KR20140148271A - Application apparatus and application method - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 주연부(周緣部)에 액체를 도포하는 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
전자 부품의 실장용(實裝用) 기판으로서 유리 에폭시 부재를 사용한 프린트 기판이 일반적으로 사용되고 있다. 유리 에폭시 부재는, 유리 섬유포를 포갠 것에 에폭시 수지를 함침(含浸)시킨 것이다. 그렇기 때문에 유리 에폭시 부재를 절단(切斷)하면, 에폭시 수지 또는 유리 섬유로 이루어진 미세한 진애(塵埃)가 발생한다. 이러한 미세한 진애는 기판 회로의 접촉 불량이나 품질 저하 등을 유발할 우려가 있다. 그렇기 때문에, 기판 절단 시에 발생한 진애는 프린트 기판의 제조 시에 제거할 필요가 있다.A printed board using a glass epoxy member is generally used as a mounting substrate for electronic components. The glass epoxy member is obtained by impregnating (impregnating) the glass fiber cloth with an epoxy resin. Therefore, when the glass epoxy member is cut off, fine dust composed of epoxy resin or glass fiber is generated. Such fine dust may cause poor contact or poor quality of the substrate circuit. Therefore, the dust generated at the time of cutting the substrate needs to be removed at the time of manufacturing the printed board.
그러나, 프린트 기판의 단면(端面)에서 진애를 제거하였다 하더라도, 프린트 기판의 단면 부분은 무르기 때문에, 붕괴하여 더더욱 진애가 발생할 우려가 있다는 과제가 있었다.However, even if the dust is removed from the end face of the printed circuit board, there is a problem that the cross-sectional area of the printed circuit board is so small that it may collapse and further dust may be generated.
그리하여 본 발명자는 앞서 프린트 기판의 단면에 막 형성액을 도포하여 막을 형성함으로써, 단면 부분의 붕괴를 방지할 수 있는 도포 장치를 제안하였다(특허문헌 1).The inventors of the present invention have proposed a coating apparatus capable of preventing the cross-sectional portion from collapsing by applying a film-forming liquid on the end face of a printed board to form a film (Patent Document 1).
도 7은 본 발명자가 앞서 제안한 도포 장치의 요부를 도시한 측면 단면도이고, 도 8은 도포 장치의 내부 기구를 나타내기 위하여 하우징을 생략하여 도시한 개략 정면도이다.FIG. 7 is a side sectional view showing the main part of the coating device proposed by the present inventor, and FIG. 8 is a schematic front view showing the interior of the coating device with the housing omitted.
하우징(101)의 반입구(101a) 및 반출구(101b)에 걸쳐, 전후 방향으로 연설(延設)되는 컨베이어(102)가 배설(配設)되어 있다. 컨베이어(102)는 지지 부재(도시하지 않음)에 의하여 하우징(101)에 지지를 받고 있다. 하우징(101)에는 복수의 조작 스위치(103a)를 가진 조작부(103)가 설치되어 있다. 조작 스위치(103a)가 조작됨으로써 컨베이어(102)가 구동 및 정지된다.A
하우징(101) 내의 컨베이어(102)의 좌우에 도포 기구(110), 도포 기구(110)가 각각 설치되어 있다. 도포 기구(110)는 하우징(101)의 후면에 대향하여 배설된 고정판(104)에 고정되고, 고정판(104)의 하부가 볼나사 기구(120)에 연결되어 있다. 볼나사 기구(120)는 지지 부재(도시하지 않음)에 의하여 하우징(101)에 지지를 받고 있다.A
도포 기구(110)는, 도포 원반(111), 모터(112), 도포액 공급 원반(113) 및 모터(114)를 구비하고 있다. 도포 원반(111) 회전용의 모터(112), 모터(112)는 고정판(104)에 수평으로 설치된 지지 부재(105)에 고정되고, 그 회전축(112a)은 연직(鉛直) 하향에 배설되어 있다. 도포 원반(111), 도포 원반(111)은 수평 방향으로 배설되고, 상하로 연설되는 축(111a)을 구비하고 있다. 모터(112)의 회전축(112a)에 도포 원반(111)의 축(111a)이 연결되고, 모터(112)의 구동에 의하여 도포 원반(111)이 회전하도록 되어 있다.The
도포액 공급 원반(113) 회전용의 모터(114), 모터(114)는 전후 방향으로 연설되는 구축(115)을 통하여 고정판(104)에 연결되고, 그 회전축(114a)이 수평 방향으로 배설되어 있다. 도포액 공급 원반(113), 도포액 공급 원반(113)은 도포 원반(111), 도포 원반(111)을 집어 컨베이어(102)의 반대편에 연직 방향으로 배설되고, 수평 방향으로 연설되는 축(113a)을 구비하고 있다. 모터(114)의 회전축(114a)에 공급 원반(113)의 축(113a)이 연결되고, 모터(114)의 구동에 의하여 공급 원반(113)이 회전하도록 되어 있다. 도포액 공급 원반(113)의 축(113a)은 도포 원반(111)의 하면보다도 하방에 위치하며, 도포액 공급 원반(113)의 도포 원반(111) 측 상부 측면은, 도포 원반(111)의 주면(周面)에 접하여 있다.The
공급 원반(113)의 하방에는 수지 성분을 포함한 막 형성액(116)을 수용하는 상자 모양의 액 공급 용기(117)가 설치되고, 공급 원반(113)의 하단부가 액 공급 용기(117)의 상방에서 삽입되어 막 형성액(116)에 담겨 있다. 공급 원반(113)의 회전에 따라 도포액 공급 원반(113)의 하단부에서 공급 원반(113)의 상부에 막 형성액(116)이 이동하여, 도포 원반(111)의 외주면(外周面)에 공급된다.A box-like
고정판(104)의 하단부에는 볼나사 기구(120)가 접속되어 있다. 볼나사 기구(120)는 컨베이어(102)의 하방에 배치된 모터(121), 모터(121)를 구비하고 있다. 모터(121)는 컨베이어(102)에서 이격(離隔)하는 좌우 수평 방향으로 연설되는 회전축(도시하지 않음)을 구비하고 있고, 그 회전축에는 좌우 수평 방향으로 연설되는 수나사(122)가 연결되어 있다. 또한 수나사(122)에는 통상(筒狀)의 암나사체(123)가 감합(嵌合)되어 있고, 암나사체(123)에 고정판(104)의 하단 중앙부가 연결되어 있다. 모터(121)의 구동에 의하여, 수나사(122)가 회전하고, 수나사(122)의 회전에 따라 암나사체(123)에 연결된 고정판(104)이 좌우로 이동이 가능하게 되어 있다.A
상기한 도포 장치에 의한 프린트 기판(130)의 단면(130a)으로의 막 형성액(116)의 도포 방법에 대하여 설명한다. 먼저, 조작부(103)의 조작 스위치(103a)를 조작하여, 모터(121)를 정역(正逆) 회전시켜, 프린트 기판(130)의 좌우 폭에 정합(整合)하도록, 도포 기구(110), 도포 기구(110)의 좌우 위치를 조정한다. 그리고, 반입구(101a) 측에서 컨베이어(102)에 프린트 기판(130)을 재치(載置)하고, 조작 스위치(103a)를 조작하여, 컨베이어(102), 모터(112), 모터(112) 및 모터(114), 모터(114)를 구동시킨다.A method of applying the
컨베이어(102)에 의하여 프린트 기판(130)은 도포 기구(110)까지 반송되고, 도포 원반(111), 도포 원반(111)의 주면(111b), 주면(111b)에 좌우 단면(130a), 단면(130a)이 당접(當接)한다. 이때 도포 원반(111)의 주면(111b)에 부착되어 있는 막 형성액(116)이 프린트 기판(130)의 좌우 단면(130a), 단면(130a)에 도포된다. 그리고 프린트 기판(130)의 반송에 따라 프린트 기판(130)의 좌우 단면(130a), 단면(130a) 전체에 막 형성액(116)이 도포되고, 도포 후에 반출구(101b)에서 프린트 기판(130)이 반출되어, 막 형성액(116)에 포함되는 수지 성분을 경화시킨다.The printed
상기 도포 장치에 의하면, 도포 원반(111), 도포 원반(111)에 의하여 프린트 기판(130)의 양측 단면(130a), 단면(130a)에 막 형성액(116)이 도포되어, 프린트 기판(130)의 양측 단면(130a), 단면(130a)에 도막을 형성하는 것이 가능하게 되었다.The
그렇기는 하지만, 상기 도포 장치로는, 막 형성액(116)이 공급 원반(113)을 통하여 도포 원반(111)의 외주면(111b)에 공급되어, 도포 원반(111)의 외주면(111b)에 부착되어 있는 막 형성액(116)이 프린트 기판(130)의 단면(130a)에 도포되는 구성이기 때문에, 도포 원반(111)의 외주면(111b)에 대한 막 형성액(116)의 공급 상태에 불균형이 생기기 쉽다.The
도포 원반(111)의 외주면(111b)에 대한 막 형성액(116)의 공급 상태를 안정시키기 위해서는 막 형성액(116)의 점도를 비교적 높게(떨어지지 않을 정도) 조정할 필요가 있어, 막후(膜厚)를 얇고도 균일하게 도포하는 것이 어렵다는 과제가 있었다.It is necessary to adjust the viscosity of the film-forming
한편, 각종 전자 기기의 박형화나 소형화에 대응시키기 위해서, 근년에 두께가 수십 μm ~ 수백 μm 정도의 박형의 동장(銅張) 적층 기판(패키지 기판이라고도 한다)의 수요가 높아지고 있다.On the other hand, in order to cope with the thinning and miniaturization of various electronic apparatuses, a demand for a thin copper foil laminated substrate (also referred to as a package substrate) having a thickness of several tens of micrometers to several hundreds of micrometers has recently increased.
이러한 박형 기판에 대해서는, 막 형성액을 기판 단면에만 도포하는 것은 쉽지가 않고, 기판의 단면을 포함하는 주연부(周緣部)에, 예를 들면, 액연상(額緣狀)으로 도포하는 것과 같은 형태가 바람직하다고 생각된다.With respect to such a thin substrate, it is not easy to coat the film forming liquid only on the end face of the substrate. Instead, it is possible to form the thin film on the peripheral edge portion including the end face of the substrate in the form of liquid- Is preferable.
그렇기는 하지만 상기 도포 장치로는, 프린트 기판(130)의 단면(130a)에만 막 형성액(116)을 도포하는 구성으로 되어 있어, 기판 단면을 포함한 주연부에 막 형성액을 액연상으로 얇고 균일하게 도포할 수 없다는 과제가 있었다.However, the above-described coating apparatus is configured to apply the
본 발명은 상기 과제를 감안하여 안출된 것으로서, 기판의 단면(端面)을 포함한 주연부(周緣部)를 보호하고, 기판 단부(端部)로부터의 진애(塵埃)의 발생을 확실하게 방지함과 동시에, 기판의 단면을 포함하는 주연부에 막 형성액을 얇고도 균일한 막후(膜厚)로 도포하는 것이 가능한 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is conceived in view of the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor device which protects a periphery including an end face of a substrate and reliably prevents the generation of dust from the end of the substrate And an object of the present invention is to provide a coating apparatus and a coating method capable of coating a film forming liquid on a peripheral portion including a cross section of the substrate with a thin and uniform film thickness.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 도포 장치(1)는, 기판의 단면을 포함하는 주연부에 액체를 도포하는 도포 장치에 있어서, 기판을 지지하는 지지 수단과, 기판의 단부를 집을 수 있게 대향 배치된 한 쌍의 도포 롤러를 구비한 도포 수단과, 그 도포 수단을 이동시키는 이동 수단과, 상기 한 쌍의 도포 롤러의 회전면에 수지 성분을 포함하는 막 형성액을 공급하는 액 공급 수단과, 상기 지지 수단에 지지된 기판의 단부를 상기 한 쌍의 도포 롤러로 집은 상태로, 그 한 쌍의 도포 롤러를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시키도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.In order to achieve the above object, a coating device (1) according to the present invention is a coating device for applying a liquid to a peripheral portion including a cross section of a substrate, comprising: support means for supporting the substrate; A liquid supply means for supplying a film forming liquid containing a resin component to a rotating surface of the pair of application rollers; And control means for controlling the moving means so as to move the pair of application rollers along the periphery of the substrate while the end portions of the substrate supported by the support means are held by the pair of application rollers .
상기 도포 장치(1)에 의하면, 상기 지지 수단에 지지된 기판의 단부를 상기 한 쌍의 도포 롤러로 집은 상태로, 그 한 쌍의 도포 롤러의 회전면에 상기 막 형성액을 공급하면서, 상기 한 쌍의 도포 롤러를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 지지 수단에 지지된 기판의 주연부 상하면에 상기 막 형성액을 얇고도 균일하게 도포할 수 있으며, 또한 상기 한 쌍의 도포 롤러 사이에 생기는 표면 장력에 의하여 상기 기판의 단면(측면)에도 상기 막 형성액을 도포할 수 있고, 상기 기판의 주연부에 도막을 액연상(額緣狀)으로 얇고도 균일한 막후로 형성할 수 있다. 그렇기 때문에, 상기 기판의 단면 부분의 붕괴에 의한 진애의 발생을 방지할 수 있는 것과 동시에 상기 기판의 주연부를 도막으로 보강할 수 있어, 상기 기판의 취급성을 높일 수 있다.According to the
또한 본 발명에 따른 도포 장치(2)는, 상기 도포 장치(1)에 있어서, 상기 도포 수단이, 상기 한 쌍의 도포 롤러를 회전시키는 회전 기구부와, 그 회전 기구부를 선회시키는 선회 기구부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.The coating device (2) according to the present invention is characterized in that in the coating device (1), the coating means comprises a rotating mechanism for rotating the pair of coating rollers and a turning mechanism for turning the rotating mechanism .
상기 도포 장치(2)에 의하면, 상기 선회 기구부에 의하여 상기 회전 기구부를 선회시킬 수 있기 때문에, 예를 들면, 구형(矩形)의 기판의 주연부에 막 형성액을 도포할 경우, 그 기판의 단면에 대한 상기 회전 기구부의 상기 한 쌍의 도포 롤러의 방향을 그 기판의 각 변(邊) 모두 같은 방향으로 설정할 수 있어, 그 기판의 각 변 모두 같은 상태로 안정된 도포를 실행할 수 있다.According to the
또한 본 발명에 따른 도포 장치(3)는, 상기 도포 장치(2)에 있어서, 상기 회전 기구부가 상기 선회 기구부에 대하여 수평 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.The coating device (3) according to the present invention is characterized in that in the coating device (2), the rotating mechanism part is provided so as to be movable in the horizontal direction with respect to the pivot mechanism part.
상기 도포 장치(3)에 의하면, 상기 회전 기구부를 상기 선회 기구부에 대하여 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 회전 기구부의 위치(보다 구체적으로는 상기 한 쌍의 도포 롤러의 위치)의 미조정(微調整), 즉, 상기 한 쌍의 도포 롤러로 협지(狹持)하는 상기 기판 단부의 폭을 미조정할 수 있어, 상기 한 쌍의 도포 롤러의 위치 제어를 보다 고정도(高精度)로 실행할 수 있다.According to the application device 3, the rotation mechanism can be moved in the horizontal direction with respect to the swivel mechanism. Therefore, fine adjustment (fine adjustment) of the position of the rotation mechanism portion (more specifically, the position of the pair of application rollers), that is, the width of the substrate end portion held by the pair of application rollers And the position control of the pair of application rollers can be performed with higher precision.
또한 본 발명에 따른 도포 장치(4)는, 상기 도포 장치(2) 또는 도포 장치(3)에 있어서, 상기 회전 기구부가, 회전 구동부와, 그 회전 구동부에 연결된 회전력 전달부와, 일단측(一端側)이 그 회전력 전달부에 연결되고, 타단측(他端側)이 상기 도포 롤러에 연결된 한 쌍의 회전축부를 갖추어, 상기 액 공급 수단에 의하여 공급되는 막 형성액이 상기 한 쌍의 도포 롤러의 회전면에서 토출되도록, 상기 한 쌍의 회전축부 내 및 상기 한 쌍의 도포 롤러 내에 상기 막 형성액의 유로(流路)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.The coating device 4 according to the present invention is characterized in that in the
상기 도포 장치(4)에 의하면, 상기 막 형성액이 상기 한 쌍의 회전축 내 및 상기 한 쌍의 도포 롤러 내에 형성된 상기 유로를 흘러, 상기 한 쌍의 각 도포 롤러의 회전면에서 토출되기 때문에, 상기 기판의 주연부에 상기 막 형성액을 직접적으로 공급할 수 있어, 얼룩이 지지 않게 도포할 수 있다.According to the coating device 4, since the film-forming liquid flows through the flow path formed in the pair of rotation shafts and the pair of application rollers, and is discharged from the rotation surfaces of the pair of application rollers, It is possible to directly supply the film forming liquid to the periphery of the film forming area, so that the film forming liquid can be coated without being stained.
또한 본 발명에 따른 도포 장치(5)는, 상기 도포 장치(4)에 있어서, 상기 한 쌍의 도포 롤러 내에 형성되는 상기 막 형성액의 상기 유로가, 상기 도포 롤러의 중앙부에서 방사상(放射狀)으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.The coating device 5 according to the present invention is characterized in that in the coating device 4, the flow path of the film forming liquid formed in the pair of application rollers is radially formed at the central portion of the application roller, As shown in Fig.
상기 도포 장치(5)에 의하면, 상기 한 쌍의 도포 롤러 내에 형성되는 상기 막 형성액의 상기 유로가, 상기 도포 롤러의 중앙부에서 방사상으로 형성되어 있기 때문에, 상기 한 쌍의 각 도포 롤러의 회전면 전주(全周)에 상기 막 형성액을 안정적으로 공급할 수 있다.According to the coating device 5, since the flow path of the film-forming liquid formed in the pair of application rollers is formed radially in the central portion of the application roller, the rotation surface electric field of the pair of application rollers It is possible to stably supply the film-forming liquid to the entire periphery.
또한 본 발명에 따른 도포 장치(6)는, 상기 도포 장치(1) ~ 도포 장치(5) 중 어느 하나에 있어서, 상기 기판의 주연부에 도포된 상기 막 형성액을 건조시키는 건조 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.The coating device (6) according to the present invention is characterized in that the coating device (1) to the coating device (5) are provided with drying means for drying the film forming solution applied to the periphery of the substrate .
상기 도포 장치(6)에 의하면, 상기 건조 수단에 의하여, 상기 막 형성액을 도포한 후 곧바로 상기 막 형성액을 건조시킬 수 있고, 그 후의 작업성을 높일 수 있으며, 또한 상기 막 형성액의 벗겨짐 등의 도포 불량을 방지하는 효과를 높일 수 있다.According to the coating device 6, the film-forming solution can be dried immediately after the film-forming solution is applied by the drying device, the workability after the film-forming solution can be enhanced, and the peeling of the film- It is possible to increase the effect of preventing defective application of the coating.
또한 본 발명에 따른 도포 방법(1)은, 기판의 단면을 포함하는 주연부에 막 형성액을 도포하는 도포 방법에 있어서, 상하 한 쌍에 설치된 도포 롤러 사이에 상기 기판의 단부를 집은 상태로 상기 한 쌍의 도포 롤러를 회전시키면서, 그 한 쌍의 도포 롤러의 회전면에 상기 막 형성액을 공급하며, 상기 한 쌍의 도포 롤러를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시킴으로써, 상기 기판의 주연부에 상기 막 형성액을 도포하는 도포 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.Further, a coating method (1) according to the present invention is a coating method for applying a film-forming liquid to a peripheral edge portion including a cross section of a substrate, characterized in that, in a state in which the end portion of the substrate is held between the application rollers The film forming liquid is supplied to the rotating surfaces of the pair of application rollers while the pair of application rollers are rotated and the pair of application rollers are moved along the peripheral portion of the substrate, And a coating step of applying a liquid onto the substrate.
상기 도포 방법(1)에 의하면, 상기 기판의 단부를 상기 한 쌍의 도포 롤러로 집은 상태로, 그 한 쌍의 도포 롤러의 회전면에 상기 막 형성액을 공급하면서, 상기 한 쌍의 도포 롤러를 상기 기판의 주연부를 따라 회전시키며 이동시킴으로써 상기 기판의 주연부에 상기 막 형성액이 도포된다. 따라서, 상기 기판의 주연부의 상하면에 상기 막 형성액을 얇고도 균일하게 도포할 수 있으며, 또한, 상기 한 쌍의 도포 롤러 사이에 생기는 표면 장력에 의하여 상기 기판의 단면(측면)에도 상기 막 형성액을 도포할 수 있어, 상기 기판의 주연부에 도막을 액연상으로 얇고도 균일한 막후로 형성할 수 있다. 그렇기 때문에, 상기 기판의 단면 부분의 붕괴에 의한 진애의 발생을 방지할 수 있는 것과 동시에 상기 기판의 주연부를 도막으로 보강할 수 있어, 상기 기판의 취급성을 높일 수 있다.According to the application method (1), while the end portion of the substrate is held by the pair of application rollers, while supplying the film formation liquid to the rotation surfaces of the pair of application rollers, the pair of application rollers The film forming liquid is applied to the periphery of the substrate by rotating and moving along the periphery of the substrate. Therefore, it is possible to thinly and uniformly apply the film-forming liquid on the upper and lower surfaces of the periphery of the substrate, and also to the end surface (side surface) of the substrate by the surface tension generated between the pair of application rollers It is possible to form a coating film on the periphery of the substrate in a liquid-pervious manner with a thin and uniform film thickness. Therefore, it is possible to prevent dust from being generated due to the collapse of the cross-sectional portion of the substrate, and at the same time, the peripheral portion of the substrate can be reinforced with the coating film, and the handling property of the substrate can be enhanced.
또한 본 발명에 따른 도포 방법(2)은, 상기 도포 방법(1)에 있어서, 경화 후의 막후가 20μm ~ 60μm가 되도록 상기 막 형성액을 도포하는 것을 특징으로 하고 있다.The coating method (2) according to the present invention is characterized in that in the coating method (1), the film forming liquid is applied so that the film thickness after curing becomes 20 to 60 μm.
상기 도포 방법(2)에 의하면, 상기 도포 공정이, 경화 후의 막후가 20μm ~ 60μm가 되도록 막 형성액을 도포하기 때문에, 두께가 수십 μm에서 수백 μm의 박형 기판에 대해서, 그 기판의 주연부에 얇은 막후의 도막을 형성하는데 적합한 방법으로 할 수 있다.According to the coating method (2), since the film forming liquid is applied so that the film thickness after curing becomes 20 to 60 占 퐉, the thin film substrate having a thickness of several tens 占 퐉 to several hundreds of 占 퐉 has a thin A suitable method for forming a film coat on the film may be used.
또한 본 발명에 따른 도포 방법(3)은, 상기 도포 방법(1) 또는 도포 방법(2)에 있어서, 상기 기판의 주연부에 도포된 상기 막 형성액을 건조시키는 건조 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.The coating method (3) according to the present invention is characterized in that the coating method (1) or the coating method (2) comprises a drying step of drying the film forming liquid applied to the periphery of the substrate .
상기 도포 방법(3)에 의하면, 상기 기판의 주연부에 도포된 상기 막 형성액을 건조시키는 건조 공정을 구비하고 있기 때문에, 상기 막 형성액을 도포한 후 곧바로 상기 막 형성액을 건조시킬 수 있고, 그 후의 작업성을 높일 수 있으며, 또한 상기 막 형성액의 벗겨짐 등의 도포 불량을 방지하는 효과를 높일 수 있다.According to the coating method (3), since the film forming liquid coated on the periphery of the substrate is dried, the film forming liquid can be dried immediately after the film forming liquid is applied, It is possible to increase the workability thereafter and also to enhance the effect of preventing coating defects such as peeling of the film forming liquid.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 도포 장치의 요부(要部)를 나타내기 위하여 하우징을 생략하여 도시한 개략 측면도이다.
도 2는 실시예에 따른 도포 장치의 도포 유닛 주변의 요부를 나타내기 위하여 하우징을 생략하여 도시한 개략 정면도이다.
도 3은 실시예에 따른 도포 장치를 구성하는 도포 유닛의 구조를 개략적으로 도시한 정면 부분 단면도이다.
도 4는 도 3에 있어서의 IV-IV선 확대 단면도이다.
도 5는 실시예에 따른 도포 장치의 도포 롤러의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 실시예에 따른 도포 장치를 이용하여 도포된 기판의 주연부(周緣部) 부근을 도시한 도면이며, (a)는 부분 사시도이고, (b)는 (a)에 있어서의 b-b선 단면도이다.
도 7은 종래의 도포 장치의 개략 측면도이다.
도 8은 종래의 도포 장치의 내부 기구(機構)를 나타내기 위하여 하우징을 생략하여 도시한 개략 정면도이다.FIG. 1 is a schematic side view illustrating a main part of a coating apparatus according to an embodiment of the present invention, in which a housing is omitted. FIG.
FIG. 2 is a schematic front view showing a housing around a coating unit of a coating apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG.
3 is a front partial sectional view schematically showing the structure of a coating unit constituting the coating apparatus according to the embodiment.
4 is an enlarged sectional view taken along the line IV-IV in Fig.
5 is a plan view for explaining the operation of the application roller of the application device according to the embodiment.
6A is a partial perspective view, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line bb (a) of FIG. 6A .
7 is a schematic side view of a conventional applicator.
8 is a schematic front view showing the internal mechanism (mechanism) of a conventional applicator, with the housing omitted.
이하, 본 발명에 따른 도포 장치 및 도포 방법의 실시예를 도면에 의거하여 설명한다. 도 1은, 실시예에 따른 도포 장치의 요부(要部)를 나타내기 위하여 하우징을 생략하여 도시한 개략 측면도이고, 도 2는 도포 장치의 도포 유닛 주변의 요부를 나타내기 위하여 하우징을 생략하여 도시한 개략 정면도이다. 도 3은, 도포 유닛의 구조를 개략적으로 도시한 정면 부분 단면도이다.Hereinafter, embodiments of a coating apparatus and a coating method according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic side view of a coating apparatus according to an embodiment of the present invention, in which a housing is omitted to show a main part, and FIG. 2 is a cross- FIG. 3 is a front partial cross-sectional view schematically showing the structure of the application unit.
도포 장치(1)는, 기판(2)을 지지하는 지지 테이블(10), 상하 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 구비한 도포 유닛(20) 및 도포 유닛(20)을 이동시키는 이동 유닛(40)을 포함하여 구성되어 있다. 또한, 도포 장치(1)에는, 각 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전면(22c)(도 3 참조)에 수지 성분을 포함하는 막 형성액(56)을 공급하는 액 공급 유닛(50), 기판(2)에 도포된 막 형성액(56)의 건조를 실행하는 건조로(60), 장치 각부(各部)의 구동을 제어하는 제어부(70) 및 조작부(80)가 장비되어 있다.The
지지 테이블(10)은, 기판(2)의 반송 방향으로 평행하게 배설(配設)된 반송 레일(12) 사이에 배설되어 있다. 반송 레일(12)은, 기판(2)의 반송 방향으로 평행하게 배설된 고정 레일(11) 위를 리니어 기구 등에 의하여 슬라이드 이동 가능하게 구성되어 있다. 지지 테이블(10)은 승강 기구(13)에 의하여 승강 가능하게 지지되고, 승강 기구(13)는 고정 레일(11) 사이에 설치된 지지 부재(14)에 설치되어 있다. 고정 레일(11)은 하우징(도시하지 않음)에 고정되어 있다.The support table 10 is disposed between the transport rails 12 arranged in parallel (parallel) in the transport direction of the
반송 레일(12)이 고정 레일(11) 위를 슬라이드 이동하여, 반송 레일(12)에 재치(載置)된 기판(2)이 지지 테이블(10) 위까지 옮겨 오면, 이어서 승강 기구(13)가 작동하여, 반송 레일(12) 아래에서 지지 테이블(10)이 상승하고, 지지 테이블(10) 위에 기판(2)이 지지되어, 그 상태로 지지 테이블(10)이 소정의 도포 위치까지 상승한다. 또한, 도포 작업이 종료되면, 승강 기구(13)가 작동하여, 지지 테이블(10)이 강하하고, 기판(2)이 반송 레일(12) 위에 재치되도록 되어 있다.When the carrying
또한, 지지 테이블(10)에는 흡착 기구(도시하지 않음)가 설치되어 있어, 기판(2)을 지지 테이블(10) 상면에 흡착시키는 것이 가능하게 되어 있다. 흡착 기구로서는, 지지 테이블(10)에 복수의 공기 흡기공을 설치하여, 이들 공기 흡기공에 공기 튜브를 통하여 진공 펌프가 연결된 구성 등을 채용할 수 있다.The support table 10 is provided with a suction mechanism (not shown) so that the
이동 유닛(40)은, 도포 유닛(20)을 2축(XY축) 방향으로 수평 이동시키는 2축(XY축) 직동(直動) 기구로 구성되어, 하우징(도시하지 않음)에 고정된 X축 실린더(41), X축 실린더(41)에 일단측(一端側)이 슬라이드 이동 가능하게 연결된 Y축 실린더(42), Y축 실린더(42) 위를 슬라이드 이동하는 Y축 슬라이더(43) 및 Y축 실린더(42)의 타단측(他端側)을 지지하는 지지 가이드(44)를 포함하여 구성되어 있다. Y축 슬라이더(43)에는 도포 유닛(20)이 설치되어 있다. 지지 가이드(44)는 하우징(도시하지 않음)에 고정되어 있다. Y축 실린더(42) 및 Y축 슬라이더(43)의 동작은 제어부(70)에서 제어되도록 되어 있다.The
도포 유닛(20)은, 회전 기구부(21) 및 선회 기구부(23)를 포함하여 구성되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 회전 기구부(21)는 상하 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 회전시키도록 구성되어 있다. 선회 기구부(23)는, 선회 모터(25)의 회전축(25a)을 중심으로 회전 기구부(21)를 선회시키도록 구성되어 있다.The
선회 기구부(23)는, Y축 슬라이더(43)에 연결된 연결 부재(24), 연결 부재(24)에 설치된 선회 모터(25), 연직(鉛直) 방향으로 연설(延設)된 선회 모터(25)의 회전축(25a)과 연결된 회전축부(26) 및 회전축부(26)에 연결된 선회 암(27)을 포함하여 구성되어 있다.The
회전축부(26)는, 회전축(26a) 및 회전축(26a)을 회전 가능하게 지지하는 볼 베어링(도시하지 않음)을 포함하여 구성되며, 회전축(26a)의 상단측이 선회 모터(25)의 회전축(25a)에 연결되고, 회전축(26a)의 하단측이 선회 암(27)에 연결되어 있다.The
선회 암(27)은, 수평 방향으로 연설된 완부(腕部)(27a)를 구비하며, 완부(27a)의 하면 중간부에는, 회전 기구부(21)를 완부(27a)의 장변(長邊) 방향(수평 방향)으로 슬라이드 이동시키기 위한 슬라이드 기구(28)가 설치되어 있다. 슬라이드 기구(28)에는, 회전 기구부(21)와 연결하기 위한 연결 부재(29)가 설치되어 있다. 슬라이드 기구(28)에는, 전동식의 직동 안내 기구 등이 채용될 수 있다.The turning
또한, 선회 암(27)의 선회 정지 위치를 검출하기 위한 센서(예를 들면, ‘コ’자형 포토 센서)(도시하지 않음)가, 회전축부(26) 주위에 90도 간격으로 배설되어, 선회 암(27)이 90도 선회하면, 선회 암(27)에 설치된 차광판(도시하지 않음)이 상기 센서의 수광부를 차단함으로써, 정지 위치가 검출되도록 구성되어 있다.A sensor (not shown) for detecting the turning stop position of the pivot arm 27 (for example, a "c" shape photo sensor) is arranged at 90 degree intervals around the
회전 기구부(21)는, 회전 모터(30), 수평 방향으로 연설된 회전 모터(30)의 회전축(30a)에 연결된 치차(齒車) 기구(31)[평치차(31a), 평치차(31b), 평치차(31c), 평치차(31d)], 회전축(32a), 회전축(32b), 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b) 및 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)가 회전 가능하게 보지(保持)되는 보지 부재(33a), 보지 부재(33b)를 포함하여 구성되고, 이들 부품이 설치 부재(34a), 설치 부재(34b)에 장착(裝着)되어 있다. 회전 기구부(21)는 연결 부재(29)를 통하여 선회 암(27)의 슬라이드 기구(28)에 설치되어 있다.The
회전축(32a)은, 일단측이 평치차(31c)의 중심공(31e)에 삽착(揷着)되고, 타단측이 도포 롤러(22a)의 중심 부분에 연결되며, 볼 베어링이나 베어링 스페이서(모두 도시하지 않음)를 통하여 설치 부재(34a)에 회전 가능하게 설치되어 있다.The other end side of the
회전축(32b)은, 일단측이 평치차(31d)의 중심공(31e)에 삽착되고, 타단측이 도포 롤러(22b)의 중심 부분에 연결되며, 볼 베어링이나 베어링 스페이서(모두 도시하지 않음)를 통하여 설치 부재(34a)에 회전 가능하게 설치되어 있다. 또한, 도포 롤러(22a) 및 회전축(32a)이 일체적으로 형성된 것을 채용할 수 있으며, 마찬가지로 도포 롤러(22b) 및 회전축(32b)이 일체적으로 형성된 것을 채용할 수 있다.The other end of the
또한, 회전축(32a), 회전축(32b)은, 각각 축공(32d)을 구비한 관상(管狀) 부재로 구성되며, 평치차(31c), 평치차(31d) 측의 단부(端部)에는, 액 공급 유닛(50)을 구성하는 노즐부(파이프 커플링)(51a), 노즐부(51b)가 각각 접속되어 있다.The
또한, 평치차(31a)와 평치차(31c)와의 사이에 설치된 평치차(31b)의 중심공(31e)에는, 볼 베어링(도시하지 않음)을 통하여 축재(32c)가 삽착되어, 축재(32c)의 타단(他端)이 설치 부재(34a)에 고정되어 있다.A
회전 모터(30)의 회전력이, 치차 기구(31)[평치차(31a), 평치차(31b), 평치차(31c), 평치차(31d)], 회전축부(32a), 회전축부(32b)를 통하여 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)에 전달되도록 되어 있다.The rotating force of the
도 4는, 도 3에 있어서의 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b) 부근의 IV-IV선 확대 단면도를 나타내고 있다. 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)는 원반상의 외형을 가지며, 대략 중앙부에 회전축(32a), 회전축(32b)의 각 축공(32d)과 연통하는 구멍부(22d)가 형성되고, 구멍부(22d)에서 방사상으로 복수의 유로공(22e)이 형성되어 있다. 또한, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 직경은 15mm ~ 50mm 정도로, 폭은 10mm ~ 30mm 정도로 설계하는 것이 바람직하다.Fig. 4 is an enlarged sectional view taken along the line IV-IV in the vicinity of the pair of
액 공급 유닛(50)은, 회전축(32a)에 막 형성액(56)을 공급하는 노즐부(51a)와, 액 수용부(52)에서 노즐부(51a)에 막 형성액(56)을 공급하는 전동식의 공급 펌프(53)와, 회전축(32b)에 막 형성액(56)을 공급하는 노즐부(51b)와, 액 수용부(52)에서 노즐부(51b)에 막 형성액(56)을 공급하는 전동식의 공급 펌프(54)를 포함하여 구성되어 있다.The
공급 펌프(53) 및 노즐부(51a)는 액 수용부(52)에서 튜브(55)로 연결되며, 마찬가지로 공급 펌프(54) 및 노즐부(51b)도 액 수용부(52)에서 튜브(55)로 연결되어 있다.The
액공 유닛(50)에 의하여 액 수용부(52) 내의 막 형성액(56)이, 공급 펌프(53), 노즐부(51a), 회전축(32a)의 축공(32d), 도포 롤러(22a)의 구멍부(22d) 및 유로공(22e)을 경유하여, 도포 롤러(22a)의 회전면(22c)에 토출되게 되어 있다.The
또한, 마찬가지로 액 수용부(52) 내의 막 형성액(56)이, 공급 펌프(54), 노즐부(51b), 회전축(32b)의 축공(32d), 도포 롤러 (22b)의 구멍부(22d) 및 유로공(22e)을 경유하여, 도포 롤러(22b)의 회전면(22c)에 토출되도록 되어 있다. 또한, 제어부(70)에서는, 공급 펌프(53), 공급 펌프(54)를 함께 구동시키는 제어 이외에, 어느 한 쪽의 공급 펌프(53) 또는 공급 펌프(54)를 구동시키는 제어를 실행하는 것도 가능하게 되어 있다.Similarly, the
막 형성액(56)은, 기판 처리 공정(에칭 공정이나 도금 공정 등)에서 벗겨지지 않는 특성(산 및/또는 알칼리에 대한 내성)이 있으며, 기판 표면으로의 부착성 등이 뛰어나게 복수의 수지 성분이 혼합된 액으로 구성되어 있다. 또한, 막 형성액(56)을 도포하는 막후에 부응하여 적절히 점도를 조정한다. 예를 들면, 막후를 얇게 할 경우에는 막 형성액(56)의 점도를 내리는 것이 바람직하다. 또한, 선회 모터(25)의 구동 타이밍, 회전 모터(30)의 회전 속도나 구동 타이밍 등은 제어부(70)에서 제어되도록 되어 있다.The film-forming
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이 도포 유닛(20)의 후방에 건조로(60)가 설치되어 있다. 도포 유닛(20)에 의하여 도포된 기판(2)이 반송 레일(12)에 실린 상태로 건조로(60) 내에 반송되고, 소정의 건조 시간이 경과한 후에 건조로(60)에서 반출되도록 되어 있다.Further, as shown in Fig. 1, a drying
건조로(60)의 내벽면에는 단열재(61)가 배설되며, 건조로(60) 내에는 봉상(棒狀)의 핀히터(62)가 우물 정(井)자 형상으로 배설되고, 건조로(60) 내의 내측면에는, 공기를 건조로(60) 내에 보내기 위한 공급공(도시하지 않음)이 소정 간격마다 형성된 공급 배관(63)이 주설(周設)되어 있다. 공급 배관(63)은, 건조로(60) 외부의 공기 펌프(64)에 접속되어 있다.A
제어부(70)는, 반송 레일(12)의 슬라이드 이동 제어, 이동 유닛(40)의 XY축 직동 제어, 도포 유닛(20)의 회전·선회·슬라이드 이동 제어, 승강 기구(13)에 의한 지지 테이블(10)의 승강 제어, 흡착 제어, 액 공급 유닛(50)의 공급 펌프(53), 공급 펌프(54)의 구동 제어 및 건조로(60)의 온도 제어 등, 도포 장치(1) 각부의 제어를 실행하는 기능을 가지고 있으며, 마이크로 컴퓨터, 드라이버 회로, 기억부 및 전원부 등(모두 도시하지 않음)을 포함하여 구성되어 있다. 또한, 제어부(70)는 한 개 또는 복수의 제어 유닛으로 구성할 수 있다.The
또한, 제어부(70)는, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b) 사이에 지지 테이블(10)에 지지된 기판(2)의 단부를 집어, 그 상태로 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)의 주연부를 따라 회전 이동시키도록 이동 유닛(40)이나 도포 유닛(20)의 각부를 구동 제어하는 기능을 가지고 있다.The
조작부(80)는, 액정 조작 패널(81)을 구비하고 있으며, 하우징(도시하지 않음)에 설치되어 있다. 액정 조작 패널(81)을 통하여, 도포 장치(1) 각부의 동작 조건의 설정, 각부의 동작 지시, 동작 모드(수동, 자동 등) 전환 등의 각종 조작을 실행하는 것이 가능하게 되어 있다. 조작 패널(81)을 통하여 입력된 조작 신호나 설정 신호가 제어부(70) 등에 송신되도록 되어 있다.The
예를 들면, 조작부(80)에서는, 이동 유닛(40)의 XY축 직동 기구에 의한 도포 유닛(20)의 수평 이동 속도, 도포 유닛(20)의 회전 모터(30)의 회전 속도, 액 공급 유닛(50)의 공급 펌프(53), 공급 펌프(54)에 의한 막 형성액(56)의 전송 속도 등의 동작 조건의 설정, 건조로(60)의 핀히터(62)에 의한 노(爐) 내 온도 설정이나 건조 시간 설정 등을 실행할 수 있게 되어 있다.For example, in the
이어서, 실시예에 따른 도포 장치(1)를 이용한 기판(2)의 주연부로의 막 형성액(56)의 도포 방법에 대하여 설명한다. 또한, 피도포 대상으로서 구형(矩形)을 한 박형의 동장(銅張) 적층 기판을 이용하였을 경우에 대하여 설명한다.Next, a method of applying the film-forming
먼저, 반입측으로 이동시킨 반송 레일(12) 위의 소정 위치에 기판(2)을 재치하고, 조작부(80)를 조작하여, 반송 레일(12)를 도포 유닛(20) 측에 슬라이드 이동시킨다.First, the
반송 레일(12)이 이동하여 기판(2)이 지지 테이블(10) 위의 위치까지 옮겨 오면, 반송 레일(12)의 이동이 정지하며, 이어서 승강 기구(13)가 작동하고, 지지 테이블(10)이 상승하여, 지지 테이블(10) 위에 기판(2)이 지지되고, 더욱이 소정의 위치[도포 유닛(20)의 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b) 사이의 높이 위치]까지 지지 테이블(10)이 상승한다. 또한, 흡착 기구(도시하지 않음)도 작동하고, 지지 테이블(10) 위에 기판(2)이 흡착된 상태에서 지지된다.When the
다음의 도포 공정은, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)로 기판(2)의 단부를 집은 상태로 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 회전시키면서, 그 회전면(22c)에서 막 형성액(56)을 토출하며, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)의 4변(邊)의 주연부를 따라 이동시키는 공정이다.In the next coating step, a pair of
도 5는, 기판(2)의 주연부를 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)로 도포하는 공정을 설명하기 위한 도면이다. 도면 내의 파선(破線)은, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 이동 궤적을 나타내고 있다. 또한 도 5에는 상측의 도포 롤러(22a)만 나타내고 있다.5 is a view for explaining the process of applying the peripheral edge portion of the
먼저, 이동 유닛(40)의 Y축 실린더(42) 및 Y축 슬라이더(43)를 구동시켜 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)가 (A) 위치에 설치한다. 또한, 도포 유닛(20)의 선회 모터(25)를 구동시켜, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전 방향과, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 진행 방향이 일치하도록 회전 기구부(21)를 선회시킨다.First, the Y-
그 후에, Y축 실린더(42)를 X축 실린더(41)를 따라 a방향으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 a방향으로 이동시키고, 도 5에 있어서의 기판(2)의 우변(2a)의 주연부에 막 형성액(56)을 도포해 나간다.Thereafter, the pair of
바꿔 말하면, 기판 우변(2a)의 주연부를 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)로 집은 상태(도 4에 나타낸 상태)로, 회전 모터(30)를 구동시켜 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 회전시키면서, 공급 펌프(53), 공급 펌프(54)를 구동시켜 노즐부(51a), 노즐부(51b)에서 회전축(32a), 회전축(32b)을 통하여 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전면(22c)에서 막 형성액(56)을 토출시키며 이동시킨다. 더욱이, 도포 시에는, 기판(2)의 단부가 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 가로 폭에서는 나오지 않도록, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 위치가 제어되어 있다.In other words, the
한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)가 (B) 위치[기판(2)의 각부(角部) 바로 앞]에 도달하면, 도포 유닛(20)의 선회 암(27)에 설치된 슬라이드 기구(28)를 작동시켜, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격(離隔)하는 방향(d방향)으로 회전 기구부(21)를 수 mm 정도 슬라이드 이동시키고, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하여, 기판 우변(2a)의 도포를 끝낸다. 더욱이, (B) 위치에서 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하는 것은, 기판 각부로의 막 형성액(56)을 두 번 칠하는 것을 방지하기 위해서지만, (B) 위치에서 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하지 않고, 기판 우변(2a) 전체를 도포하는 것도 가능하다.When the pair of
그 후에, 이동 유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 (C) 위치까지 이동시킨 후에 슬라이드 기구(28)로 슬라이드 이동시킨 회전 기구부(21)를 원래 위치에 되돌려, 선회 기구부(23)의 선회 모터(25)를 구동시키고, 회전 기구부(21)를 시계 반대 방향으로 90도 선회시켜, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전 방향과, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 진행 방향을 일치시킨다.Thereafter, the
그 후에, 이동 유닛(40)을 구동시켜 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 (D) 위치에 설치하고, Y축 슬라이더(43)를 Y축 실린더(42)를 따라 b방향으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 b방향으로 이동시켜, 기판 우변(2a)과 같은 동작으로 기판 상변(2b)의 주연부에 막 형성액(56)을 도포한다.Thereafter, the
한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)가 (E) 위치[기판(2)의 각부 바로 앞]에 도달하면, 상기한 (B) 위치에 있어서의 동작과 마찬가지로, 도포 유닛(20)의 선회 암(27)에 설치된 슬라이드 기구(28)를 작동시켜, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하는 방향으로 회전 기구부(21)를 수 mm 정도 슬라이드 이동시키고, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하여, 기판 상변(2b)의 도포를 끝낸다.When the pair of
그 후에, 이동 유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 (F) 위치까지 이동시킨 후에 슬라이드 기구(28)로 슬라이드 이동시킨 회전 기구부(21)를 원래의 위치에 되돌려, 선회 기구부(23)의 선회 모터(25)를 구동시키고, 회전 기구부(21)을 시계 반대 방향으로 90도 선회시켜, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전 방향과, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 진행 방향을 일치시킨다.Thereafter, the
그 후에, 이동 유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 (G) 위치에 설치하고, Y축 실린더(42)를 X축 실린더(41)를 따라 c방향으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 c방향으로 이동시켜, 기판 상변(2b)과 같은 동작으로 기판 좌변(2c)의 주연부에 막 형성액(56)을 도포한다.Thereafter, the
한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)가 (H) 위치[기판(2)의 각부 바로 앞]에 도달하면, 상기한 (B) 위치에 있어서의 동작과 마찬가지로, 도포 유닛(20)의 선회 암(27)에 설치된 슬라이드 기구(28)를 작동시켜, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하는 방향으로 회전 기구부(21)를 수 mm 정도 슬라이드 이동시키고, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하여, 기판 좌변(2c)의 도포를 끝낸다.When the pair of
그 후에, 이동 유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 (I) 위치까지 이동시킨 후에 슬라이드 기구(28)로 슬라이드 이동시킨 회전 기구부(21)를 원래 위치에 되돌려, 선회 기구부(23)의 선회 모터(25)를 구동시키고, 회전 기구부(21)를 시계 반대 방향으로 90도 선회시켜, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전 방향과, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 진행 방향을 일치시킨다.Thereafter, the
그 후에, 이동 유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 (J) 위치에 설치하고, Y축 슬라이더(43)를 Y축 실린더(42)를 따라 d방향으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 d방향으로 이동시켜, 기판 좌변(2c)과 같은 동작으로 기판 하변(2d)의 주연부에 막 형성액(56)을 도포한다.Thereafter, the
한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)가 (K) 위치[기판(2)의 각부 바로 앞]에 도달하면, 상기한 (B) 위치에 있어서의 동작과 마찬가지로, 도포 유닛(20)의 선회 암(27)에 설치된 슬라이드 기구(28)를 작동시켜, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하는 방향으로 회전 기구부(21)를 수 mm 정도 슬라이드 이동시키고, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)에서 이격하여, 기판 하변(2d)의 도포를 끝내고, 이어서 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 (L) 위치까지 이동시킨 후에 슬라이드 기구(28)로 슬라이드 이동시킨 회전 기구부(21)를 원래 위치에 되돌려, 기판(2)의 4변의 도포 작업을 끝낸다.When the pair of
상기한 도포 공정이 끝나면, 이어서 건조 공정에 들어간다. 먼저, 도포 종료 후에 승강 기구(13)가 작동하여, 지지 테이블(10)이 하강하고, 기판(2)이 반송 레일(12) 위에 재치된다. 그 후에, 반송 레일(12)이 건조로(60) 방향으로 슬라이드 이동하여, 소정의 온도로 설정된 건조로(60) 내에 기판(2)이 반송된다. 소정의 건조 시간이 경과하면, 반송 레일(12)이 이동하여, 기판(2)이 건조로(60)에서 반출되고, 건조 공정을 끝낸다.When the application step is completed, the drying step is then carried out. First, after the completion of the application, the
도 6은, 실시예에 따른 도포 장치(1)를 이용하여 도포된 기판(2)의 주연부 부근을 도시한 도면이며, (a)는 부분 사시도이고, (b)는 (a)에 있어서의 b-b선 단면도이다.6 (a) is a partial perspective view, and FIG. 6 (b) is a partial perspective view showing the vicinity of the periphery of the
기판(2)의 주연부에는, 수지 성분으로 된 도막(56a)이 액연상(額緣狀)[단면(端面) 및 상하면]에 형성되어 있다. 도막(56a)의 막후(膜厚)는, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 이동 속도, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전 속도, 막 형성액(56)의 전송 속도, 막 형성액(56)의 점도 등을 조정함으로써, 20μm ~ 60μm의 두께로 제어하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 상하면의 도포 폭은, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)와 기판(2) 단부와의 겹침 폭으로 조정할 수 있어, 1mm ~ 10mm 정도로 조정 가능하게 되어 있다.On the periphery of the
또한, 제어부(70)에서는, 공급 펌프(53), 공급 펌프(54)를 함께 구동시키는 제어 이외에, 어느 한 쪽의 공급 펌프(53) 또는 공급 펌프(54)를 구동시키는 제어를 실행할 수 있다. 따라서, 공급 펌프(53)만을 구동시키는 것으로, 기판(2)의 주연부의 상면 및 단면 부분에만 막 형성액(56)을 도포할 수 있으며, 또한, 공급 펌프(54)만을 구동시킴으로써, 기판(2)의 주연부의 하면 및 단면 부분에만 막 형성액(56)을 도포할 수 있다.The
상기 실시예에 따른 도포 장치(1)에 의하면, 지지 테이블(10)에 지지된 기판(2)의 단부를 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)로 집은 상태로, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전면(22c)에 막 형성액(56)을 공급하면서, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)를 기판(2)의 주연부를 따라 이동시킬 수 있다. 따라서, 지지 테이블(10)에 지지된 기판(2)의 주연부의 상하면에 막 형성액(56)을 얇고도 균일하게 도포할 수 있다.According to the
또한, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 틈새에 생기는 표면 장력에 의하여 기판(2)의 단면에도 막 형성액(56)을 도포할 수 있고, 기판(2)의 주연부에 도막을 액연상으로 얇고도 균일한 막후로 형성할 수 있다.The
그렇기 때문에, 기판(2)의 단면 부분의 붕괴에 의한 진애(塵埃)의 발생을 확실하게 방지할 수 있는 것과 동시에, 기판(2)의 주연부(周緣部)를 도막으로 보강할 수 있어, 다음 공정에 있어서의 기판(2)의 취급성을 높일 수 있다.Therefore, it is possible to reliably prevent the generation of dust due to the collapse of the cross-section of the
또한, 산이나 알칼리에 내성이 있는 막 형성액(56)을 사용함으로써, 기판 처리 공정(에칭 공정이나 도금 공정 등)에 있어서의 작업성의 향상이나 비용절감을 도모할 수 있다. 예를 들면, 도금 내성을 구비한 막 형성액(56)을 사용함으로써, 기판(2)의 주연부에 도금이 부착하는 것을 방지할 수 있어, 기판 주연부의 마스킹을 실행할 수 있고, 마스킹의 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다.Further, by using the
또한, 도포 장치(1)에 의하면, 선회 기구부(23)에 의하여 회전 기구부(21)를 선회시킬 수 있기 때문에, 구형의 기판(2)의 주연부에 막 형성액(56)을 도포할 경우, 기판(2)의 단면에 대한 회전 기구부(21)의 방향을 기판(2)의 각 변 모두 같은 방향으로 설정할 수 있어, 기판(2)의 각 변 모두 같은 상태로 안정된 도포를 실행할 수 있다.The
또한, 슬라이드 기구(28)에 의하여 회전 기구부(21)를 선회 기구부(23)에 대하여 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 회전 기구부(21)의 위치[한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 위치]의 미조정(微調整), 즉, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)에 의한 기판(2)의 단면의 협지폭의 미조정을 실행할 수 있어, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 위치 제어를 보다 고정도(高精度)로 실행할 수 있다.Further, the
또한, 도포 장치(1)에 의하면, 액 공급 유닛(50)에 의하여 공급되는 막 형성액(56)이 각 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전면(22c)에서 토출되도록, 각 회전축부(32a), 회전축부(32b)에 축공(32d)이 형성되어, 각 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)에 구멍부(22d) 및 유로공(22e)이 형성되어 있기 때문에, 막 형성액(56)을 각 회전축(32a), 회전축(32b) 내 및 각 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b) 내에 흘려 보내, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전면(22c)에서 토출시킬 수 있고, 기판(2)의 주연부에 막 형성액(56)을 직접적으로 공급할 수 있어, 얼룩이 생기지 않게 도포할 수 있다.The
또한, 한 쌍의 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b) 내에 형성되는 유로공(22e)이, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b) 중앙의 구멍부(22d)에서 방사상으로 형성되어 있기 때문에, 각 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전면(22c) 전주(全周)에 막 형성액(56)을 안정적으로 공급할 수 있다.The
또한 도포 장치(1)는, 건조로(60)를 구비하고 있기 때문에, 건조로(60)에 의하여, 막 형성액(56)을 도포한 후 즉시 막 형성액(56)을 건조시킬 수 있고, 그 후의 작업성을 높일 수 있으며, 또한 막 형성액(56)의 벗겨짐 등의 도포 불량을 방지하는 효과를 높일 수 있다.Since the
더욱이, 도포 장치(1)로 대응할 수 있는 피도포 대상이 되는 기판의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 두께 수백 μm ~ 수십 μm 정도의 박판상 또는 필름상의 각종 재질로 구성되는 기판에 적합하게 적용할 수 있다.The kind of the substrate to be coated which can be applied by the
또한, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전면(22c)에서 토출된 막 형성액(56)은, 하방에 흘러 내리지 않도록 막 형성액(56)의 공급 속도나 점도를 조정하는 것이 바람직하지만, 다른 실시예에서는, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 하방에, 도포 롤러(22a), 도포 롤러(22b)의 회전면(22c)에서 토출된 막 형성액(56)을 받는 액 받이부(도시하지 않음)를 설치하고, 그 액 받이부에서 받은 막 형성액(56)을 액 수용부(52)에 이송하는 이송 수단(펌프 등)을 더 장비(裝備)하도록 구성함으로써, 막 형성액(56)을 회수하여 다시 사용할 수 있는 장치로 할 수 있다.The
1: 도포 장치
10: 지지 테이블
11: 고정 레일
12: 반송 레일
13: 승강 기구
20: 도포 유닛
21: 회전 기구부
22a, 22b: 도포 롤러
23: 선회 기구부
40: 이동 유닛
41: X축 실린더
42: Y축 실린더
43: Y축 슬라이더
50: 액 공급 유닛
51a, 51b: 노즐부
52: 액 공급부
53, 54: 공급 펌프
56: 막 형성액
60: 건조로
70: 제어부
80: 조작부1: Coating device
10: Support table
11: Fixed rail
12: Conveying rail
13: lifting mechanism
20: dispensing unit
21:
22a and 22b:
23:
40: mobile unit
41: X-axis cylinder
42: Y-axis cylinder
43: Y-axis slider
50: liquid supply unit
51a, 51b:
52:
53, 54: Feed pump
56: film forming liquid
60: drying furnace
70:
80:
Claims (9)
기판을 지지하는 지지 수단과,
기판의 단부(端部)를 집을 수 있도록 대향 배치된 한 쌍의 도포 롤러를 구비한 도포 수단과,
그 도포 수단을 이동시키는 이동 수단과,
상기 한 쌍의 도포 롤러의 회전면에 수지 성분을 포함한 막 형성액을 공급하는 액 공급 수단과,
상기 지지 수단에 지지된 기판의 단부를 상기 한 쌍의 도포 롤러로 집은 상태로, 그 한 쌍의 도포 롤러를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시키도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.A coating apparatus for applying a liquid to a peripheral edge portion including an end face of a substrate,
Supporting means for supporting the substrate,
A coating means provided with a pair of application rollers arranged so as to be able to pick up the end portion of the substrate,
A moving means for moving the applying means,
Liquid supplying means for supplying a film forming liquid containing a resin component to the rotating surfaces of the pair of application rollers,
And control means for controlling the moving means so as to move the pair of application rollers along the periphery of the substrate while the end portions of the substrate supported by the support means are held by the pair of application rollers .
상기 도포 수단이,
상기 한 쌍의 도포 롤러를 회전시키는 회전 기구부와,
그 회전 기구부를 선회시키는 선회 기구부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.The method according to claim 1,
Wherein the applying means comprises:
A rotation mechanism for rotating the pair of application rollers,
And a turning mechanism portion for turning the rotation mechanism portion.
상기 회전 기구부가 상기 선회 기구부에 대하여 수평 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the rotating mechanism portion is provided so as to be movable in a horizontal direction with respect to the pivot mechanism portion.
상기 회전 기구부가,
회전 구동부와,
그 회전 구동부에 연결된 회전력 전달부와,
일단측(一端側)이 그 회전력 전달부에 연결되어, 타단측(他端側)이 상기 도포 롤러에 연결된 한 쌍의 회전축부를 구비하여,
상기 액 공급 수단에 의하여 공급되는 막 형성액이 상기 한 쌍의 도포 롤러의 회전면에서 토출되도록, 상기 한 쌍의 회전축부 내 및 상기 한 쌍의 도포 롤러 내에 상기 막 형성액의 유로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.The method according to claim 2 or 3,
The rotation mechanism unit,
A rotation drive unit,
A rotational force transmitting portion connected to the rotational driving portion,
A pair of rotary shafts connected at one end side to the rotational force transmitting portion and the other end side connected to the application roller,
Wherein the film forming liquid flow path is formed in the pair of rotating rollers and the pair of application rollers so that the film forming liquid supplied by the liquid supplying means is discharged from the rotating surface of the pair of application rollers Characterized in that
상기 한 쌍의 도포 롤러 내에 형성되는 상기 막 형성액의 상기 유로가, 상기 도포 롤러의 중앙부에서 방사상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the flow path of the film-forming liquid formed in the pair of application rollers is formed radially at a central portion of the application roller.
상기 기판의 주연부에 도포된 상기 막 형성액을 건조시키는 건조 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
And drying means for drying the film forming liquid applied to the periphery of the substrate.
상하 한 쌍에 설치된 도포 롤러 사이에 상기 기판의 단부를 집은 상태로 상기 한 쌍의 도포 롤러를 회전시키면서, 그 한 쌍의 도포 롤러의 회전면에 상기 막 형성액을 공급하며, 상기 한 쌍의 도포 롤러를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시킴으로써, 상기 기판의 주연부에 상기 막 형성액을 도포하는 도포 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포 방법.A coating method for applying a film forming liquid to a peripheral portion including a cross section of a substrate,
While rotating the pair of application rollers while the end portions of the substrate are held between the application rollers provided in upper and lower pairs, the film forming solution is supplied to the rotating surfaces of the pair of application rollers, And a coating step of coating the film forming liquid on the periphery of the substrate by moving the roller along the periphery of the substrate.
경화 후의 막후(膜厚)가 20μm ~ 60μm가 되도록 상기 막 형성액을 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.8. The method of claim 7,
And the film-forming liquid is applied so that the film thickness after curing becomes 20 占 퐉 to 60 占 퐉.
상기 기판의 주연부에 도포된 상기 막 형성액을 건조시키는 건조 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포 방법.9. The method according to claim 7 or 8,
And a drying step of drying the film forming liquid applied to the periphery of the substrate.
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