KR20140094438A - 편광광 조사 장치 - Google Patents

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Abstract

와이어 그리드 편광 소자를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서, 장치에 부착되어 있는 와이어 그리드 편광 소자의 그리드의 파손과 함께, 실록산 화합물에 의한 백탁을 막을 수 있도록 장치를 구성하는 것이다.
와이어 그리드 편광 소자의 광원과는 반대측(피조사면측)에 필터를 설치한다. 또한, 와이어 그리드 편광 소자와 필터 사이에 에어를 흐르게 한다. 필터로서는 편광시키고 싶은 파장의 광이 투과하는 것을 이용한다.

Description

편광광 조사 장치{POLARIZED LIGHT ILLUMINATING APPARATUS}
본 발명은, 액정 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등에 소정의 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는 편광광 조사 장치에 관한 것이며, 특히 와이어 그리드 편광 소자를 사용하는 편광광 조사 장치에 관한 것이다.
최근, 액정 패널을 비롯한 액정 표시 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등의 배향 처리에 관해서, 자외선 영역의 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는, 광배향으로 불리는 기술이 채용되게 되었다. 이하, 광에 의해 배향을 행하는 배향막이나, 배향층을 설치한 필름 등, 광에 의해 배향 특성이 생기는 막이나 층을 총칭하여 광배향막이라고 부른다.
광배향막은, 액정 패널의 대형화와 함께, 예를 들면 한 변이 2000mm 이상인 사각형과 같이 대면적화되고 있다.
상기와 같은 대면적의 광배향막에 대해 광배향을 행하기 위해, 선 형상의 광원인 봉형상의 램프와 와이어 그리드형상의 그리드를 가지는 편광 소자(이하 와이어 그리드 편광 소자)를 조합한 편광광 조사 장치가, 예를 들면 특허 문헌 1 등에서 제안되어 있다.
봉형상 램프는, 발광 길이가 비교적 긴 것을 만들 수 있다. 그 때문에, 광배향막의 폭에 따른 발광 길이를 구비한 봉형상 램프를 사용하여, 상기 램프로부터의 광을 편광하여 조사하면서, 배향막 또는 광원을 램프의 길이 방향에 직교하는 방향으로 이동시키면, 넓은 면적의 배향막을 비교적 단시간에 광배향 처리를 행할 수 있다.
도 6에, 선 형상의 광원인 봉형상 램프와 와이어 그리드 편광 소자를 조합한 종래의 편광광 조사 장치의 구성예를 나타낸다.
이 도면에 있어서, 광배향막인 워크 W는, 예를 들면 시야각 보상 필름과 같은 띠형상의 긴 워크이며, 송출 롤 R1로부터 송출되어, 도면 중 화살표 방향으로 반송되면서 편광광 조사에 의해 광배향 처리되어, 권취 롤 R2에 의해 감긴다.
편광광 조사 장치의 광조사부(10)는, 광배향 처리에 필요한 파장의 광(자외선)을 방사하는 봉형상 램프(11), 예를 들면 고압 수은 램프나 수은에 다른 금속을 더한 메탈할라이드 램프와, 이 봉형상 램프(11)로부터의 자외선을 워크 W를 향해서 반사하는 홈통형상의 반사경(12)을 구비한다. 상기와 같이, 봉형상 램프(11)의 길이는, 발광부가, 워크 W의 반송 방향에 직교하는 방향의 폭에 대응하는 길이를 구비한 것을 사용한다.
광조사부(10)는, 램프(11)의 길이 방향이 워크 W의 폭방향(반송 방향에 대해 직교 방향)이 되도록 배치한다.
광조사부(10)의 광출사측에는, 편광 소자인 와이어 그리드 편광 소자(81)가 설치된다. 광조사부(10)로부터의 광은 와이어 그리드 편광 소자(81)에 의해 편광되어, 광조사부(10) 아래를 반송되는 워크 W에 조사되어, 광배향 처리가 행해진다.
와이어 그리드 편광 소자는, 편광하고 싶은 파장의 광을 투과하는 투명 기판(예를 들면 유리 기판) 상에 그리드(라인·앤드·스페이스)를 형성한 것이며, 예를 들면 특허 문헌 2나 특허 문헌 3에 그 상세가 나타나 있다.
광로 중에 와이어 그리드 편광 소자를 삽입하면, 입사하는 광 중, 그리드의 길이 방향에 평행한 편광 성분은 대부분이 반사 혹은 흡수되고, 그리드의 길이 방향에 직교하는 편광 성분은 통과한다. 따라서, 와이어 그리드 편광 소자를 통과한 광은, 편광 소자의 그리드의 길이 방향에 직교하는 방향의 편광축을 가지는 편광광이 된다.
광배향 처리에는 자외선 영역의 편광광이 사용된다. 와이어 그리드 편광 소자에 입사하는 광을 편광광으로 하기 위해서는, 투명 기판에 형성하는 그리드의 폭이나 간격은, 편광하는 광의 파장보다 짧게 할(예를 들면 100nm) 필요가 있다.
그 때문에, 그리드의 형성에는 미세한 가공 기술이 필요하고, 반도체 집적 회로 제조에 사용되는 리소그래피 기술이나 에칭 기술이 이용되지만, 거기서 사용되는 리소그래피 장치나 에칭 장치를 가공할 수 있는 워크의 크기에는 한계가 있다. 그 때문에, 와이어 그리드 편광 소자는 대형인 것을 만들 수 없고, 현 상황에서 제작할 수 있는 크기는 직경 300mm 정도까지이다.
그래서, 예를 들면 특허 문헌 4에는, 발광 길이가 긴 봉형상의 광원, 예를 들면 길이 1m 내지 3m와 같은 봉형상의 고압 수은 램프나 메탈할라이드 램프에 따른, 큰(긴) 편광 소자가 필요한 경우는, 직사각형의 와이어 그리드 편광 소자를 복수, 그리드의 방향을 맞추어, 프레임 중에 램프의 길이 방향을 따라 늘어놓고, 하나의 편광 소자 유닛으로서 사용하는 것이 제안되어 있다.
일본국 특허공개 2011-145381호 공보 일본국 특허공개 2002-328234호 공보 일본국 특허공표 2003-508813호 공보 일본국 특허 제4506412호 공보
타케다, 노나카, 후지모토 「클린 룸 환경 문제 실록산 화합물」클린 테크놀로지 1998년 4월호 34페이지
상기한 바와 같이, 와이어 그리드 편광 소자의 그리드는 미세한 가공에 의해 제조되어, 그리드의 폭이나 간격은 예를 들면 100nm이기 때문에, 잘못해서 손으로 만지거나, 그 위에 물건을 떨어뜨리거나 하면, 그리드 구조가 망가져 버려, 편광 소자로서의 역할을 하지 않게 된다. 그러나, 미세하기 때문에, 투명 기판(유리)의 표면에 그리드가 형성되어 있는 것이, 육안으로는 알기 어렵다.
그 때문에, 편광광 조사 장치의 보수 점검시 등에, 장치에 부착되어 있는 편광 소자의 그리드 형성면에 잘못해서 닿아 버리거나, 편광 소자 상에 무엇인가 물건을 떨어뜨려 버리거나 하여, 미세한 그리드를 망가뜨려 버리는 것을 생각할 수 있다.
또, 이러한 편광광 조사 장치가 배치되는, 반도체나 액정 표시 소자의 공장의 클린 룸의 분위기에는, 실록산 화합물로 불리는 물질이 포함되어 있어, 제조 상의 트러블이나 수율의 악화의 원인이 되는 것이 알려져 있다(예를 들면 비특허 문헌 1 참조).
실록산 화합물은 예를 들면 레지스트의 현상액 등에 많이 포함되어 있다. 실록산 화합물은, 자외선이 조사되면 광화학 반응에 의해 흰 분말을 발생시켜, 자외선 조사 장치 내부의 광학 소자의 표면을 백탁시킨다.
와이어 그리드 편광 소자는, 유리 기판 등의 표면에 미세한 그리드를 형성한 것이며, 이 면에 실록산 화합물이 부착되면 간단히 클리닝할 수 없다.
본 발명은 상기한 문제점을 고려해서 이루어진 것이며, 본 발명의 목적은, 선 형상의 광원과, 이 광원으로부터의 광을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서, 장치의 메인터넌스시 등에, 장치에 부착되어 있는 와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면에 손가락을 대거나, 물건을 떨어뜨리거나 하여 그리드를 망가뜨리는 일이 없도록 함과 함께, 와이어 그리드 편광 소자의 표면에 실록산 화합물에 의한 백탁이 생기지 않도록 하는 장치를 구성하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해, 와이어 그리드 편광 소자를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서, 와이어 그리드 편광 소자에 대해 광원과는 반대측(피조사물측)에, 필터를 설치한다. 필터는 편광시키고 싶은 파장의 광이 투과하는 것을 이용한다.
또한, 와이어 그리드 편광 소자와 필터 사이에, 와이어 그리드 편광 소자의 백탁을 방지함과 함께 와이어 그리드 편광 소자나 필터를 냉각하는 에어를 흐르게 한다.
와이어 그리드 편광 소자의 광원과는 반대측(피조사물측)에 필터를 설치했으므로, 편광광 조사 장치의 밖으로부터는, 와이어 그리드 편광 소자에 손가락 등이 닿기 어려워져, 그리드의 파손을 막을 수 있다.
또, 와이어 그리드 편광 소자에 대해 피조사물(워크)이 배치되는 측에 필터를 설치하므로, 와이어 그리드 편광 소자의 표면에 실록산 화합물이 부착되기 어려워져, 와이어 그리드 편광 소자에 백탁이 생기기 어려워진다. 또한, 와이어 그리드 편광 소자와 필터 사이에 에어를 흐르게 함으로써, 와이어 그리드 편광 소자의 표면에 실록산 화합물이 보다 부착되기 어려워져, 와이어 그리드 편광 소자에 백탁이 생기기 어려워진다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타내는 도이다.
도 2는 편광 소자 유닛의 구조를 나타내는 도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예의 변형예를 나타내는 도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타내는 도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예의 변형예를 나타내는 도이다.
도 6은 종래의 편광광 조사 장치의 구성예를 나타내는 도이다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타내는 도이다. 이 도면은, 램프 하우스의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이다. 또한, 이 도면에 있어서는, 램프의 점등 장치 등의 구성에 대해서는 생략해 나타내고 있다.
램프 하우스(1)는, 광조사부(10)와, 그 상부에 수냉식의 냉각기(라지에이터)(20)와 송풍기(블로어)(30)를 구비한다. 광조사부(10)는, 램프(11)와 램프(11)로부터의 광을 반사하는 반사 미러(12)를 가지고 있다. 도면 중 실선의 화살표로 나타내는 바와 같이, 램프(11)로부터의 광은, 직접 또는 반사 미러(12)에 의해 반사되고, 와이어 그리드 편광 소자(81)와, 편광 소자(81)에 대해 간격을 두고 배치한 필터판(91)을 통하여 워크 W에 조사된다.
블로어(30)는, 램프(11) 점등 시에 램프(11)나 반사 미러(12), 또한 와이어 그리드 편광 소자(81)나 필터판(91) 등을 냉각하는 냉각풍을 발생시키고, 라지에이터(20)는, 램프(11)나 반사 미러(12) 등을 냉각한 냉각풍의 온도를 낮추는 기능을 한다.
광조사부(10)는 격벽(40)에 의해 둘러싸여 있으며, 그 외측을 램프 하우스(1)의 외벽(60)이 덮고 있다. 격벽(40)과 외벽(60) 사이에는 간극이 형성되어 있다. 이 간극은, 냉각풍이 통과하는 통풍로(50)가 된다.
냉각풍은, 블로어(30)로부터 송출되어 통풍로(50)를 통과하여, 반사 미러(12)의 광출사측으로부터, 램프(11)나 반사 미러(12)를 냉각한다. 또, 냉각풍의 일부는 와이어 그리드 편광 소자(81)와 필터판(91) 사이의 통풍로(100)를 통과하여, 와이어 그리드 편광 소자(81)와 필터판(91)을 냉각한다. 램프(11)나 반사 미러(12), 와이어 그리드 편광 소자(81)나 필터판(91) 등을 냉각하고, 높은 온도가 된 냉각풍은, 광조사부(10)의 내측으로 인입되어, 라지에이터(20)를 통과해 냉각되고, 다시 블로어(30)에 의해 송출된다. 여기서, 블로어(30)는 편광판(81)과 필터판(91) 사이에 에어를 흐르게 하는 에어 공급 기구의 역할을 한다.
또, 램프 하우스(1)의 외벽(60)에는, 광조사부(10)로부터 워크 W를 향해 조사되는 광이 통과하는 광출사구(70)가 형성되어 있다.
이 광출사구(70)에는, 이곳을 통과하는 광을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자(81)를 가지는 편광 소자 유닛(80)과 필터판(91)을 가지는 필터 틀(92)이 부착된다.
편광 소자 유닛(80)의 와이어 그리드 편광 소자(81)는, 광배향 처리를 행하기 위한 파장의 광을 투과하는 투명 기판(유리 기판)의 한쪽의 표면에, 와이어 그리드(이하 그리드라고도 한다) G를 형성한 것이다. 여기서 그리드 G의 형성면을 램프(11)와는 반대측(워크측)을 향해 배치한다.
도 1에 있어서 와이어 그리드 편광 소자(81)의 그리드 G는, 도면 좌우 방향으로 연장되어 있다.
도 2는, 편광 소자 유닛(80)의 구조를 나타내는 도이다. 도 2(a)는 편광 소자 유닛(80)의 평면도, 도 2(b)는 편광 소자 유닛(80)의 측단면도, 도 2(c)는 편광 소자 유닛(80)의 사시도이다.
편광 소자 유닛(80)은, 복수의 와이어 그리드 편광 소자(이하 편광판이라고도 한다)(81)를, 봉형상 램프(12)의 길이 방향(도 2의 좌우 방향)을 따라 프레임(유지 틀)(82) 내에 늘어놓아 유지한 것이다. 유지 틀(82)은 상하로부터 각 편광판(81)을 사이에 두도록 하여 유지한다.
서로 이웃하는 편광판과 편광판 사이에는, 1mm 내지 2mm 정도의 간극이 설치된다. 편광판끼리의 그리드 G의 방향이 평행이 되도록 맞추기 위해, 이 간극을 사용하여 편광판(81)을 회전 이동시켜 위치 조정한다. 그리고, 이 간극은, 이곳으로부터 무편광광이 누출되지 않도록, 편광 소자 유닛(80)에 있어서 차광판(83)에 의해 덮여 있다.
상기한 바와 같이, 각 와이어 그리드 편광 소자(편광판)(81)는, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 그리드 G의 형성면이 램프(광원)측(램프 하우스의 내측)이 되도록 배치된다.
그리고, 편광판(81)의 광원(램프(11)과 반사 미러(12))은 반대측(편광 소자 유닛(80)의 워크 W측)의, 외벽(60)에 형성된 광출사구(70)의 위치에 필터 유닛(90)을 배치한다. 필터 유닛(90)은, 편광판(81)과 마찬가지로, 복수의 필터판(91)을 유지 틀(92) 내에, 램프(12)의 길이 방향을 따라 늘어놓아 배치한 것이다. 필터판(91)으로서는, 편광하는 자외선의 파장을 투과하는 석영판을 사용할 수 있다. 또, 광배향 처리에는 필요가 없는 가시광선이나 적외선을 차단하는 간섭을 형성한 간섭 필터를 사용해도 된다.
이와 같이 구성함으로써, 편광판(81)은 램프 하우스(1)의 외벽(60)의 내부에 설치되게 되며, 또 외벽(60)에 형성된 개구인 광출사구(70)에는 필터 유닛(90)이 부착되어 있다. 그 때문에, 손가락 등이 직접 편광판(81)에 닿지 않아 그리드 G의 파손을 막을 수 있다.
편광판(81)과 필터판(91)을 접촉시켜 겹치면, 편광판(81)의 그리드 G가 손상될 가능성이 있으므로, 통풍로 형성 부재(93)에 의해, 양자를 5mm 내지 100mm 정도의 간격을 두고 배치한다. 이 간격은, 편광판(81)과 필터판(91)을 냉각하는 냉각풍이 흐르는 통풍로(100)를 형성한다.
또한, 본 실시예에 있어서는, 통풍로 형성 부재(93)는, 필터판(91)의 유지 틀(92) 상에 세우고, 그 위에 편광 소자 유닛(80)의 유지 틀(82)을 부착하고 있다. 그러나, 통풍로 형성 부재(93)는, 외벽(60) 상에 세우고, 그 위에 편광 소자 유닛(80)의 유지 틀(82)을 설치해도 된다.
또, 통풍로 형성 부재(93)를 광조사부(10)에 부착하고, 편광 소자 유닛(80)의 유지 틀(82)을 매달도록 하여 설치해도 된다. 요점은 광조사부(10)와 편광 소자 유닛(80) 사이, 또 편광 소자 유닛(80)과 필터판(91)의 유지 틀(92) 사이에 냉각풍이 흐르는 통풍로가 형성되면 된다.
편광판(81)과 필터판(91)의 간격은, 좁으면 그 사이를 냉각풍이 흐르기 어려워져, 편광판(81)이나 필터판(91)이 램프(11)로부터의 열로 가열될 가능성이 있어, 충분한 냉각풍이 흐르는 간격을 설치한다. 그러나, 그리드 G의 보호를 위해서는, 편광판(81)의 그리드 G형성면에 손가락이 닿지 않는 간격으로 하는 것이 바람직하다.
손가락이 들어가지 않는 간격의 일례로서, IP(International Protection) 규격을 들 수 있다. 이것은, IEC60529(1989년)에서 제정되어, JIS에서도 C0920(1993년)에 정해져 있는 것으로, 인체에 대한 보호 내용으로서, 손가락의 경우, 기기에 대한 보호 내용은 직경 12.5mm 이하로 하는 것이 나타나 있다. 따라서, 편광판(81)과 필터판(91)의 간격은 5mm 내지 12.5mm로 하는 것이 바람직하다.
통풍로 형성 부재(93)는, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90)의 길이 방향을 따라 양측(도 1의 좌우 방향)으로 복수, 냉각풍이 통과할 수 있는 간격을 두고 설치한다.
또한, 통풍로 형성 부재(93)는 봉형상인 것이어도 되고 직사각형의 블록형상의 것이어도 된다. 또, 냉각풍이 통과할 수 있는 관통 구멍(직경 5mm 이상이 바람직하다)을 형성한 판형상 혹은 벽형상인 것이어도 되고, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90)의 간격을 유지할 수 있는 것이면 망형상의 것이어도 된다.
또한, 관통 구멍을 형성한 판형상의 부재나 망형상의 부재로 한 경우, 통풍구가 되는 구멍이나 망의 직경의 크기를, 상기한 손가락이 들어가지 않는 크기인 직경 12.5mm 이하(즉 통풍을 확보할 수 있는 직경 5mm~12.5mm의 구멍)으로 해 두면, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90) 사이의 간격을, 충분한 냉각풍이 흐르도록 넓혀도, 편광판(81)의 그리드 G형성면에 손가락이 닿지 않아, 그리드 G를 보호할 수 있다.
또, 와이어 그리드 편광 소자(81)에 대해 워크 W(피조사물)가 배치되는 측에 필터판(91)을 설치하고 있으므로, 와이어 그리드 편광 소자(81)의 표면에 실록산 화합물이 직접 닿아 부착되는 일이 적어진다. 이것에 의해 와이어 그리드 편광 소자(81)에 백탁이 생기기 어려워진다. 또한, 와이어 그리드 편광 소자(81)와 필터판(91) 사이에 냉각풍(에어)이 흐르므로, 이것에 의해 와이어 그리드 편광 소자(81)의 표면에 실록산 화합물이 보다 부착되기 어려워진다. 그 때문에 와이어 그리드 편광 소자(91)에 의해 백탁이 생기기 어려워진다.
또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 광원측에 가까운 와이어 그리드 편광 소자(81)의 폭(여기서, 폭이란, 선 형상의 광원의 길이 방향에 대해 수직이며, 광조사면에 대해 평행한 방향을 말한다)을, 광원측으로부터 먼 필터판(91)의 폭보다 넓게 해 두면, 광원으로부터 필터판(91)에 입사하는 광이, 편광판(81)의 유지 틀(82)에 부딪치지 않기 때문에, 광원으로부터 방사되는 광을 유효하게 이용할 수 있다.
도 3은, 본 발명의 제1 실시예의 변형예를 나타내는 도이다. 도 1에 나타낸 편광광 조사 장치와의 구성의 차이는, 편광판(81)의 그리드 G형성면이 필터판(91)측이 아닌, 광원측으로 향해져 있는 점이다. 그 이외의 구성은 기본적으로 도 1에 나타낸 것과 동일하다.
본 실시예에 있어서는, 편광판(81)의 그리드 G형성면은 광원측을 향하고 있지만, 편광판(81) 자신은, 램프 하우스(1)의 외벽(60)의 내부에 설치되어 있으며,또 외벽(60)에 형성된 광출사구(70)에는 필터 유닛(90)이 부착되어 있다. 그 때문에, 손가락 등이 직접 편광판(81)에 닿지 않아 그리드 G의 파손을 막을 수 있다.
또, 제1 실시예와 마찬가지로, 필터판(91)의 존재와, 필터판(91)과 편광판(81) 사이에 흐르는 냉각풍(에어)에 의해, 편광판(81)으로의 실록산 화합물의 부착을 막아, 편광판(81)의 백탁을 막을 수 있다.
도 4는, 본 발명의 제2 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타내는 도이다. 이 도면은 도 1과 마찬가지로 램프 하우스의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이다.
도 1의 제1 실시예의 구성과의 차이는, 편광 소자 유닛(80)을 램프 하우스(1)의 광출사구(70)의 위치에 배치하고, 필터 유닛(90)을 램프 하우스(1)의 외벽(60)의 외측에 배치한 것이다.
필터 유닛(90)의 필터 틀(92)은, 외벽(60)에 세운 통풍로 형성 부재(93)에 의해 지지되고, 편광판(81)과 필터판(91) 사이에는 통풍로(100)가 형성된다.
그리고, 램프 하우스(1)의 밖에는, 상기 통풍로에 에어를 공급하는 송풍 노즐(110)이 설치된다. 송풍 노즐(110)로부터의 에어는 편광판(81)과 필터판(91)의 사이의 통풍로(100)를 통과하여, 편광판(81)에 실록산 화합물이 부착되는 것을 막아, 이것에 의해 편광판(81)의 백탁을 막을 수 있다.
또, 편광 소자 유닛(80)의 워크측(광출사측)에 필터 유닛(90)이 설치되어 있으므로, 손가락 등이 직접 편광판(81)에 닿지 않아 그리드 G의 파손을 막을 수 있다.
도 5는, 본 발명의 제2 실시예의 변형예를 나타내는 도이다. 도 4에 나타낸 편광광 조사 장치와의 구성의 차이는, 편광판(81)의 그리드 G 형성면이 필터판(91)측이 아닌, 광원측으로 향해져 있는 점이다. 그 이외의 구성은 기본적으로 도 4에 나타낸 것과 동일하다.
이와 같이 배치해도, 편광 소자 유닛(80)의 워크측(광출사측)에 필터 유닛(90)이 설치되어 있으므로, 손가락 등이 직접 편광판(81)에 닿지 않아 그리드 G의 파손을 막을 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는, 광원으로서 봉형상의 램프를 예로 설명했지만, 자외선을 출사하는 LED를 복수 선 형상으로 늘어놓아 구성한 것이라도, 본 발명은 적용할 수 있다.
1: 램프 하우스(등기구) 10: 광조사부
11: 봉형상 램프 12: 반사 미러
20: 라지에이터(냉각기) 30: 블로어(송풍기)
40: 격벽 50: 통풍로
60: 외벽 70: 광출사구
80: 편광 소자 유닛 81: 와이어 그리드 편광 소자(편광판)
82: 편광판의 유지 틀 83: 차광판
90: 필터 유닛 91: 필터판
92: 필터판의 유지 틀 93: 통풍로 형성 부재
100: 통풍로 110: 송풍 노즐
G: 와이어 그리드 W: 워크

Claims (3)

  1. 선 형상의 광원과, 상기 광원으로부터의 광을 편광하는 편광 소자를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서,
    상기 편광 소자는 투명 기판 상에 와이어 그리드를 형성한 와이어 그리드 편광 소자이며,
    상기 와이어 그리드 편광 소자의 상기 광원에 대해 반대측에 편광광을 투과하는 필터를 설치한 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 와이어 그리드 편광 소자와 상기 필터 사이에 에어를 흐르게 하는 에어 공급 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 선 형상의 광원의 길이 방향에 대해 수직이며 광조사면에 대해 평행한 방향인 폭방향에서 보았을 때, 상기 와이어 그리드 편광 소자는 상기 필터보다 큰 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.
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