KR20170039829A - 기판 세정장치 및 세정방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 글라스 기판에 대한 세정력을 균등하게 확보할 수 있으면서도 우수한 세정력을 갖는 기판 세정장치 및 세정방법을 제공하기 위하여, 기판을 선형 이송시키는 복수 개의 이송부 및 상기 복수 개의 이송부 사이에 배치되어 상기 기판을 지지할 수 있는 제 1지지롤 및 상기 제 1지지롤에 마주하도록 배치되는 제 2지지롤 및 상기 기판과 상기 제 1지지롤 사이, 상기 기판과 상기 제 2지지롤 사이에 세정부재가 배치되도록 하여, 상기 기판의 이송에서 상기 기판의 양면이 각각 세정되도록 하는 세정부를 포함한다. 이에, 본 발명은 기판 세정공정이 용이할 뿐만 아니라 기판 세정공정 시간이 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 기판 세정장치 및 세정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소형 터치스크린패널(TSP: Touch Screen Panel)용 기판 세정장치 및 세정방법에 관한 것이다.
일반적으로 소형 터치스크린패널용 기판은 휴대폰 및 소형 IT제품에서 사용되는 소형 강화유리를 의미한다. 이러한 기판은 터치스크린 패터닝공정(Touch Screen Patterning Process)에서 발생된 얼룩이 기판 세정장치에 의해 제거된다.
기판 세정장치에 대한 종래 기술은 이미 "대한민국 등록특허공보 제 10-0622107호 디스플레이 장치의 글라스 세정용 벨트형 롤러 브러시, 2006.09.01."에 의해 개시된 바 있다. 상기 등록특허는 회전하는 블러시의 모재가 글라스 표면에 접촉되어 기판 상에 존재하는 오염을 제거하는 것을 특징으로 한다.
그러나 블러시를 기반으로 하는 기판 세정장치의 경우 기판 전체 영역에 대하여 균등한 세정이 어렵고 모서리 또는 가장자리의 밀착성 저하로 인해 미세정영역이 발생될 수 있는 문제점이 있었다. 또한, 대부분의 기판 세정장치의 경우 블러시로 기판의 일면을 세정하고, 세정된 기판을 반전시켜 기판의 타면을 재차 세정하여야 하는 바, 세정공정 시간이 지연되고 작업효율이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 글라스 기판에 대한 세정력을 균등하게 확보할 수 있으면서도 우수한 세정력을 갖는 기판 세정장치 및 세정방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 글라스 기판의 양면을 함께 세정할 수 있는 기판 세정장치 및 세정방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 기판 세정장치는 기판을 선형 이송시키는 복수 개의 이송부 및 상기 복수 개의 이송부 사이에 배치되어 상기 기판을 지지할 수 있는 제 1지지롤 및 상기 제 1지지롤에 마주하도록 배치되는 제 2지지롤 및 상기 기판과 상기 제 1지지롤 사이, 상기 기판과 상기 제 2지지롤 사이에 세정부재가 배치되도록 하여, 상기 기판의 이송에서 상기 기판의 양면이 각각 세정되도록 하는 세정부를 포함한다.
상기 기판 세정장치는 상기 이송부와 상기 제 1 및 제 2지지롤 사이에 배치되어, 상기 기판의 파티클을 제거하는 파티클 제거부를 더 포함하고, 상기 파티클 제거부는 상기 제 1지지롤에 이웃하는 적어도 하나 이상의 제 1점착롤과, 상기 제 1점착롤에 마주하도록 상기 제 2점착롤에 이웃하는 적어도 하나 이상의 제 2점착롤을 포함할 수 있다.
상기 파티클 제거부는 상기 제 1 및 제 2점착롤에 각각 접촉되어 상기 제 1 및 제 2점착롤에 점착된 파티클을 포집하는 한 쌍의 파티클 포집부와 상기 한 쌍의 파티클 포집부에 각각 연결되어 상기 각각의 파티클 포집부가 상기 제 1 및 제 2점착롤로 승강되도록 하는 승강부를 더 포함할 수 있다.
상기 세정부는 상기 제 1지지롤로부터 이격 배치되어 상기 기판과 상기 제 1지지롤 사이에서 연질의 제 1세정부재가 상기 기판의 이송방향, 또는 상기 기판의 이송방향에 반대방향으로 유동되도록 하는 제 1세정부와, 상기 제 2지지롤로부터 이격 배치되어 상기 기판과 상기 제 2지지로 사이에서 연질의 제 2세정부재가 상기 기판의 이송방향, 또는 상기 기판의 이송방향에 반대방향으로 유동되도록 하는 제 2세정부를 포함할 수 있다.
상기 제 1 및 제 2세정부는 상기 기판과 상기 지지롤 사이로 세정부재를 공급하는 공급부와, 상기 기판과 상기 지지롤로부터 상기 세정부재를 회수하는 회수부와, 상기 지지롤과 상기 공급부 사이, 상기 지지롤과 상기 회수부 사이에서 상기 세정부재의 공급방향에 교차하는 방향으로 각각 이송될 수 있는 복수 개의 가압부를 각각 포함할 수 있다.
상기 기판 세정장치는 상기 제 2지지롤에 연결되어 상기 제 1 및 제 2지지롤 사이의 간격을 조절할 수 있는 승강부를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판 세정방법은 기판이 선형 이송되는 이송단계 및 상기 기판이 상호 마주하고 있는 제 1 및 제 2지지롤 사이로 반입되는 반입단계 및 상기 기판의 이송에서 상기 기판과 상기 제 1지지롤 사이, 상기 기판과 상기 제 2지지롤 사이에 배치된 세정부재에 의해 상기 기판의 양면이 각각 세정되는 세정단계를 포함할 수 있다.
상기 이송단계는 상기 제 1 및 제 2지지롤에 각각 이웃하는 제 1 및 제 2점착롤 사이로 상기 기판이 반입되어 상기 기판의 양면에 존재하는 파티클이 상기 제 1 및 제 2점착롤에 점착되는 점착단계를 포함할 수 있다.
상기 기판 세정방법은 상기 점착단계이후에 상기 제 1 및 제 2점착롤에 각각 접촉되는 파티클 포집부에 의해 상기 제 1 및 제 2점착롤에 점착된 상기 파티클이 포집되는 포집단계를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 세정방법은 상기 세정단계, 또는 상기 세정단계 이후에 상기 기판과 상기 제 1 및 제 2지지롤 사이에 배치된 연질의 상기 세정부재가 상기 기판의 이송방향, 또는 상기 기판의 이송방향에 반대방향으로 유동될 수 있다.
상기 기판 세정방법은 상기 세정단계 이전에 상기 기판의 두께의 대응되도록 상기 제 1 및 제 2지지롤 사이의 간격이 조절되는 이격단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 세정장치 및 세정방법은 기판 세정공정이 용이할 뿐만 아니라 기판 세정공정 시간이 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판 세정장치를 나타낸 사시도이고,
도 2는 본 실시예에 따른 기판 세정장치의 내부구조를 나타낸 사시도이고,
도 3은 본 실시예에 따른 기판 세정장치의 내부구조를 나타낸 정면도이고,
도 4는 다른 실시예에 따른 기판 세정장치의 내부구조를 나타낸 정면도이고,
도 5는 본 실시예에 따른 기판 세정방법을 나타낸 블록도이고,
도 6은 본 실시예에 따른 기판 세정방법을 나타낸 작동도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 기판 세정장치의 내부구조를 나타낸 사시도이고,
도 3은 본 실시예에 따른 기판 세정장치의 내부구조를 나타낸 정면도이고,
도 4는 다른 실시예에 따른 기판 세정장치의 내부구조를 나타낸 정면도이고,
도 5는 본 실시예에 따른 기판 세정방법을 나타낸 블록도이고,
도 6은 본 실시예에 따른 기판 세정방법을 나타낸 작동도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판 세정장치를 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 세정장치(100)는 본체(100a)를 포함한다. 본체(100a)는 기판 세정장치(100)의 외형을 형성하며, 전면에 내부를 개폐할 수 있는 적어도 하나 이상의 도어(100b)가 마련될 수 있다.
그리고 본체(100a)의 일측에는 기판(S)이 본체(100a) 내부로 인입되는 인입 게이트(100aa)가 마련될 수 있고 본체(100a)의 타측에는 본체(100a) 내부에서 세정 공정이 완료된 기판(S)이 인출되는 인출 게이트(100ab)가 마련될 수 있다.
그리고 본체(100a) 외부에는 기판 세정장치(100)의 전반적인 제어가 수행되도록 하는 제어부(100c)가 마련될 수 있다. 여기서, 제어부(100c)는 복수 개의 스위치를 포함하거나 터치스크린 방식에 의해 작업자에게 제어 편의성이 제공되도록 할 수 있으나, 제어부(100c)의 형태는 한정하지 않는다.
한편, 인입 게이트(100aa)에 인접하는 본체(100a)의 일측에는 로딩부(L1)가 형성되고, 인출 게이트(100ab)에 인접하는 본체(100a)의 타측에는 언로딩부(L2)가 형성된다. 여기서, 로딩부(L1)에는 기판(S)이 본체(100a) 내부로 인입될 수 있도록 복수 개의 롤러로 마련되는 인입 이송부(100d)가 마련되고, 언로딩부(L2)에는 기판(S)이 본체(100a) 내부로부터 인출되도록 복수 개의 롤러로 마련되는 인출 이송부(100e)가 마련된다.
그리고 로딩부(L1)에는 리프트부(200)가 마련될 수 있다. 리프트부(200)는 기판(S)이 인입 이송부(100d)에 안착되도록 한다. 이러한 리프트부(200)는 복수 개의 리프트 핀(210)을 포함할 수 있으며, 복수 개의 리프트 핀(210)은 복수 개의 롤러 사이를 통해 승강되며 기판(S)이 인입 이송부(100d) 상에 안착되도록 한다. 이러한, 복수 개의 리프트 핀(210)은 본체(100a) 내부에 배치된 리프트 핀 승강부(230)에 의해 승강될 수 있으며, 이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본체(100a) 내부에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 2는 본 실시예에 따른 기판 세정장치의 내부구조를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 실시예에 따른 기판 세정장치의 내부구조를 나타낸 정면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 세정장치(100)의 내부에는 기판(S)에 대한 세정공정이 이루어지는 공정영역이 형성된다.
그리고 로딩부(L1) 하측에는 리프트 핀 승강부(230)가 배치된다. 여기서, 리프트 핀 승강부(230)는 모터, 액추에이터와 같은 동력원으로 마련되어 복수 개의 리프트 핀(210)이 승강되도록 할 수 있다.
한편, 인입 이송부(100d)에 인접하는 본체(100a)의 내부에는 파티클 제거부(300)가 마련된다. 파티클 제거부(300)는 제 1점착롤(310), 제 2점착롤(330), 파티클 포집부(350) 및 포집 승강부(370)를 포함할 수 있다.
먼저, 제 1점착롤(310)은 인입 이송부(100d)와 이웃하게 배치된다. 여기서, 제 1점착롤(310)은 인입 이송부(100d)의 롤러와 평행하게 배치될 수 있으며, 복수 개로 마련되어 기설정된 간격으로 정렬 배치될 수 있다. 그리고 제 2점착롤(330)은 제 1점착롤(310)과 마주하도록 배치될 수 있다.
이러한 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)은 인입 이송부(100d)로부터 제 1 및 제 2점착롤(310, 330) 사이로 제공되는 기판(S)의 상하부면에 존재하는 파티클을 점착시켜 제거한다. 다만, 본 실시에서는 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)이 각각 2개로 마련되는 것을 설명하고 있으나, 이는 본 실시예를 설명하기 위한 일 실시예로 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)의 개수는 한정하지 않는다.
한편, 파티클 포집부(350)는 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)에 점착된 파티클을 포집한다. 여기서, 파티클 포집부(350)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 한 쌍의 제 1점착롤(310, 310') 사이에 배치되는 제 1파티클 포집부(351)와 한 쌍의 제 2점착롤(330, 330') 사이에 배치되는 제 2파티클 포집부(353)로 마련될 수 있다. 여기서, 제 1 및 제 2파티클 포집부(351, 353)는 각각 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)에 접촉되는 점착롤러로 마련되어 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)의 회전에 따라 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)에 점착된 파티클이 포집되도록 할 수 있다.
그리고 포집 승강부(370)는 제 1 및 제 2파티클 포집부(351, 353)가 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)에 대하여 각각 승강되도록 한다. 여기서, 포집 승강부(370)는 모터, 리니어 액추에이터와 같은 동력원으로 마련될 수 있다. 이에, 포집 승강부(370)는 제 1 및 제 2파티클 포집부(351, 353)가 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)에 각각 접촉되거나 이격되도록 할 수 있어, 추후 기판 세정장치(100)에 대한 유지보수가 용이할 수 있다.
이러한 파티클 제거부(300)는 로딩부(L1)와 언로딩부(L2) 사이에 복수 개로 마련될 수 있으며, 본 실시예서는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 파티클 제거부(300)가 제 1, 제 2 및 제 3파티클 제거부(300a, 300b, 300c)로 마련되는 것에 대하여 설명하도록 한다.
한편, 본체(100a) 내부에는 제 1 및 제 2지지롤(410, 430)이 마련된다.
먼저, 제 1지지롤(410)은 제 1 및 제 2파티클 제거부(300a, 300b)의 제 1점착롤(310) 사이와, 제 2 및 제 3파티클 제거부(300b, 300c)의 제 1점착롤(310) 사이에 각각 배치된다. 여기서, 제 1지지롤(410)은 제 1점착롤(310)과 평행하게 마련될 수 있다. 그리고 제 2지지롤(430)은 제 1 및 제 2파티클 제거부(300a, 300b)의 제 2점착롤(330) 사이와, 제 2 및 제 3파티클 제거부(300b, 300c)의 제 2점착롤(330) 사이에서 제 1지지롤(410)에 마주하도록 배치된다.
그리고 본체(100a) 내부에는 제 1 및 제 2세정부(510, 530)가 마련된다.
먼저, 제 1세정부(510)는 제 1공급부(511), 제 1회수부(513), 제 1세정부재(515), 제 1가압부(517) 및 제 1가압 구동부(519)를 포함할 수 있다.
먼저, 제 1공급부(511)는 제 1파티클 제거부(300a)의 제 1점착롤(310) 하부에 배치될 수 있고, 제 1회수부(513)는 제 3파티클 제거부(300c)의 제 1점착롤(310) 하부에 배치될 수 있다. 그리고 제 1세정부재(515)는 극세사와 같은 연질의 재질로 마련되어 제 1공급부(511)로부터 제 1회수부(513)로 제공될 수 있다.
제 1세정부재(515)의 공급경로를 살펴보면, 제 1세정부재(515)는 제 1공급부(511)로부터 기판(S)과, 제 1 및 제 2파티클 제거부(300a, 300b) 사이에 배치된 제 1지지롤(410) 사이를 거쳐 하부로 공급되고, 제 2파티클 제거부(300b) 하측에 배치된 제 1가이드롤러(G1)에 접하며 상부로 공급될 수 있다. 그리고 상부로 공급된 제 1세정부재(515)는 기판(S)과, 제 2 및 제 3파티클 제거부(300b, 300c) 사이에 배치된 제 1지지롤(410) 사이를 거쳐 제 1회수부(513)로 제공될 수 있다.
이러한 제 1세정부재(515)는 제 1공급부(511)로부터 제 1회수부(513)로 공급되는 것이 가능할 뿐만 아니라 공정에 따라 제 1회수부(513)로부터 제 1공급부(511)로 공급되는 것이 가능할 수 있다.
그리고 제 1가압부(517)는 제 1공급부(511)와 제 1지지롤(410) 사이, 제 1회수부(513)와 제 1지지롤(410) 사이에 각각 배치된다. 여기서, 제 1가압부(517)는 제 1세정부재(515)의 공급방향에 교차하는 방향으로 이송되며 제 1세정부재(515)를 가압하는 것이 가능하게 마련된다. 이에, 제 1가압부(517)는 제 1세정부재(515)의 장력을 제어할 수 있을 뿐만 아니라, 제 1세정부재(515)가 제 1공급부(511)로부터 제 1회수부(513)로, 제 1회수부(513)로부터 제 1공급부(511)로 제공되도록 할 수 있다. 그리고 제 1가압 구동부(519)는 제 1가압부(517)와 연결되어 제 1가압부(517)에 동력을 제공한다.
그리고 제 2세정부(530)는 제 2공급부(531), 제 2회수부(533), 제 2세정부재(535), 제 2가압부(537) 및 제 2가압 구동부(539)를 포함할 수 있다.
먼저, 제 2공급부(531)는 제 1파티클 제거부(300a)의 제 2점착롤(330) 상부에 배치될 수 있고, 제 2회수부(533)는 제 3파티클 제거부(300c)의 제 2점착롤(330) 상부에 배치될 수 있다. 그리고 제 2세정부재(535)는 극세사와 같은 연질의 재질로 마련되어 제 2공급부(531)로부터 제 2회수부(533)로 제공될 수 있다.
제 2세정부재(535)의 공급경로를 살펴보면, 제 2세정부재(535)는 제 2공급부(531)로부터 기판(S)과, 제 1 및 제 2파티클 제거부(300a, 300b) 사이에 배치된 제 2지지롤(430) 사이를 거쳐 상부로 공급되고, 제 2파티클 제거부(300) 상측에 배치된 제 2가이드롤러(G2)에 접하며 하부로 공급될 수 있다. 그리고 하부로 공급된 제 2세정부재(535)는 기판(S)과, 제 2 및 제 3파티클 제거부(300b, 300c) 사이에 배치된 제 2지지롤(430) 사이를 거쳐 제 2회수부(533)로 제공될 수 있다.
이러한 제 2세정부재(535)는 제 2공급부(531)로부터 제 2회수부(533)로 공급되는 것이 가능할 뿐만 아니라 공정에 따라 제 2회수부(533)로부터 제 2공급부(531)로 공급되는 것이 가능할 수 있다.
그리고 제 2가압부(537)는 제 2공급부(531)와 제 2지지롤(430) 사이, 제 2회수부(533)와 제 2지지롤(430) 사이에 각각 배치된다. 여기서, 제 2가압부(537)는 제 2세정부재(535)의 공급방향에 교차하는 방향으로 이송되며 제 2세정부재(535)를 가압하는 것이 가능하게 마련된다. 이에, 제 2가압부(537)는 제 2세정부재(535)의 장력을 제어할 수 있을 뿐만 아니라, 제 2세정부재(535)가 제 2공급부(531)로부터 제 2회수부(533)로, 제 2회수부(533)로부터 제 2공급부(531)로 제공되도록 할 수 있다. 그리고 제 2가압 구동부(539)는 제 2가압부(537)와 연결되어 제 2가압부(537)에 동력을 제공한다.
그리고 본체(100a)에는 간격 조절부(600)가 마련된다. 간격 조절부(600)는 기판(S)의 두께에 따라 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)의 간격과, 제 1 및 제 2지지롤(410, 430)의 간격이 조절되도록 할 수 있다. 이러한 간격 조절부(600)는 모터, 액추에이터와 같은 동력원으로 마련될 수 있으며 기판(S)을 기준으로 기판(S) 상부에 배치된 구성요소가 기판(S)으로부터 이격되도록 하는 것에 의해 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)의 간격과, 제 1 및 제 2지지롤(410, 430)의 간격이 조절되도록 할 수 있다.
한편, 본 실시예서의 세정부 구조 및 개수는 본 실시예를 설명하기 위한 일 실시예로, 세정부는 도 4와 같이 본체(100a) 내부에 복수 개로 마련될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 기판 세정방법에 대하여 상세히 설명하도록 한다. 다만, 상술된 구성요소에 대해서는 상세한 설명은 생략하고 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.
도 5는 본 실시예에 따른 기판 세정방법을 나타낸 블록도이고, 도 6은 본 실시예에 따른 기판 세정방법을 나타낸 작동도이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 세정방법은 소형 터치스크린패널용 기판(S, 이하, 기판이라 칭한다.)이 리프트 핀(210)의 승강에 따라 인입 이송부(100d)에 안착된다. 이어, 기판(S)은 인입 이송부(100d)의 작동에 따라 인입 게이트(100aa)를 통해 본체(100a) 내부로 반입된다(S100). 이때, 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)의 간격과, 제 1 및 제 2지지롤(410, 430)의 간격은 기판(S)의 두께에 대응되도록 간격 조절부(600)에 의해 조절된 상태일 수 있다.
한편, 인입 게이트(100aa)를 통해 본체(100a) 내부로 인입된 기판(S)은 제 1 및 제 2점착롤(310, 330) 사이로 이송된다. 이때, 기판(S)은 양면에 존재하는 파티클이 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)에 점착되고(S200), 기판(S)은 제 1 및 제 2지지롤(410, 430)을 향해 이송된다. 여기서, 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)에 점착된 파티클은 제 1 및 제 2점착롤(310, 330)에 접촉하고 있는 파티클 포집부(350)에 포집된다.
그리고 제 1 및 제 2지지롤(410, 430) 사이를 향해 이송된 기판(S)은 기판(S)과, 제 1 및 제 2지지롤(410, 430) 사이에 각각 배치된 제 1 및 제 2세정부재(515, 535)에 의해 양면에 존재하는 오염이 세정된다(S300). 여기서, 제 1 및 제 2세정부재(515, 535)는 텐션이 조절되며 제 1 및 제 2지지롤(410, 430) 사이에서 이송될 수 있다.
제 1 및 제 2세정부재(515, 535)의 이송을 살펴보면, 먼저 회수부(513, 533)가 세정부재(515, 535)의 회수를 정지한 상태에서 가압부(517, 537)가 세정부재(515, 535)를 가압함에 따라 세정부재(515, 535)가 공급부로(511, 531)부터 인출되고, 추후 인출된 세정부재(515, 535)의 길이만큼 회수부(513, 533)가 세정부재(515, 535)를 회수함에 따라 세정부재(515, 535)는 공급부(511, 531)로부터 회수부(513, 533)로 이송될 수 있다.
반대로 공급부(511, 531)가 세정부재(515, 535)의 공급을 정지한 상태에서 가압부(517, 537)가 세정부재(515, 535)를 가압함에 따라 세정부재(515, 535)가 회수부(513, 533)로부터 인출되고, 추후 인출된 세정부재(515, 535)의 길이만큼 공급부(511, 531)가 회수함에 따라 세정부재(513, 535)는 회수부(513, 533)로부터 공급부(511, 531)로 이송될 수 있다.
이와 같이, 제 1 및 제 2세정부재(515, 535)는 제 1 및 제 2지지롤(410, 430) 사이에서 이송될 수 있다. 이에, 세정 중 또는 세정 이후 세정부재(515, 535)의 오염영역이 제 1 및 제 2지지롤(410, 430) 사이에서 벗어나며 오염되지 않은 세정부재(515, 535)의 일영역를 통해 기판(S)의 미세정영역을 세정할 수 있다. 또한, 필요에 따라 세정부재(515, 535)가 제 1 및 제 2지지롤(410, 430) 사이에서 왕복 이송되며 기판(S)이 세정되도록 할 수 있다.
이후, 양면이 세정된 기판(S)은 인출 이송부(100e)를 통해 언로딩부(L1)부터 이송되며 기판(S)에 대한 세정공정이 완료될 수 있다(S400).
이와 같이, 본 실시예에 따른 기판 세정장치 및 세정방법은 기판 세정공정이 용이할 뿐만 아니라 기판 세정공정 시간이 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
Claims (11)
- 기판을 선형 이송시키는 복수 개의 이송부;
상기 복수 개의 이송부 사이에 배치되어 상기 기판을 지지할 수 있는 제 1지지롤;
상기 제 1지지롤에 마주하도록 배치되는 제 2지지롤; 및
상기 기판과 상기 제 1지지롤 사이, 상기 기판과 상기 제 2지지롤 사이에 세정부재가 배치되도록 하여, 상기 기판의 이송에서 상기 기판의 양면이 각각 세정되도록 하는 세정부를 포함하는 기판 세정장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 이송부와 상기 제 1 및 제 2지지롤 사이에 배치되어, 상기 기판의 파티클을 제거하는 파티클 제거부를 더 포함하고,
상기 파티클 제거부는
상기 제 1지지롤에 이웃하는 적어도 하나 이상의 제 1점착롤과,
상기 제 1점착롤에 마주하도록 상기 제 2점착롤에 이웃하는 적어도 하나 이상의 제 2점착롤을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
- 제 2항에 있어서,
상기 파티클 제거부는
상기 제 1 및 제 2점착롤에 각각 접촉되어 상기 제 1 및 제 2점착롤에 점착된 파티클을 포집하는 한 쌍의 파티클 포집부와,
상기 한 쌍의 파티클 포집부에 각각 연결되어 상기 각각의 파티클 포집부가 상기 제 1 및 제 2점착롤로 승강되도록 하는 승강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 세정부는
상기 제 1지지롤로부터 이격 배치되어 상기 기판과 상기 제 1지지롤 사이에서 연질의 제 1세정부재가 상기 기판의 이송방향, 또는 상기 기판의 이송방향에 반대방향으로 유동되도록 하는 제 1세정부와,
상기 제 2지지롤로부터 이격 배치되어 상기 기판과 상기 제 2지지로 사이에서 연질의 제 2세정부재가 상기 기판의 이송방향, 또는 상기 기판의 이송방향에 반대방향으로 유동되도록 하는 제 2세정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
- 제 4항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2세정부는
상기 기판과 상기 지지롤 사이로 세정부재를 공급하는 공급부와,
상기 기판과 상기 지지롤로부터 상기 세정부재를 회수하는 회수부와,
상기 지지롤과 상기 공급부 사이, 상기 지지롤과 상기 회수부 사이에서 상기 세정부재의 공급방향에 교차하는 방향으로 각각 이송될 수 있는 복수 개의 가압부를 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 제 2지지롤에 연결되어 상기 제 1 및 제 2지지롤 사이의 간격을 조절할 수 있는 간격 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
- 기판이 선형 이송되는 이송단계;
상기 기판이 상호 마주하고 있는 제 1 및 제 2지지롤 사이로 반입되는 반입단계; 및
상기 기판의 이송에서 상기 기판과 상기 제 1지지롤 사이, 상기 기판과 상기 제 2지지롤 사이에 배치된 세정부재에 의해 상기 기판의 양면이 각각 세정되는 세정단계를 포함하는 기판 세정방법.
- 제 7항에 있어서,
상기 이송단계는
상기 제 1 및 제 2지지롤에 각각 이웃하는 제 1 및 제 2점착롤 사이로 상기 기판이 반입되어 상기 기판의 양면에 존재하는 파티클이 상기 제 1 및 제 2점착롤에 점착되는 점착단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
- 제 8항에 있어서,
상기 점착단계이후에,
상기 제 1 및 제 2점착롤에 각각 접촉되는 파티클 포집부에 의해 상기 제 1 및 제 2점착롤에 점착된 상기 파티클이 포집되는 포집단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
- 제 7항에 있어서,
상기 세정단계, 또는 상기 세정단계 이후에,
상기 기판과 상기 제 1 및 제 2지지롤 사이에 배치된 연질의 상기 세정부재가 상기 기판의 이송방향, 또는 상기 기판의 이송방향에 반대방향으로 유동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
- 제 7항에 있어서,
상기 세정단계 이전에,
상기 기판의 두께의 대응되도록 상기 제 1 및 제 2지지롤 사이의 간격이 조절되는 이격단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020150138835A KR20170039829A (ko) | 2015-10-02 | 2015-10-02 | 기판 세정장치 및 세정방법 |
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| KR1020150138835A KR20170039829A (ko) | 2015-10-02 | 2015-10-02 | 기판 세정장치 및 세정방법 |
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| KR20170039829A true KR20170039829A (ko) | 2017-04-12 |
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ID=58580339
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| KR1020150138835A KR20170039829A (ko) | 2015-10-02 | 2015-10-02 | 기판 세정장치 및 세정방법 |
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| KR (1) | KR20170039829A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108704872A (zh) * | 2018-06-05 | 2018-10-26 | 昆山木利机械设计有限公司 | 一种屏幕擦拭装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100622107B1 (ko) | 2005-08-02 | 2006-09-11 | 박승주 | 디스플레이 장치의 글라스 세정용 벨트형 롤러 브러시 |
-
2015
- 2015-10-02 KR KR1020150138835A patent/KR20170039829A/ko not_active Application Discontinuation
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