KR20150002402A

KR20150002402A - 태블릿 공급 장치

Info

Publication number: KR20150002402A
Application number: KR1020130086074A
Authority: KR
Inventors: 최일락; 이혁주
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2013-06-28
Filing date: 2013-07-22
Publication date: 2015-01-07
Also published as: KR101482865B1

Abstract

태블릿 공급 장치는 적어도 하나의 태블릿 공급 모듈 및 적어도 하나의 수납 챔버를 포함한다. 상기 태블릿 공급 모듈은 반도체 소자들의 몰딩을 위해 사용되는 태블릿을 상기 몰딩을 위한 적어도 하나의 몰딩 장치에 공급한다. 상기 수납 챔버는 내부에 상기 태블릿 공급 모듈이 수납되어, 상기 태블릿 공급 모듈을 상기 몰딩 장치로부터 공간적으로 격리시킨다.

Description

태블릿 공급 장치{APPARATUS FOR SUPPLYING TABLETS}

본 발명의 실시예들은 태블릿 공급 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 기판 상에 탑재된 반도체 소자들을 몰딩하기 위한 몰딩 수지 태블릿을 공급하는 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자들에 대한 몰딩 공정은 금형 내에 상기 반도체 소자들이 탑재된 기판을 배치하고 캐버티 내부로 에폭시 수지와 같은 몰딩 수지를 주입함으로써 이루어질 수 있다. 상기 몰딩 공정을 수행하기 위한 장치는 상기 캐버티 내부로 용융된 수지 또는 액상 수지를 주입하는 트랜스퍼 몰딩 방식과, 상기 캐버티 내부에 분말 형태의 몰딩 수지, 용융된 수지 또는 액상 수지를 공급하고 상형과 하형 사이에서 상기 몰딩 수지를 압축하여 성형하는 컴프레션 몰딩 방식의 장치로 구분될 수 있다.

상기 트랜스퍼 몰딩 장치의 일 예로서 대한민국 특허공개 제10-2001-0041616호 및 제10-2006-0042228호 등에는 반도체 소자들을 몰딩하기 위한 상형과 하형 등을 포함하는 트랜스퍼 몰딩 장치들이 개시되어 있다.

상기 몰딩 장치는 기판을 지지하는 하형과 상기 반도체 소자들을 몰딩하기 위한 상부 캐버티가 구비되는 상형을 구비할 수 있다. 상기 하형은 상기 기판을 지지하는 하부 캐버티 블록, 상기 몰딩 수지를 공급하기 위한 포트 블록, 상기 하부 캐버티 블록의 일측에 배치되는 가이드 블록 등을 포함할 수 있으며, 상기 기판은 상기 하부 캐버티 블록과 포트 블록 및 가이드 블록 등에 의해 한정되는 하부 캐버티 내에 배치될 수 있다.

상기 포트 블록에는 에폭시 수지와 같은 몰딩 수지 태블릿이 공급될 수 있으며, 상기 포트 블록에서 용융된 수지가 상기 상형의 컬 블록을 경유하여 상기 반도체 소자들을 몰딩하기 위하여 상기 상부 캐버티로 공급될 수 있다.

한편, 상기 태블릿은 대략 원기둥 형태를 가질 수 있으며 상기 태블릿을 공급하기 위한 태블릿 공급 모듈이 상기 트랜스퍼 몰딩 장치에 구비될 수 있다. 또한 상기와 다르게 상기 태블릿을 공급하기 위한 별도의 장치가 상기 트랜스퍼 몰딩 장치와 연결될 수도 있다. 상기 태블릿을 공급하기 위한 장치의 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-0291105호에는 태블릿 자동 공급 장치가 개시되어 있다.

상기 태블릿 공급 장치는 태블릿들이 투입되는 호퍼와 상기 호퍼 아래에 배치되는 호퍼슈트 및 상기 호퍼슈트로부터 태블릿을 상기 몰딩 장치로 공급하기 위한 안내부재 등을 포함하며, 상기 태블릿의 이송은 상기 호퍼를 진동시키는 호퍼진동부와 상기 안내부재를 진동시키는 안내부재진동부에 의해 이루어질 수 있다.

상기와 같은 태블릿 공급 장치의 경우 진동을 이용하여 태블릿을 이송하므로 상기 태블릿의 이송 도중에 다량의 분진이 발생될 수 있을 뿐만 아니라, 이 분진과 같이 상기 태블릿 공급 장치가 상기 몰딩 장치와 동일한 공간에 설치됨으로 인하여 상기 몰딩 장치에서 발생되는 추가적인 분진으로 인해 작업자에게 건강상의 안 좋은 질환을 발생시킬 수 있다.

본 발명의 목적은 태블릿으로부터 발생되는 분진으로부터 작업자를 보호할 수 있는 태블릿 공급 장치를 제공하는 것이다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 태블릿 공급 장치는 적어도 하나의 태블릿 공급 모듈 및 적어도 하나의 수납 챔버를 포함한다.

상기 태블릿 공급 모듈은 반도체 소자들의 몰딩을 위해 사용되는 태블릿을 상기 몰딩을 위한 적어도 하나의 몰딩 장치에 공급한다. 상기 수납 챔버는 내부에 상기 태블릿 공급 모듈이 수납되어, 상기 태블릿 공급 모듈을 상기 몰딩 장치로부터 공간적으로 격리시킨다.

일 실시예에 따른 상기 수납 챔버는 측면에 내부 공간을 개폐하는 측면 도어 및 그 내부 공간에 설치된 파티클 센서 및 상기 측면 도어와 연결되며 상기 파티클 센서에 의해서 상기 내부 공간의 오염도가 기 설정된 범위를 초과할 경우 상기 측면 도어를 락킹하는 도어 제어부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 수납 챔버는 상기 파티클 센서와 연결되어 상기 내부 공간의 오염도가 상기 기 설정된 범위를 초과할 경우 상기 내부 공간을 배기시키는 흡입 배기부를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 수납 챔버의 내부에는 상기 측면 도어가 개방되었을 경우에도 상기 태블릿 공급 모듈로부터의 파티클이 외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 측면 도어와 태블릿 공급 모듈 사이에 에어를 커튼 형태로 분사하는 에어 분사부가 설치될 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 태블릿 공급 모듈은 상기 수납 챔버의 외부로 슬라이딩 방식에 따라 분리 가능한 구조로 상기 수납 챔버에 수납될 수 있다.

일 실시예에 따른 다수의 태블릿 공급 모듈들 각각이 수납된 다수의 수납 챔버들은 서로 도킹되는 구조를 가질 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 태블릿 공급 모듈은 다수의 태블릿들이 상부에서 투입되면서 하부로 배출되도록 구성된 호퍼, 상기 호퍼의 하부에 배치되며 상기 호퍼의 하부로 떨어지는 태블릿들을 전달 받아 수평 방향으로 이송하는 컨베이어 및 상기 컨베이어와 연결되며 상기 컨베이어로부터 이송된 태블릿들을 압축 공기를 통해 개별적으로 이송 튜브로 슈팅하는 슈팅 유닛을 포함할 수 있다. 이에, 상기 태블릿 공급 장치는 상기 이송 튜브를 통해 상기 슈팅 유닛과 연결되며, 상기 이송 튜브로부터 슈팅된 태블릿을 수취하면서 이를 반도체 소자를 몰딩하기 위한 몰딩 장치에 공급하는 태블릿 수취 모듈을 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 태블릿 공급 모듈은 상기 컨베이어 및 상기 슈팅 유닛 사이에 연결되며 상기 컨베이어로부터 이송되는 태블릿들을 그 길이 방향을 따라 정렬하는 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 정렬 유닛은 서로 평행하게 배치된 제1 및 제2 롤러들을 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 롤러들 중 적어도 하나는 상기 태블릿들을 일측 방향으로 가이드하기 위하여 쐐기 형상을 가질 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 슈팅 유닛은 각 태블릿을 푸싱하면서 상기 압축 공기가 공급되도록 그 길이 방향을 따라 중심이 관통된 관통홀을 갖는 슈팅 로드를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 태블릿 공급 모듈은 상기 슈팅 유닛의 위치에 상기 태블릿들이 일정 개수만큼 슈팅 준비되도록 원주 방향을 따라 일정한 간격으로 다수의 수납홀들을 갖는 리볼버(revolver)를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 리볼버는 원주 방향을 따라 상기 수납홀들의 개수만큼 일정한 간격으로 다수의 후크들을 가질 수 있으며, 상기 태블릿 공급 모듈은 1회의 스트로크 동작을 통해서 상기 수납홀들의 위치가 하나씩 이동되도록 상기 후크를 이동시키는 리볼버 구동부를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 컨베이어는 상기 슈팅 유닛과 반대 방향을 따라 구동이 가능하며, 이럴 경우 상기 태블릿 공급 모듈은 상기 컨베이어의 상기 슈팅 유닛과 반대되는 위치에서 상기 반대 방향을 따라 구동하는 컨베이어로부터 배출되는 태블릿들을 수납하면서 상기 수납 챔버로부터 외부로 분리되는 구조를 갖는 배출 부재를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 태블릿 수취 모듈은 상기 이송 튜브로부터 슈팅된 태블릿의 슈팅 압력을 감압시키기 위한 감압부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 태블릿 수취 모듈은 상기 이송 튜브와 연통되는 연통홀을 가질 수 있으며, 상기 감압부는 상기 연통홀의 단부에 결합된 감압 플레이트 및 상기 연통홀의 개구된 단면적을 조절하기 위하여 상기 플레이트를 이동시키는 감압 구동부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 태블릿 수취 모듈은 상기 수취한 태블릿을 상기 몰딩 장치에 공급하는 부위에 에어를 상기 수취한 태블릿에 블로우시켜서 클리닝하는 클리닝부를 포함할 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 태블릿 공급 모듈들이 반도체 소자들의 몰딩을 위한 몰딩 장치와 격리되는 수납 챔버 내부에 수납됨으로써, 상기 몰딩 장치에서 태블릿으로부터 발생되는 분진으로부터 작업자를 보호할 수 있다.

또한, 상기 수납 챔버의 내부에서도 작업자가 상기 태블릿 공급 모듈의 호퍼에 태블릿들을 투입시킬 때에도 상기 수납 챔버의 측면 도어와 태블릿 공급 모듈 사이에 에어를 커튼 형태로 분사함으로써, 상기 태블릿들을 투입하는 공정 중에서도 상기 태블릿으로부터 발생된 분진으로부터 작업자를 보호할 수 있다.

이에 따라, 상기 태블릿으로부터 발생된 분진으로부터 작업자를 보호하여 이 분진에 의해서 작업자에게 건강상의 안 좋은 질환이 발생되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 태블릿 공급 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 태블릿 공급 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 태블릿 공급 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 태블릿 공급 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 태블릿 수취 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 태블릿 공급 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 태블릿 공급 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 태블릿 공급 장치(10)는 반도체 소자들을 몰딩하기 위한 트랜스퍼 타입의 몰딩 장치(50)와 연결되어 상기 몰딩 장치(50)로 에폭시 수지와 같은 몰딩 수지로 이루어진 태블릿(2; 도 3 참조)을 공급하기 위하여 사용될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 태블릿 공급 장치(10)는 태블릿들(2)을 공급하기 위한 복수의 태블릿 공급 모듈들(100)과 상기 태블릿 공급 모듈들(100)로부터 공급되는 태블릿들(2)을 수취하여 상기 몰딩 장치들(50)로 각각 전달하기 위한 태블릿 수취 모듈들(200)을 포함할 수 있다.

상기 태블릿 수취 모듈들(200)은 상기 몰딩 장치들(50)과 각각 연결될 수 있으며, 각각의 태블릿 공급 모듈들(200)과 각각의 태블릿 수취 모듈들(200)은 이송 튜브(300)를 통해 서로 연결될 수 있다. 상기 태블릿 공급 모듈들(200)은 압축 공기를 이용하여 상기 태블릿들(2)을 상기 이송 튜브들(300)을 통해 송출할 수 있으며, 상기 태블릿 수취 모듈들(200)은 상기 이송 튜브들(300)을 통해 이송된 태블릿들(2)을 수취하여 상기 몰딩 장치들(50)에 전달할 수 있다.

특히, 상기 태블릿 공급 장치(10)는 상기 태블릿 공급 모듈들(100)이 수납되어 상기 태블릿 공급 모듈(200)을 상기 몰딩 장치(50)로부터 공간적으로 격리시키는 수납 챔버(20)를 더 구비할 수 있다.

상기 수납 챔버(20)의 내부 공간에는 상기 태블릿(2; 도 3 참조)으로부터 발생된 분진에 의한 오염도를 감지하기 위한 파티클 센서(26)가 설치될 수 있다. 이에, 상기 수납 챔버(20)는 그 내부 공간의 오염도가 기 설정된 범위를 초과할 경우 상기 내부 공간을 흡입 배기시키는 흡입 배기부(24)를 포함할 수 있다. 상기 흡입 배기부(24)는 일 예로, 진공 펌프 또는 팬 필터 유닛 등으로 이루어질 수 있으며, 이에 의한 상기 수납 챔버(20)의 내부 환경은 제어부(22)에 의해 제어될 수 있다. 또한, 상기 흡입 배기부들(24) 내에는 각각 개폐하기 위한 밸브들(미도시)이 구비될 수 있다.

이와 같이, 상기 태블릿 공급 모듈들(100)이 반도체 소자들의 몰딩을 위한 몰딩 장치(50)와 격리되는 수납 챔버(20) 내부에 수납됨으로써, 상기 몰딩 장치(50)에서 태블릿(2; 도 3 참조)으로부터 발생되는 분진으로부터 작업자를 일차적으로 보호할 수 있다. 이에, 상기 태블릿 공급 장치(10)는 복수의 몰딩 장치들(20)과 설치되는 클린룸과 같은 작업장 내부의 환경 오염을 크게 감소시킬 수 있다. 한편, 상기 수납 챔버(20)의 내부 공간을 상기 파티클 센서(26)를 통해 상기 태블릿(2; 도 3 참조)으로부터 발생된 분진의 오염도를 감지하여 그 오염도가 기 설정된 범위를 초과할 경우 상기 수납 챔버(20)의 내부 공간을 흡입 배기부(24)를 통하여 제거함으로써, 이 수납 챔버(20)의 내부 공간에서도 작업자를 상기의 분진으로부터 보호할 수 있다.

또한, 상기 태블릿 공급 모듈(100)이 수납된 수납 챔버(20)는 다수가 서로 도킹 형태로 조립 및 분리되는 구조를 가지고 있다. 이러면, 작업자에 의해서 상기 수납 챔버들(20)의 개수를 필요에 따라 인위적으로 조정할 수 있으므로, 상기 태블릿 공급 장치(10)를 보다 효율적으로 활용할 수 있다.

도 2는 도 1에 도시된 태블릿 공급 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 태블릿 공급 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 태블릿 공급 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 태블릿 공급 모듈(100)은 상기 태블릿들(2)이 상부에서 투입되면서 하부로 배출되도록 구성된 호퍼(110)와 상기 호퍼(110)의 하부에 연결되며 상기 태블릿들(2)을 정렬하기 위한 정렬 유닛(120)과 압축 공기를 이용하여 상기 태블릿(2)을 송출하기 위한 슈팅 유닛(160)을 포함할 수 있다.

도 5는 도 1에 도시된 태블릿 수취 모듈을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.

도 5를 참조하면, 상기 태블릿 수취 모듈(200)은 상기 이송 튜브(300)를 통해 이송된 태블릿(2)을 수취하며 상기 태블릿(2)의 속도를 감속시키면서 정지시키기 위해 상기 태블릿(2)의 슈팅 압력을 감압시키는 감압부(210)와 상기 감압부(210)에 의해 감속 정지된 태블릿(2)으로부터 분진을 제거하기 위한 클리닝부(220)를 포함할 수 있다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 태블릿 공급 방법을 설명한다.

먼저, 상기 태블릿들(2)을 호퍼(110)에 투입한다. 상기 태블릿들(2)은 대략 원기둥 형태를 가질 수 있으며 상기 호퍼(110)의 아래에는 상기 태블릿들(2)을 상기 호퍼(110)의 하부로 떨어지는 태블릿들(2)을 전달 받아 수평 방향으로 이송하여 상기 정렬 유닛(120)으로 전달하는 컨베이어(112)가 배치될 수 있다. 이에, 상기 호퍼(110)의 하부에는 상기 태블릿들(2)을 상기 컨베이어(112) 상으로 전달하기 위한 개구가 구비될 수 있으며, 상기 컨베이어(112)의 일측에 상기 태블릿 정렬 유닛(120)이 배치될 수 있다.

또한, 본 단계에서 상기 태블릿들(2)을 이송하기 위하여 상기 이송 튜브(300)에 대하여 상기 태블릿들(2)을 정렬한다.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 상기 태블릿 정렬 유닛(120)은 상기 컨베이어(112)를 통해 전달된 태블릿들(2)을 정렬하기 위한 제1 및 제2 롤러들(122,124)을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 롤러들(122,124)은 상기 컨베이어(112)의 일측에 배치될 수 있으며, 서로 밀착되어 서로 반대 방향으로 회전될 수 있다.

또한, 상기 제1 및 제2 롤러들(122,124)의 일측에는 상기 태블릿들(2)의 이동 경로로서 사용되는 안내 부재(126)가 배치될 수 있으며, 상기 제1 롤러(122)는 직경이 일정하게 구성될 수 있고, 상기 제2 롤러(126)는 상기 안내 부재(126)를 향하여 점차 직경이 감소하도록 쐐기 형상으로 구성될 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 롤러들(122,124)이 서로 밀착되어 서로 반대 방향으로 회전됨으로써 상기 태블릿들(2)이 하나씩 상기 안내 부재(126)로 이동될 수 있다. 상기 제1 및 제2 롤러들(122,124) 중 하나에는 상기 제1 또는 제2 롤러(122 또는 124)를 회전시키기 위한 롤러 구동부(130)가 연결될 수 있으며, 상기 롤러 구동부(130)는 모터(132)와 벨트 전동 기구(134) 등을 이용하여 구성될 수 있다.

상기 안내 부재(126)는 소정의 경사각을 갖도록 구성될 수 있으며 이에 따라 상기 태블릿들(2)이 상기 안내부재(126)를 따라 하방으로 이동될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 안내 부재(126)의 하단부에는 상기 태블릿들(2)의 하방 이동을 제한하는 스토퍼가 구비될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 안내 부재(126)의 일측에는 상기 태블릿들(2)을 이하의 슈팅 유닛(160)을 통해 슈팅 준비되도록 수납하기 위한 다수의 수납홀들(142)이 구비된 리볼버(140)가 배치될 수 있다. 상기 리볼버(140)는 리볼버 구동부(144)에 의해 회전 가능하게 구성될 수 있으며 상기 수납홀들(142)은 상기 리볼버(140)의 회전 중심에 대하여 원주 방향으로 일정 간격 이격되어 배치될 수 있다.

또한, 상기 리볼버(140)는 그 외측면에 원주 방향을 따라 상기 수납홀들(142)의 개수만큼 일정한 간격으로 다수의 후크들(143)을 가질 수 있으며, 이에 상기 태블릿 공급 모듈(100)은 1회의 스트로크 동작을 통해서 상기 수납홀들(142)의 위치가 하나씩 이동되도록 상기 후크들(143)을 이동시키는 리볼버 구동부(144)를 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 리볼버 구동부(144)는 상기 후크들(143)을 상기 리볼버(140)의 접선 방향으로 왕복 운동시키기 위한 공압 실린더를 포함할 수 있다. 즉, 상기 공압 실린더에 의해 상기 후크들(143)이 왕복 운동함에 따라 상기 리볼버(140)가 회전될 수 있다.

또한, 상기 안내부재(126)의 타측에는 상기 태블릿들(2)을 상기 리볼버(140)의 수납홀들(142)에 수납하기 위한 푸셔(150)가 구비될 수 있으며, 상기 푸셔(150)는 상기 리볼버(140)의 회전에 대응하여 상기 태블릿들(2)을 하나씩 상기 수납홀들(142)에 수납시킬 수 있다.

한편, 상기에서는 공압 실린더인 리볼버 구동부(144)와 상기 후크들(143)을 이용하여 상기 리볼버(140)를 구동하지만, 이와 다르게 모터와 동력 전달 기구 등을 이용하여 리볼버(140)를 구동시킬 수도 있다.

또 한편으로, 상기 컨베이어(112)는 상기 호퍼(110) 내부의 태블릿들(2)을 제거하기 위하여 상기 정렬 유닛(120)과 반대되는 역방향으로 회전될 수 있으며 상기 컨베이어(112)의 타측에는 상기 태블릿들(2)을 배출하기 위하여 대략 플레이트 형태를 갖는 배출 부재(114)가 하방으로 경사를 갖도록 배치될 수 있다. 상기 컨베이어(112)는 상기 태블릿들(2)의 품목 교체가 필요한 경우 역방향으로 회전될 수 있으며 상기 배출 부재(114)를 통해 배출된 태블릿들(2)은 별도의 수납 용기(미도시)에 수납될 수 있다.

이어, 상기와 같이 리볼버(140)의 수납홀들(142)에 상기 태블릿들(2)이 수납된 후 압축 공기를 분사하여 상기 이송 튜브(300)를 통해 상기 태블릿들(2)을 순차적으로 이송할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 상기 리볼버(140)의 일측에는 상기 이송 튜브(300)의 일단부가 배치될 수 있으며 상기 리볼버(140)의 타측에는 상기 태블릿(2)을 이송하기 위하여 압축 공기를 분사하는 슈팅 유닛(160)이 배치될 수 있다. 상기 이송 튜브(300)의 일단부는 상기 리볼버(140)의 일측에 구비되는 브래킷(302)에 결합될 수 있으며, 상기 슈팅 유닛(160)과 상기 이송 튜브(300)의 일단부는 서로 마주하도록 배치될 수 있다.

상기 리볼버 구동부(144)에 의해 상기 수납홀들(142) 중 하나가 상기 슈팅 유닛(160)과 상기 이송 튜브(300) 사이에 배치된 후 상기 슈팅 유닛(160)은 상기 수납홀들(142) 중 하나에 수납된 태블릿(2)을 향하여 압축 공기를 분사할 수 있으며, 상기 태블릿(2)은 상기 압축 공기의 공기압에 의해 상기 이송 튜브(300)를 통해 이송될 수 있다. 이에, 상기 슈팅 유닛(160)은 압축 공기가 공급되도록 그 길이 방향을 따라 중심이 관통된 관통홀(164)을 갖는 슈팅 로드(162)를 포함할 수 있다. 또한, 일 예로서 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 슈팅 유닛(160)은 압축 공기 탱크(161)와 연결될 수 있으며, 상기 압축 공기를 분사하기 위한 노즐과 상기 압축 공기를 단속하기 위한 밸브 등을 포함할 수 있다.

이어, 상기 이송 튜브(300)를 통과한 태블릿(2)을 정지시키기 위하여 상기 태블릿(2)의 속도를 감속시킬 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 튜브(300)의 타측 단부는 상기 태블릿 수취 모듈(200)과 연결될 수 있으며, 상기 태블릿 수취 모듈(200)은 상기 이송 튜브(300)를 통과한 태블릿(2)을 수용하며 상기 태블릿(2)의 속도를 감속시켜 상기 태블릿(2)을 정지시킬 수 있다.

이에, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 이송 튜브(300)를 통과한 태블릿(2)은 상기 수취 유닛(210)에 수용될 수 있으며, 상기 수취 유닛(210) 내에서 감속되어 정지될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 다르면, 상기 수취 유닛(210)은 수직 방향으로 연장하는 실린더 형태를 갖는 수용부(212)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 수취 유닛(210)은 서로 다른 내경을 갖는 복수의 수용부들(212)과 상기 수용부들(212) 중 하나가 상기 이송 튜브(300)의 타측 단부 아래에 선택적으로 위치되도록 상기 수용부들(212)을 이동시키는 선택 구동부(214)와 상기 선택된 수용부(212)의 하단부에 배치되어 상기 이송 튜브(300)로부터 슈팅된 태블릿(2)의 슈팅 압력을 감압시켜 감속 정지시키기 위한 감압부(216)를 포함한다. 이때, 상기 수취 유닛(210)은 상기 이송 튜브(300)와 연통되는 연통홀(215)을 가지며, 이에 상기 감압부(216)는 상기 연통홀(215)의 하단부에 결합된 감압 플레이트(217) 및 상기 연통홀(215)의 개구된 단면적으로 조절하여 상기 태블릿(2)의 슈팅 압력을 감압시키기 위해 상기 감압 플레이트(217)를 이동시키는 감압 구동부(218)를 포함할 수 있다.

상기에서와 같이, 서로 다른 내경을 갖는 복수의 수용부들(212)에 형성된 연통홀(215)들을 선택적으로 사용함으로써 직경이 다른 다양한 종류의 태블릿들(2)의 공급이 가능해질 수 있다. 이때, 상기 이송 튜브(300)의 내경은 상기 태블릿들(2) 중 가장 큰 직경을 갖는 태블릿(2)에 대응하도록 제작될 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 압축 공기를 이용하여 상기 태블릿(2)을 이송하므로 상기 이송 튜브(300)의 내경에 비하여 상대적으로 작은 직경을 갖는 태블릿(2)의 경우에도 용이하게 이송이 가능하다.

상기 수용부들(212)은 상기 태블릿(2)의 직경에 따라 선택적으로 사용될 수 있으며, 상기 이송 튜브(300)를 통과한 태블릿(2)이 상기 선택된 수용부(212)로 진입된 후 상기 선택된 수용부(212) 내부에 상기 감압부(216)를 통하여 형성된 압력에 의해 상기 태블릿(2)의 속도가 감속될 수 있다. 특히, 상기 태블릿(2)이 상기 선택된 수용부(212)로 진입될 때 상기 선택된 수용부(212)의 연통홀(215)의 하단부는 상기 감압 플레이트(217)에 의해 닫힌 상태일 수 있으며, 이에 따라 상기 선택된 수용부(212)의 내부 압력에 의해 속도가 감소되며 이어서 상기 선택된 수용부(212)의 하부 내측에서 안정적으로 정지될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수용부들(212)의 하부에는 상기 클리닝부(220)가 연결될 수 있으며, 상기 클리닝부(220)는 상기 선택된 수용부(212)에 수납된 태블릿(2)의 표면 상에 잔류하는 분진을 제거할 수 있다. 일 예로서, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 클리닝부(220)는 상기 선택된 수용부(212)에서 수취한 태블릿(2)에 에어를 블로우시켜서 클리닝할 수 있다. 이와 달리, 상기 클리닝부(220)는 진공 펌프와 연결된 밸브와 상기 선택된 수용부(212)의 하부에 연결된 배기 배관을 포함할 수 있으며 상기 밸브의 개방에 의해 상기 분진이 흡입 및 제거될 수 있다.

이어, 상기와 같이 태블릿(2) 표면 상의 분진이 제거된 후 상기 몰딩 장치(50)로 상기 태블릿(2)을 공급할 수 있다. 일 예로서, 상기 태블릿(2)의 공급은 상기 도어(216)의 개방에 의해 이루어질 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 태블릿(2)을 공급하기 위하여 압축 공기와 이송 튜브(300)를 이용하므로 상기 태블릿(2)의 이송 과정에서 분진 발생이 크게 감소될 수 있다.

특히, 압축 공기를 이용하여 태블릿(2)을 이송하고 태블릿 수납부(212)의 내부 압력을 이용하여 상기 태블릿(2)을 감속 및 정지시킬 수 있으므로 진동 등의 물리적인 외력을 이용하는 종래 기술과 비교하여 상기 태블릿(2)의 손상이 크게 감소될 수 있다. 또한, 상기 태블릿(2)을 몰딩 장치(50)로 공급하기 전에 상기 태블릿(2) 표면에 잔류하는 분진을 제거하므로 상기 몰딩 장치(50)의 내부 오염을 크게 감소시킬 수 있다.

도 6은 도 1에 도시된 태블릿 공급 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.

도 6을 참조하면, 상기 수납 챔버(20)는 측면에 그 내부 공간을 개폐하는 측면 도어(30) 및 상기 내부 공간에 설치된 파티클 센서(26)와 상기 측면 도어(30)에 연결되어 상기 파티클 센서(26)에 의해서 상기 내부 공간의 오염도가 기 설정된 범위를 초과할 경우 상기 측면 도어(30)를 락킹하는 도어 제어부(32)를 포함한다.

또한, 상기 수납 챔버(20)의 내부에는 상기 측면 도어(30)가 개방되었을 경우에도 상기 태블릿 공급 모듈(100)로부터의 파티클이 외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 측면 도어(30)와 상기 태블릿 공급 모듈(100) 사이에 에어를 커튼 형태로 분사하는 에어 분사부(34)가 설치될 수 있다.

이와 같이, 상기 수납 챔버(30)의 내부에서도 작업자가 상기 태블릿 공급 모듈(100)의 호퍼(110)에 태블릿들(2)을 투입시킬 때에도 상기 수납 챔버(20)의 측면 도어(30)와 태블릿 공급 모듈(100) 사이에 상기 에어 분사부(34)를 통해서 에어를 커튼 형태로 분사함으로써, 상기 태블릿들(2)을 투입하는 공정 중에서도 상기 태블릿들(2)로부터 발생된 분진, 즉 파티클로부터 작업자를 보호할 수 있다.

이에 따라, 상기 태블릿으로부터 발생된 분진으로부터 작업자를 보호하여 이 분진에 의해서 작업자에게 건강상의 안 좋은 질환이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이때, 상기 수납 챔버(20) 내부의 오염도가 상기 파티클 센서(26)를 통해서 기 설정된 범위를 초과하는 경우 상기 배기부들(24)을 동작하여 상기 수납 챔버(20) 내부의 분진 즉 파티클을 충분히 제거한 후 상기 도어 제어부(32)를 통해 상기 측면 도어(30)가 개방되도록 제어할 수 있다.

한편, 상기 태블릿 공급 모듈들(100)은 상기 태블릿들(10)의 공급을 위하여 상기 측면 도어들(30)을 통해 내외측으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 태블릿 공급 모듈들(100)은 각각 수평 방향으로 이동 가능한 프레임(102; 도 2 참조)에 장착될 수 있으며, 상기 프레임들(102)은 상기 측면 도어들(30)을 통해 상기 수납 챔버(20)의 내외측으로 슬라이드 방식으로 이동될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 태블릿 공급 모듈들(100)에 상기 태블릿들(2)의 투입이 필요한 경우 상기 태블릿 공급 모듈들(100)은 상기 측면 도어들(30)을 통하여 외측으로 이동될 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

2 : 태블릿 10 : 태블릿 공급 장치
20 : 수납 챔버 22 : 제어부
24 : 배기부 26 : 파티클 센서
30 : 측면 도어 50 : 몰딩 장치
100 : 태블릿 공급 모듈 110 : 호퍼
112 : 컨베이어 114 : 배출 부재
120 : 태블릿 정렬 모듈 122 : 제1 롤러
124 : 제2 롤러 126 : 안내 부재
130 : 롤러 구동부 140 : 리볼버
150 : 푸셔 160 : 태블릿 슈팅 유닛
200 : 태블릿 수취 모듈 210 : 태블릿 감속 유닛
212 : 수납부 214 : 선택 구동부
216 : 하부 도어 218 : 도어 구동부
220 : 클리닝 유닛 300 : 이송 튜브

Claims

반도체 소자들의 몰딩을 위해 사용되는 태블릿을 상기 몰딩을 위한 적어도 하나의 몰딩 장치에 공급하는 적어도 하나의 태블릿 공급 모듈; 및
내부에 상기 태블릿 공급 모듈이 수납되어, 상기 태블릿 공급 모듈을 상기 몰딩 장치로부터 공간적으로 격리시키는 적어도 하나의 수납 챔버를 포함하는 태블릿 공급 장치.
제1항에 있어서, 상기 수납 챔버는
측면에 내부 공간을 개폐하는 측면 도어; 및
그 내부 공간에 설치된 파티클 센서 및 상기 측면 도어와 연결되며, 상기 파티클 센서에 의해서 상기 내부 공간의 오염도가 기 설정된 범위를 초과할 경우 상기 측면 도어를 락킹하는 도어 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제2항에 있어서, 상기 수납 챔버는 상기 파티클 센서와 연결되어 상기 내부 공간의 오염도가 상기 기 설정된 범위를 초과할 경우 상기 내부 공간을 배기시키는 흡입 배기부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제2항에 있어서, 상기 수납 챔버의 내부에는 상기 측면 도어가 개방되었을 경우에도 상기 태블릿 공급 모듈로부터의 파티클이 외부로 누출되는 것을 방지하기 위해 상기 측면 도어와 태블릿 공급 모듈 사이에 에어를 커튼 형태로 분사하는 에어 분사부가 설치된 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제1항에 있어서, 상기 태블릿 공급 모듈은 상기 수납 챔버의 외부로 슬라이딩 방식에 따라 분리 가능한 구조로 상기 수납 챔버에 수납된 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제1항에 있어서, 다수의 태블릿 공급 모듈들 각각이 수납된 다수의 수납 챔버들은 서로 도킹되는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제1항에 있어서, 상기 태블릿 공급 모듈은
다수의 태블릿들이 상부에서 투입되면서 하부로 배출되도록 구성된 호퍼;
상기 호퍼의 하부에 배치되며, 상기 호퍼의 하부로 떨어지는 태블릿들을 전달 받아 수평 방향으로 이송하는 컨베이어; 및
상기 컨베이어와 연결되며, 상기 컨베이어로부터 이송된 태블릿들을 압축 공기를 통해 개별적으로 이송 튜브로 슈팅하는 슈팅 유닛을 포함하며,
상기 이송 튜브를 통해 상기 슈팅 유닛과 연결되며, 상기 이송 튜브로부터 슈팅된 태블릿을 수취하면서 이를 반도체 소자를 몰딩하기 위한 몰딩 장치에 공급하는 태블릿 수취 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제7항에 있어서, 상기 태블릿 공급 모듈은 상기 컨베이어 및 상기 슈팅 유닛 사이에 연결되며 상기 컨베이어로부터 이송되는 태블릿들을 그 길이 방향을 따라 정렬하는 정렬 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제8항에 있어서, 상기 정렬 유닛은 서로 평행하게 배치된 제1 및 제2 롤러들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 롤러들 중 적어도 하나는 상기 태블릿들을 일측 방향으로 가이드하기 위하여 쐐기 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제7항에 있어서, 상기 슈팅 유닛은 각 태블릿을 푸싱하면서 상기 압축 공기가 공급되도록 그 길이 방향을 따라 중심이 관통된 관통홀을 갖는 슈팅 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제7항에 있어서, 상기 태블릿 공급 모듈은 상기 슈팅 유닛의 위치에 상기 태블릿들이 일정 개수만큼 슈팅 준비되도록 원주 방향을 따라 일정한 간격으로 다수의 수납홀들을 갖는 리볼버(revolver)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제11항에 있어서, 상기 리볼버는 원주 방향을 따라 상기 수납홀들의 개수만큼 일정한 간격으로 다수의 후크들을 가지며,
상기 태블릿 공급 모듈은 1회의 스트로크 동작을 통해서 상기 수납홀들의 위치가 하나씩 이동되도록 상기 후크를 이동시키는 리볼버 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제7항에 있어서, 상기 컨베이어는 상기 슈팅 유닛과 반대 방향을 따라 구동이 가능하며,
상기 태블릿 공급 모듈은 상기 컨베이어의 상기 슈팅 유닛과 반대되는 위치에서 상기 반대 방향을 따라 구동하는 컨베이어로부터 배출되는 태블릿들을 수납하면서 상기 수납 챔버로부터 외부로 분리되는 구조를 갖는 배출 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제7항에 있어서, 상기 태블릿 수취 모듈은 상기 이송 튜브로부터 슈팅된 태블릿의 슈팅 압력을 감압시키기 위한 감압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제14항에 있어서, 상기 태블릿 수취 모듈은 상기 이송 튜브와 연통되는 연통홀을 가지며,
상기 감압부는
상기 연통홀의 단부에 결합된 감압 플레이트; 및
상기 연통홀의 개구된 단면적을 조절하기 위하여 상기 플레이트를 이동시키는 감압 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.
제7항에 있어서, 상기 태블릿 수취 모듈은 상기 수취한 태블릿을 상기 몰딩 장치에 공급하는 부위에 에어를 상기 수취한 태블릿에 블로우시켜서 클리닝하는 클리닝부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태블릿 공급 장치.