KR20150145919A - 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터 - Google Patents

플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터 Download PDF

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KR20150145919A
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Abstract

본 발명은 PCB 기판 상에 솔더크림을 프린팅하는 장치에 있어서, 프린팅 전단계로 기판의 표면을 클리닝하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터에 관한 것으로, 프린터부; 및 상기 프린터부의 일측에 마련되고, 내측으로 기판이 인입되어 상기 스크린 프린터 본체부로 이송하는 이송경로가 마련되는 플라즈마 전처리부를 포함하고, 상기 플라즈마 전처리부는, 상기 이송경로 상에 상기 기판을 이송시키도록 마련되는 컨베이어부; 상기 컨베이어부의 상면에 위치하도록 마련되고, 상기 컨베이어부로 이송되는 기판 상면에 플라즈마 처리가 되도록 구비되는 플라즈마 발생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터가 제공된다.
본 발명에 따른 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터에 의하면, 플라즈마 반응기의 강한 산화반응에 의해 PCB 표면의 오염물질이 분해됨으로써 오염물질의 제거 및 재부착이 방지되어 제품 수율을 높힐 수 있다. 또한 대기압 플라즈마 방식을 이용함으로써 기판의 이송과정에서 기밀을 유지할 필요가 없으므로 클리닝 공정과 프린팅 공정이 연속적으로 진행되어 생산성이 높다.

Description

플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터{Screen printer with plasma cleaning unit}
본 발명은 스크린 프린터에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 PCB 기판 상에 솔더크림을 프린팅하는 장치에 있어서, 프린팅 전단계로 기판의 표면을 클리닝하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터에 관한 것이다.
일반적으로 PCB(Printed Circuit Board)의 가공과정에서 기판의 패턴 상에 크림 형상의 솔더(solder)를 도포하는 공정이 포함된다. 솔더는 회로를 구성하는 부품이 기판 상에 실장될 수 있도록 하는 역할을 하는데, 이때 솔더가 도포되는 기판 상에 이물질이 묻어 있게 되면 후처리 과정에서 기판 전체가 불량 판정을 받는 요인이 될 수 있기 때문에 이물질의 제거가 중요한 공정 중 하나이다.
종래의 시스템에 있어서 PCB 기판 표면에 존재하는 이물질을 제거하는 방법으로는, 작업자가 브러쉬를 이용하여 수동으로 수행하는 방법이 있으나 이는 수동식 스크린 프린터에 적합한 방법으로, 본 발명이 제공하고자 하는 전자동 스크린 프린터에 적용하기 어렵다.
국내 공개특허 제10-2011-0131011호(발명자 : 박승일)는 기판을 이송시 키는 컨베이어 벨트; 상기 컨베이어 벨트의 하측에 배치되어 이송된 기판을 지지하며, 이송된 기판의 이동을 방 지하기 위해 음압 공급을 위한 음압홀이 형성된 진공 척(vacuum chuck); 상기 진공 척으로 이송되는 기판에 존재 하는 이물질을 제거하기 위해 상기 진공 척의 전방 상측에는 마련되는 에어 브러시(air brush); 및 상기 에어 브 러시의 전방에 마련되어, 상기 기판에서 분리된 이물질을 흡입하는 흡입기를 포함하는 스크린 프린터의 클리닝 장치 및 이를 구비하는 스크린 프린터를 제공한다.
상기 비교기술은 스크린 프린터에 있어서, 컨베이어 벨트에 의해 이송되는 기판을 에어 브러시 및 흡입기로 클리닝할 수 있는 클리닝 장치가 구비됨으로써 기판 상의 오염물질을 제거하도록 하고 있다.
그러나 상기 비교기술은 물리적인 방식으로 기판 상의 오염물질을 제거하도록 되어 있어 클리닝 정도가 제한적이며, 특히 PCB 선로 표면에 형성되는 산화막의 제거가 불가능하고, 에어브러시의 와류에 의해 오염물질이 기판에 재부착될 수 있다는 문제점이 있다.
상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 플라즈마 반응기의 강력한 환원반응을 이용하여 금속산화막을 제거하거나 오염원을 분해시키고, 기판 표면이 고도의 청정상태로 프린팅될 수 있도록 하는 플라즈마 전처리부를 구비하는 스크린 프린터를 제공한다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시예에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면에 의하면, 프린터부; 및 상기 프린터부의 일측에 분리가능하게 설치되고, 내측으로 기판이 인입되어 상기 프린터부로 이송되도록 하는 이송경로가 마련되는 플라즈마 전처리부를 포함하고, 상기 플라즈마 전처리부는, 상기 이송경로 상에 상기 기판을 이송시키도록 마련되는 컨베이어부; 상기 컨베이어부의 상면에 위치하도록 마련되고, 상기 컨베이어부로 이송되는 기판 상면에 플라즈마 처리가 되도록 하는 플라즈마 발생부를 포함하고, 상기 프린터부는, 상기 플라즈마 전처리부로부터 이송되는 기판이 안착되는 트레이; 상기 트레이의 상면에 이동가능하게 구비되고, 스퀴지 및 마스크스토퍼가 설치되도록 마련되는 복합지그; 및 상기 트레이의 저면에 설치되고, 상기 기판의 위치를 보정하도록 마련되는 기판보정부를 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터가 제공된다.
여기에서 상기 플라즈마 발생부는, 상기 기판의 상면에 위치하고, 높이조절부에 의해 상기 기판으로부터 이격되는 높이가 조절되도록 마련되고, 플라즈마 방전을 발생시키는 플라즈마 반응기; 상기 플라즈마 반응기에 전원을 공급하는 RF 제너레이터; 상기 플라즈마 반응기에 반응가스를 공급하는 가스공급부; 및 상기 플라즈마 반응기, RF 제너레이터 및 가스공급부를 제어하도록 마련되는 제어부를 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터가 제공된다.
한편 상기 컨베이어부는, 상단 모서리가 ㄱ자형으로 꺾여지도록 단부가 형성되고, 상기 단부의 일측으로 상기 기판의 일측이 접하여 이송되는 고정식 이송레일; 상기 고정식 이송레일이 상단 일측에 분리가능하게 결합되도록 마련되는 고정프레임; 상기 고정식 이송레일에 대향되게 설치되고, 상단 모서리가 ㄱ자형으로 꺾여지도록 단부가 형성되고, 상기 단부의 일측으로 상기 기판의 타측이 접하여 이송되는 구동레일; 상기 구동레일이 상단 일측에 분리가능하게 결합되고, 일 측면을 관통하는 구동레일축 상에서 상기 이송레일 방향으로 이동가능하게 마련되는 구동프레임; 고정프레임 및 상기 구동프레임 일측에 각각 설치되어 순환이동되도록 장착되는 이송벨트; 및 상기 고정식 이송레일의 전면 및 후면 측 단부에 각각 설치되는 감지센서를 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터.
상기 기판보정부는, 상기 트레이의 저면에 설치되고, 상기 트레이가 X축 방향으로 움직일 수 있도록 가동되는 X축보정부; 상기 X축보정부의 저면에 설치되고, 상기 X축보정부 및 상기 트레이가 Y축 방향으로 움직일 수 있도록 가동되는 Y축보정부; 및 상기 Y축 보정부의 저면에 설치되고, 상기 X축보정부, Y축보정부 및 트레이가 수직축에 대해 회전할 수 있도록 가동되는 θ각보정부를 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터가 제공된다.
상기 트레이는, 상기 기판이 안착되어 이송되는 이송레일이 마련되고, 상기 이송레일은, 일측에 고정되어 구비되는 고정레일; 및 상기 고정레일에 대향되게 설치되고, 상기 고정레일와의 간격을 조절하도록 이동가능하게 마련되는 이동레일을 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터가 제공된다.
본 발명에 따른 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터에 의하면, 플라즈마 반응기의 강한 환원반응에 의해 PCB 선로의 산화막 및 오염물질이 분해되고 재부착이 방지되어 제품 수율을 높힐 수 있다.
또한 대기압 플라즈마 방식을 이용함으로써 기판의 이송과정에서 기밀을 유지할 필요가 없으므로 클리닝 공정과 프린팅 공정이 연속적으로 진행되어 생산성이 높다.
플라즈마 전처리부는 독립적인 운용이 가능하며, 기존의 스크린 프린트 장비에 부가적으로 설치될 수 있으므로 장비교체로 인한 추가 비용이 발생하지 않으므로 경제적이다.
도 1은 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 일 실시예를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 일 실시예를 도시한 내부 사시도이다.
도 3은 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 플라즈마 전처리부의 일 실시예를 도시한 분해사시도이다.
도 4는 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 컨베이어부의 일 실시예를 도시한 측단면도이다.
도 5는 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 기판보정부의 일 실시예를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 플라즈마 전처리부의 일 실시예를 도시한 구성도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해 되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 일 실시예를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 일 실시예를 도시한 내부 사시도이며, 도 3은 본 발명인 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 일 실시예를 도시한 분해사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명은 플라즈마 전처리부(100) 및 프린터부(200)로 구성될 수 있다.
전처리부(100)는 다시 컨베이어부(110)와 플라즈마 발생부(120)로 구성될 수 있다.
컨베이어부(110)는, 고정프레임(115)과 구동프레임(116)에 각각 고정식 이송레일(111)과 구동레일(113)이 결합되어 마련된다. 이때 고정식 이송레일(111) 및 구동레일(112)은 각각의 프레임(115, 116)에 볼트결합에 의해 분리 가능하게 고정됨으로써, 기판(10)의 크기, 또는 프린터부(200)와 플라즈마 전처리부(100) 사이의 간격에 따라 레일의 길이를 조절하여 설치할 수 있다. 일반적으로 플라즈마 전처리부(100)와 프린터부(200) 사이의 간격은 기판(10)의 이송경로가 최단거리를 이루도록 밀착되어 설비되는 것이 보통이나, 플라즈마 전처리부(100)를 거친 기판(10)의 처리 결과를 육안 확인할 수 있는 구간을 이송경로 상에 둘 수 있고, 이를 위해 플라즈마 전처리부(100)와 프린터부(200)가 이격되어 이송경로가 기기 외부로 노출되도록 장비를 설치할 수 있다. 이를 위해 고정식 이송레일(111) 및 구동레일(113)이 플라즈마 전처리부(100)로부터 이격된 거리만큼 연장되어 프린터부(200)까지 이어지도록 함으로써 기판(10)이 프린터부(200)로 이송되는 과정에서 설비의 외부로 연장된 경로를 따라 이송되도록 할 수 있다.
도 3을 참조하면, 고정식 이송레일(111)과 구동레일(112)은 상단부가 ㄱ자로 꺽인 형태로 마련되고, 꺾인 모서리의 방향이 기판(10)의 상면 양 측 모서리에 접하도록 형성된다. 이송벨트(114)는 기판(10)의 저면에 접하도록 고정프레임(115) 및 이송레일 프레임(116) 일측에 각각 설치됨으로써 기판(10)이 이송레일(111)과 구동레일(112) 사이에서 진행방향을 따라 이송되도록 구동력을 전달한다.
또한 구동프레임(116)은 구동레일축(113) 및 보조축(112b)이 일측을 관통하도록 마련됨으로써 고정식 이송레일(111)과의 간격을 조절할 수 있다. 구동레일(112) 또는 이송레일(111)의 일측에는 구동레일용 모터(114a)가 구비됨으로써 구동레일(112)이 구동되는 동력을 전달할 수 있다.
구동레일(112)의 이동에 의해 구동레일(112)과 이송레일(111)이 기판(10)의 양 측면에 접하도록 간격이 조절되면, 기판(10)의 양 측 모서리가 구동레일(112) 내지는 이송레일(111)의 ㄱ자형 상단 모서리의 측면에 접하여 이송벨트(114) 상에 안착된다. 이송벨트(114)는 고정프레임(15)과 구동프레임(116) 일측에 각각 마련되어 기판(10)의 저면에 접하도록 설치됨으로써 기판(10)을 이송시킬 수 있도록 구동된다.
이송벨트(114)는 탄성력 있는 재질의 밴드로 마련되고, 구동롤러, 텐션롤러 및 리턴롤러 등에 감겨 순환되도록 설치됨으로써 기판(10)이 이송될 수 있도록 마련된다.
한편 이송레일(111)의 전면 및 후면 일측에는 센서(s)가 마련되어 기판(10)이 컨베이어부(110)에 삽입되거나 통과되는 상태를 감지하여 제어부(124)로 신호를 전달하고, 제어부(124)는 RF제너레이터(122)를 제어하여 플라즈마 반응기(121)가 온/오프(on/off)되도록 한다.
도 4를 참조하면, 컨베이어부(110)의 단면도가 도시되어 있다.
기판(10)은 이송레일(111) 내지 구동레일(112) 사이에 측면이 접하고, 이송벨트(114) 상에 안착되어 이송벨트(114)의 이동에 따라 플라즈마 반응기(115)의 저면을 통과하여 프린터부(200) 내측으로 이동한다.
이때 기판(10)이 삽입되는 위치의 센서(s)에 기판(10)이 촉지되고, 플라즈마 반응기(121)가 작동하면서 기판(10)이 클리닝된 후 이송벨트(114)에 의해 이송되어 스크린 프린터 측의 센서(s)에 촉지되어 플라즈마 반응기(121)의 작동이 중지됨에 따라, 작업이 연속적으로 이루어질 수 있다.
도 6을 참조하면 플라즈마 발생부(120)의 일 실시예를 도시한 구성도가 도시되어 있다.
도 6에 따르면, 플라즈마 발생부(120)는 플라즈마 반응기(121), RF제너레이터(122), 가스공급부(123) 및 제어부(124)로 구성될 수 있다.
플라즈마 반응기(121)는 저면부가 기판(10)의 상면으로부터 소정의 간격으로 이격되어 설치됨으로써 기판(10) 표면에 플라즈마 방전이 일어나도록 마련된다. 본 발명에 따라 제공되는 플라즈마 반응기(121)는 대기압 하에서 플라즈마 방전이 이루어지도록 마련됨에 따라, 가스공급부(123)에서는 플라즈마 반응기(121)와 기판(10) 사이의 공간에 아르곤(Ar) 또는 질소(N2)를 반응가스로서 공급한다. RF제너레이터(122)는 플라즈마 반응기(121)에서 소요되는 전력을 공급하는 역할을 한다.
제어부(124)는 기판(10)이 컨베이어(110)에 이송되는 것을 감지하여 RF제너레이터(122) 및 가스공급부(123) 동작을 제어하여 플라즈마 방전이 온/오프(on/off)되도록 하는 역할을 한다.
한편 다시 도 3을 참조하면, 플라즈마 반응기(121)는 높이조절부(125)에 장착됨으로써 기판(10)으로부터 플라즈마 반응기(121)의 저면까지의 높이가 조절되도록 할 수 있다. 플라즈마 반응기(121)는 제어부(124)에 의해 출력이 조절되도록 할 수도 있으나, 좀더 정밀한 조절을 위해 반응기(121)와 기판(10) 사이의 물리적 간격이 조절되도록 할 수도 있다. 이를 위해 높이조절부(125)는 반응기 고정대(125b)에 반응기가 장착되고, 반응기 고정대(125b)는 다시 일측에 구비되는 승강축(125c)에 결합되어 승강축(125c)을 따라 수직으로 상승 내지 하강될 수 있도록 마련된다. 반응기 고정대(125b)의 타측에 마련되는 조절다이얼(125a)을 조절하여 반응기 고정대(125b)가 승강축(125c)을 따라 이동되도록 할 수 있다.
도 2 및 도 5를 참조하면, 프린터부(200)는 스퀴지업다운부(210), 기판보정부(230), 트레이(234)로 구성될 수 있다.
먼저 트레이(234)는 플라즈마 전처리부(100)로부터 이송되는 기판(10)이 안착되어 프린팅이 진행되는 구성으로서, 기판(10) 상면에 마스크(미도시)가 정확히 안착될 수 있도록 하는 기판보정부(230)가 저면에 구비된다.
기판보정부(230)는 트레이(234)가 x축 방향으로 움직일 수 있도록 하는 X축보정부(231), y축으로 움직일 수 있도록 하는 Y축보정부(232) 및 수직축에 대한 x축과 y축 사이의 각도(θ)를 조절할 수 있는 θ각보정부(233)로 이루어질 수 있다.
이때 X축보정부(231)는 Y축보정부(232) 상에 안착됨으로써 Y축보정부(232)의 기동에 따라 같이 기동되며, Y축보정부(232)는 다시 θ각보정부(233) 상에 안착되어 있음으로써 θ각보정부(233)의 기동에 따라 같이 기동된다.
즉 본 발명에 따른 기판보정부(230)는 θ각보정부(233)의 기동에 따라 X축보정부(231) 및 Y축보정부(232)가 동시에 기동되어 보정이 이루어지고, 다시 Y축보정부(232)의 기동에 따라 X축보정부(231)가 동시에 기동되어 보정이 이루어지며, 최종적으로는 X축보정부(231)가 독립적으로 기동되어 보정이 이루어지는 순차적 방식으로 작동된다.
트레이(234)가 기판보정부(230)의 기동에 따라 x축, y축 내지는 θ각으로 기동됨에 따라 트레이(234) 상의 기판(10)이 같이 기동되어 마스크와 일치되도록 보정이 이루어질 수 있다. 이때 마스크(미도시)는 마스크스토퍼(212)에 접하여 일정한 위치가 유지될 수 있다.
스퀴지업다운부(210)에는 스퀴지(211) 및 마스크스토퍼(212)가 설치되고, 트레이(234)의 상면 측에서 x축 내지 y축 방향을 따라 기동되도록 마련된다. 스퀴지(211)는 스퀴지업다운부(210)의 기동에 따라 기판(10)에 솔더가 프린팅되도록 마스크에 밀착되어 움직이며, y축 방향에 대해 전후 한 쌍의 블레이드로 구비된다.
보정카메라(213)는 스퀴지업다운부(210)의 저면 일측에 설치되고, IR광을 이용해 마스크와 기판(10)을 실시간으로 촬영하여 영상을 생성함으로써, 작업자가 이를 통해 기판보정부(230)를 작동하여 보정을 실시할 수 있다.
한편 트레이(234)는 플라즈마 전처리부(100)의 컨베이어부(110)와 같이 다양한 크기의 기판(10)이 안착될 수 있도록 하는 이송레일(234a, 234b)이 구비될 수 있다. 이때 이송레일은 일측에 고정되도록 마련되는 고정레일(234a) 및 고정레일(234a)에 대향되게 설치되고, 고정레일(234a)과의 간격을 조절하도록 이동가능하게 마련되는 이동레일(234b)로 이루어질 수 있다. 이동레일(234b)은 일측을 관통하는 구동축과 보조축이 마련되고, 서보모터에 의해 이동레일(234b)이 구동축 상을 이동하도록 함으로써 고정레일(234a)과 이동레일(234b)의 간격이 조절되어 기판(10)의 양 측면에 밀착되도록 함으로써 기판(10)이 안정적으로 프린팅되도록 할 수 있다.
또한 이송레일(234a, 234b)의 저면 일측에는 각각 컨베이어 벨트가 마련되어 기판(10)이 연속적으로 이송되도록 할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터의 작용을 설명하기로 한다.
스크린 프린터(1000)는 플라즈마 전처리부(100)와 프린터부(200)로 이루어질 수 있으며, 기판(10)의 처리가 연속적인 공정으로 이루어짐에 따라 전처리부(100)와 프린터부(200)는 동일한 하우징 내에 설치되도록 마련되고, 전처리부(100) 내의 컨베이어부(110)와 프린터부(200) 내의 이송장치가 연속적으로 기판(10)을 이송할 수 있도록 연결되게끔 마련될 수 있다.
기판(10)을 전처리부(100) 일측으로 삽입하면, 기판(10)이 고정식 이송레일(111) 일측에 설치되는 센서(s)를 촉지하면서 플라즈마 반응기(121)가 온(on)되어 기판 표면의 클리닝이 시작된다. 본 발명에 따른 플라즈마 반응기(121)는 대기압 플라즈마를 적용함으로써, 별도의 기밀 챔버를 거치지 않고, 기판(10)이 컨베이어부(110)에 의해 이송되는 과정에서 클리닝이 이루어지도록 함으로써 다수의 기판에 대한 연속적인 공정 진행이 가능하다.
구체적으로 센서(s)의 신호가 플라즈마 발생부(120)의 제어부(124)에 전달되면, 제어부(124)는 RF제너레이터(122) 및 가스공급부(123)을 가동하여 플라즈마 반응기(121)로부터 플라즈마 방전이 발생하도록 제어한다.
기판(10)이 컨베이어부(110)에 의해 이송되어 이송레일(111) 타측의 센서(s)를 촉지하면서 컨베이어부(110)를 빠져나가면, 제어부(124)가 이를 감지하여 플라즈마 발생부(120)의 작동을 중지한다. 이때 기판(10)은 프린터부(200)로 이송되어 프린팅 공정이 연속적으로 시작될 수 있다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1000 : 스크린 프린터
100 : 플라즈마 전처리부 110 : 컨베이어부
111 : 고정식 이송레일 112 : 구동레일
113 : 구동레일축 114 : 이송벨트
115 : 고정프레임 116 : 구동프레임
120 : 플라즈마 발생부 121 : 플라즈마 반응기
122 : RF제너레이터 123 : 가스공급부
124 : 제어부 125 : 높이조절부
125a : 조절다이얼 125b : 반응기 고정대
125c : 승강축
200 : 프린터부 210 : 스퀴지업다운부
211 : 스퀴지 212 : 마스크스토퍼
213 : 보정카메라
230 : 기판보정부 231 : X축보정부
232 : Y축보정부 233 : θ각보정부
234 : 트레이
10 : 기판

Claims (5)

  1. 프린터부(200); 및
    상기 프린터부(200)의 일측에 분리가능하게 설치되고, 내측으로 기판(10)이 인입되어 상기 프린터부(200)로 이송되도록 하는 이송경로가 마련되는 플라즈마 전처리부(100)를 포함하고,
    상기 플라즈마 전처리부(100)는,
    상기 이송경로 상에 상기 기판(10)을 이송시키도록 마련되는 컨베이어부(110);
    상기 컨베이어부(110)의 상면에 위치하도록 마련되고, 상기 컨베이어부(110)로 이송되는 기판(10) 상면에 플라즈마 처리가 되도록 하는 플라즈마 발생부(120)를 포함하고,
    상기 프린터부(200)는,
    상기 플라즈마 전처리부(100)로부터 이송되는 기판(10)이 안착되는 트레이(234);
    상기 트레이(234)의 상면에 이동가능하게 구비되고, 스퀴지(211) 및 마스크스토퍼(212)가 설치되도록 마련되는 스퀴지업다운부(210); 및
    상기 트레이(234)의 저면에 설치되고, 상기 기판(10)의 위치를 보정하도록 마련되는 기판보정부(230)를 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마 발생부(120)는,
    상기 기판(10)의 상면에 위치하고, 높이조절부(125)에 의해 상기 기판(10)으로부터 이격되는 높이가 조절되도록 마련되고, 플라즈마 방전을 발생시키는 플라즈마 반응기(121);
    상기 플라즈마 반응기(121)에 전원을 공급하는 RF 제너레이터(122);
    상기 플라즈마 반응기(121)에 반응가스를 공급하는 가스공급부(123); 및
    상기 플라즈마 반응기(121), RF 제너레이터(122) 및 가스공급부(123)를 제어하도록 마련되는 제어부(124)를 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 컨베이어부(110)는,
    상단 모서리가 ㄱ자형으로 꺾여지도록 단부가 형성되고, 상기 단부의 일측으로 상기 기판(10)의 일측이 접하여 이송되는 고정식 이송레일(111);
    상기 고정식 이송레일(111)이 상단 일측에 분리가능하게 결합되도록 마련되는 고정프레임(115);
    상기 고정식 이송레일(111)에 대향되게 설치되고, 상단 모서리가 ㄱ자형으로 꺾여지도록 단부가 형성되고, 상기 단부의 일측으로 상기 기판(10)의 타측이 접하여 이송되는 구동레일(112);
    상기 구동레일(112)이 상단 일측에 분리가능하게 결합되고, 일 측면을 관통하는 구동레일축(113) 상에서 상기 이송레일 방향으로 이동가능하게 마련되는 구동프레임(116);
    고정프레임(115) 및 상기 구동프레임(116) 일측에 각각 설치되어 순환이동되도록 장착되는 이송벨트(114); 및
    상기 고정식 이송레일(111)의 전면 및 후면 측 단부에 각각 설치되는 감지센서(s)를 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판보정부(230)는,
    상기 트레이(234)의 저면에 설치되고, 상기 트레이(234)가 X축 방향으로 움직일 수 있도록 가동되는 X축보정부(231);
    상기 X축보정부(231)의 저면에 설치되고, 상기 X축보정부(231) 및 상기 트레이(234)가 Y축 방향으로 움직일 수 있도록 가동되는 Y축보정부(232); 및
    상기 Y축 보정부의 저면에 설치되고, 상기 X축보정부(231), Y축보정부(232) 및 트레이(234)가 수직축에 대해 회전할 수 있도록 가동되는 θ각보정부(233)를 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 트레이(234)는,
    상기 기판(10)이 안착되어 이송되는 이송레일(234a, 234b)이 마련되고,
    상기 이송레일(234a, 234b)은,
    일측에 고정되어 구비되는 고정레일(234a); 및
    상기 고정레일(234a)에 대향되게 설치되고, 상기 고정레일(234a)과의 간격을 조절하도록 이동가능하게 마련되는 이동레일(234b)을 포함하는 플라즈마 전처리부가 구비되는 스크린 프린터.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107187182A (zh) * 2017-04-20 2017-09-22 杭州升达电子有限公司 一种led白油板生产加工设备
KR20220154643A (ko) * 2020-09-22 2022-11-22 연세대학교 산학협력단 마이크로 니들 제조 기판의 플라즈마 처리모듈, 마이크로 니들 제조기판 합착 장비 및 이의 제어방법

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