KR100719689B1 - End effector For Flat Panel Display Device Fabrication - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 기판을 운송함에 있어서, 기판의 처짐을 최소화 하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 관한 것이다. The present invention relates to an end effector for manufacturing a flat panel display, and more particularly, to an end effector for manufacturing a flat panel display to minimize deflection of a substrate in transporting a large substrate.

본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대, 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 상기 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 기판 지지부 및 상기 제 1 지지대의 바깥 측면에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며, 상기 기판 지지부가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함한다. An end effector for manufacturing a flat panel display device according to the present invention is connected to a robot arm and is formed in a vertical direction of the first support on the first support, which is horizontally or vertically moved according to the operation of the robot arm. A pair of substrate supports for supporting two parallel sides of the four sides of the substrate and the other two sides formed in the vertical direction of the first support on the outer side of the first support, the substrate support does not support At least one auxiliary bar supporting.

기판, 엔드 이펙터, 트레이, 지지홀더 Board, End Effector, Tray, Support Holder

Description

평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터{End effector For Flat Panel Display Device Fabrication }End effector for flat panel display device fabrication

도 1a 및 도 1b는 종래 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 일례를 나타낸 도이다. 1A and 1B illustrate an example of a substrate support structure of an end effector for manufacturing a conventional flat panel display.

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 1 실시예를 나타낸 도이다.  2A and 2B illustrate a first embodiment of a substrate supporting structure of an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 2 실시예를 나타낸 도이다. 3A and 3B illustrate a second embodiment of a substrate supporting structure of an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 3 실시예를 나타낸 도이다. 4A and 4B illustrate a third embodiment of a substrate supporting structure of an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 4 실시예를 나타낸 도이다. 5A and 5B illustrate a fourth embodiment of a substrate supporting structure of an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention.

*** 도면의 주요 부호에 대한 설명 ****** Description of the main symbols in the drawings ***

40,80,120,127: 제 1 지지대 50,90,121,128: 기판 지지부40, 80, 120, 127: first support 50, 90, 121, 128: substrate support

60,100,123,130: 보조바 122,129: 마스크 지지부60, 100, 123, 130: auxiliary bar 122, 129: mask support

본 발명은 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대형 기판을 운송함에 있어서, 기판의 중심부가 처지는 현상을 최소화 하기 위해 메인바 이외의 보조바를 구비하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 관한 것이다. The present invention relates to an end effector for manufacturing a flat panel display device, and more particularly, to an end effector for manufacturing a flat panel display device having an auxiliary bar other than the main bar in order to minimize the phenomenon that the center of the substrate is sag in transporting a large substrate. will be.

평판 표시장치는 경량 및 박형 등의 특성으로 인해, 최근 음극선과 (CRT)을 대체하는 표시장치로서 대두되고 있다. 이러한 평판 표시장치의 대표적이 예로서 액정 표시장치(Liquid Crystal Display Device; LCD)와 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display Device; OLED)가 있다. 이러한 평판 표시장치를 제조하는 공정에 있어서, 기판에 소정의 공정을 실시하기 위하여 로봇암과 연결된 엔드 이펙터를 사용하여 기판을 반송한다. 한편, 최근에는 재료의 절감 및 생산성 향상을 위해 기판을 종전보다 더 크게 형성하고 있다. 이에 따라, 기판의 반송시 그 처짐 현상도 이에 비례하여 크게 나타나게 된다. Flat panel displays have recently emerged as display devices replacing cathode ray and (CRT) due to their light weight and thinness. Representative examples of such flat panel displays include a liquid crystal display (LCD) and an organic light emitting display device (OLED). In the process of manufacturing such a flat panel display device, in order to perform a predetermined process on a board | substrate, a board | substrate is conveyed using the end effector connected with the robot arm. Meanwhile, in recent years, substrates have been made larger than before to reduce materials and improve productivity. Accordingly, the deflection phenomenon during the conveyance of the substrate also appears to be large in proportion.

도 1a 및 도 1b는 종래 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 일례를 나타낸 도이다. 1A and 1B illustrate an example of a substrate support structure of an end effector for manufacturing a conventional flat panel display.

도 1a 및 도 1b를 참조하여 설명하면, 종래 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙 터는 제 1 지지대(10) 및 제 2 지지대(20)를 포함한다. 1A and 1B, an end effector for manufacturing a conventional flat panel display device includes a first support 10 and a second support 20.

제 1 지지대(10)는 로봇암(5)과 연결되어 로봇암(5)의 동작에 따라 수평 이동 하거나, 상하로 수직 이동 한다. 이때, 제 1 지지대(10)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 소정 크기의 플레이트(판) 모양으로 형성될 수 있다. The first support 10 is connected to the robot arm 5 to move horizontally or vertically up and down in accordance with the operation of the robot arm (5). In this case, the first support 10 may be formed in the form of a pair of long rods or in the form of a plate (plate) of a predetermined size.

제 2 지지대(20)는 제 1 지지대(10) 상에 제 1 지지대(10)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(30)의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지한다. The second support 20 is formed in the vertical direction of the first support 10 on the first support 10, and supports two parallel sides of the four sides of the substrate 30.

상기와 같은 종래 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 4 세대급 이상의 대형 기판(30)을 지지하는데 있어서, 기판(30) 자체의 두께가 0.2~1mm 정도로 얇기 때문에 제 2 지지대(20)가 지지하는 평행한 어느 두변을 제외한 기판(30)의 나머지 부분은 처짐 현상이 나타날 수 있다. The end effector for manufacturing a conventional flat panel display device as described above supports the large sized substrate 30 of the fourth generation or more. Since the thickness of the substrate 30 itself is as thin as about 0.2 to 1 mm, the second support 20 supports the parallel. Except for two sides, the remaining portion of the substrate 30 may exhibit sag.

예를 들어 도 1a에 의하면, 0.63mm 두께의 기판(30)을 제 2 지지대(20)를 이용하여 지지하고 운반하는 경우, 제 2 지지대(20)는 기판(30)의 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 이때, 기판(30)은 지지되지 않은 부분은 70mm 정도의 처짐이 발생 하였다. For example, according to FIG. 1A, when supporting and transporting a substrate 30 having a thickness of 0.63 mm using the second support 20, the second support 20 may have two relatively short sides of the substrate 30. I support it. At this time, the portion of the substrate 30 that is not supported has a deflection of about 70 mm.

한편, 도 1b에 의하면, 0.63mm의 기판(30)을 제 2 지지대(20)를 이용하여 지지하고 운반하는 경우, 제 2 지지대(20)는 기판(30)의 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때, 기판(30)의 지지되지 않은 부분은 상기 상대적으로 짧은 두 변을 지지한 경우보다 더 작으므로 36mm 정도의 처짐이 발생하였다. Meanwhile, according to FIG. 1B, when supporting and transporting the 0.63 mm substrate 30 using the second support 20, the second support 20 supports two relatively long sides of the substrate 30. . At this time, since the unsupported portion of the substrate 30 is smaller than the case where the two relatively short sides are supported, deflection of about 36 mm occurred.

상기 종래의 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 경우 기판(30)의 휨 정도가 지나쳐 기판(30)의 회로 패턴등이 형성되는 성막면에 불량이 생기게 되고, 기판 (30)의 크기가 점차 커짐에 따라 이러한 휨 현상은 더욱 심해지게 된다. In the case of the conventional end effector for manufacturing a flat panel display device, the degree of warpage of the substrate 30 is excessive, and a defect occurs in a film formation surface on which a circuit pattern of the substrate 30 is formed, and as the size of the substrate 30 gradually increases, This warpage becomes more severe.

상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 기술적 수단으로 본 발명의 목적은 기판을 지지하는 제 2 지지대 외에 기판을 지지하는 보조 수단으로 보조바를 적어도 한쌍 구비하여 기판의 처짐 현상을 방지하는 평판 표시장치 용 엔드 이펙터를 제공하기 위한 것이다. An object of the present invention as a technical means for solving the above-described conventional problem is to provide a substrate for supporting a substrate in addition to the second support for supporting the substrate to at least one pair of auxiliary bars for preventing the deflection of the substrate end It is to provide an effector.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명의 일측면은 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대, 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 상기 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 기판 지지부 및 상기 제 1 지지대의 바깥 측면에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며, 상기 기판 지지부가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터를 제공하는 것이다. In order to solve the above technical problem, one side of the present invention is connected to the robot arm and is formed in a vertical direction of the first support on the first support, the first support being moved horizontally or vertically according to the operation of the robot arm. And a pair of substrate supports for supporting two parallel sides of the four sides of the substrate, and formed on the outer side of the first support in a vertical direction of the first support, and the remaining two not supported by the substrate support. An end effector for manufacturing a flat panel display device including at least one auxiliary bar supporting a side is provided.

본 발명의 다른 측면은 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대; 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 제 2 지지대; 및 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 2 지지대와 평행한 방향으로 상기 제 2 지지대의 바깥쪽에 형성되어 마스크의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하며, 상기 제 2 지지대 보다 더 높게 형성되는 한 쌍의 제 3 지지대; 및 상기 제 2 지지대 사이에 상기 제 2 지지대와 나란한 방향으로 형성되어 상기 제 2 지지대가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터를 제공하는 것이다. Another aspect of the present invention is connected to the robot arm first support for moving horizontally or vertically in accordance with the operation of the robot arm; A pair of second supports formed on the first support in a vertical direction of the first support and supporting two parallel sides of four sides of the substrate; And a pair formed outwardly of the second support on the first support in a direction parallel to the second support to support any two parallel sides of the four sides of the mask, and being formed higher than the second support. Third support; And at least one auxiliary bar formed between the second supports in a direction parallel to the second support to support the remaining two sides not supported by the second support.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 1 실시예를 나타낸 도이다. 2A and 2B illustrate a first embodiment of a substrate supporting structure of an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention.

도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 제 1 지지대(40), 연결부(45), 제 2 지지대(50) 및 보조바(60)를 포함한다. Referring to FIGS. 2A and 2B, an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention includes a first support 40, a connecting portion 45, a second support 50, and an auxiliary bar 60.

제 1 지지대(40)는 상부에 제 2 지지대(50) 및 기판(70)을 형성한다. 이때 , 제 1 지지대(40)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 기판(70)과 같은 모양으로 형성될 수 있다. 한편, 제 1 지지대(40)는 그 자체의 무게 감소와 기판(70) 및 제 2 지지대(50)의 무게를 견대낼 수 있는 조건을 만족하기 위해 경량 금속, 예를 들어 알루미늄(Al)을 사용하거나 또는 합성 수지 재료, 예를 들어 CFRP(Carbon Fiber Glass Reinforced Plasics)를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 지지대(40)가 한 쌍의 긴 막대 형태일 경우 메인 지지대(40)는 적어도 50mm 이상의 폭으 로 형성하도록 한다. The first support 40 forms a second support 50 and a substrate 70 thereon. In this case, the first support 40 may be formed in the form of a pair of long rods or may be formed in the same shape as the substrate 70. On the other hand, the first support 40 uses a light metal, for example, aluminum (Al) in order to meet the conditions that can reduce the weight of itself and the weight of the substrate 70 and the second support (50). Or can be formed using a synthetic resin material, such as Carbon Fiber Glass Reinforced Plasics (CFRP). In addition, when the first support 40 is in the form of a pair of long rods, the main support 40 is formed to have a width of at least 50mm or more.

연결부(45)는 제 2 지지대(50) 및 로봇암(미도시)을 연결하여, 제 2 지지대(50)가 로봇암(미도시)의 동작에 따라 수평 이동 하거나 상하로 수직 이동 하도록 한다. The connection part 45 connects the second support 50 and the robot arm (not shown) so that the second support 50 moves horizontally or vertically up and down according to the operation of the robot arm (not shown).

제 2 지지대(50)는 한 쌍의 막대가 소정의 간격을 갖는 형상으로 제 1 지지대(40) 상에 제 1 지지대(40)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(70)의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때, 제 2 지지대(50)는 기판(70) 상에 미리 형성된 회로 등이 이물질과의 접촉에 의한 불량이 발생하는 현상을 방지하기 위해 기판(70)과의 접촉 면적을 최소화 하도록 한다. The second support 50 is formed in a vertical direction of the first support 40 on the first support 40 in a shape in which a pair of rods have a predetermined interval, and relatively out of four sides of the substrate 70. Support two long sides. In this case, the second support 50 minimizes the contact area with the substrate 70 in order to prevent a phenomenon in which defects due to contact with foreign matters are formed in advance on the substrate 70.

보조바(60)는 한 쌍의 막대 형상인 제 2 지지대(50) 사이에 제 1 지지대(40)의 수직 방향으로 형성되어 기판(70)의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 한편, 바람직한 보조바(60)는 적어도 5mm의 폭을 가진다. The auxiliary bar 60 is formed in a vertical direction of the first support 40 between the pair of second supporters 50 having a rod shape to support two relatively short sides of four sides of the substrate 70. On the other hand, the preferred auxiliary bar 60 has a width of at least 5mm.

또한, 도 2b에 도시된 것과 같이 보조바(60)의 연장되는 끝부분에는 기판(70)을 지지하는 소정의 높이의 단(61)을 추가로 형성할 수 있다. 보조바(60)상에 단(61)을 형성함으로써 보조바(60)가 기판(70)에 직접적으로 닿는 면적이 줄어들게 되고, 따라서 기판(70)상의 회로 패턴등이 형성되는 성막면을 보호할 수 있다. In addition, as shown in FIG. 2B, an end portion 61 of the predetermined height for supporting the substrate 70 may be further formed at an extended end portion of the auxiliary bar 60. By forming the stage 61 on the auxiliary bar 60, the area in which the auxiliary bar 60 directly contacts the substrate 70 is reduced, thereby protecting the film formation surface on which the circuit pattern or the like on the substrate 70 is formed. Can be.

상기와 같이 보조바(60)를 형성하는 경우 기판(70)은 약 7mm 정도 처짐이 발생하게 되므로 종래의 경우보다 기판(70)의 처짐을 최소화 할 수 있다. When the auxiliary bar 60 is formed as described above, since the substrate 70 sags about 7 mm, sagging of the substrate 70 may be minimized as compared with the conventional case.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 2 실시예를 나타낸 도이다. 3A and 3B illustrate a second embodiment of a substrate supporting structure of an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention.

도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 제 1 지지대(80), 연결부(85), 제 2 지지대(90) 및 보조바(100)를 포함한다. Referring to FIGS. 3A and 3B, an end effector for manufacturing a flat panel display device according to the present invention includes a first support 80, a connection portion 85, a second support 90, and an auxiliary bar 100.

제 1 지지대(80)는 상부에 제 2 지지대(90) 및 기판(110)을 형성한다. 이때 , 제 1 지지대(80)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 기판(110)과 같은 모양으로 형성될 수 있다. 한편, 제 1 지지대(80)는 그 자체의 무게 감소와 기판(110) 및 제 2 지지대(90)의 무게를 견대낼 수 있는 조건을 만족하기 위해 경량 금속, 예를 들어 알루미늄(Al)을 사용하거나 또는 합성 수지 재료, 예를 들어 CFRP(Carbon Fiber Glass Reinforced Plastics)를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 지지대(80)가 한 쌍의 긴 막대 형태일 경우 제 1 지지대(80)는 적어도 50mm 이상의 폭으로 형성하도록 한다. The first support 80 forms a second support 90 and a substrate 110 thereon. In this case, the first support 80 may be formed in the form of a pair of long rods or may be formed in the same shape as the substrate 110. On the other hand, the first support 80 uses a light metal, for example, aluminum (Al) in order to meet the conditions that can reduce the weight of itself and the weight of the substrate 110 and the second support (90). Or can be formed using a synthetic resin material, such as Carbon Fiber Glass Reinforced Plastics (CFRP). In addition, when the first support 80 is in the form of a pair of long rods, the first support 80 is formed to have a width of at least 50 mm or more.

연결부(85)는 제 2 지지대(90)와 로봇암(미도시)을 연결하여 제 2 지지대(90)가 로봇암(미도시)의 동작에 따라 수평 이동 하거나 상하로 수직 이동 하도록 한다.The connecting portion 85 connects the second support 90 and the robot arm (not shown) so that the second support 90 moves horizontally or vertically up and down according to the operation of the robot arm (not shown).

제 2 지지대(90)는 제 1 지지대(80) 상에 제 1 지지대(80)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(110)의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 이때, 제 2 지지대(90)는 기판(110) 상에 미리 형성된 회로 등이 이물질과의 접촉에 의한 불량이 발생하는 현상을 방지하기 위해 기판(110)과의 접촉 면적을 최소화 하도록 한다. The second support 90 is formed in the vertical direction of the first support 80 on the first support 80, and supports two relatively short sides of the four sides of the substrate 110. In this case, the second support 90 minimizes the contact area with the substrate 110 in order to prevent a phenomenon in which a defect caused by contact with a foreign material is generated in advance on the substrate 110.

보조바(100)는 한 쌍의 막대 형상인 제 2 지지대(90) 사이에 제 1 지지대(80)와 수직방향으로 형성되며, 기판(110)의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때 보조바(100)는 좀더 효율적인 기판(110) 지지를 위해 적어도 두쌍의 막대 형상으로 형성된다. 한편, 보조바(100)의 수는 기판(110)의 크기 및 지지 구조에 따라 달라지며, 바람직하게는 적어도 5mm의 폭을 갖는 2~10개의 막대 형상으로 형성할 수 있다. 또한, 도 3b에 도시된 바와 같이 보조바(100)의 연장되는 끝부분에는 기판(110)을 지지하는 소정의 높이의 단(101)을 추가로 형성할 수 있다. 보조바(100)상에 단(101)을 형성함으로써 보조바(100)가 기판(110)에 직접적으로 닿는 면적이 줄어들게 되고, 따라서 기판(110)상의 회로 패턴등이 형성되는 성막면을 보호할 수 있다. The auxiliary bar 100 is formed vertically with the first support 80 between the pair of second support 90 having a rod shape, and supports two relatively long sides of the four sides of the substrate 110. In this case, the auxiliary bar 100 is formed in at least two pairs of bar shapes to support the substrate 110 more efficiently. On the other hand, the number of the auxiliary bar 100 depends on the size and support structure of the substrate 110, and preferably may be formed in a shape of 2 to 10 rods having a width of at least 5mm. In addition, as shown in FIG. 3B, an end portion 101 having a predetermined height for supporting the substrate 110 may be further formed at an extended end portion of the auxiliary bar 100. By forming the stage 101 on the auxiliary bar 100, the area in which the auxiliary bar 100 directly contacts the substrate 110 is reduced, thereby protecting the film formation surface on which the circuit pattern or the like is formed on the substrate 110. Can be.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 3 실시예를 나타낸 도이다. 4A and 4B illustrate a third embodiment of a substrate supporting structure of an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention.

도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 제 1 지지대(120), 제 2 지지대(121), 제 3 지지대(122), 보조바(123) 및 연결부(200)를 포함한다. 4A and 4B, an end effector for manufacturing a flat panel display device according to the present invention includes a first support 120, a second support 121, a third support 122, an auxiliary bar 123, and a connection part. 200.

제 1 지지대(120)는 상부에 제 2 지지대(121) 및 기판(124)을 형성한다. 이때 , 제 1 지지대(120)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 기판(124)과 같은 모양으로 형성될 수 있다. 한편, 제 1 지지대(120)는 그 자체의 무게 감소와 기판(124) 및 제 2 지지대(121)의 무게를 견대낼 수 있는 조건을 만족하기 위해 경량 금속, 예를 들어 알루미늄(Al)을 사용하거나 또는 합성 수지 재료, 예를 들어 CFRP(Carbon Fiber Glass Reinforced Plastics)를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 지지대(120)가 한 쌍의 긴 막대 형태일 경우 제 1 지지대(120)는 적어도 50mm 이상의 폭으로 형성하도록 한다. The first support 120 forms a second support 121 and a substrate 124 thereon. In this case, the first support 120 may be formed in the form of a pair of long rods or may be formed in the same shape as the substrate 124. On the other hand, the first support 120 uses a lightweight metal, for example, aluminum (Al) in order to meet the conditions that can reduce the weight of itself and the weight of the substrate 124 and the second support 121. Or can be formed using a synthetic resin material, such as Carbon Fiber Glass Reinforced Plastics (CFRP). In addition, when the first support 120 is in the form of a pair of long rods, the first support 120 is formed to have a width of at least 50 mm or more.

제 2 지지대(121)는 제 1 지지대(120) 상에 제 1 지지대(120)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(124)의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때, 제 2 지지대(121)는 기판(124) 상에 미리 형성된 회로 등이 이물질과의 접촉에 의한 불량이 발생하는 현상을 방지하기 위해 기판(124)과의 접촉 면적을 최소화 하도록 한다. The second support 121 is formed in the vertical direction of the first support 120 on the first support 120, and supports two relatively long sides of four sides of the substrate 124. In this case, the second support 121 may minimize the contact area with the substrate 124 in order to prevent a phenomenon in which a defect caused by contact with a foreign material is generated in advance on the substrate 124.

제 3 지지대(122)는 제 2 지지대(121)와 마찬가지로 제 1 지지대(120) 상에 제 1 지지대(120)와 수직 방향으로 형성된다. 또한 제 3 지지대(122)는 기판(124) 보다 110% 큰 크기의 마스크(125)를 지지하기 위해 제 1 지지대(120) 상에 제 2 지지대(121)와 평행한 방향으로 상기 제 2 지지대(121)의 바깥쪽에 형성되어 마스크(125)의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지한다. 또한, 제 3 지지대(122)는 마스크(125)의 이송 도중 마스크(125)의 위치가 틀어지는 것을 방지하기 위하여 고정핀(126)을 구비한다. Similar to the second support 121, the third support 122 is formed on the first support 120 in a direction perpendicular to the first support 120. In addition, the third support 122 is the second support (120) in a direction parallel to the second support 121 on the first support 120 to support the mask 125 having a size 110% larger than the substrate 124 ( It is formed on the outside of 121 to support any two parallel sides of the mask 125. In addition, the third support 122 includes a fixing pin 126 to prevent the position of the mask 125 from being shifted during the transfer of the mask 125.

일반적으로 마스크(125)는 기판(124) 보다 휘는 정도가 작고, 그 크기가 기판(124)보다 크다. 이 때문에 제 3 지지대(122)는 제 2 지지대(121) 보다 더 넓은 간격으로 형성되며, 하나의 엔드 이펙터(end effector)로 기판(124)과 마스크(125)를 이송하기 위해서는 간격이 상대적으로 더 넓은 제 3 지지대(122)가 제 2 지지대 (121)보다 소정의 높이만큼 더 높게 형성되어야 한다. In general, the mask 125 has a smaller degree of warpage than the substrate 124, and the size of the mask 125 is larger than that of the substrate 124. For this reason, the third support 122 is formed at a wider distance than the second support 121, and the distance between the third support 122 and the mask 125 is relatively higher to transfer the substrate 124 and the mask 125 to one end effector. The wide third support 122 should be formed higher by a predetermined height than the second support 121.

한편, 제 3 지지대(122)는 레이저 열전사 공정(LITI)등을 실시할 때는 필름을 증착한 트레이(미도시)를 지지하는 역할을 한다. On the other hand, the third support 122 serves to support a tray (not shown) on which a film is deposited when performing a laser thermal transfer process (LITI).

보조바(123)는 한 쌍의 막대 형상인 제 2 지지대(121) 사이에 제 1 지지대(120)와 수직방향으로 형성되며, 기판(124)의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 이때 보조바(123)는 좀더 효율적인 기판(124) 지지를 위해 적어도 두쌍의 막대 형상으로 형성된다. 한편, 보조바(123)의 수는 기판(124)의 크기 및 지지 구조에 따라 달라지며, 바람직하게는 적어도 5mm의 폭을 갖는 2~10개의 막대 형상으로 형성할 수 있다. 또한, 도 4b에 도시된 바와같이 보조바(124)의 연장되는 끝부분에는 기판(124)을 지지하는 소정의 높이의 단(12)을 추가로 형성할 수 있다. 보조바(123)상에 단(12)을 형성함으로써 보조바(123)가 기판(124)에 직접적으로 닿는 면적이 줄어들게 되고, 따라서 기판(124)상의 회로 패턴등이 형성되는 성막면을 보호할 수 있다. The auxiliary bar 123 is vertically formed with the first support 120 between the pair of second support members 121 having a rod shape, and supports two relatively short sides of four sides of the substrate 124. In this case, the auxiliary bar 123 is formed in at least two pairs of bar shapes to support the substrate 124 more efficiently. On the other hand, the number of the auxiliary bar 123 depends on the size and support structure of the substrate 124, preferably may be formed in a shape of 2 to 10 rods having a width of at least 5mm. In addition, as shown in FIG. 4B, an end 12 extending from the auxiliary bar 124 may further include a step 12 having a predetermined height supporting the substrate 124. By forming the stage 12 on the auxiliary bar 123, the area where the auxiliary bar 123 directly contacts the substrate 124 is reduced, thereby protecting the film formation surface on which the circuit pattern or the like on the substrate 124 is formed. Can be.

연결부(200)는 제 1 지지대(120) 및 로봇암(미도시)을 연결하여 제 1 지지대(120)가 로봇암(미도시)의 동작에 따라 수평 이동 하거나 상하로 수직 이동 하도록 한다.The connection part 200 connects the first support 120 and the robot arm (not shown) so that the first support 120 moves horizontally or vertically up and down according to the operation of the robot arm (not shown).

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터의 기판 지지 구조의 제 4 실시예를 나타낸 도이다. 5A and 5B illustrate a fourth embodiment of a substrate supporting structure of an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention.

도 5a 및 도 5b를 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터는 제 1 지지대(127), 연결부(135), 제 2 지지대(128), 제 3 지지대(129), 및 보조바(130)를 포함한다. Referring to FIGS. 5A and 5B, an end effector for manufacturing a flat panel display according to the present invention may include a first support 127, a connection part 135, a second support 128, a third support 129, and an auxiliary support. Bar 130.

제 1 지지대(127)는 상부에 제 2 지지대(128) 및 기판(131)을 형성한다. 이때 , 제 1 지지대(127)는 한 쌍의 긴 막대 형태로 형성되거나 기판(131)과 같은 모양으로 형성될 수 있다. 한편, 제 1 지지대(127)는 그 자체의 무게 감소와 기판(131) 및 제 2 지지대(127)의 무게를 견대낼 수 있는 조건을 만족하기 위해 경량 금속, 예를 들어 알루미늄(Al)을 사용하거나 또는 합성 수지 재료, 예를 들어 CFRP(Carbon Fiber Glass Reinforced Plasics)를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 지지대(127)가 한 쌍의 긴 막대 형태일 경우 제 1 지지대(127)는 적어도 50mm 이상의 폭으로 형성하도록 한다. The first support 127 forms a second support 128 and a substrate 131 thereon. In this case, the first support 127 may be formed in the form of a pair of long rods or may be formed in the same shape as the substrate 131. On the other hand, the first support 127 uses a light metal, for example, aluminum (Al) in order to meet the conditions that can reduce the weight of itself and the weight of the substrate 131 and the second support (127). Or can be formed using a synthetic resin material, such as Carbon Fiber Glass Reinforced Plasics (CFRP). In addition, when the first support 127 is in the form of a pair of long rods, the first support 127 is formed to have a width of at least 50 mm or more.

연결부(135)는 제 1 지지대(127)와 로봇암(미도시)을 연결하여 제 1 지지대(127)가 로봇암(미도시)의 동작에 따라 수평 이동 하거나 상하로 수직 이동 하도록 한다. The connection part 135 connects the first support 127 and the robot arm (not shown) so that the first support 127 moves horizontally or vertically up and down according to the operation of the robot arm (not shown).

제 2 지지대(128)는 제 1 지지대(127) 상에 제 1 지지대(127)의 수직 방향으로 형성되며, 기판(131)의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지한다. 이때, 제 2 지지대(128)는 기판(131) 상에 미리 형성된 회로 등이 이물질과의 접촉에 의한 불량이 발생하는 현상을 방지하기 위해 기판(131)과의 접촉 면적을 최소화 하도록 한다. The second support 128 is formed in the vertical direction of the first support 127 on the first support 127, and supports two relatively short sides of four sides of the substrate 131. In this case, the second support 128 minimizes the contact area with the substrate 131 in order to prevent a phenomenon in which defects due to contact with foreign matters are formed in advance on the substrate 131.

제 3 지지대(129)는 제 2 지지대(128)와 마찬가지로 제 1 지지대(127) 상에 제 1 지지대(127)와 수직 방향으로 형성된다. 또한 제 3 지지대(129)는 기판(131) 보다 약 110% 큰 크기의 마스크(132)를 지지하기 위해 제 1 지지대(127) 상에 제 2 지지대(128)와 평행한 방향으로 상기 제 2 지지대(128)의 바깥쪽에 형성되어 마스크(132)의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지한다. 또한, 제 3 지지대(129)는 마스크(132)의 이송 도중 마스크(132)의 위치가 틀어지는 것을 방지하기 위하여 고정핀(133)을 구비한다. Like the second support 128, the third support 129 is formed on the first support 127 in a direction perpendicular to the first support 127. In addition, the third support 129 on the first support 127 in a direction parallel to the second support 128 on the first support 127 to support the mask 132 of about 110% larger than the substrate 131 It is formed outside of 128 to support any two parallel sides of the mask 132. In addition, the third support 129 is provided with a fixing pin 133 to prevent the position of the mask 132 is shifted during the transfer of the mask 132.

일반적으로 마스크(132)는 기판(131) 보다 휘는 정도가 작고 그 크기가 기판(131)보다 크다. 이 때문에 제 3 지지대(129)는 제 2 지지대(128) 보다 더 넓은 간격으로 형성되며, 하나의 엔드 이펙터(end effector)로 기판(131)과 마스크(132)를 이송 하기위해서는 간격이 상대적으로 더 넓은 제 3 지지대(129)가 제 2 지지대(128)보다 소정의 높이만큼 더 높게 형성되어야 한다. In general, the mask 132 has a smaller bending degree than the substrate 131 and is larger than the substrate 131. For this reason, the third support 129 is formed at a wider interval than the second support 128, and the distance is relatively larger to transfer the substrate 131 and the mask 132 to one end effector. The wide third support 129 should be formed higher by a predetermined height than the second support 128.

한편, 제 3 지지대(129)는 레이저 열전사 공정(LITI)등을 실시할 때는 필름을 증착한 트레이(미도시)를 지지하는 역할을 한다. On the other hand, the third support 129 serves to support a tray (not shown) on which a film is deposited when performing a laser thermal transfer process (LITI).

보조바(130)는 한 쌍의 막대 형상인 제 2 지지대(128) 사이에 제 1 지지대(127)와 수직방향으로 형성되며, 기판(131)의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지한다. 이때 보조바(130)는 좀더 효율적인 기판(131) 지지를 위해 적어도 두쌍의 막대 형상으로 형성된다. 보조바(130)의 수는 기판(131)의 크기 및 지지 구조에 따라 달라지며, 바람직하게는 적어도 5mm의 폭을 갖는 2~10개의 막대 형상으로 형성할 수 있다. 또한, 도 5b에 도시된 바와 같이 보조바(130)의 연장되는 끝부분에는 기판(131)을 지지하는 소정의 높이의 단(13)을 추가로 형성할 수 있다. 보조바(130)상에 단(13)을 형성함으로써 보조바(130)가 기판(131)에 직접적으로 닿는 면 적이 줄어들게 되고, 따라서 기판(131)상의 회로 패턴등이 형성되는 성막면을 보호할 수 있다. The auxiliary bar 130 is formed vertically with the first support 127 between the pair of rod-shaped second supports 128, and supports two relatively long sides of four sides of the substrate 131. In this case, the auxiliary bar 130 is formed in at least two pairs of bar shapes to support the substrate 131 more efficiently. The number of the auxiliary bars 130 depends on the size of the substrate 131 and the supporting structure, and may be preferably formed in 2 to 10 bar shapes having a width of at least 5 mm. In addition, as shown in FIG. 5B, an end 13 extending from the auxiliary bar 130 may further include a step 13 having a predetermined height supporting the substrate 131. By forming the end 13 on the auxiliary bar 130, the area where the auxiliary bar 130 directly contacts the substrate 131 is reduced, thereby protecting the film formation surface on which the circuit pattern or the like on the substrate 131 is formed. Can be.

본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 변형 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. Although the technical idea of the present invention has been described in detail according to the above preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, it will be understood by those skilled in the art that various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

본 발명에 따른 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터에 의하면, 기판 또는 마스크의 성막면이 오염되지 않도록 소정의 거리를 유지하면서 기판 또는 마스크의 양단을 지지하는 구조를 형성함으로써, 기판 또는 마스크의 처짐 현상을 최소화 하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터를 제공할 수 있다. According to the end effector for manufacturing a flat panel display device according to the present invention, by forming a structure that supports both ends of the substrate or mask while maintaining a predetermined distance so that the film formation surface of the substrate or mask is not contaminated, the phenomenon of the substrate or mask is minimized An end effector for manufacturing a flat panel display can be provided.

Claims (13)

로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대;A first support connected to the robot arm to move horizontally or vertically according to the operation of the robot arm; 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 상기 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 제 2 지지대; 및 A pair of second supports formed on the first support in a vertical direction of the first support and supporting any two parallel sides of the four sides of the substrate; And 상기 제 2 지지대 사이에 상기 제 2 지지대와 나란한 방향으로 형성되어 있으며, 상기 제 2 지지대가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터. And at least one auxiliary bar formed between the second supports in a direction parallel to the second support and supporting the remaining two sides not supported by the second support. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 보조바의 폭은 적어도 5mm인 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.An end effector for manufacturing a flat panel display having a width of the auxiliary bar is at least 5 mm. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 1 지지대는 상기 기판과 같은 형상이거나 한 쌍의 평행한 긴 막대형상일 수 있는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터. And the first support may be shaped like the substrate or a pair of parallel long rods. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 긴 막대 형상의 상기 제 1 지지대의 폭은 적어도 50mm인 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.An end effector for manufacturing a flat panel display device, wherein the long rod-shaped first support has a width of at least 50 mm. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 1 지지대는 경량 금속 및 CFRP 의 합성 수지 재료로 구성된 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.The first support is an end effector for manufacturing a flat panel display device composed of a lightweight metal and CFRP synthetic resin material. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 2 지지대는 상기 기판의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.And the second supporter supports two relatively long sides of four sides of the substrate. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 2 지지대는 상기 기판의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.And the second support supports two relatively short sides of four sides of the substrate. 로봇암과 연결되어 상기 로봇암의 동작에 따라 수평 또는 수직 이동 하는 제 1 지지대;A first support connected to the robot arm to move horizontally or vertically according to the operation of the robot arm; 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 1 지지대의 수직 방향으로 형성되어 있으며 기판의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하는 한 쌍의 제 2 지지대; 및 A pair of second supports formed on the first support in a vertical direction of the first support and supporting two parallel sides of four sides of the substrate; And 상기 제 1 지지대 상에 상기 제 2 지지대와 평행한 방향으로 상기 제 2 지지대의 바깥쪽에 형성되어 마스크의 네 변 중 평행한 어느 두 변을 지지하며, 상기 제 2 지지대 보다 더 높게 형성되는 한 쌍의 제 3 지지대; 및A pair of pairs formed on an outer side of the second support in a direction parallel to the second support on the first support to support any two parallel sides of the mask, and higher than the second support; Third support; And 상기 제 2 지지대 사이에 상기 제 2 지지대와 나란한 방향으로 형성되어 상기 제 2 지지대가 지지하지 않는 나머지 두 변을 지지하는 적어도 하나의 보조바를 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터. And at least one auxiliary bar formed between the second supports in a direction parallel to the second support to support the remaining two sides not supported by the second support. 삭제delete 제 8항에 있어서, The method of claim 8, 상기 제 3 지지대는 상기 마스크를 고정하기 위한 고정핀을 포함하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.The third support is an end effector for manufacturing a flat panel display including a fixing pin for fixing the mask. 제 8항에 있어서, The method of claim 8, 상기 제 2 지지대는 상기 기판의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지하고, 상기 제 3 지지대는 상기 마스크의 네 변 중 상대적으로 긴 두 변을 지지하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터.And the second supporter supports two relatively long sides of four sides of the substrate, and the third supporter supports two relatively long sides of four sides of the mask. 제 8항에 있어서, The method of claim 8, 상기 제 2 지지대는 상기 기판의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지하고, 상기 제 3 지지대는 상기 마스크의 네 변 중 상대적으로 짧은 두 변을 지지하는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터. And the second supporter supports two relatively shorter sides of the four sides of the substrate, and the third supporter supports two relatively shorter sides of the four sides of the mask. 제 8항에 있어서, The method of claim 8, 상기 제 3 지지대는 필름 트레이를 운반하고 지지할 수 있는 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터. The third support is an end effector for manufacturing a flat panel display capable of carrying and supporting the film tray.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20150104440A (en) * 2014-03-05 2015-09-15 주식회사 에스에프에이 Substrate transfer robot

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101374668B1 (en) * 2012-08-03 2014-03-18 주식회사 에스에프에이 Robot for transporting weight and substrate
KR101666805B1 (en) * 2015-03-12 2016-10-18 주식회사 에스에프에이 Apparatus for rotating substrate
KR101678375B1 (en) * 2015-10-01 2016-11-23 주식회사 선익시스템 Substrate Transfer Device and Substrate Aligning Apparatus Having the Same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980087322A (en) * 1997-05-23 1998-12-05 이시다 아키라 Board Transfer Device
KR19990086715A (en) * 1998-05-29 1999-12-15 장성환 Jig Drawer
KR20030055778A (en) * 2001-12-27 2003-07-04 한동희 Bonding equipment for chips of flat panel display and bonding method using the same

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980087322A (en) * 1997-05-23 1998-12-05 이시다 아키라 Board Transfer Device
KR19990086715A (en) * 1998-05-29 1999-12-15 장성환 Jig Drawer
KR20030055778A (en) * 2001-12-27 2003-07-04 한동희 Bonding equipment for chips of flat panel display and bonding method using the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150104440A (en) * 2014-03-05 2015-09-15 주식회사 에스에프에이 Substrate transfer robot
KR101595003B1 (en) * 2014-03-05 2016-02-17 주식회사 에스에프에이 Substrate transfer robot

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