TWI534512B - Polarized light irradiation device - Google Patents

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TWI534512B TW102142080A TW102142080A TWI534512B TW I534512 B TWI534512 B TW I534512B TW 102142080 A TW102142080 A TW 102142080A TW 102142080 A TW102142080 A TW 102142080A TW I534512 B TWI534512 B TW I534512B
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Description

偏光光線照射裝置
本發明係關於對液晶元件的配向膜及視角補償薄膜(viewing angle compensation film)的配向層等照射所定波長的偏光光線來進行配向的偏光光線照射裝置，尤其關於使用線柵偏光元件的偏光光線照射裝置。
近來，關於以液晶面板為首之液晶顯示元件的配向膜及視角補償薄膜的配向層等之配向處理，逐漸採用照射紫外線區域之波長的偏光光線來進行配向，稱為光配向的技術。以下，將設置藉由光線來進行配向之配向膜或配向層的薄膜等，將藉由光線產生配向特性的膜或層總稱稱為光配向膜。光配向膜係伴隨液晶面板的大型化，例如像一邊為2000mm以上的四角形地大面積化。
為了對於前述般之大面積的光配向膜進行光配向，例如專利文獻1等提案有組合了身為線狀光源之棒狀的燈管與具有線柵狀之光柵的偏光元件(以下稱為線柵偏光元件)的偏光光線照射裝置。
棒狀燈管係可製作發光長度較長者。為此，使用具備 因應光配向膜的寬度之發光長度的棒狀燈管，一邊使來自該燈管的光線偏光來進行照射，一邊使配向膜或光源往正交於燈管之長邊方向的方向移動的話，可在比較短的時間對廣泛面積的配向膜進行光配向處理。
於圖6揭示組合身為線狀光源之棒狀燈管與線柵偏光元件的先前之偏光光線照射裝置之構造例。
於同圖中，身為光配向膜的工件W係例如如視角補償薄膜之帶狀長條工件，從輸送輥R1被送出，一邊被往圖中箭頭方向搬送，一邊藉由偏光光線照射來進行光配向處理，而被捲繞輥R2捲繞。
偏光光線照射裝置的光照射部10係具備放射光配向處理所需之波長之光線(紫外線)的棒狀燈管11，例如高壓水銀燈及水銀之外加入其他金屬的金屬鹵素燈，與將來自棒狀燈管11之紫外線朝向工件W反射的溝狀反射鏡12。如前述般，棒狀燈管11的長度係使用發光部具備對應與工件W的搬送方向正交之方向的寬度之長度者。
光照射部10係以燈管11的長邊方向成為工件W的寬度方向(對於搬送方向正交的方向)之方式配置。
於光照射部10的光射出側，設置有身為偏光元件之線柵偏光元件81。來自光照射部10的光線係藉由線柵偏光元件81偏光，被照射至搬送於光照射部10之下的工件W，進行光配向處理。
線柵偏光元件係在透射欲偏光的波長之光線的透明基 板(例如玻璃基板)上形成光柵(line and space)者，例如專利文獻2及專利文獻3有詳細揭示。
於光路徑中插入線柵偏光元件的話，射入之光線中平行於光柵的長邊方向之偏光成分的大部分會被反射或吸收，正交於光柵的長邊方向之偏光成分則會透射。所以，透射線柵偏光元件的光線係成為具有與偏光元件之光柵的長邊方向正交之方向的偏光軸之偏光光線。
於光配向處理使用紫外線區域的偏光光線。對於為了使射入至線柵偏光元件的光線成為偏光光線來說，形成於透明基板之光柵的寬度及間隔必須比偏光之光線的波長還短(例如100nm)。
因此，光柵的形成需要細微的加工技術，利用使用於半導體製造之微影技術及蝕刻技術來製作，因此，在此使用之微影裝置及蝕刻裝置可加工之工件的大小有所限制。因此，無法作出大型的線柵偏光元件，現狀可製作的大小係到直徑300mm程度為止。
因此，例如專利文獻4提案有在需要因應發光長度較長之棒狀光源，例如長度1m至3m等之棒狀的高壓水銀燈或金屬鹵素燈之較大(較長)的偏光元件時，將複數個矩形的線柵偏光元件對齊於光柵的方向，在框架中沿著燈管的長邊方向並排，作為一個偏光元件來使用。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2011-145381號公報
[專利文獻2]日本特開2002-328234號公報
[專利文獻3]日本特表2003-508813號公報
[專利文獻4]日本專利第4506412號公報
[非專利文獻1]竹田、野中、藤本「Clean room environmental problems. Siloxane chemical compounds」cleantechnology 1998年4月號第34頁
如上所述，線柵偏光元件的光柵藉由細微的加工來製造，光柵的寬度及間隔為例如100nm，故不小心手指接觸或物品掉落於其上的話，會破壞光柵構造，無法發揮作為偏光元件的作用功效。但是，因為細微，在透明基板(玻璃)的表面形成光柵之狀況難以以肉眼確認。
因此，在偏光光線照射裝置之維護檢查時等，可能會有不小心接觸到安裝在裝置之偏光元件的光柵形成面或某些物品掉落在偏光元件上，破壞了細微的光柵之狀況。
又，在配置此種偏光光線照射裝置，半導體或液晶顯示裝置之工廠的無塵室之氣氛中，包含有被稱為矽氧烷化合物(siloxane compound)的物質，公知會成為製造上的障礙及生產率之惡化的原因(例如參照非專利文獻1)。
矽氧烷化合物係例如包含有許多光阻劑的顯像液等。 矽氧烷化合物係被照射紫外線的話，因光化學反應而產生白粉，會讓紫外線照射裝置內部之光學元件的表面白濁。
線柵偏光元件係在玻璃基板等的表面形成細微之光柵者，於此面附著矽氧烷化合物的話，並無法簡單清洗掉。
本發明係有鑒於前述之問題點所發明者，本發明的目的係於具備線狀光源與使來自該光源之光線偏光之線柵偏光元件的偏光光線照射裝置中，以在裝置的維護時等，不讓手指接觸到安裝於裝置之線柵偏光元件的光柵形成面或物品掉落而破壞光柵之狀況發生，並且讓線柵偏光元件的表面不會產生矽氧烷化合物所致之白濁之方式構成裝置。
為了解決前述課題，於具備線柵偏光元件的偏光光線照射裝置中，在對於線柵偏光元件，與光源相反側(被照射物側)，設置濾鏡。濾鏡係使用欲偏光之波長的光線可透射者。
進而，在線柵偏光元件與濾鏡之間，流通防止線柵偏光元件的白濁，並且冷卻線柵偏光元件及濾鏡的空氣。
因為在線柵偏光元件之與光源相反側(被照射物側)設置濾鏡，從偏光光線照射裝置之外，手指等難以接觸線柵偏光元件，可防止光柵的破損。
又，因為在對於線柵偏光元件，配置被照射物(工件)之側，設置濾鏡，矽氧烷化合物難以附著於線柵偏光元件的表面，線柵偏光元件會難以產生白濁。進而，藉由在線柵偏光元件與濾鏡之間，流通空氣，矽氧烷化合物更難以附著於線柵偏光元件的表面，線柵偏光元件會難以產生白濁。
1‧‧‧燈室(燈具)
10‧‧‧光照射部
11‧‧‧棒狀燈管
12‧‧‧反射鏡
20‧‧‧散熱器(冷卻機)
30‧‧‧吹氣機(送風機)
40‧‧‧間隔壁
50‧‧‧通風路徑
60‧‧‧外壁
70‧‧‧光射出口
80‧‧‧偏光元件單元
81‧‧‧線柵偏光元件(偏光板)
82‧‧‧偏光板的保持框
83‧‧‧遮光板
90‧‧‧濾鏡單元
91‧‧‧濾鏡板
92‧‧‧濾鏡板的保持框
93‧‧‧通風路徑形成構件
100‧‧‧通風路徑
110‧‧‧送風噴嘴
G‧‧‧線柵
W‧‧‧工件
[圖1]揭示本發明第1實施例之偏光光線照射裝置的燈室(燈具)之概略構造的圖。
[圖2]揭示偏光元件單元之構造的圖。
[圖3]揭示本發明第1實施例之變形例的圖。
[圖4]揭示本發明第2實施例之偏光光線照射裝置的燈室(燈具)之概略構造的圖。
[圖5]揭示本發明第2實施例之變形例的圖。
[圖6]揭示先前的偏光光線照射裝置之構造例的圖。
圖1係揭示本發明第1實施例之偏光光線照射裝置的燈室(燈具)之概略構造的圖。同圖係對於燈室的長邊方向正交之方向的剖面圖。再者，於同圖中，省略揭示燈管的點燈裝置等之構造。
燈室1係具備光照射部10、於其上部之水冷式的冷 卻機(散熱器)20與送風機(吹氣機)30。光照射部10係具有燈管11與反射來自燈管11之光線的反射鏡12。如圖中實線的箭頭所示，來自燈管11的光線，係直接或藉由反射鏡12反射，透過線柵偏光元件81，與對於偏光元件81隔著間隔所配置之濾鏡板91，被照射至工件W。
吹氣機30係在燈管11點燈時產生冷卻燈管11及反射鏡12、還有線柵偏光元件81及濾鏡板91等的冷卻風，散熱器20係具有降低冷卻燈管11及反射鏡12等之冷卻風的溫度之作用。
光照射部10係被間隔壁40包圍，燈室1的外壁60覆蓋其外側。間隔壁40與外壁60之間形成有間隙。此間隙係成為冷卻風通過的通風路徑50。
冷卻風係從吹氣機30送出，通過通風路徑50，從反射鏡12的光射出側，冷卻燈管11及反射鏡12。又，冷卻風的一部分係通過線柵偏光元件81與濾鏡板91之間的通風路徑100，冷卻線柵偏光元件81與濾鏡板91。冷卻燈管11及反射鏡12、線柵偏光元件81及濾鏡板91等，成為高溫的冷卻風係被吸入光照射部10的內側，通過散熱器20而被冷卻，再次藉由吹氣機30送出。在此，吹氣機30係發揮在偏光板81與濾鏡板91之間流通空氣的空氣供給機構的作用。
又，於燈室1的外壁60，形成有從光照射部10朝向工件W照射之光線通過的光射出口70。
於此光射出口70，安裝有具有使透射之光線偏光之 線柵偏光元件81的偏光元件單元80，與具有濾鏡板91的濾鏡框92。
偏光元件單元80的線柵偏光元件81係在透射用以進行光配向處理的波長之光線的透明基板(玻璃基板)一方之表面，形成線柵(以下也稱為光柵)G者。在此，將光柵G的形成面朝向與燈管11相反側(工件側)配置。
於圖1中線柵偏光元件81的光柵G係往圖面左右方向延伸。
圖2係揭示偏光元件單元80之構造的圖。圖2(a)係偏光元件單元80的俯視圖，圖2(b)係偏光元件單元80的側剖面圖，圖2(c)係偏光元件單元80的立體圖。
偏光元件單元80係將複數線柵偏光元件(以下也稱為偏光板)81，沿著棒狀燈管12的長邊方向(圖2的左右方向)並排於框架(保持框)82內來保持者。保持框82係由上下挾持各偏光板81並加以保持。
在相鄰之偏光板與偏光板之間，設置有1mm至2mm程度的間隙。為了以偏光板彼此之光柵G的方向成為平行之方式進行對合，使用此間隙，使偏光板81旋轉移動來進行位置調整。然後，此間隙係以偏光光線不會從此洩露之方式，於偏光元件單元80中被遮光板83覆蓋。
如上所述，各線柵偏光元件(偏光板)81係如圖2(b)所示，以光柵G的形成面成為燈管(光源)側(燈 室的內側)之方式配置。
然後，在偏光板81的與光源(燈管11與反射鏡12)相反側(偏光元件單元80的工件W側)之形成於外壁60的光射出口70的位置，配置濾鏡單元90。濾鏡單元90係與偏光板81相同，將複數濾鏡板91在保持框92內，沿著燈管11的長邊方向並排配置者。作為濾鏡板91，可使用透射偏光的紫外線之波長的石英板。又，使用形成有遮斷光配向處理中不需要之可視光及紅外線的干涉膜之干涉濾鏡亦可。
利用如此構成，偏光板81係被設置在燈室1之外壁60的內部，又，於形成於外壁60之作為開口的光射出口70，安裝濾鏡單元90。因此，可不讓手指等直接接觸到偏光板81，防止光柵G的破損。
使偏光板81與濾鏡板91接觸重疊的話，因為有偏光板81的光柵G受損的可能性，藉由通風路徑形成構件93，將兩者隔開5mm至100mm程度的間隔來配置。此間隔係形成冷卻偏光板81與濾鏡板91之冷卻風的通風路徑100。
再者，於本實施例中，通風路徑形成構件93係豎立於薄膜91的保持框92上，於其上安裝偏光元件單元80的保持框82。但是，通風路徑形成構件93係豎立於外壁60上，於其上設置偏光元件單元80的保持框82亦可。
又，將通風路徑形成構件93安裝於光照射部10，以 垂吊偏光元件單元80的保持框82之方式設置亦可。也就是說，在光照射部10與偏光元件單元80之間，還有在偏光元件單元80與濾鏡板91的保持框92之間，形成冷卻風流通的通風路徑即可。
偏光板91與濾鏡板91的間隔如狹小的話，冷卻風難以流通其間，偏光板81及濾鏡板91因來自燈管11的熱而有被加熱的可能性，設置充分之冷卻風流通的間隔。但是，對於為了光柵G的保護來說，設為手指接觸不到偏光板81的光柵G形成面的間隔為佳。
作為手指無法進入的間隔之一例，可舉出IP(International Protection)規格。此係在IEC60529(1989年)所制定，JIS也訂定於C0920(1993年)，所以，作為對於人體的保護內容，在手指之狀況中，對於機器的保護內容係揭示為直徑12.5mm以下。所以，偏光板81與濾光器板91之間隔從5mm至12.5mm為佳。
通風路徑形成構件93係沿著偏光元件單元80與濾鏡90的長邊方向，於兩側(圖1的左右方向)隔開冷卻風可通過的間隔而設置複數個。再者，通風路徑形成構件93作為棒狀者亦可，作為矩形的區塊狀者亦可。又，作為形成冷卻風可通過的貫通孔(直徑5mm以上為佳)之板狀或壁狀者亦可，只要是可保持偏光元件單元80與濾鏡90的間隔者，作為網狀者亦可。
再者，設為形成貫通孔之板狀的構件或網狀的構件時，將成為通風口的孔或網的直徑大小，設為前述之手指 無法進入之大小的直徑12.5mm以下(亦即，可確保通風之直徑5mm~12.5mm的孔)的話，即使將偏光元件單元80與濾鏡90之間的間隔，擴張為冷卻風可充分流通的間隔，手指也不會接觸到偏光板81的光柵G形成面，可保護到光柵G。
又，因為在對於線柵偏光元件81，配置工件W(被照射物)之側，設置濾鏡板91，矽氧烷化合物直接接觸且附著於線柵偏光元件81的表面之狀況會變少。藉此，線柵偏光元件81難以產生白濁。進而，因為在線柵偏光元件81與濾鏡板91之間流通冷卻風(空氣)，藉此，矽氧烷化合物更難以附著於線柵偏光元件81的表面。因此，線柵偏光元件81會更難以產生白濁。
再者，如圖1所示，將接近光源側之線柵偏光元件81的寬度(在此，寬度係指對於線狀光源的長邊方向垂直，且對於光照射面平成的方向)，擴大為比遠離光源側的濾鏡板91的寬度大的話，從光源射入至濾鏡板91的光線因為不會被偏光板81的保持框82遮住，可有效利用從光源放射的光線。
圖3係揭示本發明第1實施例之變形例的圖。與圖1所示之偏光光線照射裝置的構造的不同，係偏光板81的光柵G形成面不是朝向濾鏡板91側，而是朝向光源側之處。其以外的構造係基本上與圖1所示者相同。
於本實施例中，偏光板81的光柵G形成面朝向光源側，但是，偏光板81本身被設置在燈室1之外壁60的內 部，又，於形成於外壁60的光射出口70，安裝有濾鏡單元90。因此，可不讓手指等直接接觸到偏光板81，防止光柵G的破損。
又，與第1實施例相同，藉由濾鏡板91的存在，與流通於濾鏡板91與偏光板81之間的冷卻風(空氣)，防止偏光板81之矽氧烷化合物的附著，可防止偏光板81的白濁。
圖4係揭示本發明第2實施例之偏光光線照射裝置的燈室(燈具)之概略構造的圖。同圖係與圖1相同，正交於燈室的長邊方向之方向的剖面圖。
與圖1之第1實施例的構造的不同，係將偏光元件單元80配置於燈室1的光射出口70的位置，將濾鏡單元90配置於燈室1的外壁60的外側之處。
濾鏡單元90的濾鏡框92係藉由豎立於外壁60的通風路徑形成構件93所支持，在偏光板81與濾鏡板91之間形成通風路徑100。
然後，於燈室1之外，設置對前述通風路徑，供給空氣的送風噴嘴110。來自送風噴嘴110的空氣係通過偏光板81與濾鏡板91之間的通風路徑100，防止矽氧烷化合物附著於偏光板81，藉此，可防止偏光板81的白濁。
又，因為在偏光元件單元80的工件側(光射出部)設置濾鏡單元90，所以，可不讓手指等直接接觸到偏光板81，防止光柵G的破損。
圖5係揭示本發明第2實施例之變形例的 圖。與圖4所示之偏光光線照射裝置的構造的不同，係偏光板81的光柵G形成面不是朝向濾鏡板91側，而是朝向光源側之處。其以外的構造係基本上與圖4所示者相同。
即使如此配置，因為在偏光元件單元80的工件側(光射出部)設置濾鏡單元90，所以，可不讓手指等直接接觸到偏光板81，防止光柵G的破損。
再者，於前述實施例中，作為光源以棒狀的燈管為例來進行說明，但是，即使將射出紫外線之LED並排成複數線狀所構成者，本發明也可適用。
1‧‧‧燈室
10‧‧‧光照射部
11‧‧‧棒狀燈管
12‧‧‧反射鏡
20‧‧‧散熱器
30‧‧‧吹氣機
40‧‧‧間隔壁
50‧‧‧通風路徑
60‧‧‧外壁
70‧‧‧光射出口
80‧‧‧偏光元件單元
81‧‧‧線柵偏光元件
82‧‧‧保持框
90‧‧‧濾鏡單元
91‧‧‧濾鏡板
92‧‧‧濾鏡板的保持框
93‧‧‧通風路徑形成構件
100‧‧‧通風路徑
W‧‧‧工件
G‧‧‧線柵

Claims (2)

  1. 一種偏光光線照射裝置，係具備線狀光源、使來自該光源之光線偏光的偏光元件、及覆蓋前述光源且形成來自光源的光線通過之光射出口的外壁的偏光光線照射裝置，其特徵為：前述偏光元件，係在透明基板上形成線柵的線柵偏光元件；將在前述線柵偏光元件對於前述光源的相反側透射偏光光線的濾鏡，設置於前述外壁的外側；並具備：空氣供給機構，係在前述線柵偏光元件與前述濾鏡之間流通空氣。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之偏光光線照射裝置，其中，從垂直於前述線狀光源的長邊方向且平行於光照射面之方向的寬度方向觀看時，前述線柵偏光元件比前述濾鏡大。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5648733B1 (ja) * 2013-11-19 2015-01-07 岩崎電気株式会社 光照射装置
PT3469406T (pt) 2016-06-09 2020-11-02 Fieldpoint Cyprus Ltd Filtro ótico e método de fabrico de um filtro ótico

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6029168A (ja) * 1983-07-25 1985-02-14 株式会社大一商会 パチンコ機
US5089700A (en) 1990-01-30 1992-02-18 Amdata, Inc. Apparatus for infrared imaging inspections
JPH11254540A (ja) * 1998-03-09 1999-09-21 Sony Disc Technology:Kk 紫外線照射装置
US6243199B1 (en) 1999-09-07 2001-06-05 Moxtek Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region
US6532111B2 (en) 2001-03-05 2003-03-11 Eastman Kodak Company Wire grid polarizer
US6874899B2 (en) * 2002-07-12 2005-04-05 Eastman Kodak Company Apparatus and method for irradiating a substrate
JP4063042B2 (ja) * 2002-10-23 2008-03-19 ウシオ電機株式会社 光配向用偏光光照射装置
JP4884027B2 (ja) * 2006-02-27 2012-02-22 株式会社 日立ディスプレイズ 液晶表示装置の製造方法
JP4708287B2 (ja) * 2006-08-25 2011-06-22 富士フイルム株式会社 光学フィルムの製造方法、光学フィルム、偏光板、転写材料、液晶表示装置、及び偏光紫外線露光装置
JP5287737B2 (ja) 2010-01-13 2013-09-11 ウシオ電機株式会社 偏光光照射装置
JP5056991B1 (ja) * 2012-02-02 2012-10-24 ウシオ電機株式会社 偏光光照射装置

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