KR20160074155A - 롤투롤 슬롯다이 코팅장치 - Google Patents

롤투롤 슬롯다이 코팅장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20160074155A
KR20160074155A KR1020140183065A KR20140183065A KR20160074155A KR 20160074155 A KR20160074155 A KR 20160074155A KR 1020140183065 A KR1020140183065 A KR 1020140183065A KR 20140183065 A KR20140183065 A KR 20140183065A KR 20160074155 A KR20160074155 A KR 20160074155A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
drying
substrate
roller
coating
Prior art date
Application number
KR1020140183065A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101682596B1 (ko
Inventor
박종운
Original Assignee
한국기술교육대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국기술교육대학교 산학협력단 filed Critical 한국기술교육대학교 산학협력단
Priority to KR1020140183065A priority Critical patent/KR101682596B1/ko
Publication of KR20160074155A publication Critical patent/KR20160074155A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101682596B1 publication Critical patent/KR101682596B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0204—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to the edges of essentially flat articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
    • B05C9/14—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation involving heating or cooling

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

롤투롤 슬롯다이 코팅장치는 롤러부, 코팅유닛 및 건조부를 포함한다. 상기 롤러부는 기판부를 일 방향으로 이송한다. 상기 코팅유닛은 상기 기판부 상에 코팅액을 도포한다. 상기 건조부는 상기 코팅액이 도포된 기판부와 인접하도록 위치하여, 상기 기판부가 이송되는 방향을 따라 이송되며 상기 기판부 상의 코팅액을 건조한다.

Description

롤투롤 슬롯다이 코팅장치{ROLL TO ROLL SLOT DIE COATING APPARATUS}
본 발명은 롤투롤 슬롯다이 코팅장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 히팅롤과 컨베이어 방식의 건조부가 적용된 롤투롤 슬롯다이 코팅장치에 관한 것이다.
롤투롤 슬롯다이 코팅공정은 용액 공정에 최적화된 공정으로 다양한 점도의 코팅액을 기판에 코팅할 수 있는 장점을 가진다. 도 1은 종래 기술에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅공정을 도시한 모식도인데, 도 1에 도시된 바와 같이, 롤투롤 슬롯다이 코팅공정에서는, 코팅유닛(30)을 통해 토출된 코팅액(31)이 기판부(20)에 코팅되고, 기판부(20)가 이송함에 따라 기판부(20)의 상부에 위치한 적어도 하나의 건조부들(40)에 의해 상기 코팅액(31)의 건조가 수행되는 것을 특징으로 한다.
이와 관련하여, 대한민국 특허출원 제10-2013-0038174호에서는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치의 기본 구조에 대한 기술을 개시하고 있으며, 대한민국 특허출원 제10-2012-0070539호에서는 롤투롤 슬롯다이 코팅공정에서 복수의 건조부를 이송되는 기판부의 상부에 위치시켜 코팅액의 건조를 수행하는 기술을 개시하고 있습니다.
이상과 같이, 종래 기술에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅공정에서는 코팅액의 건조를 위해 기판부의 상부에서 코팅액에 대한 건조를 수행하는 기술이 대표적이었으나, 온도나 습도 등의 주변 환경의 영향에 취약한 단점이 있으며, 단순히 상부에서의 건조를 통해서는 코팅액의 완전 경화가 어려워 건조 효과를 향상시키기 위해 건조부를 포함한 전체 롤투롤 슬롯다이 코팅장치의 크기가 커져야 하는 문제가 있었다.
특히, 코팅액의 점도가 낮은 경우, 종래기술에 의한 건조방식을 통한 코팅액의 건조가 더욱 어려워지는 문제가 있었다.
이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로 본 발명의 목적은 상대적으로 작은 크기로도 코팅액의 건조 효과가 향상되고 오염물질의 차단이 가능한 롤투롤 슬롯다이 코팅장치에 관한 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 롤투롤 슬롯다이 코팅장치는 롤러부, 코팅유닛 및 건조부를 포함한다. 상기 롤러부는 기판부를 일 방향으로 이송한다. 상기 코팅유닛은 상기 기판부 상에 코팅액을 도포한다. 상기 건조부는 상기 코팅액이 도포된 기판부와 인접하도록 위치하여, 상기 기판부가 이송되는 방향을 따라 이송되며 상기 기판부 상의 코팅액을 건조한다.
일 실시예에서, 상기 건조부는 상기 기판부의 이송속도와 동일한 속도로 이송될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 건조부는, 컨베이어 방식으로 연속적으로 회전하는 이송부, 및 상기 이송부의 상면에 위치하여 상기 기판부를 건조하는 건조유닛을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 건조부는, 서로 분리되어 각각이 연속적으로 회전하는 제1 건조부 및 제2 건조부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 건조부 및 상기 제2 건조부의 순서로 상기 기판부가 건조되며, 상기 제1 건조부 및 상기 제2 건조부는 서로 다른 온도로 상기 기판부를 건조할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 코팅액은 상기 기판부의 상면에 코팅되고, 상기 롤러부는 상기 기판부의 하면과 접촉하여 상기 기판부를 이송시키며, 상기 건조부는 상기 기판부의 하면과 마주하도록 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 롤러부는, 상기 코팅유닛과 인접하도록 배치된 제1 롤러, 및 상기 제1 롤러와 이격되어 상기 제1 롤러와의 사이에 공간을 형성하는 제2 롤러를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 건조부는 상기 제1 및 제2 롤러들 사이의 공간에 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 롤러의 외면에는 상기 기판부의 하면에 열을 인가하는 가열부가 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 가열부는 열선을 포함하여 온도가 조절될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 기판부의 이송 속도를 제어하는 기판 이송부, 및 상기 롤러부, 상기 코팅유닛, 상기 건조부 및 상기 기판 이송부를 커버하는 커버부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면, 건조부가 기판부의 이송방향을 따라 이송되면서 기판부 상에 도포된 코팅액을 건조하므로, 상기 코팅액이 상기 건조부에 노출되는 시간이 증가하므로 상기 코팅액에 대한 보다 효과적인 건조가 가능하다.
특히, 상기 건조부는 상기 기판부와 동일한 속도로 이송되므로, 상기 코팅액에 대한 보다 균일한 건조가 가능하다.
이를 위해, 상기 건조부는 컨베이어 방식으로 연속적으로 회전하도록 구성되므로, 상기 건조부가 상기 기판부와 동일한 속도로 상기 기판부의 이송방향을 따라 이송이 가능하다.
또한, 상기 건조부는 서로 분리된 제1 및 제2 건조부들을 포함하고, 각각이 서로 다른 온도로 기판부를 건조하므로, 서로 다른 건조 공정을 수행할 수 있어, 건조의 효과가 보다 향상될 수 있다.
또한, 상기 건조부는 코팅액이 도포된 면과 반대 면을 통해 건조 공정을 수행하므로, 상기 코팅액에 대한 직접 건조방식에 비해 완전 경화에 보다 효과적이다. 이 경우, 상기 건조부는 한 쌍의 제1 및 제2 롤러들 사이의 공간에 배치되므로, 공간 활용도가 높아 전체적인 코팅장치의 부피를 최소화할 수 있다.
또한, 코팅유닛과 근접하여 위치하는 제1 롤러의 외면의 가열부가 상기 기판부를 가열하여 상기 코팅액을 1차적으로 건조하므로, 후차적인 상기 건조부에 의한 건조를 통해 순차적인 건조가 가능하여 건조 과정에서의 온도 불균일성이 최소화되어, 코팅층의 균일성이 향상되고 크랙 등의 문제 발생을 방지할 수 있다.
또한, 상기 가열부가 열선을 포함하여 온도 조절이 가능하므로, 다양한 점도의 코팅층에 대한 효과적인 건조가 가능하다.
나아가, 상기 커버부에 의한 커버로 외부의 이물질 유입을 방지하며, 코팅 및 건조과정에서 발생하는 유해물질의 외부 유출을 최소화하며, 공정의 안전성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래기술에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅장치를 도시한 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅장치를 도시한 모식도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅장치를 도시한 모식도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다.
상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅장치를 도시한 모식도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅장치(100)는 롤러부(110), 코팅유닛(130), 건조부(140), 기판 이송부(121) 및 커버부(150)를 포함한다.
상기 롤러부(110)는 제1 롤러(111) 및 제2 롤러(112)를 포함하며, 기판부(120)가 상기 롤러부(110)를 통해 이송된다.
본 실시예에서는, 상기 제1 롤러(111) 및 상기 제2 롤러(112)는 소정거리 이격되도록 배치되어, 양 끝단에서 상기 기판부(120)를 지지하며 이송시킨다.
이와 같이, 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112)이 양 끝단에 위치함으로써, 상기 기판부(120)는 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112) 사이에서 수평인 상태로 이송될 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112)이 양 끝단에 위치함으로써, 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112) 사이에는 소정의 공간이 형성된다. 본 실시예에서는 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112) 사이의 공간에 후술되는 상기 건조부(140)가 배치된다. 그리하여, 종래에 상기 건조부(140)가 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112)의 상부에 위치하는 경우와 비교하여, 전체적인 코팅장치(100)가 차지하는 공간을 최소화하여 공간 활용의 효율성을 향상시킬 수 있다.
한편, 상기 기판 이송부(121)는 상기 기판부(120)의 유출부에 위치하여, 상기 기판부(120)에 이송력을 제공한다. 즉, 상기 기판 이송부(121)는 한 쌍의 롤러를 포함하여 상기 기판부(120)의 양면에 접촉하며 상기 기판부(120)에 이송력을 제공하며, 이에 따라 상기 기판부(120)는 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112) 상에서 이송하게 된다.
한편, 상기 기판 이송부(121)와는 별도로, 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112)도 구동되어 회전하면서 상기 기판부(120)에 이송력을 제공할 수 있다.
또한, 상기 기판 이송부(121)는 상기 기판부(120)의 유입부에 위치하여 상기 기판부(120)에 이송력을 제공할 수도 있으며, 상기 기판부(120)의 유입부 및 유출부에 모두 위치할 수도 있다.
상기 코팅유닛(130)은 상기 기판부(120)의 상면(122)으로 코팅액(131)을 제공하여, 상기 기판부(120)의 상면에 상기 코팅액(131)을 도포한다. 이 경우, 상기 코팅유닛(130)은 상기 제1 롤러(111)와 상기 기판부(120)를 사이에 두고 서로 마주하도록 배치된다. 그리하여, 상기 코팅액(131)이 상기 기판부(120)의 상면(122)에 코팅되면, 상기 제1 롤러(111)는 상기 기판부(120)의 하면(123)과 접촉하며 상기 기판부(120)를 이송한다. 따라서, 상기 제1 롤러(111)는 상기 코팅액(131)에 직접 접촉하지 않아 상기 코팅액(131)의 균일성이 유지된다.
한편, 본 실시예에서, 상기 제1 롤러(111)의 외면에는 가열부(113)가 형성된다. 상기 가열부(113)는 상기 제1 롤러(111)의 외면 전체에 균일하게 형성되며, 열을 발생하여 상기 제1 롤러(111)에 접촉하는 상기 기판부(120)에 열을 공급한다.
그리하여, 상기 기판부(120)를 통해 제공된 열은 상기 기판부(120)의 상면(122)에 도포된 상기 코팅액(131)으로 제공되며, 상기 코팅액(131)은 1차적으로 건조된다.
이와 같이, 상기 코팅액(131)이 상기 기판부(120)에 도포되자마자 바로 상기 제1 롤러(111)에 의해 건조되므로, 상기 기판부(120)에 도포된 상기 코팅액(131)이 하부로 흘러내리거나 흘러내리면서 서로 뭉쳐 불균일해지는 것을 방지할 수 있다.
이 경우, 상기 가열부(113)는 예를 들어, 열선을 포함할 수 있으며, 상기 열선은 전기에 의해 가열될 수 있다. 또한, 상기 열선으로 공급되는 전기를 제어함으로써, 상기 가열부(113)를 통해 상기 코팅액(131)으로 제공되는 열을 제어할 수 있다. 즉, 상기 코팅액(131)의 점성 등의 특성을 고려하여 건조조건에 따른 상기 가열부(113)의 온도의 제어가 가능하게 된다.
한편, 상기 가열부(113)는 온도 제어가 가능하도록 상기 열선 외의 다른 가열 수단을 포함할 수도 있다.
상기 건조부(140)는 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112) 사이의 공간에 배치되어, 상기 코팅액(131)이 도포된 기판부(120)를 건조한다.
구체적으로, 상기 건조부(140)는 이송부(141) 및 상기 이송부(141) 상에 배치되는 건조유닛(142)을 포함한다. 이 경우, 상기 이송부(141)와 상기 건조유닛(142)은 서로 구별되지 않고 일체로 형성되어, 상기 건조유닛(142)이 직접 이송되는 구조일 수도 있다.
상기 이송부(141)는 도 2에 도시된 바와 같이, 연속적으로 회전이 가능한 폐곡선 형태의 컨베이어 벨트 구조를 가질 수 있다. 그리하여, 상기 이송부(141)는 상부가 항상 상기 기판부(120)의 하면(123)과 마주한 상태로 연속적으로 이송된다.
특히, 상기 이송부(141)는 상기 기판부(120)의 하면(123)과 마주한 면적을 최대로 유지하도록 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112) 사이의 공간에 위치할 수 있다.
상기 건조유닛(142)은 상기 이송부(141)의 상면에 형성되며, 상기 이송부(141)와 함께 이송하며 상기 기판부(120)를 건조한다. 상기 건조유닛(142)은 예를 들어, 상기 기판부(120)에 열을 인가하여 건조를 수행하는 열원일 수 있으며, 상기 기판부(120)에 건조공기를 인가하여 건조를 수행할 수도 있다.
다만, 상기 건조유닛(142)이 열원인 경우라면, 상기 기판부(120)와 마주하는 부분에서는 상기 기판부(120)로 열을 인가하고, 상기 기판부(120)와 마주하지 않는 부분에서는 방출된 열을 보충하기 위한 별도의 열원 보충부(미도시)가 구비될 수도 있다.
본 실시예에서는, 상기 이송부(141)는 상기 기판부(120)의 이송속도와 동일한 속도로 상기 건조유닛(142)을 이송시킨다. 이에 따라, 상기 기판부(120)와 마주하는 상기 건조유닛(142)은 서로 동일한 속도로 이송하게 되며, 이에 따라 상기 기판부(120)로는 균일한 열이 연속적으로 제공된다. 그리하여, 상기 기판부(120)의 상면(122)에 코팅된 상기 코팅액(131)도 보다 균일하고 안정적으로 건조된다.
특히, 상기 건조유닛(142)은 상기 기판부(120)의 하면(123)으로 열, 바람 등을 인가하고, 상기 기판부(120)를 통과하여 상기 코팅액(131)으로 열, 바람 등이 제공되므로 상기 코팅액(131)은 하부부터 건조가 시작되어 보다 효과적으로 균일한 건조가 가능하며, 특히 상기 코팅액(131)의 완전 경화가 보다 효과적으로 수행될 수 있다.
한편, 상기 건조유닛(142)은 상기 가열부(113)에 의해 1차적으로 건조된 코팅액(131)을 추가적으로 건조하는 것으로, 상기 가열부(113)에 의한 상기 코팅액(131)의 코팅 상태를 고려하여 건조조건을 설정할 수 있다. 이에 따라, 상기 코팅액(131)은 두 단계로 서로 다른 건조조건으로 건조가 수행되므로, 보다 균일하고 안정적인 건조가 가능하게 된다.
상기 커버부(150)는 상기 코팅유닛(130), 상기 제1 및 제2 롤러들(111, 112), 상기 건조부(140) 및 상기 기판 이송부(121)를 상부에서 커버하며, 이에 따라, 상기 기판부(120)에 대한 코팅 및 건조 공정에서 외부로부터의 이물질 유입을 최소화하고 상기 코팅 및 건조 공정에서 발생하는 유해물질이 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅장치를 도시한 모식도이다.
본 실시예에 의한 롤투롤 슬롯다이 코팅장치(200)도, 롤러부(210), 코팅유닛(230), 건조부(240), 기판 이송부(221) 및 커버부(250)를 포함한다. 본 실시예에서의 상기 롤러부(210), 코팅유닛(230), 기판 이송부(221) 및 커버부(250)는 각각 도 2를 참조하여 설명한 코팅장치(100)의 상기 롤러부(110), 코팅유닛(130), 기판 이송부(121) 및 커버부(150)와 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 중복되는 설명은 생략한다.
본 실시예에서의 상기 건조부(240)는 상기 제1 및 제2 롤러들(211, 212) 사이의 공간에 배치되어, 상기 코팅액(231)이 도포된 기판부(220)를 건조한다.
구체적으로, 상기 건조부(240)는 제1 건조부(241) 및 제2 건조부(245)를 포함한다. 상기 제1 건조부(241) 및 상기 제2 건조부(245)는 서로 동일한 구조를 포함하지만 상기 기판부(220)에 도포된 상기 코팅액(231)을 건조하는 건조 공정은 서로 다를 수 있다.
즉, 상기 제1 건조부(241)는 제1 이송부(242) 및 제1 건조유닛(243)을 포함하며, 상기 제1 건조유닛(243)은 상기 제1 이송부(242) 상에 배치되지만, 상기 제1 이송부(242)와 상기 제1 건조유닛(243)은 서로 구별되지 않고 일체로 형성되어 상기 제1 건조유닛(243)이 직접 이송되는 구조일 수도 있다.
이 경우, 상기 제2 건조부(245)도 제2 이송부(246) 및 제2 건조유닛(247)을 포함하며, 상기 제2 건조부(245)는 상기 제1 건조부(241)보다 상기 기판부(220)의 이송방향을 따라 후방에 배치되는 것을 제외하고는, 상기 제2 이송부(246) 및 상기 제2 건조유닛(247)은 상기 제1 이송부(242) 및 상기 제1 건조유닛(243)과 각각 구조 및 형상이 동일하다.
따라서, 이하에서는 상기 제1 이송부(242) 및 상기 제2 건조유닛(243)에 대하여만 설명하고, 중복되는 상기 제2 이송부(246) 및 상기 제2 건조유닛(247)에 대한 설명은 생략한다.
상기 제1 이송부(242)는 도 3에 도시된 바와 같이, 연속적으로 회전이 가능한 폐곡선 형태의 컨베이어 벨트 구조를 가질 수 있다. 그리하여, 상기 제1 이송부(242)는 상부가 항상 상기 기판부(220)의 하면(223)과 마주한 상태로 연속적으로 이송된다.
상기 제1 건조유닛(243)은 상기 제1 이송부(242)의 상면에 형성되며, 상기 제1 이송부(242)와 함께 이송하며 상기 기판부(220)를 건조한다. 상기 제1 건조유닛(243)은 예를 들어, 상기 기판부(220)에 열을 인가하여 건조를 수행하는 열원일 수 있으며, 상기 기판부(220)에 건조공기를 인가하여 건조를 수행할 수도 있다.
다만, 상기 제1 건조유닛(243)이 열원인 경우라면, 상기 기판부(220)와 마주하는 부분에서는 상기 기판부(220)로 열을 인가하고, 상기 기판부(220)와 마주하지 않는 부분에서는 방출된 열을 보충하기 위한 별도의 열원 보충부(미도시)가 구비될 수도 있다.
본 실시예에서는, 상기 제1 이송부(242)는 상기 기판부(220)의 이송속도와 동일한 속도로 상기 제1 건조유닛(243)을 이송시킨다. 이에 따라, 상기 기판부(220)와 마주하는 상기 제1 건조유닛(243)은 서로 동일한 속도로 이송하게 되며, 이에 따라 상기 기판부(220)로는 균일한 열이 연속적으로 제공된다. 그리하여, 상기 기판부(220)의 상면(222)에 코팅된 상기 코팅액(231)도 보다 균일하고 안정적으로 건조된다.
특히, 상기 제1 건조유닛(243)은 상기 기판부(220)의 하면(223)으로 열, 바람 등을 인가하고, 상기 기판부(220)를 통과하여 상기 코팅액(231)으로 열, 바람 등이 제공되므로 상기 코팅액(231)은 하부부터 건조가 시작되어 보다 효과적으로 균일한 건조가 가능하며, 특히 상기 코팅액(231)의 완전 경화가 보다 효과적으로 수행될 수 있다.
한편, 본 실시예에서는, 상기 가열부(213)에 의해 1차적으로 건조된 상기 코팅액(231)을 상기 제1 건조부(241) 및 상기 제2 건조부(245)가 순차적으로 추가 건조를 수행하는 것으로, 전체적으로 3 단계의 건조 공정이 차례로 수행될 수 있다. 이에 따라, 상기 코팅액(231)에 대한 건조 공정은, 상기 가열부(213)를 통한 초기 건조 공정, 상기 제1 건조부(241)를 통한 soft bake 형태의 2차 건조 공정, 상기 제2 건조부(245)를 통한 hard bake 형태의 3차 건조 공정으로 서로 다른 건조 공정들이 차례로 수행될 수 있다. 이와 같이, 서로 다른 온도 및 조건을 통해 건조 공정을 차례로 수행할 수 있으므로 상기 코팅액(231)에 대한 보다 효과적인 건조공정이 수행되어, 보다 균일하고 안정적인 코팅층의 형성이 가능하다.
특히, 상기 각각의 건조 공정에서 온도 제어가 가능하므로, 상기 코팅액(231)의 점도 및 특성, 이전 건조 공정에서의 건조 상태 등을 고려하여 이후 건조공정의 온도를 제어함으로써 다양한 코팅액에 대한 효과적인 건조 및 코팅 상태에 따른 효과적인 건조가 가능할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 건조부가 기판부의 이송방향을 따라 이송되면서 기판부 상에 도포된 코팅액을 건조하므로, 상기 코팅액이 상기 건조부에 노출되는 시간이 증가하므로 상기 코팅액에 대한 보다 효과적인 건조가 가능하다.
특히, 상기 건조부는 상기 기판부와 동일한 속도로 이송되므로, 상기 코팅액에 대한 보다 균일한 건조가 가능하다.
이를 위해, 상기 건조부는 컨베이어 방식으로 연속적으로 회전하도록 구성되므로, 상기 건조부가 상기 기판부와 동일한 속도로 상기 기판부의 이송방향을 따라 이송이 가능하다.
또한, 상기 건조부는 서로 분리된 제1 및 제2 건조부들을 포함하고, 각각이 서로 다른 온도로 기판부를 건조하므로, 서로 다른 건조 공정을 수행할 수 있어, 건조의 효과가 보다 향상될 수 있다.
또한, 상기 건조부는 코팅액이 도포된 면과 반대 면을 통해 건조 공정을 수행하므로, 상기 코팅액에 대한 직접 건조방식에 비해 완전 경화에 보다 효과적이다. 이 경우, 상기 건조부는 한 쌍의 제1 및 제2 롤러들 사이의 공간에 배치되므로, 공간 활용도가 높아 전체적인 코팅장치의 부피를 최소화할 수 있다.
또한, 코팅유닛과 근접하여 위치하는 제1 롤러의 외면의 가열부가 상기 기판부를 가열하여 상기 코팅액을 1차적으로 건조하므로, 후차적인 상기 건조부에 의한 건조를 통해 순차적인 건조가 가능하여 건조 과정에서의 온도 불균일성이 최소화되어, 코팅층의 균일성이 향상되고 크랙 등의 문제 발생을 방지할 수 있다.
또한, 상기 가열부가 열선을 포함하여 온도 조절이 가능하므로, 다양한 점도의 코팅층에 대한 효과적인 건조가 가능하다.
나아가, 상기 커버부에 의한 커버로 외부의 이물질 유입을 방지하며, 코팅 및 건조과정에서 발생하는 유해물질의 외부 유출을 최소화하며, 공정의 안전성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 롤투롤 슬롯다이 코팅장치는 롤투롤 슬롯다이 코팅공정을 통한 다양한 기판의 제조에 사용될 수 있는 산업상 이용 가능성을 갖는다.
10, 100, 200 : 기판
110, 210 : 롤러부 111, 211 : 제1 롤러
112, 212 : 제2 롤러 120, 220 : 기판부
121, 221 : 기판 이송부 130, 230 : 코팅유닛
131, 231 : 코팅액 140, 240 : 건조부
141 : 이송부 142 : 건조유닛
150, 250 : 커버부

Claims (11)

  1. 기판부를 일 방향으로 이송하는 롤러부;
    상기 기판부 상에 코팅액을 도포하는 코팅유닛; 및
    상기 코팅액이 도포된 기판부와 인접하도록 위치하여, 상기 기판부가 이송되는 방향을 따라 이송되며 상기 기판부 상의 코팅액을 건조하는 건조부를 포함하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 건조부는,
    상기 기판부의 이송속도와 동일한 속도로 이송되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 건조부는,
    컨베이어 방식으로 연속적으로 회전하는 이송부; 및
    상기 이송부의 상면에 위치하여 상기 기판부를 건조하는 건조유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 건조부는,
    서로 분리되어 각각이 연속적으로 회전하는 제1 건조부 및 제2 건조부를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 건조부 및 상기 제2 건조부의 순서로 상기 기판부가 건조되며,
    상기 제1 건조부 및 상기 제2 건조부는 서로 다른 온도로 상기 기판부를 건조하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 코팅액은 상기 기판부의 상면에 코팅되고, 상기 롤러부는 상기 기판부의 하면과 접촉하여 상기 기판부를 이송시키며, 상기 건조부는 상기 기판부의 하면과 마주하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 롤러부는,
    상기 코팅유닛과 인접하도록 배치된 제1 롤러; 및
    상기 제1 롤러와 이격되어 상기 제1 롤러와의 사이에 공간을 형성하는 제2 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 건조부는 상기 제1 및 제2 롤러들 사이의 공간에 배치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1 롤러의 외면에는 상기 기판부의 하면에 열을 인가하는 가열부가 형성된 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 가열부는 열선을 포함하여 온도가 조절되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 기판부의 이송 속도를 제어하는 기판 이송부; 및
    상기 롤러부, 상기 코팅유닛, 상기 건조부 및 상기 기판 이송부를 커버하는 커버부를 더 포함하는 롤투롤 슬롯다이 코팅장치.
KR1020140183065A 2014-12-18 2014-12-18 롤투롤 슬롯다이 코팅장치 KR101682596B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140183065A KR101682596B1 (ko) 2014-12-18 2014-12-18 롤투롤 슬롯다이 코팅장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140183065A KR101682596B1 (ko) 2014-12-18 2014-12-18 롤투롤 슬롯다이 코팅장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160074155A true KR20160074155A (ko) 2016-06-28
KR101682596B1 KR101682596B1 (ko) 2016-12-05

Family

ID=56366143

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140183065A KR101682596B1 (ko) 2014-12-18 2014-12-18 롤투롤 슬롯다이 코팅장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101682596B1 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101877515B1 (ko) * 2016-10-05 2018-07-11 한국기계연구원 슬롯다이 시스템 및 이를 이용한 슬롯다이 제어방법
KR102042604B1 (ko) 2018-10-04 2019-11-08 (주)유니테스트 나노박막의 연속 코팅을 위한 쉐어링 다이 및 이를 이용한 코팅 방법
KR102231942B1 (ko) * 2019-10-29 2021-03-25 한밭대학교 산학협력단 패턴된 용액 전단코터를 구비한 롤 투 롤 방식의 유기 반도체 박막 형성장치
KR102509506B1 (ko) * 2021-11-26 2023-03-14 한국기술교육대학교 산학협력단 롤-테이블타입 코팅이 가능한 슬롯 다이 코터
KR102518518B1 (ko) * 2022-01-12 2023-04-04 한국기술교육대학교 산학협력단 다층 코팅을 위한 슬롯 다이 코터 실험장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020087567A (ko) * 2001-05-14 2002-11-23 김성기 직물원단의 광물질 코팅방법 및 그 장치
KR100816293B1 (ko) * 2007-04-02 2008-03-25 주식회사 탑 엔지니어링 분산액 코팅 장치
KR20130142605A (ko) * 2012-06-20 2013-12-30 (주)에스티아이 롤투롤 기판 이송장치
KR20140121664A (ko) * 2013-04-08 2014-10-16 엘지전자 주식회사 롤투롤 방식의 박막 제작 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020087567A (ko) * 2001-05-14 2002-11-23 김성기 직물원단의 광물질 코팅방법 및 그 장치
KR100816293B1 (ko) * 2007-04-02 2008-03-25 주식회사 탑 엔지니어링 분산액 코팅 장치
KR20130142605A (ko) * 2012-06-20 2013-12-30 (주)에스티아이 롤투롤 기판 이송장치
KR20140121664A (ko) * 2013-04-08 2014-10-16 엘지전자 주식회사 롤투롤 방식의 박막 제작 장치

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101877515B1 (ko) * 2016-10-05 2018-07-11 한국기계연구원 슬롯다이 시스템 및 이를 이용한 슬롯다이 제어방법
KR102042604B1 (ko) 2018-10-04 2019-11-08 (주)유니테스트 나노박막의 연속 코팅을 위한 쉐어링 다이 및 이를 이용한 코팅 방법
KR102231942B1 (ko) * 2019-10-29 2021-03-25 한밭대학교 산학협력단 패턴된 용액 전단코터를 구비한 롤 투 롤 방식의 유기 반도체 박막 형성장치
KR102509506B1 (ko) * 2021-11-26 2023-03-14 한국기술교육대학교 산학협력단 롤-테이블타입 코팅이 가능한 슬롯 다이 코터
KR102518518B1 (ko) * 2022-01-12 2023-04-04 한국기술교육대학교 산학협력단 다층 코팅을 위한 슬롯 다이 코터 실험장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR101682596B1 (ko) 2016-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101682596B1 (ko) 롤투롤 슬롯다이 코팅장치
KR102404968B1 (ko) 액 도포 방법, 액 도포 장치, 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
KR101059309B1 (ko) 가열 장치, 도포, 현상 장치 및 가열 방법
JP4592787B2 (ja) 基板処理装置
JP4542577B2 (ja) 常圧乾燥装置及び基板処理装置及び基板処理方法
JP6502721B2 (ja) 乾燥装置、塗膜形成システム、乾燥方法および塗膜形成方法
JP4073618B2 (ja) フレキシブル液晶表示パネルの製造方法並びにそれに用いるフレキシブル液晶表示パネルの製造システム
JP4537324B2 (ja) 基板冷却装置、基板冷却方法、制御プログラム、コンピュータ読取可能な記憶媒体
JP2010064857A (ja) 基板処理装置
JP2007158088A (ja) 加熱処理装置、加熱処理方法、制御プログラム、コンピュータ読取可能な記憶媒体
JP2009081182A (ja) 常圧乾燥装置及び基板処理装置及び基板処理方法
CN106125520A (zh) 光刻胶前烘方法、装置及光刻设备
JP6274661B2 (ja) 乾燥装置
JP2007200993A (ja) 基板冷却装置
JP4638931B2 (ja) 基板処理装置
JP6487729B2 (ja) 基材処理装置、塗膜形成システム、基材処理方法及び塗膜形成方法
JP5226037B2 (ja) 熱処理装置及び熱処理方法
JP4386430B2 (ja) 塗布膜形成装置
JP4120522B2 (ja) ペースト材料の乾燥装置
JP2008504573A (ja) ローラ間隔を異ならせた熱処理装置
US20190072852A1 (en) Photoresist baking apparatus
EP1730590A1 (en) Preheat chamber for thermal processing
KR20110132995A (ko) 열처리 장치, 열처리 방법 및 기억 매체
JP2008159727A (ja) レジスト塗布装置
JP3568634B2 (ja) 塗膜乾燥方法およびその装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200219

Year of fee payment: 4