KR20150077934A

KR20150077934A - 피에조 구동 회로 및 구동 신호 생성 회로, 그를 이용한 피에조 구동 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20150077934A
Application number: KR1020130166897A
Authority: KR
Inventors: 박찬우
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2013-12-30
Filing date: 2013-12-30
Publication date: 2015-07-08
Also published as: US20160163953A1; KR101580374B1; JP5924359B2; JP2015127042A; CN104753388A

Abstract

본 발명은 피에조 구동 회로 및 구동 신호 생성 회로, 그를 이용한 피에조 구동 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 일 구현예에 따른 피에조 구동 장치는, 출력 파형에 대한 정보를 포함하는 파형 정보를 입력받고, 상기 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값을 출력하는 제어부, 상기 출력 파형을 이용하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 샘플링 클록 생성부 및 상기 가변 샘플링 클록에 따라, 상기 디지털 값에 대응되는 아날로그 값을 출력하는 디지털 아날로그 변환부를 포함할 수 있다.

Description

피에조 구동 회로 및 구동 신호 생성 회로, 그를 이용한 피에조 구동 장치 및 방법 {CIRCUIT FOR DRIVING PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND GENERATING DRIVING SIGNAL, APPARATUS AND METHOD FOR PIEZOELECTRIC ACTUATOR USING THE SAME}

본 발명은 디지털 아날로그 변환의 샘플링 주파수를 가변적으로 변환하여, 보다 정확한 정현파를 출력할 수 있는 피에조 구동 회로 및 구동 신호 생성 회로, 그를 이용한 피에조 구동 장치 및 방법에 관한 것이다.

사용자 인터페이스에 대한 관심 및 관련 기술이 발전함에 따라, 단말 환경에서 사용자 입력에 대한 반응 기술이 사용자 인터페이스의 주요한 핵심 요소가 되고 있다.

초기의 반응 기술은, 사용자의 입력에 대한 단순한 진동을 제공함으로써, 사용에게 직관적인 입력 확인을 제공하데 사용되었다.

최근에는 사용자의 입력에 대한 보다 정밀한 반응 내지 진동을 제공하는 것이 주요한 핵심적 요소가 됨에 따라, 보다 정밀한 진동을 제공하는 것이 주요한 이슈가 되고 있다. 따라서, 이러한 이슈를 만족하기 위하여, 모터 구동 기술을 중심으로 하는 종래의 터치 반응 기술에서, 다양한 반응 요소를 제공할 수 있는 햅틱 기술로 기술적 전이가 이루어지고 있다.

햅틱 기술이란 사용자에게 촉감을 전달하는 시스템 전체를 가리키며, 소정의 진동 소자를 진동시켜 사용자에게 물리력을 전달하여 촉감을 제공할 수 있다. 이러한 햅틱 기술도 초기에는 단순한 입력 확인을 위한 반응을 제공하는데 그쳤으나, 최근에는 보다 정밀한 제어를 기초로 사용자의 감성을 피드백 하기 위하여 다양한 반응을 제공하는 것이 요구되고 있다.

이를 위하여 다양한 주파수 대역을 사용하여 풍부한 입체 진동 패턴을 제공하는 것이 요구되며, 이러한 요구를 만족하기 위하여 최근에는 세라믹 재질의 피에조 액추에이터의 사용이 이루어지고 있다. 이러한 피에조 액추에이터는 기존의 자석으로된 리니어 공진 액츄에이터나 진동 모터보다 응답 속도가 빠르고 노이즈가 작으며 높은 공진 대역폭을 가지는 특성이 있다. 따라서, 미세하고 입체적인 진동을 다양하게 표현할 수 있다.

이와 같은 피에조 액추에이터는 정현파를 구동 신호로서 사용하여야 하므로, 보다 정밀한 제어를 위해서 보다 정확하고 왜곡이 없는 정현파를 생성하는 것이 핵심적인 기술적 사항이 된다. 즉, 정현파를 이용하여 피에조 소자를 구동하므로, 피에조 소자를 정확하게 구현하기 위해서 피에조 구동 장치에서 생성되는 정현파의 파형 정확성 필수적으로 요구된다.

그러나, 종래의 피에조 구동 기술의 경우, 정밀한 정현파를 생성하기 어려운 문제점이 있다. 종래의 피에조 구동 기술의 경우, 출력되는 정현파의 주파수에 따라 디지털 아날로그 변환 과정에서 샘플링 되는 디지털 값의 개수가 변경된다. 이로 인하여 출력되는 정현파의 주파수가 가변적인 경우 정현파의 정확성이 떨어지거나 왜곡이 발생하는 문제가 있었다.

하기의 특허문헌 1은 가변샘플링 주파수를 이용하는 아날로그/디지털 변환장치및 방법에 관한 것이고, 특허문헌 2는 가변 샘플링 주파수를 이용한 송수신장치에 관한 것으로서, 디지털 아날로그 변환에 관련된 내용을 기술하고 있으나, 이러한 특허 문헌1및 2도 상술한 바와 같이 디지털 아날로그 변환 과정에서 정확한 변환이 이루어지지 않는 문제를 가지고 있다.

한국 공개특허공보 제2008-0006279호 한국 공개특허공보 제2000-0060296 호

본 발명의 과제는 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 출력 파형의 주파수를 이용하여 샘플링 클록을 가변하여 디지털 아날로그 변환을 수행함으로써, 출력 파형의 주파수가 변경되더라도 룩 업 테이블의 디지털 값을 모두 이용할 수 있어 보다 정밀한 정현파를 생성할 수 있는 피에조 구동 회로 및 구동 신호 생성 회로, 그를 이용한 피에조 구동 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 제1 기술적인 측면은 피에조 구동 장치를 제안한다. 상기 피에조 구동 장치는, 출력 파형에 대한 정보를 포함하는 파형 정보를 입력받고, 상기 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값을 출력하는 제어부, 상기 출력 파형을 이용하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 샘플링 클록 생성부 및 상기 가변 샘플링 클록에 따라, 상기 디지털 값에 대응되는 아날로그 값을 출력하는 디지털 아날로그 변환부를 포함할 수 있다.

본 발명의 제2 기술적인 측면은 다른 피에조 구동 장치를 제안한다. 상기 피에조 구동 장치는, 출력 파형의 주파수를 이용하여 생성된 가변 샘플링 클록에 따라, 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값을 출력하는 제어부 및 상기 제어부로부터 출력된 상기 디지털 값에 대응되는 아날로그 값을 출력하는 디지털 아날로그 변환부를 포함할 수 있다.

본 발명의 제3 기술적인 측면은 피에조 구동 회로를 제안한다. 상기 피에조 구동 회로는, 출력 파형의 주파수를 확인하고, 상기 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 샘플링 클록 생성 회로 및 상기 가변 샘플링 클록에 따라, 기 설정된 룩 업 테이블을 이용하여 디지털 값을 출력하는 제어 회로를 포함할 수 있다.

본 발명의 제4 기술적인 측면은 구동 신호 생성 회로를 제안한다. 상기 구동 신호 생성 회로는, 출력 파형의 주파수를 확인하고, 상기 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 샘플링 클록 생성 회로 및 복수의 디지털 값을 순차적으로 입력받고, 상기 가변 샘플링 클록에 따라 상기 복수의 디지털 값에 해당하는 아날로그 값을 순차적으로 출력하는 디지털 아날로그 변환 회로를 포함할 수 있다.

본 발명의 제5 기술적인 측면은 피에조 구동 방법을 제안한다. 상기 피에조 구동 방법은, 출력 파형의 주파수를 확인하고, 상기 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 단계, 기 설정된 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값 중 적어도 일부를 출력하는 단계 및 상기 가변 샘플링 클록에 따라, 상기 적어도 일부의 디지털 값에 각각 대응되는 아날로그 값을 출력하는 단계를 포함할 수 있다.

덧붙여 상기한 과제의 해결 수단은, 본 발명의 특징을 모두 열거한 것은 아니다. 본 발명의 다양한 특징과 그에 따른 장점과 효과는 아래의 구체적인 실시형태를 참조하여 보다 상세하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시형태에 의하면, 출력 파형의 주파수를 이용하여 샘플링 클록을 가변하여 디지털 아날로그 변환을 수행함으로써, 출력 파형의 주파수가 변경되더라도 룩 업 테이블에 포함된 디지털 값을 모두 이용할 수 있어 보다 정밀한 정현파를 생성할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 피에조 구동 장치의 일 예를 도시하는 구성도이다.
도 2는 도1의 피에조 구동 장치의 각 구성요소에서 출력되는 신호들의 일 예를 도시하는 도면이다.
도 3은 도 1의 피에조 구동 장치에서 출력되는 정현파의 예들을 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 피에조 구동 장치를 도시하는 구성도이다.
도 5는 도 4의 샘플링 클록 생성부의 일 실시예를 도시하는 구성도이다.
도 6은 도 4의 제어부의 일 실시예를 도시하는 구성도이다.
도 7은 도 4의 디지털 아날로그 변환부의 일 실시예를 도시하는 구성도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 구동 회로를 도시하는 참고도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 신호 생성 회로를 도시하는 참고도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 구동 방법을 설명하는 순서도이다.
도 11은 도 10의 피에조 구동 방법의 단계 S1010에 대한 일 실시예를 설명하는 순서도이다.
도 12은 도 10의 피에조 구동 방법의 단계 S1020에 대한 일 실시예를 설명하는 순서도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다.

그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.

본 발명에 참조된 도면에서 실질적으로 동일한 구성과 기능을 가진 구성요소들은 동일한 부호가 사용될 것이며, 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.

도 1은 피에조 구동 장치(10)의 일 예를 도시하는 구성도이다.

도 1을 참조하면, 제어부(11)는 외부로부터 파형 정보를 입력받고, 기 설정된 룩 업 테이블을 이용하여 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값(DS1)을 출력할 수 있다. 디지털 아날로그 변환부(12)는 입력받은 디지털 값(DS1)에 해당하는 아날로그 신호(AS1)를 출력할 수 있다. 증폭부(13)는 아날로그 신호(AS1)를 입력받아 피에조 소자(20)에 제공할 수 있다.

여기에서, 디지털 아날로그 변환부(12)는 시스템 클록 등과 같은 기 설정된 샘플링 클록(clock)을 이용한다.

룩 업 테이블은 기 설정된 샘플링 클록에서 기 설정된 기준 파형을 생성할 수 있는 복수의 디지털 값을 포함할 수 있다.

이하에서, 룩 업 테이블의 기준 샘플링 클록이 8KHz이고 기준 파형이 7.8125Hz, 디지털 아날로그 변환부(12)의 샘플링 클록이 8KHz이며, 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 7.8125Hz인 예를 들어, 피에조 구동 장치(10)의 구체적인 동작을 설명한다.

룩 업 테이블의 기준 샘플링 클록이 8KHz이고 기준 파형이 7.8125Hz이므로, 룩 업 테이블은 총 1024개의 디지털 값을 가질 수 있다.

피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 룩 업 테이블의 기준 파형과 같은 7.8125Hz이므로, 제어부(11)는 룩 업 테이블에 포함된 1024개의 디지털 값(DS1)을 8KHz마다 순차적으로 출력하게 된다. 디지털 아날로그 변환부(12)는 샘플링 클록, 즉 8KHz 마다 제어부(11)로부터 입력되는 디지털 값(DS1)을 아날로그 신호(AS1)으로 변환한다. 증폭부(13)는 아날로그 신호(AS1)를 차등 증폭하여 출력한다.

이러한 일 예에 따른 피에조 구동 장치의 각 구성요소에서 출력되는 신호들을 예시적으로 도시하면 도 2와 같다.

도 2를 참조하면, 제어부(11)는 룩 업 테이블을 이용하여 8KHz마다 룩 업 테이블의 디지털 값(DS1)을 출력하고 있으며, 디지털 아날로그 변환부(12)는 이를 아날로그 신호(AS1)으로 변환하여 출력한다. 디지털 아날로그 변환부(12)는 디지털 값을 아날로그로 변환하여 출력하므로, 도 2에 도시된 바와 같이 일종의 계단 함수의 형태를 가지는 정현파가 출력된다. 증폭부(13)는 차등 증폭기로 구현될 수 있으며, 입력받은 아날로그 신호(AS1)를 필터링하고 반대의 위상을 가지는 2개의 정현파(AS2)를 생성하여, 피에조 소자(20)의 입력 양단에 제공할 수 있다.

상술한 예에서는, 룩 업 테이블의 기준 파형과 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 7.8125Hz이므로, 룩 업 테이블의 모든 데이터를 사용하여 정현파를 생성하므로, 출력 파형의 왜곡이 발생하지 않는다.

그러나, 룩 업 테이블의 기준 파형과 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 서로 상이한 경우에는, 상술한 예와 다르게 출력 파형에 왜곡이 발생할 수 있다.

이하에서, 룩 업 테이블의 기준 샘플링 클록이 8KHz이고 기준 파형이 7.8125Hz, 디지털 아날로그 변환부(12)의 샘플링 클록이 8KHz이며, 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 15.625Hz인 예에 대하여 설명한다.

본 예에서는 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 15.625Hz 이므로, 룩 업 테이블의 기준 파형 7.8125Hz 보다 주파수가 2배가 크다. 따라서, 룩 업 테이블의 모든 디지털 값이 사용되지 않는다.

즉, 제어부(11)는 8KHz마다 룩 업 테이블의 디지털 값(DS1)을 출력하여 15.625Hz의 출력 파형을 만들기 위해서, 룩 업 테이블의 1024개의 데이터 값 중 512개의 데이터 값 만을 사용하게 된다. 즉, 제어부(11)는 8KHz마다 룩 업 테이블의 데이터 중 홀수 번(혹은 짝수 번)에 저장된 디지털 값만을 순차적으로 출력하여, 15.625Hz의 출력 파형 1주기을 생성할 수 있다.

이는 룩 업 테이블의 기준 파형이 7.8125Hz이므로, 기준 파형보다 높은 주파수를 가지는 경우 룩 업 테이블의 디지털 값 전체를 이용하여 샘플링 할 수 없기 때문이다.

따라서, 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 룩 업 테이블의 기준 파형 보다 큰 경우, 룩 업 테이블의 디지털 값 중 일부만을 사용하여 정현파를 생성하게 된다. 이로 인하여, 실체 출력 파형의 주파수가 커지게 되면, 생성되는 출력 정현파의 형상이 부정확해지고 감쇄가 발생하게 된다.

도 3은 출력 파형이 커서 왜곡이 발생하는 예를 도시하고 있다. 도 3 (a)는 룩 업 테이블의 기준 파형 7.8125Hz 이고 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 7.8125Hz 인 경우를 도시하는 그래프이고, 도 3 (b)는 룩 업 테이블의 기준 파형 7.8125Hz 이고 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형이 1.992KHz인 파형을 도시하고 있다. 또한, 도 3 (a) 및 도 3 (b)의 샘플링 클록은 8KHz이다.

도 3 (a)의 경우, 피에조 구동 장치의 출력 파형이 룩 업 테이블의 기준 파형과 같으므로 정상적인 정형파가 출력되고 있음을 알 수 있다.

반면 도 3 (b)의 경우, 출력 파형의 1주기는 룩 업 테이블의 1024개의 데이터 중에서 4개의 데이터 값만으로 형성된다. 여기에서, 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형은 1.992KHz인 반면 룩 업 테이블의 기준 파형은 7.8125Hz으로서 두 파형 간의 주파수 차이가 크다. 따라서, 1.992KHz의 출력 파형의 1주기를 생성하기 위해 사용되는 룩 업 테이블의 데이터 값, 즉 샘플링 포인트가 4개에 불과하며, 이에 따라 도시된 바와 같이 정현파가 아닌 톱니파의 형상이 출력됨을 알 수 있다. 이러한 톱니파는 필터링을 거치게 되더라도 정확한 정현파를 구현하기 어려우며 이로 인하여 피에조 소자(20)에 왜곡을 유발하게 되어 구동 특성에 영향이 미치게 된다.

도 3에서 보듯이, 피에조 구동 장치(10)의 출력 파형의 주파수가 가변되는 경우라도 디지털 아날로그 변환의 샘플링 클록은 가변되지 않으므로, 룩 업 테이블의 디지털 데이터 중 일부 만을 사용하여 출력 파형을 생성하게 된다. 따라서, 출력 파형이 룩 업 테이블의 기준 파형과 상이한 경우, 출력 파형의 샘플링 밀도가 낮아지게 되고 그로 인하여 출력되는 정현파에 왜곡이 발생할 가능성이 높아진다.

이하에서는 이러한 정현파의 왜곡을 방지할 수 있는 본 발명의 다양한 실시예들에 대하여 도 4 내지 도 9를 참조하여 설명한다.

도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 피에조 구동 장치를 도시하는 구성도이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 피에조 구동 장치(100)는 샘플링 클록 생성부(110), 제어부(120), 디지털 아날로그 변환부(130) 및 증폭부(140)를 포함할 수 있다.

샘플링 클록 생성부(110)는 파형 정보를 입력받고, 출력 파형(AS2)의 주파수를 확인할 수 있다.

일 실시예에서, 샘플링 클록 생성부(110)는 룩 업 테이블의 기준 파형과 출력 파형의 주파수 비율을 이용하여 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다. 생성된 가변 샘플링 클록은 디지털 아날로그 변환부(130)에 입력될 수 있다.

여기에서, 외부-MCU 핸드폰 CPU, 메인 제어 장치에서 입력된 파형 정보는 출력 파형의 주파수, 사이클 및 진폭 중 적어도 하나에 대한 정보를 포함할 수 있다. 출력 파형의 주파수는 가변적인 값을 가질 수 있으며, 이에 따라 샘플링 클록 생성부(110) 또한 가변적인 출력 파형에 대한 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다.

일 실시예에서, 샘플링 클록 생성부(110)는 룩 업 테이블의 기준 파형의 주파수에 대한 출력 파형의 주파수의 비율을, 룩 업 테이블의 기준 샘플링 클록에 반영하여 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다. 예를 들어, 룩 업 테이블의 기준 파형을 7.8125Hz, 기준 샘플링 클록을 8MHz, 출력 파형을 15.625Hz라고 가정하여 설명하면, 룩 업 테이블의 기준 파형의 주파수에 대한 출력 파형의 주파수의 비율은 15.625/7.8125이므로 2가 된다. 따라서, 샘플링 클록 생성부(110)는 기준 샘플링 클록 8MHz에 2를 곱하여 가변 샘플링 클록 16MHz을 생성할 수 있다.

일 실시예에서, 외부로부터 입력되는 파형 정보는 룩 업 테이블의 기준 파형을 기준으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 룩 업 테이블의 기준 파형이 7.8125Hz이고, 출력 파형을 15.625Hz라고 할 때, 파형 정보의 출력 파형에 대한 정보는 기준 파형의 주파수에 대한 비율, 즉 2로서 입력될 수 있다. 따라서, 샘플링 클록 생성부(110)는 파형 정보에서 출력 파형에 대한 주파수 정보 2를 기준 샘플링 클록 8Mhz에 반영하여 가변 샘플링 클록의 주파수 16Mh를 결정할 수 있다.

일 실시예에서, 샘플링 클록 생성부(110)는 기 설정된 단위 클록을 분주하여 상기 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다. 본 실시예에 대해서는 도 5를 참조하여 후술한다.

제어부(120)는 외부로부터 파형 정보를 입력받고, 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값(DS1)을 출력할 수 있다.

일 실시예에서, 제어부(120)는 룩 업 테이블을 이용하여 디지털 값을 출력할 수 있다. 즉, 제어부(120)는 외부로부터 파형 정보를 입력받고, 기 설정된 기준 파형에 대한 룩 업 테이블을 이용하여 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값(DS1)을 출력할 수 있다.

다른 일 실시예에서, 제어부(120)는 기 설정된 함수를 이용하여 디지털 값을 출력할 수도 있다. 즉, 제어부(120)는 외부로부터 파형 정보를 입력받고, 기 설정된 기준 파형에 대한 함수를 이용하여 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값(DS1)을 출력할 수 있다.

룩 업 테이블은 기 설정된 기준 샘플링 클록에서 기 설정된 기준 파형을 가지는 정현파의 1주기를 생성하기 위한 복수의 디지털 값을 포함할 수 있다. 예를 들어, 룩 업 테이블의 기준 샘플링 클록이 8KHz이고 기준 파형이 7.8125Hz인 경우, 룩 업 테이블은 7.8125Hz의 정현파를 생성하기 위한 1024개의 디지털 값을 가질 수 있다.

일 실시예에서, 제어부(120)는 기준 파형과 출력 파형 간의 차이를 고려하지 않고 룩 업 테이블의 디지털 값 전부를 이용하여 출력 파형의 1주기를 생성하도록 할 수 있다. 즉, 제어부(120)는 출력 파형의 주파수의 가변성에 무관하게, 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값 모두를 이용하여 출력 파형의 1주기를 생성하도록 할 수 있다.

도 1에서 상술한 예의 경우 고정 샘플링 클록을 이용하므로 룩 업 테이블의 기준 파형과 출력 파형을 비교하여 룩 업 테이블의 데이터 중 일부만을 사용하여야 한다. 반면, 본 실시예에서는 출력 파형의 변화를 반영하여 가변 샘플링 클록을 생성하므로, 출력 파형이 변경되더라도 그에 따라 변경된 샘플링 클록을 이용하여 룩 업 테이블의 모든 데이터를 사용할 수 있다. 따라서, 제어부(120)는 출력 파형의 주파수의 변경에 무관하게 출력 파형의 1주기 마다 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값 전부를 출력할 수 있다.

일 실시예에서, 제어부(120)는 가변 샘플링 클록이 변경되면, 변경된 가변 샘플링 클록에 동기화하여 룩 업 테이블에 포함된 디지털 값을 출력할 수 있다. 즉, 출력 파형의 주파수가 변경되면 그에 따라 가변 샘플링 클록이 변경될 수 있고, 변경된 가변 샘플링 클록에 따라 디지털 아날로그 변환이 수행된다. 따라서, 제어부(120)도 변경된 가변 샘플링 클록에 맞추어 룩 업 테이블의 모든 디지털 값을 순차적으로 출력할 수 있다.

예를 들어, 룩 업 테이블의 기준 파형을 7.8125Hz, 기준 샘플링 클록을 8MHz라 하면 룩 업 테이블은 1024개의 디지털 값을 가진다. 이때, 출력 파형이 15.625Hz라고 가정하면, 샘플링 클록 생성부(110)는 상술한 바와 같이 가변 샘플링 클록 16MHz를 생성하게 된다. 따라서, 제어부(120)도 16MHz마다 룩 업 테이블의 디지털 값을 출력할 수 있다. 즉, 룩 업 테이블의 데이터는 기준 샘플링 클록인 8MHz을 기준으로 설정되었으나, 제어부(120)는 룩 업 테이블의 기준 샘플링 클록이 아닌 샘플링 클록 생성부(110)에서 생성된 가변 샘플링 클록에 따라 디지털 값을 출력할 수 있다. 따라서, 출력 파형이 15.625Hz이 되어도 16MHz의 가변 샘플링 클록에 따라 룩 업 테이블의 데이터를 출력하므로, 제어부(120)는 총 1024개의 데이터를 16MHz의 가변 샘플링 클록에 따라 순차적으로 출력하여 15.625Hz의 출력 파형 1주기를 생성하도록 할 수 있다.

일 실시예에서, 룩 업 테이블은 기 설정된 기준 진폭 정보를 더 포함할 수 있다. 외부에서 입력되는 파형 정보에는 출력 파형의 진폭 정보가 포함될 수 있으며, 제어부(120)는 파형 정보에 포함된 출력 파형의 진폭과 룩 업 테이블의 기준 진폭을 비교할 수 있다. 만약 두 진폭값들이 서로 상이하면, 제어부(120)는 두 진폭을 비교하여 진폭 계수를 연산하고, 연산된 진폭 계수를 룩 업 테이블의 디지털 값에 반영하여 출력할 수 있다. 예를 들어, 룩 업 테이블의 기준 진폭이 4이고, 출력 파형의 진폭이 6이라고 가정하면, 제어부(120)는 룩 업 테이블의 디지털 값에 1.5의 계수를 반영하여 출력할 수 있다. 따라서, 특정 룩 업 테이블의 데이터 값이 5이라고 하면, 제어부(120)는 1.5의 계수를 반영하여 7.5의 디지털 값을 출력할 수 있다.

디지털 아날로그 변환부(130)는 가변 샘플링 클록에 따라, 제어부(120)로부터 입력받은 디지털 값에 대응되는 아날로그 값을 출력할 수 있다.

일 실시예에서, 가변 샘플링 클록은 높은 주파수 값을 가질 수 있으므로, 디지털 아날로그 변환부(130)는 고속에서 보다 안정적인 특성을 가질 수 있다. 이에 따라, 디지털 아날로그 변환부(130)는 고속의 세틀링 시간(Settling Time)을 만족할 수 있는 바이너리 디지털 아날로그 변환기(binary DAC) 일 수 있다.

증폭부(13)는 아날로그 신호(AS1)를 차등 증폭하여 출력할 수 있다.

도 5는 도 4의 샘플링 클록 생성부의 일 실시예를 도시하는 구성도이다.

도 5를 참조하면, 샘플링 클록 생성부(110)의 일 실시예는 단위 클록 생성기(111), 분주비 결정기(112) 및 분주기 (113)을 포함할 수 있다.

단위 클록 생성기(111)는 기 설절된 단위 클록을 생성할 수 있다. 여기에서, 단위 클록은 룩 업 테이블의 기준 샘플링 클록보다 높은 주파수를 가질 수 있다.

분주비 결정기(112)는 가변 샘플링 클록를 생성하기 위한 단위 클록의 분주비를 결정할 수 있다. 예를 들어, 40MHz 클록을 단위 클록이라고 하면, 단위 클록 5000개를 이용하여 8KHz의 가변 샘플링 클록을 만들 수 있다. 또는 2500개의 단위 클록을 이용하여 16KHz의 샘플링 클록을 만들 수 있습니다. 따라서, 분주비 결정기(112)는 생성하고자 하는 가변 샘플링 클록과 단위 클록을 비교하여 분주비를 결정할 수 있다.

분주기(113)는 분주비 결정기(112)에서 제공되는 분주비에 따라 단위 클록을 분주하여 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다.

다른 일 실시예에서, 샘플링 클록 생성부(110)는 전압 제어 발진기(VCO, Voltage Controlled Oscillator)를 이용하여 분주를 수행할 수 있다. 즉, 전압 제어 발진기는 분주하고자 하는 복수의 주파수에 해당되는 전압값을 저장하고 있고, 파형 정보의 주파수에 따라서 해당되는 데이터의 값을 출력함으로써 샘플링 클록이 변경될 수 있다.

도 6은 도 4의 제어부의 일 실시예를 도시하는 구성도이다.

도 6를 참조하면, 제어부(120)의 일 실시예는 룩 업 테이블 저장기(121), 파형 정보 저장기(122) 및 제어기(123)를 포함할 수 있다.

룩 업 테이블 저장기(121)는 룩 업 테이블을 저장할 수 있다. 룩 업 테이블은 기 설정된 기준 샘플링 클록에서 기 설정된 기준 파형을 가지는 정현파의 1주기를 생성하기 위한 복수의 디지털 값을 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 룩 업 테이블은 기준 파형의 진폭에 대한 정보를 더 포함할 수 있다.

파형 정보 저장기(122)는 외부로부터 파형 정보를 입력받고 이를 저장할 수 있다. 입력된 파형 정보는 출력 파형의 주파수, 사이클 및 진폭 중 적어도 하나에 대한 정보를 포함할 수 있다

제어기(123)는 샘플링 클록 생성부(110)에서 생성되는 가변 샘플링 클록에 따라 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값을 디지털 아날로그 변환부(130)에 제공할 수 있다.

일 실시예에서, 제어기(123)는 파형 정보에 포함된 출력 파형의 사이클을 확인하여 상기 복수의 디지털 값 중 적어도 일부를 출력할 수 있다. 즉, 파형 정보의 사이클이 1이 되지 않는 경우, 출력 파형이 1주기가 되지 않는다. 따라서, 이러한 경우 제어기(123)는 룩 업 테이블의 일부-보다 상세히는 순차적인 순서로 결정되는 적어도 일부-만을 이용하여 출력 파형을 생성할 수 있다.

일 실시예에서, 제어기(123)는 가변 샘플링 클록이 변경되면, 변경된 가변 샘플링 클록에 동기화하여 룩 업 테이블에 포함된 디지털 값을 출력할 수 있다.

일 실시예에서, 제어기(123)는 파형 정보에 포함된 출력 파형의 진폭과 룩 업 테이블의 기준 진폭을 비교할 수 있다. 만약 두 진폭값들이 서로 상이하면, 제어부(120)는 두 진폭을 비교하여 진폭 계수를 연산하고, 연산된 진폭 계수를 룩 업 테이블의 디지털 값에 반영하여 출력할 수 있다

도 7은 도 4의 디지털 아날로그 변환부의 일 실시예를 도시하는 구성도이다.

디지털 아날로그 변환부(130)는 는입력되는 디지털 신호에 따라 스위칭 동작을 수행한다. 이러한 스위칭 동작에 의하여 저항값이 선택되어 출력되는 아날로그 신호의 크기가 변경되게 된다. 이러한 디지털 아날로그 변환기(130)의 출력을 수식으로 표현하면 아래의 수학식 1과 같다.

[수학식 1]

이상에서는 도 4 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 구동 장치에 대하여 설명하였다.

이하에서는, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 피에조 구동 회로 및 구동 신호 생성 회로에 대하여 설명한다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 구동 회로를 도시하는 참고도이다.

도 8을 참조하면, 피에조 구동 회로(300)는 출력 파형의 주파수에 따라 가변 샘플링 클록을 생성하여 구동 신호 생성 회로(400)에 제공할 수 있다.

구체적으로, 피에조 구동 회로(300)는 샘플링 클록 생성 회로(310) 및 제어 회로(320)를 포함할 수 있다.

샘플링 클록 생성 회로(310)는 출력 파형의 주파수를 확인하고, 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다. 여기에서, 샘플링 클록 생성 회로(310)는 외부로부터 입력되는 파형 정보를 이용하여 출력 파형의 주파수를 확인할 수 있다.

일 실시예에서, 샘플링 클록 생성 회로(310)는 기준 파형의 주파수에 대한 출력 파형의 주파수의 비율을, 기준 샘플링 클록에 반영하여 가변 샘플링 클록을 결정할 수 있다.

일 실시예에서, 샘플링 클록 생성 회로(310)는 단위 클록을 생성하는 단위 클록 생성기, 가변 샘플링 클록에 대한 단위 클록의 분주비를 결정하는 분주비 결정기 및 분주비에 따라 단위 클록을 분주하여 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 분주기를 포함할 수 있다.

제어 회로(320)는 가변 샘플링 클록에 따라, 기 설정된 룩 업 테이블을 이용하여 디지털 값을 출력할 수 있다.

여기에서, 룩 업 테이블은 기 설정된 기준 샘플링 클록에서 기 설정된 기준 파형을 생성하기 위한 복수의 디지털 값을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 룩 업 테이블은 기 설정된 기준 진폭에 대한 정보를 더 포함하고, 제어 회로(320)는 파형 정보에 포함된 출력 파형의 진폭과 기준 진폭을 비교하여 진폭 계수를 연산하고, 진폭 계수를 룩 업 테이블의 디지털 값에 반영하여 출력할 수 있다.

구동 신호 생성 회로(400)는, 가변 샘플링 클록에 따라 제어 회로(320)에서 제공되는 디지털 값을 아날로그 값으로 변환하는 디지털 아날로그 변환 회로(410)와, 그 출력을 증폭하여 피에조 소자(200)에 제공하는 증폭 회로(420)를 포함할 수 있다.

실시예에 따라, 피에조 구동 회로(300)는 하나의 집적 회로로 구현될 수 있다. 예를 들어, 피에조 구동 회로(300)는 집적 회로로 구현되고, 구동 신호 생성 회로(400)는 아날로그 회로로 구현될 수 있다.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 신호 생성 회로를 도시하는 참고도이다.

도 9를 참조하면, 제어 회로(510)는 소정의 디지털 신호를 출력할 수 있다. 구동 신호 생성회로(600)는 이러한 디지털 신호를 아날로그 신호로 변환하여 소정의 부하(200)에 출력할 수 있다.

구체적으로, 구동 신호 생성회로(600)는 샘플링 클록 생성 회로(610) 및 디지털 아날로그 변환 회로(620)를 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 증폭 회로(630)를 더 포함할 수 있다.

샘플링 클록 생성 회로(610)는 출력 파형의 주파수를 확인하고, 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다.

일 실시예에서, 샘플링 클록 생성 회로(610)는 단위 클록을 생성하는 단위 클록 생성기, 가변 샘플링 클록에 대한 단위 클록의 분주비를 결정하는 분주비 결정기 및 분주비에 따라 단위 클록을 분주하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 분주기를 포함할 수 있다.

디지털 아날로그 변환 회로(620)는 복수의 디지털 값을 순차적으로 입력받고, 가변 샘플링 클록에 따라 복수의 디지털 값에 해당하는 아날로그 값을 순차적으로 출력할 수 있다.

일 실시예에서, 디지털 아날로그 변환 회로(620)는 바이너리 디지털 아날로그 변환기를 포함할 수 있다.

상술한 실시예들에서는, 디지털 아날로그 변환부 또는 디지털 아날로그 변환 회로는 가변 샘플링 클록에 따라 디지털 아날로그 변환을 수행하였다. 그러나, 디지털 아날로그 변환에 대한 가변 샘플링을 직접 적용하지 아니하고, 제어부에서 데이터가 제공될 때마다 디지털 아날로그 변환을 수행할 수 있다.

일 실시예에서, 제어부는 출력 파형의 주파수를 이용하여 생성된 가변 샘플링 클록에 따라, 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값을 출력할 수 있다. 디지털 아날로그 변환부는 상기 제어부로부터 출력된 상기 디지털 값에 대응되는 아날로그 값을 출력할 수 있다.

즉, 본 일 실시예에서는 제어부에서 가변 샘플링 클록에 따라 디지털 값을 출력할 수 있고, 디지털 아날로그 변환부는 디지털 값이 입력될 때마다 아날로그 변환을 수행할 수 있다.

이하에서는, 도 10 내지 도 12를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 구동 방법을 설명한다. 다만, 이하의 피에조 구동 방법은 도 4 내지 도 7을 참조하여 상술한 피에조 구동 장치에서 수행되므로, 상술한 설명과 동일하거나 또는 그에 상응하는 내용에 대해서는 중복적으로 서술하지 아니한다.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 구동 방법을 설명하는 순서도이다.

도 10을 참조하면, 피에조 구동 장치(100)는 출력 파형의 주파수를 확인하고, 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다(S1010).

또한 피에조 구동 장치(100)는 기 설정된 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값 중 적어도 일부를 출력할 수 있다(S1020). 일 실시예에서, 피에조 구동 장치(100)는 출력 파형의 1주기마다 상기 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값 전부를 출력할 수 있다.

이후 또한 피에조 구동 장치(100)는 가변 샘플링 클록에 따라, 적어도 일부의 디지털 값에 각각 대응되는 아날로그 값을 생성할 수 있다(S1030).

도면에 도시된 예와 달리, 단계 S1010과 단계 S1020은 동시 또는 순차적으로 수행될 있다. 즉, 반드시 단계 S1010의 수행 후에 단계 S1020가 수행되어야 하는 것은 아니다.

도 11은 도 10의 피에조 구동 방법의 단계 S1010에 대한 일 실시예를 설명하는 순서도이다.

도 11을 참조하면, 피에조 구동 장치(100)는 룩 업 테이블의 기준 파형의 주파수에 대한 상기 출력 파형의 주파수의 비율을 계산할 수 있다(S1011).

이후, 피에조 구동 장치(100)는 기준 파형에 대한 기준 샘플링 클록에 비율을 반영하여 가변 샘플링 클록의 주파수를 결정할 수 있다(S1012).

또한, 피에조 구동 장치(100)는 가변 샘플링 클록에 대한 기 설정된 단위 클록의 분주비를 결정하고(S1013), 결정된 분주비에 따라 단위 클록을 분주하여 가변 샘플링 클록을 생성할 수 있다(S1014).

도 12은 도 10의 피에조 구동 방법의 단계 S1020에 대한 일 실시예를 설명하는 순서도이다.

도 12를 참조하면, 피에조 구동 장치(100)는 출력 파형의 진폭과 룩 업 테이블의 기준 진폭을 비교하여 진폭 계수를 연산할 수 있다(S1021).

이후, 피에조 구동 장치(100)는 적어도 일부의 디지털 값에 진폭 계수를 반영하여 출력할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고 후술하는 특허청구범위에 의해 한정되며, 본 발명의 구성은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 그 구성을 다양하게 변경 및 개조할 수 있다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 알 수 있다.

10 : 피에조 구동 장치
11 : 제어부
12 : 디지털 아날로그 변환부
13 : 증폭부
20 : 피에조 소자
100 : 피에조 구동 장치
110 : 샘플링 클록 생성부
111 : 단위 클록 생성기
112 : 분주비 결정기
113 : 분주기
120 : 제어부
121 : 룩 업 테이블 저장기
122 : 파형 정보 저장기
123 : 제어기
130 : 디지털 아날로그 변환부
140 : 증폭부
200 : 피에조 소자
300 : 피에조 제어 회로
310 : 샘플링 클록 생성 회로
320 : 제어 회로
400 : 구동 신호 생성 회로
410 : 디지털 아날로그 변환 회로
420 : 증폭 회로
510 : 제어 회로
600 : 구동 신호 생성 회로
610 : 샘플링 클록 생성회로
620 : 디지털 아날로그 변환회로
630 : 증폭 회로

Claims

출력 파형에 대한 정보를 포함하는 파형 정보를 입력받고, 상기 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값을 출력하는 제어부;
상기 출력 파형을 이용하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 샘플링 클록 생성부; 및
상기 가변 샘플링 클록에 따라, 상기 디지털 값에 대응되는 아날로그 값을 출력하는 디지털 아날로그 변환부; 를 포함하는 피에조 구동 장치.
제1항에 있어서, 상기 제어부는
기 설정된 기준 파형에 대한 룩 업 테이블을 이용하여 상기 디지털 값을 출력하는 피에조 구동 장치.
제2항에 있어서, 상기 샘플링 클록 생성부는
상기 기준 파형과 상기 출력 파형 간의 차이을 이용하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 피에조 구동 장치.
제2항에 있어서, 상기 룩 업 테이블은
기 설정된 기준 샘플링 클록에서 상기 기준 파형을 생성하기 위한 복수의 디지털 값을 포함하는 피에조 구동 장치.
제2항에 있어서, 상기 제어부는
상기 파형 정보를 저장하는 파형 정보 저장기;
상기 룩 업 테이블을 저장하는 룩 업 테이블 저장기; 및
상기 가변 샘플링 클록에 따라 상기 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값을 디지털 아날로그 변환부에 제공하는 제어기;를 포함하는 피에조 구동 장치.
제2항에 있어서, 상기 제어부는
상기 가변 샘플링 클록이 변경되면, 변경된 상기 가변 샘플링 클록에 동기화하여 상기 디지털 값을 출력하는 피에조 구동 장치.
제2항에 있어서, 상기 제어부는
상기 출력 파형의 1주기 마다 상기 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값 모두를 출력하는 피에조 구동 장치.
제4항에 있어서, 상기 룩 업 테이블은
기 설정된 기준 진폭에 대한 정보를 더 포함하고,
상기 제어부는
상기 파형 정보에 포함된 출력 파형의 진폭과 상기 기준 진폭을 비교하여 진폭 계수를 연산하고, 연산된 상기 진폭 계수를 상기 룩 업 테이블의 디지털 값에 반영하여 출력하는 피에조 구동 장치.
제4항에 있어서, 상기 샘플링 클록 생성부는
상기 기준 파형의 주파수에 대한 상기 출력 파형의 주파수의 비율을 계산하고, 이를 상기 기준 샘플링 클록에 반영하여 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 피에조 구동 장치.
제2항에 있어서, 상기 샘플링 클록 생성부는
기 설정된 단위 클록을 분주하여 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 피에조 구동 장치.
제10항에 있어서, 상기 샘플링 클록 생성부는
단위 클록을 생성하는 단위 클록 생성기;
상기 가변 샘플링 클록에 대한 상기 단위 클록의 분주비를 결정하는 분주비 결정기; 및
상기 분주비에 따라 상기 단위 클록을 분주하여 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 분주기; 를 포함하는 피에조 구동 장치.
제2항에 있어서, 상기 디지털 아날로그 변환부는
바이너리 디지털 아날로그 변환기를 포함하는 피에조 구동 장치.
출력 파형의 주파수를 이용하여 생성된 가변 샘플링 클록에 따라, 출력 파형을 생성하기 위한 디지털 값을 출력하는 제어부; 및
상기 제어부로부터 출력된 상기 디지털 값에 대응되는 아날로그 값을 출력하는 디지털 아날로그 변환부; 를 포함하는 피에조 구동 장치.
출력 파형의 주파수를 확인하고, 상기 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 샘플링 클록 생성 회로; 및
상기 가변 샘플링 클록에 따라, 기 설정된 룩 업 테이블을 이용하여 디지털 값을 출력하는 제어 회로; 를 포함하는 피에조 구동 회로.
제14항에 있어서, 상기 룩 업 테이블은
기 설정된 기준 샘플링 클록에서 기 설정된 기준 파형을 생성하기 위한 복수의 디지털 값을 포함하는 피에조 구동 회로.
제15항에 있어서, 상기 샘플링 클록 생성 회로는
상기 기준 파형의 주파수에 대한 상기 출력 파형의 주파수의 비율을 상기 기준 샘플링 클록에 반영하여 상기 가변 샘플링 클록을 결정하는 피에조 구동 회로.
제15항에 있어서, 상기 샘플링 클록 생성 회로는
단위 클록을 생성하는 단위 클록 생성기;
상기 가변 샘플링 클록에 대한 상기 단위 클록의 분주비를 결정하는 분주비 결정기; 및
상기 분주비에 따라 상기 단위 클록을 분주하여 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 분주기; 를 포함하는 피에조 구동 회로.
제15항에 있어서, 상기 룩 업 테이블은
기 설정된 기준 진폭에 대한 정보를 더 포함하고,
상기 제어 회로는
상기 파형 정보에 포함된 출력 파형의 진폭과 상기 기준 진폭을 비교하여 진폭 계수를 연산하고, 연산된 상기 진폭 계수를 상기 룩 업 테이블의 디지털 값에 반영하여 출력하는 피에조 구동 회로.
출력 파형의 주파수를 확인하고, 상기 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 샘플링 클록 생성 회로; 및
복수의 디지털 값을 순차적으로 입력받고, 상기 가변 샘플링 클록에 따라 상기 복수의 디지털 값에 해당하는 아날로그 값을 순차적으로 출력하는 디지털 아날로그 변환 회로; 를 포함하는 구동 신호 생성 회로.
제19항에 있어서, 상기 샘플링 클록 생성 회로는
단위 클록을 생성하는 단위 클록 생성기;
상기 가변 샘플링 클록에 대한 상기 단위 클록의 분주비를 결정하는 분주비 결정기; 및
상기 분주비에 따라 상기 단위 클록을 분주하여 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 분주기; 를 포함하는 구동 신호 생성 회로.
제19항에 있어서, 상기 디지털 아날로그 변환 회로는
바이너리 디지털 아날로그 변환기를 포함하는 구동 신호 생성 회로.
출력 파형의 주파수를 확인하고, 상기 출력 파형의 주파수를 고려하여 가변 샘플링 클록을 생성하는 단계;
기 설정된 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값 중 적어도 일부를 출력하는 단계; 및
상기 가변 샘플링 클록에 따라, 상기 적어도 일부의 디지털 값에 각각 대응되는 아날로그 값을 출력하는 단계; 를 포함하는 피에조 구동 방법.
제22항에 있어서, 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 단계는
상기 룩 업 테이블의 기준 파형의 주파수에 대한 상기 출력 파형의 주파수의 비율을 계산하는 단계; 및
상기 기준 파형에 대한 기준 샘플링 클록에 상기 비율을 반영하여 상기 가변 샘플링 클록의 주파수를 결정하는 단계; 를 포함하는 피에조 구동 방법.
제23항에 있어서, 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 단계는
상기 가변 샘플링 클록에 대한 기 설정된 단위 클록의 분주비를 결정하는 단계; 및
상기 분주비에 따라 상기 단위 클록을 분주하여 상기 가변 샘플링 클록을 생성하는 단계; 를 포함하는 피에조 구동 방법.
제22항에 있어서, 상기 복수의 디지털 값 중 적어도 일부를 출력하는 단계는
상기 출력 파형의 1주기마다 상기 룩 업 테이블에 포함된 복수의 디지털 값 전부를 출력하는 단계; 를 포함하는 피에조 구동 방법.
제22항에 있어서, 상기 복수의 디지털 값 중 적어도 일부를 출력하는 단계는
상기 출력 파형의 진폭과 상기 룩 업 테이블의 기준 진폭을 비교하여 진폭 계수를 연산하는 단계; 및
상기 적어도 일부의 디지털 값에 상기 진폭 계수를 반영하여 출력하는 단계; 를 포함하는 피에조 구동 방법.