KR20170039593A

KR20170039593A - 기판 인장 장치, 성막 장치, 막의 제조방법 및 유기 전자 디바이스의 제조방법

Info

Publication number: KR20170039593A
Application number: KR1020160125500A
Authority: KR
Inventors: 겐타로 스즈키; 도모유키 사토; 노부아키 시오이리
Original assignee: 캐논 톡키 가부시키가이샤
Priority date: 2015-10-01
Filing date: 2016-09-29
Publication date: 2017-04-11
Also published as: CN106967957B; JP6276816B2; TW201733182A; KR101968804B1; JP2017066517A; CN106967957A; TWI691111B

Abstract

본 발명의 과제는, 기판의 처짐 정도에 따른 기판 인장력을 발휘시킬 수 있어, 기판의 처짐이 잘 생기지 않고, 마스크와 기판을 양호하게 중첩시키는 것이 가능하고, 고정밀도의 성막이 가능해지는 기판 인장 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 기판 인장 장치는, 서로 대향하는 한 쌍의 클램프 기구가 구비된 기판 인장 장치로서, 상기 클램프 기구는, 기판을 상하로부터 끼우는 파지부를 복수 구비하고, 상기 파지부마다 상기 기판을 파지하기 위한 압박력 및 상기 기판을 외측으로 인장하기 위한 인장력을 상기 파지부에 전달하는 구동 수단을 구비한 구성으로 한다.

Description

기판 인장 장치, 성막 장치, 막의 제조방법 및 유기 전자 디바이스의 제조방법{SUBSTRATE STRETCHING UNIT, FILM FORMING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING FILM AND ORGANIC ELECTRONIC DEVICE}

본 발명은, 기판을 인장함으로써 기판의 처짐을 방지하는 기판 인장 장치에 관한 것이다.

기판의 대형화에 따라 기판의 자중이 커지기 때문에, 대형의 기판을 수평으로 유지하면, 기판의 자중에 의해 기판이 하측으로 휘어, 기판에 처짐을 발생시키는 경우가 있다. 예컨대 특허문헌 1에는, 대향하는 기판의 단부를 서로 인장함으로써, 기판의 처짐이 생기는 것을 방지하는 장치가 기재되어 있다.

특허문헌 1: 한국 등록 특허 제10-1456671호 공보

특허문헌 1에 기재된 기판 클램프 기구에는, 복수의 세분화된 기판 지지편을 결합한 플레이트가 이용되고 있으며, 이 플레이트를 통해 기판을 양측으로 인장 구동하는 구조로 되어 있다.

그런데, 지지하는 기판의 재질·형상·면적 등에 따라, 기판의 처짐 정도는 상이하다. 특허문헌 1과 같은 구조에서는, 지지하는 기판에 따라, 각각의 지지편 사이에서 기판을 협압(挾壓)하는 힘에 편차가 생기거나, 협압하는 힘이 약한 지지편 사이에서 기판이 미끄러지거나 하여, 기판을 인장할 때에, 플레이트의 길이 방향에 있어서의 기판 인장력에 편차가 생겨 버린다. 그 때문에, 기판의 처짐을 없앨 수 없거나, 반대로 기판의 처짐을 조장해 버리거나 할 우려가 있다.

기판의 처짐이 크면, 균일한 성막을 할 수 없는 데다가, 마스크를 이용하여 기판 상에 박막을 성막하는 경우에는, 성막 패턴에 큰 어긋남이 생기는 원인이 되어 버린다.

또한, 모든 지지편을 결합한 플레이트를 인장 구동하는 구조로 되어 있기 때문에, 협압하는 힘이 약한 지지편에서의 기판의 미끄러짐을 없애기 위해 협압하는 힘을 강하게 하면, 장소에 따라서는 협압하는 힘이 지나치게 강해져 기판을 파손해 버린다. 또한, 인장력이 큰 구동 장치를 필요로 하기 때문에, 기판 인장에 요하는 소비 에너지가 커지거나, 인장 장치가 대형화되어 버린다.

본 발명은, 전술한 바와 같은 현상황을 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명에 관련된 기판 인장 장치는, 서로 대향하는 한 쌍의 클램프 기구를 구비한 기판 인장 장치로서, 상기 클램프 기구가, 기판을 상하로부터 끼우는 파지부를 복수 구비하고, 상기 파지부마다 상기 기판을 파지하기 위한 압박 및 상기 기판을 외측으로 인장하기 위한 인장력을 상기 파지부에 전달하는 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관련된 기판 인장 장치에 의하면, 기판의 처짐 정도에 따른 기판 압박력 및 기판 인장력을 발휘시켜, 대향하는 기판의 변부 사이를 균등하게 인장하는 것이 가능하고, 기판의 처짐을 효과적으로 저감하는 것이 가능해진다. 그리고, 본 발명에 관련된 기판 인장 장치를 성막 장치에 이용하면, 기판에 처짐이 잘 생기지 않고, 균일한 피막의 형성이나 마스크를 이용한 고정밀도의 성막을 실현하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 실시예의 개략 설명 사시도이다.
도 2는 본 실시예의 주요부의 확대 설명 사시도이다.
도 3은 본 실시예의 주요부의 확대 설명 사시도이다.
도 4는 본 실시예의 클램프 기구의 동작 설명도이다.
도 5는 본 실시예의 클램프 기구의 동작 설명도이다.
도 6은 본 실시예의 클램프 기구의 동작 설명도이다.
도 7은 증착 장치의 개략 설명 정면도이다.
도 8의 (a)는 본 발명에 관련된 진공 증착 장치를 이용하여 제작한 유기 EL 표시 장치의 사시도이고, (b)는 (a)의 A-B 선 단면도이다.

바람직한 본 발명의 실시형태를, 도 1에 기초하여 본 발명의 작용을 나타내어 간단히 설명한다.

클램프 기구에 의해 기판(1)의 대향하는 변부(2)를 각각 파지하고, 처짐이 생기지 않도록 외측으로 인장한 상태로 기판(1)을 지지한다.

이때, 클램프 기구의 기판(1)의 대향하는 변부(2)를 따라 각각 설치되는 복수의 파지부마다 설치한 구동 수단에 의해, 파지부마다 기판을 파지하기 위한 압박력 혹은 외측으로 인장하기 위한 인장력을 설정할 수 있어, 예컨대 기판(1)의 처짐이 기판(1)의 대향하는 변부(2)의 중앙측과 단부측에서 상이하더라도, 기판(1)의 대향하는 변부 사이를 처짐이 없어지도록 균등하게 인장하는 것이 가능해진다.

또한, 파지부마다 구동 수단을 설치하는 구성이기 때문에, 인장력이 큰 구동 장치는 불필요하여, 구동 수단으로는 소형의 것을 채용할 수 있고, 소비 에너지도 그만큼 적게 하는 것이 가능해진다.

실시예

본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 도면에 기초하여 설명한다.

본 실시예는, 기판(1)의 대향하는 변부(2)를 파지하고, 이 대향하는 변부(2)를 각각 외측으로 인장하는 것이 가능한 한 쌍의 클램프 기구를 구비한 기판 인장 장치이다.

본 실시예의 클램프 기구는 각각, 기판(1)을 상하로부터 끼우는 파지부를, 파지하는 상기 기판(1)의 변부(2)를 따라 복수 배치하고, 각각의 파지부마다 상기 기판(1)의 변부(2)에 대하여 기판(1)을 파지하기 위한 압박력 및 기판(1)을 외측으로 인장하기 위한 인장력을 전달하는 구동 수단을 구비하고 있다.

즉, 본 실시예는, 기판(1)의 대향하는 한 쌍의 변부(2)를 각각 상기 클램프 기구에 의해 파지하고, 파지한 상태에서 대향하는 파지부끼리를 서로 이격시키도록 하여 기판(1)을 외측으로 인장하는 것이다.

본 실시예는, 도 1에 도시한 바와 같이, 클램프 기구를 설치하는 프레임체(5)를 승강 플레이트(6)에 현수한 연결체(7)에 의해 매달림 상태로 연결한 구성이고, 베이스 플레이트(8)에 대하여 승강 플레이트(6)를 승강하는 승강 기구를 설치하고 있다. 또한, 연결체(7)는 승강 플레이트(6) 및 프레임체(5)의 네 코너부를 각각 연결하도록 설치되고, 베이스 플레이트(8)에는, 연결체(7)가 삽입 관통하는 삽입 관통 구멍을 형성하고 있다.

승강 플레이트(6)는, 베이스 플레이트(8)의 상측에 소정 간격을 두고 평행으로 설치되어 있다. 승강 플레이트(6)의 상측에는, 4개의 레그부가 승강 플레이트(6)의 삽입 관통 구멍을 삽입 관통하여 베이스 플레이트(8)에 고정되는 고정대(9)가 설치되어 있다. 승강 기구로는, 고정대(9)에 기단측이 고정되고, 가동 선단측이 승강 플레이트(6)에 고정되는 서보 모터나 볼나사 등을 내장한 전동 실린더(10)가 채용되어 있다.

따라서, 기판 교환시 등에, 전동 실린더(10)의 가동 선단을 진퇴시켜 베이스 플레이트(8)에 대하여 승강 플레이트(6)를 승강시킴으로써, 승강 플레이트(6)에 매달림 상태로 연결된 프레임체(5)(클램프 기구)를 승강시킬 수 있다. 승강 플레이트(6)의 승강은 고정대(9)의 레그부에 의해 가이드된다.

기판을 정지한 채로 성막을 행하는 진공 성막 장치에 본 실시예의 기판 인장 장치를 설치하는 경우, 베이스 플레이트(8)의 하면 외주부를 진공 성막실의 상면부에 고정하고, 베이스 플레이트(8)보다 하측의 부분을 진공 성막실 내, 베이스 플레이트(8) 및 베이스 플레이트(8)보다 상측의 부분을 진공 성막실 외의 대기 영역에 배치하면 된다. 베이스 플레이트(8)가 성막 장치의 챔버의 상면벽을 겸하면, 성막 장치에 필요한 부재를 삭감할 수 있기 때문에 바람직하다. 기판을 이동시켜 성막을 행하는 진공 성막 장치에 본 실시예의 기판 인장 장치를 설치하는 경우에는, 도 1에 나타낸 기판 인장 장치 전체를 장치 내에 배치하고, 장치의 기판 반송 기구에 연결해 두면 된다. 이 경우, 베이스 플레이트(8)는 불필요해지기 때문에 생략할 수 있다.

상기 클램프 기구는, 상기 파지부가 한 쌍의 파지편(3, 4)으로 구성되고, 이 한 쌍의 파지편(3, 4)에 의해 상하로부터 기판(1)을 압박하며, 파지한 기판(1)을 외측으로 인장하도록 상기 구동 수단을 구성하고 있다.

파지부는, 도 2에 도시한 바와 같이, 대향하는 상하의 판부(11, 12) 및 이들을 연결하는 연결 판부(13)로 이루어지는 단면에서 보아 コ자형의 클램프체(14)와, 이 클램프체(14)에 가동 가능하게 설치하는 가동체(15)를 각각 설치한 구성으로 하고 있다. 구체적으로는, 파지편(3, 4)을 클램프체(14)의 하판부(12)의 선단과 가동체(15)의 선단에 각각 대향하도록 설치한 구성으로 하고 있다.

이 클램프체(14)를, 파지되는 기판(1)의 변부(2)를 따르는, 프레임체(5)의 한 쌍의 제1 변부에, 각각 복수(본 실시예에서는 8개) 배치하고 있다. 클램프체(14)로 기판의 장변을 파지하면, 단변을 파지하는 경우에 비해, 기판의 처짐 저감을 위해 각 파지부에 필요해지는 인장력을 작게 할 수 있기 때문에 바람직하다. 또한, 파지되지 않는 기판(1)의 변부(20)를 따르는, 프레임체(5)의 한 쌍의 제2 변부에는, 기판 지지 클로(21)를 설치한 구성으로 하고 있다. 구체적으로는, 프레임체(5)의 제1 변부는, 수평 판부(16)의 양단에 수직 판부(17)를 현수한 구성으로 하고, 제2 변부는 제1 변부의 수직 판부(17)에 연결하는 기립 판부(18)와 이 기립 판부(18)의 하단끼리를 연결하는 수평부(19)로 구성되어 있다. 기판 지지 클로(21)는 이 수평부(19)의 내측으로 돌출 형성되어 있다. 따라서, 제2 변부측으로부터의 기판(1)의 반입은 양호하게 행해진다.

이하, 상기 각 파지부[한 쌍의 파지편(3, 4)]에, 기판(1)의 변부(2)에 대하여 기판(1)을 파지하기 위한 압박력 및 기판(1)을 외측으로 인장하기 위한 인장력을 어떻게 전달하는지 기술한다.

클램프체(14)의 상판부(11)에는, 상단이 로보 실린더(22)의 가동 선단부(23)와 걸리고, 하단이 가동체(15)와 걸리는 승강봉(24)이 삽입 관통하는 삽입 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 승강봉(24)의 하단에는 가동체(15)의 하면과 걸리는 빠짐 방지 걸림부(25)가 설치되고, 가동체(15)의 상면과 승강봉(24)의 중간부에 설치한 대직경부(26)의 하면과의 사이에 스프링(27)이 설치되어 있다. 또, 로보 실린더(22)의 기단측은 승강 플레이트(6)에 고정된다.

또한, 상판부(11)와 하판부(12) 사이에는, 연결 판부(13)와 평행한 좌우 한 쌍의 가이드봉(45)이 설치되어 있다. 가동체(15)에는 이 가이드봉(45)이 각각 삽입 관통하는 삽입 관통 구멍이 형성되어 있다. 도면 중, 부호 46은 슬라이드 부시이다.

따라서, 로보 실린더(22)의 가동 선단부(23)에 의한 압박력은 스프링(27)을 통해 가동체(15)에 전달되고, 가동체(15)의 파지편(4) 및 클램프체(14)의 파지편(3)에 의한 기판(1)의 파지가 행해진다(도 5 참조). 이러한 구성에 의하면, 로보 실린더(22)를 각 클램프체(14)에 각각 설치함으로써, 각각의 파지부마다 압박력을 제어하는 것이 가능해져, 기판(1)의 처짐에 따라 양호하게 기판(1)을 파지하는 것이 가능해진다. 또한, 스프링(27)을, 적절하게 스프링 상수가 상이한 스프링으로 교환함으로써, 로보 실린더(22)로부터 파지부에 전해지는 힘, 즉 파지력을 조정하는 것이 가능해진다.

또한, 본 실시예에서는, 가동체(15)의 선단 현수부(28)의 하단에 착탈 가능하게 합성 수지제의 파지편(4)을 설치한 구성으로 하고 있다. 합성 수지로는 실리콘, 네오프렌 고무, 니트릴 고무 등을 채용할 수 있다. 따라서, 파지편(4)이 마모·열화되었을 때에는 적절하게 교환할 수 있다. 또, 본 실시예에서는 하판부(12)의 선단의 파지편(3)은 하판부(12)와 일체로 설치한 구성이지만, 하판부(12)의 선단에 착탈 가능하게 합성 수지제의 파지편(3)을 설치하는 구성으로 해도 좋다.

또한, 도시하지 않았지만, 파지편(4)의 두께를 변경하거나, 가동체(15)의 선단 현수부(28)의 하단과 파지편(4) 사이에 다른 부재를 개재시키거나 함으로써 파지편(4)과 파지편(3)의 간격을 조정하여, 파지편마다의 파지력을 조정해도 좋다. 또한, 가동체(15)의 선단 현수부(28)의 하단과 파지편(4) 사이에 스프링 등의 탄성 부재를 개재시켜, 이 탄성 부재의 탄성(스프링이면 스프링 상수)을 적절하게 설정함으로써, 파지편마다의 파지력을 조정해도 좋다.

또한, 승강봉(24)의 선단은 정면에서 보아 T 자형으로 형성되고, 이 T 자형의 선단의 양단부에 각각 롤러(29)가 설치되어 있다. 이 승강봉(24)의 선단은, 로보 실린더(22)의 가동 선단부(23)에 고정되는, 전방이 개방된 단면에서 보아 コ 자형으로 승강봉(24)의 중간 부분을 도피시키는 홈부(30)가 형성된 받이부(31) 내에 배치된다. 받이부(31)의 상하 판부의 간격은 롤러(29)의 직경보다 약간 넓은 간격으로 설정한다. 받이부(31)에 걸리는 승강봉(24)의 선단은, 받이부(31)의 내면과 롤러(29)를 통해 접촉하여, 후술하는 인장력을 전달했을 때의 클램프체(14)의 수평 슬라이드 이동이 매끄럽게 행해진다.

인장력을 전달할 때의 클램프체(14)의 수평 이동은, 클램프체(14)의 상판부(11)와 프레임체(5)의 수평 판부(16) 사이에 설치한 리니어 가이드에 의해 실현할 수 있다. 구체적으로는, 클램프체(14)의 상판부(11)의 상면에는, 프레임체(5)의 수평 판부(16)의 하면에 설치한 가이드 블록(32)이 감합되는 레일(33)이 설치되어 있다. 따라서, 클램프체(14)(파지부)는 프레임체(5)에 대하여 수평 슬라이드 이동한다.

도 3에, 파지부를 외측에서 본 구성을 나타낸다. 프레임체(5)의 수평 판부(16)의 상기 블록(32)의 외측에는, 인장력을 전달하는 단면에서 보아 대략 L 자형의 인장력 전달체(34)의 굴곡부에 설치한 회동축(35)을 받는 베어링부(36)가 설치되어 있다. 인장력 전달체(34)는, 굴곡부에 설치한 회동축(35)을 중심으로 회동할 수 있도록 구성하고 있다. 인장력 전달체(34)의 선단은 정면에서 보아 T 자형으로 형성되고, 이 T 자형의 선단의 양단부에 각각 롤러(37)가 설치되어 있다. 인장력 전달체(34)의 선단은, 로보 실린더(38)의 가동 선단부(39)에 고정되는, 전방이 개방된 단면에서 보아 コ 자형의 받이체(40)에 받아져 있다. 받이체(40)의 상하 판부의 간격은 롤러(37)의 직경보다 약간 넓은 간격으로 설정한다. 또, 로보 실린더(38)의 기단측은 승강 플레이트(6)에 고정된다.

또한, 인장력 전달체(34)의 기단도 마찬가지로 정면에서 보아 T 자형으로 형성되고, 이 T 자형의 기단의 양단부에 각각 롤러(41)가 설치되어 있다. 인장력 전달체(34)의 기단은, 클램프체(14)의 연결 판부(13)의 배면에 설치한, 수평편과 수직편으로 이루어지는 단면에서 보아 L 자형의 받이편(42)과 연결 판부(13)의 배면 사이에 배치된다. 연결 판부(13)의 배면과 받이편(42)의 수직편과의 간격은 롤러(41)의 직경보다 약간 넓은 간격으로 설정한다.

따라서, 인장력 전달체(34)의 선단이 걸리는 받이체(40)를 로보 실린더(38)의 가동 선단부(39)를 구동하여 상승 이동시킴으로써, 굴곡부에 설치한 회동축(35)을 중심으로 인장력 전달체(34)의 기단이 외측으로 회동하고, 인장력 전달체(34)의 기단이 받이편(42)의 수직편을 외측으로 미는 것에 의해, 클램프체(14)(파지부)는 외측으로 이동하여, 기판(1)에 인장력이 전달되게 된다(도 6 참조).

이 인장력 전달체(34)의 굴곡부와 기단 사이에는, 턴버클(43)이 설치되어 있고, 이 턴버클(43)을 회전시켜 굴곡부와 기단 사이의 거리를 조정함으로써, 로보 실린더(38)로부터 파지부에 전해지는 힘, 즉 인장력을 조정할 수 있다(굴곡부와 기단부 사이의 거리를 길게 함으로써 인장력을 크게 할 수 있다). 구체적으로는, 굴곡부로부터 기단측을 향하여 연장되는 나사부와 기단으로부터 굴곡부를 향하여 연장되는 역나사부를 턴버클(43)에 의해 나사 결합으로 연결한 구성으로 하고 있다.

또한, 상기 클램프 기구는, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를, 구동 수단마다 개별로 조정하는 것이 가능한 개별 조정 수단, 혹은 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를, 구동 수단마다 개별로 제어하는 것이 가능한 개별 제어 수단을 구비하는 구성으로 한다. 본 실시예에서는, 스프링(27)이 압박력을 조정하는 개별 조정 수단에 해당하고, 턴버클(43)이 인장력을 조정하는 개별 조정 수단에 해당한다. 그리고, 로보 실린더(22)가 압박력을 조정하는 개별 제어 수단에 해당하고, 로보 실린더(38)가 인장력을 조정하는 개별 제어 수단에 해당한다. 또, 개별 조정 수단을 설치함으로써, 기판의 처짐을 보다 저감하기 위한 압박력과 인장력을 최적화하는 것이 가능해지지만, 반드시 압박 수단과 인장력 전달 수단 양자 모두에 설치할 필요는 없고, 어느 한쪽 혹은 양자 모두를 생략할 수도 있다.

본 실시예에서는, 전술한 바와 같이, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 인장력을 개별로 조정하는 것이 가능한 개별 조정 수단 및 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 압박력을 개별로 제어하는 것이 가능한 개별 제어 수단을 구비하고 있다.

본 실시예에 관련된 기판 인장 장치에 의하면, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단에 의해, 파지하는 기판의 변부에 있어서 발생하고 있는 처짐의 정도에 따라, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를 개별로 조정 혹은 개별로 제어할 수 있다.

예컨대, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단에 의해, 파지하는 기판의 변부의 중앙 영역에서, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를, 기판의 변부의 단부 영역보다 높게 할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 받이체(40)는 한쪽의 클램프 기구의 각 클램프체(14)의 각 인장력 전달체(34)를 통합하여 조작할 수 있도록, 각 인장력 전달체(34)의 선단을 각각 장척인 하나의 받이체(40)에 건 구성으로 하고 있다(도 3 참조). 즉, 전방이 개방된 단면에서 보아 コ 자형의 장척인 하나의 받이체(40)에 소정 간격으로 각 인장 전달체(34)의 선단을 건 구성으로 하고, 이 하나의 받이체(40)의 승강에 의해 한쪽의 클램프 기구의 모든 파지부를 인장할 수 있는 구성으로 하고 있다. 본 실시예에서는, 받이체(40)의 양단부에 각각 로보 실린더(38)의 가동 선단부(39)가 고정되도록 하고, 2개의 로보 실린더(38)를 이용하여 한쪽의 클램프 기구의 모든 파지부를 통합하여 인장하는 구성으로 하고 있다.

또한, 받이체(40)의 상판부에는, 인장력 전달체(34)의 도중부를 도피시키는 홈부(44)가 설치되어 있다.

또, 본 실시예는 전술한 바와 같이 구성하고 있지만, 압박력과 마찬가지로, 인장력에 대해서도 각 클램프체에 각각 1개씩 받이체(40)를 설치하고, 이 받이체(40)마다 로보 실린더(38)를 설치하며, 각 클램프체의 파지부의 인장력을 각각에 설치한 로보 실린더(38)에서 개별로 제어하는 구성으로 해도 좋다.

또한, 각 로보 실린더(22, 38)의 가동 선단부(23, 39)는, 베이스 플레이트(8)의 삽입 관통 구멍을 삽입 관통하여 받이부(31) 및 받이체(40)에 연결된다. 기판 인장 장치를 진공 장치 내에 설치하는 경우에는, 이 삽입 관통 구멍을, 베이스 플레이트(8)와 승강 플레이트(6) 사이에 설치하는 벨로우즈 등으로 둘러싸거나 하여, 장치 내의 진공이 유지되는 구성으로 하면 된다.

성막 장치 내를 진공 상태로 하여 성막하고 있으면, 진공 성막실의 상면부에 작용하는 부압에 의해 상기 상면부가 내측으로 왜곡되는 경우가 있다. 베이스 플레이트(8)가 진공 장치실의 상면부를 겸하고 있거나, 베이스 플레이트(8)를 상면부에 접하여 고정하거나 하고 있으면, 상판부의 왜곡이 기판 인장 장치에 영향을 주어 기판의 처짐을 증대시켜 버린다. 그래서, 베이스 플레이트(8)의 강성을 진공 성막실의 상면부보다 높게 하거나, 혹은 베이스 플레이트(8)의 하면 외주부와 진공 성막실의 상면부 사이를 벨로우즈나 시일 링으로 밀봉하도록 설치하면 된다. 이러한 구성에 의하면, 진공 성막실의 상면부에 작용하는 부압에 의해 상기 상면부가 내측으로 왜곡되었다 하더라도, 베이스 플레이트(8)에 대한 영향을 억제할 수 있어, 성막 중에 상면부가 내측으로 왜곡되는 경우의 기판 처짐을 저감하고, 성막 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 상기 클램프 기구는, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 상기 개별 제어 수단끼리를 제휴시켜 제어하는 것이 가능한 제휴 제어 수단을 구비하는 구성으로 해도 좋다. 제휴 제어 수단으로는, 각 로보 실린더의 가동 선단부의 진퇴량이나 타이밍을 제어하는 제어 장치 등을 이용할 수 있다.

예컨대, 상기 제휴 제어 수단은, 파지하는 기판의 변부에 있어서 발생하고 있는 처짐의 정도에 따라, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 개별 제어 수단끼리를 제휴하여 제어하도록 구성해도 좋다.

또한, 상기 제휴 제어 수단은, 파지하는 기판의 변부의 중앙 영역에서, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를, 기판의 변부의 단부 영역보다 높게 하는 설정으로, 압박 수단과 인장력 전달 수단을 제어해도 좋다.

상기 파지하는 기판의 처짐의 경향 및 정도는, 사용하는 기판의 재질·형상·면적·중량·종횡비 등의 사양에 따라 상이하다. 그래서, 사양에 따라 기판을 그룹화하고, 각각의 기판 그룹마다 미리 기판 처짐 경향을 측정해 둔다. 그리고, 이 기판 처짐 경향에 기초하여 각 파지부에 있어서의 기판의 처짐 정도를 결정하고, 결정한 기판의 처짐 정도에 따라 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 개별 제어 수단끼리를 제휴하여 제어하는 것도 바람직하다.

또한, 상기 파지하는 기판의 처짐의 경향 및 정도를, 처짐 검출 수단에 의해 검출하는 구성으로 해도 좋다. 예컨대, 기판을 파지하여, 화상 처리 혹은 레이저 변위계 등에 의해 처짐의 상태를 검출하는 처짐 검출 장치 등을 이용할 수 있다. 이 처짐 검출 수단을 이용하면, 기판 인장 장치로 기판을 파지했을 때에, 기판의 처짐이 허용 범위까지 저감되어 있는지의 여부를 확인하는 것도 가능해진다.

또한, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단이, 상기 파지부마다 구비하는 각각의 구동 수단에 의한 기판을 인장하는 타이밍을, 각각 구동 수단마다 개별로 조정 혹은 개별로 제어하는 것도 바람직하다.

구체적으로는, 구동 수단에 의한 기판을 인장하는 타이밍을, 파지하는 기판의 변부의 중앙 영역에서는, 파지하는 변부의 단부 영역보다 이전으로 하거나, 또한 구동 수단에 의한 기판을 인장하는 타이밍을, 파지하는 기판의 변부의 단부 영역을 향함에 따라 점차 늦추도록 해도 좋다. 이러한 제어에 의해, 기판의 처짐을 보다 억제할 수 있다.

예컨대, 각 클램프체에 각각 1개씩 받이체를 설치하고, 이 받이체마다 로보 실린더를 설치하며, 각 클램프체의 파지부의 인장력을 각각 로보 실린더에서 개별로 제어하는 구성으로 하고, 로보 실린더의 구동 타이밍을 제어하여, 중앙측으로부터 단부측을 향하여 순서대로 인장력 전달체를 조작하도록 구성하는 구성으로 해도 좋다.

또한 개별 조정 수단으로는 예컨대, 도 4에 나타낸, 클램프체(14)를 레일(33)을 따라 내측(기판측)으로 압박하는 스프링 등(도시하지 않음)을 설치하고, 받이편(42)과 연결 판부(13)의 배면과의 간격을 클램프체마다 개별로 조정할 수 있도록 하며, 롤러(41)가 받이편(42)에 접촉한 시점에서 기판에 대하여 인장력이 발생하는 구성으로 함으로써, 개별로 기판을 인장하는 타이밍을 조정하는 구성으로 해도 좋다.

또, 본 실시예는, 파지하는 기판의 대향하는 변부를 파지하는 각 클램프 기구에 의해 각각 기판을 외측으로 인장하는 구성으로 하고 있지만, 상기 개별 제어 수단은, 대향하는 변부 중 어느 한쪽에 설치하는 상기 클램프 기구의 구동 수단을, 각각 압박력만 발생시키도록 제어하는 구성으로 해도 좋다.

도 7은, 본 발명에 관련된 기판 인장 장치를, 기판을 정지한 채로 성막을 행하는 진공 증착 장치에 적용한 예이다. 실제로는 도 1과 동일한 기판 인장 장치를 적용하고 있지만, 도 7에서는 필요 최저한의 부재를 간략하게 나타내고 있다. 이 진공 증착 장치는, 감압 분위기를 유지하는 진공조(80) 내에서 기판(81)에 박막을 형성시키기 위해, 성막 재료를 사출하는 증발원(85)이 기판(81)과 대향하는 위치에 배치되고, 증발원(85)으로부터 방출된 증발 입자의 증발 레이트를 모니터하는 막두께 모니터(82)와, 진공조(80) 밖에 설치한 모니터한 증발 입자의 양을 막두께로 환산하는 막두께계(83)와, 환산된 막두께가 원하는 막두께가 되도록 성막 재료의 증발 레이트를 제어하기 위해 증발원(85)을 가열하는 히터용 전원(84)을 설치하고 있다. 또한, 증발원(85)을 지면에 대하여 수직인 방향으로 이동시키는 이동 기구를 갖고 있고, 기판(81)과 증발원(85)을 상대적으로 이동시키는 상대 이동 기구가 설치되어 있다. 증발원(85)을 기판(81)에 대하여 이동하면서 성막을 행함으로써, 기판 전면에 걸쳐 균일한 막두께의 증착막을 형성할 수 있다. 또한, 마스크(86)를 지지하는 마스크 지지 부재를 갖고 있고, 도시하지 않은 얼라인먼트 기구를 이용하여, 기판(81)과 마스크(86)의 상대 위치를 맞추어 성막을 행하는 것이 가능하게 되어 있다.

또, 본 발명은, 본 실시예에 한정되지 않고, 각 구성 요건의 구체적 구성은 적절하게 설계할 수 있는 것이다.

다음으로, 본 발명에 관련된 기판 인장 장치를 구비하는 진공 증착 장치를 이용하여, 유기 전자 디바이스의 예로서 유기 EL 표시 장치를 제조하는 실시예에 대하여 설명한다.

우선, 제조하는 유기 EL 표시 장치에 대하여 설명한다. 도 8의 (a)는 유기 EL 표시 장치(60)의 전체도, 도 8의 (b)는 1화소의 단면 구조를 나타내고 있다.

도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 표시 장치(60)의 표시 영역(61)에는, 발광 소자를 복수 구비하는 화소(62)가 매트릭스형으로 복수 배치되어 있다. 상세한 것은 후에 설명하겠지만, 발광 소자의 각각은, 한 쌍의 전극 사이에 끼워진 유기층을 구비한 구조를 갖고 있다. 또, 여기서 말하는 화소란, 표시 영역(61)에 있어서 원하는 색의 표시를 가능하게 하는 최소 단위를 가리키고 있다. 본 실시예에 관련된 표시 장치의 경우, 서로 상이한 발광을 나타내는 제1 발광 소자(62R), 제2 발광 소자(62G), 제3 발광 소자(62B)의 조합에 의해 화소(62)가 구성되어 있다. 화소(62)는, 적색 발광 소자와 녹색 발광 소자와 청색 발광 소자의 조합으로 구성되는 경우가 많지만, 황색 발광 소자와 시안 발광 소자와 백색 발광 소자의 조합이어도 좋고, 적어도 1색 이상이면 특별히 제한되지 않는다.

도 8의 (b)는, 도 8의 (a)의 A-B 선에 있어서의 부분 단면 모식도이다. 화소(62)는, 기판(63) 상에, 제1 전극(양극)(64)과, 정공 수송층(65)과, 발광층(66R, 66G, 66B) 중 어느 것과, 전자 수송층(67)과, 제2 전극(음극)(68)을 구비하는 유기 EL 소자를 갖고 있다. 이들 중, 정공 수송층(65), 발광층(66R, 66G, 66B), 전자 수송층(67)이 유기층에 해당한다. 또한, 본 실시형태에서는, 발광층(66R)은 적색을 발하는 유기 EL 층, 발광층(66G)은 녹색을 발하는 유기 EL 층, 발광층(66B)은 청색을 발하는 유기 EL 층이다. 발광층(66R, 66G, 66B)은, 각각 적색, 녹색, 청색을 발하는 발광 소자(유기 EL 소자라고 기술하는 경우도 있음)에 대응하는 패턴으로 형성되어 있다. 또한, 제1 전극(64)은, 발광 소자마다 분리하여 형성되어 있다. 정공 수송층(65)과 전자 수송층(67)과 제2 전극(68)은, 복수의 발광 소자(62)와 공통으로 형성되어 있어도 좋고, 발광 소자마다 형성되어 있어도 좋다. 또, 제1 전극(64)과 제2 전극(68)이 이물에 의해 쇼트되는 것을 막기 위해, 제1 전극(64) 사이에 절연층(69)이 형성되어 있다. 또한, 유기 EL 층은 수분이나 산소에 의해 열화되기 때문에, 수분이나 산소로부터 유기 EL 소자를 보호하기 위한 보호층(70)이 형성되어 있다.

유기 EL 층을 발광 소자 단위로 형성하기 위해서는, 마스크를 통해 성막하는 방법이 이용된다. 최근, 표시 장치의 고정세화가 진행되고 있어, 유기 EL 층의 형성에는 개구의 폭이 수십 ㎛인 마스크가 이용된다. 이러한 마스크를 이용한 성막의 경우, 마스크가 성막 중에 증발원으로부터 수열(受熱)하여 열변형되면 마스크와 기판의 위치가 어긋나 버리고, 기판 상에 형성되는 박막의 패턴이 원하는 위치로부터 어긋나게 형성되어 버린다. 그래서, 이들 유기 EL 층의 성막에는 본 발명에 관련된 진공 증착 장치가 적합하게 이용된다.

다음으로, 유기 EL 표시 장치의 제조방법의 예에 대하여 구체적으로 설명한다.

우선, 유기 EL 표시 장치를 구동하기 위한 회로(도시하지 않음) 및 제1 전극(64)이 형성된 기판(63)을 준비한다.

제1 전극(64)이 형성된 기판(63) 상에 아크릴 수지를 스핀 코트로 형성하고, 아크릴 수지를 리소그래피법에 의해, 제1 전극(64)이 형성된 부분에 개구가 형성되도록 패터닝하여 절연층(69)을 형성한다. 이 개구부가, 발광 소자가 실제로 발광하는 발광 영역에 상당한다.

절연층(69)이 패터닝된 기판(63)을 진공 증착 장치에 반입하고, 본 발명에 관련된 기판 인장 장치로 기판을 유지하며, 정공 수송층(65)을, 표시 영역의 제1 전극(64) 상에 공통되는 층으로서 성막한다. 정공 수송층(65)을 진공 증착에 의해 성막했다. 실제로는 정공 수송층(65)은 표시 영역(61)보다 큰 사이즈로 형성되기 때문에, 고정세한 마스크는 불필요하다.

다음으로, 증착 마스크를 이용하여, 적색을 발하는 소자를 배치하는 부분에, 적색을 발하는 발광층(66R)을 성막한다. 우선, 정공 수송층(65)까지가 형성된 기판(63)을 도 7의 진공 증착 장치에 반입하고, 기판 인장 장치로 유지한다. 이때, 기판의 처짐이 허용 범위에 들어가도록, 개별 제어 수단이나 개별 조정 수단을 이용하여 각 파지부의 압박력과 인장력을 조정한다. 기판의 처짐이 허용 범위에 들어가면, 제1 발광 소자(62R)를 형성하는 영역에 대응하는 개구를 갖는 마스크(86)와의 위치 맞춤(얼라인먼트)을 행한다. 기판 처짐의 허용 범위는, 성막에 요구되는 정밀도에 따라 설정할 수 있다.

증발원(85)에는 발광층(66R)의 재료인 유기 EL 재료가 수용되어 있고, 유기 재료를 증발시켜 기판 상에 부착시키기 위한 준비로서, 예비 가열을 행해 둔다. 예비 가열은, 증발원(85)에 수용한 성막 재료의 용융 상태를 안정화시키기 위해, 성막 온도와 동등한 온도에서 미리 증발원(85)을 가열해 두는 것이다. 막두께 모니터(82)를 이용하여 얻어지는 성막 속도(증착 레이트)의 시간 변화로부터 성막 재료의 용융 상태가 안정된 것을 확인하고 나서, 발광층(66R)의 성막을 개시하면, 정밀도가 높은 막두께 제어를 행하는 것이 가능해진다.

본 예에 의하면, 기판(63)의 처짐을 기판 전체에 걸쳐 저감할 수 있기 때문에, 마스크와 기판을 양호하게 중첩시킬 수 있고, 고정밀도의 성막을 행하는 것이 가능해진다.

발광층(66R)의 성막과 마찬가지로, 제2 발광 소자(62G)를 형성하는 영역에 대응하는 개구를 갖는 마스크를 이용하여 녹색을 발하는 발광층(66G)을 성막하고, 제3 발광 소자(62B)를 형성하는 영역에 대응하는 개구를 갖는 마스크를 이용하여, 청색을 발하는 발광층(66B)을 성막한다.

발광층(66G, 66B)의 성막이 완료된 후, 표시 영역(61)의 전체에 전자 수송층(65)을 성막한다. 전자 수송층(65)은, 제1 내지 제3 발광층에 공통의 층으로서 형성된다.

전자 수송층(65)까지가 형성된 기판을 스퍼터링 장치로 이동하여, 제2 전극(68)을 성막하고, 그 후 플라즈마 CVD 장치로 이동하여 보호층(70)을 성막하여, 유기 EL 표시 장치(60)가 완성된다.

절연층(69)이 패터닝된 기판(63)을 진공 증착 장치에 반입하고 나서 보호층(70)의 성막이 완료될 때까지는, 수분이나 산소를 포함하는 분위기에 노출되어 버리면, 유기 EL 재료로 이루어지는 발광층이 수분이나 산소에 의해 열화되어 버릴 우려가 있다. 따라서, 본 예에 있어서, 성막 장치 사이의 기판의 반입 반출은, 진공 분위기 또는 불활성 가스 분위기하에서 행해진다.

이와 같이 하여 얻어진 유기 EL 표시 장치는, 발광 소자마다 발광층이 양호한 정밀도로 형성된다. 따라서, 상기 제조방법을 이용하면, 발광층의 위치 어긋남에서 기인하는 유기 EL 표시 장치의 불량의 발생을 억제할 수 있다.

또, 여기서는, 마스크를 이용하여 증착을 행하는 유기 EL 표시 장치의 제조방법에 대하여 서술했지만, 본원 발명에 관련된 기판 인장 장치의 적용은 이것에 한정되지 않는다. 마스크의 이용 여부에 상관없이, 기판의 피처리면을 중력 방향에 대하여 교차하는 방향으로 지지하여 성막을 행하는 경우의 성막 장치에, 본 발명의 기판 인장 장치를 적용할 수 있다.

1: 기판
2: 변부
3, 4: 파지편

Claims

서로 대향하는 한 쌍의 클램프 기구가 구비된 기판 인장 장치로서,
상기 클램프 기구에는, 기판을 상하로부터 끼우는 파지부가 복수 구비되고,
상기 파지부마다 상기 기판을 파지하기 위한 압박력 및 상기 기판을 외측으로 인장하기 위한 인장력을 상기 파지부에 전달하는 구동 수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제1항에 있어서, 상기 클램프 기구의 상기 파지부에는 한 쌍의 파지편이 구비되어 있고, 이 한 쌍의 파지편에 의해, 상하로부터 상기 기판을 압박하며, 파지한 기판을 외측으로 인장하도록 상기 구동 수단이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제1항에 있어서, 상기 클램프 기구에는, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를, 구동 수단마다 개별로 조정하는 것이 가능한 개별 조정 수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제1항에 있어서, 상기 클램프 기구에는, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를, 구동 수단마다 개별로 제어하는 것이 가능한 개별 제어 수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제4항에 있어서, 상기 클램프 기구에는, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 상기 개별 제어 수단끼리를 제휴시켜 제어하는 것이 가능한 제휴 제어 수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제3항에 있어서, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단은, 파지하는 기판의 변부에 있어서 발생하고 있는 처짐의 정도에 따라, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를 개별로 조정 혹은 개별로 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제4항에 있어서, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단은, 파지하는 기판의 변부에 있어서 발생하고 있는 처짐의 정도에 따라, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 각각의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두를 개별로 조정 혹은 개별로 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제3항에 있어서, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단은, 파지하는 기판의 변부의 중앙 영역에 있어서의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두가, 파지하는 기판의 변부의 단부 영역보다 높아지도록, 상기 파지부마다의 구동 수단을 개별로 조정 혹은 개별로 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제4항에 있어서, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단은, 파지하는 기판의 변부의 중앙 영역에 있어서의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두가, 파지하는 기판의 변부의 단부 영역보다 높아지도록, 상기 파지부마다의 구동 수단을 개별로 조정 혹은 개별로 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제3항에 있어서, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단은, 상기 파지부마다 구비하는 각각의 구동 수단에 의한 인장력으로 기판을 인장하는 타이밍을, 각각 구동 수단마다 개별로 조정 혹은 개별로 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제4항에 있어서, 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단은, 상기 파지부마다 구비하는 각각의 구동 수단에 의한 인장력으로 기판을 인장하는 타이밍을, 각각 구동 수단마다 개별로 조정 혹은 개별로 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제10항에 있어서, 상기 구동 수단에 의한 인장력으로 기판을 인장하는 타이밍이, 파지하는 기판의 변부의 중앙 영역에서는, 파지하는 변부의 단부 영역보다 이전이 되도록 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제11항에 있어서, 상기 구동 수단에 의한 인장력으로 기판을 인장하는 타이밍이, 파지하는 기판의 변부의 중앙 영역에서는, 파지하는 변부의 단부 영역보다 이전이 되도록 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제12항에 있어서, 상기 구동 수단에 의한 인장력으로 기판을 인장하는 타이밍이, 파지하는 기판의 변부의 단부 영역을 향함에 따라 점차 늦어지도록 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제13항에 있어서, 상기 구동 수단에 의한 인장력으로 기판을 인장하는 타이밍이, 파지하는 기판의 변부의 단부 영역을 향함에 따라 점차 늦어지도록 상기 개별 조정 수단 혹은 상기 개별 제어 수단이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제5항에 있어서, 상기 제휴 제어 수단은, 파지하는 기판의 변부에 있어서 발생하고 있는 처짐의 정도에 따라, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 개별 제어 수단끼리를 제휴하여 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제5항에 있어서, 상기 제휴 제어 수단은, 파지하는 기판의 변부의 중앙 영역에 있어서의 압박력 혹은 인장력, 또는 이들 양자 모두가, 파지하는 변부의 단부 영역보다 높아지도록, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단을 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제16항에 있어서, 상기 제휴 제어 수단은, 상기 파지하는 기판의 처짐의 정도를, 사용하는 기판의 재질·형상·면적·중량·종횡비 등에 따라 그룹화한 각각의 기판 그룹마다 미리 측정해 둔 기판 처짐 경향을 이용하여 결정하고, 결정한 기판의 처짐 정도에 따라, 상기 파지부마다 구비하는 구동 수단의 개별 제어 수단끼리를 제휴하여 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 파지하는 기판의 처짐을 검출하는 처짐 검출 수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
제4항에 있어서, 상기 개별 제어 수단은, 대향하는 한 쌍의 상기 클램프 기구 중 한쪽의 클램프 기구의 상기 구동 수단을, 각각 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 인장 장치.
성막실 내에 설치된 기판에 성막을 행하는 성막 장치로서,
제1항 내지 제20항 중 어느 한 항에 기재된 기판 인장 장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 성막 장치.
막의 제조방법으로서,
기판을 성막실에 반입하는 공정과,
상기 기판을 파지하여 외측으로 인장하는 공정과,
상기 기판에 막을 부착시키는 공정
을 포함하고, 상기 기판을 파지하여 외측으로 인장하는 공정에서, 제1항 내지 제20항 중 어느 한 항에 기재된 기판 인장 장치를 이용하는 것을 특징으로 하는 막의 제조방법.
기판 상에 한 쌍의 전극 사이에 끼워진 유기층을 구비하는 소자를 복수 구비하는 유기 전자 디바이스의 제조방법으로서,
복수의 전극을 구비하는 기판을 증착실에 반입하는 공정과,
상기 기판을 파지하여 외측으로 인장하는 공정과,
증발원에 수용된 유기 재료를 가열하는 공정과,
상기 기판에 상기 유기 재료의 증기를 부착시키는 공정
을 포함하고, 상기 기판을 파지하여 외측으로 인장하는 공정에 있어서, 제1항 내지 제20항 중 어느 한 항에 기재된 기판 인장 장치를 이용하는 것을 특징으로 하는 유기 전자 디바이스의 제조방법.