JP2012164706A - Mounting device and mounting method of mounted member - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mounting device which enables tape carrier packages (TCP) to be efficiently mounted to substrates.SOLUTION: A mounting device includes: a supply part 5 supplying rectangular shape substrates; a pair of first mounting part 14A, 14B arranged parallel to the supply part and mounting a TCP on a long side of each substrate supplied from the supply part; an ejection part 11 arranged parallel to the first mounting parts and ejecting each substrate on which the TCP has been mounted in the mounting part; a first transport table for supply 23 supplying each substrate in the supply part alternately to the pair of first mounting parts; and a delivery table for transportation 52 alternately taking out each substrate on which the TCP has been mounted and transporting the substrates to the ejection part.

Description

この発明はたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製のパネルなどの基板に、被実装部材としての電子部品、たとえばTCP(Tape Carrier Package)などを実装する被実装部材の実装装置及び実装方法に関する。   The present invention relates to a mounting apparatus and mounting method for a mounted member that mounts an electronic component such as a TCP (Tape Carrier Package) as a mounted member on a substrate such as a glass panel used in a liquid crystal display device.

たとえば、液晶表示装置を製造する場合、ガラス製のパネルなどの矩形状の基板に、実装装置を用いて被実装部材としての電子部品であるTCPを実装する工程がある。TCPは上記基板の2つの長辺と短辺の4つの辺のうち、少なくとも1つの長辺に実装される。   For example, when manufacturing a liquid crystal display device, there is a step of mounting TCP, which is an electronic component as a mounted member, on a rectangular substrate such as a glass panel using a mounting device. The TCP is mounted on at least one long side of the four long sides and the short side of the substrate.

上記実装装置は上記基板が供給載置される載置テーブルなどの支持部を有する。この支持部は上記基板の平面形状よりも面積の小さな載置面を有し、この載置面に上記基板が供給載置される。その際、上記基板は、上記TCPが実装される周辺部を上記実装ステージの載置面の周縁から外方に突出させて位置決め保持される。   The mounting apparatus includes a support unit such as a mounting table on which the substrate is supplied and mounted. The support portion has a placement surface having a smaller area than the planar shape of the substrate, and the substrate is supplied and placed on the placement surface. At that time, the substrate is positioned and held by causing the peripheral portion on which the TCP is mounted to protrude outward from the periphery of the mounting surface of the mounting stage.

基板を支持部に供給載置した後、この基板のTCPを実装する辺に被実装部材であるテープ状の異方性導電部材が貼着される。ついで、この異方性導電部材が貼着された箇所に複数の上記TCPが1つずつ仮圧着された後、仮圧着されたTCPを加圧ツールで加圧加熱して上記基板に本圧着するということが行われる。   After the substrate is supplied and mounted on the support portion, a tape-like anisotropic conductive member, which is a mounted member, is attached to the side of the substrate on which the TCP is mounted. Next, after a plurality of the TCPs are temporarily pressure-bonded one by one to the place where the anisotropic conductive member is adhered, the temporarily pressure-bonded TCPs are pressure-heated with a pressure tool and finally pressure-bonded to the substrate. That is done.

上記基板に対してTCPを本圧着する場合、TCPを基板に仮圧着した異方性導電部材を溶融硬化させなければならないため、異方性導電部材を貼着する工程や、TCPを仮圧着する工程に比べて作業時間が長く掛かるということがある。   When TCP is pressure-bonded to the substrate, an anisotropic conductive member obtained by temporarily bonding TCP to the substrate has to be melt-cured. It may take longer work time than the process.

そこで、生産性の向上を図るために、以下のような実装作業が行なわれている。すなわち、前工程で1つの長辺と2つの短辺との3つの辺にTCPが仮圧着された矩形状の2枚の基板を搬送手段によって1枚ずつ搬送して1つの実装ステージに順次供給載置する。その際、各基板はTCPが仮圧着されたそれぞれの3辺が上記実装ステージよりも外方に突出するよう、この実装ステージに位置決めされて載置される。   Therefore, the following mounting work is performed in order to improve productivity. That is, in the previous step, two rectangular substrates with TCP temporarily bonded to three sides, one long side and two short sides, are transported one by one by the transport means and sequentially supplied to one mounting stage. Place. At that time, each substrate is positioned and placed on the mounting stage so that the three sides to which the TCP is temporarily press-bonded protrude outward from the mounting stage.

その状態で、上記実装ステージをX方向、Y方向及び回転方向に駆動し、2枚の基板の同一方向に位置するTCPが仮圧着されたそれぞれの側辺部を、バックアップツールの上方に位置決めしたならば、このバックアップツールの上方に配置された加圧ツールを下降方向に駆動して、上記2枚の基板の同一方向に位置する1つの側辺部に仮圧着されたTCPを本圧着する。   In this state, the mounting stage is driven in the X direction, the Y direction, and the rotation direction, and the respective side portions to which the TCPs located in the same direction of the two substrates are temporarily bonded are positioned above the backup tool. Then, the pressure tool arranged above the backup tool is driven in the downward direction, and the TCP temporarily bonded to one side portion located in the same direction of the two substrates is finally pressure bonded.

2枚の基板の同一方向に位置する1つの側辺部に仮圧着されたTCPを本圧着したならば、上記実装ステージを90度回転させて次の側辺部に仮圧着されたTCPを本圧着し、ついで残りの側辺部に仮圧着されたTCPを本圧着することで、各基板の3つの側辺部のTCPが本圧着される。   If the TCP temporarily bonded to one side portion located in the same direction of the two substrates is subjected to main pressure bonding, the mounting stage is rotated by 90 degrees and the TCP temporarily bonded to the next side portion is fixed to the main side. The TCPs on the three side portions of each substrate are finally pressure-bonded by pressure-bonding and then finally pressure-bonding the TCPs temporarily bonded to the remaining side portions.

このようにして、TCPが本圧着されたならば、上記実装ステージ上の2枚の基板を搬送手段によって順次取り出し、上記実装ステージの側方に配置された排出部に搬送するようにしている。   In this way, when the TCP is finally pressure-bonded, the two substrates on the mounting stage are sequentially taken out by the transport means and transported to the discharge unit disposed on the side of the mounting stage.

特許第4579658号公報Japanese Patent No. 4579658

上述したように、1つの実装ステージに2枚の基板を供給載置し、これら基板の同一方向に位置する側辺部に仮圧着されたTCPを同時に本圧着するようにすれば、実装ステージに基板を1枚ずつ供給し、側辺部に仮圧着されたTCPを本圧着する場合に比べて生産性を向上させることができる。   As described above, if two substrates are supplied and placed on one mounting stage and TCPs temporarily bonded to the side portions located in the same direction of these substrates are simultaneously finally bonded to the mounting stage, Productivity can be improved as compared with the case where the substrates are supplied one by one and the TCP temporarily bonded to the side portion is finally bonded.

しかしながら、1つの実装ステージに供給載置された2枚の基板の同一方向に位置する側辺部に対してTCPを同時に実装するようにすると、2枚の基板を前工程から実装ステージに対して順次供給しなければならないということがあったり、TCPが実装された2枚の基板を実装ステージから順次取り出して排出部に搬送しなければならないということがある。   However, if TCP is simultaneously mounted on the side portions located in the same direction of the two substrates supplied and placed on one mounting stage, the two substrates are mounted on the mounting stage from the previous process. There are cases where it is necessary to sequentially supply, and there are cases where two substrates on which TCP is mounted must be sequentially taken out from the mounting stage and transported to the discharge section.

そのため、実装ステージに2枚の基板の供給を開始してから終了するまでと、TCPが実装され終わった2枚の基板の搬出が開始されてから終了するまでの間は、基板に対するTCPの実装作業が中断されることになるから、その分、実装装置の稼働率が低下するということがあった。つまり、一連の実装作業を連続的に行うことができないため、生産性が低下するということがあった。   For this reason, the TCP mounting on the board is performed from the start to the end of the supply of the two substrates to the mounting stage and from the start to the end of the unloading of the two boards on which the TCP has been mounted. Since the work is interrupted, the operating rate of the mounting apparatus may be reduced accordingly. That is, since a series of mounting operations cannot be performed continuously, productivity may be reduced.

この発明は、基板に対して被実装部材を実装するとき、実装作業を連続的に行なうことができるようにすることで、生産性の向上を図ることができるようにした被実装部材の実装装置及び実装方法を提供することにある。   The present invention provides a mounting apparatus for a mounted member that can improve productivity by allowing the mounting operation to be continuously performed when mounting the mounted member on the substrate. And providing a mounting method.

この発明は、矩形状の基板の4つの辺のうち、少なくとも1つの辺に被実装部材を実装する実装装置であって、
上記基板を供給する供給部と、
この供給部に並設され上記供給部から供給された基板の少なくとも1つの辺に上記被実装部材を実装する複数の実装部と、
上記実装部に並設されこの実装部で被実装部材が実装された基板が排出される排出部と、
上記供給部の上記基板を上記複数の実装部に対して交互に供給するととともに、上記被実装部材が実装され終わった基板を上記複数の実装部から交互に取り出して上記排出部に搬送する搬送手段と
を具備したことを特徴とする被実装部材の実装装置にある。
The present invention is a mounting device for mounting a mounted member on at least one of four sides of a rectangular substrate,
A supply unit for supplying the substrate;
A plurality of mounting portions that are mounted in parallel to the supply portion and mount the mounted member on at least one side of the substrate supplied from the supply portion;
A discharge unit that is arranged in parallel with the mounting unit and from which the substrate on which the mounted member is mounted is discharged.
Conveying means for alternately supplying the substrate of the supply unit to the plurality of mounting units, and alternately taking out the substrate on which the mounted member has been mounted from the plurality of mounting units and transporting them to the discharging unit And a mounting apparatus for a member to be mounted.

上記供給部から上記実装部に供給される基板を撮像する撮像手段を有し、
上記搬送手段は上記撮像手段の撮像に基づいて上記基板を上記実装部に位置決めして供給することが好ましい。
Having imaging means for imaging the substrate supplied from the supply unit to the mounting unit;
It is preferable that the conveying means positions and supplies the substrate to the mounting portion based on the imaging of the imaging means.

上記実装部は、
上記基板の1つの長辺に対して上記被実装部材を実装する2つの第1の実装部によって構成されていることが好ましい。
The mounting part above is
It is preferable that it is comprised by the two 1st mounting parts which mount the said to-be-mounted member with respect to one long side of the said board | substrate.

上記実装部は、
上記基板の1つの長辺に対して上記被実装部材を実装する2つの第1の実装部と、上記基板の1つの短辺に対して上記被実装部材を実装する2つの第2の実装部によって構成されていることが好ましい。
The mounting part above is
Two first mounting portions for mounting the mounted member on one long side of the substrate, and two second mounting portions for mounting the mounted member on one short side of the substrate It is preferable that it is comprised.

上記実装部は、
上記基板の1つの長辺に対して上記被実装部材を実装する1つの第1の実装部と、上記基板の2つの短辺のうちの一方の短辺に上記被実装部材を実装する2つの第2の実装部と、上記基板の2つの短辺のうちの他方の短辺に上記被実装部材を実装する1つの第3の実装部によって構成されていることが好ましい。
The mounting part above is
One first mounting portion for mounting the mounted member on one long side of the substrate, and two for mounting the mounted member on one short side of the two short sides of the substrate It is preferable that the second mounting portion and one third mounting portion that mounts the mounted member on the other short side of the two short sides of the substrate.

上記撮像手段は、2つの第1の実装部の一方と他方の間で移動可能に設けられ、上記搬送手段によって2つの第1の実装部に対して基板を交互に供給するとき、基板が供給される実装部に対向する位置に位置決めされることが好ましい。   The imaging means is provided so as to be movable between one of the two first mounting portions and the other, and when the substrate is alternately supplied to the two first mounting portions by the transport means, the substrate is supplied. It is preferable to be positioned at a position facing the mounting portion to be mounted.

上記複数の実装部は、上記搬送手段によって供給された基板の上記被実装部材が実装される1つの辺の下面を支持するバックアップツールと、このバックアップツールに支持された1つの辺の上面に上記被実装部材を実装する加圧ツールを有し、
上記複数の実装部の上記バックアップツールと加圧ツールは一列に配置されていることが好ましい。
The plurality of mounting portions include a backup tool that supports a lower surface of one side on which the mounted member of the substrate supplied by the transport unit is mounted, and an upper surface of one side supported by the backup tool. A pressure tool for mounting the mounted member;
It is preferable that the backup tool and the pressure tool of the plurality of mounting units are arranged in a line.

上記実装部には上記搬送手段によって供給される基板を支持する支持手段が設けられ、
この支持手段は、上記基板の上記被実装部材が実装される1つの辺の上記バックアップツールによって支持される部分と異なる部分の下面を吸着して支持する第1の吸着支持部と、上記基板の上記被実装部材が実装される1つの辺と対向する辺の上面を吸着して支持する第2の吸着支持部とを有することが好ましい。
The mounting portion is provided with support means for supporting the substrate supplied by the transport means,
The support means includes a first suction support portion that sucks and supports a lower surface of a portion different from a portion supported by the backup tool on one side of the substrate on which the mounted member is mounted; It is preferable to have a second suction support portion that sucks and supports the upper surface of the side facing the one side on which the mounted member is mounted.

上記搬送手段は、上面に上記基板を載置して水平方向、上下方向及び回転方向に駆動される搬送テーブルであって、
上記搬送テーブルは、上記供給部と上記複数の実装部との間で駆動されて各実装部に基板を供給する供給用搬送テーブルと、各実装部と上記排出部との間で駆動されて各実装部で被実装部材が実装され終わった基板を上記排出部に搬送する排出用搬送テーブルを有することが好ましい。
The transport means is a transport table mounted on the upper surface and driven in a horizontal direction, a vertical direction and a rotation direction,
The transfer table is driven between the supply unit and the plurality of mounting units to supply a substrate to each mounting unit, and is driven between each mounting unit and the discharge unit to each of the mounting units. It is preferable to have a discharge transport table for transporting the substrate on which the mounted member has been mounted in the mounting section to the discharge section.

上記複数の実装部は、上記搬送手段によって供給された基板の上記被実装部材が実装される1つの辺の下面を支持するバックアップツールと、このバックアップツールに支持された1つの辺の上面に複数の被実装部材をそれぞれ1つずつ実装する複数の加圧ツールを有し、
上記複数の実装部の上記バックアップツールと複数の加圧ツールは一列に配置され、複数の加圧ツールは上記複数の実装部に対して位置決め可能に設けられていて、
上記複数の加圧ツールは、各実装部で上記基板の1つの辺に実装される被実装部材の数に応じた数が各実装部のバックアップツールに対向するよう位置決めされる構成であることが好ましい。
The plurality of mounting portions include a backup tool that supports the lower surface of one side on which the mounted member of the substrate supplied by the transport unit is mounted, and a plurality of mounting parts on the upper surface of one side supported by the backup tool. A plurality of pressure tools for mounting each of the mounted members one by one,
The backup tool and the plurality of pressure tools of the plurality of mounting portions are arranged in a line, and the plurality of pressure tools are provided so as to be positioned with respect to the plurality of mounting portions,
The plurality of pressurizing tools may be configured to be positioned so that the number corresponding to the number of mounted members mounted on one side of the substrate in each mounting portion faces the backup tool of each mounting portion. preferable.

この発明は、矩形状の基板の4つの辺のうち、少なくとも1つの辺に被実装部材を実装する実装方法であって、
供給部から取り出した基板をこの供給部に並設され上記基板の少なくとも1つの辺に上記被実装部材を実装する複数の供給部に対して交互に供給する工程と、
上記被実装部材が実装され終わった基板を上記複数の実装部から交互に取り出す工程と
を具備したことを特徴とする被実装部材の実装方法にある。
The present invention is a mounting method for mounting a mounted member on at least one of four sides of a rectangular substrate,
Supplying the substrate taken out from the supply unit alternately to the plurality of supply units that are arranged in parallel to the supply unit and mount the mounted member on at least one side of the substrate; and
And a step of alternately taking out the substrate on which the mounted member has been mounted from the plurality of mounting portions.

この発明によれば、複数の実装部に対して基板を交互に供給するとともに、各実装部で被実装部材が実装され終わった基板を複数の実装部から交互に取り出すようにした。   According to the present invention, the substrate is alternately supplied to the plurality of mounting portions, and the substrate on which the member to be mounted is mounted in each mounting portion is alternately taken out from the plurality of mounting portions.

そのため、複数の実装部のうち、基板を供給したり、被実装部材が実装された基板が取り出される1つの実装部は実装作業が中断されるものの、残りの実装部では実装作業を継続することができる。つまり、一連の実装作業を連続的に行うことができるから、実装部の稼働率を向上させ、生産性の向上を図ることが可能となる。   For this reason, among the plurality of mounting parts, the mounting work is interrupted for one mounting part that supplies a board or takes out the board on which the mounted member is mounted, but the remaining mounting parts continue the mounting work. Can do. That is, since a series of mounting operations can be performed continuously, it is possible to improve the operating rate of the mounting unit and improve productivity.

この発明の第1の実施の形態の実装装置を示す平面図。The top view which shows the mounting apparatus of 1st Embodiment of this invention. 図1に示す実装装置の実装部の正面図。The front view of the mounting part of the mounting apparatus shown in FIG. 供給側支持部と排出側支持部を示す側面図。The side view which shows a supply side support part and a discharge side support part. 長辺と短辺とにTCPが仮圧着された基板の平面図。The top view of the board | substrate with which TCP was temporarily crimped | bonded to the long side and the short side. 第1の供給用搬送テーブル、第2の供給用搬送テーブル及び搬出用搬送テーブル支持部を示す正面図。The front view which shows the 1st conveyance table, the 2nd conveyance table, and the carrying table support part for carrying out. 第1、第2の実装部を示す側面図。The side view which shows the 1st, 2nd mounting part. 実装装置の制御系統図。The control system diagram of a mounting apparatus. 供給部から2つの第1の実装部へ基板を供給する際の説明図。Explanatory drawing at the time of supplying a board | substrate from a supply part to two 1st mounting parts. 一方の第1の実装部に供給された基板の下方に一方の第2の供給用搬送テーブルが移動した状態の説明図。Explanatory drawing of the state which one 2nd conveyance table moved below the board | substrate supplied to one 1st mounting part. 一方の第1の実装部で長辺にTCPが本圧着された基板を一方の第2の実装部に搬送するとともに、他方の第1の実装部に供給された基板の下面に他方の第2の供給用搬送テーブルが移動した状態の説明図。The substrate on which the TCP is finally bonded to the long side at one first mounting portion is transported to one second mounting portion, and the other second second is placed on the lower surface of the substrate supplied to the other first mounting portion. Explanatory drawing of the state which the conveyance table for supply moved. 一方の第2の供給用搬送テーブルが一方の第2の実装部の基板の下方から一方の第1の実装部に新たに供給された基板の下方へ移動するととともに、搬出用搬送テーブルが一方の第2の実装部で短辺のTCPが本圧着された基板の下方に移動した状態の説明図。One of the second supply transport tables moves from the lower side of the substrate of the one second mounting unit to the lower side of the substrate newly supplied to the one first mounting unit, and the carry-out transport table of one of the second mounting units Explanatory drawing of the state which moved below the board | substrate by which the short side TCP was finally pressure-bonded in the 2nd mounting part. 他方の第1の実装部に新たな基板が供給されるとともに、一方の第2の実装部で本圧着が終了した基板が搬出用搬送テーブルによって排出部に搬送された状態の説明図。Explanatory drawing of the state by which the board | substrate which this crimping | compression-bonding complete | finished by one 2nd mounting part was conveyed to the discharge part by the carrying table for carrying out while a new board | substrate was supplied to the other 1st mounting part. 一方の第1の実装部で長辺のTCPが本圧着された基板が一方の第2の実装部に搬送されるとともに、他方の第2の供給用搬送テーブルが他方の第1の実装部に新たに供給された基板の下方に経移動した状態の説明図。The board on which the long-side TCP is finally pressure-bonded in one first mounting section is transported to one second mounting section, and the other second supply transport table is transferred to the other first mounting section. Explanatory drawing of the state which passed through below the newly supplied board | substrate. この発明の第2の実施の形態であって、基板の1つの長辺と2つの短辺に仮圧着されたTCPを本圧着する実装装置の概略的構成を示す平面図。The top view which shows 2nd Embodiment of this invention, Comprising: The schematic structure of the mounting apparatus which carries out this pressure bonding of TCP temporarily crimped | bonded to one long side and two short sides of a board | substrate. この発明の第3の実施の形態であって、基板の異なる2つの辺に異なる数のTCPを実装する場合に、TCPの数に応じた複数の加圧ツールを有する第1の実装部と第2の実装部を示す正面図。In the third embodiment of the present invention, when different numbers of TCPs are mounted on two different sides of the substrate, the first mounting unit having a plurality of pressure tools corresponding to the number of TCPs and the first mounting unit The front view which shows the mounting part of 2. FIG. 基板の異なる2つの辺に仮圧着されたTCPの数が図15に示す状態から変わった場合に、第1の実装部と第2の実装部の加圧ツールの数を変えた状態を示す正面図。Front view showing a state in which the number of pressure tools in the first mounting unit and the second mounting unit is changed when the number of TCPs temporarily bonded to two different sides of the substrate is changed from the state shown in FIG. Figure.

以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1乃至図13はこの発明の第1の実施の形態を示す。この第1の実施の形態では、図4に示すようにたとえば液晶表示パネルに用いられるガラス製の矩形状の基板Wの1つの長辺と1つの短辺とにテープ状の異方性導電部材3によって仮圧着された被実装部材としての電子部品であるTCP2を本圧着する実装装置について説明する。   1 to 13 show a first embodiment of the present invention. In the first embodiment, as shown in FIG. 4, for example, a tape-like anisotropic conductive member is formed on one long side and one short side of a glass-made rectangular substrate W used in a liquid crystal display panel. A mounting apparatus for permanently press-bonding TCP 2 which is an electronic component as a mounted member temporarily bonded by 3 will be described.

なお、上記TCP2は、上記基板Wに仮圧着される前に一端部の下面に所定長さに切断された上記異方性導電部材3が貼着されていて、異方性導電部材3が貼着された複数の上記TCP2が上記基板Wの長辺と短辺との上面にそれぞれ所定間隔で仮圧着されている。つまり、上記基板Wには本圧着の前工程で、上記TCP2が上記基板Wの長辺には5つ、短辺には3つ仮圧着されている。   The TCP 2 has the anisotropic conductive member 3 cut to a predetermined length on the lower surface of one end before being temporarily press-bonded to the substrate W, and the anisotropic conductive member 3 is attached to the TCP 2. The plurality of attached TCPs 2 are temporarily pressed onto the upper surfaces of the long side and the short side of the substrate W at predetermined intervals. In other words, five TCP2 are temporarily bonded to the long side and three are short-bonded to the short side of the substrate W in the pre-bonding step.

図1は上記実装装置の概略的構成を示す平面図である。この実装装置は矩形状のベース4を備えている。このベース4の長手方向の一端部には、上記基板Wの供給部5が設けられている。この供給部5は上述した前工程から図示しない搬送手段、たとえば搬送テーブルによって搬送されてきた基板Wを図3に示すように所定の高さで水平に支持する供給側支持部6を有する。   FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of the mounting apparatus. This mounting apparatus includes a rectangular base 4. At one end portion of the base 4 in the longitudinal direction, the substrate W supply unit 5 is provided. The supply unit 5 has a supply-side support unit 6 that horizontally supports the substrate W that has been transferred by a transfer means (not shown) such as a transfer table from the previous step as shown in FIG.

上記供給側支持部6は、上面に複数の吸引孔7aが長手方向に所定間隔で開口形成されていて、その上面によって上記基板Wの一方の長辺側の下面を吸着支持する支持部材7と、リニアモータなどのパッド用駆動源8を有する。この駆動源8の上下方向に駆動される駆動軸8aには複数の吸着パッド9(1つのみ図示)取付けられ、この吸着パッド9は一方の長辺側の下面が支持部材7の上面に吸着された上記基板Wの他方の長辺側の上面を吸着保持するようになっている。   The supply side support portion 6 has a plurality of suction holes 7a formed on the upper surface at predetermined intervals in the longitudinal direction, and a support member 7 that sucks and supports the lower surface on one long side of the substrate W by the upper surface. And a pad drive source 8 such as a linear motor. A plurality of suction pads 9 (only one is shown) are attached to a drive shaft 8 a driven in the vertical direction of the drive source 8, and the lower surface of one long side of this suction pad 9 is attracted to the upper surface of the support member 7. The upper surface of the other long side of the substrate W is sucked and held.

それによって、基板Wが前工程の図示しない搬送テーブルによって供給部5の供給位置に搬送位置決めされると、その基板Wは図3に示すように一方の長辺側の下面が上記支持部材7の上面に吸着支持され、他方の長辺側の上面が上記吸着パッド9によって吸着されることで、所定の高さで水平に保持される。   As a result, when the substrate W is transported and positioned at the supply position of the supply unit 5 by a transport table (not shown) in the previous process, the lower surface of one long side of the substrate W has the support member 7 as shown in FIG. The upper surface on the other long side is sucked and supported by the upper surface, and the upper surface on the other long side is sucked by the suction pad 9 to be held horizontally at a predetermined height.

上記ベース4の長手方向の他端部には、後述する一対の第1の実装部14A,14Bと、一対の第2の実装部15A,15Bとで上記基板Wの長辺と短辺とに仮圧着されたTCP2が順次本圧着、つまり実装された基板Wが搬送される排出部11を有する。この排出部11は図3に示す上記供給部5の供給側支持部6と同じ構成、つまり支持部材7と吸着パッド9を備えた排出側支持部12を有する。   On the other end of the base 4 in the longitudinal direction, a pair of first mounting portions 14A and 14B, which will be described later, and a pair of second mounting portions 15A and 15B are provided on the long side and the short side of the substrate W. The temporarily crimped TCP 2 has main discharge sequentially, that is, a discharge unit 11 on which the mounted substrate W is conveyed. The discharge section 11 has the same configuration as the supply side support section 6 of the supply section 5 shown in FIG. 3, that is, a discharge side support section 12 having a support member 7 and a suction pad 9.

そして、上記第2の実装部15A,15Bから搬送されてきた基板Wの一方の長辺側の下面を上記支持部材7によって吸着支持し、他方の長辺側の上面を上記吸着パッド9によって吸着支持することで、上記基板Wを所定の高さで水平に保持するようになっている。   The lower surface on one long side of the substrate W transported from the second mounting portions 15A and 15B is sucked and supported by the support member 7, and the upper surface on the other long side is sucked by the suction pad 9. By supporting it, the substrate W is held horizontally at a predetermined height.

TCP2の本圧着が終了した基板Wが上記排出部11に供給されると、その下面側に次工程の搬送テーブル(図示せず)が入り込み、上記基板Wを受け取って次工程に受け渡すようになっている。   When the substrate W for which the main pressure bonding of the TCP 2 has been completed is supplied to the discharge unit 11, a transport table (not shown) for the next process enters the lower surface thereof, and receives the substrate W and delivers it to the next process. It has become.

上記供給部5と上記排出部11との間には上述した2つの第1の実装部14A,14Bと2つの第2の実装部15A,15Bが上記ベース4の長手方向に沿って一列に設けられている。   Between the supply unit 5 and the discharge unit 11, the two first mounting units 14A and 14B and the two second mounting units 15A and 15B described above are provided in a line along the longitudinal direction of the base 4. It has been.

上記第1、第2の実装部14A,14B及び15A,15Bは図2に示すように、上記基板Wの長辺よりもわずかに長尺な長さ寸法を有するバックアップツール17を有する。これらのバックアップツール17は上記ベース4の前後方向の後端部側に長手方向に沿って設けられた架台18の上面に所定間隔で設けられている。   As shown in FIG. 2, the first and second mounting portions 14 </ b> A, 14 </ b> B and 15 </ b> A, 15 </ b> B have a backup tool 17 having a length that is slightly longer than the long side of the substrate W. These backup tools 17 are provided at predetermined intervals on the upper surface of a base 18 provided along the longitudinal direction on the rear end side of the base 4 in the front-rear direction.

各バックアップツール17の上方には、上記バックアップツール17と同じ長さ寸法を有する加圧ツール19がそれぞれリニアモータなどの加圧用駆動源21によって上下方向に駆動可能に設けられている。   Above each backup tool 17, a pressurizing tool 19 having the same length as the backup tool 17 is provided so as to be vertically driven by a pressurizing drive source 21 such as a linear motor.

上記バックアップツール17と加圧ツール19にはヒータ(図示せず)が設けられている。後述するように上記基板Wの上記TCP2が仮圧着された辺が上記バックアップツール17上に位置決め載置された後、上記加圧ツール19が下降方向に駆動されて上記TCP2が加圧されれば、上記TCP2を基板Wに貼着した異方性導電部材3が溶融して硬化する。したがって、上記TCP2が上記基板Wに固着される。つまり、TCP2は基板Wに本圧着されることになる。   The backup tool 17 and the pressure tool 19 are provided with heaters (not shown). As will be described later, after the side on which the TCP2 of the substrate W is temporarily pressed is positioned and placed on the backup tool 17, the pressing tool 19 is driven in the downward direction to pressurize the TCP2. The anisotropic conductive member 3 having the TCP 2 bonded to the substrate W is melted and cured. Therefore, the TCP 2 is fixed to the substrate W. That is, the TCP 2 is finally bonded to the substrate W.

図1に示すように、上記供給部5に供給されて水平に支持された基板Wは第1の供給用搬送テーブル23によって取り出され、一対の第1の実装部14A,14Bの一方と他方に交互に供給される。   As shown in FIG. 1, the substrate W that is supplied to the supply unit 5 and supported horizontally is taken out by the first supply transfer table 23, and is applied to one and the other of the pair of first mounting units 14A and 14B. Alternately supplied.

なお、第1の実装部が3つある場合には、3つの第1の実装部に対して基板Wは第1の供給用搬送テーブル23によって交互、つまり順番に供給すればよい。   In the case where there are three first mounting portions, the substrates W may be supplied alternately to the three first mounting portions by the first supply transport table 23, that is, in order.

上記第1の供給用搬送テーブル23は、図5に示すように上記ベース4の長手方向に沿って設けられたXガイド24に沿って移動可能に設けられたX可動体25を有する。上記Xガイド24とX可動体25はXリニアモータ(図示せず)を構成している。   As shown in FIG. 5, the first supply transport table 23 has an X movable body 25 provided so as to be movable along an X guide 24 provided along the longitudinal direction of the base 4. The X guide 24 and the X movable body 25 constitute an X linear motor (not shown).

上記X可動体25の上面には、X可動体25の移動方向であるX方向(図5に矢印で示す)と交差するY方向に沿って移動可能なY可動体28が設けられ、このY可動体28は上記X可動体25に設けられたY駆動源29によって駆動されるようになっている。
なお、上記ベース4におけるX方向及びY方向は図1に矢印で示す。
On the upper surface of the X movable body 25, there is provided a Y movable body 28 that is movable along the Y direction that intersects the X direction (indicated by an arrow in FIG. 5) that is the movement direction of the X movable body 25. The movable body 28 is driven by a Y drive source 29 provided on the X movable body 25.
The X direction and Y direction in the base 4 are indicated by arrows in FIG.

上記Y可動体28の上面には回転方向に移動可能なθ可動体31が設けられ、このθ可動体31は上記Y可動体28に設けられたθ駆動源32によって回転方向に駆動されるようになっている。上記θ可動体31の上面にはZ駆動源33が設けられ、このZ駆動源33の軸線を垂直にした駆動軸33aの上端には矩形状のテーブル34が水平に設けられている。   A θ movable body 31 movable in the rotational direction is provided on the upper surface of the Y movable body 28, and the θ movable body 31 is driven in the rotational direction by a θ drive source 32 provided on the Y movable body 28. It has become. A Z drive source 33 is provided on the upper surface of the θ movable body 31, and a rectangular table 34 is horizontally provided on the upper end of a drive shaft 33 a in which the axis of the Z drive source 33 is vertical.

上記構成の第1の供給用搬送テーブル23は図7に示す制御装置26によって駆動が制御される。つまり、上記Xリニアモータ、Y駆動源29、θ駆動源32及びZ駆動源33の駆動が制御装置26によって制御される。   Driving of the first supply transport table 23 having the above-described configuration is controlled by the control device 26 shown in FIG. That is, the drive of the X linear motor, the Y drive source 29, the θ drive source 32, and the Z drive source 33 is controlled by the control device 26.

上記テーブル34は上記基板よりも小さな矩形状に形成されている。それによって、上記テーブル34の上面に上記供給部5に支持された基板Wが受け渡されると、この基板Wの周辺部は上記テーブル34の周縁部から外方へ突出するようになっている。
なお、図示しないが、上記テーブル34の上面には上記基板Wを吸着保持する複数の吸引孔が開口形成されている。
The table 34 is formed in a rectangular shape smaller than the substrate. Accordingly, when the substrate W supported by the supply unit 5 is transferred to the upper surface of the table 34, the peripheral portion of the substrate W protrudes outward from the peripheral portion of the table 34.
Although not shown, a plurality of suction holes for sucking and holding the substrate W are formed in the upper surface of the table 34.

上記第1の供給用搬送テーブル23によって上記第1の実装部14A或いは14Bに搬送供給された基板Wは後述するように位置決めされた後、図6に示すように上記架台18の各実装部14A,14Bと対向する位置に設けられた支持手段36によって支持される。   After the substrate W transported and supplied to the first mounting portion 14A or 14B by the first supply transport table 23 is positioned as described later, each mounting portion 14A of the gantry 18 as shown in FIG. , 14B is supported by a support means 36 provided at a position opposite to 14B.

上記支持手段36は、上面に複数の吸引孔37a(1つのみ図示)が長手方向に沿って所定間隔で開口形成され、その上面によって上記基板Wの一方の長辺の下面を吸着保持する支持部材37と、上記基板Wの他方の長辺の上面を吸着保持する複数の吸着パッド38(1つのみ図示)を有する。   The support means 36 has a plurality of suction holes 37a (only one shown) formed on the upper surface at predetermined intervals along the longitudinal direction, and the upper surface supports the lower surface of one long side of the substrate W by suction. A member 37 and a plurality of suction pads 38 (only one is shown) for sucking and holding the upper surface of the other long side of the substrate W are provided.

上記吸着パッド38はリニアモータやシリンダなどのパッド用駆動源39の駆動軸39aに取付けられ、駆動軸39aによって上下方向に駆動されるようになっている。   The suction pad 38 is attached to a drive shaft 39a of a pad drive source 39 such as a linear motor or a cylinder, and is driven in the vertical direction by the drive shaft 39a.

上記基板Wが上記第1の供給用搬送テーブル23によって、たとえば一方の第1の実装部14Aに搬送されてくると、上記基板WのTCP2が仮圧着された長辺がバックアップツール17の上方に対向する位置する手前で上記基板Wの長辺の両端部に設けられた図示しない位置決めマークが上記架台18の前面(−Y方向側の側面)に設けられた一対の第1の撮像カメラ41によって撮像される。   When the substrate W is transported to the first mounting portion 14A by the first supply transport table 23, for example, the long side on which the TCP2 of the substrate W is temporarily press-bonded is located above the backup tool 17. Positioning marks (not shown) provided on both ends of the long side of the substrate W just before facing each other are provided by a pair of first imaging cameras 41 provided on the front surface (side surface on the −Y direction side) of the gantry 18. Imaged.

一対の第1の撮像カメラ41は、図2に示すようにX方向に沿って細長い可動体42の上面に、上記基板Wの長辺の長さよりも所定寸法短い間隔で設けられている。この可動体42は、図6に示すように上記架台18の前面にX方向に沿って設けられたガイド43に移動可能に設けられている。上記ガイド43と上記可動体42は第1の撮像用リニアモータ44(図7に示す)を構成している。   As shown in FIG. 2, the pair of first imaging cameras 41 is provided on the upper surface of the movable body 42 elongated along the X direction at intervals shorter than the length of the long side of the substrate W by a predetermined dimension. As shown in FIG. 6, the movable body 42 is movably provided on a guide 43 provided along the X direction on the front surface of the gantry 18. The guide 43 and the movable body 42 constitute a first imaging linear motor 44 (shown in FIG. 7).

上記第1の撮像カメラ41の撮像信号は図7に示す画像処理部45に出力され、ここで二値化処理される。画像処理部45で処理された撮像信号は上記制御装置26に出力されて処理される。それによって、上記第1の供給用搬送テーブル23によって第1の実装部14Aに搬送されてきた基板Wは、その長辺がバックアップツール17上に搬送される前に、X方向、Y方向及びθ方向のずれが算出される。   The imaging signal of the first imaging camera 41 is output to the image processing unit 45 shown in FIG. 7, where it is binarized. The imaging signal processed by the image processing unit 45 is output to the control device 26 and processed. Accordingly, the substrate W transferred to the first mounting portion 14A by the first supply transfer table 23 is transferred to the X direction, the Y direction, and the θ direction before the long side is transferred onto the backup tool 17. A deviation in direction is calculated.

そして、上記制御装置26は算出された上記基板WのX方向、Y方向及びθ方向のずれ量に基づいて上記第1の供給用搬送テーブル23を駆動制御してそのずれ量を補正した後、上記第1の供給用搬送テーブル23を図6に矢印で示す+Y方向に駆動し、上記基板Wの一方の長辺を一方の第1の実装部14Aのバックアップツール17の上方に位置決めする。   Then, the control device 26 drives and controls the first supply transport table 23 based on the calculated deviation amounts of the substrate W in the X direction, the Y direction, and the θ direction, and corrects the deviation amount. The first supply transport table 23 is driven in the + Y direction indicated by an arrow in FIG. 6 to position one long side of the substrate W above the backup tool 17 of the first mounting portion 14A.

上記位置決めされた基板Wは上記支持部材37と上記吸着パッド38によって水平に支持された後、第1の供給用搬送テーブル23は、そのテーブル34が図6に鎖線で示すように下降方向に駆動されて上記供給部5に戻る。   After the positioned substrate W is horizontally supported by the support member 37 and the suction pad 38, the first supply transport table 23 is driven in the downward direction as the table 34 is indicated by a chain line in FIG. Then, the process returns to the supply unit 5.

その間に、基板Wが供給支持された一方の第1の実装部14Aでは、バックアップツール17の上方の加圧ツール19が下降方向に駆動される。それによって、上記基板Wの長辺に仮圧着されたTCP2が本圧着されることになる。   In the meantime, in the first mounting portion 14A on which the substrate W is supplied and supported, the pressure tool 19 above the backup tool 17 is driven in the downward direction. As a result, the TCP 2 temporarily bonded to the long side of the substrate W is finally bonded.

上記供給部5に戻った第1の供給用搬送テーブル23は、この供給部5で次の基板Wを受け取り、その基板Wを他方の第1の実装部14Bに供給する。このとき、図2に鎖線で示すように、一方の第1の実装部14Aに対向位置した一対の第1の撮像カメラ41が取付けられた可動体42は第1の撮像用リニアモータ44(図7に示す)によって他方の第1の実装部14Bに対向する位置まで駆動される。   The first supply transport table 23 returned to the supply unit 5 receives the next substrate W at the supply unit 5 and supplies the substrate W to the other first mounting unit 14B. At this time, as shown by a chain line in FIG. 2, the movable body 42 to which the pair of first imaging cameras 41 that are opposed to the first mounting portion 14A is attached is a first imaging linear motor 44 (FIG. 7) to the position facing the other first mounting portion 14B.

それによって、上記第1の供給用搬送テーブル23によって他方の第1の実装部14Bに搬送されてきた基板Wの長辺に設けられた図示しない位置合わせマークが上記可動体42に設けられた一対の第1の撮像カメラ41によって撮像され、その撮像信号に基づいて位置補正されて位置決めされる。   Accordingly, a pair of alignment marks (not shown) provided on the long side of the substrate W that has been transferred to the other first mounting portion 14B by the first supply transfer table 23 is provided on the movable body 42. The first imaging camera 41 takes an image, and the position is corrected and positioned based on the imaging signal.

他方の第1の実装部14Bに位置決めされた基板Wは、上記この第1の実装部14Bに対向して設けられた支持手段36によって一方の長辺の下面と他方の長辺の上面とが支持された後、その一方の長辺に仮圧着されたTCP2が本圧着される。   The substrate W positioned on the other first mounting portion 14B has a lower surface on one long side and an upper surface on the other long side by the support means 36 provided facing the first mounting portion 14B. After being supported, the TCP 2 temporarily bonded to one of the long sides is finally bonded.

一対の第1の実装部14A,14Bで一方の長辺に仮圧着されたTCP2が本圧着された基板Wは、2つの第2の供給用搬送テーブル47A,47Bによって一方の第1の実装部14Aと他方の第1の実装部14Bから交互、つまり長辺に仮圧着されたTCP2が本圧着された順番に取り出されて一方の第2の実装部15Aと他方の第2の実装部15Bに対して交互、つまり順番に供給される。   The substrate W on which the TCP 2 temporarily bonded to one long side by the pair of first mounting portions 14A and 14B is bonded to the first mounting portion by the two second supply transport tables 47A and 47B. 14A and the other first mounting portion 14B are taken out alternately, that is, TCP2 temporarily press-bonded to the long side in the order of final press-bonding to one second mounting portion 15A and the other second mounting portion 15B. On the other hand, they are supplied alternately, that is, in order.

なお、上記第2の供給用搬送テーブル47A,47Bは図5に示す第1の供給用搬送テーブル23と同じ構成であるため、説明は省略する。   The second supply transport tables 47A and 47B have the same configuration as the first supply transport table 23 shown in FIG.

すなわち、一方の第2の供給用搬送テーブル47Aは、第1の供給用搬送テーブル23が一方の第1の実装部14Aに基板Wを供給し終わって供給部5に戻ると、図1に示す一方の第2の実装部15Aに対向する位置から、一方の第1の実装部14Aに支持された基板Wの下面側に入り込んで実装が終わるのを待機している。   That is, one second supply transfer table 47A is shown in FIG. 1 when the first supply transfer table 23 returns to the supply unit 5 after supplying the substrate W to the first first mounting unit 14A. From the position facing one of the second mounting portions 15A, it enters the lower surface side of the substrate W supported by the first mounting portion 14A and waits for the mounting to be completed.

そして、一方の第1の実装部14Aで基板Wの長辺に対する本圧着が終了すると、一方の第2の供給用搬送テーブル47Aはその基板Wを受け、90度回転させて一方の第2の実装部15Aに搬送する。   Then, when the main pressure bonding to the long side of the substrate W is completed in one first mounting portion 14A, the one second supply transport table 47A receives the substrate W, rotates it 90 degrees, and rotates the second second one. It is conveyed to the mounting part 15A.

他方の第2の供給用搬送テーブル47Bは、一方の第1の実装部14Aと同様、第1の供給用搬送テーブル23が他方の第1の実装部14Bに基板Wを供給し終わって供給部5に戻ると、図1に示す他方の第2の実装部15Bに対向する位置から、他方の第1の実装部14Bに支持された基板Wの下面側に入り込んで実装が終わるのを待機している。   Similarly to the first mounting portion 14A, the other second supply transport table 47B has the supply portion after the first supply transport table 23 has finished supplying the substrate W to the other first mounting portion 14B. When the process returns to 5, the process waits for the mounting to be completed after entering the lower surface side of the substrate W supported by the other first mounting part 14B from the position facing the other second mounting part 15B shown in FIG. ing.

そして、他方の第1の実装部14Bで基板Wの長辺に対する本圧着が終了すると、他方の第2の供給用搬送テーブル47Bはその基板Wを受け、90度回転させて他方の第2の実装部15Bに搬送する。   When the main pressure bonding to the long side of the substrate W is completed in the other first mounting portion 14B, the other second supply transfer table 47B receives the substrate W, rotates 90 degrees, and rotates the other second It is conveyed to the mounting part 15B.

上記架台18の前面側の、上記一対の第2の実装部15A,15Bと対向する部位には、第1の実装部14A,14Bと同様、支持部材37と吸着パッド38を有する支持手段36が設けられている。さらに、上記架台18の前面には、一方の第2の実装部15Aと他方の第2の実装部15Bとの間を第2の撮像用リニアモータ48(図7に示す)によってガイド43に沿って駆動される可動体42を有する。この可動体42には図2に示すように、一対の第2の撮像カメラ49が基板WのTCP2が仮圧着された短辺の長さよりもわずかに短い間隔で設けられている。   At a portion facing the pair of second mounting portions 15A and 15B on the front surface side of the gantry 18, support means 36 having a support member 37 and a suction pad 38 is provided as in the case of the first mounting portions 14A and 14B. Is provided. Further, on the front surface of the gantry 18, a space between one second mounting portion 15A and the other second mounting portion 15B is guided along a guide 43 by a second imaging linear motor 48 (shown in FIG. 7). The movable body 42 is driven. As shown in FIG. 2, the movable body 42 is provided with a pair of second imaging cameras 49 at intervals slightly shorter than the length of the short side on which the TCP 2 of the substrate W is temporarily bonded.

一対の第2の撮像カメラ49は、図1と図2に実線で示す位置で、一方の第2の供給用搬送テーブル47Aによって一方の第2の実装部15Aに供給された基板Wの短辺の図示しない位置合わせマークを撮像し、その撮像に基づいて制御装置26は基板Wの短辺が一方の第2の実装部15Aに位置決めされるよう、上記一方の第2の供給用搬送テーブル47Aを駆動制御する。   The pair of second imaging cameras 49 is located at the position indicated by the solid line in FIGS. 1 and 2, and the short side of the substrate W supplied to one second mounting portion 15 </ b> A by one second supply transfer table 47 </ b> A. An alignment mark (not shown) is imaged, and on the basis of the imaging, the control device 26 controls the one second supply transfer table 47A so that the short side of the substrate W is positioned on the one second mounting portion 15A. Is controlled.

他方の第2の供給用搬送テーブル47Bによって他方の第2の実装部15Bに基板Wが供給されると、一対の第2の撮像カメラ49は上記第2の撮像用リニアモータ48によって一方の第2の実装部15Aから他方の第2の実装部15Bに対向する位置まで駆動され、この第2の実装部15Bに供給される基板Wの短辺の図示しない位置合わせマークを撮像する。そして、上記制御装置26は上記第2の撮像カメラ49の撮像に基づいて基板Wの短辺が一方の第2の実装部15Aに位置決めされるよう、上記他方の第2の供給用搬送テーブル47Bを駆動制御する。   When the substrate W is supplied to the other second mounting portion 15B by the other second supply transport table 47B, the pair of second imaging cameras 49 are moved by the second imaging linear motor 48 to the first one. The second mounting portion 15A is driven to a position facing the other second mounting portion 15B, and an alignment mark (not shown) on the short side of the substrate W supplied to the second mounting portion 15B is imaged. Then, the control device 26 controls the other second supply transfer table 47B so that the short side of the substrate W is positioned on the one second mounting portion 15A based on the image pickup by the second image pickup camera 49. Is controlled.

このようにして、基板Wが一方の第2の実装部15Aと他方の第2の実装部15Bとに供給されてそれぞれの短辺がバックアップツール17に対して順次位置決めされると、位置決めされた順に加圧ツール19が下降方向に駆動されて各短辺に仮圧着されたTCP2が順次本圧着される。   In this way, when the substrate W is supplied to one second mounting portion 15A and the other second mounting portion 15B and each short side is sequentially positioned with respect to the backup tool 17, the positioning is performed. The pressurizing tool 19 is driven in the descending direction in order, and the TCP2 temporarily press-bonded to each short side is sequentially main-bonded.

つまり、一対の第2の実装部15A,15Bでは、それぞれ基板Wの短辺に仮圧着されたTCP2が上記第2の実装部15A,15Bに供給された順に交互に本圧着される。   That is, in the pair of second mounting portions 15A and 15B, the TCP2 temporarily press-bonded to the short side of the substrate W is alternately subjected to the main pressing in the order in which the TCP2 is supplied to the second mounting portions 15A and 15B.

一対の第2の実装部15A,15Bで短辺にTCP2が本圧着された基板Wは、搬出用搬送テーブル52によって取り出されて上記排出部11に搬送され、この排出部11に設けられた上記排出側支持部12によって支持される。   The substrate W on which the TCP2 is finally crimped to the short side by the pair of second mounting portions 15A and 15B is taken out by the carry-out transfer table 52 and transferred to the discharge portion 11, and the discharge portion 11 is provided with the above-described substrate W. It is supported by the discharge side support part 12.

上記排出側支持部12に支持された基板Wは、実装の後工程の図示しない搬送テーブルによって取り出されて次工程に搬送される。
上記搬出用搬送テーブル52は上記第1の供給用搬送テーブル23と同じ構成であるので、詳細な図示及び説明は省略する。
The substrate W supported by the discharge side support portion 12 is taken out by a transfer table (not shown) in a post-mounting process and transferred to the next process.
Since the carry-out transfer table 52 has the same configuration as the first supply transfer table 23, detailed illustration and description thereof will be omitted.

上記搬出用搬送テーブル52は、一方の第2の供給用搬送テーブル47Aが一方の第2の実装部15Aに基板Wを供給してから、一方の第1の実装部14Aに供給支持された基板Wの下方に戻ると、上記排出部11から一方の第2の実装部15Aに供給支持された基板Wの下方に移動し、ここでの本圧着が終了するのを待機している。   The carry-out transfer table 52 is configured such that one of the second supply transfer tables 47A supplies the substrate W to the one second mounting portion 15A, and then is supplied and supported by the one first mounting portion 14A. When returning to the lower side of W, it moves to the lower side of the substrate W supplied and supported by the second mounting portion 15A from the discharge portion 11 and waits for the final press-bonding here to end.

上記一方の第2の実装部15Aでの本圧着が終了すると、上記搬出用搬送テーブル52はその基板Wを取り出して上記排出部11に搬送し、排出側支持部12に支持させる。ついで、上記搬出用搬送テーブル52は他方の第2の実装部15Bに供給支持された基板Wの下方に移動し、その基板Wの短辺に仮圧着されたTCP2の本圧着が終了するのを待機する。   When the main pressure bonding at the one second mounting portion 15A is completed, the carry-out transport table 52 takes out the substrate W, transports it to the discharge portion 11, and supports it on the discharge-side support portion 12. Next, the carry-out transport table 52 moves below the substrate W supplied and supported by the other second mounting portion 15B, and the TCP2 temporarily crimped to the short side of the substrate W is finished. stand by.

そして、本圧着が終了すると、その基板Wを排出部11に搬送する。つまり、排出用搬送テーブル52は、一対の第2の実装部15A,15Bで短辺にTCP2が本圧着された基板Wを交互に排出部11に搬送するようになっている。つまり、一対の第2の実装部15A,15Bで短辺にTCP2が本圧着された順に基板Wが排出部11に搬送される。   When the main pressure bonding is completed, the substrate W is transported to the discharge unit 11. In other words, the discharge transfer table 52 is configured to transfer the substrates W to which the TCP2 is finally pressure-bonded to the short side by the pair of second mounting portions 15A and 15B to the discharge portion 11 alternately. That is, the substrate W is transported to the discharge unit 11 in the order in which the TCP 2 is finally crimped to the short side by the pair of second mounting portions 15A and 15B.

なお、第2の実装部が3つ以上の場合にも、TCP2が本圧着された順に、つまり交互に基板Wを排出部11に搬送すればよい。   Even when there are three or more second mounting portions, the substrates W may be transported to the discharge portion 11 in the order in which the TCPs 2 are finally pressure-bonded, that is, alternately.

なお、図7に示すように上記パッド用駆動源8、加圧用駆動源21、第1の供給用搬送テーブル23、パッド用駆動源39、第1の撮像用リニアモータ44、一対の第2の供給用搬送テーブル47A,47B、第2の撮像用モニタ48及び搬送用搬送テーブル52は上記制御装置26によって駆動が制御されるようになっている。   As shown in FIG. 7, the pad drive source 8, the pressurization drive source 21, the first supply transport table 23, the pad drive source 39, the first imaging linear motor 44, and a pair of second sources. Driving of the supply transport tables 47A and 47B, the second imaging monitor 48, and the transport table 52 is controlled by the control device 26.

また、この実施の形態では、上記第1の供給用搬送テーブル23、第1の撮像用リニアモータ44、第2の供給用搬送テーブル47A,47B、第2の撮像用リニアモータ48及び搬送用搬送テーブル52が搬送手段を構成している。   In this embodiment, the first supply transport table 23, the first imaging linear motor 44, the second supply transport tables 47A and 47B, the second imaging linear motor 48, and the transport transport. The table 52 constitutes a conveying unit.

つぎに、上記構成の実装装置によって基板Wの1つの長辺と1つの短辺とに仮圧着されたTCP2を本圧着する手順を図8乃至図13を参照しながら説明する。   Next, a procedure for final pressure-bonding the TCP 2 temporarily bonded to one long side and one short side of the substrate W by the mounting apparatus having the above configuration will be described with reference to FIGS. 8 to 13.

まず、図8に矢印Aで示すように第1の供給用搬送テーブル23によって供給部5から一方の第1の実装部14Aに基板Wが供給されて位置決めされ、ついで上記第1の供給用搬送テーブル23によって矢印Bで示すように他方の第1の実装部14Bに基板Wが供給されて位置決めされる。その後、上記第1の供給用搬送テーブル23は供給部5に戻り、この第1の供給用搬送テーブル23にはつぎの基板Wが供給される。   First, as shown by an arrow A in FIG. 8, the substrate W is supplied from the supply unit 5 to the first mounting unit 14A by the first supply transfer table 23 and positioned, and then the first supply transfer table is provided. As shown by the arrow B by the table 23, the substrate W is supplied to the other first mounting portion 14B and positioned. Thereafter, the first supply transfer table 23 returns to the supply unit 5, and the next substrate W is supplied to the first supply transfer table 23.

つぎに、図9に矢印Cで示すように、一方の第1の実装部14Aに位置決めさた基板Wの下方に、図8に示すように一方の第2の実装部15Aで待機していて一方の第2の供給用搬送テーブル47Aが入り込み、基板Wの長辺に仮圧着されたTCP2の本圧着が終了するのを待機する。   Next, as shown by an arrow C in FIG. 9, the second mounting portion 15A is in a stand-by state as shown in FIG. 8 below the substrate W positioned on the first mounting portion 14A. One second supply transport table 47A enters, and waits for the end of the final press-bonding of the TCP 2 temporarily bonded to the long side of the substrate W.

つぎに、図10に矢印Dで示すように、他方の第2の実装部15Bで待機していた他方の第2の供給用搬送テーブル47B(図9に示す)が他方の第1の実装部14Bに位置決めされた基板Wの下方に入り込み、その基板Wに仮圧着されたTCP2の本圧着が終了するのを待機する。   Next, as shown by an arrow D in FIG. 10, the other second mounting transfer table 47B (shown in FIG. 9) that has been waiting in the other second mounting portion 15B is replaced with the other first mounting portion. It waits for completion | finish of the main crimping | compression-bonding of TCP2 which entered below the board | substrate W positioned by 14B and was temporarily crimped | bonded to the board | substrate W.

それとほぼ同時に、一方の第1の実装部14Aに供給された基板Wの長辺に仮圧着されたTCP2の本圧着が終了するから、この基板Wの下面で待機していた一方の第2の供給用搬送テーブル47Aが一方の第1の実装部14Aから基板Wを取り出し、その基板Wを90度回転させながら一方の第2の実装部15Aに供給する。これの動きを図10に矢印Eで示す。   At substantially the same time, since the final press-bonding of the TCP 2 temporarily bonded to the long side of the substrate W supplied to the first mounting portion 14A is completed, the second second waiting on the lower surface of the substrate W is completed. The supply transfer table 47A takes out the substrate W from the first mounting portion 14A and supplies the substrate W to the second mounting portion 15A while rotating the substrate W by 90 degrees. This movement is indicated by an arrow E in FIG.

つぎに、図11に示すように他方の第1の実装部14Bで長辺のTCP2の本圧着が終了した基板Wがその下面で待機していた他方の第2の供給用搬送テーブル47Bによって取り出され、その基板Wを90度回転させられながら、矢印Fで示すように他方の第2の実装部15Bに搬送される。また、第1の実装部14Aには供給部5から新たな基板Wが供給される。   Next, as shown in FIG. 11, the substrate W that has been subjected to the final press-bonding of the long side TCP 2 at the other first mounting portion 14B is taken out by the other second supply transport table 47B that has been waiting on its lower surface. Then, the substrate W is conveyed to the other second mounting portion 15B as indicated by an arrow F while being rotated 90 degrees. Further, a new substrate W is supplied from the supply unit 5 to the first mounting unit 14A.

それと同時に、一方の第2の実装部15Aに基板Wを搬送した一方の第2の供給用搬送テーブル47Aが一方の第2の実装部15Aから一方の第1の実装部14Aに供給支持された基板Wの下面に移動するとともに、図11に矢印Gで示すように搬出用搬送テーブル52が排出部11から一方の第2の実装部15Aに支持された基板Wの下面に移動する。   At the same time, one second supply transport table 47A that transports the substrate W to one second mounting portion 15A is supplied and supported from one second mounting portion 15A to one first mounting portion 14A. While moving to the lower surface of the substrate W, as shown by an arrow G in FIG. 11, the carry-out transfer table 52 moves from the discharge portion 11 to the lower surface of the substrate W supported by one second mounting portion 15A.

つぎに、図12に示すように、一方の第2の実装部15Aで短辺にTCP2の本圧着が終了した基板Wが矢印Hで示すように排出用搬送テーブル52によって取り出されて排出部11に搬送される。それと同時に、矢印Iで示すように第1の供給用搬送テーブル23によって新たな基板Wが供給部5から他方の第1の実装部14Bに搬送供給される。   Next, as shown in FIG. 12, the substrate W that has been subjected to the final press-bonding of the TCP 2 on the short side in one of the second mounting portions 15A is taken out by the discharge transport table 52 as indicated by the arrow H, and is discharged. It is conveyed to. At the same time, as indicated by an arrow I, a new substrate W is transported and supplied from the supply unit 5 to the other first mounting unit 14B by the first supply transport table 23.

つぎに、図13に矢印Jで示すように、第1の供給用搬送テーブル23が他方の第1の実装部14Bから供給部5に戻り、他方の第2の供給用搬送テーブル47Bが矢印Kで示すように他方の第2の実装部15Bから他方の第1の実装部14Bに供給支持された基板Wの下方に移動する。   Next, as indicated by an arrow J in FIG. 13, the first supply transport table 23 returns from the other first mounting portion 14 </ b> B to the supply portion 5, and the other second supply transport table 47 </ b> B moves to the arrow K. As shown in FIG. 8, the substrate moves from the other second mounting portion 15B to the lower side of the substrate W supplied and supported by the other first mounting portion 14B.

その後、搬出用搬送テーブル52が矢印Lで示すように他方の第2の実装部15Bに支持された基板Wの下方に移動して短辺にTCP2が本圧着されたその基板Wを取り出し、同じく矢印Lで示すように排出部11に搬送する。   Thereafter, the carry-out transport table 52 moves below the substrate W supported by the other second mounting portion 15B as indicated by an arrow L, and the substrate W on which the TCP2 is finally crimped to the short side is taken out. As indicated by the arrow L, it is conveyed to the discharge unit 11.

このような動作が繰り返して行われることで、供給部5から一対の第1の実装部14A,14Bに基板Wが交互に供給され、この一対の第1の実装部14A,14Bで供給された順に基板Wの長辺に仮圧着されたTCP2が本圧着される。   By repeating such an operation, the substrate W is alternately supplied from the supply unit 5 to the pair of first mounting units 14A and 14B, and is supplied by the pair of first mounting units 14A and 14B. The TCP 2 temporarily bonded to the long side of the substrate W in this order is finally bonded.

一対の第1の実装部14A,14Bで長辺にTCP2が本圧着された基板Wは、本圧着された順に一対の第2の実装部15A,15Bに交互に供給され、供給された順に基板Wの短辺に仮圧着されたTCP2が本圧着される。   The substrates W on which the TCP2 is finally pressure-bonded on the long side by the pair of first mounting portions 14A, 14B are alternately supplied to the pair of second mounting portions 15A, 15B in the order in which they are finally pressure-bonded. TCP2 temporarily bonded to the short side of W is finally bonded.

一対の第2の実装部15A,15Bで短辺にTCP2が本圧着された基板Wは、本圧着された順に排出部11に搬送されて次工程に受け渡されることになる。   The substrate W on which the TCP2 is finally crimped to the short side by the pair of second mounting portions 15A and 15B is transported to the discharge unit 11 in the order of the final crimping and is delivered to the next process.

したがって、このような動作が連続して行われることで、一対の第1の実装部14A,14Bと、一対の第2の実装部,15A,15Bでは、それぞれどちらか一方または他方の実装部によってTCP2の本圧着が間断なく行われることになる。   Therefore, when such an operation is continuously performed, the pair of first mounting portions 14A and 14B and the pair of second mounting portions 15A and 15B are respectively used by either one or the other mounting portion. The TCP2 main pressure bonding is performed without interruption.

つまり、一対の第1の実装部14A,14Bのどちらか一方の実装部及び一対の第2の実装部,15A,15Bのどちらか一方の実装部に対して基板を供給したり、搬出するときでも、他方の実装部で実装(本圧着)が行われる。   That is, when a substrate is supplied to or taken out of one of the pair of first mounting portions 14A and 14B and one of the pair of second mounting portions 15A and 15B. However, mounting (main press bonding) is performed at the other mounting portion.

そのため、基板Wの供給や搬出の際、第1の実装部14A,14Bの両方及び、第2の実装部15A,15Bの両方を休止させずに実装を連続的に行うことができるから、生産性の向上を図ることができる。   Therefore, when the substrate W is supplied or taken out, it is possible to perform the mounting continuously without stopping both the first mounting parts 14A and 14B and the second mounting parts 15A and 15B. It is possible to improve the performance.

しかも、そのことによって、長辺と短辺とにTCP2が本圧着された基板Wを、一方の第2の実装部15Aと他方の第2の実装部15Bから交互に排出部11に搬出し、この排出部11から次工程に一定の間隔で円滑に供給することができるから、この実装装置の後工程に設けられた、たとえばTCP2に回路基板を実装する装置などの稼働率を向上させることもできる。   In addition, by doing so, the substrate W on which the TCP 2 is finally crimped to the long side and the short side is carried out from the second mounting part 15A and the second mounting part 15B to the discharge part 11 alternately. Since it can be smoothly supplied from the discharge unit 11 to the next process at regular intervals, it is possible to improve the operating rate of a device for mounting a circuit board on the TCP 2, for example, provided in a subsequent process of the mounting device. it can.

一対の第1の実装部14A,14Bと、一対の第2の実装部15A,15Bとの基板Wに対する実装位置、つまり基板Wを支持するバックアップツール17及びこのバックアップツール17の上方に対向して設けられる加圧ツール19をX方向に沿って直列に配置した。つまり、一直線上に位置するよう配置した。   Mounting positions of the pair of first mounting portions 14A and 14B and the pair of second mounting portions 15A and 15B with respect to the substrate W, that is, the backup tool 17 that supports the substrate W and the upper side of the backup tool 17 are opposed to each other. The provided pressure tool 19 was arranged in series along the X direction. That is, it arrange | positions so that it may be located on a straight line.

そのため、複数の実装部14A,14B及び15A,15Bをベース4上に設置する際、各実装部の位置決め設置を容易に行うことができる。とくに、この実施の形態では、各実装部14A,14B及び15A,15Bのバックアップツール17を1つの架台18の上面に一列に設けるようにしたから、そのことによっても複数の実装部14A,14B及び15A,15Bの設置が容易となる。   Therefore, when installing the plurality of mounting parts 14A, 14B and 15A, 15B on the base 4, the positioning of each mounting part can be easily performed. In particular, in this embodiment, the backup tools 17 of the mounting portions 14A, 14B and 15A, 15B are provided in a row on the upper surface of one gantry 18, so that a plurality of mounting portions 14A, 14B and Installation of 15A and 15B becomes easy.

各実装部14A,14B及び15A,15B、供給部5、排出部11において、基板Wを支持する支持手段36、供給側支持部6、排出側支持部12は基板Wの一辺の下面とその一辺に対向する他辺の上面を吸着して水平に支持するようにしているから、水平に支持された基板Wの下面側には障害物がほとんど存在しなくなる。   In each of the mounting portions 14A, 14B and 15A, 15B, the supply portion 5, and the discharge portion 11, the support means 36 that supports the substrate W, the supply side support portion 6, and the discharge side support portion 12 are the lower surface of one side of the substrate W and one side thereof. Since the upper surface of the other side opposite to the substrate is sucked and supported horizontally, there is almost no obstacle on the lower surface side of the horizontally supported substrate W.

そのため、ベース4上をX方向及びX方向に駆動されて基板Wを搬送する第1の供給用搬送テーブル23、一対の第2の供給用搬送テーブル47A,47B及び搬出用搬送テーブル52は供給部5、各実装部14A,14B及び15A,15B、排出部11で支持された基板Wの下面側に容易に移動することができる。つまり、障害物がある場合のように、各テーブル23、47A,47B及び52の移動経路が限定されることがない。   Therefore, the first supply transfer table 23, the pair of second supply transfer tables 47A and 47B, and the carry-out transfer table 52, which are driven in the X direction and the X direction on the base 4 to transfer the substrate W, are supplied from the supply unit. 5. Each mounting part 14A, 14B and 15A, 15B can be easily moved to the lower surface side of the substrate W supported by the discharge part 11. That is, the movement route of each table 23, 47A, 47B and 52 is not limited as in the case where there is an obstacle.

したがって、第1の供給用搬送テーブル23、一対の第2の供給用搬送テーブル47A,47B及び搬出用搬送テーブル52の移動経路を短くし、移動に要する時間を短縮できるから、そのことによっても生産性の向上を図ることができる。   Therefore, the movement path of the first supply conveyance table 23, the pair of second supply conveyance tables 47A and 47B, and the carry-out conveyance table 52 can be shortened, and the time required for movement can be shortened. It is possible to improve the performance.

基板Wの長辺にTCP2を本圧着する一方の第1の実装部14Aと他方の第1の実装部14Bに対して基板Wを位置決めする際、基板Wを位置決めするために撮像する一対の第1の撮像カメラ41を、一方の第1の実装部14Aと他方の第1の実装部14Bとの間で移動させて兼用できるようした。   When positioning the substrate W with respect to one first mounting portion 14A and the other first mounting portion 14B that are permanently pressure-bonded with the TCP 2 to the long side of the substrate W, a pair of first images to be imaged to position the substrate W One imaging camera 41 can be moved between one first mounting portion 14A and the other first mounting portion 14B so that they can be used together.

同様に、一方の第2の実装部15Aと他方の第2の実装部15Bとの間で第2の撮像カメラ49を移動させて兼用できるようした。   Similarly, the second imaging camera 49 can be moved between the second mounting portion 15A and the other second mounting portion 15B so that they can be used together.

そのため、それぞれの実装部14A,14B及び15A,15Bに撮像カメラを設置する場合に比べ、撮像カメラの使用量を半分にしてコストの低減を図ることができる。   Therefore, compared with the case where an imaging camera is installed in each mounting part 14A, 14B and 15A, 15B, the amount of use of the imaging camera can be reduced by half and cost can be reduced.

つまり、一対の第1の実装部14A,14B及び一対の第2の実装部15A,15Bをそれぞれ一列に配置したことで、各実装部間において1組の第1の撮像カメラ41及び第2の撮像カメラ49を2つの実装部で使用することが可能となる。   That is, the pair of first mounting portions 14A and 14B and the pair of second mounting portions 15A and 15B are arranged in a row, so that a pair of the first imaging camera 41 and the second pair are mounted between the mounting portions. The imaging camera 49 can be used in two mounting portions.

なお、上記第1の実施の形態においては基板Wの1つの長辺と短辺とにTCP2を本圧着する例を挙げて説明したが、基板Wの1つの長辺だけに2つの第1の実装部14A,14BによってTCP2を本圧着する場合であっても、第1の実施の形態と同様、2つの第1の実装部14A,14Bに対する基板Wの供給と、搬出を交互に行うことで、実装装置の稼働率を高めることができる。   In the first embodiment, an example in which the TCP 2 is permanently pressure-bonded to one long side and the short side of the substrate W has been described. However, the two first steps are performed only on one long side of the substrate W. Even in the case where TCP2 is finally pressure-bonded by the mounting portions 14A and 14B, as in the first embodiment, the supply and unloading of the substrate W to and from the two first mounting portions 14A and 14B are alternately performed. The operating rate of the mounting apparatus can be increased.

図14はこの発明の第2の実施の形態を示す。この実施の形態は基板Wの1つ長辺と2つの短辺とに仮圧着されたTCP2を本圧着する実装装置を示している。なお、この発明の第2の実施の形態において、第1の実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。   FIG. 14 shows a second embodiment of the present invention. This embodiment shows a mounting apparatus that performs final pressure bonding of a TCP 2 temporarily bonded to one long side and two short sides of a substrate W. Note that in the second embodiment of the present invention, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

すなわち、基板Wの長辺に仮圧着されたTCP2は1つの第1の実装部14によって本圧着される。長辺にTCP2が本圧着された基板Wの一方の短辺に仮圧着されたTCP2の本圧着は、一対の第2の実装部15A,15Bによって行われる。基板Wの他方の短辺に仮圧着されたTCP2の本圧着は、1つの第3の実装部55によって行われる。   That is, the TCP 2 temporarily bonded to the long side of the substrate W is finally bonded by one first mounting portion 14. The main press-bonding of the TCP2 temporarily bonded to one short side of the substrate W on which the TCP2 is finally bonded to the long side is performed by the pair of second mounting portions 15A and 15B. The main pressure bonding of the TCP 2 temporarily bonded to the other short side of the substrate W is performed by one third mounting portion 55.

基板Wは第1の供給用搬送テーブル23によって供給部5から第1の実装部14に搬送され、第1の実装部14から第2の実装部15A,15Bへの基板Wの搬送及び第2の実装部15A,15Bから第3の実装部55への基板Wの搬送は、2つの第2の供給用搬送テーブル47A,47Bによって交互に行われる。上記第3の実装部55から排出部11への基板Wの搬送は搬出用搬送テーブル52によって行われる。   The substrate W is transported from the supply unit 5 to the first mounting unit 14 by the first supply transport table 23, and transports the substrate W from the first mounting unit 14 to the second mounting units 15 </ b> A and 15 </ b> B and the second mounting unit 14. The substrate W is transported from the mounting portions 15A and 15B to the third mounting portion 55 alternately by the two second supply transport tables 47A and 47B. The substrate W is transported from the third mounting unit 55 to the discharge unit 11 by the unloading transport table 52.

各実装部14,15A,15B及び55における基板Wの支持構造や位置決めは第1の実施の形態と同様にして行われる。また、基板Wを位置決めする際、第1の実装部14では固定して設けられた一対の第1の撮像カメラ41によって撮像され、第2の実装部15A,15Bではこれら実装部の間で移動可能に設けられた一対の第2の撮像カメラ49によって行われる。第3の実装部55では、ここに固定して設けられた一対の第3の撮像カメラ56によって行われる。   The support structure and positioning of the substrate W in each of the mounting portions 14, 15A, 15B, and 55 are performed in the same manner as in the first embodiment. Further, when positioning the substrate W, the first mounting unit 14 captures an image by a pair of first imaging cameras 41 provided in a fixed manner, and the second mounting units 15A and 15B move between these mounting units. This is performed by a pair of second imaging cameras 49 provided as possible. In the 3rd mounting part 55, it carries out by a pair of 3rd imaging cameras 56 provided fixedly here.

このような構成においても、第1の実装部14から一対の第2の実装部15A,15Bへの基板Wの搬送と、一対の第2の実装部15A,15Bから第3の実装部55への基板Wの搬送を、2つの第2の供給用搬送テーブル47A,47Bによって交互に行うようにしたことで、実装装置の稼働率を高め、生産性を向上させることができる。   Even in such a configuration, the substrate W is transferred from the first mounting portion 14 to the pair of second mounting portions 15A and 15B, and from the pair of second mounting portions 15A and 15B to the third mounting portion 55. Since the substrate W is transferred alternately by the two second supply transfer tables 47A and 47B, the operating rate of the mounting apparatus can be increased and the productivity can be improved.

上記第1の実施の形態では、4つの実装部において、2つの実装部で基板の長辺に仮圧着されたTCPを本圧着してから他の2つの実装部で短辺に仮圧着されたTCPを本圧着するようにしたが、2つの実装部で短辺に仮圧着されたTCPを本圧着し、他の2つの実装部で長辺に仮圧着されたTCPを本圧着するようにしてもよい。   In the first embodiment, in the four mounting portions, the TCP temporarily bonded to the long side of the substrate in the two mounting portions is finally pressure bonded, and then temporarily bonded to the short side in the other two mounting portions. Although TCP is finally pressure-bonded, TCP is temporarily pressure-bonded to the short side at the two mounting parts, and TCP is temporarily pressure-bonded to the long side at the other two mounting parts. Also good.

また、1つの実装部で1枚の基板の長辺のTPCを本圧着した後、2つの実装部で2枚の基板の短辺のTCPを本圧着し、ついで残りの1つの実装部で他の1枚の基板の長辺のTCPを本圧着するようにしてもよい。   In addition, after the TPC of the long side of one board is finally crimped by one mounting part, the TCP of the short side of two boards is finally crimped by two mounting parts, and then the other one by the remaining one mounting part. Alternatively, the long side TCP of one substrate may be subjected to main pressure bonding.

これとは逆に1つの実装部で1枚の基板の短辺のTPCを本圧着した後、つぎの2つの実装部で2枚の基板の長辺のTCPを本圧着し、ついで4つ目の実装部で他の1枚の基板の短辺のTCPを本圧着するようにしてもよい。   On the contrary, after the TPC of the short side of one board is finally crimped by one mounting part, the TCP of the long side of two boards is finally crimped by the next two mounting parts, and then the fourth Alternatively, the TCP of the short side of the other one substrate may be subjected to main pressure bonding at the mounting portion.

また、たとえば6つの実装部を備えている場合、4つの実装部を有する場合と同様、最初の3つの実装部で長辺のTCPを本圧着し、次の3つの実装部で短辺のTCPを本圧着するようにしてもよい。   For example, when six mounting parts are provided, as in the case of having four mounting parts, long-side TCP is finally pressure-bonded with the first three mounting parts, and short-side TCP with the next three mounting parts. You may make it carry out this pressure bonding.

これとは逆に、最初の3つの実装部で短辺のTCPを本圧着し、次の3つの実装部で長辺のTCPを本圧着するなど、長辺と短辺との組み合わせによって合計で8通りの本圧着を行うことができる。 On the contrary, the short side TCP is finally crimped in the first three mounting parts, and the long side TCP is finally crimped in the next three mounting parts. Eight kinds of main press bonding can be performed.

すなわち、少なくとも隣り合う2つの実装部において2枚の基板に対して長辺或いは短辺などのように同じ辺に対して本圧着を行うようにすれば、その2つの実装部に対して基板を交互に供給し、本圧着後にその2つの実装部から基板を交互に搬出してタクトタイムの短縮を図ることができる。   That is, if the main pressure bonding is performed on the same side, such as a long side or a short side, on two substrates in at least two adjacent mounting portions, the substrate is mounted on the two mounting portions. It is possible to supply alternately, and to carry out the substrate alternately from the two mounting parts after the main pressure bonding, thereby shortening the tact time.

また、上記第1、第2の実施の形態では撮像カメラを第1の実装部と第2の実装部との間で移動可能としたが、たとえば加圧ツールやバックアップツールなどの他のユニットを移動可能に設けるようにしてもよい。そのようにすれば、さらにコストの低減を図ることが可能となる。   In the first and second embodiments, the imaging camera can be moved between the first mounting unit and the second mounting unit. For example, another unit such as a pressure tool or a backup tool may be used. You may make it provide so that a movement is possible. By doing so, it is possible to further reduce the cost.

また、上記第1、第2の実施の形態では加圧ツールを上側に配置し、バックアップツールを下側に配置したが、加圧ツールを下側に配置し、バックアップツールを上側に配置してもよい。   In the first and second embodiments, the pressure tool is disposed on the upper side and the backup tool is disposed on the lower side. However, the pressure tool is disposed on the lower side and the backup tool is disposed on the upper side. Also good.

また、上記第1、第2の実施の形態では支持部材(第1の吸着支持部)によって基板のTCPが実装される辺の下面を吸着支持し、吸着パッド(第2の吸着支持部)によってTCPが実装される辺と対向する辺の上面を吸着支持するようにしたが、上記支持部材によって基板のTCPが実装される辺の上面を吸着支持するようにしてもよい。   In the first and second embodiments, the lower surface of the side on which the TCP of the substrate is mounted is sucked and supported by the support member (first suction support part), and the suction pad (second suction support part) is used. Although the upper surface of the side opposite to the side on which the TCP is mounted is sucked and supported, the upper surface of the side on which the TCP of the substrate is mounted may be sucked and supported by the support member.

このようにすれば、各テーブルの移動範囲をさらに拡大することができるから、基板の搬送受け渡しに要するタクトタイムを短縮することができる。   In this way, the movement range of each table can be further expanded, so that the tact time required for transporting the substrate can be shortened.

なお、第1の吸着支持部によって基板の上面を吸着支持し、第2の吸着支持部によって基板の下面を吸着支持してもよく、さらに第1の吸着支持部によって基板の下面を吸着支持し、第2の吸着支持部も基板の下面を吸着支持するようにしても差し支えない。この場合、各テーブルが移動しているときには、各支持部をテーブルの移動経路から退避させるよう、移動可能な構造とすればよい。   The upper surface of the substrate may be sucked and supported by the first suction support portion, the lower surface of the substrate may be sucked and supported by the second suction support portion, and the lower surface of the substrate may be sucked and supported by the first suction support portion. The second suction support portion may support the lower surface of the substrate by suction. In this case, when each table is moving, it may be configured to be movable so that each support portion is retracted from the table moving path.

また、供給用搬送テーブルと搬出用搬送テーブルは基板の下面を支持して搬送する構造を例に挙げて説明したが、基板の上面を吸着パッドで吸着して搬送するようにしてもよい。   Further, the supply transport table and the carry-out transport table have been described by taking the structure of supporting and transporting the lower surface of the substrate as an example, but the upper surface of the substrate may be sucked and transported by a suction pad.

また、上記第1、第2の実施の形態では異方性導電部材が貼着されたTCPを基板に仮圧着してから本圧着する場合を例に挙げて説明したが、基板に異方性導電部材を貼着してから、その異方性導電部材にTCPを仮圧着して後、本圧着する場合であっても差し支えない。   In the first and second embodiments, the case where the TCP having the anisotropic conductive member attached is temporarily bonded to the substrate and then finally bonded is described as an example. There is no problem even if the conductive member is pasted and then the TCP is temporarily pressure-bonded to the anisotropic conductive member and then the pressure-bonded.

図15と図16はこの発明の第3の実施の形態を示す。この実施の形態は基板Wに仮圧着された複数のTCP2を別々の加圧ツールで実装する場合であって、図15は第1の実装部61で基板Wの長辺に5つのTCP2を5つの加圧ツール19Aによって本圧着し、第2の実装部62で基板Wの短辺に3つのTCP2を3つの加圧ツール19Aによって本圧着するようになっている。   15 and 16 show a third embodiment of the present invention. This embodiment is a case where a plurality of TCPs 2 temporarily bonded to the substrate W are mounted by separate pressing tools. FIG. 15 shows five TCPs 2 on the long side of the substrate W by the first mounting part 61. The two pressure tools 19A are used for the final pressure bonding, and the second mounting portion 62 is configured to perform the final pressure bonding of the three TCPs 2 to the short side of the substrate W using the three pressure tools 19A.

上記基板Wの長辺と短辺の側辺部は、架台18の上面に設けられた1つのバックアップツール17Aに支持されるようになっていて、このバックアップツール17Aの上方には複数、この実施の形態では8つの加圧ツール19Aを上下方向に駆動する加圧用駆動源21Aが水平に架設されたビーム63に移動可能及び所定の移動位置で固定可能に設けられている。   The long side and the short side of the substrate W are supported by a single backup tool 17A provided on the top surface of the gantry 18, and a plurality of the side portions are provided above the backup tool 17A. In this embodiment, a pressurizing drive source 21A for driving the eight pressurizing tools 19A in the vertical direction is provided so as to be movable to a beam 63 laid horizontally and fixed at a predetermined moving position.

そして、第1の実装部61には5つの加圧ツール19Aが基板Wの長辺に対して所定間隔になるよう位置決めされ、第2の実装部62には3つの加圧ツール19Aが基板Wの短辺に対して所定間隔になるよう位置決めされている。   Then, the five pressure tools 19A are positioned on the first mounting portion 61 so as to have a predetermined interval with respect to the long side of the substrate W, and the three pressure tools 19A are positioned on the second mounting portion 62. It is positioned so as to be at a predetermined interval with respect to the short side.

したがって、このような構成によれば、第1の実装部61では基板Wの長辺に仮圧着された5つのTCP2を本圧着することができ、第2の実装部62では基板Wの短辺に仮圧着された3つのTCP2を本圧着することができる。   Therefore, according to such a configuration, the first mounting portion 61 can perform the final press-bonding of the five TCPs 2 temporarily bonded to the long side of the substrate W, and the second mounting portion 62 can perform the short-bonding of the short side of the substrate W. The three TCP2s temporarily bonded to each other can be finally bonded.

一方、基板Wの品種変更などによっては、第1の実装部61と第2の実装部62とで、基板Wの長辺或いは短辺に対してそれぞれ4つのTCP2を本圧着することが要求される場合がある。   On the other hand, depending on the product type change of the substrate W, it is required that the first mounting unit 61 and the second mounting unit 62 perform main pressure bonding of the four TCPs 2 on the long side or the short side of the substrate W, respectively. There is a case.

そのような場合、複数の加圧ツール19Aはビーム63に対して移動可能に設けられているため、図16に示すように第1の実装部61の1つの加圧ツール19Aを第2の実装部62側へ移動し、第1の実装部61と第2の実装部62との加圧ツール19Aの数をそれぞれ4つずつとする。   In such a case, since the plurality of pressure tools 19A are provided so as to be movable with respect to the beam 63, as shown in FIG. 16, one pressure tool 19A of the first mounting portion 61 is second mounted. It moves to the part 62 side, and sets the number of the pressure tools 19A of the 1st mounting part 61 and the 2nd mounting part 62 to four each.

それによって、各供給部61,62に供給された基板Wの各辺に仮圧着されたそれぞれ4つのTCP2を本圧着することができる。   As a result, the four TCPs 2 temporarily bonded to each side of the substrate W supplied to the supply units 61 and 62 can be finally bonded.

また、基板Wが大型であって、たとえばその長辺に対して8つのTCP2を本圧着する場合、8つの加圧ツール19Aをビーム63に沿って移動させて大型の基板Wの長辺に本圧着されるTCP2の間隔に対応するよう位置決めする。   Further, when the substrate W is large and, for example, eight TCPs 2 are permanently crimped to the long sides thereof, the eight pressure tools 19A are moved along the beam 63 so that the long side of the large substrate W is long. Positioning is performed so as to correspond to the interval of TCP2 to be crimped.

それによって、基板Wが大型化して長辺に実装されるTCP2の数が増大した場合であっても、その数の変動に応じて複数の加圧ツール19Aを位置決めして対応することが可能となる。   As a result, even when the number of TCPs 2 mounted on the long side is increased due to an increase in the size of the substrate W, a plurality of pressure tools 19A can be positioned and coped with in accordance with fluctuations in the number. Become.

つまり、この場合、第1の実装部61と第2の実装部62とが1つの実装部となる。   That is, in this case, the first mounting part 61 and the second mounting part 62 are one mounting part.

すなわち、この実施の形態によれば、品種変更などによって基板Wの側辺に本圧着されるTCP2の数が変更になった場合であっても、その数の変更に応じて加圧ツール19Aを他の実装部に移動させて位置決めすることができるから、汎用性の高い実装装置を提供することができる。   That is, according to this embodiment, even if the number of TCPs 2 that are permanently crimped to the side of the substrate W is changed due to a change in product type or the like, the pressure tool 19A is changed according to the change in the number. Since it can be moved and positioned to another mounting part, a highly versatile mounting apparatus can be provided.

この第3の実施の形態において、ビーム63に8つの加圧ツール19Aが移動可能に設けられている場合を例に挙げて説明したが、ビーム63に大型の基板Wの長辺と短辺とに本圧着されるTCP2の数と同等或いはそれ以上の加圧ツール19Aを設けるようにすれば、大型の基板Wであっても、その長辺と短辺とに仮圧着されたTCP2を順次本圧着することができる。   In the third embodiment, the case where the eight pressure tools 19A are movably provided on the beam 63 has been described as an example, but the long side and the short side of the large substrate W are provided on the beam 63. If a pressure tool 19A equal to or more than the number of TCP2s to be permanently crimped is provided, even a large substrate W, the TCP2 temporarily crimped to the long side and the short side are sequentially booked. Can be crimped.

なお、上記実施の形態では被実装部材として基板にTCPを実装(本圧着)する例を挙げて説明したが、被実装部材としては基板にTCPを仮圧着するために貼着される異方性導電部材を貼着する場合や基板に貼着された異方性導電部材にTCPを仮圧着する場合やTCPに貼着された異方性導電部材を基板に貼着する場合であっても、この発明を適用することができる。つまり、この被実装部材はTCPや他の電子部品に限られず、異方性導電部材であってもよい。   In the above-described embodiment, an example in which TCP is mounted (final pressure bonding) on the substrate as the mounted member has been described. However, as the mounted member, anisotropy bonded to temporarily bond TCP to the substrate is used. Even when sticking the conductive member, when temporarily bonding the TCP to the anisotropic conductive member stuck to the substrate, or when sticking the anisotropic conductive member stuck to the TCP to the substrate, The present invention can be applied. That is, the mounted member is not limited to TCP or other electronic components, and may be an anisotropic conductive member.

また、ガラス基板に被実装部材としての半導体チップを実装する場合にも適用することができる。   The present invention can also be applied when a semiconductor chip as a member to be mounted is mounted on a glass substrate.

また、基板にTCPの一端を実装した後に、さらにそのTCPの他端に回路基板を異方性導電部材を介して実装する場合にも適用することができる。   The present invention can also be applied to a case where a circuit board is mounted on the other end of the TCP via an anisotropic conductive member after mounting one end of the TCP on the substrate.

また、基板を搬送する搬送手段としてベース上をX、Y、θ及びZ方向に駆動されるテーブルを用いた例を挙げて説明したが、搬送手段としては下面に基板を吸着保持する吸着手段を有する可動体を、ベースの上方でX、Y、θ及びZ方向に駆動できる構成とし、この可動体によって複数の第1の実装部或いは複数の第2の実装部に対して基板を交互に供給及び搬出するようにしてもよい。   In addition, the example using the table driven in the X, Y, θ, and Z directions on the base as the transport means for transporting the substrate has been described, but the suction means for sucking and holding the substrate on the lower surface is used as the transport means. The movable body is configured to be driven in the X, Y, θ, and Z directions above the base, and the movable body alternately supplies the substrate to the plurality of first mounting portions or the plurality of second mounting portions. And you may make it carry out.

2…TCP(被実装部材)、3…異方性導電部材、5…供給部、11…排出部、14A,14B…第1の実装部、15A,15B…第2の実装部、17…バックアップツール、19…加圧ツール、23…第1の供給用搬送テーブル(搬送手段)、26…制御装置、41…第1の撮像カメラ、45…画像処理部、47A,47B…第2の供給用搬送テーブル(搬送手段)、49…第2の撮像カメラ、52…搬出用搬送テーブル(搬送手段)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 ... TCP (mounted member), 3 ... Anisotropic conductive member, 5 ... Supply part, 11 ... Discharge part, 14A, 14B ... 1st mounting part, 15A, 15B ... 2nd mounting part, 17 ... Backup Tool, 19 ... Pressure tool, 23 ... First supply transport table (transport means), 26 ... Control device, 41 ... First imaging camera, 45 ... Image processing unit, 47A, 47B ... Second supply Transport table (transport means), 49... Second imaging camera, 52.

Claims (11)

矩形状の基板の4つの辺のうち、少なくとも1つの辺に被実装部材を実装する実装装置であって、
上記基板を供給する供給部と、
この供給部に並設され上記供給部から供給された基板の少なくとも1つの辺に上記被実装部材を実装する複数の実装部と、
上記実装部に並設されこの実装部で被実装部材が実装された基板が排出される排出部と、
上記供給部の上記基板を上記複数の実装部に対して交互に供給するととともに、上記被実装部材が実装され終わった基板を上記複数の実装部から交互に取り出して上記排出部に搬送する搬送手段と
を具備したことを特徴とする被実装部材の実装装置。
A mounting device that mounts a member to be mounted on at least one of four sides of a rectangular substrate,
A supply unit for supplying the substrate;
A plurality of mounting portions that are mounted in parallel to the supply portion and mount the mounted member on at least one side of the substrate supplied from the supply portion;
A discharge unit that is arranged in parallel with the mounting unit and from which the substrate on which the mounted member is mounted is discharged.
Conveying means for alternately supplying the substrate of the supply unit to the plurality of mounting units, and alternately taking out the substrate on which the mounted member has been mounted from the plurality of mounting units and transporting them to the discharging unit An apparatus for mounting a member to be mounted, comprising:
上記供給部から上記実装部に供給される基板を撮像する撮像手段を有し、
上記搬送手段は上記撮像手段の撮像に基づいて上記基板を上記実装部に位置決めして供給することを特徴とする請求項1記載の被実装部材の実装装置。
Having imaging means for imaging the substrate supplied from the supply unit to the mounting unit;
2. The mounting apparatus for mounting a member according to claim 1, wherein the transport unit positions and supplies the substrate to the mounting portion based on the image of the imaging unit.
上記実装部は、
上記基板の1つの長辺に対して上記被実装部材を実装する2つの第1の実装部によって構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の被実装部材の実装装置。
The mounting part above is
3. The mounting apparatus for mounted members according to claim 1, wherein the mounted member is composed of two first mounting portions that mount the mounted member on one long side of the substrate.
上記実装部は、
上記基板の1つの長辺に対して上記被実装部材を実装する2つの第1の実装部と、上記基板の1つの短辺に対して上記被実装部材を実装する2つの第2の実装部によって構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の被実装部材の実装装置。
The mounting part above is
Two first mounting portions for mounting the mounted member on one long side of the substrate, and two second mounting portions for mounting the mounted member on one short side of the substrate The mounting apparatus for a member to be mounted according to claim 1, wherein the mounting apparatus is configured as follows.
上記実装部は、
上記基板の1つの長辺に対して上記被実装部材を実装する1つの第1の実装部と、上記基板の2つの短辺のうちの一方の短辺に上記被実装部材を実装する2つの第2の実装部と、上記基板の2つの短辺のうちの他方の短辺に上記被実装部材を実装する1つの第3の実装部によって構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の被実装部材の実装装置。
The mounting part above is
One first mounting portion for mounting the mounted member on one long side of the substrate, and two for mounting the mounted member on one short side of the two short sides of the substrate The second mounting portion and one third mounting portion that mounts the mounted member on the other short side of the two short sides of the substrate, The mounting member mounting apparatus according to claim 2.
上記撮像手段は、2つの第1の実装部の一方と他方の間で移動可能に設けられ、上記搬送手段によって2つの第1の実装部に対して基板を交互に供給するとき、基板が供給される実装部に対向する位置に位置決めされることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の被実装部材の実装装置。   The imaging means is provided so as to be movable between one of the two first mounting portions and the other, and when the substrate is alternately supplied to the two first mounting portions by the transport means, the substrate is supplied. The mounting apparatus for a member to be mounted according to claim 3, wherein the mounting apparatus is positioned at a position facing a mounting portion to be mounted. 上記複数の実装部は、上記搬送手段によって供給された基板の上記被実装部材が実装される1つの辺の下面を支持するバックアップツールと、このバックアップツールに支持された1つの辺の上面に上記被実装部材を実装する加圧ツールを有し、
上記複数の実装部の上記バックアップツールと加圧ツールは一列に配置されていることを特徴とする請求項1記載の被実装部材の実装装置。
The plurality of mounting portions include a backup tool that supports a lower surface of one side on which the mounted member of the substrate supplied by the transport unit is mounted, and an upper surface of one side supported by the backup tool. A pressure tool for mounting the mounted member;
2. The mounting member mounting apparatus according to claim 1, wherein the backup tool and the pressing tool of the plurality of mounting portions are arranged in a line.
上記実装部には上記搬送手段によって供給される基板を支持する支持手段が設けられ、
この支持手段は、上記基板の上記被実装部材が実装される1つの辺の上記バックアップツールによって支持される部分と異なる部分の下面を吸着して支持する第1の吸着支持部と、上記基板の上記被実装部材が実装される1つの辺と対向する辺の上面を吸着して支持する第2の吸着支持部とを有することを特徴とする請求項1又は請求項7記載の被実装部材の実装装置。
The mounting portion is provided with support means for supporting the substrate supplied by the transport means,
The support means includes a first suction support portion that sucks and supports a lower surface of a portion different from a portion supported by the backup tool on one side of the substrate on which the mounted member is mounted; 8. The mounted member according to claim 1, further comprising a second suction support portion that sucks and supports an upper surface of the side opposite to the one side on which the mounted member is mounted. Mounting device.
上記搬送手段は、上面に上記基板を載置して水平方向、上下方向及び回転方向に駆動される搬送テーブルであるであって、
上記搬送テーブルは、上記供給部と上記複数の実装部との間で駆動されて各実装部に基板を供給する供給用搬送テーブルと、各実装部と上記排出部との間で駆動されて各実装部で被実装部材が実装され終わった基板を上記排出部に搬送する排出用搬送テーブルを有することを特徴とする請求項1又は請求項8記載の被実装部材の実装装置。
The transport means is a transport table mounted on the upper surface and driven in a horizontal direction, a vertical direction and a rotation direction,
The transfer table is driven between the supply unit and the plurality of mounting units to supply a substrate to each mounting unit, and is driven between each mounting unit and the discharge unit to each of the mounting units. 9. The mounting apparatus for mounted members according to claim 1, further comprising a discharge transport table for transporting the substrate on which the mounted member has been mounted in the mounting section to the discharge section.
上記複数の実装部は、上記搬送手段によって供給された基板の上記被実装部材が実装される1つの辺の下面を支持するバックアップツールと、このバックアップツールに支持された1つの辺の上面に複数の被実装部材をそれぞれ1つずつ実装する複数の加圧ツールを有し、
上記複数の実装部の上記バックアップツールと複数の加圧ツールは一列に配置され、複数の加圧ツールは上記複数の実装部に対して位置決め可能に設けられていて、
上記複数の加圧ツールは、各実装部で上記基板の1つの辺に実装される被実装部材の数に応じた数が各実装部のバックアップツールに対向するよう位置決めされる構成であることを特徴とする請求項1記載の被実装部材の実装装置。
The plurality of mounting portions include a backup tool that supports the lower surface of one side on which the mounted member of the substrate supplied by the transport unit is mounted, and a plurality of mounting parts on the upper surface of one side supported by the backup tool. A plurality of pressure tools for mounting each of the mounted members one by one,
The backup tool and the plurality of pressure tools of the plurality of mounting portions are arranged in a line, and the plurality of pressure tools are provided so as to be positioned with respect to the plurality of mounting portions,
The plurality of pressurizing tools are configured such that the number corresponding to the number of mounted members mounted on one side of the substrate is positioned so as to face the backup tool of each mounting unit in each mounting unit. The mounting apparatus for mounted members according to claim 1, wherein
矩形状の基板の4つの辺のうち、少なくとも1つの辺に被実装部材を実装する実装方法であって、
供給部から取り出した基板をこの供給部に並設され上記基板の少なくとも1つの辺に上記被実装部材を実装する複数の供給部に対して交互に供給する工程と、
上記被実装部材が実装され終わった基板を上記複数の実装部から交互に取り出す工程と
を具備したことを特徴とする被実装部材の実装方法。
A mounting method for mounting a mounted member on at least one of four sides of a rectangular substrate,
Supplying the substrate taken out from the supply unit alternately to the plurality of supply units that are arranged in parallel to the supply unit and mount the mounted member on at least one side of the substrate; and
And a step of alternately taking out the substrate on which the member to be mounted has been mounted from the plurality of mounting parts.
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