KR20160069489A - 기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치 - Google Patents

기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치 Download PDF

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Abstract

기판 검사장치는 투영부, 조명부, 이미지 획득부 및 처리부를 포함한다. 투영부는 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 검사대상물에 조사한다. 조명부는 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 검사대상물에 조사한다. 이미지 획득부는 투영부로부터 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 조명부로부터 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득한다. 처리부는 획득된 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 이미지 획득부에서 획득된 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하고, 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다. 이에 따라, 검사의 정확성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치{METHOD OF INSPECTING TERMINAL OF COMPONENT FORMED ON BOARD AND BOARD INSPECTION DEVICE}
본 발명은 부품의 터미널 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자장치 내에는 적어도 하나의 인쇄회로기판(printed circuit board; PCB)이 구비되며, 이러한 인쇄회로기판 상에는 회로 패턴, 연결 패드부, 상기 연결 패드부와 전기적으로 연결된 구동칩 등 다양한 회로 부품들이 장착되어 있다.
이러한 부품들은 각 부품의 터미널(terminal)들이 인쇄회로기판의 패드에 솔더링(soldering)되는 방식으로 장착되고, 장착된 후에는 부품이 인쇄회로기판에 제대로 솔더링되었는지 검사할 필요가 있다. 이러한 검사 시, 검사의 정확도를 높이기 위하여 부품의 터미널 영역과 솔더 영역을 명확하게 구분하는 것이 중요하다. 상기 영역들을 명확히 구분하기 위해서 상기 부품의 터미널 영역의 경계, 예를 들면, 부품의 터미널 엔드(terminal end)를 찾는 것이 중요하다.
종래에는 2차원 영상에서 부품의 터미널 엔드를 찾는 방법, 높이값을 측정한 후 기준 높이 이상을 문턱값(threshold)으로 하여 이진화한 후 직사각형 피팅(rectangle fitting)을 실시하여 터미널 엔드를 찾는 방법 등이 채용되어 왔다.
그러나, 터미널 엔드 부분은 빛의 난반사가 심하고 측정 노이즈(noise)가 존재하여 정확도와 신뢰성이 떨어지는 문제가 있다. 또한, 예를 들어 노트북, 스마트 패드 및 핸드폰 등에 탑재되는 부품과 같이 부품의 크기가 작은 경우에는, 영상을 촬영하는 카메라의 해상도에 따른 픽셀의 크기에 비해 부품의 크기가 매우 작으므로, 오차가 가중되는 문제가 있다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판 상에 형성된 부품의 터미널의 경계를 정확하게 설정할 수 있는 부품의 터미널 검사방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 기판 상에 형성된 부품의 터미널의 경계를 정확하게 설정할 수 있는 기판 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 부품의 터미널 검사방법은 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득하는 단계, 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계 및 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계를 포함한다.
일 실시예로, 상기 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계는, 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하는 단계 및 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광은 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각으로 조사될 수 있고, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들은 적어도 제1 컬러광 및 상기 제1 컬러광과 다른 컬러를 갖는 제2 컬러광을 포함하되, 상기 제1 컬러광은 상기 제1 경사각보다 작은 제2 경사각으로 조사되고, 상기 제2 컬러광은 상기 제1 경사각보다 큰 제3 경사각으로 조사될 수 있다.
상기 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계는, 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 상기 검사대상물의 터미널을 포함하는 검사영역을 설정하는 단계, 상기 검사영역 내에서 상기 터미널의 일측 경계로부터 타측 경계를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정하는 단계, 상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 검출하는 단계 및 상기 픽셀별 색상 정보의 변화 및 상기 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정될 수 있고, 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화일 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 컬러는 적색이고, 상기 색상의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 증가하고, 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 감소하며, 상기 터미널의 경계는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정될 수 있다.
상기 부품의 터미널 검사방법은, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하는 단계 및 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계는, 상기 수정된 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다. 일 실시예로, 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계에서, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정할 수 있다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 기판 검사장치는 투영부, 조명부, 이미지 획득부 및 처리부를 포함한다. 상기 투영부는 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사한다. 상기 조명부는 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사한다. 상기 이미지 획득부는 상기 투영부로부터 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 상기 조명부로부터 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득한다. 상기 이미지 획득부는 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 상기 이미지 획득부에서 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하고, 상기 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다.
일 실시예로, 상기 처리부는 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하고, 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득할 수 있다.
일 실시예로, 상기 투영부는 적어도 하나가 배치되어 상기 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각으로 조사할 수 있고, 상기 조명부는 제1 컬러를 갖는 제1 컬러광을 상기 검사대상물에 상기 투영부의 제1 경사각보다 작은 제2 경사각으로 조사하는 제1 조명부 및 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 제2 컬러광을 상기 검사대상물에 상기 투영부의 제1 경사각보다 큰 제3 경사각으로 조사하는 제2 조명부를 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 처리부는 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 설정되며 상기 검사대상물의 터미널을 포함하는 검사영역 내에서, 상기 터미널의 일측 경계로부터 타측 경계를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정하고, 상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다.
일 실시예로, 상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정될 수 있고, 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화일 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 컬러는 적색이고, 상기 색상의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 증가하고, 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 감소하며, 상기 터미널의 경계는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정될 수 있다.
일 실시예로, 상기 처리부는, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하고 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하며, 상기 수정된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다. 상기 처리부는, 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정할 때, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정할 수 있다.
본 발명에 따르면, 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 이미지와 컬러 이미지로부터 각각 명도 정보 및 색상 정보를 획득하여 이로부터 검사대상물의 터미널 경계를 획득함으로써 높은 정확성과 신뢰성을 확보할 수 있으며, 이에 따라 검사의 정확성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이미지의 픽셀별로 정량화한 데이터로부터 상기 검사대상물의 터미널 경계를 획득할 수 있고, 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 그래프와 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 그래프의 교점으로 터미널 엔드를 결정함으로써, 부품의 터미널의 경계를 서브픽셀 단위로 찾을 수 있고 부품의 크기가 작은 경우에도 보다 정확한 부품의 터미널의 경계를 획득할 수 있다.
또한, 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 이미지로부터 3차원 형상 정보를 획득할 수 있을 뿐만 아니라 명도 정보의 추출에도 활용함으로써, 효율적인 데이터 활용이 가능할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사장치를 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 부품의 터미널 검사방법을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 도 2에서 터미널 경계를 획득하는 과정의 일 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 4는 도 3의 터미널 경계를 획득하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 도 4에 도시된 검사영역에 대한 합성 이미지를 나타낸 이미지이다.
도 6은 도 5에 도시된 구간에서 색상 및 명도의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 7 및 도 8은 도 5 및 도 6의 픽셀별 색상의 변화 및 픽셀별 명도의 변화를 설명하기 위한 개념도들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사장치를 나타낸 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사장치(100)는 투영부(110), 조명부(120), 이미지 획득부(130) 및 처리부(140) 등을 포함할 수 있다. 상기 기판 검사장치(100)는 검사대상물(10)인 부품의 터미널의 검사를 위해 제공될 수 있다. 이때, 상기 검사대상물(10)의 터미널은 상기 부품의 일 단부를 의미하며, 하나로 형성될 수도 있고 여러 개로 형성될 수도 있다.
상기 투영부(110)는 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물(10)에 조사한다.
상기 검사대상물(10)은 기판(20) 상에 형성된 부품을 포함할 수 있다. 상기 기판(20)은 스테이지(stage)(30) 상에 배치될 수 있다.
일 실시예로, 상기 투영부(110)는 상기 검사대상물(10)을 향하여 격자패턴광을 n번 조사할 수 있으며, 위상천이된 격자패턴광을 조사하기 위하여 격자이송기구를 이용하거나 액정표시장치를 이용하여 격자패턴을 n번 이송할 수 있다. 후술하는 이미지 획득부(130)에서는 상기와 같이 조사된 격자패턴광에 따른 격자패턴 이미지를 획득할 수 있다.
상기 투영부(110)는 상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 방향으로 조사하거나, 평면에 수직한 법선을 기준으로 경사지게 조사할 수 있고, 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 경사각(a1)으로 조사할 수 있다.
상기 투영부(110)는 복수로 배치될 수 있다. 일 실시예로, 4개의 투영부(110)들이 상기 검사대상물(10)을 평면적으로 관측할 때 원주 둘레를 4분할하는 위치에 각각 등간격으로 이격되어 배치될 수 있다.
이와 같이, 상기 투영부(110)는 소정의 위치에 복수로 배치되어서, 각각 상기 검사대상물(10)을 향하여 격자패턴광을 일정한 경사각으로 조사할 수 있다.
상기 조명부(120)는 상기 검사대상물(10)의 컬러 이미지를 획득하기 위하여, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물(10)에 조사한다.
일 실시예로, 상기 조명부(120)는 제1 조명부(122), 제2 조명부(124) 및 제3 조명부(126)를 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 조명부(122)는 제2 경사각(a2)으로 제1 컬러광을 상기 검사대상물(10)에 조사할 수 있고, 상기 제2 조명부(124)는 제3 경사각(a3)으로 제2 컬러광을 상기 검사대상물(10)에 조사할 수 있으며, 상기 제3 조명부(126)는 제4 경사각(a4)으로 제3 컬러광을 상기 검사대상물(10)에 조사할 수 있다.
여기서, 상기 제2 경사각(a2)은 상기 투영부(110)들의 제1 경사각(a1)보다 작고, 상기 제3 경사각(a3) 및 상기 제4 경사각(a4)은 상기 투영부(110)들의 제1 경사각(a1)보다 크다. 상기 제1, 제2 및 제3 컬러광들은 서로 다른 컬러들을 가지며, 예를 들면, 각각 적색, 녹색 및 청색의 컬러를 가질 수 있다.
상기 제1 조명부(122), 상기 제2 조명부(124) 및 상기 제3 조명부(126)는 각각 링 형상을 가질 수 있으며, 예를 들면, 엘이디(LED) 조명이 연속적으로 배치되어 각각 링 형상의 단색 조명을 발생시킬 수 있다.
한편, 상기 제1 조명부(122)는 상기 검사대상물(10)을 거의 수직으로 조사하도록, 상기 제2 경사각(a2)을 0도 또는 거의 0도(예컨대, 0도~10도)로 설정할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 조명부(122)는 상기 이미지 획득부(130)에 대해서 동축(coaxial) 조명이 될 수 있다. 또한, 상기 제1 조명부(122)는 링 형상을 갖지 않을 수 있으며, 기구적 배치 설계의 적정성에 따라 상기 제1 조명부(122)는 상기 이미지 획득부(130)의 주위에 배치시키고 상기 제1 조명부(122)에서 발생된 광을 수직 하방으로 조사하도록 광경로를 변경하는 미러(mirror) 혹은 빔스플리터(beam splitter) 등을 채용할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 조명부(122)에서 출사되는 광의 경사각은 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 법선을 기준으로 90도 또는 거의 90도(예컨대, 85도~95도)로 설정할 수 있고, 상기 미러 혹은 빔스플리터를 경유하여 상기 검사대상물(10)로 조사되는 상기 제2 경사각(a2)은 앞서 설명한 경우와 동일하게 0도 또는 거의 0도(예컨대, 0도~10도)로 설정될 수 있다.
상기 이미지 획득부(130)는 상기 투영부(110)들로부터 조사되어 상기 검사대상물(10)에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 상기 조명부(120)로부터 조사되어 상기 검사대상물(10)에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득한다. 상기 이미지 획득부(130)는, 예를 들면, 이미지 획득을 위한 카메라를 포함할 수 있다.
이러한 상기 이미지 획득부(130)는 적어도 하나로 구성되어 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 방향 또는 평면에 수직한 법선을 기준으로 경사진 상태에서 상기 이미지를 획득할 수 있다.
예를 들어, 각 이미지 획득부(130)는 평면에 수직한 방향에 적어도 하나, 경사진 상태에 적어도 하나의 카메라를 구비하여 적어도 하나의 제1 이미지 및 제2 이미지를 획득할 수 있다.
상기 제1 이미지는 상기 격자패턴광에 따른 격자패턴 이미지를 포함할 수 있으며, 복수의 격자패턴 이미지들에, 예를 들면, 주지의 버킷 알고리즘(bucket algorithm)을 적용하여 상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득할 수 있다.
상기 제2 이미지는 적어도 2개의 컬러광들을 이용하여 획득한 이미지로서, 상기 검사대상물(10)의 평면 컬러 이미지이다.
상기 처리부(140)는 상기 이미지 획득부(130)에서 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 상기 이미지 획득부(130)에서 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득한다.
상기 이미지 획득부(130)를 통해 획득된 상기 제1 이미지는 이미지 처리를 통해 흑백 이미지 또는 단색 이미지로 변환될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 이미지가 격자패턴 이미지일 경우, 복수의 격자패턴 이미지들을 평균화하는 이미지 처리를 통해 흑백 이미지를 생성할 수 있다. 이에 따라, 상기 처리부(140)는 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득할 수 있다. 이때, 상기 제1 이미지는, 예를 들면, 주지의 버킷 알고리즘(bucket algorithm)과 같은 방식을 적용함으로써 3차원 형상 정보를 획득하기 위해서도 활용될 수 있음은 물론이다. 이에 더하여, 상기 제1 이미지는 상기와 같이 명도 정보의 추출에도 활용될 수 있으므로, 효율적인 데이터 활용이 가능할 수 있다.
상기 이미지 획득부(110)를 통해 획득된 상기 제2 이미지는 적어도 2개의 컬러광들을 이용하여 획득된 이미지이므로 컬러 정보를 포함한다. 이에 따라, 상기 처리부(140)는 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득할 수 있다.
상기 처리부(140)는 상기 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물(10)의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다.
한편, 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보는 색의 3속성인 색상(hue), 채도(chroma or saturation) 및 명도(brightness) 중 명도와 색상에 관한 정보를 의미한다. 상기 색상, 채도 및 명도는 디지털 이미지 처리를 하기 위하여 정량화될 수 있다. 예를 들면, 상기 색상, 채도 및 명도는 HSI, HSV, HSL 등과 같이 표현될 수 있으며, H는 hue, S는 saturation을 의미한다. 또한, I, V, L은 명도를 나타내며, 각각 intensity, value, lightness를 의미한다.
상기 처리부(140)는 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하고, 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득할 수도 있다.
상기 처리부(140)는 상기와 같은 이미지 처리 등을 수행할 수 있는 장치일 수 있으며, 예를 들면, 해당 이미지 처리 프로세싱을 수행하는 임베디드 SW 구동부, 컴퓨터 등을 포함할 수 있다. 상기 처리부(140)는 상기한 구성요소들, 즉, 상기 투영부(110)들, 상기 조명부(120), 상기 이미지 획득부(130) 등의 동작을 제어할 수도 있다.
한편, 상기 처리부(140)는, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하고 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정할 수 있다. 예를 들면, 상기 높이 데이터는 높이 분포를 나타내는 이미지, 높이 분포를 나타내는 분포 맵(map), 위치별 높이값 자체 등을 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 처리부(140)가 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정할 때, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정하는 방식으로 수정할 수 있다. 즉, 획득된 상기 명도 정보에서 기 설정된 기준 높이 이하의 높이에 해당하는 부분은 그림자 영역과 같이 실제로 터미널 영역의 외부에 존재하는 영역일 가능성이 높으므로, 이때의 명도 정보는 0으로 설정할 수 있다.
또한, 획득된 상기 명도 정보는, 예를 들면, intensity, value, lightness 중 어느 하나의 형태일 수 있는데, 상기 명도 정보의 수정 시 다른 형태로 수정될 수 있다. 예를 들면, 획득된 상기 명도 정보가 intensity인 경우, 상기 명도 정보는 value 형태로 수정될 수 있다.
한편, 위와 같은 명도 정보의 수정 시에 히스토그램을 이용한 이미지 처리를 활용할 수 있다.
상기 처리부(140)는 상기 수정된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다.
이하, 일 예로 상기와 같은 기판 검사장치(100)를 이용하여, 상기 기판(20) 상에 형성된 부품(10)의 터미널을 검사하기 위한 방법을 도면을 참조로 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 부품의 터미널 검사방법을 나타낸 흐름도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 먼저 3차원 형상 정보 획득을 위한 광의 조사에 따른 제1 이미지를 획득한다(S110).
일 실시예로, 상기 투영부(110)는 상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 격자패턴광을 상기 검사대상물(10)에 조사하고, 상기 이미지 획득부(130)는 상기 격자패턴광이 상기 검사대상물(10)에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득할 수 있다.
도 1에서 설명한 바와 같이, 상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광은 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각(a1)으로 조사될 수 있다.
이어서, 각기 다른 컬러광들의 조사에 따른 제2 이미지 획득한다(S120).
일 실시예로, 상기 조명부(120)는 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물(10)에 조사하고, 상기 이미지 획득부(130)는 상기 컬러광들이 상기 검사대상물(10)에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득할 수 있다.
도 1에서 설명한 바와 같이, 상기 광들은 서로 다른 컬러의 제1 컬러광, 제2 컬러광 및 제3 컬러광을 포함할 수 있고, 상기 제1 컬러광은 상기 제1 경사각(a1)보다 작은 제2 경사각(a2)으로 조사되고, 상기 제2 컬러광 및 상기 제3 컬러광은 각각 상기 제1 경사각(a1)보다 큰 제3 경사각(a1) 및 제4 경사각(a4)으로 조사될 수 있다. 일 실시예로, 상기 제1, 제2 및 제3 컬러광들은 각각 적색광, 녹색광 및 청색광이다.
한편, 상기 제1 이미지를 획득하는 과정(S110) 및 상기 제2 이미지를 획득하는 과정(S120)은 그 순서에 한정되지 않는다. 따라서, 제2 이미지를 획득한 후 제1 이미지를 획득할 수도 있으며, 복수의 제1 이미지들 및 복수의 제2 이미지들을 교대로 획득할 수도 있다.
다음으로, 제1 및 제2 이미지들로부터 각각 명도 정보 및 색상 정보를 획득한다(S130).
이때, 먼저 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하고, 이어서 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득할 수도 있다.
한편, 상기와 같이 획득된 제1 및 제2 이미지들 또는 상기 합성 이미지는 이미지 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 용이하고 정확하게 획득하기 위해서 소정의 이미지 처리가 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 이미지 또는 상기 제1 이미지들을 평균화하여 생성된 흑백 이미지는 기 설정된 기준 높이 이상에 대해서 명도값을 부여하고 상기 기준 높이 미만에 대해서는 명도값을 0으로 설정하는 등의 방법으로 상기 명도 정보를 강화(enhancement) 또는 수정할 수 있다. 또한, 상기 제2 이미지 또는 상기 합성 이미지에 나타난 R, G, B 값 또는 H, S, V 값에 가중치를 주는 등의 방법으로 상기 색상 정보를 강화할 수 있다.
이어서, 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 터미널 경계 중 적어도 일부를 획득한다(S140).
상기와 같이 명도 정보 및 색상 정보를 획득하는 과정(S130) 및 터미널 경계 중 적어도 일부를 획득하는 과정(S140)은 상기 처리부(140)에서 수행할 수 있다.
도 3은 도 2에서 터미널 경계를 획득하는 과정의 일 실시예를 나타낸 흐름도이고, 도 4는 도 3의 터미널 경계를 획득하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 먼저 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 검사영역(IA)을 설정한다(S142).
상기 검사영역(IA)은 상기 검사대상물(10)인 부품의 터미널(10a)을 포함하도록 설정된다.
이어서, 상기 검사영역(IA) 내에서 상기 터미널의 일측 경계(B1)로부터 타측 경계(B2)를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)(RD)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정한다(S144).
도 5는 도 4에 도시된 검사영역에 대한 합성 이미지를 나타낸 이미지이고, 도 6은 도 5에 도시된 구간에서 색상 및 명도의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 검사영역(IA) 내의 어느 한 라인에서 상기 제1 컬러에 해당하는 적색이 다른 컬러로 변화하는 구간(CS)을 설정할 수 있다. 편의상 도 5에 도시된 바와 같이 이미지의 좌표계(XY)를 정의할 때, 예를 들면, Y=y1에 해당하는 픽셀 라인에서 적색이 다른 컬러로 변화하는 구간은 X=x1, X=x2, X=x3에 대응되는 픽셀 구간이다.
다시 도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 다음으로, 상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 검출한다(S146). 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향(RD)에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화일 수 있다.
상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정될 수 있다. 예를 들면, 도 1에서 설명된 바와 같이, 색상, 명도 및 채도는 HSI, HSV, HSL 등과 같이 표현될 수 있다. 일 실시예로, 도 6에서는 HSV를 이용하여 정량화되며, 상기 색상은 H(hue), 상기 명도는 V(value)로 정량화되어 있다.
이어서, 상기 픽셀별 색상 정보의 변화 및 상기 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다(S148).
도 7 및 도 8은 도 5 및 도 6의 픽셀별 색상의 변화 및 픽셀별 명도의 변화를 설명하기 위한 개념도들이다.
도 1 및 도 7을 참조하면, 상기 부품의 터미널(10a)의 경우, 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 법선을 기준으로 작은 경사각으로 조사된 광이 상기 이미지 획득부(130)에 많이 입사되고, 큰 경사각으로 조사된 광이 상기 이미지 획득부(130)에 적게 입사된다. 이에 따라, 상기 조명부(120)에서 가장 큰 경사각으로 광이 조사되는 상기 제1 조명부(122)에서 조사된 제1 컬러광이 상기 이미지 획득부(130)에 가장 많이 입사된다.
반면, 도 1 및 도 8을 참조하면, 상기 부품의 터미널(10a)에 인접하여 형성된 솔더(40)의 경우, 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 법선을 기준으로 작은 경사각으로 조사된 광이 상기 이미지 획득부(130)에 적게 입사되고, 큰 경사각으로 조사된 광이 상기 이미지 획득부(130)에 많이 입사된다. 이에 따라, 상기 조명부(120)의 제1 조명부(122)에서 조사된 제1 컬러광이 상기 이미지 획득부(130)에 가장 적게 입사된다.
이와 같이, 상기 부품의 터미널(10a)의 경계인 터미널 엔드에서 급격한 색상의 변화가 발생할 수 있다. 따라서, 가장 작은 경사각으로 상기 검사대상물(10)에 조사되는 상기 제1 컬러광의 제1 컬러가 상기 제2 이미지 상에서 급격하게 변하는 지점을 터미널 엔드로 간주할 수 있다.
한편, 상기 조명부(120)의 복수의 컬러광들은 빛의 산란으로 인해 원하는 대로 검출되지 않을 수 있고, 광량의 부족으로 인해 상기 제2 이미지에서 각 컬러가 명확히 구분되지 않을 수 있다. 따라서, 상기 색상의 변화만으로 상기 부품의 터미널 엔드를 결정하는 것은 어려움이 있고, 그 결과도 부정확할 수 있다.
상기 투영부(110)에 의해 획득된 제1 이미지가 이러한 문제점을 보완할 수 있다.
상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 상기 투영부(110)에 의한 제1 이미지 또는 상기 제1 이미지의 변환 이미지는 높이에 따라 상기 부품의 터미널(10a)에서 밝게 나타나고 주변에서 어둡게 나타난다.
예를 들면, 상기 투영부(110)는, 도 1에서 설명한 바와 같이, 상기 검사대상물(10)을 향하여 격자패턴광을 일정한 경사각으로 조사할 수 있으며, 상기 이미지 획득부(130)를 통해 획득된 상기 제1 이미지는 이미지 처리를 통해 흑백 이미지 또는 단색광 이미지로 변환될 수 있다. 상기와 같이 이미지 처리되어 변환된 이미지는 높이에 따라 상기 부품의 터미널(10a)에서 밝게 나타나고 주변에서 어둡게 나타나므로, 상기 변환된 이미지에서 명도가 높은 부분에서 낮은 부분으로 급격히 변하는 지점을 터미널 엔드로 간주할 수 있다.
따라서, 앞서 설명한 색상 정보의 변화에 더하여 명도 정보의 변화를 이용함에 의해 터미널 엔드와 같은 상기 부품의 터미널(10a)의 경계의 적어도 일부를 결정할 수 있다.
다시 도 5 및 도 6을 참조하면, 일 예로 상기 제1 컬러가 적색일 때, 상기 검사영역(IA) 내의 어느 한 라인에서 설정된 구간(CS)에서, 상기 색상(hue)은 상기 기준 방향(RD)에 따라 상기 구간(CS)에서 증가하고, 상기 명도(value)는 상기 기준 방향(RD)에 따라 상기 구간(CS)에서 감소한다.
구체적으로, 상기 구간(CS)에서, 상기 픽셀별 색상은 X=x1에서 H=h1으로 나타나다가, X=x2, X=x3으로 증가함에 따라 H=h2, H=h3로 증가하고, 상기 픽셀별 명도는 X=x1에서 V=v1으로 나타나다가, X=x2, X=x3으로 증가함에 따라 V=v2, V=v3로 감소한다.
이러한 두 개의 그래프들의 교점은 X=xt에서 형성되는데, 상기 색상 정보의 변화 및 상기 명도 정보의 변화를 모두 고려하면, 상기 교점을 상기 부품의 터미널 엔드라 추정할 수 있다.
이와 같이, 상기 터미널(10a)의 경계인 터미널 엔드는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정될 수 있다. 따라서, 부품의 터미널의 경계를 서브픽셀(sub-pixel) 단위로 찾을 수 있고, 부품의 크기가 작은 경우에도 보다 정확한 부품의 터미널의 경계를 획득할 수 있다.
한편, 도 5의 XY 좌표계 상에서 라인별, 즉 Y 좌표에 따라 상기 터미널 엔드들을 결정하고, 결정된 터미널 엔드들을 이용하여 터미널 엔드의 경계를 설정할 수 있다. 이 경우, Y 좌표에 따른 상기 터미널 엔드들을 최소제곱법과 같은 방법을 이용하여 터미널 엔드의 경계를 획득할 수 있다.
상기와 같이 결정된 부품의 터미널의 경계를 이용하여 상기 부품의 터미널의 불량 여부를 검사할 수 있다.
한편, 상기 부품의 터미널 검사방법은, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하는 단계 및 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 높이 데이터는 높이 분포를 나타내는 이미지, 높이 분포를 나타내는 분포 맵, 위치별 높이값 자체 등을 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계에서, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정하는 방식으로 수정할 수 있다. 즉, 획득된 상기 명도 정보에서 기 설정된 기준 높이 이하의 높이에 해당하는 부분은 그림자 영역과 같이 실제로 터미널 영역의 외부에 존재하는 영역일 가능성이 높으므로, 이때의 명도 정보는 0으로 설정할 수 있다.
또한, 획득된 상기 명도 정보는, 예를 들면, intensity, value, lightness 중 어느 하나의 형태일 수 있는데, 상기 명도 정보의 수정 시 다른 형태로 수정될 수 있다. 예를 들면, 획득된 상기 명도 정보가 intensity인 경우, 상기 명도 정보는 value 형태로 수정될 수 있다.
한편, 위와 같은 명도 정보의 수정 시에 히스토그램을 이용한 이미지 처리를 활용할 수 있다.
이에 따라, 상기 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 터미널 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계(S140)는, 상기 수정된 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다.
상기와 같은 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치에 따르면, 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 이미지와 컬러 이미지로부터 각각 명도 정보 및 색상 정보를 획득하여 이로부터 검사대상물의 터미널 경계를 획득함으로써 높은 정확성과 신뢰성을 확보할 수 있으며, 이에 따라 검사의 정확성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이미지의 픽셀별로 정량화한 데이터로부터 상기 검사대상물의 터미널 경계를 획득할 수 있고, 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 그래프와 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 그래프의 교점으로 터미널 엔드를 결정함으로써, 부품의 터미널의 경계를 서브픽셀 단위로 찾을 수 있고 부품의 크기가 작은 경우에도 보다 정확한 부품의 터미널의 경계를 획득할 수 있다.
또한, 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 이미지로부터 3차원 형상 정보를 획득할 수 있을 뿐만 아니라 명도 정보의 추출에도 활용함으로써, 효율적인 데이터 활용이 가능할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.　 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 검사대상물 20 : 기판
30 : 스테이지 40 : 솔더
100 : 기판 검사장치 110 : 투영부
120 : 조명부 130 : 이미지 획득부
140 : 처리부 110 : 투영부
IA : 검사영역 CS : 구간

Claims (16)

  1. 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득하는 단계;
    획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계; 및
    획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계를 포함하는 부품의 터미널 검사방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계는,
    상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하는 단계; 및
    상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광은 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각으로 조사되고,
    각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들은 적어도 제1 컬러광 및 상기 제1 컬러광과 다른 컬러를 갖는 제2 컬러광을 포함하되, 상기 제1 컬러광은 상기 제1 경사각보다 작은 제2 경사각으로 조사되고, 상기 제2 컬러광은 상기 제1 경사각보다 큰 제3 경사각으로 조사되는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계는,
    상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 상기 검사대상물의 터미널을 포함하는 검사영역을 설정하는 단계;
    상기 검사영역 내에서 상기 터미널의 일측 경계로부터 타측 경계를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정하는 단계;
    상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 검출하는 단계; 및
    상기 픽셀별 색상 정보의 변화 및 상기 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정되고, 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화인 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 컬러는 적색이고, 상기 색상의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 증가하고, 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 감소하며,
    상기 터미널의 경계는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정되는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하는 단계; 및
    상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계를 더 포함하고,
    획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계는,
    상기 수정된 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계에서,
    상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정하는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  9. 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사하는 투영부;
    각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사하는 조명부;
    상기 투영부로부터 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 상기 조명부로부터 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득하는 이미지 획득부; 및
    상기 이미지 획득부에서 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 상기 이미지 획득부에서 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하고, 상기 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 처리부를 포함하는 기판 검사장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 처리부는 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하고, 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 투영부는 적어도 하나가 배치되어 상기 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각으로 조사하고,
    상기 조명부는,
    제1 컬러를 갖는 제1 컬러광을 상기 검사대상물에 상기 투영부의 제1 경사각보다 작은 제2 경사각으로 조사하는 제1 조명부; 및
    상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 제2 컬러광을 상기 검사대상물에 상기 투영부의 제1 경사각보다 큰 제3 경사각으로 조사하는 제2 조명부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 처리부는 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 설정되며 상기 검사대상물의 터미널을 포함하는 검사영역 내에서, 상기 터미널의 일측 경계로부터 타측 경계를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정하고, 상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정되고, 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화인 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1 컬러는 적색이고, 상기 색상의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 증가하고, 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 감소하며,
    상기 터미널의 경계는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  15. 제9항에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하고 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하며, 상기 수정된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정할 때, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.

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