KR20150084971A - 반송 장치 - Google Patents

Abstract

목적: 기판의 선단의 휨을 방지함으로써, 기판이 반송 장치 등에 충돌하는 것을 방지한다. 수단: 대상물을 기체에 의해 부상시켜 제1 방향으로 반송하는 반송 장치를, 상기 기체를 분출하여 상기 대상물에 압력을 부여함으로써 상기 대상물을 부상시키는 부상부; 상기 제1 방향으로 연장된 무단의 벨트와, 상기 벨트로부터 돌출되어 상기 대상물에 접촉 가능한 복수의 돌기를 포함하고, 상기 대상물을 상기 제1 방향으로 구동하는 반송부; 상기 대상물에 부압(負壓)을 부여하여 상기 대상물을 상기 반송부에 접촉하게 하는 흡인부; 및 상기 부상부 또는 상기 반송부에 포함되고 상기 대상물을 그 폭 방향 중앙에서 휘게 하는 변형 수단을 포함하도록 구성한다.

Description

반송 장치 {TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 얇은 유리와 같은 기판을 부상시켜 반송하는 반송 장치에 관한 것이다

액정 디스플레이로 대표되는 평판 디스플레이의 제조에서, 얇은 유리와 같은 기판을 손상시키지 않고 반송하기 위해, 기판을 부상시켜 반송하는 반송 장치가 이용되고 있다. 이와 같은 반송 장치는, 통상, 압축 공기를 분출하는 부상 장치를 구비하고, 또한 부상시킨 기판에 접촉하여 이에 구동력을 부여하는 벨트 컨베이어 또는 롤러 컨베이어를 구비한다.

유리 기판에 부착된 먼지나 그 표면의 상처는, 디스플레이의 품질에 중대한 영향을 미친다. 먼지의 부착이나 표면의 상처의 요인 중 하나는, 유리 기판이 반송 장치 등에 접촉하는 것이다. 한편, 유리 기판은, 예를 들면, 두께 0.7 ㎜ 또는 그것 이하이므로 가요성(可撓性)을 가지므로, 반송 중의 접촉을 방지하기 위해서는 기판을 평탄하게 유지한 채로 반송하는 것이 중시된다. 최근 더욱 얇은 유리가 희구되고 있어, 이것을 평탄하게 유지하여 반송하는 것은 더욱 더 어려워지고 있다.

특허문헌 1은 벨트 컨베이어를 구비한 반송 장치의 기술을 개시한다. 이 기술에 의하면, 벨트는 등간격으로 배치된 돌기를 구비하고 있고, 돌기가 부상한 유리 기판에 접함으로써, 이것을 반송한다.

특허문헌 2는 롤러 컨베이어를 구비한 반송 장치의 기술을 개시한다. 특허문헌 2에 의하면, "유리 기판의 패스 라인 중앙부가 크게 위쪽으로 떠오르거나, 아래로 처지거나 하는 만곡이 현저해지는 경우가 있었다"는 것이, 기술적 과제로 인식되어 있다. 이것을 해결하기 위해, 폭 방향 중앙 위치의 에어 테이블 유닛으로부터의 에어 공급량을 조절함으로써, 유리 기판의 만곡을 억제하고 있다.

일본 특허공개공보 제2008-066661호 일본 특허공개공보 제2008-260591호

전술한 바와 같은 기술은, 유리 기판을 대체로 평탄하게 유지하는 것을 가능하게 하고 있다. 그러나, 반송 방향에 대해 선단에서의 휨과 같은, 국부적인 휨에 대해서는, 여전히 기술적 과제가 남아 있다. 즉, 유리 기판이 하나의 롤러에서 다음의 롤러로 이동할 때, 또는 하나의 반송 장치에서 다음의 반송 장치로 이동할 때, 선단을 지지하는 것이 없기 때문에, 선단은 자체 중량에 의해 아래쪽으로 휘어진다. 선단이 롤러, 또는 반송 장치에 충돌하기 쉬워지는 문제가 있다.

본 발명은 전술한 문제를 감안하여 이루어진 것이다. 전술한 바와 같이 기술 상식에 반하여, 유리 기판의 폭 방향의 양단만을 평탄하게 지지하고, 유리 기판의 중앙부를 오히려 약간 휘게 함으로써, 선단의 휨이 억제되는 것을 본 발명자들은 발견하고, 본 발명에 이르렀다.

본 발명의 일 측면에 의하면, 대상물을 기체(氣體)에 의해 부상시켜 제1 방향으로 반송하기 위한 반송 장치는, 상기 기체를 분출하여 상기 대상물에 압력을 부여함으로써 상기 대상물을 부상시키는 부상부; 상기 제1 방향으로 연장된 무단(無端)의 벨트와, 상기 벨트로부터 돌출되어 상기 대상물에 접촉 가능한 복수의 돌기를 포함하고, 상기 대상물에 접촉하여 상기 제1 방향으로 구동하도록 구성된 반송부; 및 상기 반송부에 인접하여 평행하게 연장되거나, 또는 상기 반송부와 동일 직선상에 정렬되도록 배열되고, 상기 대상물에 부압(負壓)을 부여하여 상기 대상물을 상기 반송부에 접촉하게 하는 흡인부를 포함한다.

기판의 선단의 휨을 방지할 수 있고, 기판이 반송 장치 등에 충돌하는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 반송 장치의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 실시예에 의한 반송 장치의 삼면도이다.
도 3은 본 실시예에 의한 부상부의 입면 단면도이다.
도 4는 본 실시예에 의한 흡인부의 입면 단면도이다.
도 5는 본 실시예에 의한 흡인부 및 반송부의 입면도이다.
도 6은 반송부에서 기판이 평탄하게 유지되는 상태를 나타낸 입면도이다.
도 7은 기판이 중앙 부근에서 휜 상태를 나타낸 측면도이다.
도 8은 다른 실시예에 의한 반송 장치의 일부를 나타낸 사시도 및 측면도이다.
도 9는 또 다른 실시예에 의한 반송 장치의 일부를 나타낸 사시도 및 평면도이다.
도 10은 중앙 부근이 휨으로써 선단의 휨이 방지되는 모습을 나타낸 기판의 사시도이다.
도 11은 검증 장치의 구성을 설명하기 위한 설명도이다.
도 12는 검증 결과를 나타낸 그래프이다.

첨부한 도면을 참조하여 이하에 본 발명의 몇몇 예시적인 실시예를 설명한다.

본 발명의 실시예에 의한 반송 장치는, 예를 들면, 청정실 내에서, 유리 기판과 같은 얇은 대상물을 반송하는 것에, 바람직하게 이용할 수 있다. 유리 기판의 경우, 두께 0.7㎜ 정도인 것을 대상으로 할 뿐만 아니라, 두께 0.1∼0.3㎜ 정도의 매우 얇은 것도 대상으로 할 수 있다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 반송 장치(100)는, 작업물(workpiece)(W)(대상물)을 부상시키는 부상부(116), 작업물(W)을 방향 X(제1 방향)으로 구동하는 반송부(112), 및 작업물(W)을 반송부(112)에 접촉하게 하는 흡인부(112a)를 구비한다. 반송부(112)는 복수의 돌기(114)를 구비한다. 부상부(116)는, 기체를 분출하는 개구(開口)(116a)를 구비하고, 분출된 기체가 작업물(W)에 정압(正壓)을 부여하고, 이에 의해 작업물(W)이 부상한다. 흡인부(112a)는, 반대로, 작업물(W)에 부압(負壓)을 부여하고, 작업물(W)을 흡인함으로써 돌기(114)의 선단에 접촉시킨다. 반송부(112)는 모터 등의 수단에 의해 화살표 X의 방향으로 이동하므로, 이에 따라 작업물(W)이 방향 X로 반송된다. 부상부(116)없이 반송부(112)만에 의해 작업물(W)을 지지하여 반송해도 된다.

도 2를 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 반송부(112)와 부상부(116)는, 함께 지지대(118)에 지지되고, 지지대(118)는 지지 다리(118a)를 통해 청정실의 바닥 또는 격자(grating) 상에 설치된다. 부상부(116)는 지지대(118) 상에 배열되고, 예를 들면, 방향 X를 따라 복수의 부상부(116)가 배열되고, 또한 방향 X와 직교하는 방향(폭 방향)에도 복수의 부상부(116)가 배열된다. 배열의 수는 자유롭게 선택할 수 있고, 때문에, 대상물의 크기에 따라 장치의 구성은 임의로 변경할 수 있다. 반송부(112)는, 통상, 복수의 부상부(116)의 폭 방향 양단에 배치되지만, 다른 배치 도 가능하다.

도 3을 참조하면, 부상부(116)는, 그 전체가 상자형이며, 그 상면은 대체로 평탄하다. 부상부(116)의 내부에는 서로 연통(連通)된 공동(空洞)(116b)이 설치되고, 공동(116b)은 외부의 기체 공급 장치(122)와 연통된다. 기체 공급 장치(122)는 공기나 질소와 같은 기체(G)를 가압하여 부상부(116)에 공급하는 펌프 또는 압축기이다.

하나의 부상부(116)에 하나의 기체 공급 장치(122)가 연결되어 있어도 되고, 복수의 부상부(116)에 단일의 기체 공급 장치(122)가 연결되어 있어도 된다. 또한, 기체 공급 장치(122)는 직접 공동(116b)과 연통되어 있어도 되고, 일정량의 압축 기체를 저류(貯留)하는 챔버가 사이에 개재되어도 된다.

공동(116b)과 연통되어, 개구(116a)가 부상부(116)의 상면을 관통하여 위쪽을 향해 개구되어 있다. 개구(116a)는, 예를 들면, 도 1, 2와 같은 원형의 슬릿이어도 되고, 직사각형이나 복수의 슬릿, 또는 다수의 작은 구멍 등, 각종 형상을 취할 수 있다. 또한 개구(116a)는, 연직으로 상면을 관통하고 있어도 되고, 상면에 대해 경사를 가지고 있어도 된다. 또는 부상부(116)의 상면의 일부 또는 전체가 통기성이 있는 메시체나 다공질체이어도 된다.

기체 공급 장치(122)에 의해 공급된 가압되고 기체(G)는, 공동(116b)을 통해 개구(116a)로부터 분출한다. 분출된 기체(G)는, 작업물(W)과 부상부(116)와의 사이에 가압된 공간(P)을 생기게 하고, 이에 의해 작업물(W)에 압력을 부여하여 부상력을 부여한다. 이 때, 분출된 기체(G)가 작업물(W)에 부딪침으로써 생기는 힘뿐만 아니라, 부딪친 기체(G)가 주위을 향해 분산되어 가는 과정에서 생기는 정압(靜壓)도 부상력의 근원로 된다. 그러므로, 비교적 근소한 가압력에 의해 큰 부상력을 얻을 수 있어, 에너지 효율도 우수하다.

도 2로 돌아가 참조하면, 반송부(112)는, 대체로, 2 이상의 휠(110) 사이를 주회(周回)하는 무단의 벨트(endless belt)를 구비한 벨트 컨베이어이다. 휠(110)은 각각 프레임(102)에 의해 지지된다. 전술한 바와 같이, 반송부(112)는 복수의 부상부(116)의 폭 방향 양단에 배치되고, 그 벨트가 방향 X를 따라 연장되도록 향할 수 있다.

휠(110)에는 샤프트(110a)가 결합되어 있고, 샤프트(110a)는 프레임(102)의 지지 구멍(102a)에 축지지됨으로써, 휠(110)은 그 주위에 회전 가능하다. 샤프트(110a)에는 기어(110b)가 결합되어 있고, 일체로 회전한다. 결합을 위해, 예를 들면, 서로 끼워맞춤(fitting)되는 키와 키홈의 조합을 채용해도 되고, 끼워맞춤하는 대신에, 일체 구조이어도 된다.

반송 장치(100)는 전동 모터와 같은 구동 장치(110c)를 더 구비한다. 구동 장치(110c)는, 기어(110b)와 서로 맞물리는 기어(110d)를 구비하고, 이에 의해 구동 장치(110c)의 구동에 의해 휠(110)이 회전하고, 반송부(112)가 휠(110) 사이를 주회한다. 또는 구동 장치는 휠을 직접 구동해도 되거나, 또는 적절한 기어, 피니언 장치가 더 개재되어도 된다.

반송부(112)는, 벨트로부터 돌출된 복수의 돌기(114)를 구비한다. 복수의 돌기(114)는, 또한 방향 X을 따라 정렬되도록 배열된다. 돌기(114)는 벨트와 일체이어도 되고, 별체로서 벨트에 맞물리림 것이어도 된다. 돌기(114)는, 후술하는 바와 같이, 작업물(W)의 부상 높이보다 약간 높게 형성되어 있다. 그 형상은 원통, 직육면체, 뿔체 또는 다른 어떤 형상이어도 된다. 또한 그 선단은, 평탄해도 되고, 또는 작업물(W)과의 접촉 면적을 감소시키기 위해 구형이나 뿔형이어도 된다. 또한, 선단은 부상부(116)를 향해 하강 경사를 가지고 있어도 된다. 이 태양에 대해서는 후술한다.

흡인부(112a)는, 반송부(112)와 동일 직선 상에 정렬되도록 배열된다. 이 직선은, 필연적으로 방향 X에 평행이다. 더욱 바람직하게는, 흡인부(112a)와 돌기(114)는 동일 직선상이다. 여기서 동일 직선상이란, 양자가 엄밀하게 단일의 직선 상에 정렬되는 것을 요하지 않고, 일정한 폭을 넘지 않는 정도로 직선에서 일탈하고 있어도 된다. 예를 들면, 벨트의 폭이 50㎜라고 하면, 벨트의 중앙으로부터 20㎜ 정도는 허용되는 폭일 것이다.

도 4를 참조하면, 흡인부(112a)는 바람직하게는 벨트와 일체이며, 벨트 아래의 공간과 연통되는 관통 구멍을 구비한다. 흡인부(112a)는, 이러한 관통 구멍으로부터 작업물(W) 바로 아래의 기체(G')를 흡인하고, 이에 의해 부압 NP를 작업물(W)에 미치게 한다. 기체(G')는 전술한 기체(G)와 동일해도 되고, 다른 기체이어도 된다.

도 4와 조합하여 도 5를 참조하면, 흡인부(112a)는, 돌기(114)보다 약간 낮게 형성되고, 이에 의해 흡인부(112a)와 작업물(W)과의 사이에 적절한 간극이 확보된다. 기체(G')는, 이러한 간극을 통해 흡인된다. 또는, 같은 높이이어도 된다. 이 경우에는 흡인부(112a)는 기체(G')를 흡인하면, 작업물(W)과 흡인부(112a)가 밀착된다.

흡인부(112a)의 아래쪽에, 이것과 밀착되어 감압 챔버(120)가 설치된다. 감압 챔버(120)는, 펌프 또는 압축기와 같은 기체(G')를 흡인하는 수단에 접속되고, 그 내부의 공간(120a)이 감압(減壓)된다. 흡인부(112a)의 관통 구멍(112b)은, 공간(120a)과 연통됨으로써, 기체(G')를 흡인한다. 흡인부(112a)와 공간(120a)은, 상시 연통되어 있어도 되고, 관통 구멍(112b)이 특정한 위치를 통과할 때만 연통되도록 구성해도 된다.

흡인부(112a)와 돌기(114)는, 바람직하게는 번갈아 배열된다. 흡인부(112a)와 돌기(114)는, 도시한 바와 같이 2:1의 비로 배열되어도 되거나, 또는 1:1이나 1:2 등 다른 임의의 비를 채용할 수 있다.

본 실시예에 의하면, 도 6 (a)에 나타낸 바와 같이, 흡인부(112a)가 작업물(W)에 부압을 미치게 하여, 작업물(W)의 단부를 돌기(114)에 접촉시킨다. 돌기(114)가 흡인부(112a)와 동일 직선상에 있으므로, 작업물(W)의 단부가 치우쳐 흡인되는 경우는 없고, 그 평탄성은 유지된다. 작업물(W)의 단부는, 돌기(114)에 접한 상태로, 이와 함께 진행하고, 이에 의해 반송된다.

도 6 (b)와 같이 롤러에 의해 반송되는 경우와 대비하면, 본 실시예의 장점은 더욱 분명하다. 롤러(10a)에 의한 반송에서는, 롤러(10a)는 작업물(W)과 함께 진행하는 것은 아니고, 작업물(W)의 선단부(Wa)가 롤러(10a)로부터 전방으로 돌출됨에 따라, 선단부(Wa)는 자체 중량에 의해 아래쪽에 늘어진다. 그러면, 선단부(Wa)는 인접한 롤러(10a)에 접촉될 가능성이 있다. 이것과 달리, 도 6 (a)으로부터 이해할 수 있는 바와 같이, 돌기(114)는 작업물(W)과 함께 진행하므로, 그 반송 방향 선단이 아래쪽에 늘어져도, 돌기(114)에 접촉되는 경우는 없다. 또한, 작업물(W)의 단부는 일렬로 정렬된 복수의 돌기(114)에 지지되어, 이와 함께 움직이므로, 기둥에 지지된 천장과 같이 평탄한 형상이 유지된다.

도 7을 참조하면, 작업물(W)의 폭 방향 양단이 평탄하게 지지되고, 일정한 높이가 되는 한편, 작업물(W)의 중앙 부근은 자체 중량에 의해 아래쪽으로 약간 휘어질 수 있다. 즉, 작업물(W)은 요(凹)자 형상이 될 수 있다. 또는, 작업물(W)의 중앙 부근을 휘게 하는 변형 수단을 설치해도 된다.

그와 같은 변형 수단 중 하나는, 특정한 부상 높이(H)를 만드는 기체 공급 장치이다. 기체 공급 장치가 공급하는 가압 기체에 있어서, 가압력을 적절하게 조정함으로써, 부상부(116) 상에서의 부상 높이(H)를, 돌기(114) 상에서의 작업물(W)의 높이보다 낮게 할 수 있다. 또는, 폭 방향으로 복수 정렬된 부상부(116) 중, 중앙에 더 가까운 부상부(116)만 부상력을 줄여도 된다. 또한, 기체 공급 장치 또는 부상부(116)에, 적절한 압력 손실 수단 또는 유량 조정 수단을 설치하여, 중앙 부근에 서 부상력을 줄여도 된다. 이러한 변형 수단에 의해, 도 7에 나타낸 작업물(W)에 요자의 형상을 갖게 할 수 있다. 또는, 부상부(116)에 의한 부상력을 강화함으로써, 작업물(W)에 철(凸)자의 형상을 갖게 된다.

변형 수단의 다른 하나는, 돌기(114)가, 작업물(W)을 휘게 하도록 구성되어 있는 것이다. 작업물(W)은, 부상부(116) 상에서, 작업물(W)의 중량과 부상부(116)에 의한 부상력과의 관계로 정해지는 고유의 부상 높이(H)를 가진다. 돌기(114)가 작업물(W)을 휘지 않게 지지하는 높이를 L2라고 하면, 돌기(114)가 이보다 높은 높이(L1)를 가지도록 형성되어 있으면, 도 7에 나타낸 바와 같이 작업물(W)에 요자의 형상을 갖게 할 수 있다.

변형 수단의 또 다른 하나는, 돌기(114)의 각 선단이 반송부(112)를 향해 하강하는 경사를 가지는 것이다. 돌기(114)가 경사져 있음으로써, 작업물(W)의 중앙 부근이 아래쪽에 휘는 것이 촉진된다.

전술한 실시예에는 다양한 변경이 있을 수 있다. 이하에서는 특히, 반송부 및 흡인부에 대해, 몇몇 변경한 실시예를 설명한다.

도 8 (a)는 변경한 실시예의 1을 나타내고, 반송부(312)와 흡인부(322)가 독립적으로 설치되어 있다. 흡인부(322)는 반송부(312)에 인접하여 평행하게 연장되어 있고, 반송부(312)는, 지금까지 설명한 실시예와 마찬가지로, 복수의 돌기(314)를 구비해도 된다. 흡인부(322)는, 반송부(312)에 평행하게 정렬된 복수의 돌기(322a)를 구비하고, 그 개구를 통해 기체를 흡인한다. 바람직하게는 돌기(314)는 흡인부(322)의 돌기(322a)보다 약간 높게 형성된다. 흡인부(322)는, 감압 챔버를 통하지 않고 직접 기체(G')를 흡인하는 수단에 접속할 수 있다.

또는, 돌기(322a) 대신에, 반송부(312)에 평행하게 연장된 슬릿이나, 다른 형태를 채용할 수도 있다.

또는, 흡인부가 벨트를 에워싸는 커버를 구비하고, 커버 내를 부압으로 하는 것이어도 된다. 이것도 흡인부가 반송부와 동일 직선 상에 정렬되도록 배열된 태양의 일종이다. 반송부의 전체가 부압이 되어, 작업물(W)의 단부가 치우쳐 흡인되는 경우가 없고, 그 평탄성을 확보하는데 유리하다.

또한, 도 8 (b)에 나타낸 바와 같이, 흡인부(322)와 연통된 유로(330b)와, 부상부(116)와 연통된 유로(330a)를 연결하고, 이에 의해 기체(G)를 순환하게 해도 된다. 이들은 순환부를 구성한다. 펌프 또는 압축기와 같은 수단(330)에서는, 유입과 유출이 균형이 잡힘으로써, 에너지 효율이 높아지므로, 에너지 절약성의 점에서 유리하다. 또한 이 경우, 단일의 수단(330)이 기체를 흡인하는 수단과 기체를 가압하는 수단을 겸한다.

또는 도 9와 같이, 반송부가 롤러 컨베이어이어도 된다. 방향 X를 따라 복수의 롤러(414)가 배열되어 있고, 프레임(402)에 각각 회전 가능하게 지지된다. 복수의 롤러(414)로와동일 직선 상에, 바람직하게는 번갈아, 복수의 흡인부(412a)가 배열되어 있다. 롤러(414)의 각 샤프트는 풀리(pully)(410b)에 결합되어 있고, 전동 모터와 같은 구동 장치(410)도 풀리(410b)에 결합되어 있다. 이들의 풀리(410b)가 벨트(410e)에 의해 서로 연결됨으로써, 모든 롤러(414)가 동기하여 회전한다. 구동 장치(410)의 샤프트(410c)는, 바람직하게는 반대측의 단(端)에까지 연장되어 반대측의 단의 풀리(410b)를 회전하게 한다. 이에 의해 양단의 롤러(414)가 동기하여 회전한다. 또는, 벨트에 의하지 않고 샤프트 및 기어 기구에 의해 구동 장치를 구성해도 된다. 흡인부(412a)는, 전술한 실시예와 마찬가지로, 각각 펌프 또는 압축기와 같은 흡인 수단와 연통되어 있고, 작업물(W)의 단을 흡인한다.

이와 같은 태양에 의해서도, 작업물(W)의 폭 방향 양단을 평탄하게 지지하는 한편, 작업물(W)의 중앙 부근을 약간 휘게 할 수 있다.

도 10을 참조하여, 전술한 각각의 실시예가 얻을 수 있는 효과를 설명한다. 도 10 (a)을 참조하면, 종래 기술과 같이 작업물(W)의 전체적인 형상을 평탄하게 유지하도록 하면, 작업물(W)의 선단이 지지되어 있지 않을 때, 자체 중량에 의해 선단은 화살표 H와 같이 아래쪽으로 휘어진다. 예를 들면, 작업물(W)이 하나의 롤러에서 다음 롤러로 이동할 때, 또는 하나의 반송 장치에서 다음 반송 장치로 이동할 때, 이와 같은 상태가 될 수 있다. 작업물(W)은, 아래쪽으로 휨으로써 롤러 또는 반송 장치와 충돌하기 쉽다. 한편, 본 실시예에 의하면, 도 10 (b)에 나타낸 바와 같이, 작업물(W)의 폭 방향 양단은 반송 방향 X를 따라 평탄하고, 중앙 부근은 약간 휜다. 그러면, 작업물(W)이 폭 방향으로 물결치고 있으므로, 반송 방향 X으로는 작업물(W)은 자유롭게 변형될 수 없고, 그러므로, 작업물(W)의 선단은, 지지되어 있지 않아도, 아래쪽으로 휘는 경우는 없다. 작업물(W)이 하나의 롤러에서 다음 롤러로 이동할 때, 또는 하나의 반송 장치에서 다음의 반송 장치로 이동할 때에도, 작업물(W)의 선단이 롤러 또는 반송 장치와 충돌하는 것이 방지된다.

전술한 각각의 실시예가 제공하는 효과를 검증한다.

도 11은, 검증 장치(500, 502)의 구성을 설명하기 위한 설명도이다. 특히, 도 11 (a)는 검증 장치(500)의 상면도를 나타내고, 도 11 (b)는 도 11 (a)의 D 화살표의 측면도를 나타내고, 도 11 (c)는, 검증 장치(502)에서의 도 11 (b)에 대응하는 위치의 측면도를 나타낸다. 여기서는, 작업물(W)으로서 1300㎜×1000㎜×0.3㎜의 알루미늄판을 사용하였다.

도 11 (a), (b)에 나타낸 바와 같이, 검증 장치(500)는, 부상부(504)와 돌기부(506)를 포함하여 구성된다. 부상부(504)는, 부상부(116)와 마찬가지로, 예를 들면, 압축 공기를 분출하는 분출 장치 등으로 구성되며, 작업물(W)의 아래쪽에, 작업물(W)이 수평으로 유지되는 압력보다 낮은 압력을 생기게 한다. 그러므로, 작업물(W)은, 돌기부(506)에 의해 지지되면서, 중앙 부분(Wb)이 연직 하방으로 오목하게 되어 있다.

또한, 도 11 (c)에 나타낸 바와 같이, 검증 장치(502)는, 부상부(504)와 돌기부(508)를 포함하여 구성된다. 돌기부(508)는, 돌기부(506)보다 높이가 낮고, 부상부(504)는 압력을 생기게 하는 기능을 정지하고 있다. 그리고, 작업물(W)은, 돌기부(508) 및 부상부(504)에 의해, 평탄한 상태로 지지되어 있다.

검증 장치(500, 502) 중 어느 것에서도, 작업물(W)은, 도 11 (a) 중, 아래쪽의 단부(Wa)가 돌기부(506, 508)보다, 길이 L2만큼 돌출되어 유지된다. 여기서는, 길이 L2를 200㎜로 하였다.

도 12는 검증 결과를 나타낸 그래프이다. 특히, 도 12 (a)는, 도 11 (a)의 D 화살표에서의, 작업물(W)의 단부(Wa)의 형상을 나타내고, 도 12 (b)은, 초기 진동을 부여했을 때의 작업물(W)의 감쇠 특성을 나타낸다. 도 12 (a)에서, 가로축은, 작업물(W)의 단부(Wa)에서, 돌기부(506, 508)로부터 돌출된 위치를 나타내고, 세로축은 단부(Wa)의 가로축으로 나타낸 돌출 위치에서의 높이를 나타낸다. 또한, 도 12 (b)에서, 가로축은 시간(초)을 나타내고, 세로축은, 단부(Wa)가 있는 측정점의 높이를 나타낸다.

여기서, 실선(510)은 검증 장치(500)에 의해 작업물(W)의 중앙 부분(Wb)이 연직 하방으로 오목하게 유지되었을 때의 측정 결과를 나타내고, 파선(破線)(512)은 검증 장치(502)에 의해 작업물(W)이 평탄한 상태일 때의 측정 결과를 나타낸다.

도 12 (a)에 나타낸 바와 같이, 작업물(W)이 평탄하게 유지된 상태에서는, 단부(Wa)는 크게 늘어져 있다. 그에 대해, 작업물(W)의 중앙 부분(Wb)가 연직 하방으로 오목한 상태에서는, 단부(Wa)의 늘어진 폭이, 작업물(W)이 평탄한 상태일 때의 1/3정도까지 감소되었다.

다음에, 초기 진동이 부여되어 최대 진폭이 되고난 후 진동이 수렴하기까지 걸리는 시간을 비교한다. 도 12 (b)에 나타낸 바와 같이, 작업물(W)이 평탄하게 유지된 상태에서의 시간(t1)에 대해, 작업물(W)의 중앙 부분(Wb)이 연직 하방으로 오목한 상태에서의 시간(t2)은 절반 이하로까지 단축되었다.

전술한 바와 같이, 검증 장치(502)에서는, 작업물(W)은 부상부(504)와 접촉하고 있지만, 작업물(W)과 부상부(504)의 접촉이, 이와 같은 작업물(W)의 진동의 수렴의 빠름에는 거의 영향이 없는 것은, 별도의 검증 실험에 의해 확인되어 있다.

이 검증에 의해 명백한 바와 같이, 본 발명 중 어느 하나의 실시예에 의한 반송 장치에 의해, 작업물(W)의 중앙 부분(Wb)이 연직 하방으로 오목한 상태로, 작업물(W)을 반송하면, 작업물(W)의 단부(Wa)의 처짐을 억제하고, 작업물(W)의 진동을 억제하여, 안정된 반송을 수행 가능하게 된다.

바람직한 실시예에 의해 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 상기 개시 내용에 기초하여, 해당 기술 분야의 통상의 기술을 가진 자가, 실시예의 수정 내지 변형에 의해 본 발명을 행할 수 있다.

[산업 상의 이용 가능성]

기판의 선단의 휨을 방지할 수 있는 반송 장치가 제공된다.

100: 반송 장치
112, 312: 반송부
112a, 322, 412a: 흡인부
114, 314: 돌기
116: 부상부
118: 지지대
120: 감압 챔버
414: 롤러
X: 반송 방향
W: 작업물
G, G': 기체

Claims (6)

1. 대상물을 기체에 의해 부상시켜 제1 방향으로 반송하기 위한 반송 장치로서,
   상기 기체를 분출하여 상기 대상물에 압력을 부여함으로써 상기 대상물을 부상시키는 부상부;
   상기 제1 방향으로 연장된 무단의 벨트와, 상기 벨트로부터 돌출되어 상기 대상물에 접촉 가능한 복수의 돌기를 포함하고, 상기 대상물에 접촉하여 상기 제1 방향으로 구동하도록 구성된 반송부; 및
   상기 반송부에 인접하여 평행하게 연장되거나, 또는 상기 반송부와 동일 직선상에 정렬하도록 배열되고, 상기 대상물에 부압(負壓)을 부여하여 상기 대상물을 상기 반송부에 접촉하게 하는 흡인부
   를 포함하는 반송 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 흡인부와 상기 복수의 돌기는 상기 제1 방향으로 번갈아 배치되어 있는, 반송 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 부상부 또는 상기 반송부는 상기 대상물을 그 폭 방향 중앙에서 휘어지게 하도록 구성된 변형 수단을 포함하는, 반송 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 변형 수단은, 상기 복수의 돌기 상에서의 상기 대상물의 높이보다 낮은 부상 높이를 상기 부상부에 생기게 하도록 구성된 기체 공급 장치, 또는 상기 부상부에서의 상기 대상물의 부상 높이보다 높게 형성된 상기 복수의 돌기인, 반송 장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 흡인부가 흡인한 상기 기체를 상기 부상부에 순환시키도록 구성된 순환부를 더 포함하는 반송 장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 복수의 돌기 각각의 선단은, 상기 부상부를 향해 하강하는 경사를 가지는, 반송 장치.

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