KR102240462B1 - 에폭시 실링 검사 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 회로 기판에 도포되는 에폭시 실링을 검사하는 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에폭시 실링의 도포여부확인 및 도포정도의 적합여부를 판단하여 정밀하게 불량 발생 여부를 판단할 수 있는 에폭시 실링 검사 시스템에 관한 것이다.

Description

에폭시 실링 검사 시스템 {EPOXY SEALING INSPECTION SYSTEM}
본 발명은 회로 기판에 도포되는 에폭시 실링을 검사하는 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에폭시 실링의 도포여부확인 및 도포정도의 적합여부를 판단하여 정밀하게 불량 발생 여부를 판단할 수 있는 에폭시 실링 검사 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 회로를 포함하는 반도체 디바이스나 기판 제조시 회로를 보호하기 위해 에폭시나 실리콘 등의 수지를 녹인 후 도포하여 회로 상면에 구비하는 실링제로 사용할 수 있다.
이 중 에폭시 수지 조성물은 양호한 부착성을 나타내고, 반도체 디바이스나 기판을 거의 뒤틀리게 하지 않으며, 열적 사이클시험 및 팝콘 저항성 시험 등에서 양호한 결과를 가져온다.
따라서, 반도체 디바이스나 회로기판 생산시 에폭시 실링의 정상유무를 판단하기 위하여 검사과정에서 원형이나 돔 형상의 조명이 에폭시 실링된 회로측으로 빛을 조사하고, 에폭시 실링이 반사한 빛을 조명 상부 중앙에 위치한 카메라가 촬영하여 에폭시 실링의 이상여부를 판단할 수 있다.
그러나 종래의 돔 형상 또는 원형 형상의 조명의 경우 하나의 광원램프를 통해 도포된 에폭시 실링측으로 빛을 조사하기 때문에 촬영시 에폭시 실링의 양측단의 이상여부는 다소 확인하기 어렵다는 불편함이 존재한다.
특히, 투명한 에폭시 수지를 빛이 그대로 통과 및 반사하기 때문에 회로 상부에 정상적으로 도포되어도 실링제 도포 전인 도 1의 (a)나 실링제 도포 후인 도 1의 (b)와 같이 이미지 변화가 없어 과검출이 다량 발생한다는 문제점이 존재한다.
대한민국 공개특허공보 제10-2006-0067438호 "실 불량 검사 장치"
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 에폭시 실링의 도포여부확인 및 도포정도의 적합여부를 판단하여 정밀하게 불량 발생 여부를 판단할 수 있는 에폭시 실링 검사 시스템을 제공하는 것에 그 목적이 있다.
또한, 중앙에 위치한 메인램프과 양측단에 한 쌍의 보조램프를 가지는 조명부를 통해 에폭시 실링의 중앙 뿐만 아니라 측단 또한 확인하여 불량 발생 여부 판단의 정확도를 향상시킬 수 있는 에폭시 실링 검사 시스템을 제공하는 것에 그 목적이 있다.
또한, 검사받는 자재의 크기에 따라 광원램프의 조사각도 및 위치를 조절할 수 있고, 지면에 수평하지 않은 자재에도 맞게 촬영부 및 조명부가 회전될 수 있어 맞춤형 검사가 가능한 에폭시 실링 검사 시스템을 제공하는 것에 그 목적이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급된 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위해 본 발명에 따른 회로 기판에 도포된 에폭시 실링을 검사하는 에폭시 실링 검사 시스템에 있어서,
회로 기판이 거치되는 거치부; 상기 거치부 상에 위치한 회로 기판에 빛을 조사하는 광원램프를 포함하는 조명부; 상기 조명부로부터 조사된 빛을 수용하여 상기 회로 기판을 촬영하는 촬영부; 및 외부 PC에 내장되어 상기 촬영부가 촬영한 이미지를 판단하여 상기 회로 기판에 도포된 에폭시 유무 및 정상/불량 상태를 판단하는 제어부;로 구성된다.
또한, 거치부는 내측에 회로 기판이 구비되는 거치프레임; 및 상기 거치프레임이 상측에 구비되며, 회로 기판이 이동되는 이송레일;로 구성되고, 상기 거치프레임은 상기 이송레일의 이동방향측 일면에 구비되어 상기 이송레일을 따라 이동하는 상기 회로 기판이 내측으로 인입되는 투입구; 상기 투입구와 반대측에 구비되며, 상기 거치프레임 내측에 인입된 상기 회로 기판이 상기 촬영부에 의해 촬영을 마친 후 개방되어 상기 이송레일의 이동방향을 따라 상기 거치프레임 밖으로 배출되는 배출구; 및 상기 투입구와 상기 배출구에 각각 구비되며, 상기 이송레일을 따라 이동하는 상기 회로 기판과 접촉하면 신호를 상기 제어부로 전달하는 접촉스위치;로 구성되고, 상기 접촉스위치는 상기 투입구에 구비시 상기 거치프레임 외측에 구비되어 상기 이송레일을 따라 상기 투입구 측으로 이동한 상기 회로 기판과 접촉되고, 상기 배출구에 구비시 상기 거치프레임 내측에 구비되어 인입된 상기 회로 기판이 상기 이송레일을 따라 상기 배출구 측으로 이동시 상기 회로 기판과 접촉되며, 상기 투입구에 구비된 상기 접촉스위치와 상기 거치프레임 외측의 상기 회로 기판과 접촉시 발생된 신호를 상기 제어부로 전달하고, 상기 제어부는 상기 투입구를 개방하여 상기 회로 기판을 상기 거치프레임 내측으로 인입시킬 수 있으며, 상기 배출구에 구비된 상기 접촉스위치와 상기 거치프레임 내측으로 인입된 상기 회로 기판이 접촉시 발생된 신호를 상기 제어부로 전달하고, 상기 제어부는 상기 배출구를 개방하여 상기 회로 기판을 상기 거치프레임 외측으로 배출할 수 있으며, 상기 거치부는 가이드레일을 추가로 포함하되, 상기 가이드레일은 상기 이송레일의 가장자리부터 상기 투입구측으로 점차 내측 폭이 좁아지는 형상을 가져 상기 이송레일을 따라 이동하는 상기 회로 기판은 상기 가이드레일 내측면을 따라 상기 투입구측으로 이동하고, 상기 광원램프는 링 형상을 가지는 메인램프와 상기 메인램프를 중심으로 서로 동일간격 이격된 한 쌍의 보조램프로 구성되며, 상기 한 쌍의 보조램프는 서로 이격되어 구비되되, 중앙을 중심으로 동일하게 중앙측으로 회동하여 동일한 조사각을 가지며, 상기 조명부는 상기 광원램프 상단에 구비되고, 상기 광원램프를 서로 연결하되 하부 중앙에는 상기 메인램프가 구비되며, 하부 양측단에는 한 쌍의 보조램프가 구비되는 램프프레임; 상기 램프프레임의 양측 하단으로 돌출형성되며, 돌출된 말단이 상기 한 쌍의 보조램프와 결합되고, 상기 보조램프가 결합된 부분을 중심으로 회동할 수 있는 조절힌지; 및 상기 램프프레임의 상단과 결합되어 상기 램프프레임이 연장된 방향을 따라 수평방향으로 이동하는 램프이동레일;을 포함하며, 상기 촬영부는 상기 광원램프에서 조사된 빛을 수용하는 렌즈; 및 상기 렌즈를 투과한 빛을 통해 상기 회로 기판을 촬영하는 카메라;로 구성된다.
이와 같이 본 발명은 에폭시 실링의 도포여부확인 및 도포정도의 적합여부를 판단하여 정밀하게 불량 발생 여부를 판단할 수 있는 효과를 보유한다.
또한, 중앙에 위치한 메인램프과 양측단에 한 쌍의 보조램프를 가지는 조명부를 통해 에폭시 실링의 중앙 뿐만 아니라 측단 또한 확인하여 불량 발생 여부 판단의 정확도를 향상시킬 수 있는 효과를 보유한다.
또한, 검사받는 자재의 크기에 따라 광원램프의 조사각도 및 위치를 조절할 수 있고, 지면에 수평하지 않은 자재에도 맞게 촬영부 및 조명부가 회전될 수 있어 맞춤형 검사가 가능하다는 효과를 보유한다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급된 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 에폭시 실링 검사장치의 에폭시 도포 전 및 후의 모습을 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 에폭시 실링 검사 시스템을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 거치부를 나타낸 것이다.
도 4, 4a 및 4b는 본 발명에 따른 거치부를 이동하는 회로 기판을 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 거치부를 평면도로 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 조명부를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 램프프레임의 이동예를 나타낸 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 에폭시 실링 검사 시스템으로 에폭시 도포 전 및 후의 모습을 촬영한 것이다.
도 9는 본 발명에 따른 에폭시 실링 검사 시스템으로 정상상태로 에폭시가 도포된 회로 기판을 촬영한 모습이다.
도 10은 본 발명에 따른 에폭시 실링 검사 시스템으로 불량상태로 에폭시가 도포된 회로 기판을 촬영한 모습이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 설명하기로 한다. 각 도면에 제시된 동일한 부호는 동일한 부재를 나타낸다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도 1은 종래의 에폭시 실링 검사장치의 에폭시 도포 전 및 후의 모습을 나타낸 것이며, 도 2는 본 발명에 따른 에폭시 실링 검사 시스템을 나타낸 것이고, 도 3은 본 발명에 따른 거치부를 나타낸 것이며, 도 4, 4a 및 4b는 본 발명에 따른 거치부를 이동하는 회로 기판을 나타낸 것이고, 도 5는 본 발명에 따른 거치부를 평면도로 나타낸 것이며, 도 6은 본 발명에 따른 조명부를 나타낸 것이고, 도 7은 본 발명에 따른 램프프레임의 이동예를 나타낸 것이며, 도 8은 본 발명에 따른 에폭시 실링 검사 시스템으로 에폭시 도포 전 및 후의 모습을 촬영한 것이고, 도 9는 본 발명에 따른 에폭시 실링 검사 시스템으로 정상상태로 에폭시가 도포된 회로 기판을 촬영한 모습이며, 도 10은 본 발명에 따른 에폭시 실링 검사 시스템으로 불량상태로 에폭시가 도포된 회로 기판을 촬영한 모습이다.
본 발명은 회로 기판에 도포되는 에폭시 실링을 검사하는 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에폭시 실링의 도포여부확인 및 도포정도의 적합여부를 판단하여 정밀하게 불량 발생 여부를 판단할 수 있는 에폭시 실링 검사 시스템(1)에 관한 것이다. 이러한 에폭시 실링 검사 시스템(1)은 거치부(100), 조명부(200), 촬영부(300) 및 제어부로 구성된다.
거치부(100)는 에폭시 실링이 이루어진(혹은 이루어지지 않은) 회로 기판(2)을 조명부(200)의 광원램프(210)가 조사하는 방향과, 촬영부(300)와 수직하는 위치에 거치되도록 하여 용이하게 광원램프(210)가 조사하는 빛을 촬영부(300)측으로 반사하여 에폭시 실링()의 유무 및 이상여부를 판단할 수 있도록 한다.
이러한 거치부(100)는 조명부(200) 및 촬영부(300)의 하단에 위치하며 회로 기판(2)이 빛의 반사 및 촬영하기에 적합한 위치에 놓여질 수 있도록 회로 기판(2)에 대응되는 내측 형상을 가지는 거치프레임(110)이 거치부(100) 상면에 구비되어 거치프레임(110) 내측으로 회로 기판(2)을 이동시켜 검사를 수행하고, 검사를 마친 회로 기판(2)은 검사자가 거치프레임(110) 내측으로 꺼내어 다른 회로 기판으로 교체할 수 있도록 한다.
한편, 다수개의 회로 기판(2)의 실링여부를 검사하는 경우 상술된 방법은 다소 번거로우며, 검사 시간이 많이 소요된다는 불편함이 존재한다.
따라서, 다수개의 회로 기판(2)을 거치부(100)를 통해 용이하게 거치시킬 수 있고, 차례로 거치프레임(110) 내측에 구비될 수 있는 거치부(100)의 다른 실시예로 도 3 및 5와 같이 이송레일(120), 가이드레일(130) 및 접촉스위치(113)가 추가로 구비될 수 있다.
먼저, 이송레일(120)은 외부에서 거치부(100)를 거쳐 검사를 마친 회로 기판(2)이 이동되어야 할 위치까지 연장되는 것으로 일반 컨베이어 벨트 등과 같은 이송이 가능한 벨트를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 이송레일(120)의 상면에는 다수개의 회로 기판(2)이 불규칙적으로 놓여질 수 있으며, 이송레일(120)의 상면에는 거치프레임(110)이 상하방향으로 이격된 상태로 구비되어 이송레일(120) 상면과 거치프레임(110)의 하면이 지속적으로 마찰되어 마모되거나 손상되는 것을 방지할 수 있다.
즉 거치프레임(110)은 도 2와 같이 이송레일(120)의 상면에 이격된 상태로 구비되되, 상하방향으로 이격된 높이가 이송레일(120)의 상면을 따라 이송되는 회로 기판(2)의 높이보다는 작게 형성되어 이송레일(120)을 따라 이동된 회로 기판(2)이 거치프레임(110)에 부딪혀 정지될 수 있도록 한다.
한편 거치프레임(110)의 경우 상술된 바와 같이 회로 기판(2)의 가장자리와 대응되는 사각 형상으로 이루어지는 경우 이송레일(120)을 따라 이동된 회로 기판(2)이 거치프레임(110)과 부딪혀 더이상 이송레일(120)을 따라 이동하지 못할 수 있다.
따라서, 거치프레임(110)은 이송레일(120)에 이동방향을 따라 처음 회로 기판(2)과 부딪히는 곳에 투입구(111)가 형성되고, 거치프레임(110) 내측으로 인입된 회로 기판(2)이 이송레일(120)의 이동방향을 따라 배출될 수 있는 배출구(112)가 형성된다.
투입구(111)와 배출구(112)는 회로 기판(2)과 처음 맞닿는 측면측에 접촉스위치(113)가 구비되어 투입구(111)에 구비된 접촉스위치(113a)가 이송레일(120)을 따라 이동된 회로 기판(2)과 접촉되면 접촉스위치(113a)가 제어부로 신호를 보내 도 4와 같이 투입구(111)가 개방되도록 하며, 개방된 투입구(111)를 통해 거치프레임(110) 내측으로 인입되면 상기 제어부가 이송레일(120)의 이동을 멈추도록 제어하고 조명부(200)의 광원램프(210) 구동 및 촬영부(300)의 촬영 동작을 수행하도록 한다(도 4a 참조). 이후 촬영부(300)가 거치프레임(110) 내측에 구비된 회로 기판(2)의 촬영을 마치면 제어부가 이송레일(120)을 구동시켜 회로 기판(2)이 배출구(112)에 구비된 접촉스위치(113b)와 접촉하게 되고, 상기 접촉스위치(113b)의 신호를 받은 제어부가 배출구(112)를 개방하고 이송레일(120)을 구동시켜 검사를 마친 회로 기판(2)이 배출구(112)를 거쳐 이송레일(120)을 따라 이동할 수 있도록 한다(도 4b 참조). 또한, 다음 검사차례인 회로 기판(2)은 검사를 마친 회로 기판(2)이 배출구(112)를 통해 완전히 배출되면 배출구(112)가 폐쇄됨과 동시에 투입구(111)의 접촉스위치(113a)와 밀착하여 동작됨으로써 자동으로 개방되어 거치프레임(110) 내측으로 투입될 수 있도록 한다.
이때, 투입구(111) 및 배출구(112)는 거치프레임(110)을 중심으로 상하방향으로 이동하여 투입구(111) 및 배출구(112)를 개방할 수 있다.
또한, 이송레일(120)을 따라 이동하는 다수개의 회로 기판(2)이 용이하게 거치프레임(110)의 투입구(111) 방향측으로 이동할 수 있도록 투입구(111)와 인접한 이송레일(120)의 상부 양측단에는 가이드레일(130)이 추가로 구비된다.
가이드레일(130)은 투입구(111)측으로 갈수록 내측이 점차 좁아지는 형상을 가져 이송레일(120) 상면에 다양하게 위치한 회로 기판(2)이 가이드레일(130)의 내측면을 따라 투입구(111)측으로 용이하게 이동할 수 있도록 하고, 투입구(111)측과 대향하는 가이드레일(130)의 말단은 투입구(111)와 대응되는 내측 너비를 가짐으로써 가이드레일(130) 내측을 따라 이동된 회로 기판(2)이 투입구(111)를 거쳐 거치프레임(110) 내측 형상과 대응되게 위치할 수 있도록 한다.
따라서, 상술된 구성을 갖는 거치부(100)를 통해 검사를 수행할 회로 기판(2)을 촬영 위치에 맞게 자동으로 배치할 수 있고, 다수개의 회로 기판(2)을 빠르게 검사할 수 있다는 이점을 가진다.
조명부(200)는 종래의 돔이나 원판 형태의 조명이 아닌 직육면체의 조명 본체(10)를 가지고, 본체(10) 내부에 빛을 회로 기판(2)측으로 조사하는 광원램프(210)가 내장된다.
광원램프(210)는 링 형상을 가지며 중앙에 위치한 메인램프(210a)와 메인램프(210a)를 중심으로 본체(10) 내부 양측단에 구비되는 한 쌍의 보조램프(210b)로 구성되어 총 3개의 광원램프(210)가 회로 기판(2)측으로 빛을 조사하게 된다.
이때, 메인램프(210a)는 링 형상을 가지며 다수개의 LED와 같은 광원으로 이루어져 하측 중앙을 향해 빛을 조사하는 방향으로 기울어져 구비될 수 있다.
또한, 한 쌍의 보조램프(210b)는 도 2와 같이 동일한 조사각을 가지며 회로 기판(2)측으로 빛을 조사하고, 회로 기판(2)에서 반사된 빛은 조명부(200)의 중앙측으로 이동하여 조명부(200) 상단에 위치한 촬영부(300)측으로 조사되어 상기 촬영부(300)가 용이하게 회로 기판(2)을 촬영할 수 있도록 한다.
따라서, 상술된 조명부(200)는 도 1과 같이 종래의 돔 형식의 조명을 갖는 검사 시스템의 경우 빛을 수직하여 직접적으로 조사하고, 이를 통해 회로 기판(2)의 중앙측만을 확인하여 에폭시 수지의 도포 여부를 확인하기가 다소 어려워 과 검출이 다량 발생하게 되는 문제점을 해결할 수 있도록 도 2와 같이 한 쌍의 보조램프(210b)가 비스듬하게 회로 기판(2)측으로 빛을 조사하고, 이를 통해 광원램프(210)의 중앙에 위치한 촬영부(300)로 용이하게 빛이 반사되어 반사된 빛을 통해 회로 기판(2)을 촬영할 수 있다.
이러한 조명부(200)를 가지는 에폭시 실링 검사 시스템(1)은 단순히 에폭시 실링부(3)의 존재여부 뿐만 아니라 실링부(3)의 정상(도 9 참조) 또는 불량(도 10 참조) 상태인지를 확인할 수 있어 실링부(3) 검사의 정확도 또한 향상시킨 에폭시 실링 검사 시스템(1)을 제공할 수 있다.
한편, 에폭시 수지로 도포된 실링부(3)를 포함하여 회로 기판(2)의 크기가 항상 동일한 것은 아니며, 다양한 크기의 회로 기판(2)을 검사할 수 있다. 이러한 경우 한 쌍의 보조램프(210b)가 기설정된 조사각에 맞춰 기울어진 상태로 다른 크기의 회로 기판(2)에 빛을 조사하는 경우 회로 기판(2)의 중앙측으로 빛이 조사되지 못해 촬영부(300)가 촬영이 용이하지 못할 우려가 존재한다.
즉, 에폭시 실링부(3)가 구비된 측으로 빛을 조사하기 어려워 에폭시 수지의 도포여부나 실링부(3)의 불량 상태 등을 파악하기 어렵다는 불편함이 존재한다.
따라서, 광원램프(210)가 다양한 조사각을 가질 수 있도록 한 쌍의 보조램프(210b)는 조명부(200) 내측에 구비되어 상기 한 쌍의 보조램프(210b)를 연결하는 램프프레임(220)의 양측단에 각각 구비되고, 램프프레임(220)의 양측단에는 보조램프(210b)의 조사각을 조절하는 조절힌지(221)가 구비된다.
조절힌지(221)는 램프프레임(220)의 양측 말단에 각각 구비되며, 하부에 보조램프(210b)가 구비되어 결합될 수 있다. 이러한 조절힌지(221)는 제어부의 제어에 따라 보조램프(210b)의 조사각이 변화될 수 있고, 제어부는 하나의 조절힌지(221)를 회동시켜 보조램프(210b)의 조사각을 조절하면 반대측에 위치한 조절힌지(221) 또한 동일한 회동정도로 회동되어 한 쌍의 보조램프(210b) 조사각이 동일하게 이루어질 수 있도록 한다.
이때, 조절힌지(221)를 중심으로 회동되는 광원램프(210)는 동일한 방향으로 회동되는 것이 아닌 동일한 회동 정도로 회동되되, 램프프레임(220)의 중앙측으로 회동됨으로써 한 쌍의 광원램프(210)에서 조사된 빛이 회로 기판(2)의 중앙측을 향하도록 설정한다.
또한, 도 6a과 같이 검사할 회로 기판(2)이 매우 넓거나 큰 경우, 하나의 회로 기판에 다수개의 회로가 구비되는 경우 단순히 광원램프(210)의 조사각만을 변화시키는 것이 조명부(200) 본체 내 광원램프(210)의 위치를 변경할 필요가 존재한다.
따라서, 조명부(200) 본체에 내장되는 램프이동레일(230)이 추가로 구비될 수 있고, 램프이동레일(230)의 하면 중앙에는 램프이동레일(230)의 연장방향에 따라 상측으로 함몰된 인입홈(도면이 미도시)이 형성되며, 램프프레임(220)의 상면 중앙에는 인입홈 내측에 결합되는 결합구(220a)가 형성되어 상기 결합구(220a)는 인입홈 내측에 인입되어 결합되고, 상기 결합구(220a)는 인입홈 내측을 따라 이동가능하여 램프프레임(220) 또한 함께 이동할 수 있다.
이때, 메인램프(210a)는 램프프레임(220)의 하부 중앙에 구비되며, 렌즈하우징(20)과 동일 수직선상에 위치하도록 하여 램프프레임(220) 이동시 렌즈하우징(20)과 메인램프(210a)는 함께 이동될 수 있도록 한다.
따라서, 회로 기판(2)의 측단에 위치한 회로의 실링부분도 램프프레임(220)이 램프이동레일(230)을 따라 이동하면서 회로 기판(2) 내 다양한 위치에 구비된 회로의 실링부(3)를 용이하게 조사 및 촬영함으로써 다양한 크기 및 회로 또한 용이하게 검사를 수행할 수 있다는 효과를 가진다.
촬영부(300)는 조명부(200) 상단에 구비되어 광원램프(210)에서 조사된 빛을 받아 회로 기판(2)을 촬영함으로써 실링부(3)의 도포 전(도 7의 (a) 참조) 및 후(도 7의 (b) 참조)를 판단할 수 있을 뿐만 아니라 도 9 및 10과 같이 실링부(3)의 불량여부를 판단할 수 있다.
도 2와 같이 회로 기판(2)의 상부 양측에서 회로 기판(2)측으로 조사된 빛을 통해 용이하게 실링부(3)가 구비된 측을 확인할 수 있고, 이를 촬영하여 회로 기판(2)에 실링부(3)의 존재여부, 즉 에폭시 수지의 도포여부와 상태를 확인하여 불량 여부를 판단할 수 있다.
이러한 촬영부(300)는 카메라(310) 및 상기 카메라(310)의 하부에 구비되는 렌즈(320)로 이루어지며, 렌즈(320)가 카메라(310) 하부측에 구비되어 하측에 위치한 회로 기판(2)을 촬영할 수 있도록 한다.
이때, 렌즈(320)와 카메라(310)는 카메라(310) 하단에 C 마운트 타입으로 함몰형성되어 렌즈(320)와 마운트결합이 가능하고, 렌즈(320)는 조명 본체(10)의 중앙 상단에 구비된 렌즈하우징(20)의 내측으로 인입되어 상기 렌즈하우징(20) 및 조명 본체(10)를 관통하여 광원램프(210)에서 조사된 빛을 수용하여 회로 기판(2)을 촬영할 수 있도록 한다.
또한, 메인램프(210a)는 램프프레임(220)의 하부 중앙에 구비되며, 렌즈하우징(20)과 동일 수직선상에 위치하도록 하여 램프프레임(220) 이동시 렌즈하우징(20)과 메인램프(210a)는 함께 이동될 수 있도록 한다. 이때, 메인램프(210a)는 링 형상을 가지기 때문에 원통 형상의 렌즈하우징(20)이 빛을 수용할 때 방해되지 않고 렌즈하우징(20) 하부 가장자리를 따라 구비됨으로써 메인램프(210a)의 빛이 직접적으로 렌즈하우징(20) 내측으로 조사되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 렌즈하우징(20)은 램프이동레일(230) 및 광원램프(210)와 동일 수직선상에 위치하지 않아 광원램프(210)가 조사하는 빛이 용이하게 렌즈하우징(20) 내 렌즈(320)로 수용될 수 있도록 한다.
상술된 촬영부(300)는 램프이동레일(230)을 따라 램프프레임(220)이 이동시 상기 램프프레임(220)와 연결된 렌즈하우징(20) 또한 함께 조명 본체(10) 상단을 이동할 수 있도록 한다(도 6a 참조).
제어부는 상술된 거치부(100), 조명부(200) 및 촬영부(300)의 구동을 제어하는 것으로, 거치프레임(110) 내측에 회로 기판(2)이 구비될 수 있도록 투입구(111), 배출구(112) 및 이송레일(120)을 조절할 수 있고, 광원램프(210)의 조사각 및 위치를 조절할 수 있도록 조절힌지(221) 및 결합구(220a)의 이동을 제어할 수 있다.
이때, 결합구(220a)는 유압방식으로 인입홈 내측을 따라 이동될 수 있다.
따라서, 검사자가 직접 관리할 필요없이 제어부를 통해 자동으로 회로 기판(2)의 이동 및 검사수행을 할 수 있으며, 각 회로 기판(2)에 맞게 조명부(200) 및 촬영부(300)를 이동시킬 수 있어 다양한 회로 기판(2)에도 맞춤형 검사가 가능하다는 이점을 가진다.
상술된 제어부는 에폭시 실링 검사 시스템(1)과 연결된 외부의 PC 등에 내장되어 촬영부(300)로부터 촬영된 이미지를 제어부가 내장된 외부 PC로 전달하고, 이를 통해 자동으로 도포여부 및 정상/불량 상태를 판단할 수 있는 프로그램이 메모리에 내장되어 이를 통해 에폭시 실링 검사를 자동으로 수행할 수 있도록 한다.
도면과 명세서에서 최적의 실시예들이 개시되었다. 여기서, 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진자라면, 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1. 에폭시 실링 검사 시스템
2. 회로 기판
3. 실링부
10. 조명 본체
20. 렌즈하우징
100. 거치부
110. 거치프레임
111. 투입구
112. 배출구
113,113a,113b. 접촉스위치
120. 이송레일
130. 가이드레일
200. 조명부
210. 광원램프
210a. 메인램프
210b. 보조램프
220. 램프프레임
220a. 결합구
221. 조절힌지
230. 램프이동레일
300. 촬영부
310. 카메라
320. 렌즈

Claims (2)

  1. 회로 기판에 도포된 에폭시 실링을 검사하는 에폭시 실링 검사 시스템에 있어서,
    회로 기판이 거치되는 거치부;
    상기 거치부 상에 위치한 회로 기판에 빛을 조사하는 광원램프를 포함하는 조명부;
    상기 조명부로부터 조사된 빛을 수용하여 상기 회로 기판을 촬영하는 촬영부; 및
    외부 PC에 내장되어 상기 촬영부가 촬영한 이미지를 판단하여 상기 회로 기판에 도포된 에폭시 유무 및 정상/불량 상태를 판단하는 제어부;로 구성되며,
    상기 거치부는,
    내측에 회로 기판이 구비되는 거치프레임; 및 상기 거치프레임이 상측에 구비되며, 회로 기판이 이동되는 이송레일;로 구성되고,
    상기 거치프레임은,
    상기 이송레일의 이동방향측 일면에 구비되어 상기 이송레일을 따라 이동하는 상기 회로 기판이 내측으로 인입되는 투입구;
    상기 투입구와 반대측에 구비되며, 상기 거치프레임 내측에 인입된 상기 회로 기판이 상기 촬영부에 의해 촬영을 마친 후 개방되어 상기 이송레일의 이동방향을 따라 상기 거치프레임 밖으로 배출되는 배출구; 및
    상기 투입구와 상기 배출구에 각각 구비되며, 상기 이송레일을 따라 이동하는 상기 회로 기판과 접촉하면 신호를 상기 제어부로 전달하는 접촉스위치;로 구성되고,
    상기 접촉스위치는 상기 투입구에 구비시 상기 거치프레임 외측에 구비되어 상기 이송레일을 따라 상기 투입구 측으로 이동한 상기 회로 기판과 접촉되고, 상기 배출구에 구비시 상기 거치프레임 내측에 구비되어 인입된 상기 회로 기판이 상기 이송레일을 따라 상기 배출구 측으로 이동시 상기 회로 기판과 접촉되며,
    상기 투입구에 구비된 상기 접촉스위치와 상기 거치프레임 외측의 상기 회로 기판과 접촉시 발생된 신호를 상기 제어부로 전달하고, 상기 제어부는 상기 투입구를 개방하여 상기 회로 기판을 상기 거치프레임 내측으로 인입시킬 수 있으며,
    상기 배출구에 구비된 상기 접촉스위치와 상기 거치프레임 내측으로 인입된 상기 회로 기판이 접촉시 발생된 신호를 상기 제어부로 전달하고, 상기 제어부는 상기 배출구를 개방하여 상기 회로 기판을 상기 거치프레임 외측으로 배출할 수 있으며,
    상기 거치부는 가이드레일을 추가로 포함하되, 상기 가이드레일은 상기 이송레일의 가장자리부터 상기 투입구측으로 점차 내측 폭이 좁아지는 형상을 가져 상기 이송레일을 따라 이동하는 상기 회로 기판은 상기 가이드레일 내측면을 따라 상기 투입구측으로 이동하고,
    상기 광원램프는 링 형상을 가지는 메인램프와 상기 메인램프를 중심으로 서로 동일간격 이격된 한 쌍의 보조램프로 구성되며,
    상기 한 쌍의 보조램프는 서로 이격되어 구비되되, 중앙을 중심으로 동일하게 중앙측으로 회동하여 동일한 조사각을 가지며,
    상기 조명부는 상기 광원램프 상단에 구비되고, 상기 광원램프를 서로 연결하되 하부 중앙에는 상기 메인램프가 구비되며, 하부 양측단에는 한 쌍의 보조램프가 구비되는 램프프레임;
    상기 램프프레임의 양측 하단으로 돌출형성되며, 돌출된 말단이 상기 한 쌍의 보조램프와 결합되고, 상기 보조램프가 결합된 부분을 중심으로 회동할 수 있는 조절힌지; 및
    상기 램프프레임의 상단과 결합되어 상기 램프프레임이 연장된 방향을 따라 수평방향으로 이동하는 램프이동레일;을 포함하며,
    상기 촬영부는 상기 광원램프에서 조사된 빛을 수용하는 렌즈; 및 상기 렌즈를 투과한 빛을 통해 상기 회로 기판을 촬영하는 카메라;로 구성되는 것을 특징으로 하는 에폭시 실링 검사 시스템.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004310343A (ja) * 2003-04-04 2004-11-04 Towa Corp 樹脂封止済基板の外観検査方法
KR20060067438A (ko) 2004-12-15 2006-06-20 엘지전자 주식회사 실 불량 검사 장치
KR20100086166A (ko) * 2009-01-22 2010-07-30 이태송 향상된 정확도를 갖는 전자기기 케이스의 외관 검사장치
KR101363520B1 (ko) * 2012-05-17 2014-02-17 주식회사 미르기술 광조사 각도 조절가능한 조명부를 포함하는 비전검사장치
KR102145960B1 (ko) * 2013-07-19 2020-08-20 삼성디스플레이 주식회사 실링 검사 장치 및 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004310343A (ja) * 2003-04-04 2004-11-04 Towa Corp 樹脂封止済基板の外観検査方法
KR20060067438A (ko) 2004-12-15 2006-06-20 엘지전자 주식회사 실 불량 검사 장치
KR20100086166A (ko) * 2009-01-22 2010-07-30 이태송 향상된 정확도를 갖는 전자기기 케이스의 외관 검사장치
KR101363520B1 (ko) * 2012-05-17 2014-02-17 주식회사 미르기술 광조사 각도 조절가능한 조명부를 포함하는 비전검사장치
KR102145960B1 (ko) * 2013-07-19 2020-08-20 삼성디스플레이 주식회사 실링 검사 장치 및 방법

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