JPH0966228A - 液状原料供給装置 - Google Patents
液状原料供給装置Info
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- JPH0966228A JPH0966228A JP22440495A JP22440495A JPH0966228A JP H0966228 A JPH0966228 A JP H0966228A JP 22440495 A JP22440495 A JP 22440495A JP 22440495 A JP22440495 A JP 22440495A JP H0966228 A JPH0966228 A JP H0966228A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型の設備で液状原料に混入した加圧ガスの
気泡を抜き、液状原料の目詰まり等の事故が発生した場
合でも簡便に液状原料を変質させることなく処置を施す
ことを可能とする。 【解決手段】 原料送出管２に、バルブ１１を介してポ
リテトラフルオロエチレンよりなる気泡除去管４を接続
する。この気泡除去管４は、原料送出管２の上端部に着
脱自在に設けられるものであり、当該気泡除去管４と原
料送出管２とが一体となって液状原料Ｍの供給管とな
る。さらに、気泡除去管４の側壁部４ａを被覆するよう
に真空排気管５を設けて２重管構造を形成する。
気泡を抜き、液状原料の目詰まり等の事故が発生した場
合でも簡便に液状原料を変質させることなく処置を施す
ことを可能とする。 【解決手段】 原料送出管２に、バルブ１１を介してポ
リテトラフルオロエチレンよりなる気泡除去管４を接続
する。この気泡除去管４は、原料送出管２の上端部に着
脱自在に設けられるものであり、当該気泡除去管４と原
料送出管２とが一体となって液状原料Ｍの供給管とな
る。さらに、気泡除去管４の側壁部４ａを被覆するよう
に真空排気管５を設けて２重管構造を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば化学気相成
長法に用いられる液状の化学原料や半導体デバイス製造
用原料を供給するための液状原料供給装置に関する。
長法に用いられる液状の化学原料や半導体デバイス製造
用原料を供給するための液状原料供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば化学気相成長法（ＣＶＤ）
や有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ）に用いられる
液状の化学原料や半導体デバイス製造用原料を供給する
液状原料供給装置は、このような液状原料を収容するス
テンレス鋼よりなる原料収容容器と、当該原料収容容器
とその上面部にて接続され原料収容容器内から液状原料
を外部へ送出するステンレス鋼よりなる原料送出管と、
液状原料に圧力を加えて原料送出管に当該液状原料を送
り込むための不活性ガスやＨｅ等の加圧ガスを原料収容
容器内に供給する加圧ガス供給管とから構成されてい
る。ここで、液状原料の送出量や加圧ガスの供給量は、
それぞれ原料送出管及び加圧ガス供給管に設けられたバ
ルブを調節することにより調整される。
や有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ）に用いられる
液状の化学原料や半導体デバイス製造用原料を供給する
液状原料供給装置は、このような液状原料を収容するス
テンレス鋼よりなる原料収容容器と、当該原料収容容器
とその上面部にて接続され原料収容容器内から液状原料
を外部へ送出するステンレス鋼よりなる原料送出管と、
液状原料に圧力を加えて原料送出管に当該液状原料を送
り込むための不活性ガスやＨｅ等の加圧ガスを原料収容
容器内に供給する加圧ガス供給管とから構成されてい
る。ここで、液状原料の送出量や加圧ガスの供給量は、
それぞれ原料送出管及び加圧ガス供給管に設けられたバ
ルブを調節することにより調整される。
【０００３】この液状原料供給装置から送出された液状
原料は、液体マスフローコントローラ或はセラミックピ
ストン等を介して液状のまま輸送され、気化器に送り込
まれて気化される。そして気化された液状原料は、例え
ばＭＯＣＶＤを行う場合では、炉内の加熱された基板上
に供されて不可逆的に熱分解されて所定のエピタキシャ
ル結晶が生成されることになる。
原料は、液体マスフローコントローラ或はセラミックピ
ストン等を介して液状のまま輸送され、気化器に送り込
まれて気化される。そして気化された液状原料は、例え
ばＭＯＣＶＤを行う場合では、炉内の加熱された基板上
に供されて不可逆的に熱分解されて所定のエピタキシャ
ル結晶が生成されることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、原料送出管
から当該液状原料を送出するに際して、加圧ガス供給管
から供給する加圧ガスにより液状原料に圧力を加える場
合に原料送出管内の液状原料に加圧ガスの気泡が発生す
ることがある。
から当該液状原料を送出するに際して、加圧ガス供給管
から供給する加圧ガスにより液状原料に圧力を加える場
合に原料送出管内の液状原料に加圧ガスの気泡が発生す
ることがある。
【０００５】このとき、加圧ガスの気泡を除去するため
には、ステンレス鋼よりなる原料送出管を原料収容容器
から取り外してその代わりにポリテトラフルオロエチレ
ン等のフッ素樹脂よりなる気泡除去管を原料収容容器に
接続し、原料収容容器と気泡除去管の全体を減圧容器内
に設置する。そして、この減圧容器内を減圧することに
より気泡除去管の内外の圧力差に応じてフッ素樹脂より
なる気泡除去管の管壁部を加圧ガスの気泡のみが選択的
に通過して気泡除去管外に排除されることになる。
には、ステンレス鋼よりなる原料送出管を原料収容容器
から取り外してその代わりにポリテトラフルオロエチレ
ン等のフッ素樹脂よりなる気泡除去管を原料収容容器に
接続し、原料収容容器と気泡除去管の全体を減圧容器内
に設置する。そして、この減圧容器内を減圧することに
より気泡除去管の内外の圧力差に応じてフッ素樹脂より
なる気泡除去管の管壁部を加圧ガスの気泡のみが選択的
に通過して気泡除去管外に排除されることになる。
【０００６】しかしながら、例えば液状原料が大気中で
不安定であり化学反応を起こして固体生成物や粘度の高
い生成物を与えるものである場合、原料送出管内に当該
液状原料が詰まったときの処理は極めて困難であり、液
状原料の供給や流量制御が不可能となるばかりか、原料
収容容器内の液状原料が化学反応を起こして使用できな
くなってしまう虞れがある。
不安定であり化学反応を起こして固体生成物や粘度の高
い生成物を与えるものである場合、原料送出管内に当該
液状原料が詰まったときの処理は極めて困難であり、液
状原料の供給や流量制御が不可能となるばかりか、原料
収容容器内の液状原料が化学反応を起こして使用できな
くなってしまう虞れがある。
【０００７】また、原料送出管内の様子を外部から観察
することができないため、この原料送出管内に加圧ガス
の気泡が混入したか否かを目視により判断することが困
難であり、液状原料の正味の流量を正確に制御できない
という問題もある。
することができないため、この原料送出管内に加圧ガス
の気泡が混入したか否かを目視により判断することが困
難であり、液状原料の正味の流量を正確に制御できない
という問題もある。
【０００８】さらに、原料送出管は原料収容容器の上部
に設けられており、したがって原料収容容器の上部から
液状原料が取り出されるため、液状原料を完全に使い切
ることができずに一部が残存してしまう。
に設けられており、したがって原料収容容器の上部から
液状原料が取り出されるため、液状原料を完全に使い切
ることができずに一部が残存してしまう。
【０００９】そこで本発明は、上述の様々な課題に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、液状
原料の目詰まり等の事故が発生した場合でも簡便に液状
原料を変質させることなく処置を行うことを可能とする
液状原料供給装置を提供することにある。
てなされたものであり、その目的とするところは、液状
原料の目詰まり等の事故が発生した場合でも簡便に液状
原料を変質させることなく処置を行うことを可能とする
液状原料供給装置を提供することにある。
【００１０】また本発明は、液状原料を無駄なく最後ま
で使い切ることを可能とするとともに、液状原料の消費
量を容易に測定することができる液状原料供給装置を提
供することにある。
で使い切ることを可能とするとともに、液状原料の消費
量を容易に測定することができる液状原料供給装置を提
供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の対象とするもの
は、原料収容容器内に収容される液状原料が当該原料収
容容器に接続された加圧ガス供給管から供給された加圧
ガスの圧力により原料送出管から外部に送出され、当該
液状原料が化学原料や半導体原料として供される液状原
料供給装置である。
は、原料収容容器内に収容される液状原料が当該原料収
容容器に接続された加圧ガス供給管から供給された加圧
ガスの圧力により原料送出管から外部に送出され、当該
液状原料が化学原料や半導体原料として供される液状原
料供給装置である。
【００１２】本発明の液状原料供給装置は、上記加圧ガ
スを透過可能な材料よりなる気泡除去管が上記原料送出
管に着脱自在に接続され、液状原料内に混入した加圧ガ
スの気泡を当該気泡除去管の管壁部から除去するように
なされたものである。
スを透過可能な材料よりなる気泡除去管が上記原料送出
管に着脱自在に接続され、液状原料内に混入した加圧ガ
スの気泡を当該気泡除去管の管壁部から除去するように
なされたものである。
【００１３】ここで、気泡除去管の材料としては、ポリ
テトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂が好適である。
テトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂が好適である。
【００１４】また、本発明の液状原料供給装置は、上記
原料収容容器がその底部に懸吊部材を備え、当該懸吊部
材により倒立状態で使用するようになされたものであ
る。
原料収容容器がその底部に懸吊部材を備え、当該懸吊部
材により倒立状態で使用するようになされたものであ
る。
【００１５】この場合においても、加圧ガスを透過可能
な材料よりなる気泡除去管が原料送出管に着脱自在に設
けられ、液状原料内に混入した加圧ガスの気泡を当該気
泡除去管の管壁部から除去するように上記液状原料供給
装置を構成することが好適である。
な材料よりなる気泡除去管が原料送出管に着脱自在に設
けられ、液状原料内に混入した加圧ガスの気泡を当該気
泡除去管の管壁部から除去するように上記液状原料供給
装置を構成することが好適である。
【００１６】さらに、上記気泡除去管の管壁部を被覆す
る真空排気管を設け、当該真空排気管に配された排気口
から真空排気を行って気泡除去管の内外に生じる圧力差
により加圧ガスの気泡が当該気泡除去管の管壁部から除
去されるように上記液状原料供給装置を構成することが
好適である。
る真空排気管を設け、当該真空排気管に配された排気口
から真空排気を行って気泡除去管の内外に生じる圧力差
により加圧ガスの気泡が当該気泡除去管の管壁部から除
去されるように上記液状原料供給装置を構成することが
好適である。
【００１７】上記気泡除去管として透明なものを用いる
とともに、真空排気管の少なくとも一部にガラス等の透
明部材を配することが好ましい。
とともに、真空排気管の少なくとも一部にガラス等の透
明部材を配することが好ましい。
【００１８】上述のように、加圧ガス供給管から原料収
容容器内に供給された加圧ガスの圧力により液状原料が
送出される際に、液状原料内に混入した加圧ガスの気泡
が当該気泡除去管の管壁部から除去される。したがっ
て、例えば液状原料が大気中で不安定であり化学反応を
起こし易いものである場合でも、当該液状原料の目詰ま
りが発生したときなどに、着脱自在に原料送出管に接続
された気泡除去管を交換することにより容易に処置を施
すことが可能となる。
容容器内に供給された加圧ガスの圧力により液状原料が
送出される際に、液状原料内に混入した加圧ガスの気泡
が当該気泡除去管の管壁部から除去される。したがっ
て、例えば液状原料が大気中で不安定であり化学反応を
起こし易いものである場合でも、当該液状原料の目詰ま
りが発生したときなどに、着脱自在に原料送出管に接続
された気泡除去管を交換することにより容易に処置を施
すことが可能となる。
【００１９】また、本発明の液状原料供給装置は、原料
収容容器がその底部に懸吊部材を備え、当該懸吊部材に
より倒立状態で用いられるものであるので、原料収容容
器内の液状原料を最後まで完全に使用することが可能と
なる。さらにこの場合、吊り下げられた当該液状原料供
給装置の重量を使用中に測定することによって液状原料
の残量を正確に把握することができ、使用中に液状原料
が突然無くなるような事故も防止されて、液状原料の供
給状態を容易に管理することが可能となる。
収容容器がその底部に懸吊部材を備え、当該懸吊部材に
より倒立状態で用いられるものであるので、原料収容容
器内の液状原料を最後まで完全に使用することが可能と
なる。さらにこの場合、吊り下げられた当該液状原料供
給装置の重量を使用中に測定することによって液状原料
の残量を正確に把握することができ、使用中に液状原料
が突然無くなるような事故も防止されて、液状原料の供
給状態を容易に管理することが可能となる。
【００２０】さらに、本発明の液状原料供給装置におい
ては、気泡除去管の管壁部を被覆する真空排気管が設け
られており、２重管構造とされて従来の真空容器に比し
て小型化されているため、ほぼ気泡除去管のみの場合と
さほど変わらない占有体積を有し、当該真空排気管に配
された排気口から真空排気を行って気泡除去管の内外に
生じる圧力差により加圧ガスの気泡を当該気泡除去管の
管壁部から除去することが可能となる。
ては、気泡除去管の管壁部を被覆する真空排気管が設け
られており、２重管構造とされて従来の真空容器に比し
て小型化されているため、ほぼ気泡除去管のみの場合と
さほど変わらない占有体積を有し、当該真空排気管に配
された排気口から真空排気を行って気泡除去管の内外に
生じる圧力差により加圧ガスの気泡を当該気泡除去管の
管壁部から除去することが可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の液状原料供給装置
を適用したいくつかの好適な実施の形態について図面を
参照しながら詳細に説明する。
を適用したいくつかの好適な実施の形態について図面を
参照しながら詳細に説明する。
【００２２】第１の実施の形態 先ず、第１の実施の形態について述べる。この液状原料
供給装置は、例えば化学気相成長法（ＣＶＤ）や有機金
属化学気相法（ＭＯＣＶＤ）により液状の化学原料や半
導体デバイス製造用原料を供給するものである。この場
合、ＣＶＤに用いる液状原料としては例えばテトラエト
キシシラン（ＴＥＯＳ）が、ＭＯＣＶＤにおいては例え
ばトリエチルガリリウムが用いられる。
供給装置は、例えば化学気相成長法（ＣＶＤ）や有機金
属化学気相法（ＭＯＣＶＤ）により液状の化学原料や半
導体デバイス製造用原料を供給するものである。この場
合、ＣＶＤに用いる液状原料としては例えばテトラエト
キシシラン（ＴＥＯＳ）が、ＭＯＣＶＤにおいては例え
ばトリエチルガリリウムが用いられる。
【００２３】この液状原料供給装置は、図１に示すよう
に、液状原料Ｍを収容するステンレス鋼よりなる原料収
容容器１と、当該原料収容容器１の上部に設けられ原料
収容容器１内から液状原料Ｍを外部へ送出する原料送出
管２と、液状原料Ｍに圧力を加えて原料送出管２に当該
液状原料Ｍを送り込むための不活性ガスやＨｅ等の加圧
ガスを原料収容容器１内に供給する加圧ガス供給管３と
から構成されている。この場合、液状原料Ｍの送出量や
加圧ガスの供給量は、それぞれ原料送出管２及び加圧ガ
ス供給管３に設けられたバルブ１１，１２を調節するこ
とにより調整される。
に、液状原料Ｍを収容するステンレス鋼よりなる原料収
容容器１と、当該原料収容容器１の上部に設けられ原料
収容容器１内から液状原料Ｍを外部へ送出する原料送出
管２と、液状原料Ｍに圧力を加えて原料送出管２に当該
液状原料Ｍを送り込むための不活性ガスやＨｅ等の加圧
ガスを原料収容容器１内に供給する加圧ガス供給管３と
から構成されている。この場合、液状原料Ｍの送出量や
加圧ガスの供給量は、それぞれ原料送出管２及び加圧ガ
ス供給管３に設けられたバルブ１１，１２を調節するこ
とにより調整される。
【００２４】原料送出管２には、バルブ１１を介してフ
ッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレンよりなる気
泡除去管４が接続されている。この気泡除去管４は、原
料送出管２の上端部に着脱自在に設けられるものであ
り、当該気泡除去管４と原料送出管２とが一体となって
液状原料Ｍの供給管とされる。
ッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレンよりなる気
泡除去管４が接続されている。この気泡除去管４は、原
料送出管２の上端部に着脱自在に設けられるものであ
り、当該気泡除去管４と原料送出管２とが一体となって
液状原料Ｍの供給管とされる。
【００２５】さらに、気泡除去管４の管壁部４ａを被覆
するように真空排気管５が設けられて２重管構造が形成
されている。ここで、図２に示すように、気泡除去管４
は透明色であり、真空排気管５の管壁部の一部には透明
部材として透明ガラス１３が配されている。したがっ
て、透明ガラス１３から気泡除去管４の内部の様子を観
察することができ、気泡除去管４内に加圧ガスの気泡が
混入した場合でも容易に判定可能となる。
するように真空排気管５が設けられて２重管構造が形成
されている。ここで、図２に示すように、気泡除去管４
は透明色であり、真空排気管５の管壁部の一部には透明
部材として透明ガラス１３が配されている。したがっ
て、透明ガラス１３から気泡除去管４の内部の様子を観
察することができ、気泡除去管４内に加圧ガスの気泡が
混入した場合でも容易に判定可能となる。
【００２６】ここで、液状原料Ｍ内に上記加圧ガスの気
泡が混入した場合、この２重管構造内における気泡除去
管４の管壁部４ａと真空排気管５との間隙６において、
当該真空排気管５により排気口５ａから真空排気が施さ
れる。このとき、気泡除去管４がフッ素樹脂を材料とし
てなるために、気泡除去管４の内外に生じる圧力差によ
り加圧ガスの気泡のみが当該気泡除去管４の管壁部４ａ
から除去される。
泡が混入した場合、この２重管構造内における気泡除去
管４の管壁部４ａと真空排気管５との間隙６において、
当該真空排気管５により排気口５ａから真空排気が施さ
れる。このとき、気泡除去管４がフッ素樹脂を材料とし
てなるために、気泡除去管４の内外に生じる圧力差によ
り加圧ガスの気泡のみが当該気泡除去管４の管壁部４ａ
から除去される。
【００２７】上述のように、上記液状原料供給装置にお
いては、気泡除去管４と原料送出管３とが一体となって
液状原料Ｍの供給管として働き、加圧ガス供給管２から
原料収容容器１内に供給された加圧ガスの圧力により液
状原料Ｍが送出される際に、液状原料Ｍ内に混入した加
圧ガスの気泡が当該気泡除去管４の管壁部から除去され
る。したがって、例えば液状原料Ｍが大気中で不安定で
あり化学反応を起こし易いものである場合でも、当該液
状原料Ｍの目詰まりが発生したときなどに、着脱自在に
原料送出管に接続された気泡除去管４を交換することに
より容易に対処することができる。
いては、気泡除去管４と原料送出管３とが一体となって
液状原料Ｍの供給管として働き、加圧ガス供給管２から
原料収容容器１内に供給された加圧ガスの圧力により液
状原料Ｍが送出される際に、液状原料Ｍ内に混入した加
圧ガスの気泡が当該気泡除去管４の管壁部から除去され
る。したがって、例えば液状原料Ｍが大気中で不安定で
あり化学反応を起こし易いものである場合でも、当該液
状原料Ｍの目詰まりが発生したときなどに、着脱自在に
原料送出管に接続された気泡除去管４を交換することに
より容易に対処することができる。
【００２８】そして、この液状原料供給装置から送出さ
れた液状原料Ｍは、液体マスフローコントローラ或はセ
ラミックピストン等を介して液状のまま輸送され、気化
器に送り込まれて気化される。そして、例えばＭＯＣＶ
Ｄを行う場合では、炉内の加熱された基板上に供されて
不可逆的に熱分解されて所定のエピタキシャル結晶が生
成されることになる。
れた液状原料Ｍは、液体マスフローコントローラ或はセ
ラミックピストン等を介して液状のまま輸送され、気化
器に送り込まれて気化される。そして、例えばＭＯＣＶ
Ｄを行う場合では、炉内の加熱された基板上に供されて
不可逆的に熱分解されて所定のエピタキシャル結晶が生
成されることになる。
【００２９】第２の実施の形態 次いで、第２の実施の形態について述べる。この液状原
料供給装置は、第１の実施の形態のそれとほぼ同様の構
成を有するが、使用時の設置位置等が異なる点で相違す
る。なお、上記第１の実施の形態における液状原料供給
装置と対応する部材等については同符号を記して説明を
省略する。
料供給装置は、第１の実施の形態のそれとほぼ同様の構
成を有するが、使用時の設置位置等が異なる点で相違す
る。なお、上記第１の実施の形態における液状原料供給
装置と対応する部材等については同符号を記して説明を
省略する。
【００３０】この液状原料供給装置は、図３に示すよう
に、液状原料Ｍを収容するステンレス鋼よりなる原料収
容容器２１と、当該原料収容容器２１の上部（図示の例
では下部）に設けられ原料収容容器１内から液状原料Ｍ
を外部へ送出する原料送出管２と、液状原料Ｍに圧力を
加えて原料送出管２に当該液状原料Ｍを送り込むための
不活性ガスやＨｅ等の加圧ガスを原料収容容器２１内に
供給する加圧ガス供給管３とから構成されている。
に、液状原料Ｍを収容するステンレス鋼よりなる原料収
容容器２１と、当該原料収容容器２１の上部（図示の例
では下部）に設けられ原料収容容器１内から液状原料Ｍ
を外部へ送出する原料送出管２と、液状原料Ｍに圧力を
加えて原料送出管２に当該液状原料Ｍを送り込むための
不活性ガスやＨｅ等の加圧ガスを原料収容容器２１内に
供給する加圧ガス供給管３とから構成されている。
【００３１】原料収容容器２１は、その底部（図示の例
では上部）に懸吊部材である吊り下げ金具２２を備え、
当該吊り下げ金具２２により倒立状態で吊り下げられて
用いられる。
では上部）に懸吊部材である吊り下げ金具２２を備え、
当該吊り下げ金具２２により倒立状態で吊り下げられて
用いられる。
【００３２】したがって、原料収容容器２１内の液状原
料Ｍを最後まで完全に使用することが可能となるととも
に、吊り下げられた当該液状原料供給装置の重量を使用
中に測定することによって液状原料Ｍの残量を正確に把
握することができ、液状原料Ｍの供給状態を容易に管理
することが可能となる。
料Ｍを最後まで完全に使用することが可能となるととも
に、吊り下げられた当該液状原料供給装置の重量を使用
中に測定することによって液状原料Ｍの残量を正確に把
握することができ、液状原料Ｍの供給状態を容易に管理
することが可能となる。
【００３３】この場合、液状原料Ｍの送出量や加圧ガス
の供給量は、それぞれ原料送出管２及び加圧ガス供給管
３に設けられたバルブ１１，１２を調節することにより
調整される。
の供給量は、それぞれ原料送出管２及び加圧ガス供給管
３に設けられたバルブ１１，１２を調節することにより
調整される。
【００３４】原料送出管２には、バルブ１１を介してフ
ッ素樹脂よりなる気泡除去管４が接続されている。この
気泡除去管４は、原料送出管２の上端部に着脱自在に設
けられるものであり、当該気泡除去管４と原料送出管２
とが一体となって液状原料Ｍの供給管とされる。
ッ素樹脂よりなる気泡除去管４が接続されている。この
気泡除去管４は、原料送出管２の上端部に着脱自在に設
けられるものであり、当該気泡除去管４と原料送出管２
とが一体となって液状原料Ｍの供給管とされる。
【００３５】さらに、気泡除去管４の管壁部４ａを被覆
するように真空排気管５が設けられて２重管構造が形成
されている。この気泡除去管４は透明色を呈しており、
真空排気管５の管壁部の一部には図示しない透明ガラス
が配されている。したがって、当該透明ガラスから気泡
除去管４の内部の様子を観察することができ、気泡除去
管４内に加圧ガスの気泡が混入した場合でも容易に判定
可能となる。
するように真空排気管５が設けられて２重管構造が形成
されている。この気泡除去管４は透明色を呈しており、
真空排気管５の管壁部の一部には図示しない透明ガラス
が配されている。したがって、当該透明ガラスから気泡
除去管４の内部の様子を観察することができ、気泡除去
管４内に加圧ガスの気泡が混入した場合でも容易に判定
可能となる。
【００３６】ここで、液状原料Ｍ内に上記加圧ガスの気
泡が混入した場合、この２重管構造内における気泡除去
管４の管壁部４ａと真空排気管５との間隙６において、
当該真空排気管５により排気口５ａから真空排気が施さ
れる。このとき、気泡除去管４がフッ素樹脂を材料とし
てなるために、気泡除去管４の内外に生じる圧力差によ
り加圧ガスの気泡のみが当該気泡除去管４の管壁部４ａ
から除去される。
泡が混入した場合、この２重管構造内における気泡除去
管４の管壁部４ａと真空排気管５との間隙６において、
当該真空排気管５により排気口５ａから真空排気が施さ
れる。このとき、気泡除去管４がフッ素樹脂を材料とし
てなるために、気泡除去管４の内外に生じる圧力差によ
り加圧ガスの気泡のみが当該気泡除去管４の管壁部４ａ
から除去される。
【００３７】したがって、例えば液状原料Ｍが大気中で
不安定であり化学反応を起こし易いものである場合で
も、当該液状原料Ｍの目詰まりが発生したときなどに、
着脱自在に原料送出管に接続された気泡除去管４を交換
することにより容易に対処することができる。
不安定であり化学反応を起こし易いものである場合で
も、当該液状原料Ｍの目詰まりが発生したときなどに、
着脱自在に原料送出管に接続された気泡除去管４を交換
することにより容易に対処することができる。
【００３８】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、原料収容容器や各配管の形状、各バルブの位置や種
類等については、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で変
更が可能である。
たが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、原料収容容器や各配管の形状、各バルブの位置や種
類等については、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で変
更が可能である。
【００３９】
【発明の効果】本発明に係る液状原料供給装置によれ
ば、液状原料の目詰まり等の事故が発生した場合でも簡
便に液状原料を変質させることなく処置を施すことが可
能となり、また液状原料を無駄なく最後まで使い切るこ
とができるとともに、液状原料の消費量を容易に測定す
ることが可能となる。
ば、液状原料の目詰まり等の事故が発生した場合でも簡
便に液状原料を変質させることなく処置を施すことが可
能となり、また液状原料を無駄なく最後まで使い切るこ
とができるとともに、液状原料の消費量を容易に測定す
ることが可能となる。
【図１】第１の実施の形態における液状原料供給装置を
模式的に示す側面図である。
模式的に示す側面図である。
【図２】真空排気管の管壁部に配された透明ガラスを模
式的に示す一部拡大斜視図である。
式的に示す一部拡大斜視図である。
【図３】第２の実施の形態における液状原料供給装置を
模式的に示す側面図である。
模式的に示す側面図である。
【符号の説明】 Ｍ 液状原料 １，２１ 原料収容容器 ２ 原料送出管 ３ 加圧ガス供給管 ４ 気泡除去管 ４ａ 管壁部 ５ 真空排気管 １１，１２ バルブ １３ 透明ガラス ２２ 吊り下げ金具
Claims (9)
- 【請求項１】 原料収容容器内に収容される液状原料が
当該原料収容容器に接続された加圧ガス供給管から供給
された加圧ガスの圧力により原料収容容器上部から原料
送出管を通じて外部に送出されるようになされた液状原
料供給装置であって、 上記加圧ガスを透過可能な材料よりなる気泡除去管が上
記原料送出管に着脱自在に接続され、液状原料内に混入
した加圧ガスの気泡を当該気泡除去管の管壁部から除去
するようになされたことを特徴とする液状原料供給装
置。 - 【請求項２】 気泡除去管がポリテトラフルオロエチレ
ンよりなることを特徴とする請求項１記載の液状原料供
給装置。 - 【請求項３】 気泡除去管を包囲する真空排気管が設け
られ、当該真空排気管に配された排気口から真空排気を
行って気泡除去管の内外に生じる圧力差により加圧ガス
の気泡を当該気泡除去管の管壁部から除去するようにな
されたことを特徴とする請求項１記載の液状原料供給装
置。 - 【請求項４】 気泡除去管が透明であるとともに、真空
排気管の少なくとも一部が透明部材よりなることを特徴
とする請求項３記載の液状原料供給装置。 - 【請求項５】 原料収容容器内に収容される液状原料が
当該原料収容容器に接続された加圧ガス供給管から供給
された加圧ガスの圧力により原料収容容器上部から原料
送出管を通じて外部に送出されるようになされた液状原
料供給装置であって、 上記原料収容容器はその底部に懸吊部材を備え、当該懸
吊部材により倒立状態で使用するようになされたことを
特徴とする液状原料供給装置。 - 【請求項６】 加圧ガスを透過可能な材料よりなる気泡
除去管が原料送出管に着脱自在に設けられ、液状原料内
に混入した加圧ガスの気泡を当該気泡除去管の管壁部か
ら除去するようになされたことを特徴とする請求項５記
載の液状原料供給装置。 - 【請求項７】 気泡除去管がポリテトラフルオロエチレ
ンよりなることを特徴とする請求項６記載の液状原料供
給装置。 - 【請求項８】 気泡除去管を包囲する真空排気管が設け
られ、当該真空排気管に配された排気口から真空排気を
行って気泡除去管の内外に生じる圧力差により加圧ガス
の気泡を当該気泡除去管の管壁部から除去するようにな
されたことを特徴とする請求項６記載の液状原料供給装
置。 - 【請求項９】 気泡除去管が透明であるとともに、真空
排気管の少なくとも一部が透明部材よりなることを特徴
とする請求項８記載の液状原料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22440495A JPH0966228A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 液状原料供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22440495A JPH0966228A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 液状原料供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0966228A true JPH0966228A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=16813235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22440495A Withdrawn JPH0966228A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 液状原料供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0966228A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11349397A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-12-21 | Mitsubishi Silicon America | 連続供給単一バブラーを使用するシリコンのエピタキシャル堆積のための供給システム及び方法 |
| DE10251015B4 (de) * | 2002-11-02 | 2004-08-26 | Merck Patent Gmbh | Verfahren zur Entnahme von metallorganischen Reagentien aus Vorratsgefäßen |
| JP2009539606A (ja) * | 2006-06-13 | 2009-11-19 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 気体除去を含む液体分配システム |
| US9211993B2 (en) | 2011-03-01 | 2015-12-15 | Advanced Technology Materials, Inc. | Nested blow molded liner and overpack and methods of making same |
| US9522773B2 (en) | 2009-07-09 | 2016-12-20 | Entegris, Inc. | Substantially rigid collapsible liner and flexible gusseted or non-gusseted liners and methods of manufacturing the same and methods for limiting choke-off in liners |
| US9637300B2 (en) | 2010-11-23 | 2017-05-02 | Entegris, Inc. | Liner-based dispenser |
| WO2019054470A1 (ja) * | 2017-09-15 | 2019-03-21 | 株式会社堀場エステック | 液体材料供給装置、材料ガス供給システム及び液体材料供給方法 |
| US10676341B2 (en) | 2010-01-06 | 2020-06-09 | Entegris, Inc. | Liquid dispensing systems with gas removal and sensing capabilities |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP22440495A patent/JPH0966228A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4515552B2 (ja) * | 1998-03-27 | 2010-08-04 | サムコ オレゴン コーポレイション | 連続供給単一バブラーを使用するシリコンのエピタキシャル堆積のための供給システム及び方法 |
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