KR20150088705A - 능동 프로브 카드 - Google Patents

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KR20150088705A
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probe card
test
dut
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훙-웨이 라이
충-런 리
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시트로닉스 테크놀로지 코퍼레이션
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Abstract

피시험 반도체 장치(DUT)의 테스트 대역폭을 향상시키기 위한 능동 프로브 카드는, 인쇄회로기판; 상기 DUT를 검사하기 위해 상기 인쇄회로기판의 제1 표면에 고정되어 있는 적어도 하나의 프로브 바늘; 상기 적어도 하나의 프로브 바늘에 연결되어 있는 적어도 하나의 접속 부재; 및 상기 인쇄회로기판에 형성되고 상기 적어도 하나의 접속 부재에 결합되어 상기 DUT의 입력 신호 또는 출력 신호를 증폭하는 증폭 회로를 포함한다.

Description

능동 프로브 카드{ACTIVE PROBE CARD}
본 출원은 2014년 1월 24일 출원되고 발명의 명칭이 "Active Prove"인 미국 가특허출원 No. 61/930,964에 대한 이점을 주장하는 바이며, 상기 문헌의 내용은 본 명세서에 원용되어 병합된다.
본 발명은 탐침 장치에 관한 것이며, 특히 피시험 장치(Device Under Test: DUT)의 테스트 대역폭을 향상시킬 수 있는 능동 프로브 카드에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 제조가 완료된 후, 웨이퍼에 대해 테스트 흐름을 진행하여 반도체 장치가 정상적으로 동작할 수 있는지를 판정한다. 테스트 흐름에서, 프로브 카드, 프로버, 및 테스터가 협동하여 웨이퍼 상의 칩의 전기적 특성을 테스트한다. 프로브 카드는 수 개의 미세한 바늘과 함께 장착된 인쇄회로기판(PCB)을 포함하며, 이러한 바늘은 피시험 반도체 장치와 프로버 간의 테스트 인터페이스 역할을 한다. 프로버는 한 조각의 웨이퍼를 프로브 카드의 프로브 바늘이 칩의 대응하는 패드를 조사 및 접촉할 수 있는 올바른 위치로 정밀하게 이동시키는 역할을 한다. 테스터는 반도체 장치의 파라미터, 기능성, 및 전기 특성을 측정하기 위해 프로브 카드를 통해 테스트 신호를 송신하는 역할을 한다.
웨이퍼-레벨 패키지, 고주파 회로, 및 3차원 집적회로(3D IC)의 발달에 따라, 웨이퍼 테스트 또는 칩 테스트(CP)에 고속 또는 무선 주파수(RF) 테스트가 필요하다. 그렇지만, 고속 회로 테스트에 있어서, 프로브 바늘은 기생 인덕턱스와 동등하다. 또한, 고속 테스트 신호는 프로브 카드 PCB로부터 피시험 반도체 장치까지의 비교적 긴 궤적를 지나야 한다. 고속 테스트 신호가 피시험 반도체 장치에 도달할 때쯤이면, 신호는 이미 상당히 저하되어 있을 수 있다.
또한, 많은 반도체 장치는 에너지 효율 전자제품에 대한 요구를 충족하도록 저전력으로 동작하도록 설계된다. 그럼에도, 이러한 피시험 반도체 장치는 통상적으로 구동 성능이 떨어지고 이에 따라 피시험 반도체 장치로부터 송신된 신호는 프로브 바늘과 프로브 카드 PCB를 통과한 후에 지터 잡음(jitter noise)이 가득 차 있게 될 것이다. 이러한 상황에서는, 테스터가 정확한 검사 결과를 얻을 수 없다. 결과적으로, 테스트 대역폭이 좁다.
그러므로 전술한 고속 회로 테스트의 문제를 극복하기 위해 피시험 반도체 장치의 테스트 대역폭을 향상시키는 것이 과제이다.
본 발명의 목적은 피시험 반도체 장치의 테스트 대역폭을 향상시킬 수 있는 능동 프로브 카드를 제공하는 것이다. 능동 프로브 카드는 테스트 흐름을 가속시키고 테스트 정확도를 향상시키는 능동 회로를 포함하며 이에 따라 프로브 카드는 고속 또는 RF 테스트에 적합하다.
본 발명의 실시예는 피시험 반도체 장치(DUT)의 테스트 대역폭을 향상시키기 위한 능동 프로브 카드에 대해 개시한다. 상기 능동 프로브 카드는, 인쇄회로기판; 상기 DUT를 검사하기 위해 상기 인쇄회로기판의 제1 표면에 고정되어 있는 적어도 하나의 프로브 바늘; 상기 적어도 하나의 프로브 바늘에 연결되어 있는 적어도 하나의 접속 부재; 및 상기 인쇄회로기판에 형성되고 상기 적어도 하나의 접속 부재에 결합되어 상기 DUT의 입력 신호 또는 출력 신호를 증폭하는 증폭 회로를 포함한다.
본 발명의 이러한 목적 및 다른 목적은 다양한 도면에 도시되어 있는 양호한 실시예에 대한 이하의 상세한 설명을 읽은 후 당업자에게 자명하게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트 시스템에 대한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 시스템 내의 능동 프로브 카드 및 DUT를 도시한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 시스템 내의 능동 프로브 카드 및 DUT를 도시한다.
도 4는 본 발명의 추가의 실시예에 따른 테스트 시스템 내의 능동 프로브 카드 및 DUT를 도시한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 증폭 회로에 대한 개략도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 증폭 회로에 대한 개략도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 증폭 회로에 대한 개략도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 증폭 회로에 대한 개략도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 증폭 회로에 대한 개략도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 증폭 회로에 대한 개략도이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 테스트 시스템(10)에 대한 개략도이다. 테스트 시스템(10)은 능동 프로브 카드(100), 테스터(120), 및 웨이퍼와 같은 피시험 장치(DUT)의 기능성, 파라미터, 및 전기 특성을 테스트하기 위한 프로버(140)를 포함한다. DUT(12)는 웨이퍼 검사 또는 칩 검사(CP)로 테스트될 수 있다. 능동 프로브 카드(100)는 DUT(12)의 테스트 대역폭을 향상시킬 수 있다. 능동 프로브 카드(100)는 인쇄회로기판(PCB)(102), 적어도 하나의 고정 유닛(104), 적어도 하나의 프로브 바늘(106), 및 적어도 하나의 접속 부재(108)를 포함한다. PCB(102)는 2개의 표면을 가진다. 제1 표면 S1은 DUT(12)에 대면하고 제2 표면 S2는 테스터(120)에 대면한다. 접속 부재(108)는 프로브 바늘(106)을 전기적으로 접속한다. 고정 유닛(104)은 프로브 바늘(106)을 PCB(102)의 제1 표면 S1에 고정하는 데 사용된다. PCB(102) 위에 형성된 증폭 회로(도 1에 도시되지 않음)는 접속 부재(108)에 연결되어 DUT(12)의 입력 신호 또는 출력 신호를 증폭한다. 테스터(120)로부터 생성된 고속 테스트 신호가 능동 프로브 카드(100) 상의 증폭 회로를 통과한 후, 이러한 신호의 전압 또는 전류는 DUT(12)에 전송되는 입력 신호가 더 큰 구동 성능을 가지도록 증폭된다. 한편, DUT(12)로부터 출력되는 출력 신호는 능동 프로브 카드(100) 상의 증폭 회로를 통과한 후 현재의 신호대잡음비(SNR)를 개선하였다. 그 결과, 테스트 결과에 대한 잡음 간섭의 영향이 감소된다. 그러므로 테스트 시스템(10)은 테스트 대역폭이 더 넓고 테스트 정확도가 더 높아지며 테스트 속도도 더 빨라지는 이점을 가진다.
증폭 회로는 프로브 바늘(106) 근처의 능동 프로브 카드(100)의 PCB(102) 위에 형성된다. 양호한 테스트 결과를 얻기 위해, 증폭 회로의 입력 단자 또는 출력 단자와 증폭 회로가 접속되는 프로브 바늘(106) 간의 거리는 실질적으로 10cm보다 짧다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 시스템 내의 능동 프로브 카드(200) 및 DUT(12)를 도시한다. 능동 프로브 카드(200)는 도 1에 도시된 테스트 시스템 내의 능동 프로브 카드(100)를 실현하는 데 사용될 수 있다. 능동 프로브 카드(200)에서, 증폭 회로(20)는 프로브 바늘(106)이 고정되어 있는 장소 근처의 PCB(202)의 제1 표면 S1 상에 형성된다. 증폭 회로(20) 및 프로브 바늘(106) 모두가 PCB(202)의 제1 표면 S1 상에 있기 때문에, 접속 부재(108)는 프로브 바늘(106)을 증폭 회로(20)의 출력 단자 또는 입력 단자에 직접 접속시킨다.
일부의 예에서, 증폭 회로 및 프로브 바늘은 PCB의 다른 측면들에 설정될 수 있다. 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 시스템 내의 능동 프로브 카드(300) 및 DUT(12)를 도시한다. 능동 프로브 카드(300)는 테스트 시스템(10)의 능동 프로브 카드(100)를 실현하는 데 사용될 수 있다. 능동 프로브 카드(300)에서, 증폭 회로(30)는 PCB(302)의 제2 표면 S2, 대체로 프로브 바늘(106) 위에 형성된다. PCB(302)는 일부의 비아(312A 및 312B)로 제조된다. 접속 부재(108A 및 108B)는 PCB(302)의 제1 표면 S1에서 비아(312A 및 312B)에 접속된다. 증폭 회로(30)는 PCB(302)의 제2 표면 S2에서 비아(312A 및 312B)에 접속된다.
다른 예에서, 비아는 고주파 대역에서의 더 나은 전기 특성을 위해 동축 케이블로 대체될 수 있다. 도 4는 본 발명의 추가의 실시예에 따른 테스트 시스템 내의 능동 프로브 카드(400) 및 DUT(12)를 도시한다. 능동 프로브 카드(400)는 테스트 시스템(10)의 능동 프로브 카드(100)를 실현하는 데 사용될 수 있다. 실제의 프로브 카드(400)에서, 증폭 회로(40)는 PCB(402)의 제2 표면 S2, 대체로 프로브 바늘(106) 위에 형성된다. PCB(402)는 관통공(through-hole)(412)을 가진다. 접속 부재(108)는 상기 관통공을 관통하는 동축 케이블일 수 있으며, 상기 동축 케이블의 일단은 프로브 바늘(106)에 접속되고 타단은 증폭 회로(40)에 접속된다.
본 발명은 테스트 신호의 전압 또는 전류를 증폭시키기 위해 프로브 카드의 PCB 상에 증폭 회로를 형성하며, 이에 따라 DUT의 테스트 대역폭이 향상된다는 것에 주목하라. 당업자라면 이에 대응해서 대안 및/또는 수정을 수행할 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명은 임의의 유형의 프로브 카드, 예를 들어, 캔틸레버 프로브 카드, 멤브레인 프로브 카드, 스프링 프로브 카드, 및 마이크로 전기기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEM) 프로브 카드에 적용되어, DUT의 테스트 대역폭을 향상시킬 수 있다. 또한, 프로브 바늘을 능동 프로브 카드의 PCB에 고정시키는 고정 유닛을 제조하는 데 사용되는 재료는 세라믹 재료, 또는 전기적으로 절연 플라스틱 재료일 수 있거나, 또는 프로브 바늘의 전기 특성에 영향을 주지 않는 임의의 다른 재료일 수 있다.
증폭 회로는 테스트 신호의 전압 또는 전류를 증폭하는 데 사용된다. 그러므로 적절하게 설계되어 있다면 전압 또는 전류 증폭 성능을 가진 임의의 회로를 사용하여 능동 프로브 카드에 적용할 수 있다. 예를 들어, 도 5에 도시된 증폭 회로(50)를 사용하여 전술한 예를 실행할 수 있다(즉, 증폭 회로(20, 30, 또는 40)). 증폭 회로(50)는 드라이버 집적회로(IC)이다. 입력 단자 INP 및 출력 단자 OUT를 포함한다. 증폭 회로(50)는 DUT(12)의 입력 신호 및/또는 DUT(12)의 출력 신호를 증폭할 수 있다. 더 구체적으로, 증폭 회로(50)는 능동 프로브 회로(100, 200, 300, 또는 400)에 포함될 수 있다. DUT(12)의 입력 신호를 증폭할 필요가 있으면, 증폭 회로(50)의 입력 단자 INP가 테스터(120)의 테스트 신호 출력 단자와 함께 결합될 수 있고, 증폭 회로(50)의 출력 단자 OUT는 접속 부재(108)와 함께 결합될 수 있으며, 이에 따라 DUT에 송신되는 테스트 신호의 전압 또는 전류가 증폭되어 DUT(12)에 송신되는 입력 신호의 드라이브 성능을 높인다. 한편, DUT(12)의 출력 신호를 증폭시킬 필요가 있으면, 증폭 회로(50)의 출력 단자 OUT가 테스터(120)의 테스트 신호 입력 단자와 함께 결합될 수 있고, 증폭 회로(50)의 입력 단자 INT가 다른 접속 부재(108)와 함께 결합될 수 있다. DUT(12)로부터 송신되는 출력 신호는 다른 프로브 바늘(106)에 의해 검사되고, 그런 다음 다른 접속 부재(108)로 진행하여 증폭 회로(50)가 전압 또는 전류를 증폭한다. 이 방식에서, 현재의 SNR이 향상되고, 테스트 결과에 대한 잡음 영향의 효과가 감소된다. 일부의 예에서, 능동 프로브 카드(100, 200, 300, 또는 400)는 하나 이상의 증폭 회로(50)를 포함할 수 있고, 접속 부재(108)와 테스터(120)와의 그 접속은 테스트 요건에 따라 적절하게 수정될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 증폭 회로(60)에 대한 개략도이다. 증폭 회로(60)는 전술한 예(즉, 증폭 회로(20, 30, 또는 40))를 실행하는 데 사용될 수 있다. 증폭 회로는 DUT(12)의 입력 신호 및/또는 출력 신호의 전압 또는 전류를 증폭하고 버퍼로서 작동하는 단일 단 연산 증폭기를 포함한다. 도 5에 도시된 증폭 회로(50)와 마찬가지로, 증폭 회로(60)는 입력 단자 INT 및 출력 단자 OUT를 포함한다. 또한, 증폭 회로(60)는 능동 프로브 회로(100, 200, 300, 또는 400)에 포함될 수 있다. DUT(12)의 입력 신호를 증폭할 필요가 있으면, 증폭 회로(60)의 입력 단자 INP가 테스터(120)의 테스트 신호 출력 단자와 함께 결합될 수 있고, 증폭 회로(60)의 출력 단자 OUT는 접속 부재(108)와 함께 결합될 수 있으며, 이에 따라 DUT에 송신되는 테스트 신호의 전압 또는 전류가 증폭되어 DUT(12)에 송신되는 입력 신호의 드라이브 성능을 높인다. 한편, DUT(12)의 출력 신호를 증폭시킬 필요가 있으면, 증폭 회로(60)의 출력 단자 OUT가 테스터(120)의 테스트 신호 입력 단자와 함께 결합될 수 있고, 증폭 회로(60)의 입력 단자 INT가 다른 접속 부재(108)와 함께 결합될 수 있다. DUT(12)로부터 송신되는 출력 신호는 다른 프로브 바늘(106)에 의해 검사되고, 그런 다음 다른 접속 부재(108)로 진행하여 증폭 회로(60)가 전압 또는 전류를 증폭한다. 이 방식에서, 현재의 SNR이 향상되고, 테스트 결과에 대한 잡음 영향의 효과가 감소된다. 일부의 예에서, 능동 프로브 카드(100, 200, 300, 또는 400)는 하나 이상의 증폭 회로(60)를 포함할 수 있고, 접속 부재(108)와 테스터(120)와의 그 접속은 테스트 요건에 따라 적절하게 수정될 수 있다.
능동 프로브 카드(100)(또는 200, 300, 또는 400)는 차동 신호를 측정하는 차동 입력 단자 및 출력 단자를 포함할 수 있다. 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증폭 회로(70)를 도시한다. 증폭 회로(70)는 전술한 예(즉, 증폭 회로(20, 30, 또는 40))를 실행하는 데 사용될 수 있다. 증폭 회로는 차동 연산 증폭기를 포함하며, 상기 차동 연산 증폭기는 일부의 경우에 있어서 DUT(12)가 차동 입력 신호를 필요로 하거나 차동 출력 신호를 송신하는 사용될 때 사용될 수 있다. 증폭 회로(70)는 입력 단자 INPP 및 INPN 및 출력 단자 OUTP 및 OUTN을 포함한다. 또한, 증폭 회로(70)는 능동 프로브 회로(100, 200, 300, 또는 400)에 포함될 수 있다. DUT(12)의 입력 신호를 증폭할 필요가 있으면, 증폭 회로(70)의 입력 단자 INPP 및 INPN이 테스터(120)의 테스트 신호 출력 단자와 함께 각각 결합될 수 있고, 증폭 회로(70)의 출력 단자 OUTP 및 OUTN은 2개의 프로브 바늘(106)과 결합하여 차동 신호를 전송하는 2개의 접속 부재(108)와 함께 결합될 수 있으며, 이에 따라 DUT에 송신되는 테스트 신호의 전압 또는 전류가 증폭된다. 한편, DUT(12)의 출력 신호를 증폭시킬 필요가 있으면, 증폭 회로(70)의 출력 단자 OUTP 및 OUTN가 테스터(120)의 차동 테스트 신호 입력 단자와 함께 결합될 수 있고, 증폭 회로(70)의 입력 단자 INPP 및 INPN이 DUT(12)의 차동 출력 신호를 검사하는 2개의 검사 바늘(106)을 각각 접속하는 다른 2개의 접속 부재(108)와 함께 결합될 수 있다. 이 방식에서, 현재의 SNR이 향상되고, 테스트 결과에 대한 잡음 영향의 효과가 감소된다. 일부의 예에서, 능동 프로브 카드(100, 200, 300, 또는 400)는 하나 이상의 증폭 회로(70)를 포함할 수 있고, 접속 부재(108)와 테스터(120)와의 그 접속은 테스트 요건에 따라 적절하게 수정될 수 있다.
도 8, 도 9, 및 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 증폭 회로(80, 90, 및 11)를 각각 도시한다. 증폭 회로(80)는 전술한 예(즉, 증폭 회로(20, 30, 또는 40))를 실행하는 데 사용될 수 있다. 증폭 회로는 입력 단자 INP 및 출력 단자 OUT1 및 OUT2를 구비하는 단일 단 비교기를 포함한다. 증폭 회로(90)는 전술한 예(즉, 증폭 회로(20, 30, 또는 40))를 실행하는 데 사용될 수 있다. 증폭 회로는 입력 단자 INP 및 출력 단자 OUT1P, OUT2P 및 OUT2N을 구비하는 차동 비교기를 포함한다. 증폭 회로(11)는 전술한 예(즉, 증폭 회로(20, 30, 또는 40))를 실행하는 데 사용될 수 있다. 증폭 회로는 입력 단자 INP1P 및 INP1N 및 출력 단자 OUT1P 및 OUT1N을 구비하는 등화기를 포함한다. 등화기는 프로그램 가능한 또는 고정된 프리-엠퍼시스 기능(pre-emphasis function) 및 디-엠퍼시스 기능(de-emphasis function)을 가진다. 테스트 신호의 저주파 구성요소 및 고주파 구성요소는 통상적으로 프로브 카드 및 프로브 바늘을 통과한 후 상이한 레벨로 감쇄한다. 일반적으로, 고주파 구성요소는 저주파 구성요소보다 더 감쇄한다. 이러한 조건 하에서, 등화기를 포함하는 증폭 회로(11)는 증폭률이 더 큰 테스트 신호로 고주파 구성요소를 (즉, 등화기의 프리-엠퍼시스 기능을 사용함으로써) 증폭하고, 그리고 증폭률이 유사한 테스트 신호로 저주파 구성요소를 (즉, 등화기의 디-엠퍼시스 기능을 사용함으로써) 증폭하는 데 사용된다. 그 결과, 테스트 신호에서의 저주파 구성요소 및 고주파 구성요소는 실질적으로 등가의 진폭을 가질 수 있다. 등화기의 증폭률은 테스트 요건에 따라 프로그램 가능한 또는 고정된 값이 되도록 설계될 수 있다. 증폭 회로(80, 90, 및 11)의 입력 단자 및 출력 단자의 접속은 전술한 증폭 회로(50, 60, 및 70)의 접속과 유사할 수 있다. 당업자라면 전술한 설명을 참조함으로써 증폭 회로(80, 90, 및 11)에 대한 적절한 접속 방법을 생각해낼 수 있을 것이다.
또한, 전술한 증폭 회로(50, 60, 70, 80, 90, 및 11)는 테스트 요건에 따라 능동 프로브 카드에 설치하기 위해 선택적으로 함께 결합될 수 있다. 예를 들어, 증폭 회로(50)는 DUT(12)의 입력 신호를 증폭하는 데 사용될 수 있는 반면, 증폭 회로(60)는 DUT(12)의 출력 신호를 증폭하는 데 사용된다.
요컨대, 본 발명은 증폭 회로가 프로브 바늘에 결합되어 있는 능동 프로브 카드를 제공한다. 증폭 회로는 프로브 바늘 근처에 있다. 증폭 회로는 DUT의 입력 신호 및/또는 출력 신호의 드라이브 성능을 향상시키기 위해, 드라이버 IC, 차동 연산 증폭기, 단일 단 연산 증폭기, 차동 비교기, 단일 단 비교기, 또는 등화기를 포함할 수 있다. 그 결과, 본 발명의 능동 프로브 카드는 테스트 결과에 대한 잡음 간섭이 줄어들 수 있고, DUT의 테스트 대역폭, 테스트 정확도, 및 테스트 속도를 향상시키며, 이것은 고속 회로 테스트에 이롭다.
당업자라면 본 발명의 지침을 유지하면서 장치 및 방법의 다양한 변형 및 대안이 이루어질 수 있다는 것을 손쉽게 알 수 있을 것이다. 따라서, 전술한 설명은 첨부된 특허청구범위의 경계에 의해서만 제한되는 것으로 파악되어야 한다.

Claims (9)

  1. 피시험 장치(DUT)의 테스트 대역폭을 향상시키기 위한 능동 프로브 카드에 있어서,
    인쇄회로기판;
    상기 피시험 장치를 검사하기 위해 상기 인쇄회로기판의 제1 표면에 고정되어 있는 적어도 하나의 프로브 바늘;
    상기 적어도 하나의 프로브 바늘에 전기적으로 연결되어 있는 적어도 하나의 접속 부재; 및
    상기 인쇄회로기판에 형성되고 상기 적어도 하나의 접속 부재에 결합되어 상기 피시험 장치의 입력 신호 또는 출력 신호를 증폭하는 증폭 회로
    를 포함하는 능동 프로브 카드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증폭 회로는 드라이버 집적회로(IC)인, 능동 프로브 카드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 증폭 회로는,
    차동 연산 증폭기(differenctial operational amplifier) 또는 단일 단 연산 증폭기(single-ended operational amplifier); 또는
    차동 비교기(differenctial comparator) 또는 단일 단 비교기(single-ended comparator); 또는
    등화기
    를 포함하는, 능동 프로브 카드.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 등화기는 프리-엠퍼시스 기능(pre-emphasis function) 및 디-엠퍼시스 기능(de-emphasis function)을 가지며, 상기 프리-엠퍼시스 기능은 제1 증폭률을 제공하고 상기 디-엠퍼시스 기능은 제2 증폭률을 제공하며, 상기 제1 증폭률은 상기 제2 증폭률보다 크고, 상기 제1 증폭률 및 상기 제2 증폭률은 프로그램 가능한 값 또는 고정된 값인, 능동 프로브 카드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 증폭 회로는 상기 인쇄회로기판의 제2 표면에 형성되며,
    상기 제2 표면은 상기 인쇄회로기판의 최상층(top layer)이고 상기 제1 표면은 상기 인쇄회로기판의 최하층(bottom layer)인, 능동 프로브 카드.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 인쇄회로기판은 적어도 하나의 비아(via)를 가지며, 상기 적어도 하나의 접속 부재 각각은 상기 적어도 하나의 비아 중 하나와 쌍을 이루어 상기 인쇄회로기판의 제1 표면에서 서로 전기적으로 접속되며, 상기 증폭 회로는 상기 인쇄회로기판의 제2 표면에서 상기 적어도 하나의 비아와 전기적으로 접속되는, 능동 프로브 카드.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 인쇄회로기판은 관통공(through-hole)을 가지고, 상기 적어도 하나의 접속 부재는 상기 관통공을 관통하는 동축 케이블이며, 상기 동축 케이블의 일단은 상기 적어도 하나의 프로브 바늘에 접속되고 타단은 상기 증폭 회로에 접속되는, 능동 프로브 카드.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 증폭 회로의 입력 단자 또는 출력 단자와 상기 적어도 하나의 프로브 바늘 간의 거리는 실질적으로 10cm보다 짧은, 능동 프로브 카드.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 프로브 바늘을 상기 인쇄회로기판의 제1 표면에 고정시키는 적어도 하나의 고정 유닛
    을 더 포함하며,
    상기 고정 유닛의 재료는 세라믹 재료 또는 전기적으로 절연 플라스틱 재료인, 능동 프로브 카드.
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