KR20140121664A - 롤투롤 방식의 박막 제작 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 그래핀의 제조 장치에 관한 것으로 특히, 줄 히팅을 이용한 그래핀의 제조 장치에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은, 가스 유입부 및 배기부를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하여, 촉매 금속을 롤 상태로 공급할 수 있는 공급부; 상기 촉매 금속 상에 그래핀을 형성할 수 있는 형성 영역을 정의하고, 상기 형성 영역의 양측에 접촉하는 접촉부; 상기 촉매 금속을 롤 상태로 수납할 수 있는 수납부; 및 상기 접촉부를 통하여 상기 형성 영역에 전류를 공급하는 전류 공급부를 포함하여 구성될 수 있다.

Description

롤투롤 방식의 박막 제작 장치 {Apparatus for manufacturing film of roll-to-roll type}

본 발명은 박막 제작 장치에 관한 것으로 특히, 박막을 제작하기 위한 기판을 롤 형태로 공급하여 제작할 수 있는 롤투롤(roll-to-roll) 방식의 박막 제작 장치에 관한 것이다.

유연성(Flexible) 소자의 개발과 함께 생산성 증대를 위해 롤투롤(roll-to-roll; R2R) 공정 기술이 요구되고 있다.

고품질의 박막 제작(성막)을 위해 진공 환경에서 일정한 온도로 승온된 기판 위에 성막을 진행하게 된다. 이때, 진공 챔버 내부에 히터를 별도로 구성하여 기판을 승온 시키는 방식이 이용되고 있다.

이와 같이, R2R 증착 공정에서 증착 전 기판을 공정 온도까지 승온하기 위해, 별도의 히터를 구성하게 된다.

이와 같은 히터를 진공 내부에 형성함에 따라, 진공 챔버의 크기가 커져서 장비의 비용이 증가하고 풋 프린트(Foot print)가 커진다는 단점을 가진다.

뿐만이 아니라, 고정된 히터와 이동하는 기판이 접촉된 구조에서 직접적인 열전도로 승온을 하게 될 경우 기판에 손상을 줄 수 있으며, 히터와 기판의 접촉면을 일정하게 제어하기 어렵기에 일정한 품질을 얻기 어렵다.

또한, 일정한 간격으로 떨어진 상태에서 기판을 승온하기 위해서는, 진공에서의 열 전도도가 매우 낮기 때문에 복사(Radiation)에 의한 승온을 이루어지는데, 이로 인해 진공 챔버의 기구 구성이 복잡하게 될 수 있다.

특히, 투명한 기판의 경우에는 열의 흡수 효율이 매우 낮아 빠른 승온을 얻기 어려워 히팅 영역을 매우 길게 설정하여야 할 필요가 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 롤투롤 방식으로 공급되는 기판을 가열하여 효율적으로 연속적인 박막의 형성이 가능하도록 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치를 제공하고자 한다.

상기 기술적 과제를 이루기 위하여, 본 발명은, 챔버; 상기 챔버 내에 위치하여 기판을 롤 상태로 공급하며, 박막 형성을 위한 형성 영역을 제공하는 적어도 한 쌍의 롤러를 포함하고, 상기 적어도 한 쌍의 롤러 중 적어도 하나는 히팅 롤러인 제 1롤러; 상기 제 1롤러의 일측에 위치하여 상기 형성 영역에 상기 기판을 공급하는 다수의 제 2롤러; 및 상기 형성 영역 상에 위치하는 증착원을 포함하여 구성될 수 있다.

여기서, 제 1롤러는, 상기 형성 영역의 양측에 위치하는 적어도 한 쌍의 히팅 롤러를 포함할 수 있다.

여기서, 증착원의 기판 대향 측에는, 기판 지지부를 더 포함할 수 있다.

여기서, 증착원은 두 개소 이상이 구비될 수 있다.

이때, 두 개소의 증착원 사이에는 두 증착원의 간섭을 막기 위한 차단부를 더 포함할 수 있다.

이러한 차단부는, 상기 기판의 양측에 위치할 수 있다.

이때, 두 개소 이상의 증착원의 기판 대향측에는, 두 개소 이상의 기판 지지부가 위치할 수 있다.

여기서, 제 2롤러 중 적어도 하나는 히팅 롤러일 수 있다.

한편, 챔버는, 금속 또는 세라믹 재질로 구비될 수 있다.

여기서, 제 1롤러와 제 2롤러는, 상기 기판의 공급 방향이 변화되도록 서로 이격되어 위치할 수 있다.

본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.

우선, 롤투롤 공정에서 필수적인 기구물인 롤러를 히팅하여 이용함으로써, 추가적인 히터를 구성할 필요 없이 기판을 승온할 수 있다.

이와 같이, 증착 공정 직전에 위치하는 롤러에 가열 기능을 구성하고, 증착원 만으로도 박막 형성 장치를 구성할 수 있다.

즉, 박막 제작 장치는 추가적인 히터를 사용하지 않고 롤투롤 장치에 이용되는 롤러를 히터로 활용하고 있어 그 구성을 단순화할 수 있는 것이다.

또한, 히팅 롤러와 기판이 직접 접촉하여 열이 전달되기 때문에 챔버 내부가 진공으로 유지되는 경우에도 기판을 안정적으로 승온시킬 수 있다.

더구나, 투명한 기판을 이용하는 경우에도 열의 흡수 효율이 저하되지 않고 효율적으로 기판을 승온시킬 수 있는 것이다.

도 1은 롤투롤 방식의 박막 제작 장치의 제 1예를 나타내는 개략도이다.
도 2는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치의 제 2예를 나타내는 개략도이다.
도 3은 롤투롤 방식의 박막 제작 장치의 제 3예를 나타내는 개략도이다.
도 4는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치의 제 4예를 나타내는 개략도이다.
도 5에서는 통상의 롤투롤 방식의 박막 제작 장치에서, 히터에 의해 승온되는 기판의 시간에 따른 온도 변화와 그 사이의 기체의 평균 온도를 계산한 결과를 나타내는 그래프이다.
도 6은 히팅 롤러에 의해 승온되는 기판의 증착원까지의 길이에 따른 온도 분포를 계산한 결과를 나타내는 그래프이다.
도 7은 히팅 롤러의 온도와 기판의 온도의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 8 및 도 9는 각각 히팅 롤러의 직경 및 속도와 기판의 온도의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 10은 두 개의 히팅 롤러에 의해 승온되는 기판의 증착원까지의 온도 분포를 계산한 결과를 나타내는 그래프이다.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다.

층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

비록 제1, 제2 등의 용어가 여러 가지 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들을 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 이러한 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들은 이러한 용어에 의해 한정되어서는 안 된다는 것을 이해할 것이다.

도 1은 롤투롤(roll-to-roll; R2R) 방식의 박막 제작 장치의 일 실시예를 나타내는 개략도이다.

도 1에서 도시하는 바와 같이, 롤투롤 박막 제작 장치는, 챔버(100) 내에 기판을 롤 상태로 공급할 수 있는 적어도 한 쌍의 롤러(210, 220)를 포함하는 제 1롤러(200)가 구비된다.

챔버(100)는, 금속 또는 세라믹 재질로 구비될 수 있다. 또한, 가스가 유입될 수 있는 유입부(도시되지 않음)와 배기를 위한 배기부(도시되지 않음)가 구비될 수 있다. 이하, 챔버(100)에 대한 자세한 설명은 생략한다.

이러한 제 1롤러(200)를 통하여 박막을 형성하기 위한 기판(10)이 롤 형태로 공급될 수 있으며, 한 쌍의 롤러(210, 220)의 사이의 영역에서 박막 형성 영역이 정의될 수 있다.

이때, 이러한 한 쌍의 롤러(210, 220) 중 적어도 하나 이상은 열을 발산할 수 있는 히팅 롤러(heating roller)가 구비될 수 있다.

즉, 두 롤러(210, 220)가 모두 히팅 롤러로 구비되거나, 그 중 하나만이 히팅 롤러로 구비될 수 있다. 히팅 롤러가 하나가 이용되는 경우에는 기판이 이송되는 초기 지점에 위치하는 롤러(210)가 히팅 롤러로 구비되는 것이 유리하다.

이하, 두 롤러(210, 220)가 모두 히팅 롤러인 경우를 예로 설명한다.

이러한 히팅 롤러(210, 220)는 외부의 에너지원에 의하여 롤러의 접촉면에 열을 발산할 수 있는 롤러로서, 이러한 히팅 롤러(210, 220)로는 유도 가열 방식, 물 또는 오일 가열 방식 및 열선 히터 가열 방식의 롤러 등이 이용될 수 있다.

이 중에서 유도 가열 방식의 롤러는 롤러의 내부에 유도 코일이 위치하여 전류의 흐름에 의하여 자력선이 발생하고, 이 자력선에 의하여 유도된 와전류가 롤러 표면을 흐르게 되어 롤러 자체가 발열하게 되는 방식이다.

또한, 열선 히터 가열 방식은, 전류가 흐르면 저항 열에 의하여 열선에 열이 발생하는 방식이다.

히팅 롤러(210, 220)는 위에서 설명한 모든 방식의 롤러를 이용할 수 있으며, 여기서 설명되지 않은 방식의 히팅 롤러를 이용할 수도 있음은 물론이다.

이와 같은 히팅 롤러(210, 220)를 포함하는 제 1롤러(200)에 의하여 기판(10)은 박막 형성을 위한 공정 온도까지 승온된 상태에서 박막 형성 영역으로 이송되어 성막이 이루어질 수 있다.

이러한 공정 온도(예를 들면, 300 ℃)로 승온하기 위해서 히팅 롤러(210, 220)의 온도(예를 들면, 350 ℃)로 설정할 수 있다. 즉, 히팅 롤러(210, 220)의 설정 온도는 실제 공정 온도보다 높게 설정될 수 있다.

여기서 공정 온도에 도달하기 위한 히팅 롤러(210, 220)의 온도는 기판(10)의 이송 속도(예를 들면, 100 mm/sec)와 롤러(210, 220)의 직경(예를 들면, 50 mm), 그리고 챔버(100)의 온도(예를 들면, 25 ℃)에 의해서 결정될 수 있다.

한편, 외부로의 열 손실을 최소화하기 위해 히팅 롤러(210, 220)의 외부 면을 연마(polishing) 또는 코팅(coating)과 같은 표면처리를 할 수 있다.

또한, 박막 형성 영역의 일측에는 증착원(400)이 구비되어, 이러한 증착원(400)에서 제공되는 원료에 의하여 기판(10)에 박막이 증착되어 형성될 수 있다.

히팅 롤러(210, 220)를 포함하는 제 1롤러(200)의 일측에는 기판(10)을 공급하는 제 2롤러(300)가 구비될 수 있다.

이와 같은 제 2롤러(300)는 히팅 롤러(210, 220)의 일측에서 기판(10)을 공급하는 역할만을 수행할 수 있다.

여기서, 제 1롤러(200)와 제 2롤러(300)는, 기판(10)의 공급 방향이 변화되도록 서로 이격되어 위치할 수 있다. 따라서 기판(10)에 추가적으로 장력을 제공할 수 있다.

이상에서 설명한 박막 제작 장치는 추가적인 히터를 사용하지 않고 롤투롤 장치에 이용되는 롤러를 히터로 활용하고 있어 그 구성이 단순할 수 있다.

즉, 롤투롤 공정에서 필수적인 기구물인 롤러를 히팅하여 이용함으로써, 추가적인 히터를 구성할 필요 없이 기판(10)을 승온할 수 있다.

또한, 히팅 롤러(210, 220)와 기판(10)이 직접 접촉하여 열이 전달되기 때문에 챔버(100) 내부가 진공으로 유지되는 경우에도 기판(10)을 안정적으로 승온시킬 수 있다.

더구나, 투명한 기판(10)을 이용하는 경우에도 열의 흡수 효율이 저하되지 않고 효율적으로 기판(10)을 승온시킬 수 있는 것이다.

이와 같이, 증착 공정 직전에 위치하는 롤러에 가열 기능을 구성하고, 증착원(400) 만으로도 박막 형성 장치를 구성할 수 있다.

기판(10)의 온도는 히팅 롤러(210, 220)의 설정 온도를 통해 제어될 수 있으며, 그 설정 온도는 증착원(400)에서 나오는 증착 원료와 기판(10)의 반송 속도와 히팅 롤러(210, 220)의 직경에 의해서 결정될 수 있다.

또한, 승온률을 조절하기 위해 히팅 롤러(210, 220)의 직경을 조절할 수 있으며, 위에서 언급한 바와 같이, 박막 형성 영역을 크게 조정하기 위해서 두 개 이상의 히팅 롤러(210, 220)를 사용할 수 있다.

한편, 도 2에서 도시하는 바와 같이, 증착원(400)의 일측에는 기판 지지부(500)가 더 구비될 수 있다.

이러한 기판 지지부(500)는 기판(10)의 위치를 고려하면 증착원(400)의 반대 측에 위치할 수 있다.

증착 구간이 길어 증착 중 온도 유지가 어려울 경우에는 증착원(400) 표면의 온도를 조절하거나, 추가적으로 온도 조절이 가능한 기판 지지부(susceptor; 500)를 통해서 일정한 온도 분위기에서 성막이 이루어질 수 있다.

이러한 기판 지지부(500)는 탄소로 제작될 수 있으며, 그 표면이 특정 물질로 피복될 수 있다. 예를 들어, 부식에 잘 견딜 수 있는 탄화규소(SiC)와 같은 물질로 피복될 수 있다.

도 3에서는 롤투롤(roll-to-roll) 방식의 박막 제작 장치의 다른 실시예를 나타내는 개략도를 나타내고 있다.

경우에 따라 박막 제작 장치에서 다수의 증착원(400)을 이용할 경우가 있으며, 본 실시예에서는 두 개의 증착원(410, 420)을 이용하는 예를 나타내고 있다. 이에 따라, 기판 지지부(500)도 증착원(410, 420)에 대응하는 위치에 두 개소(510, 520) 구비될 수 있다.

이와 같이, 두 개의 증착원(410, 420)을 이용하여 연속적으로 증착할 경우, 두 증착원(410, 420) 사이의 간섭을 막기 위해 두 개의 증착원(410, 420) 사이에 일정 거리가 확보되어야 할 필요가 있을 수 있다.

이때, 증착 온도를 일정하기 유지하고 그 온도를 보정하기 위하여 두 증착원(410, 420) 사이에 차단부(Shielding Unit; 600)를 구성할 수 있다.

여기서, 차단부(600)는 기판(10)에서 복사에 의한 열 손실을 제거하기 위해 그 온도를 공정 온도로 설정할 수 있다. 즉, 차단부(600)가 온도 조절 기능을 가질 수 있다.

또한 공정 중 발생할 수 있는 온도 변화를 효과적으로 보상하기 위해, 차단부(600)의 기판(10)과 마주하는 면을 표면 처리하여 복사 효율을 높일 수 있다. 예를 들어, 차단부(600)의 기판(10)과 마주하는 면을 열처리할 수 있다.

한편, 차단부(600)의 외부로 손실될 수 있는 열 손실을 최소화하기 위해 외부 면을 표면 처리할 수 있다. 예를 들어, 차단부(600)의 표면을 연마(Polishing)하거나 특정 물질을 이용하여 코팅할 수 있다.

만일, 히팅 롤러(210, 220)와 증착원(400) 사이의 거리가 길어야 하는 제약 조건에 있는 경우에는 열 방출이 가능한 차단부(600)를 구성하여 승온된 온도가 유지되도록 할 수 있다.

또한, 위에서 설명한 바와 같이, 두 개 이상의 증착원(410, 420)을 이용하고 그 사이 간격이 충분히 긴 경우에도 열 방출이 가능한 차단부(600)를 이용하여 설정 온도를 유지할 수 있다.

도 4에서는 롤투롤(roll-to-roll) 방식의 박막 제작 장치의 다른 실시예를 나타내는 개략도를 나타내고 있다.

본 예에서는 도 1과 비교하면 제 2롤러 중 하나가 히팅 롤러(230)로 대체된 차이가 있다. 즉, 박막 형성 영역을 정의하는 제 1롤러(210, 220) 외에, 기판(10)을 이송하는 롤러 중 하나의 롤러(230)를 히팅 롤러로 구비하는 예를 나타내고 있다.

여기서, 챔버(100) 내에서 히팅 롤러(230)는 기판(10)이 공급되는 선행 위치에 위치할 수 있다.

박막 제작을 위한 공정 온도가 높을 경우에 기판(10)의 승온 시간이 히팅 롤러의 직경과 공급 속도에 의해 제한되기 때문에 그 승온율이 매우 높기 때문에 기판(10)에 손상을 줄 가능성이 있다.

따라서, 추가적인 히팅 롤러(230)를 이용하여, 둘 이상의 히팅 롤러(210, 220, 230)를 사용함으로써 기판(10)을 승온하여 승온률을 조절할 수 있다.

본 예에서는 세 개의 히팅 롤러(210, 220, 230)를 적용한 예를 나타내고 있으나, 그 이상의 롤러를 히팅 롤러로 적용할 수 있음은 물론이다.

도 5에서는 비교예로서 통상의 별도의 히터를 이용하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치에서, 히터에 의해 승온되는 기판의 시간에 따른 온도 변화와 그 사이의 기체의 평균 온도를 계산한 결과를 나타내고 있다.

여기서 히터의 상부와 하부의 온도는 각각 600 ℃와 80 ℃로 설정하여 계산된 결과이다. 본 계산 결과에서 기판을 300 ℃까지 승온하는데 필요한 시간은 약 20분인 것을 알 수 있다.

이는, 반송 속도가 100 mm/sec인 경우, 필요한 가열 영역의 길이는 약 12 m로서, 진공 챔버의 길이가 그만큼 커지게 된다.

도 6은 위에서 설명한 박막 제작 장치의 히팅 롤러(210)에 의해 승온되는 기판(10)의 증착원(400)까지의 길이에 따른 온도 분포를 계산한 결과이다. 이하, 하나의 히팅 롤러(210)를 이용한 계산 결과를 설명한다.

도 6(a)는 길이 방향과 기판(10)의 두께 방향에 대한 2차원적 온도 분포를 나타내고 있고, 도 6(b)는 두께 방향에 대해 평균하여 얻은 길이 방향의 1차원적 온도 분포를 나타내고 있다.

위에서 설명한 실시 예에 따라 본 계산 결과는 히팅 롤러(210)의 직경을 50 mm, 온도를 600 ℃, 그리고 반송 속도를 100 mm/sec로 설정하여 얻은 결과이다.

본 계산 결과에서 보면, 상온에서 주입되어 공급된 기판(10)이 히팅 롤러(210)와 접촉한 약 0.4 초의 시간 안에 약 500 ℃까지 승온되어 증착원(400) 아래로 이송될 수 있다.

즉, 기판(10)의 온도는 히팅 롤러(210)의 위치에서 매우 짧은 시간 내에 설정 온도에 가까이 승온되는 것을 알 수 있다.

따라서, 챔버(100)의 크기를 소형화할 수 있고, 기판(10)의 온도 조절을 용이하게 할 수 있음을 알 수 있다.

여기서 최종 온도는 히팅 롤러(210)의 직경과 온도, 반송 속도에 의해서 결정될 수 있다.

도 7은 히팅 롤러(210)의 온도와 기판(10)의 온도의 관계를 나타내는 그래프이다.

본 그래프에서는 히팅 롤러(210)의 직경과 반송 속도가 일정한 경우에, 히팅 롤러(210)에 의해 승온되는 기판(10)의 최종 온도가 히팅 롤러(210)의 온도에 선형적으로 비례한다는 계산 결과를 나타낸다.

즉, 히팅 롤러(210)의 온도 제어를 통해 효과적으로 기판(10)의 온도를 제어할 수 있음을 알 수 있다. 이는 히팅 롤러(210)의 직경을 50 mm, 그리고 반송 속도를 100 mm/sec로 설정하여 얻은 결과이다.

도 8 및 도 9는 각각 히팅 롤러(210)의 직경 및 속도와 기판(10)의 온도의 관계를 나타내는 그래프이다.

그래프에서 보면, 위에서 설명한 박막 제작 장치의 히팅 롤러(210)에 의해 승온되는 기판(10)의 최종 온도가 히팅 롤러(210)의 직경과 이송 속도에 의해서 결정되는 것을 알 수 있다.

도 8은 히팅 롤러(210)의 온도(예를 들어, 600 ℃)와, 반송 속도(예를 들어, 100 mm/sec)가 일정한 조건에서 히팅 롤러(210)의 직경에 따른 기판(10)의 최종 온도를 계산한 결과이다.

본 계산 결과에서 히팅 롤러(210)의 직경이 커짐에 따라 기판(10)과의 열 교환이 이루어지는 시간이 증가하여 기판(10)의 최종 온도는 더 높아지며, 히팅 롤러(210)의 직경이 약 30 mm 이상에서 히팅 롤러(210)의 온도에 가깝게 수렴하게 된다.

도 9는 히팅 롤러(210)의 온도(예를 들어, 600 ℃)와, 직경(예를 들어, 50 mm)이 일정한 조건에서 이송 속도에 따른 기판(10)의 최종 온도를 계산한 결과이다.

본 계산 결과에서 반송 속도가 커짐에 따라 열 교환이 이루어지는 시간이 줄어들어 기판(10)의 최종 온도는 줄어들고, 0.06 m/sec 이하의 이송 속도에서 히팅 롤러(210)의 온도에 가깝게 수렴하게 된다.

여기서 수렴하는 온도는 히팅 롤러(210)의 온도와 기판(10) 표면의 열 방사율에 의해 주로 결정된다.

도 10은 두 개의 히팅 롤러(210, 220)에 의해 승온되는 기판(10)의 증착원(10)까지의 온도 분포를 계산한 결과를 나타내고 있다.

승온률을 조정하기 위해서 1차 히팅 롤러(210; 도 10에서는 제 1롤러로 표시하고 있다.)에 의해 일정 온도(예를 들어, 300 ℃)까지 승온하고, 2차 히팅 롤러(220; 제 2롤러로 표시하고 있다.)에 의해 최종 온도(예를 들어, 600 ℃)까지 승온되는 결과의 그래프를 나타내고 있다.

이와 같이, 두 개의 히팅 롤러(210, 220)를 이용하는 경우에 온도 분포를 박막 증착 상황에 따라 다양하게 설계하여 기판(10)의 온도를 제어할 수 있음을 알 수 있다.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.

100: 챔버 200: 제 1롤러
210, 220, 230: 히팅 롤러 300: 제 2롤러
400: 증착원 500: 기판 지지부
600: 차단부

Claims (10)

1. 챔버;
   상기 챔버 내에 위치하여 기판을 롤 상태로 공급하며, 박막 형성을 위한 형성 영역을 제공하는 적어도 한 쌍의 롤러를 포함하고, 상기 적어도 한 쌍의 롤러 중 적어도 하나는 히팅 롤러인 제 1롤러;
   상기 제 1롤러의 일측에 위치하여 상기 형성 영역에 상기 기판을 공급하는 다수의 제 2롤러; 및
   상기 형성 영역 상에 위치하는 증착원을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 제 1롤러는, 상기 형성 영역의 양측에 위치하는 적어도 한 쌍의 히팅 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 증착원의 기판 대향 측에는, 기판 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 증착원은 두 개소 이상인 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
5. 제 4항에 있어서, 상기 두 개소의 증착원 사이에는 두 증착원의 간섭을 막기 위한 차단부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
6. 제 5항에 있어서, 상기 차단부는, 상기 기판의 양측에 위치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
7. 제 4항에 있어서, 상기 두 개소 이상의 증착원의 기판 대향측에는, 두 개소 이상의 기판 지지부가 위치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
8. 제 1항에 있어서, 상기 제 2롤러 중 적어도 하나는 히팅 롤러인 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
9. 제 1항에 있어서, 상기 챔버는, 금속 또는 세라믹 재질인 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.
10. 제 1항에 있어서, 상기 제 1롤러와 제 2롤러는, 상기 기판의 공급 방향이 변화되도록 서로 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치.

Images