KR20160064933A

KR20160064933A - 자성 장치

Info

Publication number: KR20160064933A
Application number: KR1020150046041A
Authority: KR
Inventors: 신 치 린
Original assignee: 에버디스플레이 옵트로닉스 (상하이) 리미티드
Priority date: 2014-11-28
Filing date: 2015-04-01
Publication date: 2016-06-08
Also published as: CN105695937B; CN105695937A

Abstract

본 발명은 자성 장치를 공개하고, 상기 자성 장치는 금속 마스크 상의 제1영역을 흡착하는 자기력 고정부와, 금속 마스크 상의 제2영역을 흡착하는 자기력 조절부를 포함하며, 여기서, 상기 자기력 고정부의 자기력 세기는 고정되고, 상기 자기력 조절부의 자기력 세기는 조절할 수 있으며, 상기 자기력 고정부와 상기 자기력 조절부가 흡착되어, 상기 금속 마스크를 유기 발광 다이오드(OLED, Organic Light Emitting Display) 디스플레이 장치의 기판과 밀착시킨다. 본 발명은 금속 마스크가 자기력을 전달받아 흡인되어 기판과의 사이에서 받는 힘이 균일하도록 하여 밀착 가능하게 한다.

Description

자성 장치{MAGNETIC DEVICE}

본 발명은 자성 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유기 발광 다이오드(OLED) 증착 기술에 사용되는 자성 장치에 관한 것이다.

유기 발광 다이오드 디스플레이 소자는 유기 재료에 기반한 전류형 반도체 발광 소자이다. 이의 전형적인 구조는 디스플레이 라인 패턴을 함유한 기판 상에 다층 유기 발광 재료를 제작하는 것으로, 이에 발광층을 포함하고, 유기 발광 재료의 상방에는 한층의 낮은 일 함수의 금속 전극이 존재한다.

전극 상에 전압을 인가할 경우, 발광층은 복사광을 발생시킨다. 유기 발광 다이오드의 발광 메커니즘과 과정은 음극과 양극에서 각각 전자와 정공을 주입하고, 주입한 전자와 정공은 유기층 내에서 전송되며, 발광층 내에서 복합되므로, 발광층 분자가 엑시톤을 발생하도록 여기시키고, 엑시톤 복사가 감쇠되어 발광한다.

유기 발광 다이오드 소자의 제조 공법은 유리 기판 → 세척 → 전처리 → 유기층 진공 증착 → 전극 진공 증착 → 밀봉 → 절단 → 테스트 → 모듈 조립 → 제품 검사 및 노화 실험 등 10여 개의 공정을 포함한다.

증착 단계에 있어서, 유기 발광 다이오드 소자는 고진공 챔버에서 다층 유기 박막을 증착시켜야 하며, 박막의 품질은 소자의 품질과 수명에 관련된다. 고진공 챔버에는 유기 재료를 놓을 수 있는 다수개의 도가니가 구비되고, 도가니를 가열하여 유기재료를 증착시키며, 수정 발진기를 사용하여 막의 두께를 조절한다. 유리 기판을 브라켓 상에 놓고, 유리기판의 하면에 놓은 금속 마스크(Mask)는 증착 패턴을 조절한다.

유리 기판 상에서 필요한 증착 패턴을 얻기 위하여, 일반적으로 증착 장치에서 유리 기판의 상면에 영구 자석 어레이를 설치하여 금속 마스크를 흡착함으로써, 증착장치와 유리 기판이 밀착되도록 한다.

영구 자석 어레이는 다수개의 작은 자석으로 배열되어 조합되며, 이의 자기력 및 자극 분포 방식은 전에 이미 고정되었기 때문에, 자극 분포 및 자기력 크기를 변경할 수 없다.

그러나, 금속 마스크의 평탄도 등 요소의 영향으로 인하여, 금속 마스크가 기판에 접착되었을 경우, 금속 마스크 상의 각 위치에 필요한 자기력 크기는 서로 다르다.

영구 자석 어레이의 자체 특성의 제한으로 인하여, 금속 마스크 상의 어느 한 부위가 과도한 자기력의 크기로 인하여 화소의 컬러 막층이 금속 마스크에 의해 압착되어, 막층이 연속적이지 않음을 초래한다. 나아가, 화소의 누전 또는 수증기가 용이하게 침입할 수 있는 경로를 형성하여, 내후성 테스트에서 효력을 잃게 된다. 동시에, 금속 마스크 상의 어느 한 부위가 자기력의 부족으로 인하여, 금속 마스크가 기판에 밀착되지 못하여, 막층이 외부로 얼룩지고 또한 유효한 코팅 영역이 축소되는 등의 상황을 초래할 수 있다.

기존기술에 존재하는 문제에 대비해, 본 발명의 목적 중의 하나가 바로 자기력 분포가 균일하며, 금속 마스크 상의 각 위치가 기본적으로 기판에 밀착될 수 있는 자성장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 하나의 목적은 상기 자성 장치의 자기력 세기를 조절할 수 있는 자기력 조절 장치 및 자기력 조절 방법을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유기 발광 다이오드 증착 장치에서 금속 마스크를 흡착하는 자성 장치는,

상기 금속 마스크 상의 제1영역을 흡착하는 자기력 고정부와,

상기 금속 마스크 상의 제2영역을 흡착하는 자기력 조절부를 포함하고,

여기서, 상기 자기력 고정부의 자기력 세기는 고정값이고, 상기 자기력 조절부의 자기력 세기는 조절할 수 있으며, 상기 자성장치의 상기 자기력 고정부와 상기 자기력 조절부에 의한 흡착을 통하여 상기 금속 마스크와 상기 기판을 밀착시킨다.

진일보로, 상기 자성 장치와 상기 금속 마스크의 표면적의 크기는 서로 대응된다.

진일보로, 상기 자기력 고정부는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역은 상기 금속 마스크의 중앙부에 위치하며, 상기 영구 자석 어레이와 상기 제1영역은 서로 대응된다.

진일보로, 상기 자기력 조절부는 전자석 어레이이고, 상기 제2영역은 상기 금속 마스크의 가장자리에 위치하며, 상기 전자석 어레이와 상기 제2영역은 서로 대응된다.

진일보로, 상기 자기력 고정부는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역은 상기 금속 마스크의 개구부의 영역 이외의 상기 금속 마스크 상의 영역에 위치하며, 상기 영구 자석 어레이와 상기 제1영역은 서로 대응된다.

진일보로, 상기 자기력 고정부는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역은 상기 금속 마스크의 중앙부이면서 상기 금속 마스크의 개구부의 영역을 제외한 영역에 위치하며, 상기 영구 자석 어레이와 상기 제1영역은 서로 대응된다.

진일보로, 상기 자기력 조절부는 전자석 어레이이고, 상기 제2영역은 상기 금속 마스크의 가장자리 및 상기 금속 마스크의 개구부의 영역에 위치하며, 상기 전자석 어레이와 상기 제2영역은 서로 대응된다.

진일보로, 상기 자성 장치는 상기 자기력 고정부와 상기 자기력 조절부가 각각 고정되고, 또한 자성판을 형성하는 리어 패널을 더 포함한다.

진일보로, 상기 리어 패널은 금속 리어 패널이고, 상기 자기력 고정부는 상기 금속 배반에 자성적으로 흡착되고, 상기 자기력 조절부는 상기 금속 리어 패널에 접착 고정된다.

본 발명의 자성 장치의 자기력 세기를 조절하는 자기력 조절 장치는,

상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부를 검출하는 판정 유닛과,

판정 유닛의 검출 결과에 따라 상기 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절함으로써, 상기 금속 마스크와 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치의 기판을 밀착시키는 제어 유닛을 포함한다.

진일보로, 상기 자기력 조절 장치는 상기 금속 마스크의 개구부와 상기 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도차를 측정하는 측정 유닛을 더 포함한다.

진일보로, 상기 판정 유닛은 상기 금속 마스크의 개구부와 상기 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도차에 따라, 상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부를 검출한다.

본 발명의 자성 장치의 자기력 세기를 조절하는 자기력 조절 방법은,

상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부를 검출하는 단계1);

검출 결과에 따라 상기 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절함으로써 상기 금속 마스크와 유기 발광 디스플레이 장치의 기판을 밀착시키는 단계2)를 포함한다.

진일보로, 상기 단계1) 이전에 상기 금속 마스크의 개구부와 상기 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도차를 측정하는 단계를 더 포함한다.

진일보로, 상기 단계1)은 구체적으로 상기 금속 마스크의 개구부와 상기 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도차에 따라 상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부를 검출하는 단계이다.

진일보로, 검출된 상기 금속 마스크의 개구부와 상기 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도차가 역치보다 작거나 같을 경우, 상기 금속 마스크와 상기 기판이 밀착되었다고 검출하고, 상기 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절하지 않는다.

진일보로, 검출된 상기 금속 마스크의 개구부와 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도차가 역치보다 클 경우, 상기 금속 마스크와 상기 기판은 밀착되지 않았다고 검출하고, 자기력 조절부의 세기를 조절한다.

진일보로, 상기 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절한 후, 단계1), 단계2)를 반복하여 실행하며, 상기 금속 마스크와 상기 기판이 밀착되었다고 검출 시 실행을 정지한다.

본 발명은 금속 마스크가 자기력을 전달받아 흡인되어 기판과의 사이에서 받는 힘이 균일하도록 하여 밀착 가능하게 한다.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자성 장치의 구조 모식도이다.
도2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자성 장치의 구조 모식도이다.
도3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 자성 장치의 구조 모식도이다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기력 조절 장치의 구조 블록도이다.
도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기력 조절 방법의 흐름 모식도이다.

본 발명의 유기 발광 다이오드 증착 장치에서 금속 마스크를 흡착하는 자성 장치는,

본 발명의 자성 장치는 주요하게 자기력 고정부와 자기력 조절부 2개 부분으로 구성되었다. 자기력 고정부와 자기력 조절부의 상호 배합을 통하여 공동으로 금속 마스크를 흡착하고, 융통성 있게 금속 마스크 상의 각 위치의 자기력 크기를 조절하여, 금속 마스크가 자기력을 전달받아 흡인되어 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치의 기판과의 사이에서 받는 힘이 균일하도록 하여 밀착 가능하게 한다.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자성 장치(10)의 구조 모식도이다. 자기력 고정부(11)(도1에서의 음영 부분)는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역(미도시)은 상기 금속 마스크(미도시)의 중앙부에 위치하며, 상기 자기력 고정부(11)와 상기 제1영역은 서로 대응된다. 즉, 자기력 고정부(11)의 표면적과 금속 마스크의 중앙부의 표면적 크기는 동일하고, 또한 자기력 고정부(11)와 금속 마스크의 중앙부의 위치는 서로 대응된다.

상기 자기력 조절부(12)는 전자석 어레이이고, 상기 제2영역(미도시)은 상기 금속 마스크의 가장자리에 위치하며, 상기 자기력 조절부(12)와 상기 제2영역은 서로 대응된다. 즉, 자기력 조절부(12)의 표면적과 금속 마스크 가장자리의 표면적 크기는 동일하고, 또한 자기력 조절부(12)와 금속 마스크 가장자리의 위치는 서로 대응된다.

금속 마스크는 금속 마스크 프레임 상에 그물을 치고 고정되었다. 프레임 상에 그물을 친 금속 마스크는 자체가 일정한 탄성을 구비한다. 일정한 자기력 조건하에서 한정된 범위 내에서 이동할 수 있다.

금속 마스크와 기판의 접착 과정에서, 금속 마스크는 자기력의 흡인에 의해 위로 유리와 접착하고, 금속 마스크는 프레임 상에 고정되어 금속 마스크의 가장자리에 위치하며, 동일한 작용력 조건하에서 중간 위치가 받은 자기력이 상향 이동하는 범위에 비교적 큰 영향을 미치고, 가장자리 부분이 받은 자기력이 상향 이동하는 범위에 비교적 작은 영향을 미친다.

가장자리의 금속 마스크와 기판의 접착 상태가 바람직하지 않게 된다. 막층이 외부로 얼룩지고 또한 유효한 코팅 영역이 축소되는 등의 상황을 초래한다. 금속 마스크의 가장자리는 보다 강한 자기력이 작용하여야만이 유리 기판과 금속 마스크를 밀착시킬 수 있다.

이로써, 본 실시예에서 서로 대응되게 자기력 고정부(11)를 자성 장치(10)의 중앙부에 배치함으로써 금속 마스크의 중앙부에 비교적 약한 자기력을 제공하고, 자기력 조절부(12)를 자성 장치(10)의 가장자리에 배치함으로써 금속 마스크의 가장자리에 비교적 강한 자기력을 제공하므로, 상기 힘이 불균일하여 초래하는 문제를 근절한다.

본 실시예에서, 영구 자석 어레이는 다수개의 자석(111)으로 구성되었고, 여기서 자석(111)의 설치 수량 및 자극의 배치 방식은 수요에 따라 임의로 변경 또는 변환할 수 있으므로, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 전자석(12)도 다수개의 서브 전자석(121)으로 구성되었고, 여기서 서브 전자석(121)의 설치 수량도 수요에 근거하여 임의로 변경 또는 변환할 수 있다.

일 실시예에서, 자성 장치는 자기력 고정부(11)와 자기력 조절부(12)를 전반 자성판으로 고정시키는 리어 패널(미도시)을 더 포함한다. 여기서, 리어 패널은 금속 리어 패널일 수 있고, 이렇게 되면 자기력 고정부(11)는 직접 금속 리어 패널 상에 자성적으로 흡착되어 고정될 수 있으나, 이러한 고정 방식은 이에 한정되지 않으며, 접합 또는 삽입 연결 등 통상적인 고정 방식을 이용할 수도 있다.

자기력 조절부(12)는 전자석이고, 이에 전기가 통하지 않을 경우, 전자석 자체에 자기력이 존재하지 않으므로, 자기력 조절부(12)가 접합 또는 삽입 연결 등 방식으로 고정해야 할 필요가 있다.

도2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자성 장치(20)의 구조 모식도이다. 상기 자기력 조절부(22)(도2에서의 음영부분)는 전자석 어레이이고, 상기 제2영역(미도시)은 상기 금속 마스크(미도시)의 개구부의 위치에 위치하며, 상기 전자석 어레이와 상기 제2영역은 서로 대응된다.

즉, 자기력 조절부(22)의 표면적과 금속 마스크의 개구부 면적의 크기가 동일하고, 또한 자기 조절부(22)와 금속 마스크의 개구부의 위치는 서로 대응된다. 상기 자기력 고정부(21)는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역(미도시)은 상기 금속 마스크의 개구부의 위치 이외의 상기 금속 마스크 상의 영역에 위치하며, 상기 영구 자석 어레이와 상기 제1영역은 서로 대응된다.

즉, 자기력 고정부(21)의 표면적과 상기 금속 마스크 상의 개구부의 위치 이외의 상기 금속 마스크 상의 영역의 표면적이 동일하고, 또한 자기력 고정부(21)와 상기 금속 마스크의 개구부의 위치 이외의 상기 금속 마스크 상의 영역 위치는 서로 대응된다.

본 실시예와 상기 실시예의 구별점은 주요하게, 자기력 고정부(21)와 자기력 조절부(22)가 자성 장치(20)에서의 배치 위치 상의 차이다.

본 실시예는 금속 마스크의 개구부 영역에서 전자석을 사용하고, 나머지 위치에서는 영구 자석을 사용하기 때문에 금속 마스크의 개구부는 자기력의 영향을 비교적 약하게 받고, 미개구부 영역인 속이 찬 금속 마스크판은 자기력의 영향을 비교적 크게 받는다.

따라서, 금속 마스크의 개구부 영역에 전자석을 배열함으로써 자기력을 조절하는 것을 통하여 지나치게 큰 자기력 또는 지나치게 작은 자기력이 작용하는 상황을 방지한다.

자기력이 지나치게 클 경우, 개구부가 없는 2개의 컬러 막층이 금속 마스크의 압력을 받으므로, 불연속적인 막층으로 인한 화소(Pixel) 누전을 초래하거나 또는 수증기가 용이하게 침입할 수 있는 경로를 형성하여, 내후성 테스트에서 효력을 잃게 된다. 자기력이 지나치게 낮을 경우, 금속 마스크가 기판에 밀착될 수 없으므로, 막층이 외부로 얼룩지고 또한 유효한 코팅 영역이 축소되는 등의 상황을 초래한다.

본 실시예에서, 영구 자석 어레이는 다수개의 자석(211)으로 구성되었고, 여기서 자석(211)의 설치수량 및 자극의 분포 방식은 수요에 따라 임의로 변경 또는 변환할 수 있으므로, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 전자석(22) 역시 다수개의 서브 전자석(221)으로 구성되었고, 여기서 서브 전자석(221)의 설치수량도 수요에 따라 임의로 변경 또는 변환할 수 있다. 자기력 고정부(21)와 자기력 조절부(22)의 고정 방식은 전 실시예에서 이미 상세하게 설명하였으므로, 이하 생략한다.

도3은 본 발명의 또 다른 실시예의 자성 장치(30)의 구조 모식도이다. 상기 자기력 고정부(31)(도면에서의 음영부분)는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역(미도시)은 상기 금속 마스크(미도시)의 중앙부이면서 상기 금속 마스크의 개구부의 영역 이 외의 영역에 위치하며, 상기 자기력 고정부(31)와 상기 제1영역은 서로 대응된다.

즉, 자기력 고정부(31)의 표면적은 금속 마스크의 중앙부이면서 상기 금속 마스크의 개구부의 영역의 표면적 크기와 동일하고, 또한 자기력 고정부(31)는 금속 마스크의 중앙부이면서 상기 금속 마스크의 개구부 영역 이외의 위치와 서로 대응된다.

상기 자기력 조절부(32)는 전자석 어레이이고, 상기 제2영역(미도시)은 상기 금속 마스크의 가장자리 및 상기 금속 마스크의 개구부의 영역에 위치하며, 상기 자기력 조절부(32)와 상기 제2영역은 서로 대응된다.

즉, 자기력 조절부의 가장자리(323)의 표면적은 금속 마스크의 가장자리의 표면적의 크기와 동일하고, 자기력 조절부의 영역(321), (322)은 금속 마스크의 개구부의 영역의 표면적 크기와 동일하며, 또한 자기력 조절부의 가장자리(323)는 금속 마스크의 가장자리의 위치와 서로 대응되고, 자기력 조절부의 영역(321), (322)은 금속 마스크의 개구부 영역의 위치와 서로 대응된다.

본 실시예는 상기 2개의 실시예에서의 자기력 고정부와 자기력 조절부의 배치 방식을 결부시켰다. 자기력 고정부와 자기력 조절부의 배치 원칙 및 달성한 상기 효과는 전의 실시예에서 이미 상세하게 설명하였으므로, 이하 생략한다.

도4는 본 발명의 일 실시예의 자기력 조절 장치의 구조 블록도이다.

상기 실시예에서의 자성 장치의 자기력 세기를 조절하는 자기력 조절 장치(40)는, 상기 금속 마스크의 개구부와 상기 기판의 화소 개구부 사이의 피사도 심도차를 측정하는 측정 유닛(401); 상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부를 검출하는 판정 유닛(402); 판정 유닛의 검출 결과에 따라 상기 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절함으로써, 상기 금속 마스크와 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치의 기판을 밀착시키는 제어 유닛(403)을 포함한다.

여기서, 상기 판정 유닛(402)은 측정유닛(401)이 측정한 상기 금속 마스크의 개구부와 상기 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도(depth of field)차에 따라, 상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부를 검출한다.

그러나, 상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부에 대한 검출은 측정 유닛(401)이 측정한 피사계 심도차에 따른 판정에 한정되지 않고, 금속 마스크와 기판 사이의 거리 등과 같은 다른 파라미터를 통할 수도 있다.

본 발명의 자기력 조절 장치는 자기력 조절부의 자기력 세기를 제어하여, 금속 마스크와 기판이 밀착되도록 조절하여, 진일보로 증착 정밀도와 품질을 향상시킬 수 있다.

도5는 본 발명의 일 실시예의 자기력 조절 방법의 흐름 모식도이다.

본 발명의 자성 장치의 자기력 세기를 조절하는 자기력 조절 방법은, 상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부를 검출하는 단계(S501); 검출 결과에 따라 상기 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절함으로써 상기 금속 마스크와 유기 발광 디스플레이인 디스플레이 장치의 기판을 밀착시키는 단계(S502)를 포함한다.

상기와 같은 자기력 조절 장치의 실시예에 있어서, 상기 자기력 조절 방법 중에서, 상기 금속 마스크와 상기 기판의 밀착 여부를 검출하는 것은 측정된 피사계 심도차를 통하여 판정하는 것에 한정되지 않으며, 금속 마스크와 기판 사이의 거리 등과 같은 다른 파라미터를 통할 수도 있으므로, 본 실시예는 이에 한정되지 않는다.

여기서, 검출된 상기 금속 마스크의 개구부와 상기 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도차가 역치보다 작거나 같을 경우, 상기 금속 마스크와 상기 기판이 밀착되었다고 검출하고, 상기 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절하지 않는다. 검출된 상기 금속 마스크의 개구부와 기판의 화소 개구부 사이의 피사계 심도차가 역치보다 클 경우, 상기 금속 마스크와 상기 기판은 밀착되지 않았다고 검출하고, 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절하며,

또한, 상기 자기력 조절부의 자기력 세기를 조절한 후, 단계(S501), 단계(S502)를 반복하여 실행하며, 상기 금속 마스크와 상기 기판이 밀착되었다고 검출 시 실행을 정지한다.

이상 본 발명의 예시적인 실시 방식을 구체적으로 제시하고 설명하였다. 본 발명은 공개한 실시 방식에 한정되지 않으며, 반대로 본 발명은 청구범위에 포함된 다양한 보정과 등가적 치환을 포괄하려 함을 이해해야 한다.

Claims

유기 발광 다이오드(OLED) 증착 장치에서 금속 마스크를 흡착함으로써, 상기 금속 마스크와 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치의 기판을 밀착시키는 자성 장치에 있어서,
상기 금속 마스크 상의 제1영역을 흡착하는 자기력 고정부와,
상기 금속 마스크 상의 제2영역을 흡착하는 자기력 조절부를 포함하고,
상기 자기력 고정부의 자기력 세기는 고정값이고, 상기 자기력 조절부의 자기력 세기는 조절할 수 있으며, 상기 자성장치의 상기 자기력 고정부와 상기 자기력 조절부에 의한 흡착을 통하여 상기 금속 마스크와 상기 기판을 밀착시키며,
상기 자성 장치와 상기 금속 마스크의 표면적의 크기는 서로 대응되며,
상기 자성 장치는, 상기 자기력 고정부와 상기 자기력 조절부가 고정되고 자성판을 형성하는 리어 패널(rear panel)을 더 포함하며,
상기 리어 패널은 금속 리어 패널이고, 상기 자기력 고정부는 상기 금속 리어 패널에 자성적으로 흡착되며, 상기 자기력 조절부는 상기 금속 리어 패널에 접착 고정되는 것을 특징으로 하는 자성 장치.
제1항에 있어서,
상기 자기력 고정부는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역은 상기 금속 마스크의 중앙부에 위치하며, 상기 영구 자석 어레이와 상기 제1영역은 서로 대응되며,
상기 자기력 조절부는 전자석 어레이이고, 상기 제2영역은 상기 금속 마스크의 가장자리에 위치하며, 상기 전자석 어레이와 상기 제2영역은 서로 대응되는 것을 특징으로 하는 자성 장치.
제1항에 있어서,
상기 자기력 조절부는 전자석 어레이이고, 상기 제2영역은 상기 금속 마스크의 개구부의 영역에 위치하며, 상기 전자석 어레이와 제2영역은 서로 대응되며,
상기 자기력 고정부는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역은 상기 금속 마스크의 개구부의 영역 이외의 상기 금속 마스크 상의 영역에 위치하며, 상기 영구 자석 어레이와 상기 제1영역은 서로 대응되는 것을 특징으로 하는 자성 장치.
제1항에 있어서,
상기 자기력 고정부는 영구 자석 어레이이고, 상기 제1영역은 상기 금속 마스크의 중앙부이면서 상기 금속 마스크의 개구부의 영역을 제외한 영역에 위치하며, 상기 영구 자석 어레이와 상기 제1영역은 서로 대응되며,
상기 자기력 조절부는 전자석 어레이이고, 상기 제2영역은 상기 금속 마스크의 가장자리 및 상기 금속 마스크의 개구부의 영역에 위치하며, 상기 전자석 어레이와 상기 제2영역은 서로 대응되는 것을 특징으로 하는 자성 장치.