KR20160064679A - 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법들 - Google Patents

정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법들 Download PDF

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Abstract

정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 샘플 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 샘플 웨이퍼 Lot의 웨이퍼들 중 일부를 추출하여 테스트용 웨이퍼 Lot을 생성하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법이 설명된다.

Description

정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법들{Methods of Deciding Steady Operations of Apparatuses after Maintenance}
본 발명은 설비를 정비한 후, 정비된 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법들에 관한 것이다.
생산 공정에 이용되는 설비들을 정비한 후, 정비된 상기 설비들의 재가동 여부를 판정하기 위하여 작업자에 의한 다양한 테스트 방법들이 수행된다. 이러한 다양한 방법들은 수작업에 의하여 이루어지기 때문에 설정 및 대기 시간이 길어지고, 부정확한 실수 등에 의한 손실이 발생한다. 본 발명은 설비들을 정비한 후, 정비된 상기 설비들의 재가동 여부를 판정하기 다양한 자동화된 로직 방법들을 제안한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 설비들을 정비한 후, 정비된 상기 설비들의 재가동 여부를 판정하는 다양한 방법들을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다양한 과제들은 이상에서 언급한 과제들에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당 업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 샘플 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 샘플 웨이퍼 Lot의 웨이퍼들 중 일부를 추출하여 테스트용 웨이퍼 Lot을 생성하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 모두 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 다수의 공정들, 예를 들어, 제1 공정 및 제2 공정이 모두 수행될 수 있는 정비될 설비를 지정하고, 상기 제1 공정이 수행될 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 공정이 수행될 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 모두 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들 중에서 어느 한 Lot을 선정하여 테스트용 웨이퍼 Lot으로 지정하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 모두 또는 선별적으로 상기 정비된 설비 내로 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비에 투입될 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 웨이퍼들 중 일부를 테스트용 웨이퍼(들)로 추출하고, 상기 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비에 투입하여 테스트 공정을 수행하고, 상기 테스트 공정이 수행된 상기 테스트용 웨이퍼(들)을 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot을 상기 정비된 설비에 투입하여 정상적으로 공정을 수행하고, 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼 Lot을 일반 웨이퍼 Lot으로 전환하여 후속 공정에 투입하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 다수의 웨이퍼들이 동시에 투입되는 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중 상기 정비된 설비 내에 투입될 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 선정하고, 상기 정비된 설비 내에 상기 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 테스트용 웨이퍼들을 모두 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 다수의 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비로 투입될 수 있도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 다수의 웨이퍼들이 동시에 투입되는 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 추출하고, 상기 추출된 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 상기 정비된 설비에서 공정이 진행되기 전의 제1 계측 단계로 옮기고(re-position), 상기 옮겨진(re-positioned) 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 테스트용 웨이퍼들을 1차 계측하고, 상기 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 상기 테스트 웨이터들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 다수의 테스트용 웨이퍼들을 2차 계측하고, 상기 1차 계측 결과와 상기 2차 계측 결과를 비교하여 상기 정비된 설비의 가동 여부를 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비로 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 투입될 수 있도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 정비된 설비에 투입될 테스트 웨이퍼 Lot을 생성하되, 상기 테스트 웨이퍼 Lot은 패턴이 형성되지 않은 무-패턴 웨이퍼들(NPW; non-pattern wafer)을 포함하고, 상기 테스트 웨이퍼 Lot의 무-패턴 웨이퍼들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 1차 테스트 공정을 진행하고, 상기 1차 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판단된 경우(spec-in), 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중에서 상기 정비된 설비 내에 투입될 샘플링 웨이퍼 Lot을 생성하고, 상기 샘플링 웨이퍼 Lot의 샘플 웨이퍼들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 2차 테스트 공정을 진행하고, 상기 2차 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판단된 경우, 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들을 상기 정상 가동 상태의 상기 정비된 설비 내에 투입하여 상기 정비된 설비를 정상적으로 가동하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 제1 공정 및 제2 공정이 수행되는 정비될 설비를 지정하고, 상기 제1 공정이 수행될 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 공정이 수행될 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 모두 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 중 하나를 제1 테스트 웨이퍼 Lot으로 선정하고, 상기 제1 테스트 웨이퍼 Lot으로부터 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 추출하고, 상기 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비로 투입하여 제1 테스트 공정을 수행하고, 상기 제1 테스트 공정이 진행된 상기 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 제1 계측하여 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행된 것으로 판정된 경우, 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들 중 하나를 제2 테스트 웨이퍼 Lot으로 선정하고, 상기 제2 테스트 웨이퍼 Lot으로부터 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 추출하고, 상기 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비로 투입하여 제2 테스트 공정을 수행하고, 상기 제2 테스트 공정이 진행된 상기 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 제2 계측하여 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행된 것으로 판정된 경우, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 상기 제1 테스트 공정 또는 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않은 것으로 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법은 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 제1 샘플링 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 제1 샘플링 웨이퍼 Lot의 제1 샘플링 웨이퍼들 중 일부를 추출하여 제1 테스트용 웨이퍼 Lot을 생성하고, 상기 제1 테스트용 웨이퍼 Lot의 제1 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 투입하여 제1 테스트 공정을 진행하고, 상기 제1 테스트 공정이 진행된 상기 제1 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 제1 계측하여 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 제2 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 제2 테스트용 웨이퍼 Lot 내의 제2 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 모두 투입하여 제2 테스트 공정을 진행하고, 상기 제2 테스트 공정이 진행된 상기 제2 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 제2 계측하여 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 제1 테스트 공정 또는 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 기술적 사상들에 의하면, 생산 공정에 이용되는 다양한 설비들을 정비한 후, 상기 설비들이 정상적으로 운용될 수 있는지 짧은 시간 내에 효율적으로 테스트를 할 수 있다. 따라서, 정비 시간 및 대기 시간이 짧아지고 생산 공정의 처리량(throughput)이 늘어나므로 생산성이 높아진다.
도 1 내지 9는 본 발명의 다양한 실시예들에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도들이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 샘플 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 샘플 웨이퍼 Lot의 웨이퍼들 중 일부를 추출하여 테스트용 웨이퍼 Lot을 생성하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
상기 샘플 웨이퍼 Lot은 정상 공정을 수행하는 다른 설비 내로 투입되어 상기 정상 공정이 수행될 수 있다.
상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 상기 테스트용 웨이퍼들은 상기 다른 설비에서 상기 정상 공정이 진행된 상기 샘플 웨이퍼 Lot으로 귀속되어 일반 웨이퍼 Lot으로 전환될 수 있다. 즉, 상기 샘플 웨이퍼 Lot이 상기 일반 웨이퍼 Lot으로 전환되고, 및 상기 정상 공정 이후의 다른 공정을 수행하는 다른 설비로 정상적으로 투입될 수 있다.
예를 들어, 상기 방법은 반도체 소자를 제조하는 공정들 중, 금속 층 증착(metallization) 공정, CVD(chemical vapor deposition) 공정, 에칭 공정, 또는 이온 주입 공정에 적용될 수 있다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 모두 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
상기 방법은 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot을 일반 웨이퍼 Lot으로 전환하여 후속 공정에 투입하는 것을 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 방법은 반도체 소자를 제조하는 공정들 중, CMP(chemical mechanical polishing) 공정, 금속 층 증착(metallization) 공정, CVD(chemical vapor deposition) 공정, 에칭 공정, 또는 이온 주입 공정에 적용될 수 있다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 다수의 공정들, 예를 들어, 제1 공정 및 제2 공정이 모두 수행될 수 있는 정비될 설비를 지정하고, 상기 제1 공정이 수행될 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 공정이 수행될 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 모두 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들 중에서 어느 한 Lot을 선정하여 테스트용 웨이퍼 Lot으로 지정하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 모두 또는 선별적으로 상기 정비된 설비 내로 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
상기 테스트용 웨이퍼 Lot은 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 중 하나이거나, 또는 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들 중 하나일 수 있다.
상기 테스트용 웨이퍼 Lot은 상기 정비된 설비로 투입될 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot 중, 상기 정비된 설비에 먼저 투입될 수 있는 것이 지정될 수 있다.
상기 테스트 공정은 상기 제1 공정 또는 상기 제2 공정 중 하나일 수 있다. 상기 방법은 상기 테스트 공정을 수행한 후, 상기 제1 공정 및 상기 제2 공정을 모두 정상화시키는 것을 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 방법은 반도체 소자를 제조하는 공정들 중, CMP(chemical mechanical polishing) 공정, 금속 층 증착(metallization) 공정, CVD(chemical vapor deposition) 공정, 에칭 공정, 또는 이온 주입 공정에 적용될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제4 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비에 투입될 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 웨이퍼들 중 일부를 테스트용 웨이퍼(들)로 추출하고, 상기 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비에 투입하여 테스트 공정을 수행하고, 상기 테스트 공정이 수행된 상기 테스트용 웨이퍼(들)을 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot을 상기 정비된 설비에 투입하여 정상적으로 공정을 수행하고, 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼 Lot을 일반 웨이퍼 Lot으로 전환하여 후속 공정에 투입하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 방법은 반도체 소자를 제조하는 공정들 중, CMP(chemical mechanical polishing) 공정 또는 포토리소그래피 공정에 적용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제5 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제5 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 다수의 웨이퍼들이 동시에 투입되는 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중 상기 정비된 설비 내에 투입될 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 선정하고, 상기 정비된 설비 내에 상기 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 테스트용 웨이퍼들을 모두 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 다수의 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비로 투입될 수 있도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
상기 방법은 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot을 상기 일반 웨이퍼 Lot으로 전환하여 후속 공정을 수행하는 다른 설비에 투입하는 것을 더 포함할 수 있다.
상기 설비는 다수의 웨이퍼 Lot들이 동시에 투입될 수 있다. 예를 들어, 4개의 Lot들이 상기 설비 내에 동시에 투입될 수 있다.
예를 들어, 상기 방법은 반도체 소자를 제조하는 공정들 중, 동시에 여러 장의 웨이퍼들이 로딩되는 튜브(tube)를 이용하는 확산(diffusion) 공정 또는 습식 공정처럼 다수의 웨이퍼 Lot들의 웨이퍼들을 동시에 가공하는 공정들에 적용될 수 있다.
도 6은 본 발명의 제6 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제6 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 다수의 웨이퍼들이 동시에 투입되는 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 추출하고, 상기 추출된 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 상기 정비된 설비에서 공정이 진행되기 전의 제1 계측 단계로 옮기고(re-position), 상기 옮겨진(re-positioned) 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 테스트용 웨이퍼들을 1차 계측하고, 상기 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 상기 테스트 웨이터들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 테스트 공정을 진행하고, 상기 테스트 공정이 진행된 상기 다수의 테스트용 웨이퍼들을 2차 계측하고, 상기 1차 계측 결과와 상기 2차 계측 결과를 비교하여 상기 정비된 설비의 가동 여부를 판정하고, 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비로 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 투입될 수 있도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 2차 계측된 상기 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들은 모두 상기 일반 웨이퍼 Lot들로 전환될 수 있다.
예를 들어, 상기 방법은 반도체 소자를 제조하는 공정들 중, 동시에 여러 장의 웨이퍼들이 로딩되는 튜브(tube)를 이용하는 확산(diffusion) 공정 또는 습식 공정처럼 다수의 웨이퍼 Lot들의 웨이퍼들을 동시에 가공하는 공정들에 적용될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 정비된 설비에 투입될 테스트 웨이퍼 Lot을 생성하되, 상기 테스트 웨이퍼 Lot은 패턴이 형성되지 않은 무-패턴 웨이퍼들(NPW; non-pattern wafer)을 포함하고, 상기 테스트 웨이퍼 Lot의 무-패턴 웨이퍼들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 1차 테스트 공정을 진행하고, 상기 1차 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판단된 경우(spec-in), 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중에서 상기 정비된 설비 내에 투입될 샘플링 웨이퍼 Lot을 생성하고, 상기 샘플링 웨이퍼 Lot의 샘플 웨이퍼들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 2차 테스트 공정을 진행하고, 상기 2차 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판단된 경우, 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들을 상기 정상 가동 상태의 상기 정비된 설비 내에 투입하여 상기 정비된 설비를 정상적으로 가동하는 것을 포함할 수 있다.
상기 방법은 상기 2차 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판단된 경우, 상기 2차 테스트 공정이 진행된 상기 샘플 웨이퍼 Lot을 상기 일반 웨이퍼 Lot으로 전환하고 후속 공정들에 투입하는 것을 포함할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 제1 공정 및 제2 공정이 수행되는 정비될 설비를 지정하고, 상기 제1 공정이 수행될 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 공정이 수행될 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 모두 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 중 하나를 제1 테스트 웨이퍼 Lot으로 선정하고, 상기 제1 테스트 웨이퍼 Lot으로부터 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 추출하고, 상기 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비로 투입하여 제1 테스트 공정을 수행하고, 상기 제1 테스트 공정이 진행된 상기 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 제1 계측하여 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행된 것으로 판정된 경우, 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들 중 하나를 제2 테스트 웨이퍼 Lot으로 선정하고, 상기 제2 테스트 웨이퍼 Lot으로부터 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 추출하고, 상기 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비로 투입하여 제2 테스트 공정을 수행하고, 상기 제2 테스트 공정이 진행된 상기 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 제2 계측하여 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행된 것으로 판정된 경우, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 상기 제1 테스트 공정 또는 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않은 것으로 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
상기 제1 테스트용 웨이퍼 Lot 및/또는 상기 제2 테스트용 웨이퍼 Lot 내의 상기 제1 테스트용 웨이퍼(들) 및/또는 상기 제2 테스트용 웨이퍼(들)이 상기 정비된 설비에 투입되면, 상기 제1 테스트용 웨이퍼 Lot 및/또는 상기 제2 테스트용 웨이퍼 Lot 지정이 해제될 수 있다.
상기 제1 테스트용 웨이퍼 Lot 및 상기 제2 테스트용 웨이퍼 Lot은 정상 공정을 수행하는 다른 설비 내로 투입되어 정상적으로 공정이 수행될 수 있다.
상기 제1 테스트 공정 및 상기 제2 테스트 공정이 진행된 상기 제1 테스트용 웨이퍼 Lot 및 상기 제2 테스트용 웨이퍼 Lot의 상기 제1 테스트용 웨이퍼(들) 및 상기 제2 테스트용 웨이퍼(들)은 상기 다른 설비에서 정상적으로 공정이 진행된 상기 제1 테스트용 웨이퍼 Lot 및 상기 제2 테스트용 웨이퍼 Lot으로 귀속되어 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot으로 전환되고, 및 상기 설비의 공정 이후에 수행되는 다른 공정이 수행되는 다른 설비로 정상적으로 투입될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법을 설명하는 순서도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 설비를 정비한 후, 상기 정비된 설비의 재가동 안정성을 테스트하고 재가동 여부를 판정하는 방법은, 정비될 설비를 지정하고, 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고, 상기 설비를 정비하고, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 제1 샘플링 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 제1 샘플링 웨이퍼 Lot의 제1 샘플링 웨이퍼들 중 일부를 추출하여 제1 테스트용 웨이퍼 Lot을 생성하고, 상기 제1 테스트용 웨이퍼 Lot의 제1 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 투입하여 제1 테스트 공정을 진행하고, 상기 제1 테스트 공정이 진행된 상기 제1 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 제1 계측하여 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 제2 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고, 상기 제2 테스트용 웨이퍼 Lot 내의 제2 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 모두 투입하여 제2 테스트 공정을 진행하고, 상기 제2 테스트 공정이 진행된 상기 제2 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 제2 계측하여 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고, 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및 상기 제1 테스트 공정 또는 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함할 수 있다.
상기 도 7 내지 9를 참조하여 설명된 방법들 중 적어도 둘 이상이 수행되어야 할 경우, 상기 도 7을 참조하여 설명된 제7 실시예에 의한 방법이 가장 빠른 우선권을 가질 수 있고, 상기 도 8을 참조하여 설명된 상기 제8 실시예에 의한 방법이 다음 우선권을 가질 수 있고, 및 상기 도 9를 참조하여 설명된 제9 실시예에 의한 방법이 가장 늦은 우선권을 가질 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (10)

  1. 정비될 설비를 지정하고,
    일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 샘플 웨이퍼 Lot을 선정하고,
    상기 샘플 웨이퍼 Lot의 웨이퍼들 중 일부를 추출하여 테스트용 웨이퍼 Lot을 생성하고,
    상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 투입하여 테스트 공정을 진행하고,
    상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고,
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 샘플 웨이퍼 Lot은 정상 공정을 수행하는 다른 설비 내로 투입되어 상기 정상 공정이 수행되는 것을 더 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  3. 정비될 설비를 지정하고,
    일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고,
    상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 모두 투입하여 테스트 공정을 진행하고,
    상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고,
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  4. 다수의 공정들, 예를 들어, 제1 공정 및 제2 공정이 모두 수행될 수 있는 정비될 설비를 지정하고,
    상기 제1 공정이 수행될 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 공정이 수행될 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 모두 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들 중에서 어느 한 Lot을 선정하여 테스트용 웨이퍼 Lot으로 지정하고,
    상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 테스트용 웨이퍼들을 모두 또는 선별적으로 상기 정비된 설비 내로 투입하여 테스트 공정을 진행하고,
    상기 테스트 공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고,
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  5. 정비될 설비를 지정하고,
    일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비에 투입될 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고,
    상기 테스트용 웨이퍼 Lot의 웨이퍼들 중 일부를 테스트용 웨이퍼(들)로 추출하고,
    상기 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비에 투입하여 테스트 공정을 수행하고,
    상기 테스트 공정이 수행된 상기 테스트용 웨이퍼(들)을 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고,
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 테스트용 웨이퍼 Lot을 상기 정비된 설비에 투입하여 정상적으로 공정을 수행하고,
    공정이 진행된 상기 테스트용 웨이퍼 Lot을 일반 웨이퍼 Lot으로 전환하여 후속 공정에 투입하고,
    상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  6. 다수의 웨이퍼들이 동시에 투입되는 정비될 설비를 지정하고,
    일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 일반 웨이퍼 Lot들 중 상기 정비된 설비 내에 투입될 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 선정하고,
    상기 정비된 설비 내에 상기 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 테스트용 웨이퍼들을 모두 투입하여 테스트 공정을 진행하고,
    상기 테스트 공정이 진행된 상기 다수의 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 계측하여 상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지를 판정하고, 및
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비로 투입될 수 있도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  7. 다수의 웨이퍼들이 동시에 투입되는 정비될 설비를 지정하고,
    일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 일반 웨이퍼 Lot들 중 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 추출하고,
    상기 추출된 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들을 상기 정비된 설비에서 공정이 진행되기 전의 제1 계측 단계로 옮기고(re-position),
    상기 옮겨진(re-positioned) 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 테스트용 웨이퍼들을 1차 계측하고,
    상기 다수의 테스트용 웨이퍼 Lot들의 상기 테스트 웨이터들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 테스트 공정을 진행하고,
    상기 테스트 공정이 진행된 상기 다수의 테스트용 웨이퍼들을 2차 계측하고,
    상기 1차 계측 결과와 상기 2차 계측 결과를 비교하여 상기 정비된 설비의 가동 여부를 판정하고,
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비로 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 투입될 수 있도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및
    상기 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 다시 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  8. 정비될 설비를 지정하고,
    일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 정비된 설비에 투입될 테스트 웨이퍼 Lot을 생성하되, 상기 테스트 웨이퍼 Lot은 패턴이 형성되지 않은 무-패턴 웨이퍼들(NPW; non-pattern wafer)을 포함하고,
    상기 테스트 웨이퍼 Lot의 무-패턴 웨이퍼들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 1차 테스트 공정을 진행하고,
    상기 1차 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판단된 경우(spec-in), 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중에서 상기 정비된 설비 내에 투입될 샘플링 웨이퍼 Lot을 생성하고,
    상기 샘플링 웨이퍼 Lot의 샘플 웨이퍼들을 상기 정비된 설비 내에 투입하여 2차 테스트 공정을 진행하고,
    상기 2차 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판단된 경우, 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고,
    상기 일반 웨이퍼 Lot들을 상기 정상 가동 상태의 상기 정비된 설비 내에 투입하여 상기 정비된 설비를 정상적으로 가동하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  9. 제1 공정 및 제2 공정이 수행되는 정비될 설비를 지정하고,
    상기 제1 공정이 수행될 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 공정이 수행될 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 모두 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 중 하나를 제1 테스트 웨이퍼 Lot으로 선정하고,
    상기 제1 테스트 웨이퍼 Lot으로부터 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 추출하고,
    상기 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비로 투입하여 제1 테스트 공정을 수행하고,
    상기 제1 테스트 공정이 진행된 상기 제1 테스트용 웨이퍼(들)을 제1 계측하여 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고,
    상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행된 것으로 판정된 경우, 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들 중 하나를 제2 테스트 웨이퍼 Lot으로 선정하고,
    상기 제2 테스트 웨이퍼 Lot으로부터 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 추출하고,
    상기 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 상기 정비된 설비로 투입하여 제2 테스트 공정을 수행하고,
    상기 제2 테스트 공정이 진행된 상기 제2 테스트용 웨이퍼(들)을 제2 계측하여 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고,
    상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행된 것으로 판정된 경우, 상기 제1 일반 웨이퍼 Lot들 및 상기 제2 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고,
    상기 제1 테스트 공정 또는 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않은 것으로 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
  10. 정비될 설비를 지정하고,
    일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비될 설비로 투입되지 않도록 상기 정비될 설비를 비가동 상태로 전환하고,
    상기 설비를 정비하고,
    상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 제1 샘플링 웨이퍼 Lot을 선정하고,
    상기 제1 샘플링 웨이퍼 Lot의 제1 샘플링 웨이퍼들 중 일부를 추출하여 제1 테스트용 웨이퍼 Lot을 생성하고,
    상기 제1 테스트용 웨이퍼 Lot의 제1 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 투입하여 제1 테스트 공정을 진행하고,
    상기 제1 테스트 공정이 진행된 상기 제1 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 제1 계측하여 상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고,
    상기 제1 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들 중, 상기 정비된 설비로 투입될 제2 테스트용 웨이퍼 Lot을 선정하고,
    상기 제2 테스트용 웨이퍼 Lot 내의 제2 테스트용 웨이퍼들을 상기 정비된 설비에 모두 투입하여 제2 테스트 공정을 진행하고,
    상기 제2 테스트 공정이 진행된 상기 제2 테스트용 웨이퍼들을 전부 또는 선별적으로 제2 계측하여 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었는지 판정하고,
    상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되었다고 판정된 경우, 상기 일반 웨이퍼 Lot들이 상기 정비된 설비 내에 정상적으로 투입되도록 상기 정비된 설비를 정상 가동 상태로 전환하고, 및
    상기 제1 테스트 공정 또는 상기 제2 테스트 공정이 안정적으로 수행되지 않았다고 판정된 경우, 상기 정비된 설비를 재정비하거나 비가동 상태로 전환하는 것을 포함하는 정비 후 설비의 정상 가동 여부를 판정하는 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11853929B2 (en) 2017-12-22 2023-12-26 Samsung Display Co., Ltd. Automatic analysis method of infrastructure operation data and system thereof

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