CN220154303U - 检查系统 - Google Patents

Abstract

提供了检查系统。该检查系统包括：将入射光照射到检查对象的单个光源部件；反射光穿过的主透镜，反射光从检查对象反射并且包括第一偏振分量和第二偏振分量；将穿过主透镜的反射光分裂成第一分裂光和第二分裂光的光束分裂器；包括第一滤波区域的第一偏振器；包括第二滤波区域的第二偏振器；以及生成用于第一偏振分量的第一捕获图像和用于第二偏振分量的第二捕获图像的图像传感器。

Description

检查系统

技术领域

本实用新型的实施方式涉及检查系统和使用该检查系统的检查方法。

背景技术

显示装置可以包括多个层。在显示装置的制造工艺中，可能在多个层中发生缺陷。因此，已经开发了用于检查显示装置是否有缺陷的各种检查系统。

实用新型内容

实施方式提供了具有提高的检查效率和准确性的检查系统。

实施方式提供了使用该检查系统的检查方法。

根据实施方式的检查系统包括：将入射光照射到检查对象的单个光源部件；反射光穿过的主透镜，反射光从检查对象反射并且包括第一偏振分量和第二偏振分量；将穿过主透镜的反射光分裂成第一分裂光和第二分裂光的光束分裂器(beam splitter)；包括第一滤波区域的第一偏振器；包括第二滤波区域的第二偏振器；以及生成用于第一偏振分量的第一捕获图像和用于第二偏振分量的第二捕获图像的图像传感器。

在实施方式中，第一偏振分量可以通过从检查对象的外表面反射入射光而获得，并且第二偏振分量可以通过从检查对象的内边界表面反射入射光而获得；并且第一滤波区域选择性地使第一偏振分量穿过第一滤波区域并且第二滤波区域选择性地使第二偏振分量穿过第二滤波区域。

在实施方式中，第一偏振分量的第一偏振方向和第二偏振分量的第二偏振方向可以彼此不同。

在实施方式中，第一偏振方向和第二偏振方向可以彼此正交。

在实施方式中，入射光相对于外表面或内边界表面的法线方向的入射角可以是大约布儒斯特(Brewster)角。

在实施方式中，入射光可以是非偏振的。

在实施方式中，光源部件可以包括产生入射光的照明装置和使入射光准直的准直透镜。

在实施方式中，从其上布置有检查对象的布置表面延伸的第一虚拟延伸线、从主透镜的出射表面延伸的第二虚拟延伸线和从图像传感器的入射表面延伸的第三虚拟延伸线可以在交点处交汇。

在实施方式中，检查对象可以具有曲率。

在实施方式中，第一分裂光和第二分裂光可以在第一传播方向上传播，并且第一偏振器和第二偏振器可以沿第一传播方向与光束分裂器排列成线。

在实施方式中，第一偏振器还可以包括第一透射区域，第一偏振分量和第二偏振分量两者穿过第一透射区域，并且第二偏振器还可以包括第二透射区域，第一偏振分量和第二偏振分量两者都穿过第二透射区域，并且第一分裂光可以穿过第一滤波区域和第二透射区域，并且第二分裂光可以穿过第一透射区域和第二滤波区域。

在实施方式中，在从第一传播方向的视图中，第一滤波区域的面积可以是第一偏振器的总面积的大约50％或更小，并且在从第一传播方向的视图中，第二滤波区域的面积可以是第二偏振器的总面积的大约50％或更小。

在实施方式中，图像传感器可以沿第一传播方向与第一偏振器和第二偏振器排列成线，并且图像传感器可以同时生成第一捕获图像和第二捕获图像。

在实施方式中，图像传感器还可以生成用于非偏振分量的第三捕获图像。

在实施方式中，主透镜可以是远心透镜。

在实施方式中，第一分裂光可以在第一传播方向上传播，并且第二分裂光可以在与第一传播方向正交的第二传播方向上传播，并且第一偏振器可以沿第一传播方向与光束分裂器排列成线，并且第二偏振器可以沿第二传播方向与光束分裂器排列成线。

在实施方式中，在从第一传播方向的视图中，第一滤波区域的面积可以是第一偏振器的总面积的大约100％，并且在从第二传播方向的视图中，第二滤波区域的面积可以是第二偏振器的总面积的大约100％。

在实施方式中，图像传感器可以包括沿第一传播方向与第一偏振器排列成线的第一图像传感器和沿第二传播方向与第二偏振器排列成线的第二图像传感器，并且第一图像传感器可以生成第一捕获图像，并且第二图像传感器可以生成第二捕获图像。

根据实施方式的检查方法包括：从单个光源部件朝向检查对象照射入射光；使从检查对象反射并且包括第一偏振分量和第二偏振分量的反射光穿过主透镜；将穿过主透镜的反射光分裂成第一分裂光和第二分裂光；分别对第一分裂光和第二分裂光的第一偏振分量和第二偏振分量进行滤波；以及生成用于第一偏振分量的第一捕获图像和用于第二偏振分量的第二捕获图像。

在实施方式中，检查方法在生成第一捕获图像和第二捕获图像之后还可以包括：从第一捕获图像检查检查对象的外表面上的缺陷；以及从第二捕获图像检查检查对象的内边界表面的缺陷。

因此，根据实施方式的检查系统可以包括单个光源部件、主透镜、光束分裂器、第一偏振器、第二偏振器和图像传感器。因此，检查系统可以通过一次捕获同时生成用于多个偏振分量的多个捕获图像。因此，可以有效提高检查的效率和准确性。

另外，检查系统可以通过将单个入射光照射到检查对象来获得从检查对象反射的单个反射光。此外，检查系统可以将反射光分裂成多个分裂光，并且对包含在多个分裂光中的多个偏振分量进行滤波。因此，即使当检查对象具有曲率时，也能够无错误地同时生成用于多个偏振分量的多个捕获图像。因此，可以有效提高检查的准确性。

将理解，前述概括描述和下面的具体描述两者是示例性和说明性的，并且旨在提供所要求保护的实用新型的进一步说明。

附图说明

通过下面结合附图进行的详细描述，将更加清楚地理解说明性的、非限制性的实施方式。

图1是图示根据实施方式的检查系统的配置图。

图2是图1的区域“A”的放大视图。

图3是图示从第一传播方向观察的图1的第一偏振器的实施方式的图。

图4是图示从第一传播方向观察的图1的第二偏振器的实施方式的图。

图5是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图3的第一偏振器和图4的第二偏振器的图。

图6是图示从第一传播方向观察的图1的图像传感器的实施方式的图。

图7是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图3的第一偏振器、图4的第二偏振器和图6的图像传感器的图。

图8是图示从第一传播方向观察的图1的第一偏振器的另一实施方式的图。

图9是图示从第一传播方向观察的图1的第二偏振器的另一实施方式的图。

图10是图示从第一传播方向观察的图1的图像传感器的另一实施方式的图。

图11是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图8的第一偏振器、图9的第二偏振器和图10的图像传感器的图。

图12是图示从第一传播方向观察的图1的第一偏振器的又一实施方式的图。

图13是图示从第一传播方向观察的图1的第二偏振器的又一实施方式的图。

图14是图示从第一传播方向观察的图1的图像传感器的又一实施方式的图。

图15是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图12的第一偏振器、图13的第二偏振器和图14的图像传感器的图。

图16是图示使用图1的检查系统的检查方法的流程图。

图17是图示根据另一实施方式的检查系统的配置图。

图18是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图17的第一偏振器和第一图像传感器的图。

图19是图示从第一传播方向观察时彼此重叠的图17的第二偏振器和第二图像传感器的图。

图20是图示作为图1的检查对象的实施方式的显示装置的截面视图。

具体实施方式

现在将在下文中参考其中示出各种实施方式的附图来更全面地描述本实用新型。然而，本实用新型可以以许多不同形式体现，并且不应被解释为限于本文中阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式以使本公开将是详尽并且全面的，并且将向本领域的技术人员充分传达本实用新型的范围。相同的附图标记始终指代相同的元件。

将理解，尽管术语“第一”、“第二”、“第三”等可以在本文中用来描述各种元件、组件、区、层和/或部分，但这些元件、组件、区、层和/或部分不应被这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件、组件、区、层或部分与另一元件、组件、区、层或部分相区分。因此，在不脱离本文教导的情况下，下面讨论的“第一元件”、“第一组件”、“第一区”、“第一层”或“第一部分”可以被称为第二元件、第二组件、第二区、第二层或第二部分。

本文中使用的术语仅仅是为了描述具体实施方式的目的，而不旨在限制。如本文中使用的，“一”、“一个”、“该”和“至少一个”不表示数量的限制，并且旨在包括单数和复数两者，除非上下文另外清楚地指示。例如，除非上下文另外清楚地指示，否则“元件”具有与“至少一个元件”相同的含义。“至少一个”不被解释为限于“一”或“一个”。“或”意味着“和/或”。如本文中使用的，术语“和/或”包括所关联列出的项目中的一个或多个的任意和全部组合。将进一步理解，术语“包括”和/或“包括有”、或者“包含”和/或“包含有”在本说明书中使用时指定存在所陈述的特征、区、整体、步骤、操作、元件和/或组件，但不排除一个或多个其它特征、区、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组的存在或附加。

考虑所讨论的测量以及与特定量的测量相关联的误差(即，测量系统的限制)，如本文中使用的“大约”或“近似”包括所陈述的值并且意味着在由本领域的普通技术人员所确定的对于特定值的偏差的可接受范围内。例如，“大约”能够意味着在一个或多个标准偏差内，或者在所陈述的值的±30％、20％、10％或5％内。

图1是图示根据实施方式的检查系统的配置图。

参考图1，检查系统1000可以包括单个光源部件100、主透镜200、光束分裂器300、第一偏振器400、第二偏振器500和图像传感器600。检查系统1000可以检查检查对象IO是否有缺陷。

在实施方式中，检查对象IO可以具有曲率。例如，检查对象IO可以是具有曲率的显示装置。然而，本实用新型不必限于此，并且在另一实施方式中，检查对象IO可以具有平坦形状。

在实施方式中，光源部件100可以将入射光1照射到检查对象IO。因此，入射光1可以从检查对象IO被反射以获得反射光2。在实施方式中，光源部件100可以将单个入射光1照射到检查对象IO，在此情况下，单个入射光1从检查对象IO被反射以获得单个反射光2。

在实施方式中，光源部件100可以包括照明装置110和准直透镜120。照明装置110可以产生入射光1，并且准直透镜120可以使所产生的入射光1准直。因此，光源部件100可以将准直的入射光1照射到检查对象IO。因此，入射光1可以更平稳地到达检查对象IO的内部。

图2是图1的区域“A”的放大视图。

参考图1和图2，在实施方式中，入射光1可以从检查对象IO的外表面IO-S和检查对象IO的内边界表面IO-IBS被反射。因此，反射光2可以包括第一偏振分量PC1和第二偏振分量PC2。例如，第一偏振分量PC1可以通过从检查对象IO的外表面IO-S反射入射光1而获得，并且第二偏振分量PC2可以通过从检查对象IO的内边界表面IO-IBS反射入射光1而获得。

第一偏振分量PC1可以具有第一偏振方向，并且第二偏振分量PC2可以具有第二偏振方向。在实施方式中，第一偏振分量PC1的第一偏振方向和第二偏振分量PC2的第二偏振方向可以彼此不同。换句话说，第一偏振分量PC1和第二偏振分量PC2可以具有不同的相位。

在实施方式中，入射光1相对于检查对象IO的外表面IO-S的法线方向的入射角可以是布儒斯特角或接近布儒斯特角的角。换句话说，光源部件100可以使入射光1以布儒斯特角或接近布儒斯特角的角入射在检查对象IO上。具体地，光源部件100可以使入射光1以布儒斯特角入射在检查对象IO上。

在实施方式中，入射光1可以是非偏振的。当非偏振的入射光1以布儒斯特角入射在检查对象IO上时，第一偏振分量PC1的第一偏振方向可以是垂直方向，并且第二偏振分量PC2的第二偏振方向可以是水平方向。换句话说，当非偏振的入射光1以布儒斯特角入射在对象IO上时，第一偏振方向和第二偏振方向可以彼此正交。

反射光2可以穿过主透镜200。在实施方式中，反射光2可以在第一传播方向D1上传播的同时穿过主透镜200。

在实施方式中，主透镜200可以是远心透镜。在此情况下，主透镜200可以仅接收与第一传播方向D1平行的光。因此，可以防止或最小化由于视角引起的图像失真。因此，可以进一步提高检查的准确性。

光束分裂器300可以沿第一传播方向D1与主透镜200排列成线。在实施方式中，光束分裂器300可以将反射光2分裂成第一分裂光3-1和第二分裂光3-2。第一分裂光3-1和第二分裂光3-2中的每个可以包括第一偏振分量PC1和第二偏振分量PC2两者。

在实施方式中，第一分裂光3-1和第二分裂光3-2两者可以在第一传播方向D1上传播。换句话说，第一分裂光3-1和第二分裂光3-2可以从光束分裂器300发射并且在第一传播方向D1上彼此平行地传播。

在实施方式中，第一偏振器400和第二偏振器500可以沿第一传播方向D1与光束分裂器300排列成线。换句话说，光束分裂器300、第一偏振器400和第二偏振器500可以沿第一传播方向D1依次排列。因此，第一分裂光3-1和第二分裂光3-2可以在从光束分裂器300发射之后依次穿过第一偏振器400和第二偏振器500。在实施方式中，第一偏振器400和第二偏振器500两者可以是线性偏振器。

图3是图示从第一传播方向观察的图1的第一偏振器的实施方式的图，图4是图示从第一传播方向观察的图1的第二偏振器的实施方式的图，并且图5是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图3的第一偏振器和图4的第二偏振器的图。

参考图1和图3至图5，第一偏振器400可以包括第一滤波区域FA1和第一透射区域TA1，并且第二偏振器500可以包括第二滤波区域FA2和第二透射区域TA2。

在实施方式中，第一滤波区域FA1可以选择性地使第一偏振分量PC1穿过其中，并且第二滤波区域FA2可以选择性地使第二偏振分量PC2穿过其中，并且第一透射区域TA1和第二透射区域TA2中的每个可以使第一偏振分量PC1和第二偏振分量PC2两者穿过其中。

在实施方式中，在从第一传播方向D1的视图中，第一滤波区域FA1的面积可以是第一偏振器400的总面积的大约50％，并且在从第一传播方向D1的视图中，第二滤波区域FA2的面积可以是第二偏振器500的总面积的大约50％。换句话说，在从第一传播方向D1的视图中，第一透射区域TA1的面积可以是第一偏振器400的总面积的大约50％，并且在从第一传播方向D1的视图中，第二透射区域TA2的面积可以是第二偏振器500的总面积的大约50％。

在此情况下，当从第一传播方向D1观察时，第一滤波区域FA1可以与第二滤波区域FA2间隔开，并且可以与第二透射区域TA2的全部重叠。此外，当从第一传播方向D1观察时，第二滤波区域FA2可以与第一滤波区域FA1间隔开，并且可以与第一透射区域TA1的全部重叠。

例如，如图3至图5中所示，当第一偏振器400和第二偏振器500各自具有圆形形状时，第一滤波区域FA1可以占据与第一偏振器400的上半圆形相等的面积，并且第二滤波区域FA2可以占据与第二偏振器500的下半圆形相等的面积。换句话说，第一透射区域TA1可以占据与第一偏振器400的下半圆形相等的面积，并且第二透射区域TA2可以占据与第二偏振器500的上半圆形相等的面积。

在实施方式中，第一分裂光3-1可以穿过第一滤波区域FA1和第二透射区域TA2。因此，第一分裂光3-1可以在穿过第一偏振器400和第二偏振器500之后仅具有第一偏振分量PC1。换句话说，当第一分裂光3-1依次穿过第一偏振器400和第二偏振器500时，第一分裂光3-1的第一偏振分量PC1和第一分裂光3-1的第二偏振分量PC2可以被滤波。

在实施方式中，第二分裂光3-2可以穿过第一透射区域TA1和第二滤波区域FA2。因此，第二分裂光3-2可以在穿过第一偏振器400和第二偏振器500之后仅具有第二偏振分量PC2。换句话说，当第二分裂光3-2依次穿过第一偏振器400和第二偏振器500时，第二分裂光3-2的第一偏振分量PC1和第二分裂光3-2的第二偏振分量PC2可以被滤波。

返回参考图1，图像传感器600可以沿第一传播方向D1与第一偏振器400和第二偏振器500排列成线。在实施方式中，图像传感器600可以是区域相机(area camera)。因此，图像传感器600可以以预设距离间隔连续捕获对象。

图6是图示从第一传播方向观察的图1的图像传感器的实施方式的图，并且图7是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图3的第一偏振器、图4的第二偏振器和图6的图像传感器的图。

参考图1、图6和图7，在实施方式中，图像传感器600可以包括第一捕获区域CA1和第二捕获区域CA2。如图7中所示，当从第一传播方向D1观察时，第一捕获区域CA1可以与第一滤波区域FA1和第二透射区域TA2重叠。此外，当从第一传播方向D1观察时，第二捕获区域CA2可以与第一透射区域TA1和第二滤波区域FA2重叠。

因此，可以在第一捕获区域CA1中生成第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1。此外，可以在第二捕获区域CA2中生成第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2。换句话说，图像传感器600可以同时生成用于第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1和用于第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2。

可以通过分析第一捕获图像CI1和第二捕获图像CI2来检查检查对象IO是否有缺陷。在实施方式中，如图2中所示，第一偏振分量PC1可以通过从检查对象IO的外表面IO-S反射入射光1而获得，第二偏振分量PC2可以通过从检查对象IO的内边界表面IO-IBS反射入射光1而获得。因此，可以从第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1检查检查对象IO的外表面IO-S的缺陷，并且可以从第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2检查检查对象IO的内边界表面IO-IBS的缺陷。例如，检查系统1000可以检查检查对象IO的外表面IO-S和检查对象IO的内边界表面IO-IBS中的每个是否具有挤压、突起、褶皱等。

图8是图示从第一传播方向观察的图1的第一偏振器的另一实施方式的图，图9是图示从第一传播方向观察的图1的第二偏振器的另一实施方式的图，图10是图示从第一传播方向观察的图1的图像传感器的另一实施方式的图，并且图11是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图8的第一偏振器、图9的第二偏振器和图10的图像传感器的图。

参考图8至图11，在实施方式中，当从第一传播方向D1观察时，第一偏振器400的第一滤波区域FA1可以与第二偏振器500的滤波区域FA2部分地重叠。换句话说，根据第一偏振器400和第二偏振器500排列的角，当从第一传播方向D1观察时，第一滤波区域FA1和第二滤波区域FA2可以部分地重叠。

在此情况下，如图10和图11中所示，当从第一传播方向D1观察时，第一捕获区域CA1和第二捕获区域CA2在图像传感器600中的位置可以改变，并且第一捕获区域CA1可以与第二滤波区域FA2间隔开，并且第二捕获区域CA2可以与第一滤波区域FA1间隔开。换句话说，根据第一偏振器400和第二偏振器500排列的角，第一捕获区域CA1和第二捕获区域CA2在图像传感器600中的位置可以改变。例如，随着水平线(参见图11)与第一滤波区域FA1和第一透射区域TA1之间的边界线之间的角增大，第一捕获区域CA1在图像传感器600中的位置可以越高，并且随着水平线(参见图11)与第二滤波区域FA2和第二透射区域TA2之间的边界线之间的角增大，第二捕获区域CA2在图像传感器600中的位置可以越低。

因此，即使当第一偏振器400和第二偏振器500排列的角不同时，也可以在第一捕获区域CA1中生成第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1，并且可以在第二捕获区域CA2中生成第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2。

图12是图示从第一传播方向观察的图1的第一偏振器的又一实施方式的图，图13是图示从第一传播方向观察的图1的第二偏振器的又一实施方式的图，图14是图示从第一传播方向观察的图1的图像传感器的又一实施方式的图，并且图15是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图12的第一偏振器、图13的第二偏振器和图14的图像传感器的图。

参考图12至图15，在实施方式中，在从第一传播方向D1的视图中，第一滤波区域FA1的面积可以小于第一偏振器400的总面积的大约50％，并且在从第一传播方向D1的视图中，第二滤波区域FA2的面积可以小于第二偏振器500的总面积的大约50％。换句话说，在从第一传播方向D1的视图中，第一透射区域TA1的面积可以多于第一偏振器400的总面积的大约50％，并且在从第一传播方向D1的视图中，第二透射区域TA2的面积可以多于第二偏振器500的总面积的大约50％。因此，当从第一传播方向D1观察时，第一透射区域TA1和第二透射区域TA2可以彼此部分地重叠。

在此情况下，如图14中所示，图像传感器600还可以包括第三捕获区域CA3和第四捕获区域CA4。当从第一传播方向D1观察时，第三捕获区域CA3和第四捕获区域CA4中的每个可以与第一透射区域TA1和第二透射区域TA2两者重叠。因此，可以分别在第三捕获区域CA3和第四捕获区域CA4中生成用于非偏振分量的第三捕获图像CI3和第四捕获图像CI4。

换句话说，通过在从第一传播方向D1的视图中将第一滤波区域FA1的面积和第二滤波区域FA2的面积调整为分别小于第一偏振器400的总面积的50％和第二偏振器500的总面积的50％，图像传感器600可以同时生成用于第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1、用于第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2、用于非偏振分量的第三捕获图像CI3和第四捕获图像CI4。

然而，本实用新型不必限于此，并且在另一实施方式中，图像传感器600还可以包括与第一透射区域TA1和第二透射区域TA2两者重叠的仅一个捕获区域，或者还可以包括与第一透射区域TA1和第二透射区域TA2两者重叠的三个或更多个捕获区域。

返回参考图1，在实施方式中，从检查对象IO延伸的第一虚拟延长线EL1、从主透镜200延伸的第二虚拟延长线EL2和从图像传感器600延伸的第三虚拟延长线EL3可以在交点IP处交汇。例如，第一虚拟延长线EL1可以从其上布置有检查对象IO的布置表面DS延伸，第二虚拟延长线EL2可以从主透镜200的出射表面ES延伸，并且第三虚拟延长线EL3可以从图像传感器600的入射表面IS延伸。因此，捕获图像可以被更准确地聚焦。因此，可以进一步提高检查的准确性。

根据实施方式，检查系统1000可以包括单个光源部件100、主透镜200、光束分裂器300、第一偏振器400、第二偏振器500和图像传感器600。因此，检查系统1000可以通过一次捕获同时生成多个偏振分量的多个捕获图像。因此，可以提高检查的效率和准确性。

另外，检查系统1000可以通过将单个入射光1照射到检查对象IO来获得从检查对象IO反射的单个反射光2。此外，检查系统1000可以将反射光2分裂成多个分裂光，例如第一分裂光3-1和第二分裂光3-2，并且对包含在第一分裂光3-1和第二分裂光3-2中的多个偏振分量进行滤波。因此，即使当检查对象IO具有曲率时，检查系统1000也可以无错误地同时生成多个偏振分量的多个捕获图像。因此，可以有效提高检查的准确性。

图16是图示使用图1的检查系统的检查方法的流程图。

在下文中，将参考图1至图6和图16简要描述用于使用检查系统1000来检查检查对象IO的缺陷的检查方法。

首先，从单个光源部件100朝向检查对象IO照射入射光1(S10)。因此，入射光1从检查对象IO反射以获得反射光2。在实施方式中，光源部件100可以使入射光1以布儒斯特角或接近布儒斯特角的角入射在检查对象IO上。

从检查对象IO反射的反射光2穿过主透镜200(S20)。在实施方式中，反射光2可以包括第一偏振分量PC1和第二偏振分量PC2。在实施方式中，主透镜200可以是远心透镜。

穿过主透镜200的反射光2通过光束分裂器300被分裂成第一分裂光3-1和第二分裂光3-2(S30)。在实施方式中，第一分裂光3-1和第二分裂光3-2中的每个可以包括第一偏振分量PC1和第二偏振分量PC2。在实施方式中，第一分裂光3-1和第二分裂光3-2可以从光束分裂器300发射并且在第一传播方向D1上彼此平行地传播。

第一分裂光3-1和第二分裂光3-2中的每个的第一偏振分量PC1和第二偏振分量PC2分别被第一偏振器400和第二偏振器500滤波(S40)。在实施方式中，第一分裂光3-1可以穿过第一偏振器400的第一滤波区域FA1和第二偏振器500的第二透射区域TA2。因此，第一分裂光3-1可以在穿过第一偏振器400和第二偏振器500之后仅具有第一偏振分量PC1。第二分裂光3-2可以穿过第一偏振器400的第一透射区域TA1和第二偏振器500的第二滤波区域FA2。因此，第二分裂光3-2可以在穿过第一偏振器400和第二偏振器500之后仅具有第二偏振分量PC2。

第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1和第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2由图像传感器600生成(S50)。在实施方式中，图像传感器600可以同时生成第一捕获图像CI1和第二捕获图像CI2。

第一捕获图像CI1和第二捕获图像CI2被分析以检查检查对象是否有缺陷(S60)。在实施方式中，可以从用于第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1检查检查对象IO的外表面IO-S的缺陷，并且可以从用于第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2检查检查对象IO的内边界表面IO-IBS的缺陷。

图17是图示根据另一实施方式的检查系统的配置图，图18是图示当从第一传播方向观察时彼此重叠的图17的第一偏振器和第一图像传感器的图，并且图19是图示从第一传播方向观察时彼此重叠的图17的第二偏振器和第二图像传感器的图。

参考图17至图19，除了第一偏振器400和第二偏振器500、第一图像传感器600-1、第二图像传感器600-2和光束分裂器700的形状和布置之外，根据另一实施方式的检查系统2000可以与上面参考图1描述的检查系统1000基本相同。

在实施方式中，光束分裂器700可以将反射光2分裂成第一分裂光3-1和第二分裂光3-2。第一分裂光3-1和第二分裂光3-2中的每个可以包括第一偏振分量PC1和第二偏振分量PC2。

在实施方式中，第一分裂光3-1可以在第一传播方向D1上传播，并且第二分裂光3-2可以在与第一传播方向D1正交的第二传播方向D2上传播。换句话说，第一分裂光3-1和第二分裂光3-2可以从光束分裂器700发射并且在彼此正交的方向上传播。

在此情况下，第一偏振器400可以沿第一传播方向D1与光束分裂器700排列成线，并且第二偏振器500可以沿第二传播方向D2与光束分裂器700排列成线。因此，第一分裂光3-1可以在从光束分裂器700发射之后穿过第一偏振器400，并且第二分裂光3-2可以在从光束分裂器700发射之后穿过第二偏振器500。

在实施方式中，第一图像传感器600-1和第二图像传感器600-2中的每个可以是线扫描相机。因此，第一图像传感器600-1和第二图像传感器600-2中的每个可以以预设时间距离间隔连续捕获对象。

另外，如图18和图19中所示，在从第一传播方向D1的视图中，第一滤波区域FA1的面积可以是第一偏振器400的总面积的大约100％，并且在从第二传播方向D2的视图中，第二滤波区域FA2的面积可以是第二偏振器500的总面积的大约100％。

因此，第一分裂光3-1可以穿过第一滤波区域FA1以仅具有第一偏振分量PC1。此外，第二分裂光3-2可以穿过第二滤波区域FA2以仅具有第二偏振分量PC2。

在实施方式中，检查系统2000可以包括第一图像传感器600-1和第二图像传感器600-2。第一图像传感器600-1可以沿第一传播方向D1与第一偏振器400排列成线，并且第二图像传感器600-2可以沿第二传播方向D2与第二偏振器500排列成线。

在实施方式中，第一图像传感器600-1可以包括第一捕获区域CA1，并且第二图像传感器600-2可以包括第二捕获区域CA2。因此，可以在第一捕获区域CA1中生成第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1，并且可以在第二捕获区域CA2中生成第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2。换句话说，可以分别从第一图像传感器600-1和第二图像传感器600-2同时生成用于第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1和用于第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2。

可以通过分析第一捕获图像CI1和第二捕获图像CI2来检查检查对象IO是否有缺陷。在实施方式中，如图2中所示，第一偏振分量PC1可以通过从检查对象IO的外表面IO-S反射入射光1而获得，第二偏振分量PC2可以通过从检查对象IO的内边界表面IO-IBS反射入射光1而获得。因此，可以从第一偏振分量PC1的第一捕获图像CI1检查检查对象IO的外表面IO-S的缺陷，并且可以从第二偏振分量PC2的第二捕获图像CI2检查检查对象IO的内边界表面IO-IBS的缺陷。例如，检查系统1000可以检查检查对象IO的外表面IO-S和检查对象IO的内边界表面IO-IBS中的每个是否具有挤压、突起、褶皱等。

图20是图示作为图1的检查对象的实施方式的显示装置的截面视图。例如，图20是图示作为检查对象IO的实施方式的显示装置800的子像素的截面视图。

参考图20，显示装置800可以包括衬底810、驱动元件820、保护层830、发光器件840、像素限定层850、薄膜封装层860、黑矩阵870、保护涂层880和窗890。

衬底810可以包括透明材料或不透明材料。在实施方式中，能够用作衬底810的材料的示例可以包括玻璃、石英、塑料等。这些可以单独使用或彼此结合使用。另外，衬底810可以被配置为单层或彼此组合成多层。

驱动元件820可以被布置在衬底810上。驱动元件820可以包括至少一个薄膜晶体管和至少一个电容器。薄膜晶体管可以包括半导体层、栅电极、源电极和漏电极，并且电容器可以包括多个电容器电极。多个绝缘层可以被布置在半导体层、栅电极、源电极、漏电极和电容器电极之间。

尽管未示出，但缓冲层可以被布置在衬底810与驱动元件820之间。缓冲层可以防止诸如氧气和湿气的杂质通过衬底810扩散到驱动元件820上。缓冲层可以包括诸如硅化合物或金属氧化物的无机绝缘材料。

保护层830可以被布置在驱动元件820上。保护层830可以覆盖驱动元件820。在实施方式中，保护层830可以由有机材料形成。能够用作保护层830的有机材料的示例可以包括聚丙烯酸树脂、聚酰亚胺类树脂、丙烯酸树脂等。这些可以单独使用或彼此结合使用。

发光器件840和像素限定层850可以被布置在保护层830上。发光器件840可以包括阳极电极842、发光层844和阴极电极846。

阳极电极842可以被布置在保护层830上。阳极电极842可以通过限定在保护层830中的接触孔电连接到驱动元件820。

像素限定层850可以被布置在保护层830上。使阳极电极842的一部分暴露的开口可以被限定在像素限定层850中。在实施方式中，像素限定层850可以包括有机材料。

发光层844可以被布置在阳极电极842上。阴极电极846可以被布置在发光层844上。发光层844可以基于阳极电极842与阴极电极846之间的电压差发射光。

薄膜封装层860可以被布置在阴极电极846上。薄膜封装层860可以保护发光器件840免受诸如氧气和湿气的杂质的影响。在实施方式中，薄膜封装层860可以包括至少一个无机封装层和至少一个有机封装层。

黑矩阵870可以被布置在薄膜封装层860上。黑矩阵870可以被布置在发光器件840周围。黑矩阵870可以被保护涂层880覆盖。窗890可以被布置在保护涂层880上。窗890可以保护窗890之下的组件。在实施方式中，用于粘合它们的粘合剂可以介于保护涂层880与窗890之间。

然而，尽管针对本实用新型的显示装置800有限地描述了有机发光显示装置OLED，但本实用新型的配置不限于此。在其它实施方式中，显示装置800可以包括液晶显示装置(LCD)、场发射显示装置(FED)、等离子体显示装置(PDP)、电泳显示装置(EPD)、量子点显示装置或无机发光显示装置。

根据实施方式，可以使用检查系统1000容易地检查显示装置800的外表面和/或显示装置800的层(例如，保护涂层880、窗890等)之间的内边界表面处的缺陷。

本实用新型不应被解释为限于本文中阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式以使本公开将是详尽并且全面的，并且将向本领域的技术人员充分传达本实用新型的构思。

尽管已经参考本实用新型的实施方式具体示出和描述了本实用新型，但本领域的普通技术人员将理解，在不背离由所附权利要求书限定的本实用新型的精神或范围的情况下，可以在此中进行形式和细节上的各种改变。

Claims (10)

1.一种检查系统，其特征在于，包括：

将入射光照射到检查对象的单个光源部件；

反射光穿过的主透镜，其中所述反射光是从所述检查对象反射的光并且包括第一偏振分量和第二偏振分量；

将穿过所述主透镜的所述反射光分裂成第一分裂光和第二分裂光的光束分裂器；

包括第一滤波区域的第一偏振器；

包括第二滤波区域的第二偏振器；以及

生成用于所述第一偏振分量的第一捕获图像和用于所述第二偏振分量的第二捕获图像的图像传感器。

2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述第一偏振分量通过从所述检查对象的外表面反射所述入射光而获得，并且

所述第二偏振分量通过从所述检查对象的内边界表面反射所述入射光而获得；并且

其中，所述第一滤波区域选择性地使所述第一偏振分量穿过所述第一滤波区域并且所述第二滤波区域选择性地使所述第二偏振分量穿过所述第二滤波区域。

3.根据权利要求2所述的检查系统，其特征在于，所述第一偏振分量的第一偏振方向和所述第二偏振分量的第二偏振方向彼此正交。

4.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，从其上布置有所述检查对象的布置表面延伸的第一虚拟延伸线、从所述主透镜的出射表面延伸的第二虚拟延伸线和从所述图像传感器的入射表面延伸的第三虚拟延伸线在交点处交汇。

5.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述第一分裂光和所述第二分裂光在第一传播方向上传播，并且

所述第一偏振器和所述第二偏振器沿所述第一传播方向与所述光束分裂器排列成线。

6.根据权利要求5所述的检查系统，其特征在于，所述第一偏振器还包括第一透射区域，所述第一偏振分量和所述第二偏振分量两者穿过所述第一透射区域，并且

所述第二偏振器还包括第二透射区域，所述第一偏振分量和所述第二偏振分量两者穿过所述第二透射区域，并且

所述第一分裂光穿过所述第一滤波区域和所述第二透射区域，并且

所述第二分裂光穿过所述第一透射区域和所述第二滤波区域。

7.根据权利要求6所述的检查系统，其特征在于，在从所述第一传播方向的视图中，所述第一滤波区域的面积是所述第一偏振器的总面积的50％或更小，并且

在从所述第一传播方向的所述视图中，所述第二滤波区域的面积是所述第二偏振器的总面积的50％或更小。

8.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述第一分裂光在第一传播方向上传播，并且

所述第二分裂光在与所述第一传播方向正交的第二传播方向上传播，并且

所述第一偏振器沿所述第一传播方向与所述光束分裂器排列成线，并且

所述第二偏振器沿所述第二传播方向与所述光束分裂器排列成线。

9.根据权利要求8所述的检查系统，其特征在于，在从所述第一传播方向的视图中，所述第一滤波区域的面积是所述第一偏振器的总面积的100％，并且

在从所述第二传播方向的视图中，所述第二滤波区域的面积是所述第二偏振器的总面积的100％。

10.根据权利要求8所述的检查系统，其特征在于，所述图像传感器包括：

沿所述第一传播方向与所述第一偏振器排列成线的第一图像传感器；以及

沿所述第二传播方向与所述第二偏振器排列成线的第二图像传感器，并且

其中所述第一图像传感器生成所述第一捕获图像，并且所述第二图像传感器生成所述第二捕获图像。