JPH0590358A - プローブカード及び高抵抗材料検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高抵抗材料の検査精度を向上することができ
るプローブカード及び高抵抗材料検査装置を提供する。 【構成】 プローブカードは、絶縁性基板１の中央部に
透過孔２を設け、前記透過孔２の下面部に複数の導電性
を有したプローブピン３が植設され、前記プローブピン
３の近傍に初段増幅回路５とパルス増幅回路６とコンパ
レータ回路７を設け、かつ前記透過孔２の上面部に、被
測定物の表面形状と同等、もしくは小さな透過孔を有す
る遮蔽体１４を設けて構成される。 【効果】被測定物への照射量の定量化と、前記被測定物
から光電変換により検出される検出信号の信頼性が向上
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プローブカード並びに
放射線診断装置、非破壊検査装置等に用いる、高抵抗材
料を載置して検査する高抵抗材料検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、放射線は工業分野、あるいは医療
分野で広く利用されるようになり放射線の測定用に簡便
な放射線検出器の実現が望まれている。この放射線検出
器に用いる高抵抗材料素子の安定供給が放射線検出器の
実現に重要となる。以下に、従来のこの種の放射線検出
器に用いる高抵抗材料の検査について、図３に基づき説
明する。

【０００３】図３に示すように、絶縁性基板１に形成さ
れたプローブピン端子２９の下部に導電性のプローブピ
ン３が植設され、かつ電気的に接続され、前記プローブ
ピン端子２９は、前記絶縁性基板１の端面に設けられた
コネクタ端子（図示せず）と接続されており、前記絶縁
性基板１はプローブカード装着機（図示せず）と着脱可
能な構成としている。

【０００４】又、材料載置基板１９の表面に、導電性パ
ターン１８が形成され、前記導電性パターン１８上に、
対面する両面に電極が形成された高抵抗材料２１を載置
し、前記プローブピン３が前記高抵抗材料２１の上面電
極２７を押圧することにより、前記材料載置基板１９に
形成された導電性パターン１８と前記高抵抗材料２１の
下面電極２６が電気的に導通し、前記高抵抗材料２１の
電気特性の検査を行なっていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来の構成で
は、プローブピンと、高抵抗材料に形成した上面電極及
び下面電極と、材料載置基板の上面に形成された導電性
パターンとを同時に電気的に導通させる必要がある。し
かしながら、プローブカードに植設したプローブピンの
押圧力のみでは、押圧力に不均一性が生じ、適正な導通
接触が得られず、正規の特性測定ができないなどの課題
があった。

【０００６】又、上記対策として、押圧力を強化するこ
とが考えられるが、高抵抗材料表面に形成された電極に
傷を発生させたり、さらには高抵抗材料を破壊させるな
どの課題があった。

【０００７】又、高抵抗材料へ光線及び、放射線を照射
させ光電変換により電流パルスを検出し、そのパルスを
増幅させる時、プローブカードの中央部に設けたプロー
ブピンと、前記プローブカードの端面に設けたコネクタ
端子と、導電性パターンで接続し、前記コネクタ端子と
電気的接触させたコネクタからリード線で増幅回路へ接
続させていた。しかし、高抵抗材料からの電気信号は高
インピーダンスで微小なため、高抵抗材料と増幅回路間
の接続距離を長くすると、回路発振やノイズ成分が増大
するなどの問題が発生し、十分な検出信号が得られない
などの課題を有していた。

【０００８】本発明は、このような課題を解決するもの
で、高抵抗材料の検査精度を向上することができるプロ
ーブカード及び高抵抗材料検査装置を提供することを目
的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のプローブカード並びに高抵抗材料検査装置
は、絶縁性基板の中央部に透過孔を設け、前記透過孔部
に複数のプローブピンが植設されたプローブカードであ
って、前記プローブピンとプローブピンの植設側の近傍
に初段増幅回路とパルス増幅回路とコンパレータ回路と
信号出力用コネクタを具備した構成としている。

【００１０】更に、プローブピンが植設された絶縁性基
板の上部に、光線及び放射線等を遮蔽し、かつ被測定物
の表面外形寸法と同等、もしくは小さい透過孔を有した
遮蔽体が位置決め固着された構成としている。

【００１１】又、対面する両面に電極が形成された高抵
抗材料を載置して検査する装置であって、検査基台中央
部に導電性パターンを有した材料載置基板を挿入固着可
能な溝と吸引用溝を設け、前記材料載置基板の材料載置
中央部に、載置して検査する材料より小さな吸引用孔を
設け、前記高抵抗材料の片面電極と前記材料載置基板表
面に形成された導電性パターンが吸引手段で電気的導通
を行なうことができる構成を有している。

【００１２】

【作用】上記手段によれば、高抵抗材料へ光線及び、放
射線を照射して検出する検出信号は、プローブカードに
植設されたプローブピンの近傍に、初段増幅回路とパル
ス増幅回路とコンパレータ回路と信号出力用コネクタを
設けたことにより、プローブカード内で信号増幅と、前
記コンパレータ回路でアナログ信号からデジタル信号に
変換することができ、高インピーダンスで微小な検出信
号は、回路発振することなくノイズ成分を極端に抑制す
ることができる。

【００１３】叉、プローブカード上面に、被測定物の表
面外形寸法と同等、もしくは小さい透過孔を有した遮蔽
体を位置決め固着したことにより、被測定物への光線及
び、放射線等の入射量を定量化できることで、被測定物
の検査及び、評価の適正化と信頼性を向上させることが
可能となる。

【００１４】叉、検査基台中央部に、導電性パターンを
有した材料載置基板を挿入固着可能な溝と吸引用溝を設
け、前記材料載置基板の材料載置中央部に、載置して検
査する材料より小さな吸引用孔を設け、両面に電極を有
した高抵抗材料の下面電極と前記材料載置基板表面に形
成された導電性パターンが、吸引手段を設けた構成によ
り、確実な電気的導通ができることで高抵抗材料への押
圧力を抑制することができるとともに、高抵抗材料表面
電極への傷及び、高抵抗材料を破壊することなく適正な
高抵抗材料の検査を行なうことができる。

【００１５】

【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。

【００１６】図１に、本発明の一実施例のプローブカー
ドの構成を示す。本実施例のプローブカードは、絶縁性
基板１の中央部に透過孔２を設け、前記透過孔２の下面
部にプローブピン３が複数個植設され、プローブピン３
近傍のプローブカード上面部に、前記プローブピン３と
導電性パターン４で接続された初段増幅回路５とパルス
増幅回路６とコンパレータ回路７と信号出力用コネクタ
８が一回路及び、複数回路構成されている。

【００１７】叉、被測定物（図示せず）への電圧印加用
コネクタ９と電圧印加用中継コネクタ１０から、前記被
測定物へバイアス電圧を印加できる構成と、前記バイア
ス電圧を印加して検出する電流を、外部へ出力する電流
出力用コネクタ１１が設けられた構成としている。

【００１８】叉、絶縁性基板１の透過孔２の上面部に、
被測定物の表面外形寸法と同等、もしくは小さな透過孔
幅１２と透過孔長さ１３の形状の孔を有したタングステ
ン（Ｗ）、鉛（Ｐｂ）、銅（Ｃｕ）等の材料を用いた遮
蔽体１４が、絶縁性シート１５上に位置決めピン１６で
位置決め固定されている。更に、プローブカードは、プ
ローブカード装着機（図示せず）と着脱可能な構成とし
ている。

【００１９】上記構成により、高抵抗材料の上面部から
光線及び、放射線を照射して、前記高抵抗材料から光電
変換により検出される検出信号は、プローブピン３の近
傍で、初段増幅回路５により電流／電圧変換と低インピ
ーダンスへの変換を同時に行なう構成とし、その後パル
ス増幅回路６とコンパレータ回路７でパルス増幅及び、
アナログ／デジタル変換を行い、デジタル信号として信
号出力用コネクタから外部へ出力することを可能とした
構成とし、高インピーダンスで微小な信号の検出回路
は、回路発振することなくノイズ成分を抑制することが
できるとともに、遮蔽体１４により適正な入射量を確保
でき、検査及び評価の適正化と信頼性を向上することが
できる。

【００２０】図２は、本発明の高抵抗材料検査装置の一
実施例の要部を示す断面図である。検査基台１７の中央
部に、導電性パターン１８を有した材料載置基板１９
を、挿入固着可能な溝と吸引用溝２０を設け、前記材料
載置基板１９の材料載置中央部に、両面に電極が形成さ
れた高抵抗材料２１の外形寸法より小さな吸引用孔２２
を設け、空気圧制御弁付の空気圧配管継手２３から吸引
用配管チューブ２４が、吸引用溝２０から吸引する構成
としている。

【００２１】叉、前記材料載置基板１９上に、高抵抗材
料２１を位置決めして載置可能な、前記高抵抗材料２１
の外形寸法より大きな孔を複数個有する位置決め規制板
２５を設け、前記位置決め規制板２５の孔に高抵抗材料
２１を載置して吸引することで、位置決め固定を可能と
している。

【００２２】上記構成で、高抵抗材料２１を材料載置基
板１９上に載置し、吸引用配管用チューブ２４を通じて
吸引することにより、材料載置基板１９の表面に形成さ
れた導電性パターン１８と高抵抗材料２１に形成された
下面電極２６が、電気的に導通することができる。叉、
高抵抗材料２１の電気特性及び、放射線特性を検査する
時のバイアス電圧の印加は、高抵抗材料２１の上面電極
２７を押圧手段で、電気的導通させるプローブピン３と
導電性パターン１８の一部に、電気的導通を施したリー
ド線２８との間に電圧を印加させる構成としている。
叉、吸引手段により高抵抗材料２１の着脱と電気的導通
を容易に行なうことができる構成としている。

【００２３】

【発明の効果】以上のように本発明のプローブカードに
よれば、高抵抗材料への光線及び、放射線等の入射量の
定量化がはかれ、検査の信頼性と安定化が可能となると
ともに高インピーダンスで微小な信号の検出回路は、回
路発振することなくノイズ成分を抑制することができ
る。

【００２４】叉、本発明の検査装置によれば、高抵抗材
料の上面電極を押圧するプローブピンの押圧力を抑制で
き、高抵抗材料電極への傷、及び破壊等を防護できる。
叉、高抵抗材料を複数個載置することにより、連続して
検査することができ、更に複数個の高抵抗材料を直線ま
たは円弧上に連続して配置した検出器を構成する時、検
査データから必要数を選別することが可能となり、最終
歩留りを向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプローブカードの一実施例を示す斜視
図

【図２】本発明の高抵抗材料検査装置の一実施例の構成
を示す要部断面図

【図３】従来の高抵抗材料検査装置の要部断面図

【符号の説明】

１ 絶縁性基板 ２ 透過孔 ３ プローブピン ５ 初段増幅回路 ６ パルス増幅回路 ７ コンパレータ回路 ８ 信号出力用コネクタ １４ 遮蔽体 １６ 位置決めピン １７ 検査基台 １８ 導電性パターン １９ 材料載置基板 ２０ 吸引用溝 ２１ 高抵抗材料 ２２ 吸引用孔 ２５ 位置決め規制板 ２６ 下面電極 ２７ 上面電極

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】絶縁性基板の中央部に透過孔を設け、前記
   透過孔部にプローブピンが植設されたプローブカードで
   あって、前記プローブピンとプローブピンの植設側の近
   傍に初段増幅回路とパルス増幅回路とコンパレータ回路
   と信号出力用コネクタが具備されたことを特徴とするプ
   ローブカード。
2. 【請求項２】プローブピンが植設された絶縁性基板の上
   部に光線及び放射線等を遮蔽し、かつ被測定物の表面外
   形寸法と同等、もしくは小さい透過孔を有した遮蔽体が
   位置決め固着された請求項１記載のプローブカード。
3. 【請求項３】対面する両面に電極が形成された高抵抗材
   料を載置して検査する装置であって、検査基台中央部に
   導電性パターンを有した材料載置基板を挿入固着可能な
   溝と吸引用溝を設け、前記材料載置基板の材料載置中央
   部に載置して検査する材料より小さな吸引用孔を設け、
   前記高抵抗材料の片面電極と前記材料載置基板表面に形
   成された導電性パターンが吸引手段で電気的導通を行な
   うことを特徴とする高抵抗材料検査装置。