751), 추가의 기체 체크 밸브(752), 및 단일의 기체 배출부(753)로 이어진다. 각 저장체(740A, 740B)는 액체 유출구(746A, 746B)를 포함하는 하측 부분(741A, 741B)을 더 포함하고, 액체 유출구는 제어 밸브(747A, 747B), T자관(750), 및 단일의 분배 도관(755)으로 이어진다. 저장체(740A, 740B)와 결합되는 센서(744A, 744B, 745A, 745B)는 이 저장체(740A, 740B) 내의 액체의 소망의 액위를 유지하기 위해 제어 밸브(747A, 747B, 749A, 749B)와 결합하여 사용된다. 각 압력 분배 장치(702A, 702B)의 하류측의 다양한 구성요소는 필요에 따라 각 압력 분배 장치(702A, 702B)로부터 원격 위치될 수 있는 유동 제어 모듈(708) 내에 포함될 수 있다.
(가압 기체 공급원 및 유동 제어 모듈(708)을 포함하지만 이것에 한정되지 않는) 분배 시스템(700)의 다양한 요소들은 하나 이상의 제어기를 포함할 수 있는 하나 이상의 제어 요소(705)에 작동가능하게 연결될 수 있다.
분배 시스템(700)의 작동시, 제 1 압력 분배 장치(702A)의 라이너(712) 내에 초기에 존재하는 헤드스페이스 기체는 기체 통기 도관(730A)을 통해 통기구(731A)로 또는 여과 및/또는 탈기 저장체(740A)를 통해 제거될 수 있다. 기체는 또한 액체의 분배 중에 라이너(712A)로부터 기체 통기 도관(730A)을 통해 통기될 수도 있다. 제 1 압력 분배 장치(702A)로부터 소스 물질(예를 들면, 액체)의 압력 분배를 개시하기 위해, 가압 기체가 제 1 가압 기체 공급원(716A)으로부터 제 1 용기(710A)와 제 1 라이너(712A) 사이의 개재 공간(711A)에 공급된다. 라이너(712A) 내에 존재하는 소스 물질은 침지관(713A)을 소스 물질 도관(720A) 내에 강제로 유입된다. 이때, 제 2 압력 분배 장치(702B)는 비작동 상태이지만 분배를 개시하기 위한 준비 상태에 있을 수 있다. 제 1 압력 분배 장치(702A)의 중량은 계량장치(706A)에 의해 검출된다. 소스 물질은 제 1 여과/탈기 저장체(740) 내로 유입되고, 소스 물질은 유출 도관(746A) 및 T자관(750)을 통해 분배 도관(755)까지 유동한다. 소스 물질이 제 1 압력 분배 장치(702A)로부터 분배됨에 따라, 이 장치(702A)의 중량은 감소된다. 제 1 및 제 2 분배 장치에 의한 혼합된 분배를 개시하기 위한 사전에 결정된 중량 목표치는 예를 들면 압력 분배 용기 내에 잔존하는 소스 물질의 중량의 함수로서 기체 포화를 모델화 또는 측정하는 것에 의해 실험적으로 설정될 수 있다. 계량장치(706A)가 목표치와 동등한 중량을 검출하면, 계량장치(706A)는 제 2 분배 장치(702B)에 의한 소스 물질(예를 들면, 액체)의 분배가 개시되도록 적어도 하나의 제어 요소(705)에 의해 사용될 수 있는 출력 신호를 발생한다. 제 2 분배 장치(702B)의 작동은 제 1 분배 장치(702A)와 실질적으로 동일하게 개시되고, 제 2 분배 장치(702B)로부터의 소스 물질류는 제 2 여과/탈기 저장체(740B)를 통해 유동하여 T자관(750)에서 제 1 압력 분배 장치(702A)로부터의 소스 물질류와 혼합되고, 이것에 의해 혼합된 흐름은 단일의 분배 도관(755)을 통해 원하는 사용 지점까지 유동한다. 제 1 및 제 2 압력 분배 장치(702A, 702B)로부터의 소스 물질의 흐름을 혼합함으로써 얻어지는 유체의 기체 포화 수준은 허용 수준 미만에 유지될 수 있고, 이에 대응하여 유체 폐기물이 감소된 상태에서 더 많은 유체가 분배될 수 있다.
제 1 및 제 2 압력 분배 장치로부터의 흐름의 혼합을 개시하기 위해 유량 검출을 이용하는 하나의 실시예에 따른 유체 분배 시스템이 도 15에 도시되어 있다. 이 분배 시스템(800)은 제 1 압력 분배 장치(802A), 제 1 탈기 및/또는 여과 저장체(840A), 및 부수되는 유동 제어 구성요소를 갖는 제 1 부분(801A), 및 제 2 압력 분배 장치(802B), 제 1 탈기 및/또는 여과 저장체(840B), 및 부수되는 유동 제어 구성요소를 갖는 제 1 부분(802B)을 포함한다. 각 압력 분배 장치(802A, 802B)는 실질적인 강성 용기(810A, 810B), 붕괴가능한 라이너(812A, 812B) 및 이들 사이의 개재 공간(813A, 813B)을 포함한다. 각 압력 분배 장치(802A, 802B)는 (가압 기체 공급원(816A, 816B)에 연결된) 기체 유입 도관(817A, 817B), (라이너(812A, 812B) 내의 침지관(813A, 813B)으로부터 액체를 수용하도록 배치된) 소스 물질(예를 들면, 액체) 유출 도관(820A, 820B), 및 (라이너(812A, 812B) 내로부터 헤드스페이스 기체를 통기시키도록 배치되는) 기체 통기 도관(830A, 830B)을 갖는 캡(802A, 802B)을 포함한다. 각 소스 물질(예를 들면, 액체) 유출 도관(820A, 820B)은 관련된 유량 센서(823A, 823B)(예를 들면, 총 유량 센서), 제어 밸브(824A, 824B), 및 저장체(840A, 840B)의 상류측에 배치된 체크 밸브(825A, 825B)를 갖는다. 각 기체 통기 도관(830A, 830B)은 (진공 공급원(도시되지 않음)에 선택적으로 연결될 수 있는) 관련된 통기구(831A, 831B), 제어 밸브(834A, 834B), 및 저장체(840A, 840B)의 상류측에 배치되는 체크 밸브(835A, 835B)를 갖는다. 각 저장체(840A, 840B)는 상측 부분(842A, 842B)을 포함하고, 이 상측 부분은 소스 물질 유출 도관(820A, 820B) 및 기체 통기 도관(830A, 830B)을 수용하고, 또 하류측의 기체 유출 도관(848A, 848B)을 포함하고, 이 기체 유출 도관은 제어 밸브(849A, 849B), T자관(851), 추가의 기체 체크 밸브(852), 및 단일의 기체 배출부(853)로 이어진다. 각 저장체(840A, 840B)는 액체 유출구(846A, 846B)를 포함하는 하측 부분(841A, 841B)을 더 포함하고, 액체 유출구는 제어 밸브(847A, 847B), T자관(850), 및 단일의 분배 도관(855)으로 이어진다. 저장체(840A, 840B)와 결합되는 센서(844A, 844B, 845A, 845B)는 이 저장체(840A, 840B) 내의 액체의 소망의 액위를 유지하기 위해 제어 밸브(847A, 847B, 849A, 849B)와 결합하여 사용된다. 각 압력 분배 장치(802A, 802B)의 하류측의 다양한 구성요소는 필요에 따라 각 압력 분배 장치(802A, 802B)로부터 원격 위치될 수 있는 유동 제어 모듈(808) 내에 포함될 수 있다. (가압 기체 공급원 및 유동 제어 모듈(808)을 포함하지만 이것에 한정되지 않는) 분배 시스템(800)의 다양한 요소들은 하나 이상의 제어기를 포함할 수 있는 하나 이상의 제어 요소(805)에 작동가능하게 연결될 수 있다.
분배 시스템(800)의 작동시, 제 1 압력 분배 장치(802A)의 라이너(812) 내에 초기에 존재하는 헤드스페이스 기체는 기체 통기 도관(830A)을 통해 통기구(831A)로 또는 여과 및/또는 탈기 저장체(840A)를 통해 제거될 수 있다. 기체는 또한 액체의 분배 중에 라이너(812A)로부터 기체 통기 도관(830A)을 통해 통기될 수도 있다. 제 1 압력 분배 장치(802A)로부터 소스 물질(예를 들면, 액체)의 압력 분배를 개시하기 위해, 가압 기체가 제 1 가압 기체 공급원(816A)으로부터 제 1 용기(810A)와 제 1 라이너(812A) 사이의 개재 공간(811A )에 공급된다. 라이너(812A) 내에 존재하는 소스 물질은 침지관(813A)을 소스 물질 도관(820A) 내에 강제로 유입된다. 이때, 제 2 압력 분배 장치(802B)는 비작동 상태이지만 분배를 개시하기 위한 준비 상태에 있을 수 있다. 분배된 소스 물질의 유량(예를 들면, 총 유량)은 유량 센서(823A)에 의해 검출되고, 이 소스 물질은 (소스 물질로부터 기체의 제거를 촉진하는) 제 1 여과/탈기 저장체(840) 내로 유입되고, 소스 물질은 유출 도관(846A) 및 T자관(850)을 통해 분배 도관(855)으로 유동한다. 총 유량 센서가 사용되거나 또는 총 유량 센서의 출력이 제어 요소(805) 내에서 구현될 수 있는 바와 같은 계산 장치에 의해 합산될 수 있다. 유량 센서(823A)는 질량 유량 제어기를 필요에 따라 구현할 수 있다. 제 1 및 제 2 분배 장치에 의한 혼합된 분배를 개시하기 위한 사전에 결정된 총 유량 목표치는 예를 들면 총 유량의 함수로서 기체 포화를 모델화 또는 측정하는 것에 의해 실험적으로 설정될 수 있다. 제 1 유량 센서(823A)가 목표치와 동등한 총 유량을 검출하면, 이 센서(823A)는 제 2 분배 장치(802B)에 의한 소스 물질(예를 들면, 액체)의 분배가 개시되도록 적어도 하나의 제어 요소(805)에 의해 사용될 수 있는 출력 신호를 발생한다. 제 2 분배 장치(802B)의 작동은 제 1 분배 장치(802A)와 실질적으로 동일하게 개시되고, 제 2 분배 장치(802B)로부터의 소스 물질류는 제 2 여과/탈기 저장체(840B)를 통해 유동하여 T자관(850)에서 제 1 압력 분배 장치(802A)로부터의 소스 물질류와 혼합되고, 이것에 의해 혼합된 흐름은 단일의 분배 도관(855)을 통해 원하는 사용 지점까지 유동한다. 제 1 및 제 2 압력 분배 장치(802A, 802B)로부터의 소스 물질의 흐름을 혼합함으로써 얻어지는 유체의 기체 포화 수준은 허용 수준 미만에 유지될 수 있고, 이에 대응하여 유체 폐기물이 감소된 상태에서 더 많은 유체가 분배될 수 있다.
도 12는 제 1 및 제 2 압력 분배 장치의 유출물 흐름의 혼합을 포함하는 모의실험의 비교 결과를 제공한다. 실제의 시스템은 소스 물질의 혼합이 개시된 후 양쪽 압력 분배 장치에 대한 연장된 가압 시간을 고려할 필요가 있을 수 있다. 모델이 된 시스템은 65 ml/분의 액체 인출 속도, 30 psig의 구동 압력, 및 라이너 내에 초기에 존재하는 3 cm 반경의 기포를 갖는 200 리터의 라이너-기반 압력 분배 장치를 포함하였다. 도 12는 (A) 0의 헤드스페이스를 갖는 200 리터의 붕괴 가능한 박막-기반 용기 라이너, (B) 통상의 헤드스페이스를 갖는 200 리터의 붕괴 가능한 박막-기반 용기 라이너, 및 (C) 제 1 라이너에 의해 분배된 유체와 그 후 제 2의 200 리터 라이너에 의해 분배된 유체를 혼합한 상태에서 ~ 3.7일 경과될 때까지 통상의 헤드스페이스를 갖는 제 1의 200 리터의 붕괴 가능한 박막-기반 라이너로부터 압력 분배 중에 절첩부로부터 방출된 기체를 모델로 하는 모의실험에 대한 용해된 기체의 포화 압력(파스칼) 대 시간(일)을 도시한다. (10 리터의 유체 소스 물질이 제 1 라이너 내에 잔존해 있을 때) ~ 3.7일에서 보이는 천이(transition)는 각 압력 분배 장치에 의해 제공되는 혼합된 흐름의 50%에 대한 제 1 및 제 2 압력 분배 장치에 의한 혼합된 분배의 개시를 나타낸다. 이 모델이 된 결과는 천이에서 개시되는 혼합된 흐름의 기체 포화 압력의 상당히 감소를 보여주고, 그 결과 기체 포화 수준에 대한 본 발명의 시스템 및 방법의 효과를 입증해주고, 또 압력 분배 용기로부터의 더 높은 비율의 소스 물질의 분배 작업이 가능하다.
이상에서 본 발명은 특정의 태양, 특징 및 예시적인 실시예에 관하여 설명되었으나, 본 발명의 용도는 본 명세서의 기재에 기초한 본 발명에 나타나 있는 기술분야의 통상의 전문가에게 제안되는 복수의 다른 변경, 개조 및 대안 실시예까지 확장되고 또 이들 실시예를 포함하는 것은 당연하다. 하나 이상의 실시예와 관련하여 기재된 임의의 하나 이상의 특징은 반대의 언급이 없는 한 임의 다른 실시예의 하나 이상의 특징과 결합되는 것이 고려된다. 따라서, 이하의 청구항과 같은 본 발명은 그 사상 및 범위 내에서 이와 같은 변경, 개조 및 대안 실시예의 전부를 포함하는 것으로 광범위하게 해석되어야 한다.
100: 커넥터
101: 상측 본체 구조
102: 중간 본체 구조
103: 하측 본체 구조
111, 112, 113: 원주 시일링 요소
119: 압력 트랜스듀서
120: 하측 단부
125: 액체 추출 도관
128: 액체 유출 포트
129: 액체 분배 밸브
130: 하측 개구
135: 기체 추출 도관
138: 기체 유출 포트
139: 기체 통기 밸브

Claims (10)

  1. 액체 흐름으로부터 기체를 제거하도록 구성된 기체 제거 장치이며,
    액체의 통과는 허용하지만 기포의 통과는 방지하도록 구성된 여과 매체를 내부에 포함하는 내부 체적과, 유체 유입구와, 상기 여과 매체를 통과하는 액체를 수용하도록 구성된 액체 유출구와, 상기 여과 매체를 통한 통과가 방지된 기포로부터 축적되는 기체를 수용하도록 구성된 기체 유출구를 형성하는 저장체 본체와,
    상기 내부 체적과 통신 상태에 있고, 상기 내부 체적 내의 액체 레벨을 표시하는 출력 신호를 생성하도록 구성된 레벨 센서와,
    상기 가스 유출구와 유체 연통되는 밸브를 포함하고,
    상기 출력 신호에 응답하여 상기 내부 체적으로부터 가스를 통기하기 위해 상기 밸브를 개방하도록 구성된,
    기체 제거 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레벨 센서는 용량 센서인,
    기체 제거 장치.
  3. 제1항 또는 제2항의 기체 제거 장치와,
    상기 기체 제거 장치의 상기 유체 유입구에 결합된 압력 분배 장치를 포함하는,
    유체 분배 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 압력 분배 장치는, 외부 용기 내에 배치된 붕괴가능한 라이너를 포함하고, 상기 붕괴가능한 라이너 및 상기 외부 용기 사이의 개재 공간을 형성하고,
    상기 개재 공간은, 상기 붕괴가능한 라이너로부터 유체를 분배하기 위해 상기 붕괴가능한 라이너의 압축용 가압 기체를 수용하도록 구성되는,
    유체 분배 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 압력 분배 장치는, 상기 압력 분배 장치에 장착된 커넥터를 통해 상기 기체 제거 장치의 상기 유체 유입구에 결합되는,
    유체 분배 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기체 제거 장치는 상기 커넥터와 떨어져서 상기 커넥터의 하류에 배치되는,
    유체 분배 시스템.
  7. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    빈 상태(empty state)를 검출 또는 상기 압력 분배 장치의 빈 상태로 접근하도록 구성된 빈 검출 장치(empty detect apparatus)를 더 포함하는,
    유체 분배 시스템.
  8. 내부 체적을 형성하고 상기 내부 체적 내에 여과 매체를 갖는 저장체 본체를 통해 액체가 흐르게 하는 단계와 - 상기 여과 매체는 액체의 통과는 허용하지만 상기 액체 내에 혼입된 기포의 통과는 방지하도록 구성되고, 상기 저장체 본체는 상기 여과 매체를 통과하는 액체를 수용하도록 구성된 저장체 액체 유출구 및 상기 여과 매체를 통한 통과가 방지된 기포로부터 축적되는 기체를 수용하도록 구성된 저장체 기체 유출구를 포함함 -,
    상기 저장체 본체의 상기 내부 체적 내의 액체 레벨을 감지하는 단계와,
    상기 저장체 본체의 상기 내부 체적 내의 상기 액체 레벨이 미리 정해진 레벨 아래인 경우에 상기 저장체 기체 유출구로부터 기체를 통기하는 단계를 포함하는,
    기체가 제거된 액체를 공급하는 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 액체 레벨을 감지하는 단계는 상기 내부 체적 내의 상기 액체 레벨을 표시하는 출력 신호를 생성하는 레벨 센서에 의해 수행되는,
    기체가 제거된 액체를 공급하는 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 저장체 기체 유출구로부터 기체를 통기하는 단계는 상기 레벨 센서의 상기 출력 신호에 기초하여 개방되도록 구성된 밸브에 의해 수행되는,
    기체가 제거된 액체를 공급하는 방법.
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Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8733598B2 (en) 2009-12-30 2014-05-27 Advanced Technology Materials, Inc. Closure/connector for liner-based dispense containers
JP5891177B2 (ja) 2010-01-06 2016-03-22 アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド 気体除去および検出能力を有する液体分配システム
CN103347796B (zh) * 2010-10-11 2016-11-09 安格斯公司 大体刚性的可塌缩内衬、用于替换玻璃瓶的容器和/或内衬、以及加强的柔性内衬
TWI590992B (zh) 2010-10-15 2017-07-11 恩特葛瑞斯股份有限公司 用於基於襯底的總成之連接器、用於分配基於襯底的總成之內容物的方法及用於分配基於襯底的總成之內容物的系統
EP2648990A4 (en) * 2010-12-10 2014-05-21 Advanced Tech Materials GENERALLY CYLINDRICALLY SHAPED LINER FOR USE IN PRESSURE DISTRIBUTION SYSTEMS AND METHODS OF MAKING THE SAME
US9116082B1 (en) * 2011-05-23 2015-08-25 Carl Ray Haywood Deep water sampler
US9044712B2 (en) * 2011-09-12 2015-06-02 Idex Health & Science, Llc Supersaturated fluid degassing
SG11201402260PA (en) * 2011-11-18 2014-09-26 Advanced Tech Materials Closure/connectors for liner-based shipping and dispensing containers and methods for filling liner-based shipping and dispensing containers
JP5877702B2 (ja) * 2011-12-14 2016-03-08 株式会社ニューフレアテクノロジー 成膜装置および成膜方法
US9861916B2 (en) 2012-04-30 2018-01-09 Saint-Gobain Performance Pastics Corporation Liquid recovery filter
US9757666B2 (en) * 2012-04-30 2017-09-12 Saint-Gobain Performance Plastics Corporation Liquid recovery filter
FR2996737B1 (fr) * 2012-10-12 2015-08-07 Commissariat Energie Atomique Recipient pour le stockage d'un fluide destine a interagir avec un utilisateur
JP6479690B2 (ja) * 2013-03-04 2019-03-06 ベガ イノベーションズ プロプライエタリー リミテッドＶｅｇａ Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎｓ Ｐｔｙ Ｌｔｄ 液体スプレーディスペンサシステム
US9921193B2 (en) * 2013-03-14 2018-03-20 Bio-Rad Laboratories, Inc. Bottle pressurization delivery system
US9814828B2 (en) * 2013-03-15 2017-11-14 Aesynt Incorporated Method and apparatus for preparing and monitoring an intravenous fluid bag
EP3019419B1 (en) * 2013-07-11 2018-05-02 Entegris, Inc. Apparatus and methods for filling and dispensing liquids
CN105829214B (zh) * 2013-10-18 2019-01-08 恩特格里斯公司 汲取管组件及其制造方法
WO2015084714A2 (en) * 2013-12-02 2015-06-11 Obenchain Valerie A Gas supply warning and communication system
ZA201409085B (en) * 2013-12-11 2015-11-25 Bergen Broodryk Fluid dispensing apparatus and system
US10054558B2 (en) * 2013-12-27 2018-08-21 Owens-Brockway Glass Container Inc. System and method for testing thermal properties of a container
KR102448151B1 (ko) * 2014-06-17 2022-09-30 라이프 테크놀로지스 코포레이션 서열분석 디바이스
EP3194833A1 (en) * 2014-09-16 2017-07-26 Linde Aktiengesellschaft Valve integrated pressure regulator system for pressure vessels
US9457306B2 (en) 2014-10-07 2016-10-04 Life Technologies Corporation Regulated vacuum off-gassing of gas filter for fluid processing system and related methods
US11027961B2 (en) * 2014-12-30 2021-06-08 Edward Showalter Apparatus, systems and methods for dispensing drinks, food, and other liquids
US9994437B2 (en) * 2014-12-30 2018-06-12 Edward Showalter Apparatus, systems and methods for dispensing drinks, food, and other liquids
US11292706B2 (en) * 2014-12-30 2022-04-05 Edward Showalter Apparatus, systems and methods for preparing and dispensing foods
US10647563B2 (en) * 2014-12-30 2020-05-12 Edward Showalter Apparatus, systems and methods for dispensing drinks
KR20180019240A (ko) * 2015-07-09 2018-02-23 엔테그리스, 아이엔씨. 연료 공급 패키지
JP2017032126A (ja) * 2015-08-06 2017-02-09 ホーチキ株式会社 水素ステーションの防災設備
DE102016220107B4 (de) * 2016-10-14 2020-01-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Entgasungsvorrichtung
CN106840439B (zh) * 2016-12-29 2022-09-20 北京怡和嘉业医疗科技股份有限公司 加热管路的温度采集方法和装置
JP2020527513A (ja) 2017-06-26 2020-09-10 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 実質的に液体のみが容器内に配置されることを保証するための液体添加剤供給システム及び方法
US10591934B2 (en) * 2018-03-09 2020-03-17 Lam Research Corporation Mass flow controller for substrate processing
PL3552715T3 (pl) * 2018-04-12 2021-08-30 Wagner International Ag Instalacja powlekania proszkowego ze sprzęgłem i sposób czyszczenia instalacji powlekania proszkowego
CA3111559A1 (en) 2018-09-06 2020-03-12 The Coca-Cola Company Flow control module with a thermal mass flow meter
USD898868S1 (en) 2018-09-12 2020-10-13 3M Innovative Properties Company Liquid delivery system lid
USD919045S1 (en) 2018-09-12 2021-05-11 3M Innovative Properties Company Liquid delivery system coupler
USD918339S1 (en) 2018-09-12 2021-05-04 3M Innovative Properties Company Liquid delivery system cup
US20200107667A1 (en) * 2018-10-09 2020-04-09 Dyln Lifestyle, LLC Contoured double walled fluid container with internal compartment
JP2020172967A (ja) * 2019-04-10 2020-10-22 アスカ工業株式会社 ガスパージ機能付きバルブ
KR20200130121A (ko) * 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR20230071137A (ko) * 2020-09-23 2023-05-23 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 타겟 재료 공급 시스템에서의 압력 완화 장치 및 방법
KR102328717B1 (ko) 2020-12-23 2021-11-22 주식회사 헥사 삼중관 구조를 갖는 액체수소 주입용 아답터
US20230017903A1 (en) * 2021-07-15 2023-01-19 Pelican Biothermal, Llc Phase change material panel and passive thermally controlled shipping container employing the panels
EP4247529A1 (en) * 2021-11-03 2023-09-27 Leon-Nanodrugs GmbH Apparatus and method for mixing small liquid volumes, and use of the apparatus
WO2024069014A1 (en) * 2022-09-30 2024-04-04 Leon-Nanodrugs Gmbh Apparatus and method for operating a static mixing device
CN115901074B (zh) * 2022-12-13 2024-06-04 重庆大学 一种用于喷管流道内压力测量的可移动探针装置

Family Cites Families (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3631654A (en) * 1968-10-03 1972-01-04 Pall Corp Gas purge device
FR2126610A5 (en) * 1971-02-12 1972-10-06 Thomson Csf Liquid degasifier - with recycling to obtain complete degasification
US4002432A (en) 1975-04-25 1977-01-11 Exxon Research And Engineering Company Vapor-liquid separator
JPS59228849A (ja) * 1983-06-10 1984-12-22 テルモ株式会社 液体中気泡除去装置
US5217053A (en) 1990-02-05 1993-06-08 Texas Instruments Incorporated Vented vacuum semiconductor wafer cassette
US5148945B1 (en) 1990-09-17 1996-07-02 Applied Chemical Solutions Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals
US5693017A (en) 1991-02-14 1997-12-02 Wayne State University Apparatus and method of delivery of gas-supersaturated solutions to a delivery site
JPH05103921A (ja) 1991-10-11 1993-04-27 Miyazaki Oki Electric Co Ltd 薬液ろ過装置
JP2884909B2 (ja) 1992-05-13 1999-04-19 日本電気株式会社 薬品供給装置
US5957328A (en) 1992-09-11 1999-09-28 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing and recirculating system
US5526956A (en) * 1992-09-11 1996-06-18 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing and recirculating system
US5383574A (en) 1993-07-19 1995-01-24 Microbar Sytems, Inc. System and method for dispensing liquid from storage containers
US5803137A (en) 1995-07-24 1998-09-08 Beldex Corporation Liquid crystal delivering apparatus
JPH0929006A (ja) * 1995-07-24 1997-02-04 Beldex:Kk 液晶脱泡容器
JPH0966228A (ja) 1995-08-31 1997-03-11 Sony Corp 液状原料供給装置
DE69738136T2 (de) 1996-12-17 2008-06-12 Advanced Technology Materials, Inc., Danbury Reagenzzuführbehälter für cvd
US6101816A (en) 1998-04-28 2000-08-15 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system
US6065638A (en) 1998-05-29 2000-05-23 Gilbarco Inc. Real time blending apparatus and method
US6042635A (en) * 1998-06-04 2000-03-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method for wetting a filter element
JP4314537B2 (ja) 1998-07-03 2009-08-19 関東化学株式会社 安全検出型薬液供給装置
US6168048B1 (en) 1998-09-22 2001-01-02 American Air Liquide, Inc. Methods and systems for distributing liquid chemicals
IL133102A0 (en) * 1998-11-30 2001-03-19 Air Prod & Chem Ultrasonic level sense in a chemical refill system
FR2790253B1 (fr) 1999-02-26 2001-04-20 Air Liquide Electronics Sys Systeme de distribution de liquide et son utilisation pour la distribution d'un liquide ultra-pur
IT1308253B1 (it) 1999-03-16 2001-12-10 Molteni L E C Dei Flii Alitti Dosatore di precisione per liquidi.
US6206240B1 (en) 1999-03-23 2001-03-27 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with pressurization
DE19937606A1 (de) 1999-03-29 2000-10-12 Steag Hamatech Ag Verfahren und Vorrichtung zum Bereitstellen eines Fluids aus einem Drucktank
WO2001002106A1 (en) 1999-07-06 2001-01-11 Semitool, Inc. Chemical solutions system for processing semiconductor materials
US6264064B1 (en) 1999-10-14 2001-07-24 Air Products And Chemicals, Inc. Chemical delivery system with ultrasonic fluid sensors
JP3495680B2 (ja) * 2000-04-03 2004-02-09 三洋電機株式会社 水処理装置
JP3574400B2 (ja) * 2000-12-04 2004-10-06 株式会社 高千穂 建物の雨水利用システム
US6542848B1 (en) 2000-07-31 2003-04-01 Chart Inc. Differential pressure gauge for cryogenic fluids
WO2002012780A1 (en) 2000-08-04 2002-02-14 Arch Specialty Chemicals, Inc. Automatic refill system for ultra pure or contamination sensitive chemicals
JP2002273113A (ja) * 2001-03-15 2002-09-24 Koganei Corp 濾過器および薬液供給装置並びに薬液供給方法
JP4822641B2 (ja) * 2001-09-28 2011-11-24 日本曹達株式会社 配管用簡易バルブ
JP2003170004A (ja) * 2001-12-06 2003-06-17 Nihon Tetra Pak Kk 充填タンク脱気装置
DE20205819U1 (de) 2002-04-12 2003-08-21 Kinetics Germany Gmbh Vorrichtung zur Bereitstellung von hochreinen Prozesschemikalien
US7188644B2 (en) 2002-05-03 2007-03-13 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and method for minimizing the generation of particles in ultrapure liquids
US6698619B2 (en) 2002-05-03 2004-03-02 Advanced Technology Materials, Inc. Returnable and reusable, bag-in-drum fluid storage and dispensing container system
US20040058453A1 (en) 2002-09-20 2004-03-25 3M Innovative Properties Company Reaction pouch comprising an analytical sensor
WO2004050537A2 (en) 2002-11-29 2004-06-17 Interbrew S.A. Beer dispensing system with gas pressure reservoir
JP2005058842A (ja) * 2003-08-20 2005-03-10 Shibaura Mechatronics Corp 脱気装置、脱気方法及び液体供給装置
JP2005076868A (ja) 2003-09-03 2005-03-24 Seiko Epson Corp 流体制御弁および液滴吐出装置
US20050087237A1 (en) 2003-10-27 2005-04-28 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid dispensing and recirculating system with sensor
JP2005205349A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 気液分配方法及びその装置
WO2005085815A2 (en) * 2004-03-03 2005-09-15 Waters Investments Limited A leak detector comprising a self-heated thermistor control circuit
US20050224523A1 (en) 2004-04-13 2005-10-13 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid dispensing method and system with headspace gas removal
JP2008501512A (ja) * 2004-06-03 2008-01-24 インテグリス・インコーポレーテッド 供給および出口側ベントを備える流体濾過装置
US20050279207A1 (en) 2004-06-16 2005-12-22 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid delivery system
US7172096B2 (en) 2004-11-15 2007-02-06 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid dispensing system
MY169584A (en) 2005-04-25 2019-04-22 Entegris Inc Liner-based liquid storage and dispensing system with empty detection capability
CN101208255B (zh) * 2005-04-25 2013-03-06 高级技术材料公司 用于物质储存和分配的包装及方法
EP1896359B1 (en) 2005-06-06 2017-01-11 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing systems and processes
TW200730414A (en) 2005-11-18 2007-08-16 Advanced Tech Materials Material storage and dispensing containers and systems comprising same
BE1016866A3 (nl) 2005-11-29 2007-08-07 Atlas Copco Airpower Nv Compressorinstallatie met een waterge njecteerd compressorelement.
JP4646234B2 (ja) 2006-03-22 2011-03-09 パナソニック株式会社 薬液供給装置および半導体装置の製造方法
CN101484782B (zh) 2006-06-13 2013-07-17 高级技术材料公司 包含气体移出设备的液体分配系统
JP5159064B2 (ja) * 2006-08-11 2013-03-06 コスモ石油株式会社 気液混合流動体の送給装置
US8518483B2 (en) * 2007-01-29 2013-08-27 Praxair Technology, Inc. Diptube apparatus and method for delivering vapor phase reagent to a deposition chamber
EP2223332A4 (en) 2007-12-06 2012-07-11 Foresight Proc Llc SYSTEMS AND METHODS FOR DELIVERING COMBINATIONS OF TREATMENT MATERIAL CONTAINING FLUID
JP2009206114A (ja) 2008-02-26 2009-09-10 Furukawa Electric Co Ltd:The 熱交換器
CN101881400A (zh) 2009-05-05 2010-11-10 厦门市信达光电科技有限公司 Led路灯光源模组
JP5891177B2 (ja) 2010-01-06 2016-03-22 アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド 気体除去および検出能力を有する液体分配システム

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