KR20150010495A - 실링 검사 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

실링 검사 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치는, 상판과 하판이 실링 부재로 접합된 표시 장치용 기판에서 실링 영역의 상태를 검사하는 실링 검사 장치로서, 기판의 실링 영역에 대한 좌표값을 설정하면서 실링 영역 중 불량 지점을 검출하는 복수 개의 스캔 카메라를 포함하는 스캔부; 및 스캔부를 통과한 기판의 실링 영역에 대한 이미지를 촬영하는 촬영부를 포함하되, 촬영부는, 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정할 수 있는 측정 카메라를 포함한다.

Description

실링 검사 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING SEALING}
본 발명은 실링 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상판과 하판이 실링 부재로 접합된 기판에서 실링 영역의 상태를 검사하는 실링 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점차 증가하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display : LCD), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel : PDP), 유기 발광 표시 장치(OLED) 등 여러 종류의 표시 장치가 연구되어 왔고, 이들은 여러 장비에서 표시 장치로 활발히 활용되고 있다.
상기와 같은 여러 종류의 표시 장치 중에서 유기 발광 표시 장치(OLED)는, 한 쌍의 전극, 즉 제1 전극과 제2 전극 사이에 발광층을 포함한 적어도 하나 이상의 유기층이 개재된 구조를 가진다.
이와 같은 유기 발광 표시 장치는 주변 환경으로부터 수분이나 산소가 소자 내부로 유입될 경우, 전극 물질의 산화, 박리 등으로 소자 수명이 단축되고, 발광 효율이 저하될 뿐만 아니라 발광색의 변질 등과 같은 문제점들이 발생한다.
따라서, 유기 발광 표시 장치의 제조에 있어서, 소자를 외부로부터 격리하여 수분이 침투하지 못하도록 밀봉 처리가 통상적으로 수행되고 있다.
이를 위하여 일반적인 유기 발광 표시 장치(OLED)는, 유기층을 포함하는 표시 기판, 밀봉(encapsulation)을 위해 표시 기판과 대향되도록 배치되며 실링 부재(sealant)에 의해 기판에 합착되는 밀봉 기판을 포함한다.
이 때, 실링 부재는 표시 장치의 실링 영역에 도포된 후, 레이저 조사를 통하여 경화되는데, 경화되는 과정이나 합착된 기판이 장비를 통하여 이송되는 과정에서 실링(sealing) 상태에 이상이나 불량이 발생할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정할 수 있는 실링 검사 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정할 수 있는 실링 검사 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 상판과 하판이 실링 부재로 접합된 표시 장치용 기판에서 실링 영역의 상태를 검사하는 실링 검사 장치로서, 상기 기판의 실링 영역에 대한 좌표값을 설정하면서 상기 실링 영역 중 불량 지점을 검출하는 복수 개의 스캔 카메라를 포함하는 스캔부; 및 상기 스캔부를 통과한 상기 기판의 실링 영역에 대한 이미지를 촬영하는 촬영부를 포함하되, 상기 촬영부는, 상기 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정할 수 있는 측정 카메라를 포함하는, 실링 검사 장치를 제공한다.
이 때, 상기 측정 카메라는 암시야 조명을 포함할 수 있다.
이 때, 상기 암시야 조명은 상기 측정 카메라에 탈착이 가능하도록 형성될 수 있다.
이 때, 상기 측정 카메라는 탈착이 가능한 현미경 렌즈를 포함하고, 상기 암시야 조명은 상기 현미경 렌즈에 설치될 수 있다.
이 때, 상기 암시야 조명은, 복수 개의 LED 전구가 링 형태로 형성되며, 상기 현미경 렌즈의 테두리 부에 설치될 수 있다.
이 때, 상기 복수 개의 LED 전구는 상기 현미경 렌즈가 향하는 방향에 대하여 경사지게 빛을 조명할 수 있다.
한편, 상기 기판이 안착되는 스테이지를 더 포함하며, 상기 스테이지는 상기 기판을 상기 스캔부에서 상기 촬영부 방향으로 이동시킬 수 있도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 촬영부는, 상기 측정 카메라를 이용하여 상기 스캔부에서 검출된 상기 불량 지점의 이미지를 촬영할 수 있다.
한편, 상기 측정 카메라는 적어도 1축 방향으로 이동이 가능할 수 있다.
또한, 상기 기판은 유기 발광 소자가 포함될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상판과 하판이 실링 부재로 접합된 표시 장치용 기판에서 실링 영역의 상태를 검사하는 방법으로서, 상기 실링 영역의 불량 지점을 검출하는 제 1 단계; 상기 불량 지점의 이미지를 촬영하는 제 2 단계; 및 상기 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정하는 제 3 단계를 포함하는, 실링 검사 방법을 제공한다.
이 때, 상기 제 1 단계는, 상기 실링 영역의 좌표값을 설정하는 단계; 및 복수 개의 스캔 카메라를 이용하여 상기 실링 영역 중 불량 지점의 좌표값을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
이 때, 상기 제 2 단계는, 상기 검출된 불량 지점의 좌표값을 이용하여 측정 카메라를 상기 불량 지점에 위치시키는 단계; 및 상기 불량 지점의 좌표값에 위치된 측정 카메라를 이용하여 상기 불량 지점의 이미지를 촬영하는 단계를 포함할 수 있다.
한편, 상기 제 3 단계는, 암시야 조명이 구비된 측정 카메라를 이용하여 상기 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정할 수 있다.
이 때, 상기 측정 카메라는 탈착이 가능한 현미경 렌즈를 포함하고, 상기 암시야 조명은 상기 현미경 렌즈에 설치될 수 있다.
이 때, 상기 암시야 조명은, 복수 개의 LED 전구가 링 형태로 형성되어 상기 현미경 렌즈의 테두리 부에 설치될 수 있다.
이 때, 상기 복수 개의 LED 전구는 상기 현미경 렌즈가 향하는 방향에 대하여 경사지게 빛을 조명할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 좌표값이 설정된 실링 영역의 이미지를 촬영함으로써, 실링 영역을 효율적으로 검사할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 암시야 조명이 구비된 카메라를 이용함으로써, 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정할 수 있다.
도 1은 기판의 평면도이다.
도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ'의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치에서 현미경 렌즈를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치에서 현미경 렌즈의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치에 의해 측정된 실링 영역의 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 방법을 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체에서 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 같은 도면 부호를 붙이도록 한다. 도면에 표시된 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타낸 것이므로, 본 발명은 도시된 예로 한정되지 않는다.
명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분의 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
도 1은 기판의 평면도이다. 도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ'의 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치를 설명하기 전에, 실링 검사 장치의 피검사물인 기판(10)에 대하여 먼저 간단히 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치는, 기판(10)의 실링 영역(S)을 검사하는 장치로서, 실링 영역(S)의 이상 유무를 검출하여 기판(10)의 불량 여부를 선별하기 위한 것이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판(10)은 상판(12)과 하판(14)이 실링 부재(16)를 통하여 접합된 구조로 형성되며, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 표시 장치용 기판일 수 있다.
예를 들어, 기판(10)은 유기 발광 소자(OLED, Organic Light Emitting Diode)를 포함하는 유기 발광 표시 장치용 기판일 수 있다.
이 때, 하판(14)은 유기 발광 소자를 포함한 발광층(15)이 포함된 표시 기판이며, 상판(12)은 표시 기판을 밀봉하기 위한 밀봉 기판일 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치에 사용되는 피검사물인 기판(10)은, 표시 기판이 합착 기판에 의해 밀봉된 구조로 이루어진, 합착 기판일 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 1 에 도시된 바와 같이, 기판(10)은 다수 개의 셀(cell)로 구성될 수 있으며, 도 2를 참조하면, 다수 개의 셀은 각각 발광층(15)을 포함하며, 각각 실링 부재(16)에 의해 밀봉될 수 있다.
이 때, 실링 부재(16)는 프릿(frit)을 포함할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
일반적으로, 각각의 셀을 기준으로, 테두리에 실링 부재(16)가 도포되며, 실링 부재(16)가 도포된 영역에 레이저 등을 조사하여 실링 부재(16)를 경화시킨다.
전술한 실링 부재(16)의 경화 과정에서, 실링 부재(16)의 단면은 균일한 폭으로 형성되지 않을 수 있으며, 상부의 폭과 하부의 폭이 일정하지 않게 형성될 수 있다.
예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 실링 부재(16)의 단면에서 하부의 폭이 상부의 폭보다 작은 형태, 즉 사다리꼴의 형태로 경화될 수 있다.
이러한 경우, 실링 부재(16)를 도포한 전체 폭에 비하여, 실질적으로 밀봉 기능을 수행하는 유효 폭은 그보다 작을 수 있다.
이에 따라, 도포된 실링 부재(16)에서 실질적으로 유효한 폭을 측정함으로써, 실링 상태의 불량 여부를 검출할 수 있게 된다.
한편, 본 명세서에서는 도 2를 기준으로, 실링 부재(16)의 폭이 작은 부분, 즉, 하부의 폭을 유효 실링 폭(ES)라 정의하고, 실링 부재(16)의 폭이 큰 부분, 즉, 상부의 폭을 전체 실링 폭(TS)이라 정의한다.
또한, 본 명세서에서는, 기판(10)에서 밀봉 부재(16)가 도포된 영역을 실링 영역(S)이라고 정의한다.
이하, 도면을 참조하여, 전술한 기판(10)의 실링 영역(S)을 검사하기 위한 실링 검사 장치에 대하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치의 정면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치의 평면도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치에서 현미경 렌즈를 도시한 도면이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치에서 현미경 렌즈의 단면도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치에 의해 측정된 실링 영역의 상태를 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치(100)는 전술한 표시 장치용 기판(10)에서 실링 영역(S)의 상태를 검사하는 장치로서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 프레임(110), 컬럼(180), 스테이지(160), 스캔부(120) 및 촬영부(140)를 포함할 수 있다.
프레임(110)과 컬럼(180)은 실링 검사 장치(100)의 몸체를 구성하는 부분으로서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 컬럼(180)은 장치의 형태를 구성하는 프레임(110)을 가로지르도록 설치되며, 후술할 스캔 카메라 및 측정 카메라가 설치될 수 있다.
스테이지(160)는 피검사물인 기판(10)이 탑재되는 구성으로, 편평한 형태로 형성될 수 있다.
또한, 스테이지(160)에는 기판(10)을 고정할 수 있는 수단, 예를 들어, 흡착 장치나 클램핑 장치가 구비될 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 스테이지(160)는 적어도 일축 방향으로 이동 가능하게 형성될 수 있다.
예를 들어, 스테이지(160)는, 도 3 및 도 4를 참조하면, x축 방향으로 이동이 가능하게 형성될 수 있다.
이에 따라, 스테이지(160)는 스테이지(160) 상에 탑재된 기판(10)을 x축 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 스테이지(160)는 검사를 수행할 기판(10)을 후술할 스캔부(120)에서 촬영부(140)로 이동시키면서, 실링 검사 과정이 효율적으로 진행되도록 도울 수 있는데, 이에 대해서는 해당 부분에서 상세히 설명한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치(100)는, 컬럼(180)을 경계로 일측은 스캔부(120), 타측은 촬영부(140)로 구성될 수 있는데, 이하, 스캔부(120) 및 촬영부(140)를 상세히 설명한다.
스캔부(120)는 기판(10)의 실링 영역(S) 중 불량 지점을 검출하는 부분으로서, 실링 검사 장치(100)의 일측에 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 스캔부(120)는 복수 개의 스캔 카메라(122)를 포함할 수 있다.
이 때, 복수 개의 스캔 카메라(122)는 컬럼(180)에 설치될 수 있으며, 일렬로 나란하게 배치될 수 있다.
그러나, 복수 개의 스캔 카메라(122)의 설치 및 배치는 이에 한정되지 않으며, 다양한 위치에 다양한 방식으로 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 스캔부(120)에서는 전술한 복수 개의 스캔 카메라(122)를 이용하여, 스캔부(120)를 통과하는 기판(10)의 실링 영역(S)에 대하여 좌표값을 설정할 수 있다.
보다 상세히, 기판(10)은 스테이지(160) 상에 탑재되어, 스테이지(160)를 따라 일축 방향, 예를 들어, 도 3 및 도 4를 참조하면, x축 방향으로 이동할 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판(10)은 스캔부(120)에서 후술할 촬영부(140) 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 기판(10)은 스캔부(120)의 일측에 설치된 복수 개의 스캔 카메라(122)를 통과할 수 있다.
이 때, 복수 개의 스캔 카메라(122)는 통과하는 기판(10)의 실링 영역(S)을 촬영할 수 있도록, 실링 영역(S)의 위치에 대응되는 위치에 배치될 수 있다.
이에 따라, 복수 개의 스캔 카메라(122)는 기판(10)의 실링 영역(S)을 촬영할 수 있으므로, 스캔부(120)에서는 촬영된 실링 영역(S)의 좌표값을 결정할 수 있다.
이 때, 스캔부(120)에 구비된 별도의 제어부(미도시)에서, 스캔 카메라(122)에 의해 촬영된 실링 영역(S)의 좌표값을 산출할 수 있다.
또한, 기판(10)이 탑재된 스테이지(160)를 이동 가능하게 구성함으로써, 복수 개의 스캔 카메라(122)를 위치 고정하더라도 기판(10)의 실링 영역(S)을 효과적으로 촬영할 수 있다.
다만, 본 발명은 복수 개의 스캔 카메라(122)가 위치 고정된 것에 한정되는 것은 아니며, 복수 개의 스캔 카메라(122)는 여러 방향으로 이동 가능하게 구성될 수도 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 스캔부(120)에서는 기판(10)의 실링 영역(S) 중 불량 지점을 검출할 수 있다.
전술하였듯이, 스캔부(120)에 포함된 복수 개의 스캔 카메라(122)는 스캔부(120)를 통과하는 기판(10)의 실링 영역(S)을 촬영할 수 있는데, 촬영된 실링 영역(S) 중 불량 지점을 검출할 수 있다.
이 때, 스캔부(120)에서는 스캔부(120)를 통과하는 기판(10)의 실링 영역(S)에 대한 좌표값을 설정하며, 복수 개의 스캔 카메라(122)에 의해 촬영된 실링 영역(S) 중 불량 지점의 좌표값을 검출할 수 있다.
이 때, 전술한 불량 지점의 좌표값 산출 과정은 스캔부(120)에 구비된 별도의 제어부(미도시)에서 수행될 수 있다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판(10)이 스캔부(120)를 통과함에 따라, 스캔부(120)에서는 기판(10) 중 실링 영역(S)의 좌표값을 설정하면서, 실링 영역(S) 중 불량 지점의 좌표값을 검출할 수 있다.
전술한 바와 같이, 스캔부(120)를 통과한 기판(10)은 후술할 촬영부(140)로 이동될 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치(100)에서 촬영부(140)는 스캔부(120)와 연속적으로 배치될 수 있으며, 기판(10)이 탑재된 스테이지(160)는 스캔부(120)에서 촬영부(140)까지 연속적으로 이동될 수 있다.
촬영부(140)는 스캔부(120)를 통과한 기판(10)의 실링 영역(S)에 대한 이미지를 촬영하는 부분으로서, 실링 검사 장치(100)의 타측에 구성될 수 있다.
이 때, 실링 검사 장치(100)에서 컬럼(180)을 경계로 일측은 스캔부(120), 타측은 촬영부(140)로 구분될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 촬영부(140)는 측정 카메라(150)를 포함할 수 있다.
측정 카메라(150)는 기판(10)의 실링 영역(S) 중 특정 지점의 상세 이미지를 촬영하기 위한 구성으로, 현미경 렌즈(152)를 포함할 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 현미경 렌즈(152)는 측정 카메라(150)에 탈착이 가능하게 구성될 수 있다.
보다 상세히, 현미경 렌즈(152)는 배율이 상이한 복수 개의 렌즈로 구성될 수 있으며, 필요에 따라 촬영에 적당한 렌즈로 교체되어 사용될 수 있다.
한편, 측정 카메라(150)는 실링 검사 장치(100)의 컬럼(180)에 설치될 수 있으며, 적어도 일축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 측정 카메라(150)는 기판(10)을 탑재한 스테이지(160)의 이동 방향에 수직인 방향, 즉, 도 4를 참조하면, y축 방향으로 이동될 수 있다.
그러나, 측정 카메라(150)의 이동 방향이 y축 방향으로 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 여러 축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수도 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 촬영부(140)에서는 측정 카메라(150)를 이용하여, 기판(10)의 실링 영역(S) 중 불량 지점의 이미지를 촬영할 수 있다.
이 때, 전술하였듯이, 스캔부(120)에서 실링 영역(S) 중 불량 지점의 좌표값을 검출할 수 있는데, 스캔부(120)에서 검출된 불량 지점의 좌표값은 촬영부(140)의 측정 카메라(150)로 전달될 수 있다.
이에 따라, 측정 카메라(150)는 전달된 불량 지점의 좌표값을 이용하여 불량 지점에 위치될 수 있다.
이 때, 측정 카메라(150)가 이동할 수 있으며, 또한, 스테이지(160)의 이동에 의해서 기판(10)이 이동될 수도 있다.
예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 4를 기준으로, x축 방향으로는 기판(10)이 이동되고, y축 방향으로는 측정 카메라(150)가 이동될 수 있어서, 불량 지점에 측정 카메라(150)가 효율적으로 위치될 수 있다.
즉, 일축 방향으로 이동이 가능한 측정 카메라(150)만으로도, 특정 지점에 측정 카메라(150)를 위치시킬 수 있다.
이에 따라, 측정 카메라(150)를 이용하여, 기판(10)의 실링 영역(S) 중 불량 지점의 상세 이미지를 촬영할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 촬영부(140)에서는 측정 카메라(150)를 이용하여 실링 영역(S)의 유효 실링 폭(ES, 도 2 참조)을 측정할 수 있다.
이에 따라, 실링 영역(S)의 실링 상태의 이상 유무를 예측할 수 있으며, 실링의 불량 여부를 검출할 수 있다.
이 때, 측정 카메라(150)를 이용하여 모든 실링 영역(S)의 유효 실링 폭(ES)을 측정할 수 있으나, 검사의 효율을 위하여, 기판(10)을 구성하는 다수 개의 셀의 실링 영역(S) 중 특정 위치에 해당하는 지점들의 유효 실링 폭(ES) 만을 샘플로서 측정하는 방식으로, 실링 상태의 이상 유무를 검사할 수도 있다.
뿐만 아니라, 스캔부(120)에서 검출된 실링 영역(S) 중 불량 지점의 유효 실링 폭(ES)을 측정함으로써, 불량 지점의 실링 상태를 보다 정밀하게 검사할 수도 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 실링 영역(S)의 유효 실링 폭을 측정하기 위해서 측정 카메라(150)는 암시야(dark field) 조명을 포함할 수 있다.
이 때, 암시야 조명은 렌즈의 분해능의 한계보다도 작은 입자나, 투명한 표본에 내포된 물체 등을 효과적으로 관찰하기 위한 조명 방법이다.
보다 상세히, 물체에 대하여 수직으로 조명하여 물체에 직접 반사된 빛을 관찰하는 일반적인 조명 방법인, 명시야(light field) 조명과는 달리, 암시야 조명은 물체에 대하여 비스듬히 조명하여, 물체에서 산란된 빛만으로 관찰하는 방법이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치(100)는 암시야 조명을 구비한 측정 카메라(150)를 이용하여, 도 2를 참조하면, 실링 영역(S)의 전체 실링 폭(TS) 뿐만 아니라 유효 실링 폭(ES)까지 촬영할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치(100), 즉 암시야 조명을 구비한 측정 카메라(150)에 의해 촬영된 실링 영역(S)의 상태를 도시한 도면인데, 도 7을 참조하면, 암시야 조명을 구비한 측정 카메라(150)를 이용하여 실링 영역(S)을 촬영하는 경우, 실링 영역(S)의 전체 실링 폭(TS)과 유효 실링 폭(ES)이 모두 나타나기 때문에, 실링 상태를 보다 상세히 검사할 수 있다.
이 때, 효과적인 실링 효과를 발휘할 수 있는 전체 실링 폭(TS)에 대한 유효 실링 폭(ES)의 비율, 즉 기준값을 실험적으로 설정함으로써, 유효 실링 폭(ES)을 측정하여 실링 상태의 불량 여부를 판단할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 암시야 조명은 측정 카메라(150)에 탈착이 가능하도록 형성될 수 있다.
이 때, 전술하였듯이 측정 카메라(150)는, 복수 개의 렌즈로 구성되어 탈착이 가능한 현미경 렌즈(152)를 포함할 수 있는데, 암시야 렌즈는 현미경 렌즈(152), 또는 현미경 렌즈(152)를 구성하는 복수 개의 렌즈 중 적어도 하나에 설치될 수 있다.
이에 따라, 측정 카메라(150)를 통하여 실링 영역(S)을 촬영할 때 유효 실링 폭(ES) 측정을 위하여 암시야 조명이 필요한 경우, 암시야 렌즈가 설치된 현미경 렌즈(152)를 측정 카메라에 부착할 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 암시야 조명은 현미경 렌즈(152)의 테두리 부에 링 형태로 설치될 수 있다.
이 때, 암시야 조명은 현미경 렌즈(152)가 향하는 방향에 대하여 경사지게 설치됨으로써, 기판(10)에 경사지게 빛을 조명하도록 형성될 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 5에 도시된 바와 같이, 암시야 조명은 복수 개의 LED 전구(154)가 링 형태로 형성될 수 있으며, 복수 개의 LED 전구(154)는 도 6에 도시된 바와 같이 현미경 렌즈(152)가 향하는 방향에 대하여 경사지게 빛을 조명할 수 있다.
이에 따라, LED 전구(154)에 의한 빛은 기판(10)에 대하여 경사지게 빛을 조명하게 되며, 암시야 조명의 효과를 낼 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 장치(100)는 스캔부(120)와 촬영부(140)를 함께 구성함으로써, 보다 효율적으로 실링 영역(S)의 검사를 수행할 수 있으며, 촬영부(140)는 실링 영역(S) 중 불량 지점의 이미지를 촬영할 수 있을 뿐만 아니라, 실링 영역(S)의 유효 실링 폭(ES)을 측정할 수 있음으로써, 보다 효과적으로 기판(10)의 실링 상태에 대한 이상 여부를 검사할 수 있다.
이하, 전술한 실링 검사 장치(100)를 이용한 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 방법에 대해 설명한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 방법을 도시한 도면이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 방법은 크게 3단계를 포함할 수 있는데, 실링 영역(S)의 불량 지점을 검출하는 제 1 단계, 불량 지점의 이미지를 촬영하는 제 2 단계 및 실링 영역(S)의 유효 실링 폭(ES)을 측정하는 제 3 단계를 포함할 수 있다.
제 1 단계는 실링 검사 장치(100)의 스캔부(120)에서 진행될 수 있으며, 실링 영역(S)의 좌표값을 설정하는 단계; 및 실링 영역(S) 중 불량 지점의 좌표값을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 실링 영역(S) 좌표값 설정 및 불량 지점 검출 과정은 전술한 복수 개의 스캔 카메라(122)를 이용하여 수행될 수 있다.
이어서, 제 2 단계 및 제 3 단계는 실링 검사 장치(100)의 촬영부(140)에서 진행될 수 있으며, 측정 카메라(150)를 이용하여 수행될 수 있다.
이 때, 제 2 단계는, 제 1 단계에서 검출된 불량 지점의 좌표값을 이용하여 측정 카메라(150)를 불량 지점에 위치시키는 단계; 및 불량 지점의 좌표값에 위치된 측정 카메라(150)를 이용하여 불량 지점의 이미지를 촬영하는 단계를 포함할 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 측정 카메라(150)는 적어도 일축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
이 때, 측정 카메라(150)는 기판(10)이 탑재된 스테이지(160)가 이동하는 방향에 수직된 방향으로 이동 가능하게 구성됨으로써, 측정 카메라(150)를 불량 지점에 효과적으로 위치시켜서 촬영할 수 있다.
한편, 제 3 단계는 실링 영역(S)의 유효 실링 폭(ES)을 측정하는 단계로서, 제 1 단계에서 검출된 불량 지점뿐 만 아니라, 필요에 따라, 실링 영역(S)의 특정 지점 또는 실링 영역(S)의 전체에 대한 유효 실링 폭(ES)을 측정할 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 암시야 조명이 구비된 측정 카메라(150)를 이용하여 실링 영역(S)의 유효 실링 폭(ES)을 촬영할 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 암시야 조명은 측정 카메라(150)에 탈착이 가능한 현미경 렌즈(152)에 설치됨으로써, 제 2 단계에서 사용되는 측정 카메라(150)를 그대로 제 3 단계에 사용할 수 있다.
이에 따라, 제 2 단계 및 제 3 단계가 모두 실링 검사 장치(100)의 촬영부(140)에서, 순차적으로 또는 동시에 수행될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 스캔부(120)를 통하여 기판(10) 실링 영역(S) 및 실링 영역(S) 중 불량 지점의 좌표값을 측정할 수 있으며, 이에 따라 촬영부(140)에서 실링 영역(S) 중 불량 지점의 이미지를 효율적으로 촬영할 수 있다.
또한, 촬영부(140)에서는 암시야 조명을 이용하여 실링 영역(S)의 유효 실링 폭(ES)을 측정할 수 있으므로, 기판(10)의 실링 영역(S)의 실링 상태에 대하여 보다 효과적인 검사가 가능하다.
결과적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 검사 방법을 통하여 기판(10)에 대한 실링 상태의 불량 여부를 효과적으로 검출할 수 있으며, 기판(10)의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
10 기판 12 상판
14 하판 15 발광 소자
16 실링 부재 100 실링 검사 장치
110 프레임 120 스캔부
122 스캔 카메라 140 촬영부
150 측정 카메라 152 현미경 렌즈
154 LED 전구 160 스테이지
180 컬럼 S 실링 영역
TS 전체 실링 폭 ES 유효 실링 폭

Claims (17)

  1. 상판과 하판이 실링 부재로 접합된 표시 장치용 기판에서 실링 영역의 상태를 검사하는 실링 검사 장치로서,
    상기 기판의 실링 영역에 대한 좌표값을 설정하면서 상기 실링 영역 중 불량 지점을 검출하는 복수 개의 스캔 카메라를 포함하는 스캔부; 및
    상기 스캔부를 통과한 상기 기판의 실링 영역에 대한 이미지를 촬영하는 촬영부를 포함하되,
    상기 촬영부는, 상기 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정할 수 있는 측정 카메라를 포함하는, 실링 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 카메라는 암시야 조명을 포함하는, 실링 검사 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 암시야 조명은 상기 측정 카메라에 탈착이 가능하도록 형성되는, 실링 검사 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 측정 카메라는 탈착이 가능한 현미경 렌즈를 포함하고,
    상기 암시야 조명은 상기 현미경 렌즈에 설치되는, 실링 검사 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 암시야 조명은,
    복수 개의 LED 전구가 링 형태로 형성되며, 상기 현미경 렌즈의 테두리 부에 설치되는, 실링 검사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 복수 개의 LED 전구는 상기 현미경 렌즈가 향하는 방향에 대하여 경사지게 빛을 조명하는, 실링 검사 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판이 안착되는 스테이지를 더 포함하며,
    상기 스테이지는 상기 기판을 상기 스캔부에서 상기 촬영부 방향으로 이동시킬 수 있도록 형성되는, 실링 검사 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 촬영부는, 상기 측정 카메라를 이용하여 상기 스캔부에서 검출된 상기 불량 지점의 이미지를 촬영하는, 실링 검사 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 카메라는 적어도 1축 방향으로 이동이 가능한, 실링 검사 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 유기 발광 소자가 포함된, 실링 검사 장치.
  11. 상판과 하판이 실링 부재로 접합된 표시 장치용 기판에서 실링 영역의 상태를 검사하는 방법으로서,
    상기 실링 영역의 불량 지점을 검출하는 제 1 단계;
    상기 불량 지점의 이미지를 촬영하는 제 2 단계; 및
    상기 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정하는 제 3 단계를 포함하는, 실링 검사 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 단계는,
    상기 실링 영역의 좌표값을 설정하는 단계; 및
    복수 개의 스캔 카메라를 이용하여 상기 실링 영역 중 불량 지점의 좌표값을 검출하는 단계를 포함하는, 실링 검사 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 2 단계는,
    상기 검출된 불량 지점의 좌표값을 이용하여 측정 카메라를 상기 불량 지점에 위치시키는 단계; 및
    상기 불량 지점의 좌표값에 위치된 측정 카메라를 이용하여 상기 불량 지점의 이미지를 촬영하는 단계를 포함하는, 실링 검사 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 3 단계는,
    암시야 조명이 구비된 측정 카메라를 이용하여 상기 실링 영역의 유효 실링 폭을 측정하는, 실링 검사 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 측정 카메라는 탈착이 가능한 현미경 렌즈를 포함하고,
    상기 암시야 조명은 상기 현미경 렌즈에 설치되는, 실링 검사 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 암시야 조명은,
    복수 개의 LED 전구가 링 형태로 형성되어 상기 현미경 렌즈의 테두리 부에 설치되는, 실링 검사 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 복수 개의 LED 전구는 상기 현미경 렌즈가 향하는 방향에 대하여 경사지게 빛을 조명하는, 실링 검사 방법.
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