KR20160024751A - 압전 액추에이터, 리니어 구동 장치 및 전자 기기 - Google Patents

압전 액추에이터, 리니어 구동 장치 및 전자 기기 Download PDF

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준이치 다다
히로키 나루시마
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신시코 카기 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 소형화할 수 있는 압전 액추에이터, 리니어 구동 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 압전 액추에이터(58)는, 평판 형상의 압전 소자와 당해 압전 소자에 서로의 판면을 맞춰서 고착된 전극판을 갖는 진동 부재(62)와, 상기 진동 부재에 고정된 구동축(66)을 갖는다. 상기 진동 부재(62)는, 외주가 복수의 정점과 당해 정점간을 접속하는 변(邊)을 가지며, 상기 전극판은, 상기 진동 부재의 변으로부터 돌기 형상으로 돌출하는 통전용 접속부(90)를 갖는다.

Description

압전 액추에이터, 리니어 구동 장치 및 전자 기기{PIEZOELECTRIC ACTUATOR, LINEAR DRIVING APPARATUS AND ELECTRONIC DEVICE}
본 발명은, 압전 액추에이터, 리니어 구동 장치 및 전자 기기에 관한 것이다.
특허문헌 1은 소위 바이모르프형의 압전 액추에이터를 개시하고 있다. 바이모르프형 압전 액추에이터는 2개의 압전 소자 사이에 전극판을 개재시킨 진동 부재를 갖는다. 이러한 압전 액추에이터는, 전극판을 통하여 압전 소자 중 어느 한쪽 또는 양쪽의 압전 소자에 전류를 흘려보내는 것에 의해, 진동 부재를 사발형(bowl shape)으로 변형시켜서 출력하도록 되어 있다.
US2009/0159720A1
그러나, 특허문헌 1에 나타난 진동 부재는 원형으로서, 전극판에 설치된 통전용 접속부가 원형의 진동 부재로부터 돌기 형상으로 돌출한 구성으로 되어 있다. 따라서, 이 통전용 접속부에 의해 외형이 전체적으로 커져 버려, 렌즈 구동 장치를 비롯한 리니어 구동 장치에 적용했을 경우에 장치의 소형화에 장해가 있다.
본 발명은, 소형화할 수 있는 압전 액추에이터, 리니어 구동 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 하나의 태양은, 평판 형상의 압전 소자와 당해 압전 소자에 서로의 판면을 맞춰서 고착된 전극판을 갖는 진동 부재와, 상기 진동 부재에 고정된 구동축을 갖고, 상기 진동 부재는, 외주가 복수의 정점(頂点)과 당해 정점간을 접속하는 변(邊)을 가지며, 상기 전극판은, 상기 진동 부재의 변으로부터 돌기 형상으로 돌출하는 통전용 접속부를 갖는 압전 액추에이터이다.
바람직하게는, 상기 진동 부재는, 상기 진동 부재의 중심으로부터 상기 통전용 접속부의 선단까지의 거리가, 상기 진동 부재의 중심과 상기 진동 부재의 중심으로부터 가장 떨어진 정점 사이의 거리를 상회하지 않게 한다.
바람직하게는, 상기 진동 부재의 외형이 정다각형이다.
바람직하게는, 상기 통전용 접속부는 복수이며, 서로 떨어진 변에 각각이 형성되어 있거나, 혹은 1개이다.
본 발명의 다른 태양은, 평판 형상의 압전 소자와 당해 압전 소자에 서로의 판면을 맞춰서 고착된 전극판을 갖는 진동 부재와, 상기 진동 부재에 고정된 구동축을 갖는 압전 액추에이터와, 상기 압전 액추에이터의 구동축에 마찰 접촉해 있는 이동체를 갖고, 상기 압전 액추에이터의 진동 부재는, 외주가 복수의 정점과 당해 정점간을 접속하는 변을 가지며, 상기 전극판은, 상기 진동 부재의 변으로부터 돌기 형상으로 돌출하는 통전용 접속부를 갖는 리니어 구동 장치이다.
바람직하게는, 상기 이동체에는 렌즈가 설치되어 있다.
본 발명의 또 다른 태양은, 평판 형상의 압전 소자와 당해 압전 소자에 서로의 판면을 맞춰서 고착된 전극판을 갖는 진동 부재와, 상기 진동 부재에 고정된 구동축을 갖는 압전 액추에이터와, 상기 압전 액추에이터의 구동축에 마찰 접촉해 있는 이동체와, 상기 압전 액추에이터의 구동축을 진동 가능하게 지지하는 케이싱을 갖고, 상기 압전 액추에이터의 진동 부재는, 외주가 복수의 정점과 당해 정점간을 접속하는 변을 가지며, 상기 전극판은, 상기 진동 부재의 변으로부터 돌기 형상으로 돌출하는 통전용 접속부를 갖는 전자 기기이다.
본 발명에 따르면, 진동 부재의 변으로부터 통전용 접속부를 돌기 형상으로 돌출하도록 했으므로 소형화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 리니어 구동 장치를 나타내는 단면도.
도 2는 도 1의 A-A선 단면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 압전 액추에이터를 나타내는 단면도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 압전 액추에이터를 나타내는 사시도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 압전 액추에이터를 나타내는 사시도.
도 6은 설치 면적을 설명하기 위해 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 압전 액추에이터와 비교예를 비교한 평면도.
도 7은 진동시키는 구동력을 설명하기 위해 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 압전 액추에이터와 비교예를 비교한 평면도.
도 8은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 압전 액추에이터의 진동 부재를 나타내는 평면도.
도 9는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 압전 액추에이터의 진동 부재를 나타내는 평면도.
도 10은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 압전 액추에이터의 진동 부재의 변형예를 나타내는 평면도.
본 발명의 일 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 있어서, 리니어 구동 장치(10)는, 예를 들면 렌즈 구동 장치이다. 이 리니어 구동 장치(10)는, 예를 들면 휴대 전화나 스마트폰 등의 전자 기기에 이용되는 자동 초점식의 소형 카메라에 사용된다. 리니어 구동 장치(10)는 직방체 형상으로 형성된 케이싱(12)을 갖는다. 이 케이싱(12)에는 피사체측 렌즈(14), 결상측 렌즈(16), 줌 렌즈(18) 및 포커스 렌즈(20)가 설치되어 있다.
피사체측 렌즈(14)는 케이싱(12)의 상부에 고정되어 있다. 결상측 렌즈(16)는 케이싱(12)의 하부에 고정되어 있다. 이 결상측 렌즈(16)는 기판(22)에 설치된 화상 센서(24)에 대향해 있다. 기판(22)에는 케이싱(12)이 고정되어 있다.
줌 렌즈(18)는 이동체로서의 줌 렌즈 유지체(26)에 고정되어 있다. 포커스 렌즈(20)는 이동체로서의 포커스 렌즈 유지체(28)에 고정되어 있다. 피사체측 렌즈(14), 결상측 렌즈(16), 줌 렌즈(18) 및 포커스 렌즈(20)는 케이싱(12)의 대략 중앙에 있어서 1개의 광축(LO) 상에 배치되어 있다. 이 렌즈(16∼20)들을 통하여 피사체로부터 입사한 광이 화상 센서(24)에 결상되게 되어 있다.
줌 렌즈 유지체(26)는 도 2에 나타내는 바와 같이 좌우로 연장되는 지지부(30, 32)를 갖는다. 한쪽의 지지부(30)의 선단에는 U자 형상의 걸어맞춤부(34)가 형성되며, 이 걸어맞춤부(34)가 후술하는 제 2 압전 액추에이터(60)의 구동축(68)에 걸어맞춰져 있다. 이것에 의해, 줌 렌즈 유지체(26)는 광축(LO) 방향으로 이동할 때에 광축(LO)과 수직 방향으로는 회전하지 않도록 안내된다.
또한, 다른 쪽의 지지부(32)는 제 1 압전 액추에이터(58)의 구동축(66)에 마찰 접촉해 있다. 즉, 다른 쪽의 지지부(32)의 선단에는 수지제 또는 금속제의 압접부(36)가 설치되어 있으며, 이 압접부(36)에 제 1 압전 액추에이터(58)의 구동축(66)이 삽입되어 있다. 압접부(36)는 구동축(66)을 에워싸는 일측에 개구부(38)가 형성되어 있으며, 이 개구부(38)는 나사(40)에 의해 개구부(38)의 간극을 조정해서, 압접부(36)와 구동축(66) 사이의 마찰(압접력)을 조정 가능하게 하고 있다.
또한, 나사(40)를 설치하지 않고 압접부(36)의 탄성을 이용하여 미리 설정된 마찰을 부여하는 것이어도 되고, 나사를 구동축(66)에 맞대어 압접하는 것이어도 된다. 또한, 압접부(36)의 반분(半分)을 다른 부재로 구성해서 스프링 등으로 압압하는 바와 같은 구성으로 해도 된다.
포커스 렌즈 유지체(28)는 전술한 줌 렌즈 유지체(26)와 마찬가지의 구성을 갖는다. 즉, 이 포커스 렌즈 유지체(28)에는 걸어맞춤부(42)와 압접부(44)가 설치되며, 걸어맞춤부(42)가 제 1 압전 액추에이터(58)의 구동축(66)에 걸어맞춰지고, 압접부(44)가 제 2 압전 액추에이터(60)의 구동축(68)에 마찰 접촉해 있다.
또한, 케이싱(12) 내에는 줌 렌즈 위치 검출기(46)와 포커스 렌즈 위치 검출기(48)가 설치되어 있다. 각각의 위치 검출기(46, 48)는 같은 구조이며, 렌즈의 광축(LO) 방향을 따라 다른 자극(S극과 N극)을 번갈아서 배치한 자극 부재(50, 52)와, 자계 강도를 검지하는 MR 센서(54, 56)로 구성되어 있다. MR 센서(54)는 줌 렌즈 유지체(26)에 고정되고, MR 센서(56)은 포커스 렌즈 유지체(28)에 고정되어 있다. 한쪽의 자극 부재(50)는 MR 센서(54)에 대향하고, 다른 쪽의 자극 부재(52)는 MR 센서(56)에 대향해서 케이싱(12)에 고정되어 있다. 각 렌즈 유지체(26, 28)가 이동하면, MR 센서(54, 56)에 의해 각 렌즈 유지체(26, 28)의 이동량 및 이동 방향이 자계 강도의 변화로서 검출되고, 검출된 자계 강도의 변화를 나타내는 신호가 MR 센서(54, 56)로부터 출력된다.
제 1 압전 액추에이터(58)와 제 2 압전 액추에이터(60)는 같은 구조이며, 각각의 액추에이터(58, 60)는 진동 부재(62, 64)와 이 진동 부재(62, 64)에 고정된 구동축(66, 68)을 갖는다. 이 실시형태에 있어서는 진동 부재(62, 64)가 케이싱(12)의 상부에 배치되며 구동축(66, 68)이 아래쪽으로 연장되어 있다. 구동축(66, 68)의 하단은 케이싱(12)에 설치된 베어링 부재(70, 72)의 구멍에 삽입되어 접착 고정되어 있다. 또한, 진동 부재(62, 64)에 가까운 구동축(66, 68)의 기단측은 케이싱(12)에 설치된 베어링 부재(71, 73)의 구멍에 삽입되어 있다. 베어링 부재(70, 71 및 72, 73)는 탄성을 가지며 구동축(66, 68)을 각각 진동 가능하게 지지하고 있다. 각각의 진동 부재(62, 64)에는 통전용의 배선(74, 76)이 접속되어 있다.
도 3은 압전 액추에이터를 대표하여 제 1 압전 액추에이터(58)가 나타나 있다. 도 3에 있어서는 도 1에 대해서 상하가 반대로 그려져 있다. 압전 액추에이터(58)는, 예를 들면 바이모르프형이며, 진동 부재(62)는 2개의 평판 형상의 압전 소자(78, 80)를 갖는다. 이 압전 소자(78, 80)의 사이에는 마찬가지로 평판 형상의 전극판(82)이 개재되어 있다. 즉, 압전 소자(78, 80)와 전극판(82)은 서로의 판면을 맞춰서 고착되어 있다. 압전 소자(78, 80)의 표리면(表裏面)에는 전극층(84, 86)이 형성되어 있다. 구동축(66)은 한쪽의 압전 소자(78)의 전극층(84)에 접착제(87)를 통하여 고착되어 있다. 전극판(82)은 탄성을 갖는 예를 들면 금속판으로 구성되어 있다. 후술하는 통전용 접속부를 제외하고, 압전 소자(78, 80)의 외형과 전극판(82)의 외형은 거의 동일한 형상이며 동일한 크기로 하는 것이 바람직하며, 특히 압전 소자(78, 80)는 전극판(82)의 외주단으로부터 비어져 나오지 않도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 전극층(84)에 구멍을 형성하고, 이 구멍을 통하여 구동축(66)을 직접 압전 소자(78)에 접합하도록 해도 된다. 또한, 전극층(84)을 포함한 압전 소자(78)의 두께 전체에 구멍을 형성하고, 이 구멍을 통하여 구동축(66)을 직접 전극판(82)에 접합하도록 해도 된다. 또한 진동 부재(62)의 두께 전체에 구멍을 형성하고, 구동축(66)의 외주면을, 이 구멍을 형성하고 있는 진동 부재(62)의 내벽면에 직접 접합하도록 해도 된다.
진동 부재(62)의 표면에 노출되는 전극층(84, 86)은, 예를 들면 전원 제어부(88)의 플러스측에 접속되고, 전극판(82)은 전원 제어부(88)의 마이너스측에 접속되어 있다. 한쪽의 전극층(84)과 전극판(82) 사이에 펄스 전압을 반복하여 인가하면, 한쪽의 압전 소자(78)에 통전되고 이 한쪽의 압전 소자(78)가 신축하여, 진동 부재(62)는 일 방향을 향해서 사발 형상으로 변형하는 것과 전극판(82)의 탄성으로 급속하게 원래의 평판 형상으로 되돌아가려고 하는 것을 반복한다. 그것에 따라 구동축(66)도 축 방향으로 미소(微小)한 왕복 이동을 반복한다. 다른 쪽의 전극층(86)과 전극판(82) 사이에 펄스 전압을 반복하여 인가하면, 다른 쪽의 압전 소자(80)가 신축하여, 진동 부재(62)는 다른 방향을 향해서 사발 형상으로 변형하는 것과 전극판(82)의 탄성으로 급속하게 원래의 평판 형상으로 되돌아가려고 하는 것을 반복한다. 그것에 따라 구동축(66)도 축 방향으로 미소한 왕복 이동을 반복한다.
다음으로 제 1 압전 액추에이터(58)에 의해 줌 렌즈 유지체(26)를 이동시키는 경우에 대하여 설명한다. 전술한 바와 같이, 제 1 압전 액추에이터(58)에 펄스 전압을 반복하여 인가하면, 진동 부재(62)가 일 방향을 향해서 사발 형상으로 변형하는 것과 급속하게 원래의 평판 형상으로 되돌아가려고 하는 것을 반복한다. 그것에 따라 구동축(66)도 축 방향으로 미소한 왕복 이동을 반복한다. 일방측을 향해서 사발 형상으로 변형했을 때에는, 줌 렌즈 유지체(26)의 압접부(36)가 제 1 압전 액추에이터(58)의 구동축(66)에 마찰 접촉해 있으므로, 줌 렌즈 유지체(26)는 구동축(66)과 함께 이동한다. 한편, 진동 부재(62)가 급속하게 원래의 평판 형상으로 되돌아가려고 할 때에는, 구동축(66)도 역방향으로 고속으로 이동하고, 고속인 까닭에 줌 렌즈 유지체(26)는 구동축(66)의 움직임을 따라갈 수 없어, 원래의 위치로는 되돌아가지 못하고 그 위치에 머문다. 따라서, 줌 렌즈 유지체(26)는, 1개의 동작으로 진동 부재(62)의 변형의 진폭의 크기 정도 이동한다. 펄스 전압을 반복하여 인가하는 것에 의해 이러한 이동을 반복해서 행하여 줌 렌즈 유지체(26)를 소망 위치까지 이동시킬 수 있다.
도 4는 압전 액추에이터(58)의 제 1 실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 압전 액추에이터(58)의 진동 부재(62)의 외형은, 예를 들면 4개의 정점과 각각의 정점을 잇는 4개의 변(邊)으로 이루어지는 정방형으로 되어 있다. 1개의 변의 중심으로부터는 전술한 전극판(82)과 일체로 형성된 제 1 통전용 접속부(90)가 돌기 형상으로 돌출하여 형성되어 있다. 또한, 1개의 변과 대향하는 다른 변의 중심으로부터는, 마찬가지로 전극판(82)과 일체로 형성된 제 2 통전용 접속부(92)가 돌기 형상으로 돌출하여 형성되어 있다. 제 1 통전용 접속부(90) 또는 제 2 통전용 접속부(92) 중 어느 한쪽 또는 쌍방에 전술한 통전용 배선(74)의 일단이 접속된다.
도 5는 압전 액추에이터(58)의 제 2 실시형태를 나타내는 사시도이다.
이 제 2 실시형태에 있어서는 통전용 접속부(90)가 진동 부재(62)의 일변 중앙에만 돌기 형상으로 돌출하여 형성되어 있다. 전술한 제 1 실시형태는 대향하는 2개의 변에 통전용 접속부(90, 92)를 형성했으므로, 진동 부재(62)가 대칭형으로 변형하기 쉬워 진동 시의 밸런스가 좋다. 한편, 이 제 2 실시형태는 제 1 실시형태와 비교하여 전체적으로 통전용 접속부의 크기가 작아지므로 진동시키는 구동력을 크게 할 수 있다.
도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 통전용 접속부(90)의 돌출폭을 α, 진동 부재(62)의 중심(O)으로부터 정점까지의 거리를 r1로 하면, 진동 부재(62)의 중심(O)으로부터 통전용 접속부(90)의 선단까지의 거리(L1)는,
L1=r1/√2+α…(1)
로 된다.
여기에서는 L1≤r1로 되도록 α가 정해져 있다.
즉, r1/√2+α≤r1이므로 α≤r1-r1/√2로 된다.
한편, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 진동 부재(62)의 외형이 반경(r1)의 원일 경우에는 진동 부재(62)의 중심으로부터 통전용 접속부(90)의 선단까지의 거리(L2)는,
L2=r1+α…(2)
식(1)과 식(2)을 비교하면 명백하게 L2보다도 L1이 작다. 그 때문에, 진동 부재(62)의 외형이 원인 비교예와 비교해서 진동 부재(62)의 외형이 정방형인 제 2 실시형태 쪽이 설치 면적으로서는 작아진다.
또한, 진동 부재(62)의 외형이 사각 형상이면, 전술한 케이싱(12)이 직방체일 경우에는 케이싱(12)의 모서리부와 진동 부재(62)의 모서리부가 맞아, 압전 액추에이터(58)의 수납을 좋게 할 수 있다.
도 7은 중심(O)으로부터 통전용 접속부(90)의 선단까지의 거리가 같은 r2+α의 경우로 비교하고 있다.
도 7의 (a)에 나타내는 제 2 실시형태에 있어서는 진동 부재(62)가 정방형이므로 진동 부재(62)의 면적(S1)은,
S1=4r22…(3)
이다.
한편, 도 7의 (b)에 나타내는 비교예에 있어서는 진동 부재(62)가 원이므로 진동 부재(62)의 면적(S2)은,
S2=πr22…(4)
식(3)과 식(4)으로부터 S1>S2이다.
압전 액추에이터(58)에 있어서, 압전 소자가 같은 재료, 같은 두께, 같은 배향 특성을 가지면, 진동 부재(62)를 진동시키는 구동력은 진동 부재(62)의 면적에 비례할 것으로 생각된다.
따라서, 제 2 실시형태에 있어서의 진동 부재(62)를 진동시키는 구동력은 비교예에 비교하여 크다.
예를 들면, 직방체의 케이싱(12)의 모서리부에 진동 부재(62)를 설치할 때에, 통전용 접속부(90)를 어느 위치(방향)로 하여 조립해도 되도록 하면 제조하기 쉽다. 그 경우, 도 7의 (c)에 나타내는 바와 같이, 같은 소요 설치 면적이어도 실선으로 나타내는 제 2 실시형태 쪽이 파선으로 나타내는 비교예보다도 진동 부재(62)의 면적을 크게 할 수 있으므로 구동력을 크게 할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서는, 진동 부재(62)의 외형 형상은 정방형으로 한정되는 것은 아니며 다른 정다각형이 포함된다. 또한, 정다각형으로 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 도 8에 나타내는 제 3 실시형태와 같이, 정방형의 일부를 노칭한 것도 포함된다. 또한, 도 9에 나타내는 제 4 실시형태와 같이, 원의 일부를 노칭하여 변을 형성하고 이 변에 통전용 접속부(90)를 설치하도록 해도 된다.
또한, 통전용 접속부(90)는 도 10에 나타내는 바와 같이 사각 형상뿐만 아니라 다양한 형상으로 변형할 수 있다. 예를 들면, 도 10의 (a)에 나타내는 바와 같이 통전용 접속부(90)는 반원 형상으로 해도 되고, 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이 삼각 형상으로 해도 된다. 또한, 도 10의 (c)에 나타내는 바와 같이 근원 부분을 가늘게 하고, 통전용 배선(74)의 일단이 솔더 등으로 접속되는 부분을 크게 해도 된다. 전극판(82)의 본체와 통전용 접속부(90)의 경계 부분의 길이는 짧은 편이 진동 부재(62)의 진동에 주는 영향이 작으므로, 진동 부재(62)가 발생시키는 구동력을 크게 할 수 있다. 반대로 도 10의 (d)에 나타내는 바와 같이, 통전용 접속부(90)가 변부(邊部) 전체로부터 돌출하도록 해도 된다. 구동력은 불리하지만 접속을 용이하게 할 수 있다. 또한, 도 10의 (e)에 나타내는 바와 같이, 통전용 접속부(90)는 변부의 중앙으로부터가 아닌, 치우친 위치로부터 돌출하도록 해도 된다.
압전 액추에이터의 진동 부재는 바이모르프형으로 설명해 왔지만, 1개의 평판 형상의 압전 소자와 전극판을 서로의 판면을 맞춰서 고착시킨, 소위 유니모르프형으로 해도 된다. 압전 소자와는 반대측의 전극판의 표면에서 통전용의 배선을 접속하지 않아도 되므로, 진동 부재의 진동 상태의 편차를 억제할 수 있다. 또한, 진동 부재는 압전 소자와 전극판을 복수 회 겹친 것이어도 된다.
10 : 리니어 구동 장치
12 : 케이싱
18 : 줌 렌즈
20 : 포커스 렌즈
26 : 줌 렌즈 유지체
28 : 포커스 렌즈 유지체
58 : 제 1 압전 액추에이터
60 : 제 2 압전 액추에이터
62, 64 : 진동 부재
66, 68 : 구동축
78, 80 : 압전 소자
82 : 전극판
90, 92 : 통전용 접속부

Claims (8)

  1. 평판 형상의 압전 소자와 당해 압전 소자에 서로의 판면(板面)을 맞춰서 고착된 전극판을 갖는 진동 부재와,
    상기 진동 부재에 고정된 구동축을 갖고,
    상기 진동 부재는, 외주(外周)가 복수의 정점(頂点)과 당해 정점간을 접속하는 변(邊)을 가지며, 상기 전극판은, 상기 진동 부재의 변으로부터 돌기 형상으로 돌출하는 통전용 접속부를 갖는 압전 액추에이터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 진동 부재는, 상기 진동 부재의 중심으로부터 상기 통전용 접속부의 선단(先端)까지의 거리가, 상기 진동 부재의 중심과 상기 진동 부재의 중심으로부터 가장 떨어진 정점 사이의 거리를 상회(上回)하지 않는 압전 액추에이터.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 진동 부재의 외형이 정다각형인 압전 액추에이터.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 통전용 접속부는 복수이며, 서로 떨어진 변에 각각이 형성되어 있는 압전 액추에이터.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 통전용 접속부는 1개인 압전 액추에이터.
  6. 평판 형상의 압전 소자와 당해 압전 소자에 서로의 판면을 맞춰서 고착된 전극판을 갖는 진동 부재와, 상기 진동 부재에 고정된 구동축을 갖는 압전 액추에이터와,
    상기 압전 액추에이터의 구동축에 마찰 접촉해 있는 이동체를 갖고,
    상기 압전 액추에이터의 진동 부재는, 외주가 복수의 정점과 당해 정점간을 접속하는 변을 가지며, 상기 전극판은, 상기 진동 부재의 변으로부터 돌기 형상으로 돌출하는 통전용 접속부를 갖는 리니어 구동 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 이동체에는 렌즈가 설치되어 있는 리니어 구동 장치.
  8. 평판 형상의 압전 소자와 당해 압전 소자에 서로의 판면을 맞춰서 고착된 전극판을 갖는 진동 부재와, 상기 진동 부재에 고정된 구동축을 갖는 압전 액추에이터와,
    상기 압전 액추에이터의 구동축에 마찰 접촉해 있는 이동체와,
    상기 압전 액추에이터의 구동축을 진동 가능하게 지지하는 케이싱을 갖고,
    상기 압전 액추에이터의 진동 부재는, 외주가 복수의 정점과 당해 정점간을 접속하는 변을 가지며, 상기 전극판은, 상기 진동 부재의 변으로부터 돌기 형상으로 돌출하는 통전용 접속부를 갖는 전자 기기.
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