KR20160053710A - 진공 흡착장치용 진공펌프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 흡착장치용 진공펌프에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 유리, 웨이퍼와 같은 패널이 진공 흡착장치에 흡착될 수 있도록 균일한 진공압을 제공하며, 패널을 포함하는 공작물의 크기 및 두께에 따라 진공압을 조절하여 공작물의 변형을 방지함은 물론, 이 공작물의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 진공 흡착장치용 진공펌프에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기, 절삭유 및 칩이 유입 및 배출되는 배출패널; 상기 배출패널의 상부에 구성되며, 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 진공상태로 변환하며, 상기 진공 흡입장치의 내부 진공압을 일정하게 유지할 수 있도록 상기 진공압을 조절하는 진공 발생부; 상기 배출패널과 상기 진공 발생부가 일체로 구성될 수 있도록 체결수단에 의해 상기 배출패널 및 상기 진공 발생부와 결합되는 지지 플레이트; 및 상기 진공 발생부의 상부에 결합되어 구동 여부를 제어하며, 상기 진공 발생부로부터 발생되는 진공압을 표시하는 진공압 게이지와, 상기 진공압이 일정하게 유지될 수 있도록 제어하는 조작 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

진공 흡착장치용 진공펌프{Vaccum Pump For Vaccum Suction Apparatus}
본 발명은 진공 흡착장치용 진공펌프에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 유리, 웨이퍼와 같은 패널이 진공 흡착장치에 흡착될 수 있도록 균일한 진공압을 제공하며, 패널을 포함하는 공작물의 크기 및 두께에 따라 진공압을 조절하여 공작물의 변형을 방지함은 물론, 이 공작물의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 진공 흡착장치용 진공펌프에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 등의 제조과정에서는 웨이퍼 등의 소정 패널을 소정 장소로 안전하게 운반하기 위한 다양한 종류의 패널 운반장치가 사용된다. 이러한 운반장치들 중에서는 특히 패널의 표면 등이 훼손되지 않도록 소정 크기의 진공력을 이용하여 패널의 한 면을 흡착한 후 패널을 운반하는 다양한 진공 흡착장치가 주로 사용된다.
이러한 진공 흡착 플레이트는 그 상면에 공작물을 안착시킨 상태에서 진공 흡착 플레이트과 연결되는 진공펌프(vacuum pump) 등 진공 발생장치를 작동시켜서 공작물을 진공흡착방식으로 고정이 이루어지도록 구성되는 것으로, 흡착판 위에 공작물을 올려놓은 상태에서 흡착판 상면에 구비된 진공라인으로부터 공기를 빨아들여 대기압과 흡착판 내 압력차로서 흡착판에 유리기판이 부착되도록 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 진공 흡착 플레이트를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 진공 흡착 플레이트(10)은 진공 발생장치와 연결되는 진공홀(14)이 형성된 베이스 플레이트(13)와, 베이스 플레이트(13) 위에 얹혀지며 복수의 흡착공(11)이 형성되는 진공 플레이트(12)로 구성되고, 진공 플레이트(12)와 베이스 플레이트(14) 사이에는 흡착공(11)과 진공홀(14)이 함께 연통되는 진공분배공간(15)이 형성된다.
이에 따라, 진공 발생장치로부터 베이스 플레이트(13)의 진공홀(14), 진공분배공간(15) 및 진공 플레이트(12)의 흡착공(11)을 통해 진공압이 연속적으로 전달되어 진공 플레이트(12) 상에 배치된 공작물(30)을 진공 흡착하게 된다
하지만, 종래 기술에 따른 진공 흡착 플레이트는 복수의 흡착공(11)이 진공 플레이트(12) 상에 설치된 공작물(30)에 의해 모두 폐쇄되지 않는 경우, 공작물(30)에 의해 폐쇄되지 않은 흡착공(11)을 통해 진공 압력이 누설되기 때문에 공작물의 흡착이 이루어지지 않는 문제점이 있었다.
이에, 대한민국 등록특허 제0763169호(이하, 선행기술문헌 1이라 함)에는 기판의 바닥면을 흡착하는 흡착판과, 흡착판의 상면에 제1방향의 사선 형태로 오목한 홈이 형성되며, 그 홈이 일정하게 이격되어 형성되는 다수의 진공라인들과, 다수의 진공라인들에 연결된 파이프로 구성된 기판 흡착용 진공 척 구조가 개시된 바 있다.
그러나, 전술한 선행기술문헌 1에 따르면, 다수의 진공라인들을 통해 공기를 빨아들이게 되면, 흡착판에 부착된 공작물은 대기압과의 압력차를 견디지 못하고, 진공라인들을 따라 변형되는 등 공작물이 휘어지는 문제가 여전히 발생함에 따라 패터닝된 적층막들이 의도한 설계치와 달라지게 되어 가공되는 공작물의 불량이 계속적으로 발생하는 문제점이 있다.
특히, 진공라인들을 통해 흡입되는 공기의 흡입량에 대한 조절이 어려워 진공압이 불균형하게 제공됨에 따라 공작물의 정밀한 흡착이 이루어지지 못하고, 특히 공작물의 두께에 따라 진공압의 설정이 원활하게 이루어지지 못하는 문제가 있다.
(특허문헌 1) 대한민국 등록특허 제0763169호
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 전술한 배경기술에 의해서 안출된 것으로, 유리, 웨이퍼와 같은 패널이 진공 흡착장치에 흡착될 수 있도록 균일한 진공압을 제공하며, 패널을 포함하는 공작물의 크기 및 두께에 따라 진공압을 조절하여 공작물의 변형을 방지함은 물론, 이 공작물의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 진공 흡착장치용 진공펌프를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기, 절삭유 및 칩이 유입 및 배출되는 배출패널; 상기 배출패널의 상부에 구성되며, 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 진공상태로 변환하며, 상기 진공 흡입장치의 내부 진공압을 일정하게 유지할 수 있도록 상기 진공압을 조절하는 진공 발생부; 상기 배출패널과 상기 진공 발생부가 일체로 구성될 수 있도록 체결수단에 의해 상기 배출패널 및 상기 진공 발생부와 결합되는 지지 플레이트; 및 상기 진공 발생부의 상부에 결합되어 구동 여부를 제어하며, 상기 진공 발생부로부터 발생되는 진공압을 표시하는 진공압 게이지와, 상기 진공압이 일정하게 유지될 수 있도록 제어하는 조작 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 배출패널은 상기 공기, 절삭유 및 칩이 유입되며, 공기가 배출되는 에어 배출홀과, 절삭유 및 칩이 배출되는 절삭유 배출구가 구성된 흡입물 유입부와, 상기 지지패널과 일체로 구성되도록 체결수단에 의해 결합되는 스페이서 블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 지지패널에는 상기 진공 발생부로부터 흡입된 공기, 절삭유 및 칩을 상기 배출패널측으로 토출시키는 유입홈이 복수 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 진공 발생부는 상기 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기, 절삭유 및 칩을 흡입하는 진공 발생기; 상기 진공 발생기로부터 일정한 진공압이 지속적으로 발생되도록 설정 및 조절하는 진공압 조절수단; 상기 진공 발생기의 구동시 발생하는 소음을 저감시키는 소음 저감부재; 상기 진공 흡착장치 및 진공 발생기를 연결하여 소정의 흡입력을 제공하는 진공 흡입부가 구성되고, 상기 진공 발생기의 구동에 의해 흡입되는 공기의 불순물, 절삭유 및 칩을 필터링하는 필터부재; 및 상기 진공 흡착장치에 구비된 공작물의 부상(浮上)이 이루어지도록 에어를 주입하는 에어 주입포트와, 상기 진공 발생기측으로 소정의 에어를 공급하는 에어 공급포트가 설치된 보강블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 보강블럭은 상기 필터부재와 진공 흡입부가 연결되게 설치되며, 상기 에어 주입포트가 구성된 제1보강블럭과, 상기 진공압 조절수단 및 에어 공급포트가 설치되는 제2보강블럭으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 진공압 조절수단은 진공 흡착장치의 내부 진공압을 30kPa~50kPa의 압력을 일정하게 유지할 수 있도록 상기 진공 발생기의 진공압을 조절하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 진공 발생기는 상기 필터부재와 연결되어 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하는 진공 흡입포트와, 상기 에어 공급포트와 연결되어 콤프레셔로부터 에어를 공급받는 에어 유입포트와, 상기 진공 발생기에서 발생하는 진공압을 상기 조작 플레이트로 전송하여 표시될 수 있도록 하는 진공 제어포트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 진공 발생부에는 상기 조작 플레이트의 제어에 따라 콤프레셔로부터 공급되는 에어를 에어 주입포트와 에어 공급포트로 분배시키는 에어 분배기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 조작 플레이트는 상기 진공 발생부를 구동 여부를 제어하는 구동 스위치 및 진공 진공 파기 스위치로 이루어진 구동 제어부와, 공작물의 두께, 또는 무게에 따라 진공 흡착장치 내에서 위치에 대한 세팅이 용이하게 이루어지도록 하는 에어 부상 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명의 실시예에 따르면, 유리, 웨이퍼와 같은 패널이 진공 흡착장치에 흡착될 수 있도록 균일한 진공압을 제공하며, 패널을 포함하는 공작물의 크기 및 두께에 따라 진공압을 조절하여 공작물의 변형을 방지함은 물론, 이 공작물의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 진공 흡착 플레이트를 개략적으로 나타낸 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착장치용 진공펌프를 나타낸 사시도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착장치용 진공펌프의 내부 구성을 개략적으로 나타낸 구성도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착장치용 진공펌프를 나타낸 도면,
도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착장치용 진공펌프의 각 부를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속" 된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착장치용 진공펌프를 나타낸 사시도, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착장치용 진공펌프의 내부 구성을 개략적으로 나타낸 구성도, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착장치용 진공펌프를 나타낸 도면, 도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 흡착장치용 진공펌프의 각 부를 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 진공 흡착장치용 진공펌프는 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기, 절삭유 및 칩 등이 유입 및 배출되는 배출패널(100), 진공펌프의 각 구성요소들이 서로 연결되게 설치되되 일체로 구성될 수 있도록 지지하는 지지 플레이트(200), 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 진공압력이 발생하도록 하며, 공작물의 두께에 따라 공기의 흡입량을 제어하여 진공압을 조절하는 진공 발생부(300) 및 흡입된 공기, 절삭유 및 칩의 배출을 제어하고, 진공압 조절 및 진공펌프의 구동 여부를 제어하는 조작 플레이트(400)를 포함하여 구성된다.
배출패널(100)은 진공펌프의 구동에 의해 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기와 함께 절삭유 및 공작물의 칩(Chip)을 포함하는 흡입물이 유입이 이루어지도록 구성되며, 유입된 흡입물을 종류별로 분류하여 배출이 이루어지도록 구성된다.
이러한 배출패널(100)은 도 8에 도시된 바와 같이, 진공 발생부(300)의 구동에 의해 진공 흡착장치로부터 흡입된 흡입물들이 유입되어 저장되는 흡입물 유입부(110)가 형성된다.
흡입물 유입부(110)는 후술할 지지 플레이트(200)의 유입홀(210)과 연통되게 구성되며, 진공 발생부(300)를 통해 흡입된 흡입물들이 지지 플레이트(200)의 유입홀(210)을 통과하면서 유입이 이루어지도록 구성된다.
이러한 흡입물 유입부(110)는 하부면에 유입된 흡입물 중, 공기의 배출이 이루어지는 에어 배출홀(112)과, 에어로부터 분리된 절삭유가 배출되는 절삭유 배출구(114)로 이루어진다.
여기서, 에어 배출홀(112)은 흡입물 유입부(110)의 바닥면에 일정 간격 이격되게 다수 구성되며, 등간격으로 구성된다.
또한, 절삭유 배출구(114)는 흡입물 유입부(110)의 양측으로 연장되게 형성되고, 배출배관 및 흡입펌프와 같은 배출 시스템과 연결되어 유입된 흡입물 중, 절삭유가 배출되도록 구성된다. 이때, 흡입물 유입부(110)의 일측에 연장되게 형성된 절삭유 배출구(114)는 흡입물 중, 절삭유의 배출이 이루어지도록 구성되고, 타측에 연장되게 형성된 절삭유 배출구(114)를 통해서는 공작물의 칩이 배출되도록 구성될 수 있을 것이다.
또한, 배출패널(100)의 둘레면에는 배출패널(100)과 진공 발생부(300)를 볼트 등과 같은 체결수단을 이용하여 결합이 이루어지도록 하는 고정홈(120)이 소정 간격 이격되게 다수 형성된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 배출패널(100)에는 지지패널(200)과 연결 구성될 수 있도록 함과 동시에 유입된 흡입물들이 외부로 유출되는 것을 방지하는 스페이서 블럭(130)이 더 구성됨은 물론이다.
스페이서 블럭(130)은 하단 및 상단이 각각 배출패널(100)의 고정홈(120)과 지지 플레이트(200)의 패널 고정홀(220)에 연결되게 구성되며, 체결수단에 의해 배출패널(100)과 지지 플레이트(200)를 결합되도록 구성됨으로써, 흡입물 유입부(110)가 외부로 노출되는 것을 방지한다.
지지 플레이트(200)는 배출패널(100)의 상부에 이격되게 구성되며, 스페이서 블럭(130)에 의해 배출패널(100)과 결합되어 일체로 구성되는 것으로, 스페이서 블럭(130)과 결합이 이루어지도록 체결수단이 체결되면서 관통하는 패널 고정홀(220)이 형성된다.
또한, 지지 플레이트(200)에는 후술할 진공 발생부(300)가 상부에 고정 결합되어 배출패널(110)과 일체로 구성될 수 있도록 하는 펌프 체결홈(230)이 형성된다.
여기서, 펌프 체결홈(230)은 패널 고정홀(220)의 내측에 위치하도록 관통 형성되며, 체결수단에 의해 진공 발생부(300)가 고정 결합되도록 구성된다.
아울러, 지지 플레이트(200)에는 상부가 진공 발생부(300)와 연결되고, 하부가 배출패널(100)의 흡입물 유입부(110)와 연결되어 진공 발생부(300)에 의해 흡입된 흡입물을 배출패널(100)측으로 배출시키는 유입홈(210)이 형성된다.
유입홈(210)은 지지 플레이트(200)의 양측에 동일중심을 이루도록 대향되게 복수 구성되며, 공기가 배출되는 공기 토출홀(212)이 복수 구성되고, 이 공기 토출홀(212)의 중앙으로 절삭유 및 칩이 배출되는 절삭유 배출홀(214)로 이루어진다.
진공 발생부(300)는 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하고, 진공 흡착장치를 진공상태로 변환하여 공작물의 고정이 이루어지도록 하는 구성요소이다.
이러한 진공 발생부(300)는 내부에 구성되는 진공 발생기(350), 소음 저감부재(360), 에어 분배기(370) 등과 같은 구성요소들이 외부로 노출되는 것을 방지하고, 이 각 구성요소들이 내장되게 장착될 수 있도록 구성되는 보강블럭(310)이 구성된다.
보강블럭(310)은 진공 발생부(300)의 외면을 이루는 케이싱으로, 소정의 강성을 보강하는 것으로, 진공 발생부(300)의 전,후방에 구성되는 제1보강블럭(312)과, 측면부를 이루는 제2보강블럭(314)으로 구성된다.
여기서, 제1 및 제2보강블럭(312, 314)에는 각각 지지 플레이트(200)를 관통하는 체결수단이 계속 관통되면서 체결되어 조작 플레이트(400)와 체결이 이루어지도록 하는 관통홀(320)이 형성된다.
제1보강블럭(312)에는 필터부재(380)가 설치되는 필터 설치부(332)가 구성되어 진공 흡착장치를 통해 흡입되는 흡입물을 필터링하여 공기와 절삭유 및 칩을 분리가 이루어지도록 한다.
또한, 제1보강블럭(312)에는 후술할 진공 흡입부(382)가 연결되게 설치되어 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 진공 흡착장치의 내부를 진공 상태로 변환하는 진공홀(334)이 형성된다.
한편, 본 발명의 제1보강블럭(312)에는 진공 흡착장치에 흡착되는 공작물을 부상(浮上)시켜 공작물의 위치 세팅이 용이하게 이루어지도록 하는 에어 주입포트(344)가 더 구성될 수 있을 것이다.
여기서, 에어 주입포트(344)는 진공 발생부(300)의 에어 분배기(370)를 통해 소정의 압력을 가지는 에어를 콤퓨레셔를 통해 공급받아 주입이 이루어지도록 구성됨은 물론이다.
제2보강블럭(314)은 진공 발생기(350)로부터 발생되는 진공압을 조절하는 진공압 조절수단(340)과 진공 발생기(350)측으로 소정의 에어를 공급하는 에어 공급포트(344)가 설치된다.
여기서, 진공압 조절수단(340)은 진공 발생기(350)로부터 일정한 진공압이 지속적으로 발생되도록 설정하고, 진공 흡착장치의 진공압에 따라 공기의 흡입량을 조절하여 진공 흡착장치의 내부 진공압을 조절할 수 있도록 하는 구성요소로서, 30kPa~50kPa의 압력을 일정하게 유지할 수 있도록 설정함이 바람직하나, 본 발명에서는 40kPa의 압력으로 유지하도록 구성하여 공작물의 얇은 상태인 경우, 진공 흡착장치의 내부 진공압에 의해 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있을 것이다.
또한, 에어 공급포트(342)는 에어 주입포트(344)와 마찬가지로 에어 분배기(370) 및 콤퓨레셔를 통해 에어의 공급이 이루어지게 된다.
진공 발생기(350)는 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 이 진공 흡착장치의 내부를 진공 상태로 변환하는 구성요소이다.
이러한 진공 발생기(350)는 필터부재(380)와 호스와 같은 배관에 의해 연결되어 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기, 절삭유 및 칩 등과 같은 흡입물을 흡입하는 진공 흡입포트(352)와, 진공 발생기(350)의 구동이 이루어지도록 에어 공급포트(342)와 연결되어 콤프레셔로부터 고압의 에어를 공급받아 진공 발생기(350)측으로 공급하는 에어 유입포트(354) 및 진공 발생기(350)를 통해 흡입되는 공기량을 조절하고, 흡입되는 공기의 압력 즉, 진공압이 후술할 조작 플레이트(400)를 통해 표시될 수 있도록 제어하는 진공 제어포트(356)로 구성된다.
여기서, 진공 제어포트(356)는 조작 플레이트(400)에 구성된 진공압 게이지(420)를 통해 현재 흡입되는 진공압을 표시할 수 있도록 하고, 진공압 조절수단(340)에 의해 설정된 진공압에 따라 진공 발생기(350)로부터 발생하는 진공압이 일정하게 유지하도록 구성된다.
또한, 진공 제어포트(356)는 후술할 조작 플레이트(400)의 진공 파기 스위치(414)의 제어에 따라 진공 발생기(350)의 구동 여부를 제어할 수 있도록 구성된다.
소음 저감부재(360)는 진공 발생기(350)의 구동시 발생하는 소음을 저감시키는 것으로, 진고 발생기(350)의 구동 중 발생하는 공기 압력의 맥동에 기인하는 고주파 대역의 소음을 저감하고, 진공 발생기(350)의 내부 체적 효율이 저하되는 것을 방지할 수 있도록 내부에 소음 저감실이 구성된다.
에어 분배기(370)는 콤프레셔로부터 공급되는 에어를 에어 주입포트(344)와 에어 공급포트(342)로 분배시키는 구성요소로서, 후술할 조작 플레이트(400)에 구성된 에어 부상 제어부(430) 및 구동 제어부(410)의 제어에 따라 분배가 이루어지도록 구성된다.
이와 같은 에어 분배기(370)는 콤프레셔로부터 공급되는 에어의 공급 방향을 설정할 수 있도록 하는 체크밸브, 또는 솔레노이드 밸브로 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
필터부재(380)는 제1보강블럭(312)에 구성된 필터 설치부(332)에 설치되어 진공 발생기(350)의 구동에 의해 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 이 진공 흡착장치의 내부를 진공 상태로 변환되도록 함과 동시에 흡입되는 공기의 불순물, 절삭유 및 칩 등을 필터링하는 구성요소이다.
이러한 필터부재(380)는 진공 흡착장치 및 진공 발생기(350)를 각각 연결 구성하여 진공 발생기(350)의 구동시 발생하는 진공압에 의해 진공 흡착장치의 내부 공기를 흡입하는 진공 흡입부(382)가 형성된다.
조작 플레이트(400)는 진공 흡착장치를 진공 상태로 변환하기 위해 진공 발생부(300)의 구동 여부를 제어하고, 공작물의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있도록 에어를 진공 흡착장치측으로 공급하여 공작물의 부상이 이루어지도록 하는 것이다.
이러한 조작 플레이트(400)에는 진공 발생부(300)에 구성된 보강블럭(310)과 체결수단에 의해 체결이 이루어지도록 보강블럭(310)을 관통하는 체결수단이 체결되는 체결홀(402)이 형성된다.
이와 같은 조작 플레이트(400)는 진공 제어포트(356)를 통해 제공되는 진공 발생기(350)의 진공압을 표시하는 진공압 게이지(420)를 구성하여 진공압 조절수단(340)을 통해 진공 발생기(350)로부터 일정한 진공압이 지속적으로 발생되도록 한다.
또환, 조작 플레이트(400)에는 진공 발생부(300)의 구동 여부를 제어할 수 있도록 구동 제어부(410)가 구성된다.
구동 제어부(410)는 진공 발생부(300)의 구동이 이루어지도록 진공 발생기(350)의 구동을 온(On)시키며, 콤프레셔로부터 공급되는 에어의 공급량을 제어하는 구동 스위치(412)와, 진공 흡착장치의 내부를 진공상태에서 대기압 상태로 변환할 수 있도록 진공 발생기(3350)의 구동을 오프(Off)시키고는 진공 파기 스위치(414)로 이루어진다.
여기서, 구동 스위치(412)는 에어 공급포트(342) 및 에어 주입포트(344)측으로 에어의 공급이 이루어지도록 에어 분배기(370)를 제어가 이루어지도록 구성됨은 물론이다.
또한, 조작 플레이트(400)에는 공작물의 두께, 또는 무게에 따라 진공 흡착장치 내에서 위치에 대한 세팅이 용이하게 이루어지도록 하는 에어 부상 제어부(430)가 구성된다.
이러한 에어 부상 제어부(430)는 에어 분배기(370)를 제어하여 콤프레셔로부터 공급되는 에어가 에어 주입포트(344)측으로 공급될 수 있도록 함으로써, 이 에어 주입포트(344)와 연결되어 있는 진공 흡착장치의 상부면으로 에어를 공급하여 공작물이 진공 흡착장치로부터 부상되도록 하는 것이다.
이때, 조작 플레이트(400)에는 구동 제어부(410) 및 에어 부상 제어부(430)와, 진공압 게이지(420)가 설치되어 진공 발생부(350)를 제어할 수 있도록 하는 제어부 설치홈(440) 및 게이지 설치홈(422)이 구성될 수 있을 것이다.
이와 같이 구성된 본 발명의 진공 흡착장치용 진공펌프는 진공라인들을 통해 흡입되는 공기의 흡입량에 대한 조절이 어려워 진공압이 불균형하게 제공됨에 따라 공작물의 정밀한 흡착이 이루어지지 못하고, 특히 공작물의 두께에 따라 진공압의 설정이 원활하게 이루어지지 못하는 종래의 문제점을 극복함으로써, 공작물의 크기 및 두께에 따라 진공압을 조절하여 공작물의 변형을 방지함은 물론, 이 공작물의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있는 것이다.
이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성 요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성 요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다.
또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 배출패널 110: 흡입물 유입부
112: 에어 배출홀 114: 절삭유 배출구
130: 스페이서 블럭 200: 지지 플레이트
210: 유입홈 300: 진공 발생부
310: 보강블럭 334: 진공홀
340: 진공합 조절수단 342: 에어 공급포트
344: 에어 주입포트 350: 진공 발생기
352: 진공 흡입포트 354: 에어 유입포트
356: 진공 제어포트 360: 소음 저감부재
380: 필터부재 400: 조작 플레이트
410: 구동 제어부 412: 구동 스위치
414: 진공 파기 스위치 420: 진공압 게이지
430: 에어 부상 제어부

Claims (9)

  1. 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기, 절삭유 및 칩이 유입 및 배출되는 배출패널;
    상기 배출패널의 상부에 구성되며, 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 진공상태로 변환하며, 상기 진공 흡입장치의 내부 진공압을 일정하게 유지할 수 있도록 상기 진공압을 조절하는 진공 발생부;
    상기 배출패널과 상기 진공 발생부가 일체로 구성될 수 있도록 체결수단에 의해 상기 배출패널 및 상기 진공 발생부와 결합되는 지지 플레이트; 및
    상기 진공 발생부의 상부에 결합되어 구동 여부를 제어하며, 상기 진공 발생부로부터 발생되는 진공압을 표시하는 진공압 게이지와, 상기 진공압이 일정하게 유지될 수 있도록 제어하는 조작 플레이트
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 배출패널은
    상기 공기, 절삭유 및 칩이 유입되며, 공기가 배출되는 에어 배출홀과, 절삭유 및 칩이 배출되는 절삭유 배출구가 구성된 흡입물 유입부와,
    상기 지지패널과 일체로 구성되도록 체결수단에 의해 결합되는 스페이서 블럭
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지패널에는 상기 진공 발생부로부터 흡입된 공기, 절삭유 및 칩을 상기 배출패널측으로 토출시키는 유입홈이 복수 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 발생부는
    상기 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기, 절삭유 및 칩을 흡입하는 진공 발생기;
    상기 진공 발생기로부터 일정한 진공압이 지속적으로 발생되도록 설정 및 조절하는 진공압 조절수단;
    상기 진공 발생기의 구동시 발생하는 소음을 저감시키는 소음 저감부재;
    상기 진공 흡착장치 및 진공 발생기를 연결하여 소정의 흡입력을 제공하는 진공 흡입부가 구성되고, 상기 진공 발생기의 구동에 의해 흡입되는 공기의 불순물, 절삭유 및 칩을 필터링하는 필터부재; 및
    상기 진공 흡착장치에 구비된 공작물의 부상(浮上)이 이루어지도록 에어를 주입하는 에어 주입포트와, 상기 진공 발생기측으로 소정의 에어를 공급하는 에어 공급포트가 설치된 보강블럭
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 보강블럭은
    상기 필터부재와 진공 흡입부가 연결되게 설치되며, 상기 에어 주입포트가 구성된 제1보강블럭과,
    상기 진공압 조절수단 및 에어 공급포트가 설치되는 제2보강블럭
    으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 진공압 조절수단은
    진공 흡착장치의 내부 진공압을 30kPa~50kPa의 압력을 일정하게 유지할 수 있도록 상기 진공 발생기의 진공압을 조절하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 진공 발생기는
    상기 필터부재와 연결되어 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하는 진공 흡입포트와,
    상기 에어 공급포트와 연결되어 콤프레셔로부터 에어를 공급받는 에어 유입포트와,
    상기 진공 발생기에서 발생하는 진공압을 상기 조작 플레이트로 전송하여 표시될 수 있도록 하는 진공 제어포트
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 진공 발생부에는 상기 조작 플레이트의 제어에 따라 콤프레셔로부터 공급되는 에어를 에어 주입포트와 에어 공급포트로 분배시키는 에어 분배기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 조작 플레이트는
    상기 진공 발생부를 구동 여부를 제어하는 구동 스위치 및 진공 진공 파기 스위치로 이루어진 구동 제어부와,
    공작물의 두께, 또는 무게에 따라 진공 흡착장치 내에서 위치에 대한 세팅이 용이하게 이루어지도록 하는 에어 부상 제어부
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 흡착장치용 진공펌프.
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