CN209970305U - 玻璃基板的制造装置 - Google Patents

Abstract

提供一种玻璃基板的制造装置，能够抑制液体被吸入真空泵。玻璃基板(G)的制造装置(1)具备：负压维持用罐(3)，其将形成于平台(2)的吸引孔(15)维持为负压；以及真空泵(12)，其使负压维持用罐(3)内部为真空，通过吸引孔(15)的负压，将玻璃基板(G)吸附并固定于平台(2)。负压维持用罐(3)具有：平台连接口(26)，其与平台(2)连通；泵连接口(27)，其配置于平台连接口(26)的上方，并与真空泵(12)连通；以及分隔板(28)，其配置于平台连接口(26)与泵连接口(27)之间，并对负压维持用罐(3)的内部进行分隔。

Description

玻璃基板的制造装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板的制造装置的技术。

背景技术

以往，已知有如下技术：在对玻璃基板的端面进行磨削加工等时，将玻璃基板吸附并固定于平台。例如如专利文献1的记载。

在专利文献1中公开了具备形成有液体供给孔以及吸引孔的保持平台(平台)的吸附保持装置。吸附保持装置通过从液体供给孔供给水等液体来使玻璃板(玻璃基板)顺畅地移动，从而对玻璃板进行定位。然后，吸附保持装置将玻璃板吸附并固定于吸引孔。

然而，在将玻璃基板吸附于平台时，通常利用具备真空泵、真空罐等的负压产生源。在专利文献2中公开了具备真空泵以及真空罐、且使玻璃基板吸附于多个吸附孔而固定于平台的玻璃板的制造装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-144180号公报

专利文献2：WO2019/054127号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

然而，在如上述那样供给液体并对玻璃基板进行定位时，在利用负压产生源而将玻璃基板吸附并固定于吸引孔的方式中，有时在从吸引孔吸引的空气中混入液体。

因此，液体有可能被吸入作为负压产生源的真空泵，成为真空泵的故障、不良情况的原因。因此，期求一种能够抑制液体被吸入真空泵的玻璃基板的制造装置。

本实用新型的课题在于提供能够抑制液体被吸入真空泵的玻璃基板的制造装置。

用于解决课题的方案

本实用新型所要解决的课题如上，接下来对用于解决该课题的方案进行说明。

即，本实用新型的玻璃基板的制造装置具备：平台，其具备吸引孔；负压维持用罐，其将所述吸引孔维持为负压；以及真空泵，其对所述负压维持用罐的内部进行减压，通过所述吸引孔的负压，将玻璃基板吸附并固定于所述平台，所述玻璃基板的制造装置的特征在于，所述负压维持用罐具有：平台连接口，其与所述平台连通；泵连接口，其配置于所述平台连接口的上方，并与所述真空泵连通；以及分隔板，其配置于所述平台连接口与所述泵连接口之间，并对所述负压维持用罐的内部进行分隔。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，从平台连接口去向泵连接口的气流始终绕过分隔板。

因此，例如，即使经由平台连接口被引入负压维持用罐内的空气中混入有液体，在该空气绕过分隔板时，仅液体的行进被该分隔板阻挡，从而该液体落下并从空气中分离，从而能够抑制液体经由泵连接口而被吸入真空泵。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述负压维持用罐具有管状构件，所述管状构件贯穿设置于所述分隔板，并将设置有所述平台连接口的第一空间部与设置有所述泵连接口的第二空间部连通。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，与仅使分隔板的一部分开口相比，难以将空气直接从第一空间部向第二空间部运送。因此，即使在空气中混入有液体，也容易将液体从空气中分离。

因此，能够抑制液体经由泵连接口而被吸入真空泵。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述分隔板具有切口部。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，例如，即使流入第二空间部的空气中混入有液体，该液体也会经由切口部而向第一空间部流落。

因此，能够抑制液体经由泵连接口而被吸入真空泵。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述切口部设置于俯视下与所述平台连接口以及所述泵连接口对置的一侧。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，分隔板的切口部位于与平台连接口以及泵连接口分离开的位置。

因此，即使通过分隔板的切口部而流入第二空间部的空气中混入有液体，该液体也不会立即到达泵连接口，从而能够更有效地抑制液体经由该泵连接口而被吸入真空泵。

另外，即使经由平台连接口而流入第一空间部的空气中混入有液体，也容易在空气到达位于与平台连接口分离开的位置的切口部前将液体L分离，并借助该空气通过切口部时的势头，能够抑制液体被搬运至第二空间部的情况。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述玻璃基板的制造装置还具备液体排出用罐，所述液体排出用罐配置于所述负压维持用罐的下方，并与所述负压维持用罐连通。

根据这样的本实用新型的玻璃基板的制造装置，能够使从流入负压维持用罐内的空气中分离出的液体立即向液体排出用罐流出并将其暂时贮存于液体排出用罐，之后将其向外部排出。

即，从空气中分离出的液体能够不残留于负压维持用罐内而被直接隔离于液体排出用罐内，因此能够更有效地抑制液体经由泵连接口而被吸入真空泵。

实用新型的效果

作为本实用新型的效果，起到以下所示的效果。

即，根据本实用新型的玻璃基板的制造装置，能够抑制液体被吸入真空泵。

附图说明

图1是示出本实用新型的一实施方式的玻璃基板的制造装置的整体结构的系统图。

图2是示出平台的结构的图，且图2的(a)是平台的俯视图，图2的(b)是平台的剖视侧视图。

图3是示出负压维持用罐的结构的图，且图3的(a)是负压维持用罐的剖视俯视图，图3的(b)是从图3的(a)中的箭头X的方向观察时的剖视侧视图。

附图标记说明：

1 制造装置

2 平台

3 负压维持用罐

4 液体排出用罐

12 真空泵

15 吸引孔

26 平台连接口

27 泵连接口

28 分隔板

29 管状构件

30 切口部

32 第一空间部

33 第二空间部

G 玻璃基板

L 液体

具体实施方式

[玻璃基板G的制造装置1的整体结构]

首先，使用图1以及图2对玻璃基板G的制造装置1(以下，简要记载为“制造装置1”)的整体结构进行说明。

如图1所示，制造装置1主要具备平台2、负压维持用罐3、液体排出用罐4、平台流路5、罐流路6、第一泵流路7、第二泵流路8、第一控制阀9、第二控制阀10、第三控制阀11、真空泵12、压缩机13、第四控制阀14、以及压缩空气流路25等。

平台2从下方将玻璃基板G以平置姿势支承。

如图2的(a)所示，平台2以夹着并列形成的多个间隙的方式被分割为多个(例如，在本实施方式中为4个)构成构件2a～2d，在各构成构件2a～2d形成有多个吸引孔15、15…。

在各个构成构件2a～2d，除了多个吸引孔15、15…之外，还形成有使液体L(例如，在本实施方式中为水)流出的多个液体供给口16、16…。

并且，如图2的(b)所示，这些液体供给口16、16…通过液体供给流路17、17…而与例如由喷出泵等构成的液体供给源(未图示)分别连接。

需要说明的是，在设置于上述构成构件2a～2d之间的多个间隙中，能够供用于将玻璃基板相对于平台2搬入或搬出的多个搬运带18、18…插穿。

负压维持用罐3(参照图1)构成为所谓真空罐，通过对内部进行减压(维持为真空)而将吸引孔15维持为负压。

负压维持用罐3具有使从吸引孔15吸引的空气以及液体L通过平台流路5(参照图1)流入内部、并且从流入至内部的空气中分离出液体L的功能。

具体而言，如图1所示，负压维持用罐3能够使到达自身的空气流入第一泵流路7，并且能够使到达自身的液体L流入罐流路6。

负压维持用罐3为了抑制液体L向第一泵流路7流入，在内部配置有后述的分隔板28。

需要说明的是，负压维持用罐3具有液位传感器19，能够对负压维持用罐3内的液体L的液位进行检测。

液体排出用罐4用于在负压维持用罐3内被进行了减压(维持为真空)的状态下将液体L排出至外部。

液体排出用罐4与负压维持用罐3同样地构成为所谓真空罐，且配置于负压维持用罐3的下方。

液体L从负压维持用罐3通过罐流路6而流入液体排出用罐4。

另外，液体排出用罐4具有用于将到达至自身的液体L排出至外部的排出流路20。

排出流路20连接于液体排出用罐4的底部。

排出流路20形成为大致L字形状，并以从液体排出用罐4的底部中央朝向液体排出用罐4的侧方而逐渐下移的方式倾斜。

因此，液体L在重力的作用下从液体排出用罐4的底部朝向外部流动。

需要说明的是，液体排出用罐4具有液位传感器21，能够对液体排出用罐4内的液体L的液位进行检测。

平台流路5将平台2与负压维持用罐3连通。

平台流路5的一端分支而与多个吸引孔15、15…(参照图2的(a))分别连接，平台流路5的另一端与负压维持用罐3的侧部连接。

平台流路5形成为从吸引孔15朝向负压维持用罐3的侧部而逐渐向下方倾斜。

因此，从吸引孔15吸引的液体L在重力的作用下朝向负压维持用罐3的侧部流动。

罐流路6将负压维持用罐3与液体排出用罐4连通。

罐流路6的一端与负压维持用罐3的底部连接，罐流路6的另一端与液体排出用罐4的顶部连接。

罐流路6从负压维持用罐3的底部朝向液体排出用罐4的顶部而形成为大致垂直状(或者向下方倾斜)。

因此，液体L在重力的作用下从负压维持用罐3的底朝向液体排出用罐4的顶部流动。

第一泵流路7将负压维持用罐3与真空泵12连通。

第一泵流路7的一端与负压维持用罐3的侧部连接，第一泵流路7的另一端与真空泵12连接。

因此，负压维持用罐3内的空气被真空泵12吸引。

第二泵流路8将液体排出用罐4与真空泵12连通。

第二泵流路8的一端与液体排出用罐4的侧部连接，第二泵流路8的另一端与第一泵流路7的中途部连接。

因此，液体排出用罐4通过第二泵流路8以经由第一泵流路7的方式与真空泵12连通，液体排出用罐4内的空气被真空泵12吸引。

第一控制阀9由打开或关闭罐流路6的电磁开闭阀构成，配置于罐流路6的中途部。

并且，在第一控制阀9为打开状态的情况下，通过罐流路6而负压维持用罐3的内部与液体排出用罐4的内部成为连通状态，从而成为负压维持用罐3内的空气以及混入空气中的液体L能够通过罐流路6而向液体排出用罐4移动的状态。

另一方面，在第一控制阀9为关闭状态的情况下，罐流路6被关闭而负压维持用罐3的内部与液体排出用罐4的内部成为非连通状态，从而成为负压维持用罐3内的空气以及混入空气中的液体L无法通过罐流路6而向液体排出用罐4移动的状态。

第二控制阀10由打开或关闭第二泵流路8的电磁开闭阀构成，配置于第二泵流路8的中途部。

并且，在第二控制阀10为打开状态的情况下，通过第一泵流路7以及第二泵流路8而液体排出用罐4的内部与真空泵12成为连通状态，从而成为能够利用真空泵12经由第一泵流路7以及第二泵流路8对液体排出用罐4内的空气进行吸引的状态。

另一方面，在第二控制阀10为关闭状态的情况下，第二泵流路8被关而液体排出用罐4的内部与真空泵12成为非连通状态，从而成为无法利用真空泵12经由第一泵流路7以及第二泵流路8对液体排出用罐4内的空气进行吸引的状态。

需要说明的是，在第二泵流路8的中途部还配置有能够由作业者来调整开度的流量调整阀(针阀)23，能够通过流量调整阀23来调整从液体排出用罐4通向真空泵12与负压维持用罐3之间的气体的流量。

第三控制阀11由打开或关闭排出流路20的电磁开闭阀构成，配置于排出流路20的中途部。

并且，在第三控制阀11为打开状态的情况下，通过排出流路20而液体排出用罐4的内部与外部成为连通状态，从而成为能够将液体排出用罐4内的空气以及混入空气中的液体L经由排出流路20向该液体排出用罐4的外部排出的状态。

另一方面，在第三控制阀11为关闭状态的情况下，排出流路20被关闭而液体排出用罐4的内部与外部成为非连通状态，从而成为无法将液体排出用罐4内的空气以及混入空气中的液体L经由排出流路20向该液体排出用罐4的外部排出的状态。

真空泵12对负压维持用罐3的内部以及液体排出用罐4的内部进行减压(真空)。

这里，如上所述，负压维持用罐3通过平台流路5而与形成于平台2的多个吸引孔15、15…连通，因此，由于负压维持用罐3的内部成为负压(真空)状态，从而该多个吸引孔15、15…成为负压。

这样，真空泵12经由吸引孔15而使负压作用于玻璃基板G，从而能够将玻璃基板G吸附并固定于吸引孔15。

需要说明的是，在玻璃基板G的吸附时，负压也作用于在平台2上残留的水滴状的液体L，因此液体L被吸引孔15吸引。

压缩机13向液体排出用罐4的内部供给压缩空气。

压缩机13通过压缩空气流路25而与液体排出用罐4连接。

第四控制阀14由打开或关闭压缩空气流路25的电磁开闭阀构成，配置于压缩空气流路25的中途部。

并且，在第四控制阀14为打开状态的情况下，通过压缩空气流路25而液体排出用罐4的内部与压缩机13成为连通状态，从而成为能够从压缩机13向液体排出用罐4的内部供给压缩空气的状态。

另一方面，在第四控制阀14为关闭状态的情况下，压缩空气流路25被关闭而液体排出用罐4的内部与压缩机13成为非连通状态，从而成为无法从压缩机13向液体排出用罐4的内部供给压缩空气的状态。

根据由这样的结构构成的制造装置1，通过将第三控制阀11设为打开状态，且将第四控制阀14设为打开状态，能够向液体排出用罐4的内部供给压缩空气，从而将该液体排出用罐4内的液体L强制性排出。

此时，通过将第一控制阀9以及第二控制阀10设为关闭状态，能够将负压维持用罐3与液体排出用罐4之间的空气的移动切断。

因此，在液体L的排出时，即使液体排出用罐4内的压力上升，也能够维持负压维持用罐3的负压状态(真空状态)。

因此，能够在不停止玻璃基板G的吸附的状态下排出液体L。

[分隔板28的结构]

接下来，使用图3来对负压维持用罐3所具有的分隔板28的结构进行说明。

分隔板28是将负压维持用罐3的内部分隔开的构件，如图3的(b)所示，分隔板28配置于平台连接口26与泵连接口27之间，该平台连接口26与连通于平台2(参照图1)的平台流路5连接，该泵连接口27配置于该平台连接口26的上方且与连通于真空泵12(参照图1)的第一泵流路7连接。

平台连接口26由圆筒形状的构件构成，以沿切线方向延伸的方式贯穿设置于负压维持用罐3的内周壁。

并且，从平台2的吸引孔15吸引的空气通过平台流路5而从平台连接口26流入负压维持用罐3内。

流入负压维持用罐3内的空气随后沿着该负压维持用罐3的内周壁形成回旋流。

其结果是，例如，在流入的空气中混入有液体L的情况下，该液体L在基于回旋流的离心力的作用下从空气中分离，并且在重力的作用下落下，之后通过罐流路6向液体排出用罐4流出。

泵连接口27由圆筒形状的构件构成，以与平台连接口26平行、且沿负压维持用罐3的径向延伸的方式贯穿设置。

并且，流入负压维持用罐3内的空气从泵连接口27通过第一泵流路7被真空泵12吸引。

需要说明的是，泵连接口27处的气流方向相对于平台连接口26处的气流方向为相反方向。

分隔板28用于抑制液体L被吸入真空泵12。

如图3的(a)所示，分隔板28由与负压维持用罐3的内周壁相适的圆盘形状的构件构成，且具有管状构件29以及切口部30。

在负压维持用罐3的内部，分隔板28以呈水平状、且外缘端部与负压维持用罐3的内周壁密接的状态配置，例如，分隔板28通过三个固定构件31a～31c而固定于所述内周壁。

由此，负压维持用罐3的内部通过分隔板28而被分隔为设置有平台连接口26的第一空间部32、以及设置有泵连接口27的第二空间部33。

根据由这样的结构构成的制造装置1，从平台连接口26去向泵连接口27的气流始终绕过分隔板28。

因此，例如，即使经由平台连接口26被引入负压维持用罐3内的空气中混入有液体L，在该空气绕过分隔板28时，仅液体L的行进被该分隔板28阻挡，从而液体L落下并从空气中分离，从而能够抑制液体L经由泵连接口27被吸入真空泵12。

需要说明的是，如上所述，在本实施方式的制造装置1中，还具备液体排出用罐4，该液体排出用罐4配置于负压维持用罐3的下方，且经由罐流路6与该负压维持用罐3连通。

通过具有这样的结构，能将使从流入负压维持用罐3内的空气中分离出的液体L立即向液体排出用罐4流出并将其暂时贮存于液体排出用罐4，之后通过排出流路20将其向外部排出。

即，从空气中分离出的液体L能够不残留于负压维持用罐3内而被立即隔离于液体排出用罐4内，因此能够更有效地抑制液体L经由贯穿设置于负压维持用罐3的泵连接口27被吸入真空泵12。

管状构件29在分隔板28的中央部沿与分隔板28大致正交的方向贯穿设置，并将由该分隔板28分隔开的负压维持用罐3内的第一空间部32与第二空间部33连通。

另外，管状构件29配置为，其下端位于与平台连接口26相比更靠下方的位置，并且其上端位于与泵连接口27大致相同的高度。

根据由这样的结构构成的制造装置1，与仅使分隔板28的一部分开口相比，难以将空气直接从第一空间部32向第二空间部33运送。因此，即使在空气中混入有液体L，也容易将液体L从空气中分离。

另外，由于管状构件29贯穿设置于分隔板28的中央部，因此管状构件29与附着有液体L的负压维持用罐3的内壁面分离。此外，管状构件29容易吸引回旋流的中心的空气、即分离了液体L后的空气。由此，能够抑制液体L经由管状构件29从第一空间部32向第二空间部33运送的情况。

因此，能够抑制液体L经由泵连接口27被吸入真空泵12。

切口部30在分隔板28中设置于俯视下与平台连接口26以及泵连接口27对置的一侧，使液体L能够从第二空间部33朝向第一空间部32通过。

根据由这样的结构构成的制造装置1，例如，即使流入第二空间部33的空气中混入有液体L，该液体L也会经由切口部30而向第一空间部32流落。

因此，能够抑制液体L经由泵连接口27被吸入真空泵12。

另外，根据由这样的结构构成的制造装置1，分隔板28的切口部30位于与平台连接口26以及泵连接口27分离开的位置。

因此，即使通过分隔板28的切口部30而流入第二空间部33的空气中混入有液体L，该液体L也不会立即到达泵连接口27，从而能够更有效地抑制液体L经由该泵连接口27被吸入真空泵12。

另外，即使经由平台连接口26而流入第一空间部32的空气中混入有液体L，也容易在空气到达位于与平台连接口26分离开的位置的切口部30前将液体L分离，借助该空气通过切口部30时的势头，能够抑制液体L被搬运至第二空间部33的情况。

[制造装置1进行的液体L的分离顺序]

接下来，使用图1以及图3来对制造装置1进行的液体L的分离顺序进行说明。

首先，在图1中，通过真空泵12的运转，从平台2的多个吸引孔15、15…(参照图2)吸引混入有液体L的空气。

然后，所吸引的空气通过台流路5而从平台连接口26(参照图3)流入负压维持用罐3内。

在图3的(a)以及图3的(b)中，流入负压维持用罐3内的空气保持着流入时的势头沿着负压维持用罐3的第一空间部32的内壁面流动，成为回旋流。

另外，流入的空气中的液体L乘着回旋流而在负压维持用罐3内一边回旋一边落下。

然后，液体L在一边回旋一边落下的期间，在基于回旋流的离心力的作用下从空气中分离。

从空气中分离出的液体L沿着负压维持用罐3的第一空间部32的内壁面落下，通过罐流路6而流入液体排出用罐4。

回旋流的中心部从管状构件29的下端向上方被吸引。

另一方面，回旋流的一部分也从切口部30被向上方吸引，但从第一空间部32去向第二空间部33的气流的主体是通过管状构件29的气流。

流入第一空间部32的空气通过管状构件29或切口部30而到达第二空间部33，并从泵连接口27被吸引。

即使到达平台连接口26侧的液体L未从回旋流分离而通过环状构件29、切口部30到达了第二空间部，液体L也会附着于负压维持用罐3的第二空间部33中的内壁面，或者在重力的作用下直接向分隔板28上落下。附着于负压维持用罐3的第二空间部33中的内壁面液体L沿着该内壁面而向分隔板28上落下。

落下至分隔板28上的液体L通过切口部30而向第一空间部32落下，并通过罐流路6流入液体排出用罐4。

上述的实施方式仅示出了代表性的实施方式，能够在不脱离一个实施方式的主旨的范围内进行各种变形来实施。当然还可以以各种方式来实施，本实用新型的范围由实用新型的权利要求书示出，且包括与实用新型的权利要求书的记载等同的含义以及范围内的全部变更。

工业实用性

本实用新型能够适当地使用于如下那样的玻璃基板的制造装置，其以在平台上供给有水的状态对玻璃基板进行定位，并使用真空泵以及真空管来将玻璃基板吸附并固定于吸引孔。

Claims (5)

1.一种玻璃基板的制造装置，其具备：

平台，其具备吸引孔；

负压维持用罐，其将所述吸引孔维持为负压；以及

真空泵，其对所述负压维持用罐的内部进行减压，

通过所述吸引孔的负压，将玻璃基板吸附并固定于所述平台，

所述玻璃基板的制造装置的特征在于，

所述负压维持用罐具有：

平台连接口，其与所述平台连通；

泵连接口，其配置于所述平台连接口的上方，并与所述真空泵连通；以及

分隔板，其配置于所述平台连接口与所述泵连接口之间，并对所述负压维持用罐的内部进行分隔。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，

所述负压维持用罐具有管状构件，

所述管状构件贯穿设置于所述分隔板，并将设置有所述平台连接口的第一空间部与设置有所述泵连接口的第二空间部连通。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，

所述分隔板具有切口部。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，

所述切口部设置于俯视下与所述平台连接口以及所述泵连接口对置的一侧。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，

所述玻璃基板的制造装置还具备液体排出用罐，

所述液体排出用罐配置于所述负压维持用罐的下方，并与所述负压维持用罐连通。

Images