KR20150001730A - 방전 램프를 갖춘 조명 장치 - Google Patents

방전 램프를 갖춘 조명 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 방전 램프는, 복수의 방전 램프와, 복수의 방전 램프로부터 조사되는 조명광의 조도를 검출하는 조도 검출부와, 검출되는 방전 램프의 조도에 근거해, 복수의 방전 램프에 대한 입력 전력을 조정하는 조도 제어부를 갖추고, 조도 제어부가, 복수의 방전 램프 중, 기준 조도치에 근거해 정해지는 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 허용 임계치와 기준 조도치 사이에 정해지는 로버스트 임계치를 향해 조도 변화하도록, 전력 조정한다.

Description

방전 램프를 갖춘 조명 장치{LIGHTING DEVICE PROVIDED WITH DISCHARGE LAMP}
본 발명은, 노광 장치 등에 사용되는 조명 장치에 관한 것으로, 특히, 방전 램프를 갖춘 조명 장치의 정조도(定照度) 점등에 관한 것이다.
노광 장치에는, 기판을 노광하기 위한 광원으로서 방전 램프가 일반적으로 사용되고 있으며, 최근에는, 복수의 방전 램프를 설치한 멀티 점등 방식의 조명 장치가 이용되고 있다. 조도 조정에 관해서는, 고해상도 패턴을 기판 전체에 형성하기 위해, 기판을 일정 조도로 얼룩 없게 조명하는 정조도 점등을 실시한다.
그 때문에, 방전 램프의 조도를 측정하는 조도계가 노광 장치에 설치되어 있으며, 노광 동작 전에 조도를 검출해, 기판에 대한 조도가 목표가 되는 조도치와 일치하도록, 방전 램프의 출력 조정을 실시한다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
전력 조정을 위해 램프 전력의 변경을 반복하면, 전극 선단부의 손모(損耗)가 증가해 전극 스패터(spatter) 현상이 생겨, 방전 램프의 수명이 저하한다. 이를 방지하는 점등 방식으로서, 단위 시간 당 전력치의 증가, 감소량을 소정치 이하로 억제하면서 램프 전력을 변화시키는 방법이 알려져 있다(특허 문헌 2 참조).
일본 특개 2010-72571호 공보 일본 특개 2001-257148호 공보
수은 등의 금속을 봉입한 방전 램프의 경우, 전력 변동에 의해 생기는 램프 방전 공간 내의 온도 변화는 순간적인 것이 아니며, 램프 온도에 따르는 봉입 금속의 증발량은, 시간차를 가지고 변화한다. 그 때문에, 램프 전력을 변경해도, 즉시 조도 변화가 생기는 것은 아니다. 그 때문에 조도는, 전력 조정 직후 불안정하게 된다.
게다가, 할로겐 물질이 봉입된 방전 램프의 경우, 할로겐 사이클에 의해 램프 조도가 불규칙하게 변화한다. 더욱이, 이 할로겐 사이클도 램프 온도에 영향을 받기 때문에, 램프 조도는 더욱 불안정한 궤적을 따라간다. 덧붙여, 복수의 방전 램프로부터 조사되는 조명광을 하나의 조도 검출부에서 검출하고, 복수의 방전 램프에 대해 전력 조정을 일괄적으로 실시했을 경우, 각 램프의 조도 변화 상태는 개별로 상이하며, 검출되는 조도는 매우 불안정한 궤적을 따라간다.
이와 같이 다양한 요인에 의해 조도가 불안정해지는 방전 램프에 대해, 전력 변동 후의 조도 변화를 예측해 램프 전력을 조정하는 것은 곤란하다. 이는, 램프 전력을 완만하게 단계 조정해도 마찬가지이다. 반대로, 이러한 전력의 단계적 변경을 반복하면, 램프 수명을 저하시키는 것과 동시에, 조도 조정에 시간이 소비된다. 특히, 멀티 점등 방식에서는 각 방전 램프의 조도 조정을 실시하기 때문에, 처리량(throughput) 향상을 크게 저해한다.
따라서, 정조도 점등 제어에 있어서, 불안정한 조도 변화를 일으키지 않도록 전력 조정하는 것이 요구된다.
본 발명의 조명 장치는, 노광 장치 등에 장비 가능하며, 복수의 방전 램프와, 복수의 방전 램프로부터 조사되는 조명광의 조도를 검출하는 조도 검출부와, 검출되는 방전 램프의 조도에 근거해, 복수의 방전 램프에 대한 입력 전력을 조정하는 조도 제어부를 갖춘다.
조도 검출부는, 복수의 방전 램프 각각의 조도를 검출하도록, 복수의 조도 검출 센서 등으로 구성해도 무방하고, 혹은 단체(單體)로 구성해도 무방하다. 게다가, 1개의 조도 검출부가 할당되는 각 방전 램프를, 복수의 램프군으로 구성하는 것도 가능하다. 어느 경우에 있어서도, 조도 제어부는, 전력 조정을 복수의 방전 램프에 대해, 별개가 아닌 일괄적으로 실시하는 것이 가능하다.
본 발명에서는, 조도 제어부가, 복수의 방전 램프 중, 기준 조도치에 근거해 정해지는 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 허용 임계치와 기준 조도치 사이에 정해지는 임계치(여기에서는, 로버스트(robust) 임계치라고 한다)를 향해 조도 변화하도록, 전력 조정한다.
여기서, 기준 조도치는, 가장 적절한 노광량을 얻는 것이 가능한 참조가 되는 조도치이며, 감광재의 감도 특성, 방전 램프의 특성 등에 의해 정해진다. 또한, 허용 임계치는, 감광 가능한 조도 범위의 한계치를 나타내고, 감광재의 감도 특성 등에 따른다. 한편, 로버스트 임계치는, 기준 조도치와 조도차가 있어도 노광에 있어 안정된 조도를 확보할 수 있는 범위의 임계치를 나타내고, 방전 램프, 감광재의 특성 등에 따른다.
로버스트 임계치를 베이스로 한 조도 변화가 되기 때문에, 어느 정도 조도치가 불안정한 궤적이 되었다고 해도 허용 임계치를 도중에 초과하지 않으며, 신속하고 적정한 조도치에 도달한다. 또한, 「로버스트 임계치를 향해 조도 변화시키는」제어는, 다양한 제어 방법에 따라 실현 가능하며, 피드백, 피드포워드(feedforward) 제어 등이 적용 가능하다. 제어 목표치를 로버스트 임계치로서 설정하는 것이 가능하고, 혹은, 로버스트 임계치 근방을 조도 목표 범위로 설정하는 것도 가능하다. 기준 조도치를 향해 제어되지 않는 범위에서 적절히 전력 조정을 실시하면 된다.
조도 제어부는, 미리 정해진 단위 시간 당 전력 변화량에 따라, 전력 조정하는 것이 가능하다. 전력 변화에 시간을 들이는 것으로, 조도 변화가 완만해진다. 혹은, 조도 제어부는, 순간적으로 전력 조정하는 것도 가능하다. 비교적 조도가 기준 조도치에서 벗어나지 않은 경우, 정조도 점등 제어를 신속하게 완료할 수 있다.
복수의 방전 램프를 전력 조정할 때, 특정의 방전 램프를 메인으로 하여 전력 조정하고, 이 전력 조정에 맞추어 다른 나머지의 방전 램프에 대해 전력 조정하는 것이 가능하다. 예를 들면, 조도 제어부는, 허용 임계치로부터의 조도차가 가장 큰 주조정 방전 램프에 대해, 로버스트 임계치를 향해 조도 변화하도록, 소정의 조정 시간을 들여 전력 조정한다. 그리고, 조도 제어부는, 다른 방전 램프 중 전력 조정이 필요하다고 결정된 방전 램프에 대해, 주조정 방전 램프의 조정 시간 내에서 전력 조정하는 것이 가능하다.
다른 방전 램프의 전력 조정 시간에 관해서는, 조도 제어부는, 다른 방전 램프 중 전력 조정이 필요하다고 결정된 방전 램프에 대해, 주조정 방전 램프의 조정 시간과 동일한 시간을 들여 전력 조정하는 것이 가능하다. 조도차가 비교적 작은 방전 램프에 대해 충분한 전력 조정 시간의 확보, 혹은, 단위 시간 당 전력 변화량의 억제를 실현함으로써, 불안정한 조도 변화를 억제하는 것이 가능하다.
조도 제어부는, 다른 방전 램프 중, 허용 임계치 이하의 조도치를 가지는 방전 램프에 대해서는, 전력 조정을 실시하지 않도록 할 수 있다. 또한, 조도 제어부가, 다른 방전 램프 중, 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 조도치가 허용 임계치 이하에 들어가도록, 전력 조정하는 것도 가능하다.
그 한편으로, 정조도 점등 제어를 정밀도 좋게 실행하는 것도 가능하다. 예를 들면, 조도 제어부는, 다른 방전 램프 중, 적어도 로버스트 임계치 이하의 조도를 가지는 방전 램프에 대해, 기준 조도치를 향해 조도 변화하도록, 전력 조정할 수 있다.
또한, 조도 제어부는, 다른 방전 램프 중 전력 조정이 필요하다고 결정된 방전 램프에 대해, 주조정 방전 램프에서 미리 정해진 단위 시간 당 전력 변화량과 동일한 전력 변화량에 의해 전력 조정하는 것이 가능하다.
그런데, 노광 대기 시간이 길면, 그 사이에 경시(經時) 변화 등에 의해 조도가 크게 변화하고 있을 가능성이 높다. 그 때문에, 조도 제어부는, 노광 대기 중이며, 노광 기간보다 노광 대기 시간이 긴 경우, 복수의 방전 램프에 대해 전력 조정을 실행하는 것이 가능하다.
이 구성에 주목하면, 전력 조정을 제어하는 구성에 관해서는, 다양한 제어 내용을 임의로 적절히 설정 가능하다. 이 경우, 조명 장치는, 방전 램프와, 방전 램프로부터 조사되는 조명광의 조도를 검출하는 조도 검출부와, 검출되는 방전 램프의 조도에 근거해, 상기 복수의 방전 램프에 대한 입력 전력을 조정하는 조도 제어부를 갖추고, 조도 제어부는, 노광 대기 중이며, 노광 기간보다 노광 대기 시간이 긴 경우, 복수의 방전 램프에 대해 전력 조정을 실행한다.
조명 장치의 구성으로서는, 소정 수(1개 혹은 복수)의 방전 램프를 수납하는 광원 유닛을 마련하는 것이 가능하다. 예를 들면, 광원 유닛은, 각 방전 램프의 주위에 배치되는 리플렉터(reflector)와, 유닛 하우징의 방전 램프 반대 측에 배치되는 팬과, 광원 유닛 내에 형성된 격벽에 방전 램프를 관통시킨 상태에서 방전 램프를 보지하는 램프 보지부를 가진다.
이러한 광원 유닛의 경우, 유닛 내에 램프로부터의 방열이 모여, 냉각이 불충분하게 될 우려가 있다. 특히, 복수의 방전 램프를 유닛 내에 장착시킨 경우, 현저해진다. 그래서, 램프 보지부에, 상기 격벽을 사이에 두고 형성되는 방전 램프측 공간과 팬측 공간을 연통시키는 통기구를 마련하는 것이 가능하다.
이 구성에 주목하면, 전력 조정을 제어하는 구성에 관해서는, 다양한 제어 내용을 임의로 적절히 설정 가능하다. 이 경우, 조명 장치는, 소정 수(1개 혹은 복수)의 방전 램프를 수납하는 광원 유닛을 가지며, 광원 유닛은, 각 방전 램프의 주위에 배치되는 리플렉터와, 유닛 하우징의 방전 램프 반대 측에 배치되는 팬과, 광원 유닛 내에 형성된 격벽에 방전 램프를 관통시킨 상태에서 방전 램프를 보지하는 램프 보지부를 가지고, 램프 보지부가, 격벽을 사이에 두고 형성되는 방전 램프측 공간과 팬측 공간을 연통시키는 통기구를 마련한다.
본 발명의 다른 국면에서의 노광 장치는, 복수의 방전 램프 각각으로부터 조사되는 조명광의 조도를 검출하는 조도 검출 수단과, 검출되는 각 방전 램프의 조도에 근거해, 복수의 방전 램프에 대한 입력 전력을 조정하는 조도 제어 수단으로서 기능시키는 프로그램에 있어서, 복수의 방전 램프 중, 기준 조도치에 근거해 정해지는 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 허용 임계치와 기준 조도치 사이에 정해지는 로버스트 임계치를 향해 조도 변화하게 전력 조정하도록, 조도 제어 수단으로서 기능시킨다.
본 발명의 다른 국면에서의 조명 방법은, 복수의 방전 램프 각각으로부터 조사되는 조명광의 조도를 검출하고, 검출되는 각 방전 램프의 조도에 근거해, 복수의 방전 램프에 대한 입력 전력을 조정하는 조명 방법에 있어서, 복수의 방전 램프 중, 기준 조도치에 근거해 정해지는 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 허용 임계치와 기준 조도치 사이에 정해지는 로버스트 임계치를 향해 조도 변화하도록 전력 조정한다.
본 발명에 의하면, 조명 장치에서 불안정한 조도 변화를 일으키지 않도록, 정조도 점등 제어를 실시할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태인 노광 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 조명 장치의 구성 요소를 나타낸 도면이다.
도 3은 광원 유닛의 내부 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 조명 장치에 관련된 제어부의 블록도이다.
도 5는　제어부에서 실행되는 정조도 점등 제어를 나타낸 흐름도이다.
도 6은 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다.
도 7은 제2 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다.
도 8은 제3 실시 형태에서의 정조도 점등 제어를 나타낸 흐름도이다.
도 9는 제3 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다.
도 10은 제4 실시 형태에서의 정조도 점등 제어를 나타낸 흐름도이다.
도 11은 제4 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다.
도 12는 제5 실시 형태에서의 정조도 점등 제어를 나타낸 흐름도이다.
도 13은 제5 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다.
도 14는 제6 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다.
이하에서는, 도면을 참조해 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.
도 1은, 제1 실시 형태인 노광 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
노광 장치(묘화 장치)(10)는, 포토 레지스트(photo resist) 등의 감광 재료를 도포 혹은 붙인 기판(SW)에 대해, 조명광을 투영해 패턴을 형성하는 노광 장치이며, 게이트 형상 구조체(12), 기대(基坮)(14)를 갖춘다. 기대(14)에는, 묘화 테이블(18)을 지지하는 X-Y 스테이지 구동 기구(여기에서는, 도시하지 않음)가 탑재되고, 묘화 테이블(18) 상에 기판(SW)이 설치되어 있다.
묘화 장치(10)는, 노광 제어부(여기에서는 도시하지 않음)를 갖추고 있으며, 묘화 제어부에 의해 노광 동작이 실행, 제어된다. 게이트 형상 구조체(12)에는, 기판(SW)의 표면에 패턴을 형성하는 노광 헤드(20)가 설치되고, 지지 부재(도시하지 않음)에 부착되어 있다. 또한, 게이트 형상 구조체(12)의 상부에는, 조명 장치(16)가 배치되어 있다.
조명 장치(16)로부터 방사된 조명광은, 조명 광학계(도시하지 않음)를 통해 노광 헤드(20)에 유도된다. 노광 헤드(20)는, DMD(Digital Micro-mirror Device)를 갖추고 있으며, 미소(微小) 직사각형 형상 마이크로 미러(mirror)가 매트릭스 형상으로 2 차원 배열되어 있다. 각 마이크로 미러는, 묘화 데이터에 근거해 ON/OFF 제어된다.
묘화 테이블(18)이 주사 방향을 따라 이동하는 데 수반하여 노광 동작이 실행되고, 소정의 노광 피치에서 각 마이크로 미러가 ON/OFF 제어된다. 기판(SW)을 상대 이동시키면서 래스터 주사(raster scan)를 순서대로 실시하는 것에 의해, 패턴이 기판 전체에 형성되어 간다.
도 2는, 조명 장치의 구성 요소를 나타낸 도면이다. 도 3은, 광원 유닛의 내부 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 2, 3을 이용해, 조명 장치에 대해 설명한다.
조명 장치(16)는, 2개의 쇼트 아크형 방전 램프(32A, 32B)(이하, 제1 방전 램프, 제2 방전 램프라고 한다)를 설치한 광원 유닛(19)을 갖춘다. 여기에서는, 수은량이 0.15(mg/mm3) 이상 봉입되어 있는 초고압형 수은 램프가 방전 램프로서 사용되고 있다.
제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)의 주위에는, 리플렉터가 되는 리플렉터(34A, 34B)가 배치되어 있다. 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)는, 각각 리플렉터(34A, 34B)의 한쪽의 초점 부근에 위치한다.
조명 광학계(35)는, 광로상, 리플렉터(34A, 34B)의 다른 한쪽의 초점에 위치한다. 그 때문에, 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)로부터 방사된 조명광은, 반사경(33)을 통해, 타원경(34A, 34B)의 반사에 의해 조명 광학계(35)에 집광된다.
제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)로부터 각각 방사된 조명광은, 플라이아이(fly-eye) 렌즈 등의 조명 광학계(35)에 의해 합성되어, 균일한 강도를 가지고, 공간적으로 균일한 광속으로 구성된 조명광이 된다. 조명 광학계(35)로부터 사출된 광은, 반사경(36)에 의해 평행광으로 수정되어, 노광 헤드(20) 내에 설치된 DMD의 방향으로 유도된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 광원 유닛(19)은, 하우징(19H) 내에 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)를 병렬시킨 내부 구조로 되어 있으며, 격벽(45)에 의해 내부 공간(19S1, 19S2)이 구획되어 있다. 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)는, 그 광 방사 방향이 하우징(19H)의 개구부를 향하도록 배치되어 있다.
격벽(45)에는, 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)를 통과시키기 위한 관통공이 형성되어 있고, 격벽(45)에 부착 고정된 보지부(17A, 17B)는, 그 관통공으로부터 하우징 후방측으로 돌출하는 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)를 보지한다.
하우징(19H)의 후방부(여기에서는, 후단면임)에는, 배기용 팬(19A)이 부착되어 있다. 단, 배기용 팬(19A)은, 하우징(19H)의 후방 측면에 배치해도 무방하다. 배기용 팬(19A)이 회전하면, 광 방사 방향, 혹은 하우징(19H)의 통기구(19D)를 통해 공기가 유입되어, 리플렉터(34A, 34B)와 방전 램프(32A, 32B)의 틈새 및 격벽(45)의 관통공을 빠져 나간다. 그 결과, 방전 램프측의 공기가 하우징(19H) 내의 공간(19S2)으로 유입된다.
보지부(17A, 17B)에는, 격벽 표면 방향에 따른 통기구(47A, 47B)가 형성되어 있다. 배기용 팬(19A)이 회전하면, 공기가 통기구(47A, 47B)를 지나 팬측으로 흐른다. 그 결과, 보지부(17A, 17B) 저면 전체에 냉각풍이 맞아, 난류가 생긴다. 이에 따라, 방전 램프의 열 방출에 치우침이 없고, 방전 램프 전체를 균등하게 냉각하는 것이 가능해진다. 이는, 램프 수명의 균일화를 가져온다.
도 4는, 조명 장치에 관련된 제어부의 블록도이다.
제어부(42)는, 노광 작업 중에 있어서 조명 동작을 제어해, 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B) 각각의 조명광의 조도, 및 기판(SW)에 조사되는 조명광 전체의 조도를 조정한다. 제어부(42)의 ROM에는, 조명 제어에 관한 프로그램이 미리 격납되어 있다.
램프 전원(44A, 44B)은, 각각 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)에 전력을 공급한다. 또한, 조도계(46A, 46B)는, 각각 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)로부터 방사되는 조명광의 조도를 검출한다. 제어부(42)는, 램프 점등의 조작이 수행되면, 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)에 전력 공급을 개시한다. 그리고, 공급 전력의 값, 및 검출된 조도의 값에 근거해, 공급 전력을 조정, 제어한다.
제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)는, 각각이 복수의 램프로 이루어진 램프군으로서 구성하여, 각 램프군에 대해 일괄적으로 전력 조정을 실시해도 무방하다. 이 경우는 조도계(46A, 46B)는, 각각 제1, 제2 방전 램프(32A, 32B)에 상당하는 각 램프군으로부터 방사되는 조명광의 조도를 검출한다.
도 5는, 제어부에서 실행되는 정조도 점등 제어를 나타낸 흐름도이다. 도 6은, 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다. 도 5, 6을 이용해, 정조도 점등 제어에 대해 설명한다.
기판에 대한 노광 동작(묘화 처리) 개시의 신호가 있으면, 노광 개시 전에 조도 조정하기 위해, 각 방전 램프(32A, 32B)의 조도가 계측된다(S101, S104). 그리고, 계측된 조도가, 전력 조정이 필요한 조도인지 아닌지가 판단된다(S105).
여기서, 도 6을 이용하면서 조도 판정에 대해 설명한다. 우선, 기판 표면에 형성된 감광 재료의 감도 등에 따라, 감광하는데 적절한 기준 조도치(RL)가 결정된다. 이 기준 조도치(RL)이외에도, 2개의 임계치(TN), 임계치(TM)가 설정되어 있다.
임계치(TM1, TM2)는, 기준 조도치(RL)로부터 조도차가 있어도 감광 가능한 조도 범위의 상한치, 하한치를 나타낸다(이하, 허용 임계치라고 한다). 이 허용 조도치(TM1, TM2)는, 방전 램프의 광강도, 감광재의 감광 특성, 필요하게 되는 패턴 해상도 등에 따라 정해진다. 이하에서는, TM1, TM2를 단지 허용 임계치(TM)라고 칭하는 경우가 있다.
한편, 임계치(TN1, TN2)에 대해서는, TN1이, 기준 조도치(RL)와 허용 임계치(TM1) 사이에 정해지는 임계치이며, TN2가, 기준 조도치(RL)와 허용 임계치(TM2) 사이에 정해지는 임계치이다. 이 임계치(TN1, TN2)는, 안정된 조도 변화를 실현 가능한 전력 조정을 실시하기 위해 설정되어 있다(이하, 로버스트 임계치라고 한다). 이하에서는, TN1, TN2를 단지 로버스트 임계치(TN)라고 칭하는 경우가 있다.
일반적으로, 전력 변동에 의해 방전 램프의 온도는 곧바로 변화하지 않고, 전력 변동의 효과가 조도로서 나타날 때까지 타임 러그가 있다. 또한, 수은 등의 할로겐 물질을 봉입한 방전 램프의 경우, 할로겐 사이클에 의해 불규칙한 조도 변동이 생기고, 게다가, 이 할로겐 사이클은, 램프 온도의 변화에 따라서도 변동한다.
이와 같이 다양한 요인에 의해 변화하는 조도는, 불안정하게 천이하며, 전력을 실질적으로 선형으로 변동시켰다 하더라도, 조도 변동은 불규칙하게 되어, 흔들림이 존재한다. 따라서, 전력 변동량에 따른 조도 변화를 예측해, 이를 제어에 도입하는 것은 곤란을 동반한다.
그래서 본 실시 형태에서는, 전력 변화에 따른 조도의 불안정한 변동을 고려해, 조도의 흔들림이 있어도 노광 가능한 허용 임계치(TM)를 벗어나지 않도록, 엄격하지 않은(어느 정도 대략적인) 목표치로서 로버스트 임계치(TN)를 설정한다. 로버스트 임계치(TN)는, 사용되는 방전 램프의 특성 등에 따라 경험적, 및/혹은 정성적 이론에 따라 정해진다.
또한, 계측 조도치가 로버스트 임계치(TN)와 허용 임계치(TM)와의 범위 내에 있거나, 혹은 로버스트 임계치(TN) 이하인 경우, 전력 조정을 실시하면, 조도 변동의 흔들림 폭이 허용 임계치(TM)를 초과할 가능성이 크다. 만일, 전력 변동을 실시하지 않아도, 조도치가 허용 임계치(TM) 이하이기 때문에, 감광에는 영향을 미치지 않는다.
그 때문에, 스텝(S105)에서는, 계측된 조도치가 허용 임계치(TM)를 초과하는지 아닌지에 따라, 전력 변경 여부를 결정한다. 기준 조도치(RL)보다 조도치가 작은 경우에 대해서도 마찬가지로 판정한다. 계측 조도치가 허용 임계치(TM)를 초과하는 방전 램프가 존재하는 경우, 스텝(S106)에서 전력 조정을 실시한다.
스텝(S106)에서는, 로버스트 임계치(TN)를 목표치로 하여 전력 증가, 혹은 전력 감소를 실시하는 것과 동시에, 소정 시간(J)에 걸쳐 실질 선형으로 전력 변화시킨다. 단위 시간 당 전력 변화량은, 로버스트 임계치(TN)와 계측된 조도치의 차이에 따라 정해진다. 이 변화량이 정해짐으로써, 소정 시간(J)이 정해진다.
도 6에서는, 계측된 방전 램프(32A)의 조도치(P1), 방전 램프(32B)의 조도치(P2)가 도시되어 있다. 방전 램프(32A)의 조도는, 경시 변화 등을 원인으로서 허용 임계치(TM)에서 벗어나 있다. 한편, 방전 램프(32B)의 조도는, 기준 조도치(RL)에 대해 로버스트 임계치(TN)를 초과하는 조도차가 존재하지만, 그 차이는 허용 임계치(TM) 이하에 들어가 있다.
그 때문에, 방전 램프(32A)에 대해, 로버스트 임계치(TN)를 향해 조도 변화하도록, 전력 조정(도 6에서는 전력 저하)이 소정 시간(J)에 걸쳐 실시된다. 한편, 방전 램프(32B)에 대한 전력 조정은 실시되지 않는다. 방전 램프(32B)의 조도치가, 파선(P')으로 나타낸 것처럼 로버스트 임계치(TN) 이하가 되는 경우도 마찬가지이다.
도 6에는, 전력 저하에 의해 생기는 조도 변동의 양상을 나타내고 있다. 어느 정도 불규칙한 조도 변화가 일어나지만, 로버스트 임계치(TN)를 목표치로 하고, 게다가 소정 시간(J)에 걸쳐 일정한 변화율로 전력을 변동하기 때문에, 조도의 변동폭은 비교적 작다. 따라서, 전력 조정 후의 조도치가 과도적으로 기준 조도치(RL)를 초과하거나, 혹은 허용 임계치(TM)를 초과하는 경우도 없다.
또한, 도 6에서 나타내는 방전 램프(32A)의 조도 변화는 일례이며, 사용 상황 등에 따라 그 조도 변화는 다양하다. 그렇지만, 어느 조도 변화여도, 조도 변화의 과정에서 허용 임계치(TM)를 초과하는 경우는 없다.
피드백 제어를 실시하기 위해, 소정 시간(J)에 걸친 전력 조정이 실시되면, 다시 스텝(S105)로 돌아가 전력 조정이 실시된다. 그리고, 방전 램프(32A, 32B)의 조도 양쪽 모두 허용 임계치(TM) 이하가 될 때까지 전력 조정이 계속된다(S105, S106).
방전 램프(32A, 32B)의 조도가 양쪽 모두 허용 임계치(TM) 이하가 되면, 전력 조정은 노광 종료까지 실시되지 않는다(S107). 노광 기간은, 1매의 기판, 혹은 동일한 종류의 기판을 연속해서 제조하는 작업 기간 등, 노광 장치의 사용 상황 등에 따라 다양하다. 노광 종료가 되면, 다음 노광 동작이 개시될 때까지 대기 상태가 된다(S101).
이 노광 대기 상태가, 노광 기간보다 긴 경우, 노광 동작이 개시되지 않아도, 전력 조정을 한다(S102, S103). 이에 따라, 노광 대기 시간이 매우 길고, 방전 램프의 경시 변화가 생겼다고 해도, 다음번의 전력 조정 시에 크게 전력을 증가, 저감할 필요가 없고, 전력 조정 시의 조도 변동폭을 억제할 수 있다.
이와 같이 본 실시 형태에 따르면, 정조도 점등 제어를 실시하는 경우, 방전 램프(32A, 32B)의 조도를 측정하고, 각 방전 램프의 측정된 조도가, 허용 임계치(TM)를 초과하는지 아닌지가 판단된다. 허용 임계치(TM)를 초과한다고 판단되면, 정해진 단위 시간 당 전력 변화량에 따라, 소정 시간(J)을 들여 전력 조정을 실시한다.
이에 따라, 전력 변경 후에 조도가 과도적으로 불규칙한 변화가 되어, 허용 임계치(TM)를 초과하는 조도 변동폭이 되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 제어 목표가 완만하기 때문에, 실질적으로 1회의 전력 조정만으로 정조도 점등 제어를 끝내는 것이 가능하고, 램프 전극의 마모를 억제할 수 있다. 게다가, 전력을 선형으로 변화시키면서 전력 조정하기 때문에, 램프 온도가 급격하게 변화하지 않고, 안정된 조도 변화를 초래할 수 있어, 그 결과 램프 수명이 늘어난다.
특히, 각 방전 램프가 실제로는 복수의 소램프군에 의해 구성되고, 1개의 조도계로 램프군 전체로부터 조사되는 광의 조도를 측정하는 경우, 전력 변동에 따른 조도 변화는 보다 복잡하고, 예측은 매우 곤란하다. 그렇지만, 본 실시 형태에 따르면, 1개의 조도계로 복수의 광원부로부터 조사되는 광의 조도를 검출해도, 적절한 조도 변화를 시키는 것이 가능하고, 또한, 전력 조정을 일괄적으로 실시하기 때문에, 신속하고 적절하게 전력 조정할 수 있다.
또한, 전력 조정에 있어서는, 램프 입력 전력 자체를 직접 조정하는 데 한정되지 않고, 전류치에 따라 조정하는 것도 가능하다. 그리고, 허용 임계치, 로버스트 임계치에 대해서도, 사용 조건 등을 감안해 적절히 설정하면 된다. 그리고, 조도 계측에 대해서는, 2개의 방전 램프의 조도를 1개의 조도계로 계측해도 된다.
또한, 제어 방법에 대해서도, 피드백 제어, 피드포워드 제어 양쪽 모두 가능하다. 게다가, 로버스트 임계치를 직접 목표치로 하지 않고, 조도 변화가 로버스트 임계치를 향해 생기도록(기준 조도치까지는 조준하지 않는다) 파라미터 제어해도 무방하다.
다음으로, 도 7을 이용해, 제2 실시 형태인 노광 장치에 대해 설명한다. 제2 실시 형태에서는, 전력 변동을 순간적으로 조정한다. 여기서 순간적이란, 미리 정해진 단위 시간 당 전력 변화량에 상관없이, 수 초 미만의 기간에 전력을 조정하는 것을 말한다. 그 이외의 구성에 대해서는, 실질적으로 제1 실시 형태와 동일하다.
도 7은, 제2 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다.
제2 실시 형태에서는, 전력 조정할 필요가 있는 방전 램프에 대해, 전력을 순간적으로 바꾼다. 이 전력 변경은, 매우 단시간에 실시된다. 그 결과, 조도 변동폭은 어느 정도 커지지만, 로버스트 임계치를 향해 조도 저하시키기 때문에, 불규칙한 조도 변화가 있어도 허용 임계치(TM)를 초과하는 조도 변화는 생기지 않는다. 이에 따라, 조도차가 큰 방전 램프에 대해서는, 단시간에 전력 조정을 종료시키는 것이 가능해진다.
다음으로, 도 8, 9를 이용해, 제3 실시 형태인 노광 장치에 대해 설명한다. 제3 실시 형태에서는, 조도치가 허용 조도치 이하여도 로버스트 임계치를 초과하고 있는 경우, 전력 조정을 실시한다. 그 이외의 구성에 대해서는, 실질적으로 제1 실시 형태와 같다.
도 8은, 제3 실시 형태에서의 정조도 점등 제어를 나타낸 흐름도이다. 도 9는, 제3 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다. 또한, 도 8의 흐름도에서는, 노광 대기 상태에서의 처리 등, 제1 실시 형태와 동일한 부분에 대해서는 생략하고 있다. 또한, 방전 램프 및 조도계는, 5개 배치되는 것으로 한다.
각 방전 램프의 조도가 계측되면(S201), 그 중에 허용 임계치(TM) 초과의 조도치를 가지는 방전 램프가 존재하는지 여부가 판단된다(S202). 허용 임계치(TM) 초과의 조도치를 가지는 방전 램프가 존재하는 경우, 조도치가 로버스트 임계치(TN)보다 큰 램프가 존재하는지 여부가 판단된다(S203).
조도치가 로버스트 임계치(TN)를 초과하고 있는 방전 램프가 존재하지 않는 경우, 즉, 나머지 방전 램프가 로버스트 임계치(TN) 이하인 경우, 허용 임계치 초과의 방전 램프만 전력 조정을 한다(S205). 한편, 조도치가 로버스트 임계치(TN)를 초과하는 방전 램프가 존재하는 경우, 로버스트 임계치(TN)를 향해 조도가 변화하도록 전력 조정을 한다(S204).
도 9에는, 5개의 방전 램프에 대한 계측 조도치(P1~P5)를 나타내고 있다. 조도치(P1, P5)를 가지는 방전 램프에 대해서는, 제1 실시 형태와 동일한 전력 조정을 실시한다. 즉, 로버스트 임계치(TN)를 목표치로 하여 전력 변동시킨다.
다만, 전력 조정을 실시하는 소정 기간(J), 즉 단위 시간 당 전력 변화량은, 상대적으로 조도차가 가장 큰 조도치(P1)의 방전 램프에 근거해 정해진다. 조도치(P5)의 방전 램프에 대한 단위 시간 당 전력 변화량은, 먼저 정해진 소정 시간(J)에 따라 결정된다. 그 때문에, 조도치(P5)의 방전 램프에서의 전력 변화량은, 조도치(P1)의 방전 램프에 대한 전력 변동량보다 작다. 그 결과, 조도 변화도 비교적 완만해진다.
그리고, 조도치가 허용 임계치(TM)보다 기준 조도치(RL) 측이지만, 로버스트 임계치(TN)보다 허용 임계치(TM) 측인 P2, P4의 방전 램프에 대해, 전력 조정을 한다. 이 때의 전력 변동에 관해서는, 먼저 정해진 소정 시간(J)에 따라 단위 시간 당 전력 변화량을 정하고, 그 완만한 전력 변화량에 따라 전력을 변경한다. 조도치(P3)의 방전 램프에 대해서는, 전력 조정을 실시하지 않는다.
조도치(P2, P4, P5)의 방전 램프에 대해, 조도치(P1)의 방전 램프와 동일한 소정 시간(J)을 들여 전력 변화시키기 때문에, 전력 변화량은 더욱 완만한 것이 되어, 조도 변동도 완만하게 된다. 또한, 전력 조정에 의해 각 방전 램프의 조도치가 기준 조도치에 가까워지기 때문에, 다음번의 정조도 점등 제어 때, 큰 전력 변경을 할 필요가 없다.
다음으로, 도 10, 11을 이용해, 제4 실시 형태인 노광 장치에 대해 설명한다. 제4 실시 형태에서는, 조도치가 허용 임계치를 초과하는 방전 램프가 복수 있는 경우, 최대 조도차의 방전 램프 이외에 대해, 완만하게 조도 변경한다. 그 이외의 구성에 대해서는, 제1 실시 형태와 실질적으로 동일하다.
도 10은, 제4 실시 형태에서의 정조도 점등 제어를 나타낸 흐름도이다. 도 11은, 제4 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다. 여기에서는, 4개의 방전 램프가 배치되어 있는 것으로 한다.
각 방전 램프의 조도가 계측되면(S301), 그 중에 허용 임계치(TM) 초과의 조도치를 가지는 방전 램프가 존재하는지 여부가 판단된다(S302). 허용 임계치(TM) 초과의 조도치를 가지는 방전 램프가 존재하지 않는 경우, 전력 조정은 실시되지 않는다.
한편, 허용 임계치(TM) 초과의 조도치를 가지는 방전 램프가 존재하는 경우, 기준 조도치(RL)에 대해서 최대 조도차를 가지는 방전 램프인지 여부가 판단된다(S303). 최대 조도차가 있는 방전 램프의 경우, 정해진 전력 변동량에 따라 전력 조정을 한다(S304). 최대 조도차가 아닌 방전 램프에 대해서는, 허용 임계치(TM) 이하로 조도가 들어가도록, 전력 조정을 한다(S305).
도 11에 도시한 바와 같이, 최대 조도차가 있는 조도치(P1)의 방전 램프에 대해, 제1 실시 형태와 동일한 전력 조정을 한다. 한편, 최대 조도차를 갖지 않는 조도치(P4)의 방전 램프에 대해서는, 로버스트 임계치(TM)를 목표로 하지 않고, 허용 임계치(TM)에 조도가 들어가도록, 소정 시간(J)을 들여 전력 조정을 한다(S305).
이 때의 단위 시간 당 전력 변화량은 비교적 작은 변화량으로 설정된다. 따라서, 전력 변동량은 로버스트 임계치(TN)를 목표로 하여 설정되는 값보다, 충분히 작다. 그 결과, 조도치(P4)의 방전 램프의 조도 변화는, 조도치(P1)의 방전 램프와 비교해 매우 완만해진다.
이와 같이 1개의 방전 램프에 대해서만 조도 변동폭을 갖게 하고, 그 이외는 조도 변화를 완만하게 함으로써, 전력 조정을 단기간에 종료할 수 있다.
다음으로, 도 12, 13을 이용해, 제5 실시 형태인 노광 장치에 대해 설명한다. 제5 실시 형태에서는, 기준 임계치와의 조도차를 해소하도록, 각 방전 램프에 대해서 전력 조정을 한다. 그 이외의 구성에 대해서는, 제1, 2의 실시 형태와 동일하다.
도 12는, 제5 실시 형태에서의 정조도 점등 제어를 나타낸 흐름도이다. 도 13은, 제5 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다. 여기에서는, 3개의 방전 램프가 배치되어 있는 것으로 한다.
각 방전 램프의 조도가 계측되면(S401), 그 중에 허용 임계치(TM) 초과의 조도치를 가지는 방전 램프가 존재하는지 여부가 판단된다(S402). 허용 임계치(TM) 초과의 조도치를 가지는 방전 램프가 존재하는 경우, 나머지 방전 램프에 대해, 로버스트 임계치(TN) 초과의 램프가 존재하는지 여부가 판단된다(S403). 그리고, 로버스트 임계치(TN) 초과의 램프가 존재하는 경우, 로버스트 임계치(TN)를 향해 전력 조정을 한다(S404).
한편, 로버스트 임계치(TN) 이하의 방전 램프에 대해서는, 조도가 기준 조도치(RL)와 일치하는지 여부가 판단된다(S405). 조도가 기준 조도치(RL)와 일치하지 않는 경우, 기준 조도치(RL)를 향해 조도 변화하도록 전력 조정을 한다(S406).
도 13에서는, 조도치(P1, P2, P3)의 방전 램프에 대한 조도 변화를 나타내고 있다. 모든 방전 램프에 대해 전력 조정이 실시되고 있으며, 기준 조도치와의 조도차가 작아질수록, 조도 변화가 완만해진다. 이와 같이 모든 방전 램프에 대해 전력 조정을 실시하는 것에 의해, 다음번의 정조도 점등 제어 시, 크게 전력 변동할 필요가 없어진다.
다음으로, 도 14를 이용해, 제6 실시 형태인 노광 장치에 대해 설명한다. 제6 실시 형태에서는, 모든 방전 램프에 대해, 동일한 전력 변화량에 따라 전력 조정을 실시한다. 그 이외의 구성에 대해서는, 제1, 5의 실시 형태와 실질적으로 동일하다.
도 14는, 제6 실시 형태에서의 전력 조정에 의한 조도 변화를 나타낸 도면이다.
조도(P1)의 방전 램프에 대해, 미리 정해진 단위 시간 당 전력 변화량에 근거해, 소정 기간(J)을 걸쳐 전력 조정을 한다. 그와 동시에, 조도(P2, P3)의 방전 램프에 대해서도, 동일한 전력 변화량에 따라 전력 조정이 실시된다.
또한, 제3~6의 실시 형태에서는, 허용 임계치(TM) 초과의 방전 램프가 존재하는 것을 전제로 하여, 나머지 방전 램프의 전력 조정을 실시하는지 여부를 결정하고 있으나, 이를 전제로 하지 않고 방전 램프의 전력 조정을 하는 것도 가능하다.
본 발명에 관해서는, 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 의도 및 범위에서 벗어나지 않게, 다양한 변경, 치환, 대체가 가능하다. 게다가, 본 발명에서는, 명세서에 기재된 특정의 실시 형태의 프로세스, 장치, 제조, 구성물, 수단, 방법 및 스텝에 한정되는 것을 의도하지 않는다. 당업자라면, 본 발명의 개시로부터, 여기에 기재된 실시 형태가 가져오는 기능과 동일한 기능을 실질적으로 달성하고, 또는 동등의 작용, 효과를 실질적으로 가져오는 장치, 수단, 방법을 이끌어낼 수 있음을 인식할 것이다. 따라서, 첨부한 청구범위는, 그러한 장치, 수단, 방법의 범위에 포함되는 것이 의도되고 있다.
본원은, 일본 출원(특원 2012-077809호, 2012년 3월 29일 출원)을 기초 출원으로서 우선권 주장하는 출원이며, 기초 출원의 명세서, 도면 및 청구범위를 포함한 개시 내용은, 참조하는 것에 의해 본원 전체에 포함되어 있다.
10: 노광 장치
16: 조명 장치
17A, 17B: 보지부
19: 광원 유닛
20: 노광 헤드
32A, 32B: 방전 램프
42: 제어부
47A, 47B: 통기구
RL: 기준 조도치
TM: 허용 임계치
TN: 로버스트 임계치

Claims (16)

  1. 복수의 방전 램프와,
    상기 복수의 방전 램프로부터 조사되는 조명광의 조도를 검출하는 조도 검출부와,
    검출되는 방전 램프의 조도에 근거해, 상기 복수의 방전 램프에 대한 입력 전력을 조정하는 조도 제어부를 갖추고,
    상기 조도 제어부가, 상기 복수의 방전 램프 중, 기준 조도치에 근거해 정해지는 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 허용 임계치와 기준 조도치 사이에 정해지는 로버스트 임계치를 향해 조도 변화하도록, 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 미리 정해진 단위 시간 당 전력 변화량에 따라, 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 순간적으로 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 허용 임계치로부터의 조도차가 가장 큰 주조정 방전 램프에 대해, 소정의 조정 시간을 들여 전력 조정하고, 또한,
    상기 조도 제어부가, 다른 방전 램프 중 전력 조정이 필요하다고 결정된 방전 램프에 대해, 주조정 방전 램프의 조정 시간 내에서 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 다른 방전 램프 중, 허용 임계치 이하의 조도치를 가지는 방전 램프에 대해서는, 전력 조정을 실시하지 않는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 다른 방전 램프 중, 로버스트 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 로버스트 임계치를 향해 조도 변화하도록, 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 다른 방전 램프 중, 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 조도치가 허용 임계치 이하에 들어가도록, 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 다른 방전 램프 중, 적어도 로버스트 임계치 이하의 조도를 가지는 방전 램프에 대해, 기준 조도치를 향해 조도 변화하도록, 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 다른 방전 램프 중 전력 조정이 필요하다고 결정된 방전 램프에 대해, 주조정 방전 램프의 조정 시간과 동일한 시간을 들여 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  10. 제4항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 다른 방전 램프 중 전력 조정이 필요하다고 결정된 방전 램프에 대해, 주조정 방전 램프에서 미리 정해진 단위 시간 당 전력 변화량과 동일한 전력 변화량에 의해 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 상기 복수의 방전 램프에 대해 전력 조정을 일괄적으로 실시하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 조도 제어부가, 노광 대기 중이며, 노광 기간보다 노광 대기 시간이 긴 경우, 상기 복수의 방전 램프에 대해 전력 조정을 실행하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    소정 수의 방전 램프를 수납하는 광원 유닛을 갖추고,
    상기 광원 유닛이,
    각 방전 램프의 주위에 배치되는 리플렉터와,
    유닛 하우징의 방전 램프 반대 측에 배치되는 팬과,
    상기 광원 유닛 내에 형성된 격벽에 방전 램프를 관통시킨 상태에서 방전 램프를 보지하는 램프 보지부를 가지고,
    상기 램프 보지부가, 상기 격벽을 사이에 두고 형성되는 방전 램프측 공간과 팬측 공간을 연통시키는 통기구를 가지는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  14. 제1항에 기재된 조명 장치를 갖춘 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  15. 노광 장치를,
    복수의 방전 램프 각각으로부터 조사되는 조명광의 조도를 검출하는 조도 검출 수단과,
    검출되는 각 방전 램프의 조도에 근거해, 상기 복수의 방전 램프에 대한 입력 전력을 조정하는 조도 제어 수단으로서 기능시키는 프로그램에 있어서,
    상기 복수의 방전 램프 중, 기준 조도치에 근거해 정해지는 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 허용 임계치와 기준 조도치 사이에 정해지는 로버스트 임계치를 향해 조도 변화하게 전력 조정하도록, 조도 제어 수단으로서 기능시키는 것을 특징으로 하는 프로그램.
  16. 복수의 방전 램프 각각으로부터 조사되는 조명광의 조도를 검출하고,
    검출되는 각 방전 램프의 조도에 근거해, 상기 복수의 방전 램프에 대한 입력 전력을 조정하는 조명 방법에 있어서,
    상기 복수의 방전 램프 중, 기준 조도치에 근거해 정해지는 허용 임계치를 초과한 조도치를 가지는 방전 램프에 대해, 허용 임계치와 기준 조도치 사이에 정해지는 로버스트 임계치를 향해 조도 변화하도록 전력 조정하는 것을 특징으로 하는 조명 방법.
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