KR20030055778A - Bonding equipment for chips of flat panel display and bonding method using the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A chip bonding device of an FPD(Flat Panel Display) and the bonding method thereof are provided to increase the efficiency and the productivity of a process by improving the bonding accuracy and reducing the operating time. CONSTITUTION: A chip bonding device contains a worktable, a rotating device(R), a loading portion(16), a cleaning portion(18), a chip setting portion(20), a bonding portion(22) and an unloading portion(24). The rotating device is installed on the worktable and moves a loaded glass. The loading portion is installed in the circumferential direction of the rotating device. The bonding portion comprises more than two bonding units(B1,B2). The bonding unit comprises a fixing plate(40), a horizontal plate(42), a vertical plate(44) and a bonding head. The fixing plate is installed in an upper plate(4) of the worktable. The horizontal plate is moved leftward and rightward by combining with a slide member to be horizontally installed in the fixing plate. The vertical plate is moved upward and downward by combining with a slide member to be vertically installed in the horizontal plate. The bonding head bonds a chip while moving at the same direction as the vertical plate by combining with the vertical plate. A heater is inserted in the bonding head. A pressure detecting member is installed between the bonding head and the vertical plate. Thereby, the adhesive strength of the chip is improved and the improved bonding accuracy is maintained.

Description

평판표시장치의 칩 본딩장치 및 이를 이용한 본딩방법{BONDING EQUIPMENT FOR CHIPS OF FLAT PANEL DISPLAY AND BONDING METHOD USING THE SAME}Chip Bonding Device for Flat Panel Display and Bonding Method Using It {BONDING EQUIPMENT FOR CHIPS OF FLAT PANEL DISPLAY AND BONDING METHOD USING THE SAME}

본 발명은 평판표시장치의 칩 본딩장치 및 이를 이용한 본딩방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 본딩작업 시간을 대폭 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있으며, 더욱 향상된 본딩 정밀도가 유지되어 불량률을 최소화할 수 있는 평판표시장치의 칩 본딩장치 및 이를 이용한 본딩방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chip bonding apparatus for a flat panel display and a bonding method using the same. More particularly, the productivity can be improved by significantly reducing the bonding time, and further improved bonding precision can be maintained to minimize the defect rate. A chip bonding apparatus of a flat panel display device and a bonding method using the same.

일반적으로 평판디스플레이장치에는 구동용 칩이 장착되는데, 이 구동용 칩은 별도의 회로기판에 장착되어 표시부에 결합된다.Generally, a driving chip is mounted on a flat panel display device, and the driving chip is mounted on a separate circuit board and coupled to a display unit.

이러한 평판표시장치는 경박단소화되어 가는 제품의 추세에 부응하여 기판의 글래스나 필름에 직접 칩을 장착하고 있다.In response to the trend of thin and short products, such flat panel displays have a chip directly mounted on a glass or a film of a substrate.

상기한 글래스나 필름 등에 칩을 본딩하는 방법으로는 각각의 공정이 인-라인방식(IN-LINE SYSTEM)으로 이루어지는 본딩장치에 의해 행해지고 있으며, 이러한 장치는 글래스나 필름을 작업대에 로딩시킨 다음 일직선상에 설치된 공정으로 순차적으로 이동시키면서 피접착면에 칩을 본딩한 후 언로딩시키게 된다.As a method of bonding the chip to glass or film, each process is performed by a bonding apparatus made of an IN-LINE SYSTEM, which is loaded in a straight line after loading the glass or film onto a work table. The chip is bonded to the surface to be bonded while being sequentially moved to the process installed in the process, and then unloaded.

그리고, 상기 본딩장치의 본딩부에는 본딩헤드가 설치되어 이 헤드가 칩의 상측면을 가압하여 글래스나 필름에 칩이 압착되는 것이며, 이때, 상기 헤드가 칩을 가압하여 본딩하는 시간은 요구되는 스펙에 따라 다양하지만 10초 이내로 본딩이 완료되는 것이 일반적이며, 이러한 본딩시간은 칩의 본딩작업시에 대부분의 시간을 차지하게 된다.In addition, a bonding head is installed at the bonding portion of the bonding apparatus, and the head presses the upper side of the chip to press the chip onto the glass or the film. In this case, the time for the head to press the chip to bond the specifications is required. The bonding time is generally completed within 10 seconds, but this bonding time takes up most of the time during the bonding operation of the chip.

그러나, 이와 같은 종래의 본딩장치는 각 공정이 인-라인 형태로 이루어져글래스나 필름이 매번 별도의 이송장치에 의해 이동하게 되므로 이러한 동작에 의해 초기에 셋팅된 정밀도를 유지하기가 어렵게 되고 이에 따라 칩의 본딩정밀도가 저하되어 과다한 불량률을 감수하여야 한다.However, in the conventional bonding apparatus, since each process is in-line, the glass or film is moved by a separate feeder each time, so it is difficult to maintain the precision set initially by this operation, and thus the chip. The bonding accuracy of is degraded and excessive defect rate must be taken.

그리고, 상기한 종래의 본딩장치는 하나의 본딩헤드가 요구되는 본딩시간동안 지속적으로 칩을 가압하여 본딩하게 되므로 이 본딩작업시간으로 인하여 작업능률 및 생산성을 향상시키는데 한계가 있다.In addition, the conventional bonding apparatus has a limitation in improving work efficiency and productivity due to the bonding time because the bonding is continuously pressed by the chip during the bonding time required for one bonding head.

또, 상기한 본딩헤드가 원패스 동작되어 정해진 시간동안 지속적으로 칩을 가압하여 본딩하므로서 접착력이 저하되거나 열적변화를 일으키는 문제가 있다.In addition, there is a problem that the bonding head is one-pass operation to bond by pressing the chip continuously for a predetermined time to cause the adhesive force is lowered or thermal changes.

그리고, 상기한 본딩장치는 인라인 형태로 이루어져 그 구조상 장치의 대형화가 불가피하고 이에 따른 제작비가 과다하게 소요되어 원가상승의 요인이 되고 있다.In addition, the bonding apparatus has an inline shape, which makes it inevitable to increase the size of the apparatus, and excessive manufacturing costs are required, thereby causing a cost increase.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 본딩 정밀도는 향상시키고 작업시간은 대폭 단축하여 공정의 효율성 및 생산성을 대폭 증대시킬 수 있는 평판표시장치의 칩 본딩장치 및 이를 이용한 본딩방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and an object of the present invention is to improve the bonding accuracy and significantly shorten the working time to significantly increase the efficiency and productivity of the chip of the flat panel display device The present invention provides a bonding apparatus and a bonding method using the same.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,In order to realize the object of the present invention as described above,

작업대와, 이 작업대의 상측에 설치되고 로딩된 글래스를 원주방향으로 이동시키는 회전수단과, 이 수단의 원주방향에 설치되는 로딩부, 클리닝부, 칩셋팅부, 본딩부, 언로딩부를 포함하며, 상기 본딩부는 2개 이상의 본딩유니트로 구성되는 평판표시장치의 칩 본딩장치를 제공한다.A work table, a rotating means for moving the glass installed and loaded on the upper side of the work table in the circumferential direction, and a loading part, the cleaning part, the chipseting part, the bonding part, and the unloading part installed in the circumferential direction of the means, The bonding unit provides a chip bonding apparatus of a flat panel display device composed of two or more bonding units.

그리고, 이러한 장치를 통하여 본 발명이 제안하는 본딩방법은, 글래스나 필름을 로딩하는 로딩공정과, 로딩된 글래스나 필름의 피접착면에 부착된 이물질을 제거하기 위한 크리닝공정과, 크리닝된 글래스나 필름의 피접착면에 칩을 셋팅하는 칩셋팅공정과, 셋팅된 칩의 상측면을 가압하여 본딩하는 2개 이상의 본딩공정과, 칩이 본딩된 글래스나 필름을 언로딩하는 언로딩공정을 포함하며, 상기 칩셋팅공정은 로딩된 글래스나 필름의 피접착면에 칩이 정확하게 셋팅되도록 하는 정렬공정을 행한 후 칩을 셋팅하고, 상기 본딩공정은 2개 이상의 본딩유니트에 의해 정해진 본딩시간을 분할하여 비연속적으로 본딩하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 칩 본딩방법을 제공한다.In addition, the bonding method proposed by the present invention through such an apparatus includes a loading process for loading glass or a film, a cleaning process for removing foreign matter adhering to the adhered surface of the loaded glass or film, and a cleaned glass or A chipset setting process for setting a chip on the surface to be bonded to the film, two or more bonding processes for pressing and bonding the upper surface of the set chip, and an unloading process for unloading the glass or film to which the chip is bonded, In the chipset setting process, the chip is set after performing an alignment process to accurately set the chip on the adhered surface of the loaded glass or film, and the bonding process divides the bonding time determined by two or more bonding units. Provided is a chip bonding method of a flat panel display device, characterized in that bonding is performed continuously.

도 1은 본 발명에 따른 본딩장치의 사시도.1 is a perspective view of a bonding apparatus according to the present invention.

도 2는 도 1의 정면도.2 is a front view of FIG. 1;

도 3은 도 1의 평면도.3 is a plan view of FIG.

도 4는 본 발명에 따른 공급플레이트의 구조를 도시한 측면도.Figure 4 is a side view showing the structure of the supply plate according to the present invention.

도 5는 도 3의 요부를 확대도시한 평면도.5 is an enlarged plan view of the main portion of FIG. 3;

도 6은 본 발명에 따른 칩셋팅부에 의해 칩이 셋팅되는 상태를 도시한 일부확대평면도.6 is a partially enlarged plan view showing a state in which a chip is set by a chipset setting unit according to the present invention;

도 7은 본 발명에 따른 본딩부의 설치된 상태를 도시한 정면도.7 is a front view showing a state in which the bonding portion is installed according to the present invention.

도 8은 도 7의 측단면도.8 is a side cross-sectional view of FIG.

도 9는 본 발명에 따른 본딩방법의 바람직한 공정실시예를 도시한 공정도.9 is a process diagram showing a preferred process embodiment of the bonding method according to the present invention.

도 10은 본 발명에 따른 본딩부의 작동상태를 도시한 사시도.10 is a perspective view showing an operating state of the bonding portion according to the present invention.

도 11은 도 6의 다른 실시예를 도시한 평면도.FIG. 11 is a plan view of another embodiment of FIG. 6; FIG.

도 12는 도 11에 따른 본딩부의 작동실시예를 도시한 정면도이다.12 is a front view illustrating an operating embodiment of the bonding unit according to FIG. 11.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail.

도 1 및 도 2, 도 3은 본 발명에 따른 본딩장치의 사시도, 정면도, 평면도로서, 도면부호(2)는 작업대를 지칭한다.1, 2, and 3 are perspective, front and plan views of the bonding apparatus according to the present invention, with reference numeral 2 designating a work bench.

상기 작업대(2)는 통상의 금속재로 이루어지는 파이프부재나 로드부재가 용접 또는 볼팅에 의해 결합되어 사각형상의 프레임을 이루게 되며, 내측에는 하나 이상의 보조프레임(2a)들이 수평으로 설치된다.The work table 2 is formed by a pipe member or a rod member made of a conventional metal by welding or bolting to form a rectangular frame, and one or more auxiliary frames 2a are horizontally installed inside.

상기 작업대(2)의 상측에는 일정한 두께를 가지며 판형태로 이루어지는 상판(4)이 일체로 설치되고 이 상판(4)의 내측에는 개구부(4a)가 형성된다.On the upper side of the work table 2, a top plate 4 having a predetermined thickness and having a plate shape is integrally provided, and an opening 4a is formed inside the top plate 4.

상기 상판(4)의 재질은 본 발명의 목적을 감안하면 하중 등에 의해 표면이처지거나 변형되는 것을 방지하고 항상 일정한 평면도(平面度)가 유지될 수 있는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.In consideration of the object of the present invention, the material of the upper plate 4 is preferably made of a material which prevents the surface from sagging or being deformed by a load or the like and always maintains a constant flatness.

상기 상판(4)의 개구부(4a) 하측에는 회전수단(R)이 설치되는데, 이 회전수단(R)의 구조를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.Rotating means (R) is provided below the opening (4a) of the upper plate 4, the structure of the rotating means (R) will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

상기 회전수단(R)은 원통형태로 이루어지고 상측에 회전테이블(R1)로 구성되는 인덱싱 드라이브 테이블(INDEXING DRIVE TABLE)이 사용될 수 있으며, 이러한 테이블의 일반적인 구성 및 작동을 간략하게 설명하면 다음과 같다.The rotating means (R) is made of a cylindrical shape and an indexing drive table (INDEXING DRIVE TABLE) consisting of a rotating table (R1) on the upper side can be used, briefly explaining the general configuration and operation of such a table as follows. .

상기 인덱싱 드라이브 테이블은 별도의 구동원 즉 모터의 축에 설치되는 캠기구와 캠기구에 가이드 되는 캠팔로우가 방사상으로 설치된 타렛이 상측테이블과 연결된 구조로 이루어지는 것으로 상기 캠기구의 테이퍼 리브에 2개의 캠팔로우가 예압상태로 결속되어 있기 때문에 정역의 부하에 대해서도 상기 타렛의 백래쉬가 없어서 정밀한 로테이션이 가능한 기구로서 일반적으로 공작기계나 정확한 로테이션을 요구하는 자동화장치 등에 널리 사용되는 통상의 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.The indexing drive table is composed of a separate drive source, that is, a cam mechanism installed on the shaft of the motor and a cam follower guided to the cam mechanism in a radial manner in which the upper side table is connected to the taper rib of the cam mechanism. Is a mechanism capable of precise rotation without backlash of the pallet because of its preloaded state, and is generally used widely in machine tools or automation devices requiring accurate rotation. .

따라서, 상기한 구조로 이루어지는 회전수단(R)은 상기 작업대(2)의 보조프레임(2a)에 설치된 볼슬라이드부재(S1)에 결합되어 회전테이블(R1)이 회전함은 물론 이송부(6)에 의해 상기 작업대(2)에서 일방향으로 이동도 가능하게 구성된다.Therefore, the rotating means (R) having the above-described structure is coupled to the ball slide member (S1) installed in the auxiliary frame (2a) of the work table (2) as well as the rotary table (R1) is rotated, as well as to the transfer part It is also configured to be movable in one direction from the work table (2).

상기 이송부(6)의 구조는 상기 회전수단(R)의 하측면에 결합되고 나사홀이 뚫려진 가이더(8)와, 이 가이더(8)의 나사홀에 결합되는 나사축(10)과, 이 나사축(10)을 회전시키기 위한 모터(M1)로 구성되며, 상기 모터(M1)와 나사축(10)은 상기 작업대(2)의 보조프레임(2a) 사이에 설치된 보조플레이트(14)에 각각 결합된다.The structure of the conveying part 6 is a guider (8) coupled to the lower side of the rotating means (R), the screw hole is drilled, a screw shaft (10) coupled to the screw hole of the guider (8), and It consists of a motor (M1) for rotating the screw shaft 10, the motor (M1) and the screw shaft (10) is respectively provided on the auxiliary plate 14 installed between the auxiliary frame (2a) of the work table (2) Combined.

그리고, 상기 모터(M1)의 구동축과 상기 나사축(10)의 선단은 커플링(12)에 결합되어 상기 모터(M1)의 구동에 의해 상기 나사축(10)이 정,역회전 하면서 상기 회전수단(R)을 일방향으로 이동시키게 된다.In addition, the driving shaft of the motor M1 and the tip of the screw shaft 10 are coupled to the coupling 12 so that the screw shaft 10 rotates forward and reverse by driving the motor M1. The means R is moved in one direction.

상기에서는 본 발명에 의한 회전수단(R)이 인덱싱 드라이브 테이블로 이루어진 것으로 설명하고 도면에 도시하고 있지만 이는 본 발명의 일실시예일 뿐 이에 한정되는 것은 아니며, 이외에도 본 발명의 목적을 만족하는 바람직한 회전수단은 모두 적용하여 실시하는 것이 가능하다.Although the rotation means (R) according to the present invention is described as being made of an indexing drive table and shown in the drawings, this is not limited thereto, but is not limited thereto, and preferred rotation means satisfying the object of the present invention. It is possible to apply all of them.

한편, 상기 작업대(2)의 상판(4)에는 로딩부(16), 크리닝부(18), 칩셋팅부(20), 본딩부(22), 언로딩부(24)가 상기 회전수단(R)의 원주방향으로 설치되는데, 상기 로딩부(16)의 구조를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.On the other hand, in the upper plate 4 of the work table 2, the loading unit 16, the cleaning unit 18, the chipsetting unit 20, the bonding unit 22, the unloading unit 24 is the rotation means (R) Installed in the circumferential direction, the structure of the loading unit 16 will be described with reference to the accompanying drawings as follows.

상기 로딩부(16)는 상기 회전수단(R)의 원주방향 일측에서 작업대(2)의 상판(4)에 설치되어 상기 회전수단(R) 즉, 회전테이블(R1)에 글래스(G)를 안착시키기 위한 것으로서, 그 구조는 상기 회전수단(R)의 원주방향 일측에서 작업대(2)의 상판(4)에 이송유니트(F1)가 설치되고 이 이송유니트(F1)의 모터(M2) 구동에 의해 일방향으로 이동하는 슬라이드부재(S2)에 진공흡착기(V1)가 설치된 구조로 이루어진다.The loading part 16 is installed on the upper plate 4 of the work table 2 on one side of the circumferential direction of the rotating means R to mount the glass G on the rotating means R, that is, the rotating table R1. As for the structure, the structure has a transfer unit (F1) is installed on the upper plate 4 of the work table (2) on one side of the circumferential direction of the rotating means (R) by the motor M2 of the transfer unit (F1) The vacuum member (V1) is installed in the slide member S2 moving in one direction.

상기 진공흡착기(V1)는 그 길이가 상,하측 방향으로 변화되면서 공급플레이트(26)에 적치된 글래스(G)의 표면을 흡착하여 상기 회전수단(R)의 회전테이블(R1)에 안착시키게 된다.The vacuum suction unit (V1) is adsorbed to the rotating table (R1) of the rotating means (R) by adsorbing the surface of the glass (G) deposited on the supply plate 26 as its length is changed in the up and down direction. .

그리고, 도 4를 참조하면, 상기와 같이 로딩될 글래스(G)를 지지하는 공급플레이트(26)는 상기 작업대(2)의 보조프레임(2a) 일측에 설치된 실린더부재(27)에 의해 그 위치가 상하로 적절하게 조절되면서 상기 진공흡착기(V1)가 원활하게 글래스(G)의 표면을 흡착할 수 있는 구조를 제공한다.And, referring to Figure 4, the supply plate 26 for supporting the glass (G) to be loaded as described above is the position of the cylinder member 27 installed on one side of the auxiliary frame (2a) of the worktable (2) While being properly adjusted up and down, the vacuum adsorber V1 provides a structure capable of smoothly adsorbing the surface of the glass G.

상기한 로딩부(16)의 이송유니트(F1)는 일반적으로 모터(M2)의 회전축이나 실린더의 피스톤로드에 의해 슬라이더부재(S2)(예를들면, 볼슬라이더)가 길이방향으로 이동하는 구조로 이루어진 것으로서 이러한 구조는 일반 자동화장비 등에 널리 사용되는 구조로서 더욱 상세한 설명은 생략하고 상기 구조이외에도 본 발명의 목적을 만족하는 이송유니트의 구조는 모두 적용할 수 있으며, 상기 크리닝부(18) 및 칩셋팅부(20), 언로딩부(24)의 이송유니트들도 상기와 동일 또는 유사한 구조로 이루어지는 것이므로 하기에서 상세한 설명은 생략하기로 한다.The transfer unit F1 of the loading unit 16 has a structure in which the slider member S2 (for example, ball slider) moves in the longitudinal direction by a rotation shaft of the motor M2 or a piston rod of a cylinder. As such a structure is a structure widely used in general automation equipment, etc., a detailed description thereof is omitted, and in addition to the above structure, all of the structures of the transfer unit satisfying the object of the present invention may be applied, and the cleaning unit 18 and the chipset setting may be applied. The transfer units of the unit 20 and the unloading unit 24 also have the same or similar structure as above, and thus detailed description thereof will be omitted.

상기 로딩부(16)의 일측에는 보정플레이트(P1)가 설치되어 공급플레이트(26)에 적치된 글래스(G)가 상기 회전수단(R)의 테이블(R1)에 정밀하게 셋팅되어 안착될 수 있도록 하고 있다.One side of the loading unit 16 is provided with a correction plate (P1) so that the glass (G) deposited on the supply plate 26 can be precisely set and seated on the table (R1) of the rotating means (R) Doing.

상기 보정플레이트(P1)는 상측면에 글래스(G)의 외형에 대응하여 직교하는 형태로 가이드면(28)이 형성되며 상판(4)에 고정된 브라켓트(30)에 의해 회전 가능하게 결합된다.The correction plate (P1) is rotatably coupled by a bracket 30 fixed to the upper plate 4 is formed with a guide surface 28 in the form orthogonal to the outer shape of the glass (G) on the upper side.

그리고 이 보정플레이트(P1)와 브라켓트(30)의 힌지축에는 모터(M3)가 설치되어 이 모터(M3)의 구동에 의해 상기 보정플레이트(26)가 경사지게 회전하는데,즉, 상기 보정플레이트(P1)에 글래스(G)가 얹혀지면 상기 모터(M3)가 구동하여 상기 가이드면(28)의 접촉점 부분이 하측으로 기울어지면 상기 글래스(G)가 자중에 의해 상기 가이드면(28)에 정확하게 셋팅되는 것이다.In addition, a motor M3 is installed on the hinge shafts of the correction plate P1 and the bracket 30 so that the correction plate 26 is rotated inclined by driving the motor M3. That is, the correction plate P1 is rotated. When the glass (G) is placed on the), when the motor (M3) is driven and the contact point portion of the guide surface 28 is inclined downward, the glass (G) is accurately set on the guide surface (28) by its own weight. will be.

상기에서는 보정플레이트(P1)가 회전하여 글래스(G)의 자중에 의해 가이드면(28)에 셋팅되는 것으로 설명 및 도면에 도시하고 있지만 이러한 구조 이외에도 상기 가이드면(28)에 진공흡착홀(미도시)를 형성하여 진공에 의해 글래스(G)를 강제로 셋팅할 수도 있다.In the above description, the correction plate P1 is rotated and set on the guide surface 28 by the weight of the glass G. However, in addition to such a structure, a vacuum suction hole (not shown) is provided in the guide surface 28. ) May be forcibly set by the vacuum.

상기 회전수단(R)에 안착된 글래스(G)의 피접착면(G1)은 크리닝부(18)에 의해 크리닝을 행하게 된다.The adhered surface G1 of the glass G seated on the rotating means R is cleaned by the cleaning unit 18.

상기 크리닝부(18)는 상기 로딩부(16)와 동일한 구조로 구성되는 이송유니트(F2)의 슬라이드부재(S3)에 분사노즐(N)이 설치된 구조로 이루어지며, 이 노즐(N)은 이산화탄소를 분사하여 피접착면(G1)에 부착된 이물질 등을 제거하게 된다.The cleaning unit 18 has a structure in which the injection nozzle N is installed in the slide member S3 of the transfer unit F2 having the same structure as the loading unit 16, and the nozzle N is carbon dioxide. By spraying to remove the foreign matter attached to the surface to be bonded (G1).

상기 크리닝부(18)에서 크리닝이 완료된 글래스(G)는 회전수단(R)에 의해 이 수단(R)의 원주방향 일측으로 이동한 후 칩셋팅부(20)에 의해 글래스(G)의 피접착면(G1)에 칩(C)이 셋팅되는데, 이 칩셋팅부(20)의 구조를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.The glass G, which has been cleaned by the cleaning unit 18, is moved to one side of the circumferential direction of the means R by the rotating means R, and then adhered to the glass G by the chipseting unit 20. The chip C is set on the surface G1, and the structure of the chipset setting unit 20 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

상기 칩셋팅부(20)는 회전수단(R)에 로딩된 글래스(G)의 피접착면(G1)의 길이방향에 직교하는 방향으로 설치되는 이송유니트(F3)와, 이 이송유니트(F3)에서 상,하로 이동하는 보조이송유니트(F31)와, 이 보조이송유니트(F31)에 설치되어 진공으로 칩을 흡착하기 위한 진공흡착기(V2)를 포함하는 구성으로 이루어진다.The chipseting part 20 includes a transfer unit F3 installed in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the surface to be glued G1 of the glass G loaded on the rotating means R, and the transfer unit F3. It consists of a configuration including a subsidiary transfer unit (F31) to move up and down, and a vacuum adsorber (V2) is installed in the subsidiary transfer unit (F31) for adsorbing the chip in a vacuum.

상기 이송유니트(F3)는 상기 작업대(2)의 상판(4)일측에서 지지대(32)에 고정되어 상기 회전수단(R)을 가로질러서 설치되는 가이드판(34)에 결합된다.The transfer unit F3 is fixed to the support 32 at one side of the upper plate 4 of the work table 2 and coupled to the guide plate 34 installed across the rotation means R.

상기 이송유니트(F3)는 상기 로딩부(16)의 이송유니트(F1)와 동일 또는 유사한 구조로 이루어지며, 이 이송유니트(F3)의 슬라이드부재(S4)에는 횡플레이트(36)가 설치된다.The transfer unit F3 has the same or similar structure as the transfer unit F1 of the loading unit 16, and a transverse plate 36 is installed on the slide member S4 of the transfer unit F3.

그리고, 상기 횡플레이트(36)에는 상기 이송유니트(F3)와 동일한 구조로 이루어지고 단지 수직방향으로 설치되는 보조이송유니트(F31)가 설치되며, 이 보조이송유니트(F31)의 슬라이드부재(S5)에 종플레이트(38)가 설치되고 이 플레이트에는 진공흡착기(V2)가 설치된다.In addition, the transverse plate 36 is provided with an auxiliary transfer unit F31 having the same structure as the transfer unit F3 and installed only in the vertical direction, and the slide member S5 of the auxiliary transfer unit F31. The vertical plate 38 is installed in the plate, and the plate is provided with a vacuum absorber V2.

그리하여 상기 보조이송유니트(F31)에 설치된 진공흡착기(V2)는 도 2를 기준으로 하여 상기 이송유니트(F3)에 의해 좌,우측 방향으로 이동하게 되고 아울러 보조이송유니트(F31)에 의해 상,하측 방향으로도 이송이 가능하게 된다.Thus, the vacuum adsorption unit V2 installed in the auxiliary transfer unit F31 is moved to the left and right directions by the transfer unit F3 on the basis of FIG. 2 and is also moved up and down by the auxiliary transfer unit F31. It is also possible to feed in the direction.

상기 진공흡착기(V2)는 공압에 의해 칩(C)의 일측면에 흡착하여 이송시키기 위한 것으로서 이러한 구조는 피흡착물 즉, 칩(C)이 흡착되어 이송될 때에 칩(C)의 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있게 되며, 이는 일반적으로 널리 알려지고 사용되는 통상의 구조이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.The vacuum adsorber V2 is for absorbing and transporting one side of the chip C by pneumatic pressure. This structure is such that the surface of the chip C is damaged when the adsorbed material, that is, the chip C is adsorbed and transported. This can be prevented, and since the conventional structure is generally known and used, a more detailed description thereof will be omitted.

그리고, 상기 칩셋팅부(20)에 의해 이송되어 글래스(G)의 피접착면(G1)에 셋팅되는 칩(C)은 도면에서 도시하고 있지 않지만 별도의 트레이에 다수개가 배열된 후 이송유니트에 의해 상기 칩셋팅부(20)의 일측에 설치된 X-Y슬라이더(S6)의 상측에 제공되는 것이다.The chips C transferred by the chipset setting unit 20 and set on the surface to be bonded G1 of the glass G are not shown in the drawing, but a plurality of chips C are arranged in separate trays and then transferred to the transfer unit. It is provided on the upper side of the XY slider (S6) installed on one side of the chipsetting unit 20 by.

상기 칩셋팅부(20)의 일측에는 글래스(G)에 셋팅되는 칩(C)의 위치를 더욱 정밀하게 보정한 후 상기 글래스(G)의 피접착면(G1)에 셋팅될 수 있도록 한 보정플레이트(P2)가 설치되며 이 플레이트(P2)는 상기 로딩부(16)의 보정플레이트(P1)와 동일한 구조로 이루어지는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.On one side of the chipset setting unit 20, the correction plate for correcting the position of the chip (C) set on the glass (G) more precisely to be set on the surface to be bonded (G1) of the glass (G) (P2) is installed and the plate (P2) is made of the same structure as the correction plate (P1) of the loading portion 16, so a detailed description thereof will be omitted.

도 5를 참조하면 상기 칩셋팅부(20)에 의해 칩(C)이 셋팅될 수 있도록 상기 회전수단(R)에 의해 대기상태에 있는 글래스(G)의 상측에는 별도의 감지카메라(39)가 설치된다.Referring to FIG. 5, a separate sensing camera 39 is provided on the upper side of the glass G in the standby state by the rotating means R so that the chip C may be set by the chipset setting unit 20. Is installed.

상기 카메라(40)는 글래스(G)의 위치와 이 글래스(G)의 피접착면(G1)에 셋팅되는 칩(C)의 위치를 감지하여 정확한 셋팅위치로 정렬시키게 되는데, 이는 상기 감지카메라(39)에서 글래스(G)와 칩(C)의 정확한 셋팅위치를 모니터링한 후 이들의 편차가 감지되면 별도의 제어부(미도시)에 이 신호를 인가하게 된다.The camera 40 detects the position of the glass G and the position of the chip C set on the surface to be glued G1 of the glass G and aligns it to the correct setting position. In 39), after monitoring the correct setting positions of the glass G and the chip C, if a deviation thereof is detected, the signal is applied to a separate controller (not shown).

그리하여 상기 제어부(미도시)는 이 신호를 인가받아서 상기 회전수단(R)의 하측에 설치된 이송부(6)를 구동하여 도 6을 기준으로 종방향의 편차를 보정하게 되고, 칩셋팅부(20)의 이송유니트(F3)에 의해 횡방향의 편차를 보정하게 되어 글래스(G)의 피접착면(G1)에 칩(C)이 정확한 위치로 셋팅될 수 있는 것이다.Thus, the control unit (not shown) receives this signal to drive the transfer unit 6 installed below the rotating means R to correct the longitudinal deviation based on FIG. 6, and the chipsetting unit 20 By the transfer unit (F3) of the transverse deviation is corrected, the chip (C) can be set to the correct position on the surface to be bonded (G1) of the glass (G).

상기와 같이 글래스(G)의 피접착면(G1)에 칩(C)의 셋팅이 완료되면 상기 회전수단(R)이 회전하여 칩(C)이 셋팅된 글래스(G)를 상기 본딩부(22)로 이동시켜서 본딩을 행하게 되며, 이 본딩부(22)의 구조를 도 5 및 도 7, 도 8을 참조하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.As described above, when the setting of the chip C is completed on the surface to be bonded G1 of the glass G, the rotating means R rotates so that the glass G on which the chip C is set is bonded to the bonding part 22. The bonding is carried out by the reference numeral), and the structure of the bonding part 22 will be described in more detail with reference to FIGS. 5, 7, and 8 as follows.

상기 본딩부(22)는 상기 회전수단(R)의 원주방향 일측에서 일정한 간격으로 이격되어 설치되는 하나 이상의 유니트 즉, 제1본딩유니트(B1)와 제2본딩유니트(B2)로 구성되며, 이 유니트(B1,B2)는 상기 작업대(2)의 상판(4)에 설치되는 고정플레이트(40)와, 이 고정플레이트(40)의 폭방향으로 설치된 슬라이드부재(S7)에 결합되어 좌,우측 방향으로 이송되는 횡플레이트(42)와, 이 횡플레이트(42)의 길이방향으로 설치된 슬라이드부재(S8)와 결합되어 상,하측 방향으로 이송되는 종플레이트(44)와, 이 종플레이트(44)의 일측에 결합되어 이 플레이트와 동일한 방향으로 이동하면서 본딩을 행하는 본딩헤드(46)를 포함하는 구성으로 이루어진다.The bonding portion 22 is composed of one or more units, that is, the first bonding unit (B1) and the second bonding unit (B2) are spaced apart at regular intervals from one side of the circumferential direction of the rotating means (R), Units B1 and B2 are coupled to the fixed plate 40 installed on the upper plate 4 of the work table 2, and the slide member S7 provided in the width direction of the fixed plate 40, and to the left and right directions. The horizontal plate 42 and the longitudinal plate 44, which is coupled to the slide member S8 provided in the longitudinal direction of the horizontal plate 42 and is conveyed in the upper and lower directions, and the vertical plate 44 It is composed of a configuration including a bonding head 46 coupled to one side and performing bonding while moving in the same direction as this plate.

상기 고정플레이트(40)의 상부 일측단에는 모터(M4)가 설치되고 이 모터(M4)축에는 나사축(48)이 설치되며, 이 나사축(48)은 상기 횡플레이트(42)의 나사홈(50)에 결합되어 상기 모터(M4)의 정,역회전에 의해 상기 횡플레이트(42)가 상기 고정플레이트(40)의 폭방향으로 이동하게 된다.A motor M4 is installed at one upper end of the fixed plate 40, and a screw shaft 48 is installed at the motor M4 shaft, and the screw shaft 48 is a screw groove of the horizontal plate 42. The horizontal plate 42 is moved in the width direction of the fixed plate 40 by the forward and reverse rotation of the motor M4 coupled to 50.

상기 종플레이트(44)에는 고정브라켓트(52)가 설치되어 이 브라켓트가 상기 횡플레이트(42)의 상측에 결합된 실린더부재(54)의 피스톤로드(54a) 선단을 고정하게 되고 이 브라켓트(52)의 하측에는 본딩헤드(46)가 결합된다.A fixing bracket 52 is installed on the longitudinal plate 44 to fix the tip of the piston rod 54a of the cylinder member 54 coupled to the upper side of the horizontal plate 42. At the bottom of the bonding head 46 is coupled.

그리고, 상기 본딩헤드(46)와 고정브라켓트(52) 사이에는 압력감지부재(56)가 설치되는데, 이는 상기 실린더부재(54)에 의해 하측으로 이동하여 글래스(G)에 셋팅된 칩(C)의 상측면을 가압하는 본딩헤드(46)의 가압력을 감지하게 된다.In addition, a pressure sensing member 56 is installed between the bonding head 46 and the fixing bracket 52, which is moved downward by the cylinder member 54 and is set in the glass G. Sensing the pressing force of the bonding head 46 for pressing the upper side of the.

상기 압력감지부재(56)는 통상의 로드셀(LOAD CEEL)이 사용될 수 있으며, 이로드셀은 제어부(미도시)와 전기적으로 연결되어 상기 본딩헤드(46)가 허용압력 이상으로 칩(C)을 가압하게 되면 이 감지신호를 제어부에 인가하여 상기 실린더부재(54)를 제어하게 되므로 상기 본딩헤드(46)가 항상 일정한 압력으로 칩(C)을 가압하여 본딩을 행하게 된다.The pressure sensing member 56 may be a conventional load cell, and the load cell is electrically connected to a control unit (not shown) so that the bonding head 46 presses the chip C above the allowable pressure. When the sensing signal is applied to the control unit to control the cylinder member 54, the bonding head 46 always presses the chip C at a constant pressure to perform bonding.

상기에서는 본딩헤드(46)의 가압력을 감지하기 위해 로드셀이 사용되는 것으로 설명하고 있지만 이외에도 본 발명의 목적을 만족하는 압력감지부재는 다양하게 적용할 수 있다.In the above description, the load cell is used to sense the pressing force of the bonding head 46. In addition, the pressure sensing member satisfying the object of the present invention may be variously applied.

그리고, 상기 본딩헤드(46)의 내측에는 히터코일(H)이 설치되며, 이 코일(H)은 상기 본딩헤드(46)가 칩(C)의 표면을 가압할 때에 본딩헤드(46)의 가압면(46a)을 가열하여 상기 칩의(C) 하측면에 도포된 접착재를 융용시키게 되며, 이렇게 용융된 접착재는 상기 글래스(G)의 피접착면(G1)에서 용융된 후 응고되어 원활하게 본딩이 이루어지는 것이다.In addition, a heater coil (H) is installed inside the bonding head (46), and the coil (H) presses the bonding head (46) when the bonding head (46) presses the surface of the chip (C). The surface 46a is heated to melt the adhesive applied to the lower surface of the chip C. The molten adhesive material is melted on the surface to be glued G1 of the glass G and then solidified to smoothly bond. This is done.

그리고, 상기 제1 및 제2본딩유니트(B1,B2)는 칩(C)의 본딩시에 정해진 본딩시간을 각각 분할하여 비연속적으로 본딩을 행하게 된다.In addition, the first and second bonding units B1 and B2 divide the bonding time determined at the time of bonding the chip C, and perform bonding discontinuously.

상기 본딩부(22)에 의해 칩(C)이 본딩된 글래스(G)는 상기 회전수단(R)에 의해 다시 일정한 각도로 회전하여 언로딩부(24)에 의해 회전수단(R)에서 언로딩 되며, 이 언로딩부(24)의 이송유니트(F4)는 상기 작업대(2) 상판(4)에 설치된 보조가이드판(34a)에 설치된다.The glass G in which the chip C is bonded by the bonding part 22 is rotated again by the rotating means R at a constant angle, and is unloaded from the rotating means R by the unloading part 24. The transfer unit F4 of the unloading part 24 is installed on the auxiliary guide plate 34a provided on the upper plate 4 of the work table 2.

상기 언로딩부(24)의 구조는 상기 로딩부(16)의 구조와 동일 또는 유사한 구조 즉, 진공흡착기(V3)가 이송유니트(F4)의 슬라이드부재(S9)에 설치되어 일방향으로 이동하면서 칩(C)이 본딩된 글래스(G)를 회전수단(R)의 회전테이블(R1)로 부터 언로딩하게 된다.The unloading part 24 has the same or similar structure as that of the loading part 16, that is, the vacuum suction unit V3 is installed on the slide member S9 of the transfer unit F4 and moves in one direction. The glass G bonded with (C) is unloaded from the rotating table R1 of the rotating means R.

그리고, 상기와 같이 언로딩 되는 글래스(G)는 상기 언로딩부(24)의 일측단에서 상판(4)에 설치된 적재플레이트(58)에 순차적으로 적재되며, 이 적재플레이트(58)는 상기 로딩부(16)의 공급플레이트(26)와 동일한 구조로 이루어지는 것이므로 상세한 설명은 생략한다.Then, the glass (G) to be unloaded as described above is sequentially loaded on the loading plate 58 installed on the upper plate 4 at one end of the unloading portion 24, the loading plate 58 is the loading Since it is made of the same structure as that of the supply plate 26 of the part 16, detailed description is abbreviate | omitted.

상기한 본 발명에 따른 로딩부(16), 크리닝부(18), 칩셋팅부(20), 본딩부(22), 언로딩부(24)는 별도의 제어부(미도시)와 전기적으로 연결되어 설정된 셋팅값에 의해 자동으로 작동 및 제어되는 것이며, 이러한 전기적 연결구조는 해당업계에서 통상의 지식을 가진자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.The loading unit 16, the cleaning unit 18, the chipsetting unit 20, the bonding unit 22, and the unloading unit 24 according to the present invention are electrically connected to a separate controller (not shown). It is automatically operated and controlled by the set setting value, and this electrical connection structure is easily implemented by those of ordinary skill in the art, so a detailed description thereof will be omitted.

그리고, 상기 로딩부(16), 칩셋팅부(20), 본딩부(22), 언로딩부(24)의 이송구조는 상기한 실시예에 의한 구조 외에도 본 발명의 목적을 만족하는 구조는 다양하게 실시하는 것이 가능하다.In addition, the transport structure of the loading unit 16, the chipsetting unit 20, the bonding unit 22, and the unloading unit 24 is a structure that satisfies the object of the present invention in addition to the structure according to the above embodiment It is possible to carry out.

다음으로 상기한 본 발명의 일실시예에 따른 본딩장치를 이용하여 칩의 본딩을 행하는 바람직한 일실시예를 상세하게 설명하고 본 실시예에서는 글래스의 일측면에 형성되는 패턴부 즉, 피접착면에 칩이 본딩되는 COG 본딩의 일예를 설명한다.Next, a preferred embodiment of bonding a chip using a bonding apparatus according to an embodiment of the present invention described above will be described in detail. In this embodiment, the pattern portion formed on one side of the glass, that is, the surface to be bonded is described. An example of COG bonding in which a chip is bonded will be described.

도 9는 본 발명의 바람직한 본딩공정의 일실시예를 도시한 도면으로서 도면을 참조하면, 본 발명에 따른 본딩공정은, 글래스(G)를 로딩하는 로딩공정(S1)과, 로딩된 글래스의 피접착면(G1)에 부착된 이물질을 제거하기 위한 크리닝공정(S2)과, 크리닝된 글래스(G)의 피접착면(G1)에 칩(C)을 셋팅하는 칩셋팅공정(S3)과, 셋팅된 칩(C)의 상측면을 가압하여 본딩하는 본딩공정(S4)과, 칩(C)이 본딩된 글래스(G)를 언로딩하는 언로딩공정(S5)을 포함하여 이루어진다.9 is a view showing an embodiment of a preferred bonding process of the present invention with reference to the drawings, the bonding process according to the present invention, the loading step (S1) for loading the glass (G), the blood of the loaded glass Cleaning process (S2) for removing foreign matter adhered to the adhesive surface (G1), Chipsetting process (S3) for setting the chip (C) on the surface to be bonded (G1) of the cleaned glass (G), and setting The bonding step (S4) for pressing and bonding the upper surface of the chip (C), and the unloading step (S5) for unloading the glass (G) bonded the chip (C).

먼저, 상기 로딩공정(S1)은 상기 공급플레이트(26)에 글래스(G)가 적재된 상태에서 로딩부(16)의 이송유니트(F1)에 설치된 진공흡착기(V1)가 상기 공급플레이트(26)의 상측으로 이동하여 상기 글래스(G)의 표면을 흡착한 후 이송유니트(F1)를 따라 이동하여 보정플레이트(P1)의 가이드면(28)에 안착시킨다.First, the loading step (S1) is a vacuum suction machine (V1) installed in the transfer unit (F1) of the loading unit 16 in the state that the glass (G) is loaded on the supply plate 26 is the supply plate 26 After moving to the upper side of the glass (G) to adsorb the surface of the transfer unit (F1) to be seated on the guide surface 28 of the correction plate (P1).

그러면 이 보정플레이트(P1)가 모터(M3)에 의해 회전하여 이 플레이트의 가이드면(28) 접촉점 부분이 하측으로 기울어져서 상기 플레이트(P1)에 얹혀진 글래스(G)가 자중에 의해 이동하면서 상기 가이드면(28)에 의해 정확한 위치로 셋팅되는 것이다.Then, the correction plate P1 is rotated by the motor M3, and the contact point portion of the guide surface 28 of the plate is inclined downward, so that the glass G mounted on the plate P1 moves by its own weight. It is set to the correct position by the face 28.

상기와 같이 보정플레이트(P1)에 의해 셋팅위치가 보정된 글래스(G)는 상기 로딩부(16)의 진공흡착기(V1)에 의해 다시 흡착되어 회전수단(R)의 테이블(R1)에 안착된다.The glass G whose setting position is corrected by the correction plate P1 as described above is resorbed by the vacuum adsorber V1 of the loading unit 16 and seated on the table R1 of the rotating means R. .

이때, 상기 회전수단(R)에 안착되는 글래스(G)의 피접착면(G1)이 상기 수단의 원주??향 쪽으로 향하여 로딩될 수 있도록 이미 상기 공급플레이트(26)에서 그 위치를 셋팅하게 된다.At this time, the feed plate 26 is already set in position so that the surface to be bonded G1 of the glass G seated on the rotating means R can be loaded toward the circumferential direction of the means. .

상기와 같이 회전수단(R)에 글래스(G)가 로딩되면 크리닝공정(S2)을 행하게 되며, 이 공정은 상기 회전수단(R)이 회전하여 글래스(G)가 크리닝 지점에 위치한 후 정지하게 되면, 상기 크리닝부(18)의 분사노즐(N)이 이송유니트(F2)를 따라 이동하여 분사위치에서 정지한 후 글래스(G)의 피접착면(G1)에 이산화탄소를 분사하여 상기 글래스(G)의 피접착면(G1)에 부착된 이물질이나 먼지를 제거하게 된다.When the glass G is loaded on the rotating means R as described above, the cleaning process S2 is performed. When the rotating means R is rotated and the glass G is positioned at the cleaning point, the glass G stops. The injection nozzle N of the cleaning unit 18 moves along the transfer unit F2 and stops at the injection position, and then sprays carbon dioxide on the adhered surface G1 of the glass G so that the glass G Remove foreign substances or dust from the adhered surface (G1) of the.

이때, 상기 로딩부(16)는 로딩된 글래스(G)가 상기 회전수단(R)에 의해 상기 크리닝부(18)에 배치되면 다시 작동되어 상기와 동일한 로딩방법으로 글래스(G)를 회전수단(R)에 로딩하게 된다.At this time, the loading unit 16 is operated again when the loaded glass G is disposed on the cleaning unit 18 by the rotating means R to rotate the glass G in the same loading method as the above-mentioned. Will be loaded into R).

상기 크리닝부(18)는 분사노즐(N)이 이송유니트(F2)를 따라 피접착면(G1)의 길이방향으로 이동 가능한 구조로 이루어져 있어서, 글래스(G)의 피접착면(G1)에서 칩(C)이 셋팅될 부분만 집중적으로 이산화탄소를 분사하게 되므로 더욱 향상된 크리닝효과를 얻을 수 있다.The cleaning unit 18 has a structure in which the injection nozzle N is movable along the transfer unit F2 in the longitudinal direction of the surface to be bonded G1, and thus the chip is disposed on the surface G1 of the glass G. Only the part where (C) is to be set will be intensively injected with carbon dioxide, so that an improved cleaning effect can be obtained.

상기와 같이 크리닝이 완료된 글래스(G)는 상기 회전수단(R)에 의해 칩셋팅 지점으로 이동하여 대기하게 되고 칩셋팅부(20)에 의해 칩(C)을 셋팅하기 위한 칩셋팅공정(S3)을 행하게 된다.The glass G, which has been cleaned as described above, moves to the chipsetting point by the rotating means R and stands by, and the chipsetting process S3 for setting the chip C by the chipsetting unit 20. Will be done.

이때, 상기 회전수단(R)에 의해 대기중인 글래스(G)의 피접착면(G1)은 상기 칩셋팅부(20)의 이송유니트(F3)의 이송방향과 직교하는 방향에서 정지하여 대기하게 되는 것이다.At this time, the to-be-attached surface G1 of the glass G waiting by the rotating means R stops and waits in a direction orthogonal to the transfer direction of the transfer unit F3 of the chipsetting unit 20. will be.

상기 칩셋팅공정(S3)은 상기 칩셋팅부(20)의 X-Y슬라이더(S6)의 상측면에서 트레이에 수납된 칩(C)을 흡착한 후 보정플레이트(P2)에 안착시키면 이 보정플레이트(P2)는 상기 로딩부(16)의 보정플레이트(P1)와 동일하게 작동하여 칩(C)의 셋팅위치를 보정하게 된다.In the chipsetting process S3, the chip C accommodated in the tray is sucked from the upper surface of the XY slider S6 of the chipsetting unit 20 and then placed on the correction plate P2. ) Operates in the same way as the correction plate P1 of the loading unit 16 to correct the setting position of the chip (C).

상기 보정플레이트(P2)에 의해 셋팅위치가 보정된 칩(C)은 다시칩셋팅부(20)의 진공흡착기(V2)에 의해 이송되어 상기 회전수단(R)에 안착되어 대기상태에 있는 글래스(G)의 피접착면(G1) 상측에 위치하게 된다.The chip C whose setting position is corrected by the correction plate P2 is again transferred by the vacuum adsorber V2 of the chip setting unit 20 to be seated on the rotating means R and in a glass state in a standby state. It is located above the to-be-attached surface G1 of G).

이때, 상기 칩(C)이 상기 글래스(G)의 피접착면(G1)에 위치하게 되면 글래스(G)와 칩(C)의 정렬공정을 행하게 되는데, 즉, 감지카메라(39)에 의해 글래스(G)의 피접착면(G1)과 이 피접착면(G1)에 셋팅되는 칩(C)의 위치편차를 모니터링 하여 이 신호를 제어부(미도시)에 인가하게 되며, 이러한 위치편차의 검출은 상기 피접착면(G1)에 셋팅포인트(G2)가 표시되어 원활하게 편차를 감지하고 보정할 수 있게 된다.At this time, when the chip (C) is located on the surface to be glued (G1) of the glass (G) to perform the alignment process of the glass (G) and the chip (C), that is, the glass by the detection camera 39 The position deviation of the to-be-attached surface G1 of (G) and the chip C set on this to-be-adhered surface G1 is monitored, and this signal is applied to a control part (not shown), and the detection of such a position deviation is The setting point G2 is displayed on the surface to be glued G1 to detect and correct the deviation smoothly.

그리하여, 상기 감지카메라(39)에 의해 위치편차가 발생하게 되면 상기 제어부에서 이를 연산하여 정확한 위치로 보정을 행하게 되며, 이를 도 3 및 도 6을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Thus, when a position deviation occurs by the detection camera 39, the control unit calculates the correction and corrects it to the correct position. This will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 6 as follows.

먼저, 상기 도면을 기준으로 종방향의 위치편차가 발생하게 되면 상기 회전수단(R)의 하측에 설치된 이송부(6)가 작동하여 이를 보정하게 되며, 횡방향의 위치편차는 상기 칩셋팅부(20)의 이송유니트(F3)에 의해 그 위치를 정확하게 보정하게 되므로 정해진 위치편차 범위내로 칩(C)이 셋팅되어 더욱 향상된 본딩정밀도를 유지할 수 있는 것이다.First, when a positional deviation in the longitudinal direction is generated based on the drawing, the transfer part 6 installed at the lower side of the rotating means R operates to correct it, and the horizontal positional deviation is the chipsetting unit 20. Since the position is accurately corrected by the transfer unit F3), the chip C is set within a predetermined position deviation range, thereby further maintaining the bonding accuracy.

상기와 같이 칩(C)의 셋팅이 완료되면 본딩공정(S4)을 행할 수 있도록 상기 회전수단(R)이 다시 일정한 각도로 회전하여 본딩부(22)의 본딩위치에서 정지하게 된다.As described above, when the setting of the chip C is completed, the rotating means R is rotated again at a predetermined angle so as to perform the bonding step S4, and stops at the bonding position of the bonding part 22.

상기 본딩부(22)는 하나 이상의 본딩유니트로 구성되는 것으로서 본 실시예에서는 제1본딩유니트(B1)와 제2본딩유니트(B2)가 일정한 간격으로 이격되어 설치된 것으로 도면에 도시하고 있다.The bonding unit 22 is composed of one or more bonding units, and in this embodiment, the first bonding unit B1 and the second bonding unit B2 are spaced apart at regular intervals and are shown in the drawing.

상기 본딩유니트(B1,B2)들은 정해진 본딩시간을 분할하여 비연속적으로 칩(C)을 본딩하게 되는데, 본 실시예에서는 글래스(G)와 칩(C)의 본딩시에 요구되는 본딩시간이 10초로 이루어지고 이를 상기 제1 및 제2본딩유니트(B1,B2)에 의해 5초씩 분할하여 본딩을 행하는 것을 일예로 한다.The bonding units B1 and B2 divide the predetermined bonding time and discontinuously bond the chip C. In this embodiment, the bonding time required for bonding the glass G and the chip C is 10. For example, the bonding is performed by dividing each second into five seconds by the first and second bonding units B1 and B2.

따라서, 상기 본딩부(22)의 작동을 설명하면, 도 10에서와 같이 글래스(G)의 피접착면(G2)에 칩(C)이 셋팅되어 제1본딩유니트(B1)의 본딩헤드(46) 하측에 위치하게 되면 실린더부재(54)가 작동하여 상기 본딩헤드(46)를 하측으로 이동시켜서 칩(C)의 상측면을 가압하게 된다.Therefore, when the operation of the bonding part 22 is described, as shown in FIG. 10, the chip C is set on the surface to be bonded G2 of the glass G so that the bonding head 46 of the first bonding unit B1 may be formed. When positioned below the cylinder member 54 is operated to move the bonding head 46 to the lower side to press the upper surface of the chip (C).

이때, 상기 본딩헤드(46)의 내측에 설치된 히터코일(H)이 발열하여 본딩헤드(46)의 가압면(46a)을 가열하게 되므로 상기 칩(C)의 일측면에 도포된 접착재가 상기 글래스(G)의 피접착면(G1)에서 용융되면서 본딩을 행하게 된다.At this time, since the heater coil H installed inside the bonding head 46 generates heat to heat the pressing surface 46a of the bonding head 46, the adhesive material applied to one side of the chip C is coated on the glass. Bonding is performed while melting at the to-be-attached surface G1 of (G).

상기 제1본딩유니트(B1)에서 분할된 본딩시간(5초) 동안 본딩을 행하게 되면 상기 본딩헤드(46)가 원래의 위치로 복귀하게 되고, 이 유니트에 의해 1차로 본딩된 글래스(G)와 칩(C)은 회전수단(R)에 의해 상기 제2본딩유니트(B2)의 본딩위치로 이동한 후 정지하게 된다.When bonding is performed for the bonding time (5 seconds) divided by the first bonding unit B1, the bonding head 46 is returned to its original position, and the glass G first bonded by the unit is The chip C moves to the bonding position of the second bonding unit B2 by the rotating means R and stops.

그러면, 상기 제2본딩유니트(B2)는 상기 제1본딩유니트(B1)와 동일한 작동과정으로 분할된 나머지 본딩시간(5초) 동안 본딩을 행하게 되는 것이다.Then, the second bonding unit B2 performs bonding for the remaining bonding time (5 seconds) divided by the same operation process as that of the first bonding unit B1.

상기와 같은 본딩부(22)의 구조는 칩(C)의 본딩시에 하나 이상의 본딩유니트에 의해 본딩시간을 분할하여 각각 본딩을 행하므로서 분할된 시간만큼 생산성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 비연속적으로 칩을 본딩하므로서 접착재의 열적변화를 방지하여 더욱 향상된 본딩품질을 얻을 수 있는 것이다.The structure of the bonding unit 22 as described above not only improves productivity by the divided time but also discontinuously by dividing the bonding time by one or more bonding units during bonding of the chip C. By bonding the chip to prevent the thermal change of the adhesive material to obtain a more improved bonding quality.

상기와 같이 제2본딩유니트(B2)에 의해 칩(C)의 본딩이 완료된 글래스(G)는 회전수단(R)에 의해 언로딩 지점으로 이동하게 되고 상기 언로딩부(24)에 의해 상기 글래스(G)의 언로딩공정(S5)을 행하게 된다.As described above, the glass G, in which the bonding of the chip C is completed by the second bonding unit B2, is moved to the unloading point by the rotation means R, and the glass is unloaded by the unloading unit 24. The unloading step (S5) of (G) is performed.

상기 언로딩공정(S5)은 상기 글래스(G)가 언로딩 지점에 위치하게 되면 상기 언로딩부(24)의 진공흡착기(V3)가 이송유니트(F4)에 의해 이동하여 글래스(G)의 표면을 흡착한 후 상기 회전수단(R)에서 글래스(G)를 언로딩하게 되며, 이렇게 언로딩된 글래스(G)는 적재플레이트(58)에 순차적으로 적재되는 것이다.In the unloading process S5, when the glass G is positioned at the unloading point, the vacuum adsorption unit V3 of the unloading unit 24 moves by the transfer unit F4 so that the surface of the glass G is moved. After the adsorption, the glass G is unloaded from the rotating means R, and the unloaded glass G is sequentially loaded on the loading plate 58.

그리고, 상기한 실시예는 글라스(G)의 피접착면(G1)에 하나의 칩이 셋팅되는 것을 일예로 하여 설명하고 도면에 도시하고 있지만 상기 글래스(G)의 피접착면(G1)에는 요구되는 사양에 따라 하나 이상의 칩이 본딩될 수 있으며, 이러한 경우에는 제어부를 재 셋팅하게 되면 상기 크리닝부(18), 회전수단(R), 칩셋팅부(20) 그리고 본딩부(22)가 상기 제어부에 의해 셋팅된 위치로 작동이 제어되면서 글래스(G)의 피접착면(G1)에서 또 다른 위치에 칩(C1)을 본딩할 수 있게 된다.In the above embodiment, one chip is set on the surface to be bonded G1 of the glass G as an example and illustrated in the drawing, but the surface to be bonded G1 of the glass G is required. One or more chips may be bonded according to the specification. In this case, when the controller is reset, the cleaning unit 18, the rotation unit R, the chipsetting unit 20, and the bonding unit 22 may be controlled. By controlling the operation to the position set by the it is possible to bond the chip (C1) to another position on the surface to be bonded (G1) of the glass (G).

상기와 같은 본딩 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The bonding embodiment as described above will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 글래스(G)의 로딩동작은 상기의 일실시예와 동일하게 이루어지며, 크리닝동작은 크리닝부(18)의 분사노즐(N)이 이송유니트(F2)를 따라 이동하여 이미 본딩된 칩(C)과 이격되어 또 다른 칩(C1)이 셋팅되는 글래스(G)의 피접착면(G1)에이산화탄소를 분사하여 크리닝을 행하게 된다.First, the loading operation of the glass G is performed in the same manner as in the above embodiment, and the cleaning operation is performed by the injection nozzle N of the cleaning unit 18 moving along the transfer unit F2 and bonding of the chip ( Cleaning is performed by spraying carbon dioxide on the surface to be bonded G1 of the glass G, which is spaced apart from C) and another chip C1 is set.

그리고, 도 11에서와 같이 칩셋팅동작은 글래스(G)의 피접착면(G1)에 이미 본딩된 칩(C)과 이격되어 또 다른 셋팅위치에 칩(C1)이 본딩될 수 있도록 상기 회전수단(R)의 이송부(6)가 작동되어 도 11을 기준으로 하여 글래스(G)를 종방향으로 이동시킨다.As shown in FIG. 11, the chipseting operation is spaced apart from the chip C already bonded to the surface to be bonded G1 of the glass G so that the chip C1 can be bonded to another setting position. The transfer part 6 of (R) is operated to move the glass G in the longitudinal direction with reference to FIG.

상기와 같이 이동된 글래스(G)의 피접착면(G1)에 상기 실시예와 동일하게 정렬공정을 행한 후 칩(C1)을 셋팅하게 되면 상기 이송부(6)가 작동하여 상기 회전수단(R)이 원래의 위치로 복귀하게 된다.When the chip C1 is set after the alignment process is performed on the surface to be bonded G1 of the glass G as described above in the same manner as in the above embodiment, the transfer unit 6 operates to rotate the rotation means R. It will return to this original position.

상기와 같이 칩(C1)이 셋팅된 글래스(G)는 회전수단(R)에 의해 본딩부(22)의 본딩위치로 이동한 후 정지한다.As described above, the glass G on which the chip C1 is set moves to the bonding position of the bonding unit 22 by the rotating means R and then stops.

그러면, 도 12에서와 같이 상기 본딩부(22) 즉, 제1본딩유니트(B1)의 횡플레이트(42)가 고정플레이트(40)의 상측에 설치된 모터(M4)에 의해 칩(C1)이 셋팅된 위치로 이동한 후 정지하게 된다.Then, as shown in FIG. 12, the chip C1 is set by the motor M4 in which the bonding plate 22, that is, the horizontal plate 42 of the first bonding unit B1, is installed above the fixed plate 40. It stops after moving to the location.

상기의 과정이 완료되면, 이 제1본딩유니트(B1)의 실린더부재(54)가 작동하여 상기 일실시예와 동일한 과정으로 본딩헤드(46)에 의해 칩(C1)을 본딩하게 되는 것이다.When the above process is completed, the cylinder member 54 of the first bonding unit B1 is operated to bond the chip C1 by the bonding head 46 in the same process as the above embodiment.

그리고, 상기 제1본딩유니트(B1)에 의해 1차로 칩(C1)이 본딩된 글래스(G)는 상기 회전수단(R)에 의해 제2본딩유니트(B2)의 본딩위치로 이동하게 되며, 이 제2본딩유니트(B2)는 상기 제1본딩유니트(B1)의 본딩과정과 동일하게 작동되면서 칩(C1)을 본딩하게 된다.In addition, the glass G in which the chip C1 is first bonded by the first bonding unit B1 is moved to the bonding position of the second bonding unit B2 by the rotating means R. The second bonding unit B2 operates in the same manner as in the bonding process of the first bonding unit B1, thereby bonding the chip C1.

상기의 과정에 의해 본딩이 완료된 글래스(G)는 상기 언로딩부(24)에 의해 상기 회전수단(R)에서 언로딩되어 다시 적재플레이트(58)에 적재되는 것이다.The glass G, which has been bonded by the above process, is unloaded from the rotating means R by the unloading part 24 and loaded on the loading plate 58 again.

그리하여 본 발명에 따른 본딩장치는 상기한 본딩방법을 통해서 COG 즉, 글래스(G)의 피접착면(G1)에 본딩되는 하나 이상이 칩(C,C1)을 용이하게 접착할 수 있으며, 도면에 도시하고 있지 않지만 COF(CHIP ON FILM) 본딩시에도 필름의 피접착면에 상기와 동일한 방법으로 칩을 본딩하면 된다.Thus, in the bonding apparatus according to the present invention, one or more bonded to the surface to be glued (G1) of COG, that is, the glass (G) through the above bonding method can easily adhere the chip (C, C1), Although not shown, the chip may be bonded to the surface to be bonded of the film in the same manner as described above even during COF (CHIP ON FILM) bonding.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 특허청구범위와, 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범주에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims, the detailed description of the invention, and the accompanying drawings. It is also obvious that it belongs to the scope of the present invention.

가령, 상기 제1본딩유니트(B1) 및 제2본딩유니트(B2)의 본딩헤드(46)가 고정플레이트(40)의 상측에 설치된 실린더부재(54)에 의해 상,하측 방향으로 이송되는 것으로 설명하였지만, 이에 국한되지 않고 다른 구동원 즉, 모터를 설치하고 이 모터축에 나사축을 결합하여 이 나사축을 따라 이동될 수 있도록 하는 것도 가능하다.For example, it will be described that the bonding head 46 of the first bonding unit B1 and the second bonding unit B2 is transferred upward and downward by the cylinder member 54 provided above the fixing plate 40. However, the present invention is not limited thereto, but it is also possible to install another driving source, that is, a motor, and couple the screw shaft to the motor shaft so that the screw shaft can be moved along the screw shaft.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 평판표시장치의 칩 본딩장치는 칩의 본딩시에 본딩유니트들에 의해 비연속적으로 칩을 가압 및 가열하여 본딩을 행하므로서, 칩의 접착력이 더욱 향상되어 양질의 본딩 품질을 얻을 수 있다.As described above, the chip bonding apparatus of the flat panel display according to the present invention performs bonding by pressing and heating the chip discontinuously by the bonding units during bonding of the chip, so that the adhesive strength of the chip is further improved, thereby providing good bonding. Quality can be obtained.

그리고, 본 발명에 따른 평판표시장치의 칩 본딩장치는 글래스가 회전수단에로딩된 후 이 수단이 자체적으로 회전하면서 글래스를 이송시키므로서 더욱 향상된 본딩정밀도가 유지되어 불량률을 대폭 감소시키게 된다.In the chip bonding apparatus of the flat panel display according to the present invention, after the glass is loaded on the rotating means, the device rotates itself and transfers the glass, thereby maintaining a more improved bonding accuracy and greatly reducing the defective rate.

또, 본 발명에 따른 평판표시장치의 칩 본딩장치는 회전수단의 원주방향에 로딩부, 크리닝부, 칩셋팅부, 본딩부, 언로딩부가 각각 설치되어 구조적으로 소형화를 이룰 수 있으며, 이에 따른 제작비 및 유지보수에 소요되는 비용을 최소화 할 수 있다.In addition, in the chip bonding apparatus of the flat panel display device according to the present invention, the loading part, the cleaning part, the chipsetting part, the bonding part, and the unloading part are respectively installed in the circumferential direction of the rotating means, thereby achieving a structural miniaturization, and thus the manufacturing cost. And the cost of maintenance can be minimized.

그리고, 본 발명에 따른 평판표시장치의 칩 본딩방법은 본딩공정시에 하나 이상의 본딩유니트들이 정해진 본딩시간을 각각 분할하여 본딩을 행하므로서, 이에 따른 본딩시간이 대폭 단축되어 생산능률과 작업효율을 향상시킬 수 있다.In addition, the chip bonding method of the flat panel display device according to the present invention performs bonding by dividing the bonding time by one or more bonding units, respectively, during the bonding process, thereby significantly reducing the bonding time, thereby improving production efficiency and work efficiency. You can.

또, 본 발명에 따른 평판표시장치의 칩 본딩방법은 칩의 셋팅공정시에 정렬공정을 행한 후 칩을 셋팅하므로서, 더욱 향상된 본딩정밀도를 얻을 수 있다.In addition, in the chip bonding method of the flat panel display device according to the present invention, an improved bonding accuracy can be obtained by setting the chip after performing the alignment step in the chip setting step.

Claims (7)

작업대와, 이 작업대의 상측에 설치되고 로딩된 글래스를 원주방향으로 이동시키는 회전수단과, 이 수단의 원주방향에 설치되는 로딩부, 클리닝부, 칩셋팅부, 본딩부, 언로딩부를 포함하며, 상기 본딩부는 2개 이상의 본딩유니트로 구성되는 평판표시장치의 칩 본딩장치.A work table, a rotating means for moving the glass installed and loaded on the upper side of the work table in the circumferential direction, and a loading part, the cleaning part, the chipseting part, the bonding part, and the unloading part installed in the circumferential direction of the means, And the bonding unit comprises two or more bonding units. 청구항 1에 있어서, 상기한 본딩유니트는, 상기 작업대의 상판에 설치되는 고정플레이트와, 이 고정플레이트의 폭방향으로 설치된 슬라이드부재에 결합되어 좌,우측 방향으로 이송되는 횡플레이트와, 이 횡플레이트의 길이방향으로 설치된 슬라이드부재와 결합되어 상,하측 방향으로 이송되는 종플레이트와, 상기 종플레이트의 일측에 결합되어 이 플레이트와 동일한 방향으로 이동하면서 칩을 본딩하고 내부 일측에는 히터가 삽입된 본딩헤드를 포함하며, 상기 본딩헤드와 종플레이트 사이에는 압력감지부재가 설치된 평판표시장치의 칩 본딩장치.The said bonding unit is a fixed plate provided in the upper board of the said work table, the horizontal plate couple | bonded with the slide member provided in the width direction of this fixed plate, and conveyed to a left and right direction, A vertical plate coupled to the slide member installed in the longitudinal direction and conveyed in the upper and lower directions, bonded to one side of the vertical plate and bonded in the same direction as the plate while bonding the chip and the bonding head in which the heater is inserted in one side And a pressure sensing member installed between the bonding head and the longitudinal plate. 청구항 2에 있어서, 상기한 압력감지부재는 로드셀(LOAD CELL)인 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 칩 본딩장치.The chip bonding apparatus of claim 2, wherein the pressure sensing member is a load cell. 청구항 1에 있어서, 상기한 회전수단은 구동원에 의해 자체 회전하는 인덱싱 드라이브 테이블(INDEXING DRIVE TABLE)로 이루어지며, 이 수단은 회전테이블에 로딩된 글래스를 자체 회전하면서 크리닝부, 칩셋팅부, 본딩부, 언로딩부로 이동시키고, 상기 작업대의 보조프레임에서 이송부에 의해 슬라이드 되면서 칩셋팅시에 로딩된 글래스를 피접착면의 길이방향으로 위치를 변화시키는 평판표시장치의 칩 본딩장치.The method of claim 1, wherein the rotating means is composed of an indexing drive table (INDEXING DRIVE TABLE) that rotates itself by a drive source, the means is self-rotating the glass loaded on the rotating table cleaning unit, chipsetting unit, bonding unit And a chip bonding device of the flat panel display device which moves to the unloading part and changes the position of the glass loaded at the time of chipseting in the longitudinal direction of the surface to be bonded while being slid by the conveying part in the auxiliary frame of the work table. 청구항 1에 있어서, 상기 크리닝부는 모터의 구동에 의해 일방향으로 이동하는 이송유니트의 슬라이드부재에 분사노즐이 설치되고, 이 분사노즐은 글래스나 필름의 피접착면에 이산화탄소를 분사하는 평판표시장치의 칩 본딩장치.The chip of the flat panel display of claim 1, wherein the cleaning unit is provided with a spray nozzle on a slide member of a transfer unit moving in one direction by driving of a motor, and the spray nozzle sprays carbon dioxide on a surface to be bonded of glass or a film. Bonding device. 글래스나 필름을 로딩하는 로딩공정과, 로딩된 글래스나 필름의 피접착면에 부착된 이물질을 제거하기 위한 크리닝공정과, 크리닝된 글래스나 필름의 피접착면에 칩을 셋팅하는 칩셋팅공정과, 셋팅된 칩의 상측면을 가압하여 본딩하는 2개 이상의 본딩공정과, 칩이 본딩된 글래스를 언로딩하는 언로딩공정을 포함하며, 상기 칩셋팅공정은 로딩된 글래스나 필름의 피접착면에 칩이 정확하게 셋팅될 수 있도록 정렬공정을 행한 후 칩을 셋팅하고, 상기 본딩공정은 2개 이상의 본딩유니트에 의해 정해진 본딩시간을 분할하여 비연속적으로 본딩하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 칩 본딩방법.A loading process for loading glass or film, a cleaning process for removing foreign matter adhering to the adhered surface of the loaded glass or film, a chipseting process for setting chips on the adhered surface of the cleaned glass or film, Two or more bonding processes for pressing and bonding the upper side of the set chip, and an unloading process for unloading the glass bonded the chip, wherein the chipset setting process is a chip on the adhered surface of the loaded glass or film A chip bonding method for a flat panel display device, characterized in that the chip is set after performing an alignment process so as to be accurately set, and the bonding process divides the bonding time determined by two or more bonding units in discontinuous bonding. 청구항 6에 있어서, 상기 정렬공정은 칩의 셋팅시에 감지카메라가 글래스나 필름의 피접착면과 칩의 위치편차를 각각 모니터링하여 이를 회전수단의 이송부와칩셋팅부의 이송유니트에 의해 위치편차를 보정하는 평판표시장치의 칩 본딩방법.The method of claim 6, wherein in the alignment process, the sensing camera monitors the position deviation of the chip and the adhered surface of the glass or film, and corrects the position deviation by the transfer unit of the rotating means and the transfer unit of the chip setting unit. Chip bonding method of a flat panel display device.
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