KR20150026765A - Brake device - Google Patents

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KR20150026765A KR20140052502A KR20140052502A KR20150026765A KR 20150026765 A KR20150026765 A KR 20150026765A KR 20140052502 A KR20140052502 A KR 20140052502A KR 20140052502 A KR20140052502 A KR 20140052502A KR 20150026765 A KR20150026765 A KR 20150026765A
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츠토무 우에노
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

The objective of the present invention is to provide a brake device capable of braking a first substrate and a second substrate without reversing a tail of a bonding substrate. To achieve the objective, the brake device (100) comprises convey units (4a ~ 4c), a first brake unit (1), a second brake unit (2), and a third brake unit (3). The first brake unit (1) brakes a first substrate (101) along a first scribe line (L1). The second brake unit (2) brakes the first substrate (101) along a second scribe line (L2). The third brake unit brakes a second substrate (102) along a third scribe line (L3). The first to third brake units (1 ~ 3) are arranged along a convey route (C).

Description

브레이크 장치{BRAKE DEVICE}[0001] BRAKE DEVICE [0002]

본 발명은 브레이크 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a brake device.

액정 장치는, 액정층을 사이에 개재하도록 제 1 기판과 제 2 기판이 시일재에 의해 첩합 (貼合) 되는 첩합 기판에 의해 구성된다 (예를 들어 특허문헌 1). 이 첩합 기판은 생산성의 관점에서, 먼저 대판 상태인 마더 기판이 제작되고, 이것을 분단하여 복수의 단위 기판으로 한다. 이 분단 방법에 대해 상세하게 설명하면, 먼저 첩합 기판의 제 1 기판측의 면에 스크라이브 라인을 형성하고, 다음으로 제 2 기판측으로부터 첩합 기판을 가압하여 휘게 해서 제 1 기판을 스크라이브 라인을 따라 브레이크한다. 계속해서 첩합 기판의 제 2 기판측의 면에 스크라이브 라인을 형성하고, 다음으로 제 1 기판측으로부터 첩합 기판을 가압하여 휘게 해서 제 2 기판을 스크라이브 라인을 따라 브레이크한다.The liquid crystal device is constituted by an integrated substrate on which a first substrate and a second substrate are bonded by a sealing material so as to interpose the liquid crystal layer therebetween (for example, Patent Document 1). From the viewpoint of productivity, the mother substrate, which is in a state of a plate, is first produced and divided into a plurality of unit substrates. The dividing method will be described in detail. First, a scribe line is formed on the first substrate side of the bonded substrate stack. Next, the bonded substrate stack is bent and bent from the second substrate side to break the first substrate along the scribing line. do. Subsequently, a scribe line is formed on the side of the second substrate side of the fused substrate, and then the fused substrate is pressed and bent from the first substrate side to break the second substrate along the scribe line.

일본 공개특허공보 2012-203235호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-203235

상기 서술한 방법에서는, 제 1 기판을 브레이크한 후에 첩합 기판의 표리를 반전시켜 제 2 기판을 브레이크할 필요가 있다. 이와 같이 첩합 기판의 표리를 반전시키는 것은 생산성이 저하된다는 문제가 발생하기 때문에, 첩합 기판의 표리를 반전시키지 않고 제 1 기판 및 제 2 기판을 브레이크하는 것이 바람직하다.In the above-described method, after breaking the first substrate, it is necessary to break the second substrate by inverting the front and back of the bonded substrate. Inversion of the front and back surfaces of the composite substrate causes a problem that the productivity is lowered. Therefore, it is preferable to break the first and second substrates without inverting the front and back surfaces of the composite substrate.

본 발명의 과제는, 첩합 기판의 표리를 반전시키지 않고 제 1 기판 및 제 2 기판을 브레이크할 수 있는 브레이크 장치를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a braking device capable of breaking a first substrate and a second substrate without reversing the front and back of the bonded substrate.

(1) 본 발명의 일 측면에 관련된 브레이크 장치는, 제 1 기판과 제 2 기판을 첩합시킨 첩합 기판의 제 1 기판측의 면에 형성된 제 1 및 제 2 스크라이브 라인과 제 2 기판측의 면에 형성된 제 3 스크라이브 라인을 따라 첩합 기판을 브레이크하는 브레이크 장치이다. 이 브레이크 장치는, 반송 유닛과, 제 1 브레이크 유닛과, 제 2 브레이크 유닛과, 제 3 브레이크 유닛을 구비하고 있다. 반송 유닛은 첩합 기판을 반송한다. 제 1 브레이크 유닛은 제 1 스크라이브 라인을 따라 제 1 기판을 브레이크한다. 제 2 브레이크 유닛은 제 2 스크라이브 라인을 따라 제 1 기판을 브레이크한다. 제 3 브레이크 유닛은 제 3 스크라이브 라인을 따라 제 2 기판을 브레이크한다. 제 1 브레이크 유닛, 제 2 브레이크 유닛, 및 제 3 브레이크 유닛은, 첩합 기판의 반송로를 따라 배치되어 있다.(1) A braking device according to one aspect of the present invention includes: a first scribing line formed on a first substrate side of a bonded substrate stacked with a first substrate and a second substrate; And brakes the bonded substrate along the formed third scribe line. The braking device includes a carrying unit, a first brake unit, a second brake unit, and a third brake unit. The transport unit transports the bonded substrate. The first brake unit breaks the first substrate along the first scribe line. The second brake unit breaks the first substrate along the second scribe line. The third brake unit breaks the second substrate along the third scribe line. The first brake unit, the second brake unit, and the third brake unit are arranged along the conveying path of the bonded substrate stack.

이 구성에 의하면, 반송 유닛에 의해 반송되는 첩합 기판은, 제 1 및 제 2 브레이크 유닛에 의해 제 1 기판이 브레이크되고, 다음으로 제 3 브레이크 유닛에 의해 제 2 기판이 브레이크된다. 이와 같이, 반송로를 따라 배치된 제 1 ∼ 제 3 브레이크 유닛에 의해, 첩합 기판의 표리를 반전시키지 않고 제 1 기판과 제 2 기판 양방을 브레이크할 수 있다. 이 결과 생산성을 향상시킬 수 있다.With this configuration, in the bonded substrate stack carried by the carrying unit, the first substrate is broken by the first and second brake units, and then the second substrate is broken by the third breaking unit. Thus, the first to third brake units arranged along the conveying path can break both the first substrate and the second substrate without reversing the front and back of the bonded substrate. As a result, the productivity can be improved.

(2) 바람직하게는, 제 2 기판은 단자 영역을 갖고 있다. 또, 제 1 스크라이브 라인과 제 2 스크라이브 라인 사이에 있어서의 제 1 기판의 영역은 단자 영역과 대향하고 있다. 제 3 스크라이브 라인은, 제 1 스크라이브 라인 또는 제 2 스크라이브 라인과 대응하는 위치에 형성되어 있다. 이 구성에 의하면, 제 1 및 제 2 브레이크 유닛에 의해 제 1 기판을 브레이크함으로써, 제 2 기판의 단자 영역을 노출시킬 수 있다.(2) Preferably, the second substrate has a terminal region. The region of the first substrate between the first scribe line and the second scribe line faces the terminal region. The third scribe line is formed at a position corresponding to the first scribe line or the second scribe line. According to this structure, the terminal region of the second substrate can be exposed by breaking the first substrate by the first and second brake units.

(3) 바람직하게는, 제 1 브레이크 유닛, 제 2 브레이크 유닛, 및 제 3 브레이크 유닛은, 서로 동기하여 브레이크 동작을 실행한다. 이 구성에 의하면, 보다 효율적으로 첩합 기판을 분단할 수 있다.(3) Preferably, the first brake unit, the second brake unit, and the third brake unit execute the brake operation in synchronization with each other. According to this configuration, it is possible to separate the bonding substrate more efficiently.

(4) 바람직하게는, 반송 유닛은, 제 1 기판이 하방을 향하도록 첩합 기판을 반송한다. 이 구성에 의하면, 제 1 기판에 있어서의, 제 1 스크라이브 라인과 제 2 스크라이브 라인 사이의 영역 부분을 하방으로 낙하시킬 수 있다.(4) Preferably, the transport unit transports the bonded substrate stack so that the first substrate faces downward. According to this structure, the region between the first scribe line and the second scribe line in the first substrate can be dropped downward.

(5) 바람직하게는, 제 2 브레이크 유닛은, 제 1 브레이크 유닛보다 반송로의 하류에 배치되어 있다. 또, 바람직하게는, 제 2 브레이크 유닛은, 브레이크 바와 백업 바를 갖는다. 브레이크 바는, 첩합 기판을 브레이크할 때에 첩합 기판을 제 2 기판측으로부터 가압한다. 백업 바는, 첩합 기판을 브레이크할 때에 첩합 기판을 제 1 기판측으로부터 지지하는 1 쌍의 지지부를 포함한다. 그리고, 일방의 지지부는, 제 1 스크라이브 라인과 제 2 스크라이브 라인 사이에 있어서 첩합 기판을 지지한다.(5) Preferably, the second brake unit is disposed downstream of the first brake unit with respect to the conveying path. Preferably, the second brake unit has a brake bar and a backup bar. The brake bar presses the bonded substrate stack from the second substrate side when breaking the bonded substrate stack. The backup bar includes a pair of support portions for supporting the bonded substrate stack from the first substrate side when breaking the bonded substrate stack. One of the supporting members supports the bonded substrate between the first scribing line and the second scribing line.

이 구성에 의하면, 제 2 브레이크 유닛은, 제 2 스크라이브 라인을 따라 제 1 기판을 보다 확실하게 브레이크할 수 있다.According to this structure, the second brake unit can more reliably break the first substrate along the second scribe line.

본 발명에 관련된 브레이크 장치에 의하면, 첩합 기판의 표리를 반전시키지 않고 제 1 기판 및 제 2 기판을 브레이크할 수 있다.According to the brake device of the present invention, it is possible to break the first substrate and the second substrate without reversing the front and back of the bonded substrate.

도 1 은, 첩합 기판의 측면 단면도이다.
도 2 는, 브레이크 장치의 사시도이다.
도 3 은, 브레이크 장치의 동작을 설명하는 측면도이다.
도 4 는, 브레이크 장치의 동작을 설명하는 측면도이다.
도 5 는, 제 2 브레이크 유닛의 상세를 설명하는 확대도이다.1 is a side sectional view of a bonded substrate.
2 is a perspective view of the braking device.
3 is a side view for explaining the operation of the brake device.
4 is a side view for explaining the operation of the brake device.
5 is an enlarged view for explaining details of the second brake unit.

이하, 본 발명에 관련된 브레이크 장치 (100) 의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 브레이크 장치 (100) 를 설명하기 전에 먼저 가공 대상인 마더 기판 (첩합 기판의 일례) (10) 에 대해 설명한다. 도 1 은 마더 기판 (10) 을 나타내는 측면 단면도이다.Hereinafter, embodiments of the brake device 100 according to the present invention will be described with reference to the drawings. Before describing the brake apparatus 100, a mother substrate (an example of an associated substrate) 10 to be processed will be described first. 1 is a side sectional view showing a mother substrate 10;

도 1 에 나타내는 바와 같이, 마더 기판 (10) 은 제 1 기판 (101) 과 제 2 기판 (102) 을 갖는다. 제 1 기판 (101) 과 제 2 기판 (102) 은 시일재 (도시 생략) 에 의해 첩합되어 있고, 제 1 기판 (101) 과 제 2 기판 (102) 사이에서 예를 들어 액정층을 구성한다. 또, 액정층은 시일 부재에 의해 둘러싸여 있다. 이 마더 기판 (10) 을 분단함으로써, 복수의 단위 기판 (P) 을 제작한다.As shown in FIG. 1, the mother substrate 10 has a first substrate 101 and a second substrate 102. The first substrate 101 and the second substrate 102 are bonded by a sealing material (not shown) to form a liquid crystal layer between the first substrate 101 and the second substrate 102, for example. Further, the liquid crystal layer is surrounded by the sealing member. By dividing the mother substrate 10, a plurality of unit substrates P are manufactured.

예를 들어, 제 1 기판 (101) 은 복수의 컬러 필터가 형성된 기판이며, 제 2 기판 (102) 은 복수의 TFT 및 단자 영역 (R1) 이 형성된 기판이다. 단자 영역 (R1) 은 단자 (T) 가 형성되어 있는 영역이며, 단위 기판 (P) 마다 형성되어 있다. 단자 (T) 를 통해 내부의 TFT 와 외부 기기가 전기적으로 접속되기 때문에, 최종적으로는 단자 영역 (R1) 을 외부로 노출시킬 필요가 있다.For example, the first substrate 101 is a substrate on which a plurality of color filters are formed, and the second substrate 102 is a substrate on which a plurality of TFTs and terminal regions R1 are formed. The terminal region R1 is a region in which the terminal T is formed and is formed for each unit substrate P. [ Since the TFT inside and the external device are electrically connected through the terminal T, it is finally necessary to expose the terminal region R1 to the outside.

단자 영역 (R1) 을 외부로 노출시킬 수 있도록, 단위 기판 (P) 사이에 있어서 제 1 ∼ 제 3 스크라이브 라인 (L1 ∼ L3) 이 형성되어 있다. 상세하게는, 제 2 기판 (102) 에는 제 3 스크라이브 라인 (L3) 만이 형성되어 있고, 제 1 기판 (101) 에는 제 1 스크라이브 라인 (L1) 과 제 2 스크라이브 라인 (L2) 이 형성되어 있다. 제 1 스크라이브 라인 (L1) 과 제 2 스크라이브 라인 (L2) 에 의해 획정되는 제 1 기판 (101) 의 영역 (R2) 은, 제 2 기판 (102) 의 단자 영역 (R1) 과 대향하고 있다. 또, 제 3 스크라이브 라인 (L3) 은, 제 1 스크라이브 라인 (L1) 과 대응하는 위치에 형성된다. 이들 제 1 ∼ 제 3 스크라이브 라인 (L1 ∼ L3) 을 포함하는 스크라이브 라인 세트 (S) 는, 단위 기판 (P) 사이마다 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 반송 방향과 직교하는 방향에만 각 스크라이브 라인 (L1 ∼ L3) 이 형성되어 있지만, 반송 방향과 평행한 방향으로 복수의 스크라이브 라인이 형성되어 있어도 된다.First to third scribe lines L1 to L3 are formed between the unit substrates P so that the terminal region R1 can be exposed to the outside. In detail, only the third scribe line L3 is formed on the second substrate 102, and the first scribe line L1 and the second scribe line L2 are formed on the first substrate 101. [ The region R2 of the first substrate 101 defined by the first scribe line L1 and the second scribe line L2 is opposed to the terminal region R1 of the second substrate 102. [ The third scribe line L3 is formed at a position corresponding to the first scribe line L1. The scribe line sets S including the first to third scribe lines L1 to L3 are formed between the unit substrates P, respectively. In the present embodiment, the scribe lines L1 to L3 are formed only in the direction perpendicular to the transport direction, but a plurality of scribe lines may be formed in the direction parallel to the transport direction.

도 2 는 브레이크 장치 (100) 의 전체를 나타내는 사시도이다. 또한, 도 2 의 좌측을 상류, 우측을 하류로 한다. 또, 이하의 설명에 있어서 「반송 방향」이란, 하류를 향하는 방향을 의미한다.2 is a perspective view showing the whole of the brake device 100. As shown in Fig. Further, the left side in Fig. 2 is set to the upstream side and the right side is set to the downstream. In the following description, the " transport direction " means a direction toward downstream.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 브레이크 장치 (100) 는, 마더 기판 (10) 의 양면에 형성된 각 스크라이브 라인 (L1 ∼ L3) 을 따라 마더 기판 (10) 을 브레이크하기 위한 장치이며, 제 1 브레이크 유닛 (1) 과, 제 2 브레이크 유닛 (2) 과, 제 3 브레이크 유닛 (3) 과, 복수의 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 을 갖고 있다.2, the braking device 100 is a device for breaking the mother substrate 10 along the scribe lines L1 to L3 formed on both sides of the mother substrate 10, and the first brake unit 1, a second brake unit 2, a third brake unit 3, and a plurality of transfer units 4a to 4c.

각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 은, 마더 기판 (10) 을 하류를 향해 반송하기 위한 유닛이고, 예를 들어 원통상의 롤러 등에 의해 구성할 수 있다. 각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 은, 각각이 롤러를 회전시키기 위한 구동원을 갖고 있어도 되고, 어느 하나의 반송 유닛만이 구동원을 갖고 있고 이 구동원에 의해 다른 반송 유닛의 롤러를 회전 구동시켜도 된다. 이와 같이 각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 의 롤러가 회전함으로써, 마더 기판 (10) 을 하류로 반송한다. 또한, 도 2 의 이점 쇄선은 마더 기판 (10) 의 반송로 (C) 를 나타내고 있다.Each of the transport units 4a to 4c is a unit for transporting the mother substrate 10 toward downstream and can be constituted by, for example, a cylindrical roller or the like. Each of the transport units 4a to 4c may have a drive source for rotating the rollers. Only one of the transport units may have a drive source, and the drive source may rotate the rollers of the other transport units. In this way, the rollers of the transport units 4a to 4c rotate to transport the mother substrate 10 downstream. 2, the two-dot chain line indicates the conveying path C of the mother substrate 10.

제 1 ∼ 제 3 브레이크 유닛 (1 ∼ 3) 은, 마더 기판 (10) 의 반송로 (C) 를 따라 배치되어 있고, 상류측부터 제 1 브레이크 유닛 (1), 제 2 브레이크 유닛 (2), 및 제 3 브레이크 유닛 (3) 의 순으로 나열되어 있다. 또, 복수의 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 은, 제 1 브레이크 유닛 (1) 의 상류측, 제 1 브레이크 유닛 (1) 과 제 2 브레이크 유닛 (2) 사이, 및 제 2 브레이크 유닛 (2) 과 제 3 브레이크 유닛 (3) 사이에 1 개씩 배치되어 있다. 또한, 이들 각 유닛 (1 ∼ 4c) 은, 각 유닛 사이의 간격을 변경할 수 있도록 상류측 및 하류측으로 이동 가능하다.The first to third brake units 1 to 3 are disposed along the conveying path C of the mother board 10 and are provided with the first brake unit 1, the second brake unit 2, And the third brake unit 3 in that order. The plurality of transfer units 4a to 4c are disposed on the upstream side of the first brake unit 1, between the first brake unit 1 and the second brake unit 2, and between the second brake unit 2 And the third brake unit 3 are disposed one by one. These units 1 to 4c can be moved upstream and downstream so that the interval between the units can be changed.

제 1 브레이크 유닛 (1) 은, 마더 기판 (10) 에 형성된 제 1 스크라이브 라인 (L1) 을 따라 마더 기판 (10) 의 제 1 기판 (101) 을 분단하기 위한 유닛이다. 이 제 1 브레이크 유닛 (1) 은, 브레이크 바 (11) 와 백업 바 (12) 를 구비하고 있다. 브레이크 바 (11) 와 백업 바 (12) 는, 상하 방향에 있어서 대향하는 위치에 배치되어 있다. 보다 상세하게는, 브레이크 바 (11) 와 백업 바 (12) 는, 마더 기판 (10) 의 반송로 (C) 를 개재하여 대향하는 위치에 배치되어 있고, 브레이크 바 (11) 는 반송로 (C) 의 상방에 배치되고, 백업 바 (12) 는 반송로 (C) 의 하방에 배치되어 있다.The first brake unit 1 is a unit for dividing the first substrate 101 of the mother substrate 10 along the first scribe line L1 formed on the mother substrate 10. The first brake unit 1 is provided with a brake bar 11 and a backup bar 12. The brake bar 11 and the backup bar 12 are disposed at positions opposed to each other in the vertical direction. More specifically, the brake bar 11 and the backup bar 12 are disposed at positions opposed to each other via the carrying path C of the mother substrate 10, and the brake bar 11 is disposed on the carrying path C , And the backup bar 12 is disposed below the conveying path C. As shown in Fig.

브레이크 바 (11) 는, 반송로 (C) 와 평행 또한 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 브레이크 바 (11) 의 하부는, 반송로 (C) 와 평행 또한 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 삼각기둥상으로 형성되어 있고, 선단 (하단) 으로 갈수록 가늘어지는 테이퍼 형상으로 되어 있다. 이 브레이크 바 (11) 의 선단에 있어서의 능선부가, 브레이크 동작시에 마더 기판 (10) 과 접촉하는 가압부 (111) 이다. 브레이크 바 (11) 는, 작동 위치와 비작동 위치 사이에서 승강 가능하게 설치되어 있고, 작동 위치에서는 가압부 (111) 가 마더 기판 (10) 을 가압한다. 또, 브레이크 바 (11) 가 작동 위치로부터 상승하여 비작동 위치에 있을 때에는, 가압부 (111) 는 마더 기판 (10) 과 접촉하지 않는다.The brake bar 11 extends parallel to the conveying path C and in a direction perpendicular to the conveying direction. The lower portion of the brake bar 11 is formed in a triangular column shape parallel to the conveying path C and extending in a direction orthogonal to the conveying direction and has a tapered shape tapering toward the front end (lower end). The ridge line portion at the tip end of the brake bar 11 is the pressing portion 111 which is in contact with the mother board 10 at the time of the brake operation. The brake bar 11 is provided so as to be movable between an operating position and a non-operating position. In the operating position, the pressing portion 111 presses the mother board 10. When the brake bar 11 is raised from the operating position and is in the non-operating position, the pressing portion 111 does not contact the mother board 10.

백업 바 (12) 는, 브레이크 바 (11) 의 길이 방향을 따라 연장되어 있고, 즉 반송로 (C) 와 평행 또한 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 백업 바 (12) 는 2 개의 상부를 갖고 있고, 각 상부는 반송로 (C) 와 평행 또한 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 삼각기둥상으로 형성되어 있다. 또, 백업 바 (12) 의 각 상부는, 선단 (상단) 으로 갈수록 가늘어지는 테이퍼 형상으로 되어 있다. 이 백업 바 (12) 의 각 선단에 있어서의 2 개의 능선부가 마더 기판 (10) 과 접촉하는 지지부 (121a, 121b) 이다. 이 각 지지부 (121a, 121b) 는 가압부 (111) 의 길이 방향을 따라 연장되어 있다. 각 지지부 (121a, 121b) 는 서로 소정 간격을 두고 연장되어 있다. 그리고, 가압부 (111) 는, 지지부 (121a) 와 지지부 (121b) 사이와 대향하는 위치에 배치되어 있다. 또한, 각 지지부 (121a, 121b) 간의 거리는 가압부 (111) 의 폭보다 넓다.The backup bar 12 extends along the longitudinal direction of the brake bar 11, that is, parallel to the conveying path C and extends in a direction perpendicular to the conveying direction. The backup bar 12 has two upper portions, and each of the upper portions is formed in a triangular column shape parallel to the conveying path C and extending in a direction orthogonal to the conveying direction. Each of the upper portions of the backup bar 12 has a tapered shape that tapers toward the front end (upper end). And two ridge portions at each end of the backup bar 12 are the support portions 121a and 121b that come into contact with the mother substrate 10. [ The supporting portions 121a and 121b extend along the longitudinal direction of the pressing portion 111. [ The supporting portions 121a and 121b extend at a predetermined interval from each other. The pressing portion 111 is disposed at a position opposite to the position between the supporting portion 121a and the supporting portion 121b. Further, the distance between the supporting portions 121a and 121b is wider than the width of the pressing portion 111. [

제 2 브레이크 유닛 (2) 은, 마더 기판 (10) 에 형성된 제 2 스크라이브 라인 (L2) 을 따라 마더 기판 (10) 의 제 1 기판 (101) 을 분단하기 위한 유닛이다. 이 제 2 브레이크 유닛 (2) 은, 브레이크 바 (21) 와 백업 바 (22) 를 구비하고 있다. 브레이크 바 (21) 는 선단 (하단) 에 가압부 (211) 를 갖고 있고, 백업 바 (22) 는 선단 (상단) 에 2 개의 지지부 (221a, 221b) 를 갖고 있다. 이 제 2 브레이크 유닛 (2) 은, 상기 서술한 제 1 브레이크 유닛 (1) 과 동일한 구성이기 때문에 상세한 설명을 생략한다.The second brake unit 2 is a unit for dividing the first substrate 101 of the mother substrate 10 along the second scribe line L2 formed on the mother substrate 10. This second brake unit (2) is provided with a brake bar (21) and a backup bar (22). The brake bar 21 has a pressing portion 211 at the front end (lower end) and the backup bar 22 has two support portions 221a and 221b at the front end (upper end). The second brake unit 2 has the same configuration as that of the above-described first brake unit 1, and thus its detailed description is omitted.

제 3 브레이크 유닛 (3) 은, 마더 기판 (10) 에 형성된 제 3 스크라이브 라인 (L3) 을 따라 마더 기판 (10) 의 제 2 기판 (102) 을 분단하기 위한 유닛이다. 이 제 3 브레이크 유닛 (3) 은, 브레이크 바 (31) 와 백업 바 (32) 를 구비하고 있다. 브레이크 바 (31) 는 선단 (상단) 에 가압부 (311) 를 갖고 있고, 백업 바 (32) 는 선단 (하단) 에 2 개의 지지부 (321a, 321b) 를 갖고 있다. 브레이크 바 (31) 가 반송로 (C) 의 하방에 위치하고, 백업 바 (32) 가 반송로 (C) 의 상방에 위치하는 점을 제외하고, 제 3 브레이크 유닛 (3) 은 상기 서술한 제 1 브레이크 유닛 (1) 과 동일한 구성이기 때문에 상세한 설명을 생략한다.The third brake unit 3 is a unit for dividing the second substrate 102 of the mother substrate 10 along the third scribe line L3 formed on the mother substrate 10. The third brake unit 3 is provided with a brake bar 31 and a backup bar 32. The backup bar 32 has two support portions 321a and 321b at the tip (lower end) thereof. The backup bar 32 has a pressing portion 311 at the tip (upper end) of the brake bar 31. The third brake unit 3 is provided with the first brake unit 3 described above except that the brake bar 31 is located below the conveying route C and the backup bar 32 is located above the conveying route C, Since the brake unit 1 has the same configuration as that of the brake unit 1, detailed description thereof will be omitted.

다음으로 상기 서술한 바와 같이 구성된 브레이크 장치 (100) 의 동작에 대해 설명한다.Next, the operation of the brake device 100 configured as described above will be described.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 먼저 마더 기판 (10) 의 사이즈, 및 각 스크라이브 라인 (L1 ∼ L3) 의 피치에 기초하여 각 유닛 (1 ∼ 4c) 의 위치를 조정한다. 또한, 마더 기판 (10) 에는, 스크라이브 장치 (도시 생략) 에 의해 제 1 ∼ 제 3 스크라이브 라인 (L1 ∼ L3) 으로 이루어지는 스크라이브 라인 세트가 복수 세트 형성되어 있다. 이하의 설명에 있어서, 마더 기판 (10) 의 하류측 단부에 형성된 스크라이브 라인 세트를 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 로 하고, 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 상류측에 형성되는 스크라이브 라인 세트를 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 로 하며, 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 상류측에 형성되는 스크라이브 라인 세트를 제 3 스크라이브 라인 세트 (S3) 로 한다. 또한, 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 를 제외한 각 스크라이브 라인 세트는, 제 1 ∼ 제 3 스크라이브 라인 (L1 ∼ L3) 을 포함하고 있다. 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 는, 제 2 스크라이브 라인 (L2) 및 제 3 스크라이브 라인 (L3) 만을 포함하고 있고, 제 1 스크라이브 라인 (L1) 을 포함하고 있지 않다.The positions of the units 1 to 4c are adjusted based on the size of the mother substrate 10 and the pitch of the scribe lines L1 to L3, as shown in Fig. A plurality of sets of scribe lines consisting of the first to third scribe lines L1 to L3 are formed on the mother substrate 10 by a scribing apparatus (not shown). In the following description, a set of scribe lines formed at the downstream end of the mother substrate 10 is referred to as a first scribe line set S1, and a set of scribe lines formed at the upstream side of the first scribe line set S1 A set of scribing lines formed on the upstream side of the second scribing line set S2 is set as the second scribing line set S2 and a set of scribing lines formed on the upstream side of the second scribing line set S2 is set as the third scribing line set S3. Each of the scribe line sets except for the first scribe line set S1 includes first to third scribe lines L1 to L3. The first scribing line set S1 includes only the second scribing line L2 and the third scribing line L3 and does not include the first scribing line L1.

다음으로, 각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 에 의해 마더 기판 (10) 을 간헐적으로 반송한다. 구체적으로는, 각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 에 의해 마더 기판 (10) 을 하류측으로 반송하고, 도 3 에 나타내는 바와 같이 마더 기판 (10) 의 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 이 제 2 브레이크 유닛 (2) 에 도달하면, 그 반송을 정지한다. 보다 상세하게는, 마더 기판 (10) 의 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 이 제 2 브레이크 유닛 (2) 에 있어서의 브레이크 바 (21) 의 가압부 (211) 하방에 위치하면, 각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 은 마더 기판 (10) 의 반송을 정지한다. 이 때, 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 은, 제 1 브레이크 유닛 (1) 의 브레이크 바 (11) 의 가압부 (111) 하방에 위치하고 있다. 또한, 마더 기판 (10) 이 반송되고 있는 동안, 각 브레이크 유닛 (1 ∼ 3) 의 브레이크 바 (11 ∼ 31) 는 비작동 위치에 있다.Next, the mother substrate 10 is intermittently carried by each of the transport units 4a to 4c. Specifically, as shown in Fig. 3, the mother substrate 10 is transferred to the downstream side by each of the transfer units 4a to 4c, and the second scribe line of the first scribe line set S1 of the mother substrate 10 (L2) arrives at the second brake unit (2), the transfer is stopped. More specifically, the second scribe line L2 of the first scribe line set S1 of the mother substrate 10 is positioned below the pressing portion 211 of the brake bar 21 in the second brake unit 2 Each of the transport units 4a to 4c stops transporting the mother substrate 10. In this case, At this time, the first scribing line L1 of the second scribing line set S2 is located below the pressing portion 111 of the brake bar 11 of the first brake unit 1. Further, while the mother substrate 10 is being conveyed, the brake bars 11 to 31 of the respective brake units 1 to 3 are in the non-operating position.

이 상태에 있어서, 제 1 및 제 2 브레이크 유닛 (1, 2) 이 작동한다. 구체적으로는, 제 1 브레이크 유닛 (1) 의 브레이크 바 (11) 가 작동 위치까지 하강하여, 가압부 (111) 가 마더 기판 (10) 을 제 2 기판 (102) 측으로부터 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 을 따라 가압한다. 이로써, 마더 기판 (10) 의 제 1 기판 (101) 이 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 을 따라 브레이크된다.In this state, the first and second brake units 1, 2 are operated. More specifically, the brake bar 11 of the first brake unit 1 is lowered to the operating position and the pressing portion 111 presses the mother substrate 10 from the second substrate 102 side to the second scribing line set S2 along the first scribe line L1. As a result, the first substrate 101 of the mother substrate 10 is broken along the first scribe line L1 of the second scribe line set S2.

상기 제 1 브레이크 유닛 (1) 에 의한 브레이크 동작시, 마더 기판 (10) 은 백업 바 (12) 의 각 지지부 (121a, 121b) 에 의해 하측으로부터 지지되고 있다. 구체적으로는, 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 을 사이에 둔 상태에서 각 지지부 (121a, 121b) 가 마더 기판 (10) 을 지지하고 있다. 즉, 일방의 지지부 (121a) 는, 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 보다 상류측에 있어서 제 1 기판 (101) 과 접촉하고 있다. 또, 다른 일방의 지지부 (121b) 는, 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 보다 하류측에 있어서 제 1 기판 (101) 과 접촉하고 있다.The mother substrate 10 is supported from the lower side by the supporting portions 121a and 121b of the backup bar 12 during the brake operation by the first brake unit 1. [ More specifically, the support portions 121a and 121b support the mother substrate 10 with the first scribe line L1 of the second scribe line set S2 interposed therebetween. That is, the one support portion 121a is in contact with the first substrate 101 on the upstream side of the first scribe line L1 of the second scribe line set S2. The other one of the support portions 121b is in contact with the first substrate 101 on the downstream side of the first scribe line L1 of the second scribe line set S2.

또, 제 2 브레이크 유닛 (2) 의 브레이크 바 (21) 도 동일하게 작동 위치까지 하강하여, 가압부 (211) 가 마더 기판 (10) 을 제 2 기판 (102) 측으로부터 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 을 따라 가압한다. 이로써, 마더 기판 (10) 의 제 1 기판 (101) 이 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 을 따라 브레이크된다.The brake bar 21 of the second brake unit 2 also descends to the operating position so that the pressing portion 211 presses the mother substrate 10 from the second substrate 102 side to the first scribing line set S1 along the second scribe line L2. As a result, the first substrate 101 of the mother substrate 10 is broken along the second scribe line L2 of the first scribe line set S1.

상기 제 2 브레이크 유닛 (2) 에 의한 브레이크 동작시, 마더 기판 (10) 은 백업 바 (22) 의 각 지지부 (221a, 221b) 에 의해 하측으로부터 지지되고 있다. 구체적으로는, 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 을 사이에 둔 상태에서 각 지지부 (221a, 221b) 가 마더 기판 (10) 을 지지하고 있다. 즉, 일방의 지지부 (221a) 는, 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 보다 상류측에 있어서 제 1 기판 (101) 과 접촉하고 있다. 또, 다른 일방의 지지부 (221b) 는, 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 보다 하류측에 있어서 제 1 기판 (101) 과 접촉하고 있다.The mother substrate 10 is supported from the lower side by the supporting portions 221a and 221b of the backup bar 22 during the brake operation by the second brake unit 2. [ More specifically, the support portions 221a and 221b support the mother substrate 10 with the second scribe line L2 of the first scribe line set S1 interposed therebetween. That is, the one support portion 221a is in contact with the first substrate 101 on the upstream side of the second scribe line L2 of the first scribe line set S1. The other one of the support portions 221b is in contact with the first substrate 101 on the downstream side of the second scribe line L2 of the first scribe line set S1.

마더 기판 (10) 의 제 1 기판 (101) 이 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 및 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 을 따라 브레이크되면, 제 1 및 제 2 브레이크 유닛 (1, 2) 의 각 브레이크 바 (11, 21) 는 비작동 위치로 되돌아간다. 그리고, 각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 이 작동하여, 마더 기판 (10) 은 다시 하류측으로 반송된다.When the first substrate 101 of the mother substrate 10 is broken along the second scribe line L2 of the first scribe line set S1 and the first scribe line L1 of the second scribe line set S2 , The brake bars 11 and 21 of the first and second brake units 1 and 2 are returned to their inoperative positions. Then, each of the transport units 4a to 4c operates, and the mother substrate 10 is transported to the downstream side again.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 마더 기판 (10) 의 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 3 스크라이브 라인 (L3) 이 제 3 브레이크 유닛 (3) 에 도달하면, 각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 은 마더 기판 (10) 의 반송을 정지한다. 상세하게는, 마더 기판 (10) 의 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 3 스크라이브 라인 (L3) 이 제 3 브레이크 유닛 (3) 에 있어서의 브레이크 바 (31) 의 가압부 (311) 의 상방에 위치하면, 각 반송 유닛 (4a ∼ 4c) 은 반송 동작을 정지한다. 또한, 이 상태에 있어서, 마더 기판 (10) 의 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 은 제 2 브레이크 유닛 (2) 에 도달해 있다. 상세하게는, 마더 기판 (10) 의 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 은, 제 2 브레이크 유닛 (2) 에 있어서의 브레이크 바 (21) 의 가압부 (211) 하방에 위치한다. 또 나아가서는, 이 상태에 있어서, 마더 기판 (10) 의 제 3 스크라이브 라인 세트 (S3) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 은 제 1 브레이크 유닛 (1) 에 도달해 있다. 상세하게는, 마더 기판 (10) 의 제 3 스크라이브 라인 세트 (S3) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 은, 제 1 브레이크 유닛 (1) 에 있어서의 브레이크 바 (11) 의 가압부 (111) 하방에 위치한다.4, when the third scribe line L3 of the first scribe line set S1 of the mother substrate 10 reaches the third brake unit 3, each of the transport units 4a to 4c The transfer of the mother substrate 10 is stopped. The third scribing line L3 of the first scribing line set S1 of the mother substrate 10 is positioned above the pressing portion 311 of the brake bar 31 in the third brake unit 3 The respective transport units 4a to 4c stop the transport operation. Further, in this state, the second scribe line L2 of the second scribe line set S2 of the mother substrate 10 reaches the second brake unit 2. More specifically, the second scribe line L2 of the second scribe line set S2 of the mother substrate 10 is positioned below the pressing portion 211 of the brake bar 21 in the second brake unit 2 . Further, in this state, the first scribe line L1 of the third scribe line set S3 of the mother substrate 10 reaches the first brake unit 1. In this state, Specifically, the first scribe line L1 of the third scribe line set S3 of the mother substrate 10 is positioned below the pressing portion 111 of the brake bar 11 in the first brake unit 1 .

이 상태에 있어서, 제 1 브레이크 유닛 (1) 과 제 2 브레이크 유닛 (2) 과 제 3 브레이크 유닛 (3) 이 서로 동기하여 작동한다. 구체적으로는, 제 1 브레이크 유닛 (1) 의 브레이크 바 (11) 가 작동 위치까지 하강하여, 가압부 (111) 가 마더 기판 (10) 을 제 2 기판 (102) 측으로부터 제 3 스크라이브 라인 세트 (S3) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 을 따라 가압한다. 이로써, 마더 기판 (10) 의 제 1 기판 (101) 이 제 3 스크라이브 라인 세트 (S3) 의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 을 따라 브레이크된다. 또, 마더 기판 (10) 은, 백업 바 (12) 의 각 지지부 (121a, 121b) 에 의해 하측으로부터 지지되고 있다.In this state, the first brake unit 1, the second brake unit 2, and the third brake unit 3 operate in synchronization with each other. More specifically, the brake bar 11 of the first brake unit 1 is lowered to the operating position and the pressing portion 111 presses the mother substrate 10 from the second substrate 102 side to the third scribing line set S3 along the first scribe line L1. Thereby, the first substrate 101 of the mother substrate 10 is broken along the first scribe line L1 of the third scribe line set S3. The mother substrate 10 is supported from the lower side by the supporting portions 121a and 121b of the backup bar 12. [

또, 제 2 브레이크 유닛 (2) 의 브레이크 바 (21) 가 작동 위치까지 하강하여, 가압부 (211) 가 마더 기판 (10) 을 제 2 기판 (102) 측으로부터 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 을 따라 가압한다. 이로써, 마더 기판 (10) 의 제 1 기판 (101) 이 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 을 따라 브레이크된다. 여기서, 마더 기판 (10) 은 제 1 기판 (101) 이 하방을 향하는 상태로 반송되고 있기 때문에, 제 1 기판 (101) 의 영역 (R2) 에 상당하는 부분이 하방으로 낙하되어, 단자 (T) 가 외부로 노출된 상태가 된다.When the brake lever 21 of the second brake unit 2 is lowered to the operating position and the pressing portion 211 presses the mother substrate 10 from the second substrate 102 side to the second scribing line set S2, Along the second scribe line L2. Thereby, the first substrate 101 of the mother substrate 10 is broken along the second scribe line L2 of the second scribe line set S2. The portion of the mother board 10 corresponding to the region R2 of the first substrate 101 falls downward and the terminal T is moved downward because the mother board 10 is transported with the first substrate 101 facing downward. Is exposed to the outside.

상기 제 2 브레이크 유닛 (2) 에 의한 브레이크 동작시, 마더 기판 (10) 은 백업 바 (22) 의 각 지지부 (221a, 221b) 에 의해 하측으로부터 지지되고 있다. 보다 구체적으로는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 의 제 2 스크라이브 라인 (L2) 을 사이에 둔 상태에서 각 지지부 (221a, 221b) 가 마더 기판 (10) 을 지지하고 있다. 즉, 일방의 지지부 (221a) 는, 제 2 스크라이브 라인 (L2) 보다 상류측에 있어서 제 1 기판 (101) 과 접촉하고 있다. 또, 다른 일방의 지지부 (221b) 는, 제 2 스크라이브 라인 (L2) 보다 하류측에 있어서 제 1 기판 (101) 과 접촉하고 있다. 여기서, 일방의 지지부 (221b) 는, 제 2 스크라이브 라인 세트 (S2) 에 있어서의 제 1 스크라이브 라인 (L1) 과 제 2 스크라이브 라인 (L2) 사이에 있어서 제 1 기판 (101) 과 접촉하고 있다. 즉, 일방의 지지부 (221b) 는 제 1 기판의 영역 (R2) 과 접촉하고 있다.The mother substrate 10 is supported from the lower side by the supporting portions 221a and 221b of the backup bar 22 during the brake operation by the second brake unit 2. [ More specifically, as shown in Fig. 5, the support portions 221a and 221b support the mother substrate 10 with the second scribe line L2 of the second scribe line set S2 interposed therebetween have. That is, one of the support portions 221a is in contact with the first substrate 101 on the upstream side of the second scribe line L2. The other one of the support portions 221b is in contact with the first substrate 101 on the downstream side of the second scribe line L2. Here, the one support portion 221b is in contact with the first substrate 101 between the first scribe line L1 and the second scribe line L2 in the second scribe line set S2. That is, one of the supporting portions 221b is in contact with the region R2 of the first substrate.

또, 제 3 브레이크 유닛 (3) 의 브레이크 바 (31) 가 작동 위치까지 상승하여, 가압부 (311) 가 마더 기판 (10) 을 제 1 기판 (101) 측으로부터 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 3 스크라이브 라인 (L3) 을 따라 가압한다. 이로써, 마더 기판 (10) 의 제 2 기판 (102) 이 제 1 스크라이브 라인 세트 (S1) 의 제 3 스크라이브 라인 (L3) 을 따라 브레이크된다. 또, 마더 기판 (10) 은 백업 바 (32) 의 각 지지부 (321a, 321b) 에 의해 상측으로부터 지지되고 있다.The brake bar 31 of the third brake unit 3 is raised to the operating position so that the pressing portion 311 presses the mother substrate 10 from the first substrate 101 side to the first scribing line set S1, Along the third scribe line L3. Thereby, the second substrate 102 of the mother substrate 10 is broken along the third scribe line L3 of the first scribe line set S1. The mother substrate 10 is supported from the upper side by the supporting portions 321a and 321b of the backup bar 32. [

이상의 동작을 반복함으로써, 마더 기판 (10) 을 분단하여 복수의 단위 기판 (P) 을 취출할 수 있다.By repeating the above operation, it is possible to take out the plurality of unit substrates P by dividing the mother substrate 10.

[변형예][Modifications]

이상, 본 발명의 실시형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 여러 가지 변경이 가능하다.Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications are possible as long as the spirit of the present invention is not deviated.

변형예Variation example 1 One

상기 실시형태에서는, 상류측부터 제 1 브레이크 유닛 (1), 제 2 브레이크 유닛 (2), 제 3 브레이크 유닛 (3) 의 순으로 배치되어 있지만, 특별히 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 3 브레이크 유닛 (3) 을 가장 상류측에 배치하거나, 제 1 브레이크 유닛 (1) 과 제 2 브레이크 유닛 (2) 의 배치를 바꿔도 된다.In the above embodiment, the first brake unit 1, the second brake unit 2, and the third brake unit 3 are arranged in this order from the upstream side, but the invention is not limited thereto. For example, the third brake unit 3 may be disposed at the most upstream side, or the arrangement of the first brake unit 1 and the second brake unit 2 may be changed.

변형예Variation example 2 2

상기 실시형태에서는, 제 1 ∼ 제 3 브레이크 유닛 (1 ∼ 3) 은 서로 동기하여 브레이크 동작을 실행하지만, 특별히 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 1 ∼ 제 3 브레이크 유닛 (1 ∼ 3) 은 상이한 타이밍에 각 브레이크 동작을 실행해도 된다.In the above embodiment, the first to third brake units 1 to 3 perform the brake operation in synchronization with each other, but the present invention is not limited thereto. For example, the first to third brake units 1 to 3 may perform the respective brake operations at different timings.

변형예Variation example 3 3

상기 실시형태에서는, 마더 기판 (10) 은 제 1 기판 (101) 이 하방, 제 2 기판 (102) 이 상방을 향한 상태로 반송되지만, 특별히 이것에 한정되지 않고, 예를 들어, 제 1 기판 (101) 이 상방, 제 2 기판 (102) 이 하방을 향한 상태로 반송되어도 된다. 이 경우, 제 1 ∼ 제 3 브레이크 유닛 (1 ∼ 3) 은 브레이크 바 (11 ∼ 31) 와 백업 바 (12 ∼ 32) 의 위치가 상기 서술한 실시형태에 대해 상하로 반전된다.In the above embodiment, the mother substrate 10 is conveyed in a state that the first substrate 101 faces downward and the second substrate 102 faces upward. However, the present invention is not limited to this example. For example, 101 may be moved upward, and the second substrate 102 may be transported downward. In this case, the positions of the brake bars 11 to 31 and the backup bars 12 to 32 of the first to third brake units 1 to 3 are reversed up and down with respect to the above-described embodiment.

100 : 브레이크 장치
1 : 제 1 브레이크 유닛
2 : 제 2 브레이크 유닛
3 : 제 3 브레이크 유닛
4a ∼ 4c : 반송 유닛
10 : 마더 기판 (첩합 기판)
101 : 제 1 기판
102 : 제 2 기판
L1 : 제 1 스크라이브 라인
L2 : 제 2 스크라이브 라인
L3 : 제 3 스크라이브 라인100: Brake device
1: first brake unit
2: second brake unit
3: Third brake unit
4a to 4c:
10: Mother substrate (fused substrate)
101: first substrate
102: second substrate
L1: 1st scribe line
L2: second scribe line
L3: Third scribe line

Claims (5)

제 1 기판과 제 2 기판을 첩합시킨 첩합 기판의 제 1 기판측의 면에 형성된 제 1 및 제 2 스크라이브 라인과 상기 제 2 기판측의 면에 형성된 제 3 스크라이브 라인을 따라 첩합 기판을 브레이크하는 브레이크 장치로서,
상기 첩합 기판을 반송하는 반송 유닛과,
상기 제 1 스크라이브 라인을 따라 상기 제 1 기판을 브레이크하는 제 1 브레이크 유닛과,
상기 제 2 스크라이브 라인을 따라 상기 제 1 기판을 브레이크하는 제 2 브레이크 유닛과,
상기 제 3 스크라이브 라인을 따라 상기 제 2 기판을 브레이크하는 제 3 브레이크 유닛을 구비하고,
상기 제 1 브레이크 유닛, 제 2 브레이크 유닛, 및 제 3 브레이크 유닛은, 상기 첩합 기판의 반송로를 따라 배치되어 있는 브레이크 장치.A first scribing line formed on the first substrate side of the bonded substrate stacked with the first substrate and the second substrate, and a second scribing line formed on the second scribing line on the second substrate side, As an apparatus,
A transporting unit for transporting the bonded substrate;
A first brake unit for breaking the first substrate along the first scribe line,
A second brake unit for breaking the first substrate along the second scribe line,
And a third brake unit for breaking the second substrate along the third scribe line,
Wherein the first brake unit, the second brake unit, and the third brake unit are disposed along a conveying path of the bonded substrate stack. 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 기판은 단자 영역을 갖고 있고,
상기 제 1 스크라이브 라인과 상기 제 2 스크라이브 라인 사이에 있어서의 상기 제 1 기판의 영역은 상기 단자 영역과 대향하고 있고,
상기 제 3 스크라이브 라인은, 상기 제 1 스크라이브 라인 또는 상기 제 2 스크라이브 라인과 대응하는 위치에 형성되어 있는 브레이크 장치.The method according to claim 1,
The second substrate has a terminal region,
The region of the first substrate between the first scribing line and the second scribing line is opposed to the terminal region,
And the third scribe line is formed at a position corresponding to the first scribe line or the second scribe line. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 브레이크 유닛, 상기 제 2 브레이크 유닛, 및 상기 제 3 브레이크 유닛은, 서로 동기하여 브레이크 동작을 실행하는 브레이크 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first brake unit, the second brake unit, and the third brake unit execute a brake operation in synchronization with each other. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 반송 유닛은, 상기 제 1 기판이 하방을 향하도록 상기 첩합 기판을 반송하는 브레이크 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
And the transport unit transports the bonded substrate stack so that the first substrate faces downward. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 브레이크 유닛은, 상기 제 1 브레이크 유닛보다 상기 반송로의 하류에 배치되어 있고,
상기 제 2 브레이크 유닛은, 상기 첩합 기판을 브레이크할 때에 상기 첩합 기판을 상기 제 2 기판측으로부터 가압하는 브레이크 바와, 상기 첩합 기판을 브레이크할 때에 상기 첩합 기판을 상기 제 1 기판측으로부터 지지하는 1 쌍의 지지부를 포함하는 백업 바를 갖고,
일방의 상기 지지부는, 상기 제 1 스크라이브 라인과 제 2 스크라이브 라인 사이에 있어서 상기 첩합 기판을 지지하는 브레이크 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The second brake unit is disposed downstream of the first brake unit with respect to the conveying path,
The second brake unit includes a brake bar for pressing the bonding substrate from the second substrate side when breaking the bonding substrate, and a pair of brackets for supporting the bonding substrate from the first substrate side when breaking the bonding substrate And a backup bar including a support portion of the backup bar,
And the one supporting part supports the bonding substrate between the first scribing line and the second scribing line.
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