KR20160065918A - 분광계 시스템용 유동 장치 및 그의 작동 방법 - Google Patents

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레미귀즈 파스투시악
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지멘스 악티엔게젤샤프트
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Abstract

본 발명은, 분광계 시스템(spectrometer system)용 유동 장치(1)에 관한 것으로, 유동 장치는 분광계(4)에 광학적으로 커플링가능한(coupleable) 제 1 광학계 소자(optics element)(2)를 포함하며, 그리고 광원(5)에 광학적으로 커플링가능한 제 2 광학계 소자(3)를 포함하고, 소자들은 액체(8)가 유동할 수 있는 측정 갭(6)의 구역에서 서로 거리를 두고 배열되며, 상기 구역에서, 제 2 광학계 소자(3)로부터 나타나며 제 1 광학계 소자(2)에 도달하는 광 빔(light beam)(7)이 적어도 부분적으로 흡수가능한, 분광계 시스템용 유동 장치에 있어서, 측정 갭(6)을 통한 액체(8)의 관류량(through-flow amount)은 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 거리(10) 변경에 의해 영향을 받을 수 있어서, 다수의 상이한 샘플들과 함께 분광계 시스템을 사용할 수 있다. 본 발명은 또한 이러한 유동 장치(1)를 작동시키기 위한 방법에 관한 것이다.

Description

분광계 시스템용 유동 장치 및 그의 작동 방법 {FLOW APPARATUS FOR A SPECTROMETER SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING SAME}
본 발명은 제 1 항의 전제부에 따른 분광계 시스템(spectrometer system)용 유동 장치, 및 이러한 유동 장치를 작동시키기 위한 방법에 관한 것이다.
분광법(Spectroscopy)은 비파괴식 재료 분석 방법(non-destructive method of material analysis)이며, 이는 전형적으로 1 내지 500,000 nm 사이의 파장을 갖는 광에 의해 작동한다. 분광법은, 프로세스(process) 제어 및 감시 및 품질보증(quality assurance)을 위해서 공지된 물질들의 정량적 판정(quantitative determination), 이들의 식별을 위해서 주로 적용된다. 분광식 측정 셋업(setup)은, 다양한 광 성분들을 분리하고 측정하기 위한 분광계, 및 샘플(sample)을 광학적으로 커플링(coupling)하기 위한 측정 헤드(head)를 포함한다. 측정 방법에 따라, 광원이 또한 요구된다. 요즘에는, 수침 탐촉자들(immersion probes) 또는 플로우 셀들(flow cells)이 액체 샘플들의 특징들 또는 물질들을 측정하기 위해서 화학 실험실들 또는 산업용 프로세스들(processes)에서 사용되고 있다.
본 발명의 목적은, 상이한 광학적 그리고 기계적 특징들을 갖는 복수 개의 다양한 샘플들을 위해서 하나의 그리고 동일한 분광계 시스템이 사용될 수 있게 하는 것이다.
이 목적은, 독립 청구항들에 따른 장치 및 방법에 의해서, 본 발명에 따라 성취된다. 유리한 실시예들은 종속항들, 설명 및 도면들로부터 유래한다.
본 발명의 분광계 시스템용 유동 장치는, 분광계에 광학적으로 커플링가능한(coupleable) 제 1 광학계 소자(optics element), 그리고 광원에 커플링가능한 제 2 광학계 소자를 가지며, 이 소자들은 액체가 유동할 수 있는 측정 갭(gap)의 구역에서 서로 거리를 두고 배열되며, 이러한 측정 갭의 구역에서, 상기 제 2 광학계 소자로부터 나타나며 상기 제 1 광학계 소자에 도달하는 광 빔(light beam)이 액체에 의해 적어도 부분적으로 흡수가능하다. 복수 개의 상이한 샘플들을 본 발명의 유동 장치가 장비된 분광계 시스템에 사용할 수 있도록, 측정 갭을 통해 유동하는 액체의 양은 2 개의 광학계 소자들 사이의 거리 변경에 의해 영향을 받을 수 있다. 광학계 소자들 사이의 거리는, 특히, 2 개의 광학계 소자들 중 하나의 이동 또는 양자 모두의 광학계 소자들의 이동 양자 모두에 의해 변경될 수 있다.
이는, 분광 분석의 관점(spectroscopic point of view)으로부터 최적의 광 효율에 대한 측정 갭의 조절이 가능할 수 있음이 유리하다. 윤활유(lubricating oil), 선박용 디젤 연료(marine diesel fuel)와 같은 진하고(dark) 그리고 점성 모두가 있는 물질들 또는 우유와 같은 에멀젼들(emulsions) 그리고 또한 고도의 유체 및 밝은 색의 샘플들과 다른 프로세스 용액들이 하나의 그리고 동일한 시스템에 의해 측정될 수 있다.
유리한 실시예에서, 진행중인 작동(ongoing operation) 중 2 개의 광학계 소자들 사이의 거리를 조절하기 위해서, 상기 2 개의 광학계 소자들 사이의 거리가 제어될 수 있는 것이 제공되게 된다. 이에 따라, 측정 갭의 크기는, 측정중 제어될 수 있어서, 분광 분석의 관점으로부터, 최적의 광 효율이 설정될 수 있다. 이는, 이미 언급된 상이한 물질들이 프로세스 중단 없이 측정될 수 있음이 유리하다. 이에 따라, 유동 장치는 특히, 또한 샘플 물질의 불균일성들을 위해 조절될 수 있다.
특히, 마이크로미터 스크류(micrometer screw)에 의해 또는 유압식으로(hydraulically) 제어가능하게 2 개의 광학 소자들 사이의 거리가 제공되게 된다. 이는, 거리가 아주 정확하게 설정될 수 있고, 그리고 이에 따라, 상이한 샘플 액체들의 다양한 특징들이 정교한 그라데이션들(fine gradations)에서 효과적으로 고려될 수 있음이 유리하다.
추가의 실시예에서, 제어 설비(control facility)가 제공되며, 이에 의해, 2 개의 광학계 소자들 사이의 거리는, 제 1 광학계 소자에 광학적으로 커플링되는(coupled) 측정 설비에 의해 측정될 수 있는 광 세기에 따라 크기가 자동으로 증가되거나 또는 감소될 수 있는 것이 제공되게 된다. 이에 따라, 특히, 분광계에서 측정되는 광 세기에 따라서, 유동 장치에서, 보틀넥(bottleneck), 환언하면, 측정 갭이 자동으로 제한되거나 또는 확대된다. 이는, 상이한 액체들이 하나의 그리고 동일한 시스템에 의한 프로세스 중단 없이 측정될 수 있을 뿐만 아니라, 그 대신에 유동 장치가 소망하는 프로세스 변동들(fluctuations)에 대해 도량형학으로(metrologically) 또한 유연하게 유지되는 것이 유리하다.
바람직한 실시예에서, 유동 장치의 일부인 바이패스 시스템(bypass system)이 제공되게 되며, 이에 의해 추가의 액체가 기준 액체(reference liquid)로서 상기 측정 갭 내로 도입될 수 있다. 이는, 데이터(data)를 평가하기 위해서 광학계 소자들의 각각의 위치 또는 각각의 거리에 대해 기본적으로 요구되는 기준 스펙트럼(reference spectrum)이, 데이터베이스(database)로부터 판독될 필요가 없고 대신에 각각의 경우에 현장에서(in situ) 측정될 수 있음이 유리하다. 따라서, 새로운 기준 스펙트럼이 광학계 소자들의 각각의 새로운 위치에 대해 기록될 수 있으며, 여기서 상기 기준 액체는 측정 갭의 크기 변경 이후에 먼저 검사된다.
작동중, 먼저 세정 유체를 자동으로 도입하고 이후 후속하여 기준 액체를 측정 갭에 도입하도록 구성될 수 있는 바이패스 시스템이 여기서 추가로 제공되게 될 수 있다. 이는, 기준 스펙트럼을 왜곡하는(falsifying) 다른 액체들로부터의 잔류물들이 배제되기 때문에, 기준 스펙트럼이 특히 신뢰가능하게 기록될 수 있음이 유리하다.
추가의 실시예에서, 관형 방식으로 실질적으로 형성되는 유동 장치가 제공되게 된다. 특히, 이는 모세관(capillary tube) 형상을 취할 수 있다. 이는, 유동 장치가 기존 부착물들에 쉽게 연결될 수 있고 세정이 쉽다는 것이 유리하다. 특히, 모세관으로서의 구현의 경우에, 이는 적용가능하다면, 모세관 현상으로 인해서, 펌프(pump) 또는 그와 같은 것이 필요없을 수 있다. 샘플 특징들에 대한 측정 갭의 크기의 조절이, 여기서 특히 유리한데, 이는 이에 따라 다양한 샘플들의 각각 상이한 특징들이 모세관 현상에 대해서 고려될 수 있기 때문이다.
특히 유리한 실시예에서, 유동 장치의 내부 벽 구역과 할당된 광학계 소자 사이에 배열되는 하나 이상의 탄성 멤브레인(elastic membrane), 특히 아주 상당히 탄성이 있고 그리고/또는 변형가능한 멤브레인이 제공되게 된다. 여기서, 멤브레인은 2 개의 광학계 소자들 사이의 거리 변경에 의해 변형되어, 광학계 소자들과 함께 보틀넥, 환원하면 측정 갭을 형성한다. 멤브레인을 제조하는 재료의 선택은, 여기서, 탄성(elasticity) 및/또는 변형성(deformability)에 대한 요건들을 제외하고, 자유로우며, 그리고 프로세스 특정 방식에서, 특히 폴리머 멤브레인(polymer membrane)으로서 또는 혼합된 매트릭스 멤브레인(mixed matrix membrane)으로서 선택될 수 있다. 멤브레인의 재료는, 바람직하게는, 액체들 또는 이들 액체들의 검사될 개별 성분들과 비교하여 탄력적이도록(resilient), 환언하면, 이러한 액체들에 의해서도 또는 사용되는 임의의 세정제들에 의해서도 화학적으로 공격을 받지 않도록, 여기서 선택된다.
이는, 멤브레인이 유동 장치에서의 광학 소자들 상에서, 솔리드 입자들(solid particles)(불균일한 액체들에서 발생함)의 가능한 응집(collection)을 방지하기 위해서 사용될 수 있음이 유리하다. 유동 장치, 환언하면, 플로우 셀의 세정은 또한 멤브레인의 사용에 의해서 상당히 간단해진다. 한편으로, 즉, 멤브레인이 누출들로부터 시스템을 밀봉하고, 다른 한편으로, 광학계 소자들 사이의 최대 거리에 의해, 측정 갭 그리고 이에 따라 플로우 셀을 통한 액체의 강력한 관류(through-flow)가 가능할 정도로 탄성이 있다. 이는, 표준 플로우 셀들 내측에 배치되는 에지들(edges)의 문제를 갖는 세정을 필요없게 한다. 게다가, 멤브레인의 사용은, 측정 갭에 의해 실현되는 액체 유동에서의 보틀넥에 와류들의 형성을 방지하며, 결과적으로, 프로세스 액체들의 유동이 더 큰 영역에 걸쳐 층상(laminar)을 유지한다.
본 발명의 유사한 부분은, 분광계 시스템을 위한 이러한 유동 장치를 작동시키는 방법이며, 여기서, 측정 갭을 통해 유동하는 액체의 양은 예컨대, 2 개의 광학계 소자들 사이의 거리 변경에 의해 영향을 받는다. 이는 설명된 이점들을 유발한다.
본 발명의 추가의 특징들은, 본 발명의 바람직한 예시적 실시예들의 하기 설명 및 도면들에 기초하여 유래된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 예시적 유동 장치의 개략도를 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예의 추가의 예시적 유동 장치의 개략도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예의 추가의 예시적 유동 장치의 개략도를 도시한다.
도 4는 도 3에 도시된 멤브레인의 개략도를 도시한다.
유사하거나 기능적으로 유사한 소자들에는 도면들에서 동일한 도면 부호들이 제공된다.
유동 장치(1)가 도 1에 도시된다. 여기서, 액체(8)가 다수의 벽 구역들(12)을 따라 그리고 서로 거리(10)로 배열된 2 개의 광학계 소자들(2, 3)에 의해 형성된 측정 갭(6)을 통해 유동한다. 여기서, 측정 갭에 인접한 2 개의 구역들(9)에서 난류들(turbulences)이 형성된다. 여기서, 광학계 소자들(2, 3)은 도면의 평면에 평행하게 이동될 수 있어서, 광학계 소자들은 이들의 거리(10)의 관점에서 변경될 수 있다. 측정 갭(6)의 크기는, 결과적으로 변경될 수 있고, 미리 정해진 시간 동안 측정 갭(6)을 통해 유동할 수 있는 양의 액체(8)가 이에 따라 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이에서 거리(10) 변경에 의해 변경될 수 있다.
유동 장치의 작동 중, 액체(8)는 이제 측정 갭(gap)(6)을 통해 유동하며, 제 2 광학계 소자(3)로부터 나타나는 곳에서 적어도 부분적으로 광(light)을 흡수한다. 이에 따라, 제 2 광학계 소자(3)로부터 나타나는 광의 단지 소정의 부분만이 제 1 광학계 소자(2)에 도달하며, 상기 광 부분은 그의 스펙트럼(spectrum)의 관점에서 축소된다. 이제, 유동 장치(1)가 다른 액체(8)를 위해 사용된다면, 아주 많거나 또는 아주 적은 광이 선행하는 액체(8)를 위해 설정된 거리(10)를 갖는 측정 갭(6)에서 흡수될 수 있다. 아주 많은 광이 흡수된다면, 환언하면, 예컨대 상당히 더 진한(darker) 액체가 존재한다면, 액체(8)의 특징들에 관하여 제 1 광학계 소자(2)에 도달하는 광으로부터 결론들을 유도하는 것이 가능하도록, 거리(10)는 감소되어야 한다. 그러나, 이것이 아주 고도의 액체, 주로 투명한 액체(8)이라면, 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 액체(8)의 양이 측정가능한 광의 흡수를 실제로 발생시키기 위해서 충분할 정도로, 측정 갭(6)이 확대되어야만 한다. 다른 특징들, 이를테면, 예컨대 액체(8)의 점성도는, 이에 따라 측정 갭(6)을 조절함으로써 또한 고려될 수 있다.
도 2는 유동 장치(1)를 도시하며, 이 장치에서, 도 1에 도시된 유동 장치(1)와 매우 유사하게, 액체(8)는 벽 구역들(12)과 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 측정 갭(6)을 통해 유동한다. 여기서, 소용돌이들(vortices)이 발생하는 2 개의 구역들(9)은 도 1에 도시된 예시보다 상당히 더 작다. 이는, 벽 구역들(12)과 광학계 소자들(2, 3) 사이에 배열되는 다수의 대단히 가요적인 멤브레인들(11)에 기여한다. 도시된 예에서, 멤브레인들(11)은 유동 장치(1)의 벽 구역들(12)의 내부 에지들과 측정 갭(6)의 에지들 사이에 체결된다. 따라서, 이들 멤브레인들(11)은 액체(8)가 통과되는 내부를 외측방으로, 환언하면, 예컨대, 광학계 소자들(2, 3)을 이동하는 기계 시스템의 방향으로, 밀봉한다. 이제, 2 개의 광학계 소자들(2, 3)이 이들의 거리(10)의 관점에서, 예컨대 액체(8)의 변경된 특징들을 때문에, 변경된다면, 멤브레인들(11)은, 이들의 가요성 때문에, 벽 구역들(12)과 2 개의 광학계 소자들(2, 3)의 변경된 기하학적 형상을 조절한다. 멤브레인들(11)을 사용함으로써, 벽 구역들(12) 및 광학계 소자들(2, 3)의 코너 구역들(corner regions)에 도시된 예에서 또한 더 작은 예각들(acute angles)이 또한 나타난다. 이것이 액체(8)가 소용돌이치는(swirl) 구역들(9)의 이미 언급된 유리한 크기 감소에 대한 이유이다.
도 3은 분광계 시스템(spectrometer system)에 통합된 상태의 유동 장치(1)를 도시한다. 여기서, 2 개의 변위가능한 실린더들(cylinders)(13)은 2 개의 광학계 소자들(2, 3)을 수용하고, 여기서, 기계적 가이드(mechanical guide)를 형성한다. 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 거리(10)는, 이러한 기계적 가이드를 통해, 예컨대, 마이크로미터 스크류(micrometer screw)에 의해 조절될 수 있다. 광 빔(light beam)(7)이 먼저, 광원(5), 예컨대 할로겐 램프(halogen lamp) 또는 LED 소자로부터 제 2 광학계 소자(3)에 도달하며, 이후, 측정 갭(6)에 그리고 마지막으로, 제 1 광학계 소자(2)를 통해, 분광계(4)에 도달한다. 측정 갭(6)에 다시 배치되는 것은, 광 빔(7)의 스펙트럼 부분들(spectral parts)을 흡수하는 액체(8)이다. 도시된 예에서, 액체(8)는 멤브레인(11)을 통해 측정 갭(6)에 연결되는, 2 개의 튜브들(tubes)(16)을 경유하여 측정 갭(6)을 통해 라우팅된다(routed). 너무 많거나 또는 너무 적은 밝기(brightness)가 분광계(4)에서 검출된다면, 도시된 예에서, 측정 갭(6)은 실린더들(13)을 변위시킴으로써 조절될 수 있다. 너무 많은 광이 분광계(4)에 도달한다면, 측정 갭(6)은 크기가 증가되며, 이에 반해, 너무 적은 광이 분광계(4)에 도달한다면, 측정 갭(6)은, 이에 따라 항상, 환언하면 다양한 샘플 물질들(sample substances)에 대해서, 최적의 가능한 측정 결과를 보장하기 위해, 크기가 감소된다. 시스템에는, 또한 예컨대 바이패스 시스템(bypass system)이 장비될 수 있는데, 이 시스템은, 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 거리(10) 변경 후에, 먼저 측정 갭(6)이 세정 액체(cleaning liquid)를 통해 플러쉬되는(flushed) 것을 자동으로 제공하도록 셋업(set up)되어서, 결과적으로 측정 갭(6) 내로 기준 액체를 도입하기 위해서, 분광계(4)가 기준 액체에 기초하여 이제 사용된 거리(10)에 대해 조절되거나 캘리브레이션(calibrated)될 수 있다. 조절 프로세스에 후속하여, 분석될 액체(8)가 2 개의 튜브들(16)을 통해 측정 갭(6)으로 다시 도입된다. 작동 중, 이에 따라, 다양한 물질들의 분석은 또한, 사용자로부터의 추가의 개입 없이 완전 자동으로 실행될 수 있거나 또는, 예컨대 프로세스 흐름이 또한 바뀔 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 예에 사용된 멤브레인(membrane)(11)의 개략도를 도시한다. 여기서, 아주 분명하게 4 개의 개구들(14, 15)이 있으며, 각각의 경우에, 2 개의 개구들(14) 및 2 개의 개구들(15)은 멤브레인(11)의 맞은편들(opposite sides) 상에 배열된다. 2 개의 개구들(15)(이는, 본 경우에, 개구들(14, 15) 중 더 큰 것임)이 2 개의 광학계 소자들(2, 3)의 구역에서 이에 할당되는 실린더들(13)에 의해 유동 장치(1)를 밀봉하도록 제공된다. 2 개의 더 작은 개구들(14)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 2 개의 튜브들(tubes)(16)을 수용하며, 이에 따라, 검사될 액체(8)의 공급 및 배출 방향으로 유동 장치(1)를 밀봉한다. 멤브레인(11)이 상당히 탄성이 있거나 또는 고도로 가요성이 있기 때문에, 멤브레인은 실린더들(13)을 광학계 소자들(2, 3)로 변위시킴으로써 변경된 기하학적 형상으로 동시에 조절될 수 있고 그리고 그의 밀봉 기능을 얻을 수 있다. 게다가, 샘플 또는 다른 액체들 및 물질들의 잔류물들을 수용할 수 있는 에지들(edges)은 사용된 라운드 형상들을 통해서 본원 설계에 의해 회피된다.

Claims (9)

  1. 분광계 시스템(spectrometer system)용 유동 장치(1)로서,
    상기 유동 장치는 분광계(4)에 광학적으로 커플링가능한(coupleable) 제 1 광학계 소자(optics element)(2)를 가지며, 그리고 광원(5)에 광학적으로 커플링가능한 제 2 광학계 소자(3)를 가지며, 상기 소자들은 액체(8)가 유동할 수 있는 측정 갭(measurement gap)(6)의 구역에서 서로 거리를 두고 배열되며, 상기 구역에서, 상기 제 2 광학계 소자(3)로부터 나타나며 상기 제 1 광학계 소자(2)에 도달하는 광 빔(light beam)(7)이 적어도 부분적으로 흡수가능한, 분광계 시스템용 유동 장치에 있어서,
    상기 측정 갭(6)을 통해 유동하는 액체(8)의 양은 상기 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 거리(10) 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    진행중인 작동(ongoing operation) 중 상기 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 상기 거리(10)를 조절하기 위해서, 상기 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 상기 거리(10)가 제어될 수 있는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 상기 거리(10)는 마이크로미터 스크류(micrometer screw)에 의해 또는 유압식으로(hydraulically) 제어될 수 있는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    제어 설비(control facility)가 제공되며, 이에 의해, 상기 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 상기 거리(10)는, 상기 제 1 광학계 소자(2)에 광학적으로 커플링되는(coupled) 측정 설비에 의해 측정될 수 있는 광 세기에 따라 크기가 자동으로 증가되거나 또는 감소될 수 있는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    바이패스 시스템(bypass system)은, 유동 장치(1)의 일부이며, 이에 의해 추가의 액체가 기준 액체(reference liquid)로서 상기 측정 갭(6) 내로 도입될 수 있는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 바이패스 시스템은, 작동중, 먼저, 세정 유체를 자동으로 도입하고 그리고, 이후 상기 기준 액체를 상기 측정 갭(6)에 도입하도록 구성되는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유동 장치(1)는 실질적으로 튜브형(tubular)으로 형성되는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하나 이상의 탄성 멤브레인(elastic membrane)(11)이 상기 유동 장치(1)의 내부 벽 구역(12)과 상기 할당된 광학계 소자(2, 3) 사이에 배열되는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치.
  9. 분광계 시스템(spectrometer system)용 유동 장치(1)를 작동시키기 위한 방법으로서,
    상기 유동 장치(1)는 분광계(4)에 광학적으로 커플링가능한 제 1 광학계 소자(2), 그리고 광원(5)에 광학적으로 커플링가능한 제 2 광학계 소자(3)를 가지며, 상기 소자들은 액체(8)가 유동할 수 있는 측정 갭(6)의 구역에서 서로 거리를 두고 배열되며, 상기 측정 갭(6)의 구역에서, 상기 제 2 광학계 소자(3)로부터 나타나며 상기 제 1 광학계 소자(2)에 도달하는 광 빔(light beam)(7)이 적어도 부분적으로 흡수되는, 분광계 시스템용 유동 장치를 작동시키기 위한 방법에 있어서,
    상기 측정 갭(6)을 통해 유동하는 상기 액체(8)의 양은, 상기 2 개의 광학계 소자들(2, 3) 사이의 거리(10) 변경에 의해 영향을 받을 수 있는 것을 특징으로 하는,
    분광계 시스템용 유동 장치를 작동시키기 위한 방법.
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