KR101624774B1 - 편광광 조사 장치 - Google Patents

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데츠야 무라카미
아키후미 산구
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

와이어 그리드 편광 소자를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서, 장치의 메인터넌스 시 등에, 장치에 부착되어 있는 와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면에 손가락을 대거나, 물건을 떨어뜨리거나 하여 그리드를 망가뜨리는 일이 없도록 장치를 구성하는 것이다.
와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면을 광원 쪽을 향해 배치한다. 또한, 그리드 형성면의 바로 위(편광 소자와 광원의 사이)에, 그리드 형성면을 커버하는 필터를 설치해도 된다. 필터로서는 편광시키고 싶은 파장의 광이 투과하는 것을 이용한다.

Description

편광광 조사 장치{POLARIZED LIGHT ILLUMINATING APPARATUS}
본 발명은, 액정 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등에 소정의 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는 편광광 조사 장치에 관한 것이며, 특히 와이어 그리드 편광 소자를 사용하는 편광광 조사 장치에 관한 것이다.
최근, 액정 패널을 비롯한 액정 표시 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등의 배향 처리에 관하여, 자외선 영역의 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는, 광배향으로 불리는 기술이 채용되게 되었다. 이하, 광에 의해 배향을 행하는 배향막이나, 배향층을 설치한 필름 등, 광에 의해 배향 특성이 생기는 막이나 층을 총칭하여 광배향막이라고 부른다.
광배향막은, 액정 패널의 대형화와 함께, 예를 들면 한 변이 2000mm 이상인 사각형과 같이 대면적화되고 있다.
상기와 같은 대면적의 광배향막에 대해 광배향을 행하기 위해, 선형상의 광원인 봉형상의 램프와 와이어 그리드 형상의 그리드를 가지는 편광 소자(이하, 와이어 그리드 편광 소자)를 조합한 편광광 조사 장치가, 예를 들면 특허 문헌 1 등에서 제안되어 있다.
봉형상 램프는, 발광 길이가 비교적 긴 것을 만들 수 있다. 그 때문에, 광배향막의 폭에 대응한 발광 길이를 구비한 봉형상 램프를 사용하여, 그 램프로부터의 광을 편광하여 조사하면서, 배향막을 램프의 길이 방향에 직교하는 방향으로 이동시키면, 넓은 면적의 배향막을 비교적 단시간에 광배향 처리를 행할 수 있다.
도 4에, 선형상의 광원인 봉형상 램프와 와이어 그리드 편광 소자를 조합한 종래의 편광광 조사 장치의 구성예를 나타낸다.
이 도면에 있어서, 광배향막인 워크 W는, 예를 들면 시야각 보상 필름과 같은 띠형상의 긴 워크이며, 송출 롤 R1로부터 송출되어, 도면 중 화살표 방향으로 반송되면서 편광광 조사에 의해 광배향 처리되어, 권취 롤 R2에 의해 권취된다.
편광광 조사 장치의 광조사부(10)는, 광배향 처리에 필요한 파장의 광(자외선)을 방사하는 봉형상 램프(11), 예를 들면 고압 수은 램프나 수은에 다른 금속을 더한 메탈 할라이드 램프와, 이 봉형상 램프(11)로부터의 자외선을 워크 W를 향해 반사하는 홈통형상의 반사경(12)을 구비한다. 상기와 같이, 봉형상 램프(11)의 길이는, 발광부가, 워크 W의 반송 방향에 직교하는 방향의 폭에 대응하는 길이를 구비한 것을 사용한다.
광조사부(10)는, 램프(11)의 길이 방향이 워크 W의 폭방향(반송 방향에 대해 직교 방향)이 되도록 배치한다.
광조사부(10)의 광출사측에는, 편광 소자인 와이어 그리드 편광 소자(81)가 설치된다. 광조사부(10)로부터의 광은 와이어 그리드 편광 소자(81)에 의해 편광되어, 광조사부(10) 아래를 반송되는 워크 W에 조사되어, 광배향 처리가 행해진다.
와이어 그리드 편광 소자는, 편광하고 싶은 파장의 광을 투과하는 투명 기판(예를 들면 유리 기판) 상에 그리드(라인·앤드·스페이스)를 형성한 것이며, 예를 들면 특허 문헌 2나 특허 문헌 3에 그 상세가 나타나 있다.
광로 중에 와이어 그리드 편광 소자를 삽입하면, 입사하는 광 중, 그리드의 길이 방향에 평행한 편광 성분은 대부분이 반사 혹은 흡수되고, 그리드의 길이 방향에 직교하는 편광 성분은 통과한다. 따라서, 와이어 그리드 편광 소자를 통과한 광은, 편광 소자의 그리드의 길이 방향에 직교하는 방향의 편광축을 가지는 편광광이 된다.
광배향 처리에는 자외선 영역의 편광광이 사용된다. 와이어 그리드 편광 소자에 입사하는 광을 편광광으로 하기 위해서는, 투명 기판에 형성하는 그리드의 폭이나 간격은, 편광하는 광의 파장보다도 짧게 할(예를 들면 100nm) 필요가 있다.
그 때문에, 그리드의 형성에는 미세한 가공 기술이 필요하며, 반도체 집적 회로 제조에 사용되는 리소그래피 기술이나 에칭 기술이 이용되지만, 거기서 사용되는 리소그래피 장치나 에칭 장치가 가공할 수 있는 워크의 크기에는 한계가 있다. 그 때문에, 와이어 그리드 편광 소자는 대형의 것을 만들 수 없어, 현재 상황에서 제작할 수 있는 크기는 직경 300mm 정도까지이다.
그래서, 예를 들면 특허 문헌 4에는, 발광 길이가 긴 봉형상의 광원, 예를 들면 길이 1m 내지 3m와 같은 봉형상의 고압 수은 램프나 메탈 할라이드 램프에 대응한, 큰(긴) 편광 소자가 필요한 경우는, 직사각형의 와이어 그리드 편광 소자를 복수, 그리드의 방향을 맞추어, 프레임 중에 램프의 길이 방향을 따라 늘어놓아, 하나의 편광 소자 유닛으로서 사용하는 것이 제안되어 있다.
일본국 특허공개 2011-145381호 공보 일본국 특허공개 2002-328234호 공보 일본국 특허공표 2003-508813호 공보 일본국 특허 제4506412호 공보
상기한 바와 같이, 와이어 그리드 편광 소자의 그리드는 미세한 가공에 의해 제조되며, 그리드의 폭이나 간격은 예를 들면 100nm이기 때문에, 잘못하여 손가락으로 만지거나, 그 위에 물건을 떨어뜨리거나 하면, 그리드 구조가 망가져 버려, 편광 소자로서의 역할을 다하지 못하게 된다. 그러나, 미세하기 때문에, 투명 기판(유리)의 표면에 그리드가 형성되어 있는 것이, 육안으로는 알기 어렵다.
그 때문에, 편광광 조사 장치의 보수 점검시 등에, 장치에 부착되어 있는 편광 소자의 그리드 형성면을 잘못하여 만져 버리거나, 편광 소자 상에 어떤 물건을 떨어뜨려 버리거나 하여, 미세한 그리드를 망가뜨려 버리는 경우를 생각할 수 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 고려하여 이루어진 것이며, 본 발명의 목적은, 선형상의 광원과, 이 광원으로부터의 광을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서, 장치의 메인터넌스 시 등에, 장치에 부착되어 있는 와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면에 손가락을 대거나, 물건을 떨어뜨리거나 하여 그리드를 망가뜨리는 일이 없도록 장치를 구성하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해, 편광광 조사 장치에 사용하는 와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면을 광원 쪽을 향해 배치한다. 즉, 광조사부를 구성하는 램프 하우스에 있어서, 와이어 그리드 편광 소자의 그리드가 형성되어 있지 않은 면이 램프 하우스(등기구)의 외측을 향하도록 한다.
또한, 와이어 그리드 편광 소자의 그리드 형성면의 바로 위(편광 소자와 광원의 사이)에, 그리드 형성면을 보호하는 필터를 설치한다. 필터는 편광시키고 싶은 파장의 광이 투과하는 것을 이용한다.
광원을 덮는 외벽에 형성한 광출사구에, 와이어 그리드 편광 소자를 그리드 형성면이 광원 쪽을 향하도록 배치했으므로, 램프 하우스의 밖으로부터는, 그리드 형성면에 접촉되지 않는다. 가령 편광 소자에 접촉했다고 해도, 램프 하우스의 외측을 향하고 있는 것은 그리드 형성면이 아닌 면이므로, 그리드를 망가뜨리는 일이 없다.
또, 그리드 형성면의 바로 위에 필터를 설치함으로써, 예를 들면, 램프 하우스 내를 메인터넌스하고 있는 경우여도, 그리드면에는 손이 닿기 어려워지고, 물건을 떨어뜨려도 필터가 그리드 형성면으로의 낙하를 막는다. 이것에 의해 그리드를 망가뜨리는 일이 없다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타낸 도이다.
도 2는 편광 소자 유닛의 구조를 나타낸 도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타낸 도이다.
도 4는 종래의 편광광 조사 장치의 구성예를 나타낸 도이다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타낸 도이다. 이 도면은, 램프 하우스의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이다. 또한, 이 도면에 있어서는, 램프의 점등 장치 등의 구성에 대해서는 생략하여 나타내고 있다.
램프 하우스(1)는, 광조사부(10)와, 그 상부에 수냉식의 냉각기(라디에이터)(20)와, 송풍기(블로어)(30)를 구비한다. 광조사부(10)는, 램프(11)와 램프(11)로부터의 광을 반사하는 반사 미러(12)를 가지고 있다. 도면 중 실선의 화살표로 나타내는 바와 같이, 램프(11)로부터의 광은, 직접 또는 반사 미러(12)에 의해 반사되어, 와이어 그리드 편광 소자(81)를 통하여 워크 W에 조사된다.
블로어(30)는, 램프(11) 점등 시에 램프(11)나 반사 미러(12)를 냉각하는 냉각풍을 발생시키고, 라디에이터(20)는, 램프(11)나 반사 미러(12)를 냉각한 냉각풍의 온도를 낮추는 기능을 한다.
광조사부(10)는 격벽(40)에 의해 둘러싸여 있으며, 그 외측을 램프 하우스(1)의 외벽(60)이 덮고 있다. 격벽(40)과 외벽(60)의 사이에는 간극이 형성되어 있다. 이 간극은, 냉각풍이 통과하는 통풍로(50)가 된다.
냉각풍은, 도면 중 점선으로 나타낸 대로, 블로어(30)로부터 송출되어 통풍로(50)를 지나, 반사 미러(12)의 광출사측으로부터, 램프(11)나 반사 미러(12)를 냉각하면서 광조사부(10)의 내측으로 끌여들여져, 라디에이터(20)를 통과하여 냉각되고, 다시 블로어(30)에 의해 송출된다.
또, 램프 하우스(1)의 외벽(60)에는, 광조사부(10)로부터 워크 W를 향해 조사되는 광이 통과하는 광출사구(70)가 형성되어 있다.
이 광출사구(70)에는, 여기를 통과하는 광을 편광하는 와이어 그리드 편광 소자(81)를 가지는 편광 소자 유닛(80)이 부착된다.
편광 소자 유닛(80)의 와이어 그리드 편광 소자(81)는, 광배향 처리를 행하기 위한 파장의 광을 투과하는 투명 기판(유리 기판)의 일방의 표면에, 와이어 그리드(이하, 그리드라고도 한다) G를 형성한 것이다. 여기서 그리드 G의 형성면을 램프(11)측(외벽(60)의 내측)을 향해 배치한다.
도 1에 있어서 와이어 그리드 편광 소자(81)의 그리드 G는, 도면 좌우 방향으로 연장되어 있다.
도 2는, 편광 소자 유닛(80)의 구조를 나타낸 도이다. 도 2(a)는 편광 소자 유닛(80)의 평면도, 도 2(b)는 편광 소자 유닛(80)의 측단면도, 도 2(c)는 편광 소자 유닛(80)의 사시도이다.
편광 소자 유닛(80)은, 복수의 와이어 그리드 편광 소자(이하, 편광판이라고도 한다)(81)를, 봉형상 램프(12)의 길이 방향(도 2의 좌우 방향)을 따라 프레임(유지틀)(82) 내에 늘어놓아 유지한 것이다. 유지틀(82)은 상하로부터 각 편광판(81)을 사이에 끼우도록 하여 유지한다.
서로 이웃하는 편광판과 편광판 사이에는, 1mm 내지 2mm 정도의 간극이 설치된다. 편광판들의 그리드 G의 방향이 평행이 되도록 맞추기 위해서, 이 간극을 사용하여 편광판(81)을 회전 이동시켜 위치 조정한다. 그리고, 이 간극은, 여기로부터 무편광광이 누출되지 않도록, 편광 소자 유닛(80)에 있어서 차광판(83)에 의해 덮여 있다.
상기한 바와 같이, 각 와이어 그리드 편광 소자(편광판)(81)는, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 그리드 G의 형성면이 램프(광원)측(램프 하우스의 내측)이 되도록 배치된다.
도 3은, 본 발명의 제2 실시예의 편광광 조사 장치의 램프 하우스(등기구)의 개략 구성을 나타낸 도이다. 도 1과 마찬가지로, 이 도면은, 램프 하우스의 길이 방향에 대해 직교하는 방향의 단면도이다.
도 1의 제1 실시예의 구성과의 차이는, 편광 소자 유닛(80) 상(램프측)에, 편광판(81)의 그리드 G면을 보호하기 위한 필터(90)를 배치한 것이다. 필터(90)는, 편광판(81)과 마찬가지로, 복수의 필터판(91)을 유지틀(92) 내에, 램프(12)의 길이 방향을 따라 늘어놓아 배치한 것이다. 도면 중 실선의 화살표로 나타내는 바와 같이, 램프(11)로부터의 광은, 직접 또는 반사 미러(12)에 의해 반사되어, 필터(90)와 편광판(81)을 통하여 워크 W에 조사된다.
필터판의 유지틀(92)은, 편광 소자 유닛(80)의 유지틀(82) 상에 통풍로 형성 부재인 지지봉(93)을 세우고, 그 위에 부착되어 있다. 필터판(91)으로서는, 편광하는 자외선의 파장을 투과하는 석영판을 사용할 수 있다. 또, 광배향 처리에는 필요가 없는 가시광이나 적외선을 차단하는 간섭을 형성한 간섭 필터를 사용해도 된다.
편광판(81) 상에 필터판(91)을 접촉시켜 겹치면, 편광판(81)의 그리드 G가 손상될 가능성이 있으므로, 양자는 간격을 두고 배치한다. 이 간격은, 좁으면, 편광판(81) 상을 냉각풍이 흐르기 어려워져, 편광판(81)이 램프(11)로부터의 열로 가열될 가능성이 있으므로, 충분한 냉각풍이 흐를 수 있는 간격을 설치한다. 그러나, 간격을 너무 두면, 편광판(81)의 그리드 G형성면을 보호할 수 없게 되므로, 손가락이 들어가지 않을 듯한 정도의 간격으로 하는 것이 바람직하다.
손가락이 들어가지 않는 간격의 일례로서 IP(International Protection) 규격을 들 수 있다. 이것은, IEC60529(1989년)로 제정되고, JIS에서도 C0920(1993년)로 정해져 있는 것으로, 인체에 대한 보호 내용으로서, 손가락의 경우, 기기에 대한 보호 내용은 직경 12.5mm 이하로 하는 것이 나타나 있다.
따라서, 편광판(81)과 필터판(91)의 간격은 5mm 내지 12.5mm로 하는 것이 바람직하다.
지지봉(93)은, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90)의 길이 방향을 따라 양측(도 1의 좌우 방향)으로 복수, 냉각풍을 통과할 수 있는 간격을 두고 설치한다.
또한, 지지봉(93)은 편광판(81)과 필터판(91)의 사이에 통풍로를 형성하기 위한 통풍로 형성 부재이므로, 통풍로를 형성할 수 있으면 봉형상의 것이 아니어도 된다.
예를 들면, 직사각형의 블록형상의 것이어도 되고, 냉각풍을 통과할 수 있는 관통구멍(직경 5mm 이상이 바람직하다)을 형성한 판형상 혹은 벽형상의 것이어도 된다. 또, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90)의 간격을 유지할 수 있는 것이면 망형상의 것이어도 된다.
또한, 관통구멍을 형성한 판형상의 부재나 망형상의 부재로 한 경우, 통풍구가 되는 구멍이나 망의 지름의 크기를, 상기한 손가락이 들어가지 않는 크기인 직경 12.5mm 이하(즉 통풍을 확보할 수 있는 직경 5mm~12.5mm의 구멍)으로 해 두면, 편광 소자 유닛(80)과 필터(90)의 사이의 간격을, 충분한 냉각풍이 흐르도록 넓혀도, 편광판(81)의 그리드 G형성면에 손가락이 닿지 않아, 그리드 G를 보호할 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는, 광원으로서 봉형상의 램프를 예로서 설명했지만, 자외선을 출사하는 LED를 복수 선형상으로 늘어놓아 구성한 것이어도, 본 발명은 적용할 수 있다.
1 램프 하우스(등기구) 10 광조사부
11 봉형상 램프 12 반사 미러
20 라디에이터(냉각기) 30 블로어(송풍기)
40 격벽 50 통풍로
60 외벽 70 광출사구
80 편광 소자 유닛 81 와이어 그리드 편광 소자(편광판)
82 편광판의 유지틀 83 차광판
90 필터 유닛 91 필터판
92 필터판의 유지틀 93 지지봉
G 와이어 그리드 W 워크

Claims (3)

  1. 선형상의 광원과, 상기 광원으로부터의 광을 편광하는 편광 소자와, 상기 광원을 덮으며 광원으로부터의 광이 통과하는 광출사구를 형성한 외벽을 구비한 편광광 조사 장치에 있어서,
    상기 편광 소자는 투명 기판 상에 와이어 그리드를 형성한 와이어 그리드 편광 소자이며,
    상기 와이어 그리드 편광 소자는, 상기 외벽에 형성한 광출사구에 와이어 그리드를 형성한 면을 광원측을 향해 배치하고 있고,
    상기 와이어 그리드 편광 소자와 상기 광원의 사이에, 광을 투과하는 필터를 설치하며,
    상기 필터는, 통풍로 형성 부재에 의해, 상기 와이어 그리드 편광 소자와의 사이에 손가락이 들어가지 않을 정도의 간격을 두고 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6326746B2 (ja) * 2013-09-10 2018-05-23 東芝ライテック株式会社 偏光光照射装置
JP2015090386A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 ウシオ電機株式会社 偏光光照射装置
JP5648734B1 (ja) * 2013-11-19 2015-01-07 岩崎電気株式会社 光照射装置
JP6187348B2 (ja) * 2014-03-25 2017-08-30 東芝ライテック株式会社 偏光光照射装置
JP5958491B2 (ja) * 2014-03-31 2016-08-02 ウシオ電機株式会社 偏光光照射装置
JP6500204B2 (ja) * 2015-04-14 2019-04-17 株式会社ブイ・テクノロジー 偏光光照射装置
JP2016153920A (ja) * 2016-05-19 2016-08-25 ウシオ電機株式会社 偏光光照射装置
CN108121101B (zh) * 2016-11-29 2020-11-20 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种线栅单元及其保护装置
JP6870391B2 (ja) * 2017-03-06 2021-05-12 ウシオ電機株式会社 光照射装置
CN112394556B (zh) * 2020-12-17 2022-07-22 江西富益特显示技术有限公司 一种全自动偏光片贴附设备

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5089700A (en) 1990-01-30 1992-02-18 Amdata, Inc. Apparatus for infrared imaging inspections
US6243199B1 (en) 1999-09-07 2001-06-05 Moxtek Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region
US6532111B2 (en) 2001-03-05 2003-03-11 Eastman Kodak Company Wire grid polarizer
JP2003090902A (ja) * 2001-09-19 2003-03-28 Dainippon Printing Co Ltd 反射防止賦形フィルム及びそれを用いた反射防止加工方法
JP2003131212A (ja) * 2001-10-25 2003-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 投写型表示装置
US6874899B2 (en) * 2002-07-12 2005-04-05 Eastman Kodak Company Apparatus and method for irradiating a substrate
JP4063042B2 (ja) * 2002-10-23 2008-03-19 ウシオ電機株式会社 光配向用偏光光照射装置
JP4280518B2 (ja) * 2003-03-05 2009-06-17 リコー光学株式会社 偏光光学素子とその製造方法
JP2005062674A (ja) * 2003-08-19 2005-03-10 Sanyo Electric Co Ltd 板状光学部品
JP4622695B2 (ja) * 2004-08-27 2011-02-02 日本ビクター株式会社 投射型表示装置
JP4506412B2 (ja) * 2004-10-28 2010-07-21 ウシオ電機株式会社 偏光素子ユニット及び偏光光照射装置
JP4604661B2 (ja) * 2004-11-05 2011-01-05 ウシオ電機株式会社 光配向用偏光光照射装置
JP4606242B2 (ja) * 2005-05-09 2011-01-05 富士フイルム株式会社 紫外線照射装置、機能性フィルム、ならびにそれを用いた偏光板および液晶表示装置
JP2006323060A (ja) * 2005-05-18 2006-11-30 Ushio Inc 偏光光照射装置
JP4424296B2 (ja) * 2005-10-13 2010-03-03 ウシオ電機株式会社 紫外線照射装置
JP2007279458A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 Miraial Kk サブ波長格子光学素子
JP4708287B2 (ja) * 2006-08-25 2011-06-22 富士フイルム株式会社 光学フィルムの製造方法、光学フィルム、偏光板、転写材料、液晶表示装置、及び偏光紫外線露光装置
JP5183284B2 (ja) * 2008-04-11 2013-04-17 三菱電機株式会社 導光板及びその製造方法
JP2010085917A (ja) * 2008-10-02 2010-04-15 Asahi Kasei E-Materials Corp 透明熱線反射フィルム及びこれを用いた熱線遮断窓ガラス
JP5287737B2 (ja) * 2010-01-13 2013-09-11 ウシオ電機株式会社 偏光光照射装置
JP2012118452A (ja) * 2010-12-03 2012-06-21 Asahi Kasei E-Materials Corp 偏光変換光源装置およびそれを用いた投射型液晶表示装置
JP5056991B1 (ja) * 2012-02-02 2012-10-24 ウシオ電機株式会社 偏光光照射装置

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